JPH09292469A - 放射線検出器アレイの製造方法 - Google Patents
放射線検出器アレイの製造方法Info
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- JPH09292469A JPH09292469A JP8105835A JP10583596A JPH09292469A JP H09292469 A JPH09292469 A JP H09292469A JP 8105835 A JP8105835 A JP 8105835A JP 10583596 A JP10583596 A JP 10583596A JP H09292469 A JPH09292469 A JP H09292469A
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- scintillator
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 放射線検出器アレイを製造する場合に、検出
器アレイの各チャネル間の間隔を容易に制御でき、配列
精度を向上させることができるとともにシンチレータ結
晶を無駄なく使用することができるようにする。 【解決手段】 直方体状のシンチレータ結晶１をフィル
ム３の上に光学接着剤２で接着し、シンチレータ結晶１
を所定の幅に切削して溝４を形成する。このようにして
所定ピッチに完全に分割されたシンチレータ素子１Ａが
形成される。遮蔽材と反射材を、溝４に挿入し固着し、
シンチレータ結晶１の上にフォトダイオードアレイ５を
光学接着剤６を介して固着する。
器アレイの各チャネル間の間隔を容易に制御でき、配列
精度を向上させることができるとともにシンチレータ結
晶を無駄なく使用することができるようにする。 【解決手段】 直方体状のシンチレータ結晶１をフィル
ム３の上に光学接着剤２で接着し、シンチレータ結晶１
を所定の幅に切削して溝４を形成する。このようにして
所定ピッチに完全に分割されたシンチレータ素子１Ａが
形成される。遮蔽材と反射材を、溝４に挿入し固着し、
シンチレータ結晶１の上にフォトダイオードアレイ５を
光学接着剤６を介して固着する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線撮影装置等
に使用される放射線検出器アレイの製造方法に関する。
に使用される放射線検出器アレイの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、Ｘ線断層撮影装置では、被検体
の体軸を中心にして、被検体の周囲を回動するＸ線管
と、被検体を透過したＸ線を検出する検出器とを少なく
とも具備し、被検体の体軸を中心として所定の角度ずつ
Ｘ線管を回動しながらＸ線を被検体に爆射し、被検体を
透過するＸ線を検出した検出器から出力されるデータを
基に画像再構成処理を行って、断層像を得るようにして
いる。
の体軸を中心にして、被検体の周囲を回動するＸ線管
と、被検体を透過したＸ線を検出する検出器とを少なく
とも具備し、被検体の体軸を中心として所定の角度ずつ
Ｘ線管を回動しながらＸ線を被検体に爆射し、被検体を
透過するＸ線を検出した検出器から出力されるデータを
基に画像再構成処理を行って、断層像を得るようにして
いる。
【０００３】この種の装置では正確な医学的判断を可能
にするために高品質画像が要求されるが、そのためには
検出器の性能向上がきわめて重要となっている。
にするために高品質画像が要求されるが、そのためには
検出器の性能向上がきわめて重要となっている。
【０００４】従来、放射線検出器アレイは図６のように
構成されている。シンチレータ素子４１と、シンチレー
タ素子４１下面に光透過性の良い接着剤４２を介して接
着されたフォトダイオード等の光電変換素子４３からな
る放射線検出器を遮蔽板４５を介して多数配列して、放
射線検出器アレイを形成している。
構成されている。シンチレータ素子４１と、シンチレー
タ素子４１下面に光透過性の良い接着剤４２を介して接
着されたフォトダイオード等の光電変換素子４３からな
る放射線検出器を遮蔽板４５を介して多数配列して、放
射線検出器アレイを形成している。
【０００５】放射線がシンチレータ素子４１の上面に入
射すると、シンチレータ素子４１内で、放射線が光に変
換され、その発光は光電変換素子４３で検知され、電気
信号に変換されて、入射放射線量に比例した信号が取り
出される。
射すると、シンチレータ素子４１内で、放射線が光に変
換され、その発光は光電変換素子４３で検知され、電気
信号に変換されて、入射放射線量に比例した信号が取り
出される。
【０００６】このような放射線検出器アレイを構成する
ために、直方体状のシンチレータ結晶から各シンチレー
タ素子４１に切り出した後、光電変換素子４３を接着剤
４２で接着し、次いで遮蔽板４５を挿入するようにして
支持部材４４上に各放射線検出器を精密に配列していく
のであるが、この過程で各シンチレータ素子を同一寸法
に形成するのが困難であるとともに、各放射線検出器を
精密に配列するのが容易ではなく、組み立て精度に狂い
があった。
ために、直方体状のシンチレータ結晶から各シンチレー
タ素子４１に切り出した後、光電変換素子４３を接着剤
４２で接着し、次いで遮蔽板４５を挿入するようにして
支持部材４４上に各放射線検出器を精密に配列していく
のであるが、この過程で各シンチレータ素子を同一寸法
に形成するのが困難であるとともに、各放射線検出器を
精密に配列するのが容易ではなく、組み立て精度に狂い
があった。
【０００７】そこで、各シンチレータ素子を同一寸法に
容易に形成し、作業性及び配列精度の向上を図るため
に、図７に示すような放射線検出器アレイが考えられて
いる。直方体状のシンチレータ結晶５１の一部を繋げた
ままの状態で残すように切削して、等間隔で複数の溝５
２を形成し、シンチレータ素子５１Ａを形成する。次
に、接着剤５３を介して光電変換部５４を接着し、溝５
２に遮蔽板を挿入固着する。
容易に形成し、作業性及び配列精度の向上を図るため
に、図７に示すような放射線検出器アレイが考えられて
いる。直方体状のシンチレータ結晶５１の一部を繋げた
ままの状態で残すように切削して、等間隔で複数の溝５
２を形成し、シンチレータ素子５１Ａを形成する。次
に、接着剤５３を介して光電変換部５４を接着し、溝５
２に遮蔽板を挿入固着する。
【０００８】このようにして構成される放射線検出器ア
レイは最初の溝５２の形成によりシンチレータ素子の寸
法が決定され、シンチレータ結晶５１の一部を繋げたま
まの状態で組み立て作業が進行するので、作業性や配列
精度は向上する。
レイは最初の溝５２の形成によりシンチレータ素子の寸
法が決定され、シンチレータ結晶５１の一部を繋げたま
まの状態で組み立て作業が進行するので、作業性や配列
精度は向上する。
【０００９】この放射線検出器アレイはこのまま使用さ
れるか、または、シンチレータ結晶の連結した部分を切
り落としたり、研磨により取り除いたり、その部分に反
射剤をコーティングする方法が考えられている。
れるか、または、シンチレータ結晶の連結した部分を切
り落としたり、研磨により取り除いたり、その部分に反
射剤をコーティングする方法が考えられている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図７の検出器
アレイでは、図６の方法より、検出器組み立ての作業性
及び配列精度を向上させることができるものの、シンチ
レータ結晶の一部を連結したままであると、シンチレー
タ素子間でクロストークを起こし、性能が劣化する。
アレイでは、図６の方法より、検出器組み立ての作業性
及び配列精度を向上させることができるものの、シンチ
レータ結晶の一部を連結したままであると、シンチレー
タ素子間でクロストークを起こし、性能が劣化する。
【００１１】また、クロストークを防止するため、シン
チレータ結晶の連結した部分を切り落としたり、研磨に
より取り除いたり、その部分に反射剤をコーティングす
る方法では、取り除かれた部分やコーティングされた部
分は検出器としての役割を果たさないので、非常な無駄
が発生していた。
チレータ結晶の連結した部分を切り落としたり、研磨に
より取り除いたり、その部分に反射剤をコーティングす
る方法では、取り除かれた部分やコーティングされた部
分は検出器としての役割を果たさないので、非常な無駄
が発生していた。
【００１２】本発明は、上記課題を解決するために創案
されたもので、検出器アレイの各チャネル間の間隔を容
易に制御でき、配列精度を向上させることができるとと
もにシンチレータ結晶を無駄なく使用することができる
放射線検出器アレイの製造方法を提供することを目的と
する。
されたもので、検出器アレイの各チャネル間の間隔を容
易に制御でき、配列精度を向上させることができるとと
もにシンチレータ結晶を無駄なく使用することができる
放射線検出器アレイの製造方法を提供することを目的と
する。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の放射線検出器アレイの製造方法は、アレイ
状に配列され、放射線により発光する蛍光体素子と、蛍
光体素子による蛍光を検出する光電変換素子とを備えた
検出器アレイを製造する場合に、放射線透過性のフィル
ム上にブロック状の蛍光体を固着した後、前記ブロック
状の蛍光体に平行に多数の溝を切削してアレイ状に分割
された蛍光体素子列を形成し、その後前記フィルムと反
対側の各蛍光体素子列の面に光電変換素子を接着固定す
ることを特徴とする。
に、本発明の放射線検出器アレイの製造方法は、アレイ
状に配列され、放射線により発光する蛍光体素子と、蛍
光体素子による蛍光を検出する光電変換素子とを備えた
検出器アレイを製造する場合に、放射線透過性のフィル
ム上にブロック状の蛍光体を固着した後、前記ブロック
状の蛍光体に平行に多数の溝を切削してアレイ状に分割
された蛍光体素子列を形成し、その後前記フィルムと反
対側の各蛍光体素子列の面に光電変換素子を接着固定す
ることを特徴とする。
【００１４】また、前記フィルムのシンチレータとの接
合側面が、白色、またはアルミ蒸着などにより鏡面状に
形成されていることを特徴とする。
合側面が、白色、またはアルミ蒸着などにより鏡面状に
形成されていることを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を、以下、図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１６】図１は本発明による放射線検出器アレイの
製造方法を、図２は完成後の放射線検出器アレイの断面
詳細図を示している。
製造方法を、図２は完成後の放射線検出器アレイの断面
詳細図を示している。
【００１７】１は入射放射線を光に変換する蛍光体とし
てのブロック状のシンチレータ結晶、２及び６は放射線
や光の透過性をもつ光学接着剤、３は支持材としての機
能を有し、プラスチック、例えばポリエステルからなる
放射線透過性のフィルム、４は切削された溝、５はシン
チレータ結晶１での蛍光を電気信号に変換する光電変換
素子としてのフォトダイオードアレイ、７は遮蔽材、８
は反射材である。
てのブロック状のシンチレータ結晶、２及び６は放射線
や光の透過性をもつ光学接着剤、３は支持材としての機
能を有し、プラスチック、例えばポリエステルからなる
放射線透過性のフィルム、４は切削された溝、５はシン
チレータ結晶１での蛍光を電気信号に変換する光電変換
素子としてのフォトダイオードアレイ、７は遮蔽材、８
は反射材である。
【００１８】まず、（ａ）のように、直方体状のシンチ
レータ結晶１をフィルム３の上に光学接着剤２で接着す
る。
レータ結晶１をフィルム３の上に光学接着剤２で接着す
る。
【００１９】次に、（ｂ）のようにマルチワイヤソーや
ダイアモンドカッター等で、シンチレータ結晶１に平行
に多数の溝４を切削して所定形状の各シンチレータ素子
１Ａを形成する。このとき、切削加工する溝４はシンチ
レータ結晶１の下端または光学接着剤２の深さまでで、
それ以上は切り込みをいれないようにする。このように
して所定ピッチでアレイ状に完全に分割されたシンチレ
ータ素子列が形成される。
ダイアモンドカッター等で、シンチレータ結晶１に平行
に多数の溝４を切削して所定形状の各シンチレータ素子
１Ａを形成する。このとき、切削加工する溝４はシンチ
レータ結晶１の下端または光学接着剤２の深さまでで、
それ以上は切り込みをいれないようにする。このように
して所定ピッチでアレイ状に完全に分割されたシンチレ
ータ素子列が形成される。
【００２０】ここで、遮蔽材７を中心として反射材８で
その両側を挟み込むような形にして、溝４に挿入し固着
する そして、（ｃ）に示すようにシンチレータ結晶１の上
に、さらにフォトダイオードアレイ５を光学接着剤６を
介して接着固定すれば放射線検出器アレイが完成する。
その両側を挟み込むような形にして、溝４に挿入し固着
する そして、（ｃ）に示すようにシンチレータ結晶１の上
に、さらにフォトダイオードアレイ５を光学接着剤６を
介して接着固定すれば放射線検出器アレイが完成する。
【００２１】図２の断面詳細図からもわかるように、シ
ンチレータ結晶１は各チャネルに完全に分離され、各シ
ンチレータ素子１Ａの間には遮蔽材７と反射材８が挿入
されているので、シンチレータ素子１Ａ内で発光した光
が隣接するシンチレータ素子に入射するのを防ぐことが
でき、クロストークを防止できる。
ンチレータ結晶１は各チャネルに完全に分離され、各シ
ンチレータ素子１Ａの間には遮蔽材７と反射材８が挿入
されているので、シンチレータ素子１Ａ内で発光した光
が隣接するシンチレータ素子に入射するのを防ぐことが
でき、クロストークを防止できる。
【００２２】上述の実施例では、図１（ｂ）において溝
４を形成する場合には、シンチレータ結晶１下端または
光学接着剤２の深さまでとしているが、図３に示すよう
にフィルム３の所定の深さまで切削して、その分深く遮
蔽材７と反射材８を挿入するようにし、シンチレータ素
子の深さ方向の長さよりも長くしても良い。
４を形成する場合には、シンチレータ結晶１下端または
光学接着剤２の深さまでとしているが、図３に示すよう
にフィルム３の所定の深さまで切削して、その分深く遮
蔽材７と反射材８を挿入するようにし、シンチレータ素
子の深さ方向の長さよりも長くしても良い。
【００２３】このようにすれば、光学接着剤２を通る光
のクロストークとフィルム３を通る光のクロストークの
大部分を防ぐことができ、分解能を向上させることがで
きる。
のクロストークとフィルム３を通る光のクロストークの
大部分を防ぐことができ、分解能を向上させることがで
きる。
【００２４】図４は他の実施例を示す。
【００２５】２１は入射放射線を光に変換する蛍光体と
してのブロック状のシンチレータ結晶、２２、２４、２
８は放射線や光の透過性をもつ光学接着剤、２３は白色
マイラーフィルム（マイラーに酸化チタンの顔料を含ん
だもの）等の反射膜、２５は支持材としての機能を有
し、例えば、０．２ｍｍ厚程度のポリエステルからなる
放射線透過性のフィルム、２６は切削された溝、２７は
遮蔽材、反射材としての反射フィルム、２９はシンチレ
ータ結晶２１での蛍光を電気信号に変換する光電変換素
子としてのフォトダイオードアレイである。
してのブロック状のシンチレータ結晶、２２、２４、２
８は放射線や光の透過性をもつ光学接着剤、２３は白色
マイラーフィルム（マイラーに酸化チタンの顔料を含ん
だもの）等の反射膜、２５は支持材としての機能を有
し、例えば、０．２ｍｍ厚程度のポリエステルからなる
放射線透過性のフィルム、２６は切削された溝、２７は
遮蔽材、反射材としての反射フィルム、２９はシンチレ
ータ結晶２１での蛍光を電気信号に変換する光電変換素
子としてのフォトダイオードアレイである。
【００２６】まず、（ａ）のように、直方体状のシンチ
レータ結晶２１を反射膜２３上に光学接着剤で接着し、
さらにこれらをフィルム２５の上に光学接着剤２４で接
着する。 次に、（ｂ）のようにマルチワイヤソーやダ
イアモンドカッター等で、シンチレータ結晶２１に平行
に多数の溝２６を切削して所定形状の各シンチレータ素
子２１Ａを形成する。このとき、切削加工する溝２６は
シンチレータ結晶２１の下端または光学接着剤２２の深
さまでで、それ以上は切り込みをいれないようにする。
このようにして所定ピッチでアレイ状に完全に分割され
たシンチレータ素子列が形成される。
レータ結晶２１を反射膜２３上に光学接着剤で接着し、
さらにこれらをフィルム２５の上に光学接着剤２４で接
着する。 次に、（ｂ）のようにマルチワイヤソーやダ
イアモンドカッター等で、シンチレータ結晶２１に平行
に多数の溝２６を切削して所定形状の各シンチレータ素
子２１Ａを形成する。このとき、切削加工する溝２６は
シンチレータ結晶２１の下端または光学接着剤２２の深
さまでで、それ以上は切り込みをいれないようにする。
このようにして所定ピッチでアレイ状に完全に分割され
たシンチレータ素子列が形成される。
【００２７】そして、（ｃ）に示すように反射フィルム
２７を各溝２６に挿入し固着する。最後に、（ｄ）に示
すようにシンチレータ結晶２１の上に、さらにフォトダ
イオードアレイ２９を光学接着剤２８を介して接着固定
すれば放射線検出器アレイが完成する。
２７を各溝２６に挿入し固着する。最後に、（ｄ）に示
すようにシンチレータ結晶２１の上に、さらにフォトダ
イオードアレイ２９を光学接着剤２８を介して接着固定
すれば放射線検出器アレイが完成する。
【００２８】このようにすれば、放射線の入射によりシ
ンチレータ素子２１Ａで発光した光が反射膜２３の存在
によってフィルム２５の方へ漏れるのを防ぎ、フォトダ
イオードアレイ２９へ取り込むことができるので、感度
が向上する。
ンチレータ素子２１Ａで発光した光が反射膜２３の存在
によってフィルム２５の方へ漏れるのを防ぎ、フォトダ
イオードアレイ２９へ取り込むことができるので、感度
が向上する。
【００２９】また、反射膜２３は光の遮蔽効果を上げる
ためアルミ泊や蒸着膜等を形成するのが望ましい。
ためアルミ泊や蒸着膜等を形成するのが望ましい。
【００３０】上記の実施例では、図４（ｂ）において溝
２６を形成する場合には、シンチレータ結晶２１下端ま
たは光学接着剤２２の深さまでとしているが、前記図３
と同様、図５に示すようにフィルム３の所定の深さまで
切削して、その分深く反射フィルム２７を挿入するよう
にし、シンチレータ素子の深さ方向の長さよりも長くし
ても良い。このようにすれば、隣接するシンチレータ素
子間のクロストークが減少し、分解能が向上する。
２６を形成する場合には、シンチレータ結晶２１下端ま
たは光学接着剤２２の深さまでとしているが、前記図３
と同様、図５に示すようにフィルム３の所定の深さまで
切削して、その分深く反射フィルム２７を挿入するよう
にし、シンチレータ素子の深さ方向の長さよりも長くし
ても良い。このようにすれば、隣接するシンチレータ素
子間のクロストークが減少し、分解能が向上する。
【００３１】なお、上記各実施例における放射線透過性
のフィルムとしては、他にトリアセテート、ポリカーボ
ネート等であっても良い。また、ここで用いるフィルム
のシンチレータとの接合側面を白色、またはアルミ蒸着
などにより鏡面状に形成することで、シンチレータから
の光の透過が抑制され、より効率よく放射線の検出を行
うことが可能となる。
のフィルムとしては、他にトリアセテート、ポリカーボ
ネート等であっても良い。また、ここで用いるフィルム
のシンチレータとの接合側面を白色、またはアルミ蒸着
などにより鏡面状に形成することで、シンチレータから
の光の透過が抑制され、より効率よく放射線の検出を行
うことが可能となる。
【００３２】以上のように、放射線入射方向に配置する
放射線透過性のフィルムをダミーとしてこの上にシンチ
レータ結晶を固着し、フィルム自体は分断せずに、シン
チレータ結晶を所定の形状のシンチレータ素子に完全に
分離するようにしているので、このフィルムが各シンチ
レータ素子の連結材の役割を果たし、各シンチレータ素
子の配列を乱さないので、検出器アレイの各チャネル間
の間隔を容易に制御でき、配列精度を向上させるととも
に、従来のようにシンチレータ結晶の一部を取り除いた
りする必要がなくシンチレータ結晶を無駄なく使用する
ことができる。
放射線透過性のフィルムをダミーとしてこの上にシンチ
レータ結晶を固着し、フィルム自体は分断せずに、シン
チレータ結晶を所定の形状のシンチレータ素子に完全に
分離するようにしているので、このフィルムが各シンチ
レータ素子の連結材の役割を果たし、各シンチレータ素
子の配列を乱さないので、検出器アレイの各チャネル間
の間隔を容易に制御でき、配列精度を向上させるととも
に、従来のようにシンチレータ結晶の一部を取り除いた
りする必要がなくシンチレータ結晶を無駄なく使用する
ことができる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の放射線検
出器アレイの製造方法によれば、放射線入射方向に配置
する放射線透過性のフィルムにブロック状の蛍光体を放
射線入射方向とは反対の面に固着した後、前記蛍光体結
晶を所定形状の蛍光体素子に分離するようにしているの
で、各チャネル間の間隔を容易に制御でき、配列精度を
向上させることができるとともに、蛍光体結晶を無駄な
く使用することができる。
出器アレイの製造方法によれば、放射線入射方向に配置
する放射線透過性のフィルムにブロック状の蛍光体を放
射線入射方向とは反対の面に固着した後、前記蛍光体結
晶を所定形状の蛍光体素子に分離するようにしているの
で、各チャネル間の間隔を容易に制御でき、配列精度を
向上させることができるとともに、蛍光体結晶を無駄な
く使用することができる。
【図１】本発明の一実施例の放射線検出器アレイの製造
方法を示す図である。
方法を示す図である。
【図２】本発明による放射線検出器アレイの断面を示す
図である。
図である。
【図３】本発明による放射線検出器アレイの他の構成方
法を示す図である。
法を示す図である。
【図４】本発明の他の実施例の放射線検出器アレイの製
造方法を示す図である。
造方法を示す図である。
【図５】図４に示す放射線検出器アレイの他の構成方法
を示す図である。
を示す図である。
【図６】従来の放射線検出器アレイを示す図である。
【図７】従来の放射線検出器アレイを示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 澤田 良一 京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会 社島津製作所三条工場内
Claims (2)
- 【請求項１】 アレイ状に配列され放射線により発光す
る蛍光体素子と、蛍光体素子による蛍光を検出する光電
変換素子とを備えた検出器アレイの製造方法において、 放射線透過性のフィルム上にブロック状の蛍光体を固着
した後、前記ブロック状の蛍光体に平行に多数の溝を切
削してアレイ状に分割された蛍光体素子列を形成し、そ
の後前記フィルムと反対側の各蛍光体素子列の面に光電
変換素子を接着固定することを特徴とする放射線検出器
アレイの製造方法。 - 【請求項２】 放射線透過性のフィルムとブロック状の
蛍光体との間に反射膜を形成することを特徴とする請求
項１記載の放射線検出器アレイの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10583596A JP3704799B2 (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 放射線検出器アレイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10583596A JP3704799B2 (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 放射線検出器アレイの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09292469A true JPH09292469A (ja) | 1997-11-11 |
| JP3704799B2 JP3704799B2 (ja) | 2005-10-12 |
Family
ID=14418102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10583596A Expired - Fee Related JP3704799B2 (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 放射線検出器アレイの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3704799B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002311142A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Toshiba Corp | Ｘ線固体検出器の製造方法およびｘ線ｃｔ装置 |
| US7138638B2 (en) | 2003-11-20 | 2006-11-21 | Juni Jack E | Edge effects treatment for crystals |
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