JPH09292502A - Flat type micro lens - Google Patents

Flat type micro lens

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JPH09292502A
JPH09292502A JP10217496A JP10217496A JPH09292502A JP H09292502 A JPH09292502 A JP H09292502A JP 10217496 A JP10217496 A JP 10217496A JP 10217496 A JP10217496 A JP 10217496A JP H09292502 A JPH09292502 A JP H09292502A
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JP
Japan
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flat plate
resin material
transparent resin
plate type
refractive index
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Application number
JP10217496A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsunori Matsuda
厚範 松田
Satoshi Taniguchi
敏 谷口
Kenjiro Hamanaka
賢二郎 浜中
Kenji Morio
健二 森尾
Daisuke Arai
大介 新井
Takashi Kishimoto
隆 岸本
Kenichi Nakama
健一 仲間
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a high numerical aperture by using a transparent resin material having thiol or sulfide bonds to fill recesses on the substrate surface. SOLUTION: Plural recessed parts 7 having the shape of almost a part of sphere or cylinder are arranged in one dimension or two dimensions on the surface of a substrate 6 consisting of a quartz glass or low expansion crystalline glass. These recessed parts 7 are filled with a transparent resin material 8 having a refractive index higher than that of the substrate so that the inside of the recessed parts 7 acts as a convex lens or a lenticular lens. The transparent resin material has thiol (R-S-H) or sulfide bonds (R-S-R'), wherein R, and R' are hydrocarbon groups. The hydrocarbon groups are preferably phenyl groups. As for the high refractive index resin 8, the mixture of polyisocyanate and polythiol (having 1.660 refractive index after hardened) can be used.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は液晶表示素子等に利
用する平板型マイクロレンズに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat plate type microlens used for a liquid crystal display device or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】プロジェクタテレビジョン(PTV)に
液晶表示素子が用いられている。この液晶表示素子は2
枚のガラス板間に形成した隙間に液晶を注入し、また各
ガラス板の液晶と接する面には各画素に対応して、アモ
ルファスシリコンやポリシリコンからなるTFT(薄膜
トランジスタ)を形成している。そして、透過型の液晶
表示素子を用いたPTVでは、液晶表示素子にキセノン
ランプやメタルハライドランプ等から照射光を当て、液
晶表示素子の画素開口部を介して出射側に透過させ、液
晶表示素子に形成された画像を投影レンズを介してスク
リーンに投影するようにしている。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display device is used in a projector television (PTV). This liquid crystal display element is 2
Liquid crystal is injected into a gap formed between the glass plates, and a TFT (thin film transistor) made of amorphous silicon or polysilicon is formed on a surface of each glass plate in contact with the liquid crystal, corresponding to each pixel. In a PTV using a transmissive liquid crystal display element, irradiation light is applied to the liquid crystal display element from a xenon lamp, a metal halide lamp, or the like, and is transmitted to an emission side through a pixel opening of the liquid crystal display element. The formed image is projected on a screen via a projection lens.

【0003】上記の照射光を画素開口部に集光して液晶
表示素子を透過する照射光の割合を高め上記の投影画像
を明るくするために、液晶表示素子を構成する2枚のガ
ラス基板のうちの照射光が入射する側のガラス基板に平
板型マイクロレンズを接合し、照射光を画素開口部に集
光せしめるようにした技術が特開平3−214101号
公報等に提案されている。
[0003] In order to increase the ratio of the irradiating light transmitted through the liquid crystal display element by condensing the irradiating light to the pixel opening and to make the projected image brighter, two glass substrates constituting the liquid crystal display element are used. Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-214101 proposes a technique in which a flat microlens is joined to a glass substrate on the side on which the irradiation light is incident so that the irradiation light is condensed on a pixel opening.

【0004】斯かる平板型マイクロレンズの製造方法と
して、HF(フッ化水素)系のエッチャントを用いた方
法が知られている。この方法は、ガラス基板に微小穴を
形成したマスクを重ね、この状態でガラス基板をエッチ
ャント液中に浸漬し、微小穴からエッチャントによって
等方性エッチングを行い、ガラス基板に半球状凹部を形
成し、次いで、マスクを除いて、該凹部に高屈折率樹脂
を充填する方法である。
As a method of manufacturing such a flat plate type microlens, a method using an HF (hydrogen fluoride) type etchant is known. In this method, a mask having fine holes formed on a glass substrate is overlapped, and the glass substrate is immersed in an etchant liquid in this state, and isotropically etched with the etchant from the fine holes to form a hemispherical concave portion on the glass substrate. Then, except for the mask, the concave portion is filled with a high refractive index resin.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、平板
型マイクロレンズは液晶表示素子の一部或いは液晶表示
素子と組み合わせて使用されることが多い。そして、液
晶表示素子はTFT等が構成要素として組み込まれ、こ
のTFTと比較して大幅に熱膨張差があると、液晶表示
素子自体の機能に不具合が生じる。具体的な数値を示す
と、TFTにはα−SiTFT、低温polySiTFT、高
温polySiTFTがあるが、α−SiTFTに適するガラ
ス基板の熱膨張係数は45×10-7/℃程度であり、低
温polySiTFTに適するガラス基板の熱膨張係数は3
5×10-7/℃程度であり、高温polySiTFTに適す
るガラス基板の熱膨張係数は6×10-7/℃程度であ
る。
As described above, the flat plate type microlens is often used as a part of the liquid crystal display device or in combination with the liquid crystal display device. Then, the liquid crystal display element has a TFT or the like incorporated therein as a constituent element, and if there is a large difference in thermal expansion as compared with this TFT, the function of the liquid crystal display element itself becomes defective. To show specific numerical values, there are α-SiTFT, low-temperature polySiTFT, and high-temperature polySiTFT as the TFT. However, the glass substrate suitable for α-SiTFT has a thermal expansion coefficient of about 45 × 10 -7 / ° C, which is low temperature polySiTFT. The coefficient of thermal expansion of a suitable glass substrate is 3
5 × a 10 -7 / ° C. approximately, the thermal expansion coefficient of the glass substrate suitable for high temperature polySiTFT is about 6 × 10 -7 / ℃.

【0006】特に高温polySiTFTに適するガラス基
板としては、一般に石英ガラス(膨張係数α=6×10
-7/℃)が用いられる。石英ガラス基板を用いたマイク
ロレンズの開口数(NA)は石英ガラスの屈折率1.4
6と高屈折率透明樹脂材料の屈折率nとの差(n−1.
46)に比例して大きくなる。マイクロレンズを用いて
照明光を液晶開口窓に有効に集光し、透過光量を増大
し、以って液晶表示素子の明るさを向上するためにはマ
イクロレンズの開口数(NA)を大きくすることが必須
となる。
As a glass substrate particularly suitable for high temperature polySiTFT, quartz glass (expansion coefficient α = 6 × 10) is generally used.
-7 / ° C) is used. The numerical aperture (NA) of a microlens using a quartz glass substrate has a refractive index of 1.4 for quartz glass.
6 and the refractive index n of the high refractive index transparent resin material (n-1.
46). The numerical aperture (NA) of the microlens is increased in order to effectively collect the illumination light on the liquid crystal aperture window by using the microlens and increase the amount of transmitted light, thereby improving the brightness of the liquid crystal display element. Is essential.

【0007】また、最近高価な石英ガラス基板に替えて
比較的安価な低膨張結晶化ガラス基板(膨張係数α〜
0)が高温polySiTFT用基板として用いられるよう
になった。低膨張結晶化ガラス基板としては、日本電気
ガラス(株)社製のネオセラム(登録商標)(66SiO2
・22Al2O3・4LiO2・2ZrO2・2TiO2)が知られてい
る。この結晶化ガラスは、膨張係数は小さいものの、屈
折率が高い(〜1.54)ので、マイクロレンズの高N
Aを実現するためには、更に屈折率の高い樹脂を充填し
なければならない。
Further, a relatively inexpensive low-expansion crystallized glass substrate (expansion coefficient α ~
0) has come to be used as a substrate for high temperature polySiTFT. As the low expansion crystallized glass substrate, Neoceram (registered trademark) (66SiO 2 ) manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. is used.
.22Al 2 O 3 .4LiO 2 .2ZrO 2 .2TiO 2 ) is known. Although this crystallized glass has a small expansion coefficient, it has a high refractive index (up to 1.54), and therefore has a high N of the microlens.
In order to realize A, a resin having a higher refractive index must be filled.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、石英ガラスまたは低膨張結晶化ガラスからな
る基板表面にその形状が略球面の一部または略円柱の一
部をなす複数の凹部が1次元または2次元状に配列さ
れ、これら凹部に基板よりも屈折率の高い透明樹脂材料
を充填するは或いは該凹部に基板よりも屈折率の高い透
明樹脂材料を充填した面にカバーガラスを設けること
で、前記凹部内を凸レンズまたはレンチキュラーレンズ
とした平板型マイクロレンズにおいて、前記透明樹脂材
料として、チオール(R−S−H)またはスルフィド結
合(R−S−R’)を有するものとした。
In order to solve the above problems, according to the present invention, a plurality of substrates each of which has a substantially spherical surface or a substantially cylindrical shape is formed on the surface of a substrate made of quartz glass or low expansion crystallized glass. The recesses are arranged one-dimensionally or two-dimensionally, and these recesses are filled with a transparent resin material having a refractive index higher than that of the substrate, or the surface where the recesses are filled with a transparent resin material having a refractive index higher than that of the substrate is covered glass. In the flat plate type microlens in which the concave portion is a convex lens or a lenticular lens, the transparent resin material has a thiol (R—S—H) or a sulfide bond (R—S—R ′). did.

【0009】高屈折率樹脂を構成する炭化水素としては
フェニル基、アルキレン、ポリメチレン等があり、また
高屈折率樹脂はイソシアネート基、アクリロイル基やメ
タクリロイル基を含むものが適当である。
Hydrocarbons constituting the high refractive index resin include phenyl group, alkylene, polymethylene and the like, and high refractive index resin containing isocyanate group, acryloyl group and methacryloyl group is suitable.

【0010】高屈折率樹脂の具体例としては、ポリイソ
シアネートとポリチオールとの混合物(硬化後の屈折率
=1.660)の他、以下の(化3)〜(化10)で示
す構造式のモノマーを出発原料とする重合体が挙げられ
る。
Specific examples of the high-refractive-index resin include a mixture of polyisocyanate and polythiol (refractive index after curing = 1.660) and structural formulas shown in the following (Chemical formula 3) to (Chemical formula 10). A polymer having a monomer as a starting material can be used.

【0011】[0011]

【化3】 Embedded image

【0012】[0012]

【化4】 Embedded image

【0013】[0013]

【化5】 Embedded image

【0014】[0014]

【化6】 [Chemical 6]

【0015】[0015]

【化7】 Embedded image

【0016】[0016]

【化8】 Embedded image

【0017】[0017]

【化9】 Embedded image

【0018】[0018]

【化10】 Embedded image

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図1は本発明に係る
ガラス基板を用いた平板型マイクロレンズを組み込んだ
液晶表示素子の断面図、図2は同平板型マイクロレンズ
の平面図、図3は同平板型マイクロレンズの要部拡大断
面図で、このうち(a)は基板の一面に高屈折率樹脂が
露出したタイプのものを、(b)は2枚の基板の間に高
屈折率樹脂を挟み込んだものを示す。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. Here, FIG. 1 is a sectional view of a liquid crystal display device incorporating a flat plate type microlens using a glass substrate according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of the flat plate type microlens, and FIG. 3 is a plan view of the flat plate type microlens. FIG. 2A is an enlarged cross-sectional view of a main part, in which FIG. 1A shows a type in which a high refractive index resin is exposed on one surface of a substrate, and FIG. 2B shows a type in which a high refractive index resin is sandwiched between two substrates. .

【0020】液晶表示素子1は一対のガラス基板2,3
の間に液晶4が注入・充填され、照射光が入射する側の
ガラス基板2の液晶4と接する側の表面には対向電極2
aが、またガラス基板3の液晶4と接する側の表面には
TFT3aがそれぞれ形成されている。
The liquid crystal display element 1 comprises a pair of glass substrates 2 and 3
The liquid crystal 4 is injected and filled between the glass substrate 2 and the counter electrode 2
The TFT 3a is formed on the surface of the glass substrate 3 on the side in contact with the liquid crystal 4.

【0021】そして、ガラス基板2には平板型マイクロ
レンズ5が接合され、この平板型マイクロレンズ5は本
発明の組成からなるガラス基板6に、HFをエッチャン
トとした湿式エッチングによって半球状の凹部7が画素
に対応して形成され、この凹部7に高屈折率樹脂8を充
填することでレンズ部を形成している。更に、ガラス基
板6の外周部には溝9を形成し、この溝9によって凹部
7に高屈折率樹脂8を充填する際の余剰分を受入れ、平
板型マイクロレンズ5の外周から高屈折率樹脂8が食み
出ないようにしている。尚、高屈折率樹脂8をガラス基
板2と平板型マイクロレンズ5との接着剤として用いて
もよい。
Then, a flat plate type microlens 5 is bonded to the glass substrate 2, and the flat plate type microlens 5 is formed on a glass substrate 6 having the composition of the present invention by a wet etching using HF as an etchant to form a hemispherical concave portion 7. Are formed corresponding to the pixels, and the concave portion 7 is filled with the high refractive index resin 8 to form the lens portion. Further, a groove 9 is formed on the outer peripheral portion of the glass substrate 6, and a surplus when the recess 7 is filled with the high-refractive-index resin 8 is received by the groove 9, and the high-refractive-index resin from the outer periphery of the flat plate type microlens 5 is received. 8 is trying not to stick out. Note that the high refractive index resin 8 may be used as an adhesive between the glass substrate 2 and the flat microlens 5.

【0022】尚、図1に示す例にあってはガラス基板2
に平板型マイクロレンズ5を接合するようにしたが、ガ
ラス基板2を設けず、平板型マイクロレンズ5とガラス
基板3との間に液晶を注入するようにしてもよい。
Incidentally, in the example shown in FIG.
Although the flat plate type microlens 5 is bonded to the above, the liquid crystal may be injected between the flat plate type microlens 5 and the glass substrate 3 without providing the glass substrate 2.

【0023】更に、平板型マイクロレンズ5の構造とし
ては、図3(b)に示すように、ガラス基板6の凹部7
を形成した面に多のガラス基板10を貼り合せ、これら
ガラス基板6,10間に高屈折率樹脂8を挟み込みこと
で高屈折率樹脂8が露出しない構造の平板型マイクロレ
ンズとすることも可能である。
Further, as shown in FIG. 3B, the structure of the flat microlens 5
It is also possible to bond many glass substrates 10 on the surface on which is formed and sandwich the high refractive index resin 8 between these glass substrates 6 and 10 to form a flat plate type microlens having a structure in which the high refractive index resin 8 is not exposed. Is.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上に説明したように本発明に係る平板
型マイクロレンズによれば、比較的耐熱性の高い高屈折
率樹脂を用いているため、高い開口数(NA)を実現す
ることができる。これにより、照明光を液晶の開口窓に
集光し、透過光量を増大し、以って液晶表示素子の明る
さを向上することができる。
As described above, according to the flat plate type microlens according to the present invention, since the high refractive index resin having relatively high heat resistance is used, a high numerical aperture (NA) can be realized. it can. As a result, the illumination light is condensed on the opening window of the liquid crystal, the amount of transmitted light is increased, and the brightness of the liquid crystal display element can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るガラス基板を用いた平板型マイク
ロレンズを組み込んだ液晶表示素子の断面図
FIG. 1 is a sectional view of a liquid crystal display device incorporating a flat plate type microlens using a glass substrate according to the present invention.

【図2】同平板型マイクロレンズの平面図FIG. 2 is a plan view of the flat plate type micro lens.

【図3】同平板型マイクロレンズの要部拡大断面図で、
このうち(a)は基板の一面に高屈折率樹脂が露出した
タイプのものを、(b)は2枚の基板の間に高屈折率樹
脂を挟み込んだものを示す。
FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part of the flat plate type micro lens,
Among them, (a) shows a type in which a high refractive index resin is exposed on one surface of a substrate, and (b) shows a type in which a high refractive index resin is sandwiched between two substrates.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…液晶表示素子、2,3…液晶表示素子を構成するガ
ラス基板、4…液晶、5…平板型マイクロレンズ、6,
10…平板型マイクロレンズを構成するガラス基板、7
…凹部、8…高屈折率樹脂。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal display element, 2, 3 ... Glass substrate which comprises a liquid crystal display element, 4 ... Liquid crystal, 5 ... Flat micro lens, 6,
Reference numeral 10: a glass substrate constituting a flat microlens;
... recess, 8 ... high refractive index resin.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C08F 22/24 MMV C08F 22/24 MMV 28/04 MNR 28/04 MNR (72)発明者 森尾 健二 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 新井 大介 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 岸本 隆 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 仲間 健一 大阪府大阪市中央区道修町3丁目5番11号 日本板硝子株式会社内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location C08F 22/24 MMV C08F 22/24 MMV 28/04 MNR 28/04 MNR (72) Inventor Kenji Morio 3-5-11 Doshu-machi, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka Prefecture Nippon Sheet Glass Co., Ltd. (72) Inventor Daisuke Arai 3-5-11, Dosho-machi, Chuo-ku, Osaka City, Osaka Prefecture (72) Inventor, Nippon Sheet Glass (72) Takashi Kishimoto 3-5-11 Doshumachi, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka Prefecture Nippon Sheet Glass Co., Ltd. (72) Inventor Kenichi 3-5-11, Dosho-machi, Chuo-ku, Osaka City, Osaka Prefecture Nippon Sheet Glass Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 石英ガラスまたは低膨張結晶化ガラスか
らなる基板表面にその形状が略球面の一部または略円柱
の一部をなす複数の凹部が1次元または2次元状に配列
され、これら凹部に基板よりも屈折率の高い透明樹脂材
料を充填するか或いは凹部に基板よりも屈折率の高い透
明樹脂材料を充填した面にカバーガラスを設けること
で、前記凹部内を凸レンズまたはレンチキュラーレンズ
とした平板型マイクロレンズにおいて、前記透明樹脂材
料が、チオール(R−S−H)またはスルフィド結合
(R−S−R’)を有することを特徴とする平板型マイ
クロレンズ。ただし、R,R’は炭化水素基、Sはイオ
ウ、Hは水素である。
1. A plurality of recesses each having a shape of a part of a substantially spherical surface or a part of a substantially columnar shape are arranged in a one-dimensional or two-dimensional shape on a surface of a substrate made of quartz glass or low-expansion crystallized glass. A transparent resin material having a refractive index higher than that of the substrate, or by providing a cover glass on the surface of the recess filled with a transparent resin material having a refractive index higher than that of the substrate, a concave lens is formed as a convex lens or a lenticular lens. The flat plate type microlens, wherein the transparent resin material has a thiol (R—S—H) or a sulfide bond (R—S—R ′). However, R and R'are hydrocarbon groups, S is sulfur, and H is hydrogen.
【請求項2】 請求項1に記載の平板型マイクロレンズ
において、前記炭化水素基(R,R’)がフェニル基
(−C6H5)であることを特徴とする平板型マイクロレ
ンズ。
2. The flat plate microlens according to claim 1, wherein the hydrocarbon group (R, R ′) is a phenyl group (—C 6 H 5 ).
【請求項3】 請求項1に記載の平板型マイクロレンズ
において、前記炭化水素基(R,R’)が、(−CH2
CH2−)、(−CH3CHCH2−)、(−CH2CH2
CH2−)など一般式が(−CnH2n)で表わされるアル
キレンまたはポリスチレンであることを特徴とする平板
型マイクロレンズ。
3. The flat plate type microlens according to claim 1, wherein the hydrocarbon group (R, R ′) is (—CH 2
CH 2 -), (- CH 3 CHCH 2 -), (- CH 2 CH 2
CH 2 -) plate type microlens, which is a alkylene or polystyrene whose general formula is expressed as (-C n H 2n), such as.
【請求項4】 請求項1乃至請求項3に記載の平板型マ
イクロレンズにおいて、前記透明樹脂材料がイソシアネ
ート基(−N=C=O)を含むことを特徴とする平板型
マイクロレンズ。
4. The flat plate microlens according to claim 1, wherein the transparent resin material contains an isocyanate group (—N═C═O).
【請求項5】 請求項1乃至請求項3に記載の平板型マ
イクロレンズにおいて、前記透明樹脂材料が以下の(化
1)で示されるアクリロイル基またはメタクリロイル基
等の脂肪族不飽和アシル基を含むことを特徴とする平板
型マイクロレンズ。 【化1】
5. The flat plate type microlens according to claim 1, wherein the transparent resin material contains an aliphatic unsaturated acyl group such as an acryloyl group or a methacryloyl group represented by the following (Chemical Formula 1). A flat plate type microlens characterized by that. Embedded image
【請求項6】 請求項1乃至請求項3に記載の平板型マ
イクロレンズにおいて、前記透明樹脂材料が以下の(化
2)で示されるエポキシ基を含むことを特徴とする平板
型マイクロレンズ。 【化2】
6. The flat plate type microlens according to claim 1, wherein the transparent resin material contains an epoxy group represented by the following (Chemical Formula 2). Embedded image
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO1999038035A1 (en) * 1996-07-22 1999-07-29 Maikurooputo Co., Ltd. Method of manufacturing flat plate microlens and flat plate microlens
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