JPH09293685A5 - - Google Patents

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JPH09293685A5
JPH09293685A5 JP1997059983A JP5998397A JPH09293685A5 JP H09293685 A5 JPH09293685 A5 JP H09293685A5 JP 1997059983 A JP1997059983 A JP 1997059983A JP 5998397 A JP5998397 A JP 5998397A JP H09293685 A5 JPH09293685 A5 JP H09293685A5
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Description

【発明の名称】縦型ウエハボート及びその製造法
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の１つは、下に配設された一対の環状をなす端板と、これらの端板を連結する複数本の支柱と、前記支柱に形成された、半導体ウエハを挿入支持させるための支持溝とを備え、全体が炭化ケイ素を主成分とする材質からなる、一体化接合構造体とされ、前記端板と前記支柱との接合部のコーナーに炭化ケイ素を主成分とする肉盛りが形成されていることを特徴とする縦型ウエハボートである。
また、本発明のもう１つは、上下に配設された一対の環状をなす端板と、これらの端板を連結する複数本の支柱と、前記支柱に形成された、半導体ウエハを挿入支持させるための支持溝とを備え、全体が炭化ケイ素を主成分とする材質からなる、一体化接合構造体の縦型ウエハボートの製造法であって、前記端板と前記支柱との接合部のコーナーにスラリー状の炭化ケイ素粉末からなる接着剤を固化させて肉盛りを形成することを特徴とする縦型ウエハボートの製造法である。

Claims (12)

  1. 上下に配設された一対の環状をなす端板と、これらの端板を連結する複数本の支柱と、前記支柱に形成された、半導体ウエハを挿入支持させるための支持溝とを備え、全体が炭化ケイ素を主成分とする材質からなる、一体化接合構造体とされ、前記端板と前記支柱との接合部のコーナーに炭化ケイ素を主成分とする肉盛りが形成されていることを特徴とする縦型ウエハボート。
  2. 前記肉盛りの平均縦断面積は、１〜１５ｍｍ2である請求項１記載の縦型ウエハボート。
  3. 前記肉盛りの縦断面形状は、直角三角形であり、その斜辺と支柱のなす角の補角は、鈍角である請求項１または２記載の縦型ウエハボート。
  4. 前記肉盛りの縦断面形状は、外面に凹んだ円弧状であり、端板の面および支柱の面が接線となるように接触している請求項１または２記載の縦型ウエハボート。
  5. 前記端板には半径方向にスリットのない環状板である請求項１、２，３または４記載の縦型ウエハボート。
  6. 全長が８００ｍｍ以上である請求項１〜５のいずれか記載の縦型ウエハボート。
  7. 上下に配設された一対の環状をなす端板と、これらの端板を連結する複数本の支柱と、前記支柱に形成された、半導体ウエハを挿入支持させるための支持溝とを備え、全体が炭化ケイ素を主成分とする材質からなる、一体化接合構造体の縦型ウエハボートの製造法であって、前記端板と前記支柱との接合部のコーナーにスラリー状の炭化ケイ素粉末からなる接着剤を固化させて肉盛りを形成することを特徴とする縦型ウエハボートの製造法。
  8. 前記スラリー状の接着剤を前記コーナーに塗布後、焼結して固化させる請求項７記載の縦型ウエハボートの製造法。
  9. 前記端板と前記支柱とが生成形体である請求項７または８記載の縦型ウエハボートの製造法。
  10. 前記接着剤が炭化ケイ素粉末と有機バインダとを含むスラリーである請求項７、８または９記載の縦型ウエハボートの製造法。
  11. 前記肉盛りの縦断面形状は、直角三角形であり、その斜辺と支柱のなす角の補角は、鈍角である請求項７〜１０のいずれか記載の縦型ウエハボートの製造法。
  12. 前記肉盛りの縦断面形状は、外面に凹んだ円弧状であり、端板の面および支柱の面が接線となるように接触している請求項７〜１０のいずれか記載の縦型ウエハボートの製造法。
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