JPH09288145A - 電子デバイスの温度特性測定用チャンバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子デバイスの温度特性をより効率良く測定
する。 【解決手段】 温度制御可能な密閉容器１０内には、そ
れぞれ複数の被測定デバイス２０が載置される２つのタ
ーンテーブル１１，１２が、上下方向に間隔をおいて配
置される。さらに、密閉容器１０の内部には、各ターン
テーブル１１，１２上の被測定デバイス２０の電気的特
性を測定する測定治具として、２つのフィクスチャ１３
が、それぞれのターンテーブル１１，１２ごとに設けら
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子デバイスの温
度特性を測定する際に用いられる温度特性測定用チャン
バに関する。

【０００２】

【従来の技術】水晶発振器等の電子デバイスの高温及び
低温環境での電気的特性の測定には、チャンバが使用さ
れる。

【０００３】図２は、従来の温度特性測定用チャンバの
概略構造を示す図である。図２において、温度制御可能
な密閉容器１１０内には、ターンテーブル１１１とフィ
クスチャ１１３とが設けられている。ターンテーブル１
１１は、複数の被測定デバイス１２０が全周にわたって
所定の位置に載置されるもので、回転手段により回転自
在に設けられている。フィクスチャ１１３は、上下方向
及び水平方向に移動可能に設けられてターンテーブル１
１１上の被測定デバイス１２０の端子と接触するコンタ
クト部１１４を有する。コンタクト部１１４は、密閉容
器１１０の外部の測定装置（不図示）と電気的に接続さ
れ、コンタクト部１１４を被測定デバイス１２０の端子
に接触させて被測定デバイス１２０の電気的特性が測定
される。また、密閉容器１１０には扉１１０ａが設けら
れ、被測定デバイス１２０はこの扉１１０ａから出し入
れされる。

【０００４】被測定デバイス１２０の温度特性を測定す
る際には、まず、ハンドラ（不図示）により、ターンテ
ーブル１１１上に複数の被測定デバイス１２０が載置さ
れる。この際、所定の角度でのターンテーブル１１１の
回転とハンドラの動作とを繰り返し、ターンテーブル１
１１を１回転させることで、最終的にはターンテーブル
１１１の全周にわたって複数の被測定デバイス１２０が
載置される。次いで、密閉容器１１０の扉１１０ａが閉
じられ、密閉容器１１０の内部の温度が所定の温度に制
御される。

【０００５】密閉容器１１０内の温度が所定の温度に達
したら、フィクスチャ１１３を下方に移動させて、ター
ンテーブル１１１上の被測定デバイス１２０のうち所定
の被測定デバイス１２０の端子にコンタクト部１１４を
接触させ、その被測定デバイス１２０の電気的特性を測
定する。この測定が終了したら、フィクスチャ１１３を
上方に移動させるとともに、ターンテーブル１１１を所
定の角度だけ回転させ、同様にして次の被測定デバイス
１２０の電気的特性を測定する。

【０００６】そして、全ての被測定デバイス１２０につ
いて測定が終了したら、気密容器１１０内の温度を常温
に戻す。その後、密閉容器１１０の扉１１０ａを開い
て、ハンドラによってターンテーブル１１１上の被測定
デバイス１２０を密閉容器１１０から取り出し、測定結
果に基づいて被測定デバイス１２０が分類される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の温度特
性測定用チャンバでは、一度の処理で測定可能なデバイ
スの数は、ターンテーブルに載置可能なデバイスの数で
決定される。一方、密閉容器内の温度を所定の温度に設
定するまでの間、及び、設定温度から常温に戻すまでの
間は、デバイスの測定を行えず、実質的には無駄な時間
となるので、一度の処理でより多くのデバイスを測定可
能なチャンバが望まれていた。

【０００８】そこで本発明は、電子デバイスの温度特性
をより効率良く測定できる温度特性測定用チャンバを提
供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の電子デバイスの温度特性測定用チャンバは、温
度制御可能な気密容器と、前記気密容器内に上下方向に
間隔をおいて配置され、それぞれ上面に複数の電子デバ
イスが載置される複数のターンテーブルと、前記気密容
器内に配置され、前記各ターンテーブルに載置された電
子デバイスと電気的に接続するように移動可能に設けら
れた測定治具とを有することを特徴とする。

【００１０】上記のとおり構成された本発明の温度特性
測定用チャンバでは、密閉容器内に複数のターンテーブ
ルが設けられているので、一度の処理でより多くの電子
デバイスの温度特性の測定が可能である。また、各ター
ンテーブルは上下に配置されているので、チャンバの設
置にはそれほど大きな面積を必要としない。

【００１１】特に、各ターンテーブルを上下方向に移動
可能に設けることで、各ターンテーブルに電子デバイス
を載置するのに使用されるハンドラは、従来のものがそ
のまま使用可能である。さらに、各ターンテーブルが互
いに独立して回転するようにすれば、１つのターンテー
ブル上の電子デバイスの温度特性を測定している間に他
のターンテーブル上の電子デバイスの温度特性の準備を
行えるため、測定に要する時間の短縮が可能となる。

【００１２】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００１３】図１は、本発明の温度特性測定用チャンバ
の概略構造を示す図である。

【００１４】図１に示すように、温度制御可能な密閉容
器１０内には、それぞれ複数の被測定デバイス２０が全
周にわたって所定の位置に載置される２つのターンテー
ブル１１，１２が配置されている。各ターンテーブル１
１，１２は上下方向に間隔をおいて配置され、それぞれ
の回転中心は同軸上に位置している。また、各ターンテ
ーブル１１，１２は、一体となって上下方向に移動可能
に設けられるとともに、互いに独立して回転可能に設け
られている。同軸上の各ターンテーブル１１，１２を互
いに独立して回転させるためには、ターンテーブル１
１，１２ごとにモータ等の回転手段を設け、各ターンテ
ーブル１１，１２をそれぞれの回転手段で個別に駆動し
てもよいし、１つの回転手段を共通に用い、この回転手
段の回転を切り替え手段により必要に応じて切り替える
構成としてもよい。

【００１５】さらに、密閉容器１０の内部には、各ター
ンテーブル１１，１２上の被測定デバイス２０と電気的
に接続される測定治具として、２つのフィクスチャ１３
が、それぞれのターンテーブル１１，１２ごとに設けら
れている。各フィクスチャ１３は、従来のものと同様の
ものである。すなわち、密閉容器１０の外部の測定装置
（不図示）と電気的に接続されるとともに、上下方向及
び水平方向に移動可能に設けられたコンタクト部１４を
有し、コンタクト部１４をターンテーブル１１，１２上
の被測定デバイス２０の端子と接触させることで、被測
定デバイス２０の電気的特性が測定される。なお、上述
したように各ターンテーブル１１，１２は上下方向にも
移動される構成となっているので、ターンテーブル１
１，１２の移動によってフィクスチャ１３がターンテー
ブル１１，１２と干渉しないようにするために、フィク
スチャ１３は、ターンテーブル１１，１２の移動に伴っ
て上下方向に移動可能に設けられるか、あるいはターン
テーブル１１，１２に対して退避可能に設けられる。

【００１６】一方、密閉容器１０の外部には、被測定デ
バイス２０を密閉容器１０に搬入したり、密閉容器１０
から搬出するためのハンドラ１５が配置されている。ハ
ンドラ１５も、従来と同様のものであり、水平方向に移
動可能なアーム１６を有し、その先端部には、被測定デ
バイス２０を着脱自在に保持する保持手段１７が設けら
れている。被測定デバイス２０の搬入及び搬出は、密閉
容器１０の側壁に設けられた開口から行われるが、この
開口は、扉１０ａによって閉鎖可能となっている。被測
定デバイス２０の搬入時及び搬出時以外は扉１０ａは閉
じられており、密閉容器１０の内部は密閉されている。

【００１７】次に、図１に示したチャンバにより被測定
デバイス２０の温度特性を測定するときの動作について
説明する。

【００１８】まず、扉１０ａを開いた状態で、水晶発振
器等の複数の被測定デバイス２０が、ハンドラ１５によ
り各ターンテーブル１１，１２上に載置される。このと
き、初めに従来と同様にして上方のターンテーブル１１
上に被測定デバイス２０が所定の位置に載置され、その
後、各ターンテーブル１１，１２を上方に移動させて、
同様に下方のターンテーブル１２上に被測定デバイス２
０が所定の位置に載置される。各ターンテーブル１１，
１２上に被測定デバイス２０が載置されたら、各ターン
テーブル１１，１２が元の位置まで降下されるととも
に、密閉容器１０の扉１０ａが閉じられる。

【００１９】次いで、密閉容器１０の内部の温度が所定
の温度に制御される。密閉容器１０内の温度が所定の温
度に達したら、各ターンテーブル１１，１２上の被測定
デバイス２０の電気的特性が測定される。被測定デバイ
ス２０の電気的特性の測定は、従来と同様に、ターンテ
ーブル１１，１２の所定の角度での回転とフィクスチャ
１３の動作とを繰り返して行い、ターンテーブル１１，
１２が１回転した時点で全ての被測定デバイス２０の電
気的特性の測定が終了する。

【００２０】被測定デバイス２０の電気的特性の測定
は、初めに上方のターンテーブル１１上の全ての被測定
デバイス２０について行った後、下方のターンテーブル
１２上の全ての被測定デバイス２０について行ってもよ
いが、本実施形態では、上方のターンテーブル１１上の
被測定デバイス２０についての測定と、下方のターンテ
ーブル１２上の被測定デバイス２０についての測定を交
互に行っている。

【００２１】つまり、例えば上方のターンテーブル１１
上の被測定デバイス２０の電気的特性を測定している間
に、下方のターンテーブル１２を回転させてそのターン
テーブル１２上の被測定デバイス２０にフィクスチャ１
３のコンタクト部１４を接触させておき、下方のターン
テーブル１２上の被測定デバイス２０の電気的特性の測
定の準備をしておく。そして、上方のターンテーブル１
１上の被測定デバイス２０の電気的特性の測定が終了し
たら、直ちに下方のターンテーブル１２上の被測定デバ
イス２０の電気的特性の測定を開始する。下方のターン
テーブル１２上の被測定デバイス２０の電気的特性を測
定している間に、今度は、上方のターンテーブル１１上
の次の被測定デバイス２０の電気的特性の測定の準備を
行う。これにより、ターンテーブル１１，１２の回転及
びフィクスチャ１３の動作を待たずに被測定デバイス２
０の電気的特性を測定でき、より効率的な測定が達成さ
れる。各被測定デバイス２０の測定結果は、その位置情
報とともに密閉容器１０の外部の測定装置に保持され
る。

【００２２】全ての被測定デバイス２０について測定が
終了したら、気密容器１０内の温度を常温に戻す。な
お、他の温度環境での測定も行う場合には、気密容器１
０内の温度を常温に戻す前に、続けて他の温度に気密容
器１０を制御し、その温度での被測定デバイス２０の電
気的特性を測定した後、気密容器１０内の温度を常温に
戻す。

【００２３】その後、密閉容器１０の扉１０ａを開い
て、ハンドラ１５によって各ターンテーブル１１，１２
上の被測定デバイス２０を密閉容器１０から取り出し、
測定結果に基づいて被測定デバイス２０が分類される。
被測定デバイス２０を取り出すときも、初めに上方のタ
ーンテーブル１１上の被測定デバイス２０を取り出した
後、各ターンテーブル１１，１２を上方に移動させて、
下方のターンテーブル１２上の被測定デバイス２０を取
り出す。

【００２４】以上説明したように、本実施形態では密閉
容器１０内に２つのターンテーブル１１，１２を有する
ので、一度の処理で従来の２倍の数のデバイスの温度特
性を測定でき、より効率的な処理が可能となる。しか
も、各ターンテーブル１１，１２は上下に配置されてい
るので、設置面積は従来と同等である。

【００２５】上述した実施形態では、２つのターンテー
ブル１１，１２を有する構造としたが、３つ以上のター
ンテーブルを有する構造としてもよい。また、各ターン
テーブル１１，１２ごとにフィクスチャ１３を設けた例
を示したが、上方のターンテーブル１１上の被測定デバ
イス２０の測定と下方のターンテーブル１２上の被測定
デバイス２０の測定とは同時には行わないので、フィク
スチャ１３自体を上下方向に移動可能に設け、１つのフ
ィクスチャ１３で各ターンテーブル１１，１２上の被測
定デバイス２０を測定できるようにしてもよい。さら
に、各ターンテーブル１１，１２が上下方向に移動して
被測定デバイス２０が載置または取り外される構成とし
ているが、必ずしもその必要はなく、ハンドラ１５のア
ーム１６を上下方向にも移動可能に設け、ターンテーブ
ル１１，１２の上下方向の移動の代りにアーム１６を上
下方向に移動させてもよい。ただし、上下方向にも移動
可能なアーム１６を有するハンドラ１５を用いること
は、新たなハンドラ１５の設計が必要となり、しかも、
アーム１６の位置決め精度が低下するおそれがあるの
で、ターンテーブル１１，１２を上下に移動させる構成
とした方が好ましい。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、密閉容器
内に、上下方向に間隔をおいて配置されてそれぞれ電子
デバイスが載置されるターンテーブルと、各ターンテー
ブル上の電気的特性を測定するための測定治具とを配置
することで、従来と同等の設置面積しか必要としないな
がらも、一度の処理でより多数の電子デバイスの温度特
性を測定することができる。

【００２７】また、各ターンテーブルを上下方向に移動
可能に設けることで、各ターンテーブルに電子デバイス
を載置するのに使用されるハンドラは、従来のものをそ
のまま使用することができる。さらに、各ターンテーブ
ルを互いに独立して回転する構成とすることで、１つの
ターンテーブル上の電子デバイスの温度特性を測定して
いる間に他のターンテーブル上の電子デバイスの温度特
性の準備を行うことができるようになり、電子デバイス
の温度特性をより効率的に測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の温度特性測定用チャンバの概略構造を
示す図である。

【図２】従来の温度特性測定用チャンバの概略構造を示
す図である。

【符号の説明】

１０ 密閉容器 １０ａ 扉 １１，１２ ターンテーブル １３ フィクスチャ １４ コンタクト部 １５ ハンドラ １６ アーム １７ 保持手段 ２０ 被測定デバイス

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 温度制御可能な気密容器と、 前記気密容器内に上下方向に間隔をおいて配置され、そ
   れぞれ上面に複数の電子デバイスが載置される複数のタ
   ーンテーブルと、 前記気密容器内に配置され、前記各ターンテーブルに載
   置された電子デバイスと電気的に接続するように移動可
   能に設けられた測定治具とを有することを特徴とする電
   子デバイスの温度特性測定用チャンバ。
2. 【請求項２】 前記各ターンテーブルは、上下方向に移
   動可能に設けられている請求項１に記載の電子デバイス
   の温度特性測定用チャンバ。
3. 【請求項３】 前記各ターンテーブルは、互いに独立し
   て回転される請求項１または２に記載の電子デバイスの
   温度特性測定用チャンバ。