JPH09294039A - 端面反射型表面波共振子及び表面波共振子の周波数調整方法 - Google Patents
端面反射型表面波共振子及び表面波共振子の周波数調整方法Info
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Abstract
ができ、かつ隣り合う共振特性間の周波数間隔を高精度
に制御し得るSHタイプ表面波を利用した端面反射型表
面波共振子を得る。 【解決手段】 圧電基板12の対向2端面12a,12
b間でSHタイプの表面波を反射させる形式の端面反射
型表面波共振子11であり、圧電基板12上にくし歯電
極13,14を形成することにより、インターデジタル
トランスデューサを構成し、該インターデジタルトラン
スデューサが複数の共振特性を利用し得るように重み付
けされており、かつ該インターデジタルトランスデュー
サの電極指交叉幅とメタライゼーション比とが隣り合う
共振特性の目的とする周波数間隔に応じて決定されてい
る、端面反射型表面波共振子11。
Description
のようなSHタイプの表面波を利用した端面反射型表面
波共振子に関し、特に、単一の素子で複数の共振特性を
利用し得るように構成されている端面反射型表面波共振
子に関する。
ーダーの映像中間周波段では、隣接するチャンネルとの
障害を防止するために、隣接チャンネル映像信号周周波
数fap及び隣接チャンネル音声信号周波数fasにお
いて信号を十分に減衰させることが必要である。図1
は、ヨーロッパのPAL方式における映像中間周波段の
減衰量−周波数特性を示す図である。図1から明らかな
ように、隣接チャンネル映像信号周波数fap及び隣接
チャンネル音声信号周波数fasにおいて、大きな減衰
量が確保されている。
波数fap及び隣接チャンネル音声信号周波数fasに
おいてそれぞれ大きな減衰量を確保するために、従来、
隣接チャンネル映像信号周波数fapにおいて大きな減
衰量を有するトラップと、隣接チャンネル音声信号周波
数fasにおいて大きな減衰量を有するトラップとの2
個のトラップが用いられていた。また、それぞれのトラ
ップは、LC共振回路や圧電共振子などにより構成され
ていた。
共振子として、BGS波のようなSHタイプの表面波を
利用した圧電共振子が注目されている。図2は、BGS
波を利用した端面反射型の表面波共振子の一例を示す。
四角形の圧電基板2を用いて構成されている。圧電基板
2は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミック
スやLiNbO3 などの圧電単結晶からなる圧電材料に
より構成されている。圧電セラミックスの場合には、圧
電基板2は、図示の矢印P方向に分極処理されている。
電極3,4が形成されており、それによってインターデ
ジタルトランスデューサ(以下、IDTと略す)が構成
されている。くし歯電極3,4は、それぞれ、複数本の
電極指3a〜3c及び4a〜4cを有する。
極3,4から交流電圧を印加することにより、BGS波
が励起され、該BGS波は図示の矢印X方向に伝搬され
る。また、BGS波が、圧電基板2の対向2端面2b,
2c間で反射され、共振子1内に閉じ込められる。従っ
て、端面反射型表面波共振子1では、IDTで決定され
る周波数と、対向2端面2b,2c間で決定される周波
数とを一致させることにより、有効な共振特性が得られ
る。
面反射型表面波共振子も、LC共振回路や他の形式の圧
電共振子と同様に、単一の共振特性を利用するものにす
ぎなかった。従って、隣接チャンネル映像信号周波数f
ap及び隣接チャンネル音声信号周波数fasの2つの
周波数位置において、トラップ特性を実現するには、2
個の端面反射型表面波共振子を用意し、接続しなければ
ならなかった。
振子においては、単一の共振子において2個の共振特性
を有するものが示されている(例えば、国際電気技報N
o.16、第1頁〜第7頁、1992)。すなわち、レ
イリー波を利用した表面波共振子フィルタにおいて、0
次縦モード(基本モード)と2次縦モードとを利用した
二重モード共振子が知られており、ここでは、2個の共
振特性が得られている。
は、2個の共振特性を得るには、2つ以上のIDTと反
射器とを必要としていた。また、その共振特性は反射器
の反射係数−周波数特性で決定されるが、反射係数の大
きい周波数領域が狭いため、良好な共振特性が得られる
範囲では、2個の共振点の差が約1MHzと非常に小さ
かった。従って、図1に示した特性の場合のように、共
振点の差が大きな2つのトラップを、上記二重モード共
振子で構成することがはできなかった。
反射型表面波共振子において、圧電基板上に2個のID
Tを形成し、2個の共振子ユニットを構成すれば、2個
の共振特性を得ることができるとも考えられる。しかし
ながら、端面反射型表面波共振子では、IDTの波長λ
と、圧電基板の対向2端面間の距離Lとの間には、L=
(λ/2)×N(ただし、Nは整数)の関係がある。
pと隣接チャンネル音声信号周波数fasとの周波数差
は上述したようにかなり大きいため、それぞれのλも大
きく異なる。例えば、圧電基板2の音速を2400m/
秒としたとき、PAL方式の場合、隣接チャンネル映像
信号周波数fapにおける波長λapは75.2μm、
隣接チャンネル音声信号周波数fasにおける波長λa
sは59.4μmであった。
て、隣接チャンネル映像信号周波数fapに共振点を有
する共振ユニット及び隣接チャンネル音声信号周波数f
asに共振点を有する共振ユニットを構成しようとした
場合、対向2端面間の距離Lの値が大きく異なることに
なる。すなわち、SHタイプの表面波を利用した端面反
射型表面波共振子では、同一基板上に共振周波数が異な
る2個の共振ユニットを形成することは非常に困難であ
ると考えられていた。
くとも2個の共振ユニットが1つの素子として構成され
ているSHタイプの表面波を利用した端面反射型表面波
共振子を提供することにある。
性を利用し得るように構成されたSHタイプの表面波を
利用した端面反射型表面波共振子において、隣り合う共
振特性の周波数間隔が高精度に設定された端面反射型表
面波共振子並びに該端面反射型表面波共振子の周波数調
整方法を提供することにある。
SHタイプの表面波を利用した端面反射型表面波共振子
において、IDTに重み付けを施すことにより、単一の
素子で複数の共振特性を有するものを構成することがで
きることを見いだした。すなわち、特願平7−4815
9号に開示したように、対向2端面を有する圧電基板上
にIDTを形成してなる端面反射型表面波共振子におい
て、メインローブの減衰極を、同じ電極指対数あるいは
同じ基板寸法(対向2端面間の距離)により決定される
電極指対数の正規型のIDTのメインローブの減衰極の
周波数位置よりも外側に位置させるようにIDTに重み
付けを施し、それによってメインローブによる共振特性
と、正規型IDTの減衰極による共振特性とを利用する
ことにより、複数個の共振特性を用いた端面反射型表面
波共振子が得られる。
ているように、交叉幅重み付けもしくは電極間引き法に
より重み付けが施されたIDTにおいて、重み付けが施
されたIDTの周波数特性が二山のメインローブを有
し、同じ電極指対数あるいは同じ基板端面間寸法により
決定される電極指対数を有する仮想の正規型のIDTの
周波数特性のメインローブの両側の減衰極の周波数位置
に、上記二山のメインローブのピークがそれぞれほぼ一
致するように重み付けを施せば、仮想の正規型IDTの
減衰極において2つの共振特性が得られる。
波共振子のIDTを重み付けすることにより、単一素子
において2個の共振特性を利用することができる。従っ
て、例えば、複数個の共振特性のうち、1つを隣接チャ
ンネル映像信号周波数fap、それより周波数の高い共
振特性を隣接チャンネル音声信号周波数fasとするよ
うに上記各減衰極の位置を設定すれば、隣接チャンネル
映像信号周波数fap及び隣接チャンネル音声信号周波
数fasにそれぞれトラップを有するトラップ回路を単
一の素子で構成することができる。
付けを施すことにより複数の共振特性を利用し得るよう
に構成された端面反射型表面波共振子では、利用しよう
とする隣り合う共振周波数の周波数間隔が対数に依存す
る。従って、実現可能な共振周波数間隔は対数に対応し
た不連続な値となる。
通常、該共振特性間の周波数間隔は用途によって定めら
れている。例えば、ヨーロッパのPAL方式では8.5
MHz、アメリカのNTSC方式では7.5MHzであ
り、日本のNTSC方式では7.5MHzである。従っ
て、上述した複数の共振特性を有する端面反射型表面波
共振子を用い、隣接チャンネル映像信号周波数fap及
び隣接チャンネル音声信号周波数fasにおいてそれぞ
れトラップを有するように構成した場合、隣り合う共振
特性の周波数間隔が対数に対応した不連続な値となるた
め、目的とする周波数間隔からずれるという問題があっ
た。
共振特性を利用する端面反射型表面波共振子において、
さらに、利用しようとする共振特性間の周波数間隔を高
精度に制御し得る方法につき鋭意検討した結果、複数の
共振特性を有するように重み付けが施されたIDTにお
いて、電極指の幅の電極指間ピッチに対する比、すなわ
ちメタライゼーション比を調整すれば、隣り合う共振特
性の周波数間隔を高精度に制御し得ることを見いだし、
本発明を成すに至った。
波共振子の周波数調整方法は、SHタイプの表面波を用
いており、かつ複数の共振特性を利用する端面反射型表
面波共振子の周波数調整方法であり、複数の共振特性を
利用し得るように重み付けが施されたIDTの電極指交
叉幅と、隣り合う共振特性の周波数間隔を所望の値とす
るように、電極指の幅の電極指間ピッチに対する比とを
調整することを特徴とする。
振子は、SHタイプ表面波を用いかつ複数の共振特性を
利用するものであって、圧電基板と、圧電基板上に形成
されており、かつ複数の共振特性を利用し得るように重
み付けが施されたIDTとを備え、IDTの電極指交叉
幅と、上記メタライゼーション比とが、隣り合う共振特
性の目的とする周波数間隔に応じて決定されていること
を特徴とする。
周波数調整方法及び端面反射型表面波共振子では、ID
Tは、複数の共振特性を利用し得るように重み付けが施
されているが、この重み付けについては、交叉幅重み付
け法のほか、電極間引き法等によって行われてもよく、
特に限定されるものではない。
型表面波共振子は、ヨーロッパのテレビション方式であ
るPAL方式において、隣接チャンネル映像信号周波数
fap=31.9MHz及び隣接チャンネル音声信号周
波数fas=40.4MHzにおけるトラップを構成す
るための共振子である。この場合には、重み付けが施さ
れたIDTのメタライゼーション比は、0.55以上、
0.76以下とされ、それによって隣接チャンネル映像
信号周波数fapと隣接チャンネル音声信号周波数fa
sとの周波数差が正確に設定されたトラップ回路を単一
の素子で構成することができる。
ば、端面反射型表面波共振子は、アメリカのテレビショ
ン方式であるNTSC方式における隣接チャンネル映像
信号周波数fap=39.75MHz及び隣接チャンネ
ル音声信号周波数fas=47.25MHzにおけるト
ラップを構成するための共振子である。ここでは、ID
Tのメタライゼーション比は0.37以上、0.58以
下とされており、それによって上記隣接チャンネル映像
信号周波数fapと隣接チャンネル音声信号周波数fa
sとの周波数差が高精度に制御されたトラップ回路を構
成することができる。
ば、端面反射型表面波共振子は、日本のテレビション方
式であるNTSC方式において、隣接チャンネル映像信
号周波数fap=52.75MHz及び隣接チャンネル
音声信号周波数fas=60.25MHzにおけるトラ
ップを構成するための共振子であり、この場合には、I
DTのメタライゼーション比は0.56以上、0.77
以下とされ、それによって隣接チャンネル映像信号周波
数fap及び隣接チャンネル音声信号周波数fas間の
周波数間隔が高精度に制御されたトラップ回路を構成す
ることができる。
を参照しつつ説明することにより、本発明を明らかにす
る。
共振子の第1の実施例を示す平面図である。本実施例に
かかる端面反射型表面波共振子11は、ヨーロッパのP
AL方式における隣接チャンネル映像信号周波数fap
(=31.9MHz)及び隣接チャンネル音声信号周波
数fas(=40.4MHz)におけるトラップを構成
するための共振子である。
が矩形の圧電基板12を用いて構成されている。圧電基
板12は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミ
ックスやLiNbO3 、LiTaO3 などの圧電単結晶
により構成されており、圧電セラミックスの場合には、
図示の矢印P方向に分極処理されている。
bを有する。圧電基板12の上面には、くし歯電極1
3,14が形成されており、それによってIDTが構成
されている。くし歯電極13,14は、それぞれ、複数
本の電極指13a〜13i及び14a〜14iを有す
る。
電極13,14から交流電圧を印加することにより、B
GS波が励振され、BGS波は圧電基板12の表面と平
行であり、かつ分極方向Pと直交する方向に伝搬され、
対向2端面12a,12b間で反射される。
は、くし歯電極13,14が、複数個の共振特性を有す
るように交叉幅重み付けを施されている。この重み付け
法は、前述した特願平7−48159号に開示されてい
るが、図4及び図5を参照して説明する。
面波共振子における正規型のIDTの周波数スペクトラ
ムを示す。このような周波数スペクトラムは、例えば昭
和51年5月発行日本音響学会講演論文集第351頁〜
第352に記載されており、従来より知られているもの
である。
横軸上の2N,2N−1などは、2N次モード、2N−
1次モードの共振点の位置を示し、縦軸はメインローブ
のピークを0dBとしたときの減衰量を示す。
の場合、2N次の共振モードは、N対の電極指対数を有
するIDTを構成することにより励振することができ
る。また、他の高次モードのうち、奇数のモード、すな
わち2N−1次、2N−3次、2N+1次及び2N+3
次などのモードは電極の対称性により励振されない。偶
数のモードについては、図4から明らかなように、共振
周波数がN対の対数を有するIDTの周波数特性の減衰
極と一致するための励振されない。
Tを形成した端面反射型表面波共振子では、2N次のモ
ードのみが励振される。これに対し、図3に示した端面
反射型表面波共振子11では、上記重み付けが施された
IDTを用いることにより複数個の共振特性が得られ
る。これを、図5を参照して説明する。
ように重み付けを施したIDT周波数スペクトラムを示
す。破線Bは、交叉幅重み付けを施した場合の上記ID
Tと同対数の正規型IDTの周波数スペクトラムを示
す。
を施されたIDTのメインローブの減衰極は正規型ID
Tのメインローブの減衰極2N+2,2N−2の外側に
構成されている。
DTの周波数スペクトラムAでは、2N−2次及び2N
+2次のモードにおいて減衰量は比較的小さく、従って
励振されることがわかる。このように、励振される偶数
モードのうち、もっとも近くの共振特性を利用すること
により、複数個の共振特性を利用することができる。
は、上記のようにしてIDTが重み付けされて複数個の
共振特性が得られており、そのうちの2個の共振特性を
利用することによって隣接チャンネル映像信号周波数f
ap及び隣接チャンネル音声信号周波数fasにおける
トラップが単一の素子で構成されている。
叉幅とメタライゼーション比とを調整することにより、
上記2つのトラップの周波数間隔Δfが、目的とする周
波数間隔8.5MHzに正確に設定され得る。これを、
図6を参照して説明する。
DTのメタライゼーション比及び電極指交叉幅と、2つ
のトラップの周波数間隔Δfとの関係を調べたところ、
図6に示す結果が得られた。なお、図6では、電極指交
叉幅が5λ,10λ及び13λである3種類の端面反射
型表面波共振子11を作成し、上記メタライゼーション
比を変更させることにより、周波数間隔Δfがどのよう
に変化するかを測定した。
ョン比が大きく、かつ電極指交叉幅が小さくなるほど、
周波数間隔Δfが広くなることがわかる。従って、電極
指交叉幅を変化させたとしても、メタライゼーション比
を0.55以上、0.76以下に設定すれば、周波数間
隔Δfが所望値である8.5MHzに対し±100kH
z以内となることがわかる。
り、PAL方式の隣接チャンネル映像信号周波数fap
及び隣接チャンネル音声信号周波数fasにおけるトラ
ップを構成する場合、IDTのメタライゼーション比を
0.55以上、0.76以下とすることにより、周波数
間隔Δfが正確に設定されたトラップ回路を構成し得る
ことがわかる。
反射型表面波共振子11の減衰量−周波数特性の一例を
図7に示す。なお図7に示す特性は、圧電基板12とし
て(チタン酸ジルコン酸鉛系)圧電セラミックスからな
り、0.7×1.2×0.5mmの寸法のものを用い、
IDTの電極指の対数を4.5対、電極指交叉幅を13
λ、メタライゼーション比を0.72とした場合の特性
を示す。
面反射型表面波共振子を示す平面図である。端面反射型
表面波共振子21は、第1の実施例にかかる端面反射型
表面波共振子11とほぼ同様に構成されているため、相
当の部分については、相当の参照番号を付することによ
り、第1の実施例について行った説明を援用することに
より省略する。
を利用した表面波共振子であり、アメリカのNTSC方
式における隣接チャンネル映像信号周波数fap(=3
9.75MHz)及び隣接チャンネル音声信号周波数f
as(=47.25MHz)におけるトラップを構成す
るものである。
板22とくし歯電極23,24とにより構成されている
IDTが電極間引き法を用いて重み付けされている。こ
の重み付けは、図4及び図5を参照して説明したよう
に、複数個の共振特性を利用し得るように施されてお
り、そのうちの2個の共振特性の共振点がそれぞれ、ア
メリカのNTSC方式における隣接チャンネル映像信号
周波数fap及び隣接チャンネル音声信号周波数fas
に一致するように果たされている。
21においても、IDTのメタライゼーション比及び電
極指交叉幅を変化させた場合に周波数間隔Δfがどのよ
うに変化するかを測定した。結果を図9に示す。図9か
ら明らかなように、メタライゼーション比が大きいほ
ど、かつ電極指交叉幅が小さいほど、周波数間隔Δfが
広くなることがわかり、特に、メタライゼーション比が
周波数間隔Δfに大きく関係することがわかる。
波数間隔Δf=7.5MHzに対して±100kHz以
内に周波数間隔を設定するには、電極指交叉幅を変化さ
せた場合であっても、メタライゼーション比を0.37
以上、0.58以下に設定すればよいことがわかる。
端面反射型表面波共振子を示す平面図である。端面反射
型表面波共振子31は、第1の実施例にかかる端面反射
型表面波共振子11とほぼ同様に構成されているため、
相当の部分については、相当の参照番号を付することに
より、第1の実施例について行った説明を援用すること
により省略する。
を利用した表面波共振子であり、日本のNTSC方式に
おける隣接チャンネル映像信号周波数fap(=52.
75MHz)及び隣接チャンネル音声信号周波数fas
(=60.25MHz)におけるトラップを構成するも
のである。
板32とくし歯電極33,34とにより構成されている
IDTが電極間引き法を用いて重み付けされている。こ
の重み付けは、図4及び図5を参照して説明したよう
に、複数個の共振特性を利用し得るように施されてお
り、そのうちの2個の共振特性の共振点がそれぞれ、日
本のNTSC方式における隣接チャンネル映像信号周波
数fap及び隣接チャンネル音声信号周波数fasに一
致するように果たされている。
31においても、IDTのメタライゼーション比及び電
極指交叉幅を変化させた場合に周波数間隔Δfかどのよ
うに変化するかを測定した。結果を図11に示す。図1
1から明らかなように、メタライゼーション比が大きい
ほど、かつ電極指交叉幅が小さいほど周波数間隔Δfが
広くなることがわかり、特に、メタライゼーション比が
周波数間隔Δfに大きく関係することがわかる。
間隔Δf=7.5MHzに対して±100kHz以内に
周波数間隔を設定するには、電極指交叉幅を変化させた
場合であっても、メタライゼーション比を0.56以
上、0.77以下に設定すればよいことがわかる。
射型表面波共振子11,21,31では、BGS波を利
用したが、本発明におけるSHタイプの表面波は、BG
S波に限定されず、ラブ波なども用いることができる。
電基板12の場合と同様に、チタン酸ジルコン酸鉛系圧
電セラミックスのような圧電セラミックス、あるいはL
iNbO3 、LiTaO3 などの圧電単結晶により構成
することができる。
極13,14,23,24,33,34についても、A
l、Ag、Pdなどの適宜の導電性材料からなるものを
用いることができる。
型表面波共振子の周波数調整方法では、SHタイプの表
面波を用いており、かつ複数の共振特性を利用し得るよ
うにIDTが重み付けされた構成において、電極指交叉
幅とメタライゼーション比とを調整することにより、隣
り合う共振特性の周波数間隔を高精度に制御し得ること
がわかる。
明の端面反射型表面波共振子では、IDTが複数の共振
特性を利用し得るように重み付けされているため、単一
の素子で複数のトラップを構成することができ、しか
も、IDTの電極指交叉幅とメタライゼーション比と
が、隣り合う共振特性の目的とする周波数間隔に応じて
決定されるているため、隣り合う共振特性の周波数間隔
を高精度に制御し得る。
ーロッパのPAL方式、アメリカのNTSC方式または
日本のNTSC方式における、隣接チャンネル映像信号
周波数fap及び隣接チャンネル音声信号周波数fas
におけるトラップを単一の共振子で構成することがで
き、しかも、重み付けが施されたIDTのメタライゼー
ション比が上記特定の範囲内とされているため、各方式
における隣接チャンネル映像信号周波数fapと隣接チ
ャンネル音声信号周波数fasとの間の周波数間隔が高
精度に制御されたトラップ回路を単一の素子で構成する
ことが可能となる。
−周波数特性の一例を示す図。
振子を示す斜視図。
波共振子の平面図。
れたIDT及び正規型IDTの周波数スペクトラムを示
す図。
ライゼーション比を変化させた場合の隣り合う共振特性
間の周波数間隔Δfの変化を示す図。
量−周波数特性を示す図。
の平面図。
ライゼーション比を変化させた場合の隣り合う共振特性
間の周波数間隔Δfの変化を示す図。
子の平面図。
タライゼーション比を変化させた場合の隣り合う共振特
性間の周波数間隔Δfの変化を示す図。
るくし歯電極 12a,12b,22a,22b,32a,32b…端
面
Claims (5)
- 【請求項1】 SHタイプの表面波を用いており、かつ
複数の共振特性を利用する端面反射型表面波共振子の周
波数調整方法であって、 複数の共振特性を利用し得るように重み付けされたイン
ターデジタルトランスデューサの電極指交叉幅と、メタ
ライゼーション比とを、隣り合う共振特性の周波数間隔
を所望の値とするように調整することを特徴とする端面
反射型表面波共振子の周波数調整方法。 - 【請求項2】 SHタイプの表面波を用い、かつ複数の
共振特性を利用する端面反射型表面波共振子であって、 圧電基板と、 前記圧電基板上に形成されており、かつ複数の共振特性
を利用し得るように重み付けされたインターデジタルト
ランスデューサとを備え、 前記インターデジタルトランスデューサの電極指交叉幅
と、メタライゼーション比とが、隣り合う共振特性の目
的とする周波数間隔に応じて決定されていることを特徴
とする、端面反射型表面波共振子。 - 【請求項3】 ヨーロッパのテレビジョン方式であるP
AL方式において、隣接チャンネル映像信号周波数fa
p=31.9MHz及び隣接チャンネル音声信号周波数
fas=40.4MHzにおけるトラップを構成するた
めの共振子であり、 重み付けが施された前記インターデジタルトランスデュ
ーサのメタライゼーション比が0.55以上、0.76
以下であることを特徴とする、請求項2に記載の端面反
射型表面波共振子。 - 【請求項4】 アメリカのテレビジョン方式であるNT
SC方式において、隣接チャンネル映像信号周波数fa
p=39.75MHz及び隣接チャンネル音声信号周波
数fas=47.25MHzにおけるトラップを構成す
るための共振子であり、 前記インターデジタルトランスデューサのメタライゼー
ション比が0.37以上、0.58以下とされているこ
とを特徴とする、請求項2に記載の端面反射型表面波共
振子。 - 【請求項5】 日本のテレビジョン放送方式であるNT
SC方式において隣接チャンネル映像信号周波数fap
=52.75MHz及び隣接チャンネル音声信号周波数
fas=60.25MHzにおけるトラップを構成する
ための共振子であり、 前記インターデジタルトランスデューサのメタライゼー
ション比が0.56以上、0.77以下であることを特
徴とする、請求項2に記載の端面反射型表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10686096A JP3582225B2 (ja) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | 端面反射型表面波共振子及び表面波共振子の周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10686096A JP3582225B2 (ja) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | 端面反射型表面波共振子及び表面波共振子の周波数調整方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09294039A true JPH09294039A (ja) | 1997-11-11 |
| JP3582225B2 JP3582225B2 (ja) | 2004-10-27 |
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ID=14444334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10686096A Expired - Fee Related JP3582225B2 (ja) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | 端面反射型表面波共振子及び表面波共振子の周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3582225B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011249879A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-08 | Denso Corp | 弾性表面波発振器 |
| CN115955207A (zh) * | 2022-12-16 | 2023-04-11 | 南通大学 | 一种基于铌酸锂单晶薄膜的反对称模态谐振器及制备方法 |
-
1996
- 1996-04-26 JP JP10686096A patent/JP3582225B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011249879A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-08 | Denso Corp | 弾性表面波発振器 |
| US8368474B2 (en) | 2010-05-21 | 2013-02-05 | Denso Corporation | Surface acoustic wave oscillator |
| CN115955207A (zh) * | 2022-12-16 | 2023-04-11 | 南通大学 | 一种基于铌酸锂单晶薄膜的反对称模态谐振器及制备方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3582225B2 (ja) | 2004-10-27 |
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