JPH0929602A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 研磨機構の偏心回転に起因する装置の振動や
異音の発生を防止する。 【構成】 回転駆動軸３０には、これと一体回転する偏
心軸４０に研磨パッド４２を取り付けてなる研磨機構３
９と、重心位置が回転駆動軸３０の軸心に関して研磨パ
ッド４２の偏心方向とは反対側に偏心したバランサ８１
を取り付けた。回転駆動軸３０が回転すると、研磨機構
３９とバランサ８１が一体に偏心回転し、双方の偏心回
転による遠心力が相殺される。よって、研磨機構３９の
偏心回転に起因して回転駆動軸３０が横ブレするという
ことがなく、回転駆動軸３０の横ブレが原因となって装
置が振動したり異音が発生したりすることがない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨パッドを偏心
回転させながら研磨を行う研磨装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】一方向に搬送されるワークに対してその
搬送方向と同方向に走行するサンディングベルトで研磨
を行った場合には、ワークに対するサンディングベルト
の研磨方向が一定であるため、ワークの表面には微細で
はあるが互いに平行な多数の筋状の傷が残ってしまう。
そこで、このような傷をなくすために、ワークに対する
研磨方向が一定にならないような研磨を施してワークの
表面を仕上げるということが行われる。

【０００３】このような仕上げのために用いられる研磨
装置として、ワークを水平に搬送するコンベアの上方に
モータによって回転される回転駆動軸を設けると共に、
この回転駆動軸と一体回転する偏心軸に研磨パッドを取
り付けた構成になる研磨機構を設けたものがある。回転
駆動軸を回転駆動するとその回転駆動軸を中心として研
磨パッドが偏心回転し、この偏心回転する研磨パッドに
よってワークが仕上げ研磨されるようになっている。か
かる研磨装置では、仕上がりの滑らかさを向上させるた
めに研磨パッドを高速で回転させるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような研磨装置で
は、研磨機構が偏心回転することによって回転駆動軸に
は回転速度の２乗に比例する遠心力が作用するのである
が、上記のように回転速度が高速に設定されることから
その遠心力は相当に大きくなる。そして、この大きな遠
心力により回転駆動軸の軸心がブレを生じてしまい、こ
のために装置が振動したり異音が発生するという不具合
があった。

【０００５】本願発明は上記事情に鑑みて創案されたも
のであって、研磨機構の偏心回転に起因する装置の振動
や異音の発生を防止することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、ワークを搬送
するコンベアと、回転駆動軸と一体回転する偏心軸に研
磨パッドを取り付けてなる研磨機構とを備え、搬送され
るワークに対して研磨パッドが偏心回転することにより
研磨するものにおいて、回転駆動軸に、その軸心に関し
て研磨機構の重心位置と反対側に偏心した位置に重心を
配したバランサを一体回転可能に設けた構成としたとこ
ろに特徴を有する。

【０００７】かかる発明においては、研磨機構の偏心回
転による遠心力とバランサの偏心回転による遠心力との
均衡が図られるから、回転駆動軸の軸心のブレが抑えら
れる。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、バランサの重量と重心位置の偏心量が、その重量と
偏心量とを乗じたモーメントの値が研磨機構の重量と重
心位置の偏心量とを乗じたモーメントの値にほぼ等しく
なるように設定される構成としたところに特徴を有す
る。かかる構成の発明においては、研磨機構とバランサ
のモーメントがほぼ等しくなることによって遠心力もほ
ぼ等しくなる。

【０００９】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
の発明において、回転駆動軸が、ワークの搬送経路を横
切る方向への往復移動可能に設けた可動ベースに支持さ
れている構成としたところに特徴を有する。かかる構成
の発明においては、研磨パッドが往復移動と偏心回転と
を組み合わせた複雑な軌跡を描きながらワークに接触す
る。

【００１０】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、研磨機構の偏
心回転に起因する回転駆動軸のブレによる装置の振動や
異音の発生を防止することができる。

【００１１】請求項２の発明によれば、バランサの重量
と偏心量を最適な条件で設定することができるから、回
転駆動軸のブレ防止の効果が高い。

【００１２】請求項３の発明によれば、研磨パッドが複
雑な動きをしながら研磨するようになっているから、研
磨効果が高い。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態を図１乃至図５を参照して説明する。基台１の上面
には、水平方向に間隔を空けた一対のロール３，３の間
に無端状のコンベアベルト４を掛け渡してなるコンベア
２が設けられており、このコンベア２によってワークＷ
が図１の右から左へ向かって搬送されるようになってい
る。

【００１４】基台１にはその上面から突出する４本の昇
降脚５が設けられ、昇降ハンドル６の回転操作によって
４本の昇降脚５が一体的に昇降駆動される。これらの４
本の昇降脚５はコンベア２の上方に位置する昇降フレー
ム７を下から支えている。この昇降フレーム７は、水平
な板状をなす昇降ベース８とこの昇降ベース８の周囲を
囲むハウジング９とからなる。ハウジング９の正面には
操作パネル１０が設けられている。

【００１５】昇降ベース８の上面には、コンベア２によ
るワークＷの搬送方向と直交する方向の４条のガイドレ
ール１１が固定されている。これらのガイドレール１１
には、水平な板状をなす可動ベース１２がその下面に固
定したスライダ１３を嵌装することにより移動可能に案
内されている。

【００１６】この可動ベース１２の図２における左側の
側縁に取り付けたブラケット１４には、鉛直軸回りの回
転可能な従動連結子１５が取り付けられている。一方、
昇降ベース８には、スライド用モータ１６によって鉛直
軸回りに回転される駆動プーリ１７と、この駆動プーリ
１７と同じく鉛直軸回りの回転可能な従動プーリ１８が
設けられており、この両プーリ１７，１８の間にタイミ
ングベルト１９が掛け渡されている。さらに、従動プー
リ１８には偏心軸２０が一体回転可能に取り付けられて
おり、この偏心軸２０には相対的回転可能に駆動連結子
２１が取り付けられている。そして、この駆動連結子２
１と上記従動連結子１５とはねじ棒からなるリンクバー
２２によって連結されている。かかる構成により、スラ
イド用モータ１６を駆動すると駆動連結子２１の偏心回
転運動が従動連結子１５の直線運動に変換されて伝達さ
れ、可動ベース１２がガイドレール１１に沿ってワーク
Ｗの搬送方向と直交する方向に往復移動するようになっ
ている。

【００１７】かかる可動ベース１２にはワークＷに対し
て研磨を行うための駆動機構が設けられている。以下、
この駆動機構について説明する。可動ベース１２の下面
には取付けベース２３が固定されており、可動ベース１
２と取付けベース２３には、双方のベース１２，２３同
士の間で互いに整合する取付孔１２Ａ，２３Ａがワーク
Ｗの搬送方向と直交する方向に間隔を空けた２カ所に形
成されている。この２カ所の取付孔１２Ａ，２３Ａに
は、夫々、シャフトケース２４が取り付けられている。
シャフトケース２４は、図４に示すように、釣り鐘状の
上部ケース２４Ｕとこの上部ケース２４Ｕの下面の開口
を閉塞する板状の下部ケース２４Ｌとからなり、下部ケ
ース２４Ｌの貫通孔２５に下から通したボルト２６を上
部ケース２４Ｕのネジ孔２７に螺合することによって一
体に組み付けられている。そして、上記ネジ孔２７に
は、可動ベース１２に取り付ける前に予め取付けベース
２３の貫通孔２８に上から通したボルト２９が螺合され
ており、これによってシャフトケース２４が取付けベー
ス２３を介して可動ベース１２に一体に取り付けられて
いる。このようにして取り付けられたシャフトケース２
４は可動ベース１２を上下に貫通している。

【００１８】各シャフトケース２４には、夫々、軸線を
上下方向に向けた回転駆動軸３０が回転自由に支持され
ている。回転駆動軸３０は下側から下部ケース２４Ｌの
軸受孔３１に貫通され、回転駆動軸３０の上端部は上部
ケース２４Ｕの軸受孔３２に貫通されている。上下双方
の軸受孔３１，３２内においては、夫々、スラストボー
ルベアリング３３とラジアルボールベアリング３４とに
よって回転駆動軸３０が円滑に回転するように支持され
ている。

【００１９】また、上部ケース２４Ｕの軸受孔３２内の
両ベアリング３３，３４はベアリング受け部３５によっ
て下から支えられている。さらに、回転駆動軸３０の上
端部に形成した雄ネジ部３６にはベアリングナット３７
が螺合され、このベアリングナット３７がベアリングワ
ッシャ３８を介してラジアルボールベアリング３４のイ
ンナレース３４Ａに対して上から係合されており、これ
によって回転駆動軸３０がシャフトケース２４に対して
下方への脱落不能に支持されている。一方、下部ケース
２４Ｌの軸受孔３１内においては、両ベアリング３３，
３４が回転駆動軸３０の下端部に形成されている偏心軸
４０の鍔部４１によって下から支えられており、これに
よって両ベアリング３３，３４の脱落が防止されてい
る。

【００２０】回転駆動軸３０の下端部には上記のように
偏心軸４０が形成されている。この偏心軸４０は断面が
円形をなしており、その中心位置Ｐｓは回転駆動軸３０
の回転中心Ｐから例えば数ミリ程度の僅かな寸法だけ偏
心している。この偏心量は双方の偏心軸４０，４０同士
で互いに同じ寸法となるように設定されている。偏心軸
４０はその上記した鍔部４１よりも下方へ突出してお
り、この突出した偏心軸４０には研磨パッド４２が取り
付けられている。この偏心軸４０と研磨パッド４２によ
って本発明の研磨機構３９が構成されている。

【００２１】研磨機構３９の取付け構造は次のようにな
る。回転駆動軸３０をシャフトケース２４に取り付ける
前に、予め、偏心軸４０には下から２つのラジアルボー
ルベアリング４３，４３を上下に並べて嵌装すると共
に、偏心軸４０の下端の雄ネジ部４４にベアリングナッ
ト４５を螺合してそのベアリングナット４５をベアリン
グワッシャ４６を介して下側のラジアルボールベアリン
グ４３のインナレース４３Ａに下から係合させておく。
これにより、両ベアリング４３，４３が偏心軸４０に脱
落不能に取り付けられている。

【００２２】さらに、鍔部４１には上からホルダプレー
ト４７の貫通孔４８を相対回転可能に嵌装して、そのホ
ルダプレート４７を上側のラジアルボールベアリング４
３のアウタレース４３Ｂに係合させておく。そして、各
偏心軸４０に別々に嵌装された２枚のホルダプレート４
７，４７には１つの共通のパッドホルダ４９がボルト
（図示せず）によって固定されている。尚、このとき、
双方の偏心軸４０，４０の回転駆動軸３０に対する偏心
方向が互いに同じ方向となるようにしておく。

【００２３】パッドホルダ４９は、全体としてワークＷ
の搬送方向に対して横切る方向に長い形状をなしてい
る。パッドホルダ４９には上方に開口した２つの収容孔
５１，５１が形成され、これらの収容孔５１内には偏心
軸４０とラジアルボールベアリング４３，４３が収容さ
れている。かかるパッドホルダ４９は、両偏心軸４０，
４０が偏心回転すると、ワークＷの搬送方向に対して常
に一定の姿勢を保持しつつ円形軌跡を描いて移動するよ
うになっている。

【００２４】パッドホルダ４９の下面には、その全長に
亘って開口する取付溝５２が形成されている。この取付
溝５２には、その両内側壁面の上部を凹ませることによ
って係止段部５３が形成されている。かかる取付溝５２
には、研磨パッド４２が取り付けられている。

【００２５】研磨パッド４２は、その水平な板状をなす
パッド本体４２Ａの下面にフェルトなどの研磨シート５
４を貼設してなり、この研磨シートがワークＷの表面に
接触するようになる。また、パッド本体４２Ａの上面か
らは長さ方向に沿って延びるように取付部４２Ｂが一体
に形成されており、この取付部４２Ｂにはこの取付部４
２Ｂよりも幅の広い板状のパッドフランジ５５がボルト
５６によって固定されている。かかる研磨パッド４２
は、その取付部４２Ｂを上記パッドホルダ４９の取付溝
５２に嵌合させると共にパッドフランジ５５を取付溝５
２の係止段部５３に係合させることにより、パッドホル
ダ４９に支持されている。

【００２６】さらに、パッドフランジ５５の一方の（図
３における右側の）端部は、パッドホルダ４９に固定し
たパッドストッパ５７に傾斜面同士を係合させることに
よって係止されている。一方、パッドフランジ５５の上
記と反対側の端部はパッドホルダ４９から側方へ突出し
ており、この突出部分は、パッドホルダ４９に設けたク
ランプ５８によって保持されている。このクランプ５８
のレバー５８Ａを操作してシャフト５８Ｂを引き上げる
と、シャフト５８Ｂの下端に螺合下したナット５８Ｃの
係合によりパッドフランジ５５が所定高さに持ち上げら
れると共に、圧縮コイルばね５８Ｄによりパッドフラン
ジ５５の浮き上がりが規制され、もって、パッドフラン
ジ５５がパッドホルダ４９に固定される。レバー５８Ａ
を上記とは逆方向に操作してシャフト５８Ｂを下げる
と、パッドフランジ５５が下降すると共に圧縮コイルば
ね５８Ｄによる押圧が解除され、これによりパッドフラ
ンジ５５をパッドホルダ４９から取外し可能となる。

【００２７】上記のようにして研磨パッド４２はパッド
ホルダ４９を介して２本の偏心軸４０，４０に取り付け
られている。かかる研磨パッド４２は、両偏心軸４０，
４０を互いに同じ速度で回転させることにより、コンベ
ア２に対して一定の姿勢を保持したままで偏心寸法を半
径とする円の軌跡を描くように回転駆動される。尚、昇
降ベース８には、研磨パッド４２の移動を許容するため
の研磨パッド用開口５９が形成されている。

【００２８】次に、双方の偏心軸４０，４０を回転駆動
するための機構について図２及び図３を参照して説明す
る。可動ベース１２の図２における両シャフトケース２
４，２４よりも上方の位置には、スライドベース６０が
ボルト６１によって取り付けられている。ボルト６１は
スライドベース６０の長孔６２を貫通して可動ベース１
２に螺合されているため、スライドベース６０の可動ベ
ース１２に対する取付け位置は図２における上下方向の
一定範囲内において任意に調節することができるように
なっている。かかるスライドベース６０には、その下方
へ突出するように研磨用モータ６３が固定されている。
研磨用モータ６３の上下方向の出力軸６４はスライドベ
ース６０から上方へ突出しており、この出力軸６４には
これと一体回転する駆動プーリ６５が取り付けられてい
る。

【００２９】可動ベース１２の図２において両シャフト
ケース２４，２４の中間位置よりも右方の位置には、ス
ライドベース６６がボルト６７によって取り付けられて
いる。ボルト６７はスライドベース６６の長孔６８を貫
通して可動ベース１２に螺合されているため、スライド
ベース６６の可動ベース１２に対する取付け位置は図２
における左右方向の一定範囲内において任意に調節する
ことができるようになっている。かかるスライドベース
６６には、上記駆動プーリ６５と同じ高さの従動プーリ
６９が取り付けられており、この従動プーリ６９と駆動
プーリ６５との間にはタイミングベルト７０が掛け渡さ
れている。これにより、研磨用モータ６３を駆動する
と、従動プーリ６９が高速で回転されるようになる。
尚、タイミングベルト７０は、研磨用モータ６３を支持
するスライドベース６０の位置を調整することによって
緊張状態に保つことができる。

【００３０】さらに、この従動プーリ６９には、これと
一体回転する駆動プーリ７１が取り付けられている。そ
して、２本の回転駆動軸３０，３０の上端には、夫々、
これらと一体回転する従動プーリ７２，７２が取り付け
られている。この駆動プーリ７１と従動プーリ７２，７
２との間にはタイミングベルト７３が三角形状に掛け渡
されている。これにより、上記研磨用モータ６３を駆動
すると、２本の回転駆動軸３０，３０が互いに同じ速度
で高速回転し、同時に２本の偏心軸４０，４０が互いに
同じ速度で高速回転される。尚、タイミングベルト７３
は、従動プーリ６９と駆動プーリ７１を支持するスライ
ドベース６６の位置を調整することによって緊張状態に
保つことができる。

【００３１】上記構成になる本実施形態の研磨装置にお
いては、ワークＷの厚さ寸法に合わせて昇降フレーム７
を上下動させることにより研磨パッド４２がワークＷに
適切な押圧力で接触するように設定し、かかる状態でス
ライド用モータ１６と研磨用モータ６３を駆動すると共
に、ワークＷを搬送する。すると、搬送されるワークＷ
の表面に対して研磨パッド４２が研磨を施し、ワークＷ
の表面の筋状の多数の傷が消失する。

【００３２】このときのワークＷに対する研磨パッド４
２の動きは、コンベア２によるワークＷの直線移動と、
このワークＷの移動方向と直交する方向への可動ベース
１２の往復直線移動と、この可動ベース１２に対して偏
心回転する研磨パッド４２の回転移動とが複合した複雑
な軌跡を描くものとなる。したがって、研磨パッド４２
のワークＷに対する研磨方向が常に不特定の方向へ向き
を変えることになり、ワークＷの表面の仕上がりが良好
なものとなる。

【００３３】上記の研磨装置では、研磨パッド４２が高
速で偏心回転されるために回転駆動軸３０には大きな遠
心力が作用するが、本実施形態においては、その研磨パ
ッド４２の遠心力に起因する回転駆動軸３０の軸心Ｐの
ブレを防止するための手段が設けられている。以下、そ
の構成について説明する。

【００３４】回転駆動軸３０を支持しているシャフトケ
ース２４の内部は、回転駆動軸３０と同心の円形断面の
収容空間８０となっている。この収容空間８０内におい
ては、回転駆動軸３０と同じ素材からなり、全体として
円柱形をなすバランサ８１が収容されている。このバラ
ンサ８１には、その中心Ｇｂから所定距離だけずれた位
置を中心とし、且つ、回転駆動軸３０と同径の円形をな
す嵌通孔８２が形成されており、バランサ８１はその嵌
通孔８２を嵌合させることによって回転駆動軸３０に取
り付けられている。

【００３５】このバランサ８１の取付け構造は次のよう
になっている。回転駆動軸３０の外周にはその軸線と平
行なキー溝８３が形成されていると共にバランサ８１の
嵌通孔８２の内周にもキー溝８４が形成され、この両キ
ー溝８３，８４にキー８５を嵌合させることによって回
転駆動軸３０とバランサ８１とが一体回転可能に連結さ
れる。さらに、バランサ８１には、その外周から嵌通孔
８２内に達する雌ねじ孔８６が形成されており、この雌
ねじ孔８６内にボルト８７を螺合してそのボルト８７の
先端をキー８５に押圧することによりバランサ８１が回
転駆動軸３０に固定されている。かかるバランサ８１は
回転駆動軸３０が回転すると、収容空間内８０において
回転駆動軸３０と一体となって偏心回転する。

【００３６】次に、バランサ８１の重量と配置について
図５を参照して説明する。バランサ８１は研磨パッド４
２の偏心回転によって生じる遠心力を打ち消すためのも
のであるから、重量と配置については、研磨パッド４２
と偏心軸４０を含む研磨機構３９の重量と、その重心位
置Ｇｓの回転駆動軸３０の軸心Ｐからの偏心量とに基づ
いて設定されている。尚、研磨機構３９は偏心軸４０に
関して対称的な構造になっていることから、研磨機構３
９の重心Ｇｓの位置は両偏心軸４０，４０の軸心Ｐｓ，
Ｐｓを結ぶ直線上にあり、その位置は両軸心Ｐｓ，Ｐｓ
のほぼ中間位置にある。

【００３７】バランサ８１の重心位置と重量の設定方法
として、本実施形態では、まず、バランサ８１の重心Ｇ
ｂが回転駆動軸３０の軸心Ｐを通る線Ｑに関して研磨機
構３９の重心Ｇｓの位置とは正反対の側に位置するよう
にした。さらに、研磨機構３９の重心位置Ｇｓの偏心量
と重量とを乗じて求められるモーメントの値と、バラン
サ８１の重心位置Ｇｂの偏心量と重量とを乗じて求めら
れるモーメントの値とがほぼ同じになるようにするよう
にし、これに基づいてバランサ８１の重心位置Ｇｓの偏
心量と重量とが設定されている。

【００３８】研磨機構３９側とバランサ８１側のモーメ
ントの関係式は後述のようになる。研磨機構３９の回転
駆動軸３０に対して偏心回転するものすべてを含んだ重
量をＷｓとし、その重心位置Ｇｓの回転駆動軸３０の軸
心Ｐからの偏心量をＥｓとする。一方、バランサ８１の
重量はＷｂとし、その重心位置Ｇｂの偏心量をＥｂとす
る（図５を参照）。但し、本実施形態では、上記のよう
にバランサ８１が回転駆動軸３０と同じ素材即ち同じ比
重であることから、バランサ８１側のモーメントに関し
ては嵌通孔８２内に存在する回転駆動軸３０を含んだ円
柱形をなすものとして計算する。また、キー８５及びボ
ルト８７については回転駆動軸３０及びバランサ８１と
同じ素材であるものとしてバランサ８１に含めることに
する。さらに、キー溝８３内の空間と雌ねじ孔８６内の
空間については、いずれも容積が無視し得る程度に小さ
いことから、計算上は考慮しない。

【００３９】上記の条件により、研磨機構３９側のモー
メントＭｓとバランサ８１のモーメントＭｂは、夫々、 Ｍｓ＝Ｗｓ×Ｅｓ・・・・・・・（１） Ｍｂ＝Ｗｂ×Ｅｂ・・・・・・・（２） となる。ここで、研磨機構３９は２つのバランサ８１，
８１で分担されるため、この双方のモーメントの関係式
は、 Ｍｂ＝Ｍｓ／２・・・・・・・・（３） となる。また、バランサ８１の上下端面の面積Ｓとし、
高さをｈとし、素材の比重をｄとすると、バランサ８１
の重量Ｗｂは、 Ｗｂ＝Ｓ×ｈ×ｄ・・・・・・・（４） となる。したがって、上式（２），（３），（４）によ
り、 Ｓ×ｈ×Ｅｂ＝Ｍｓ／２ｄ・・・（５） となる。この式（５）において右項の値Ｍｓ／２ｄは予
め決められているから、バランサ８１の面積Ｓと高さｈ
と重心位置の偏心量Ｅｂは、同式（５）に基づいて任意
に設定することができる。

【００４０】上述のようにして重心位置の偏心量Ｅｂと
重量Ｗｂとを定めて設けた２つのバランサ８１，８１は
研磨機構３９と一体となって偏心回転する。そして、こ
のバランサ８１の偏心回転により、研磨機構３９の偏心
回転によって生じる遠心力とほぼ同じ大きさの遠心力が
回転駆動軸３０の軸心Ｐに関して正反対の方向に生じ
る。これにより、双方の遠心力が相殺され、回転駆動軸
３０に横ブレを生じさせるような力が作用することが防
止される。したがって、バランサ８１を設けない場合に
発生していた装置の振動や異音は、本実施形態では生じ
る虞がない。

【００４１】上記実施形態では、バランサ８１の比重を
回転駆動軸３０と同じにしたため、モーメントの計算に
際してはバランサ８１が回転駆動軸３０の部分も含んだ
円柱体をなすものと想定した。これにより、バランサ８
１の円の中心Ｇｂがそのまま重心位置となると共に、重
量の算出において回転駆動軸３０の分を差し引くという
手間が省かれることになり、その結果、重心位置Ｇｂの
偏心量Ｅｂと重量Ｗｂとを設定する際の計算式が単純化
されている。

【００４２】尚、バランサ８１を回転駆動軸３０とは比
重の異なる素材のものとする場合には、回転駆動軸３０
の部分を除いたバランサ８１のみの重心位置と重量とを
算出する必要があるために計算が若干複雑になるが、そ
のバランサ８１のみの重心位置の偏心量と重量とを乗じ
たモーメントの値が研磨機構３９のモーメントの値と同
じになるように設定するという点については本実施形態
と同じである。

【００４３】＜他の実施形態＞本発明は上記記述及び図
面によって説明した実施形態に限定されるものではな
く、例えば次のような実施態様も本発明の技術的範囲に
含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内
で種々変更して実施することができる。

【００４４】（１）上記実施形態では、研磨機構３９が
姿勢を変えずに平行移動する場合について説明したが、
本発明は、研磨機構３９が偏心軸４０を中心として自転
する場合にも適用することができる。

【００４５】（２）上記実施形態では、ワークＷの搬送
経路を横切るように往復移動する可動ベース１２を設け
た場合について説明したが、本発明によれば、このよう
な可動ベース１２を設けずに回転駆動軸をコンベアに対
して一定の位置に支持する構成としてもよい。

【００４６】（３）上記実施形態では、バランサ８１の
形状が全体として円柱形をなす場合について説明した
が、本発明によれば、バランサの形状は円柱形以外の他
の形状とすることもできる。

【００４７】（４）上記実施形態では、研磨パッド４２
が２本の回転駆動軸３０，３０によって支持されている
場合について説明したが、本発明は、研磨パッドが１本
の回転駆動軸によって支持されている場合や３本以上の
回転駆動軸に支持されている場合にも適用することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の全体外観正面図

【図２】研磨機構の平面図

【図３】研磨機構の右側面図

【図４】図３のＡ−Ａ断面図

【図５】研磨機構とバランサの位置関係をあらわす平面
概略図

【符号の説明】

２…コンベア １２…可動ベース ３０…回転駆動軸 ３９…研磨機構 ４０…偏心軸 ４２…研磨パッド ８１…バランサ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークを搬送するコンベアと、回転駆動
   軸と一体回転する偏心軸に研磨パッドを取り付けてなる
   研磨機構とを備え、搬送される前記ワークに対して前記
   研磨パッドが偏心回転することにより研磨するものにお
   いて、 前記回転駆動軸に、その軸心に関して前記研磨機構の重
   心位置と反対側に偏心した位置に重心を配したバランサ
   を一体回転可能に設けたことを特徴とする研磨装置。
2. 【請求項２】 バランサの重量と重心位置の偏心量は、
   その重量と偏心量とを乗じたモーメントの値が研磨機構
   の重量と重心位置の偏心量とを乗じたモーメントの値に
   ほぼ等しくなるように設定されることを特徴とする請求
   項１記載の研磨装置。
3. 【請求項３】 回転駆動軸は、ワークの搬送経路を横切
   る方向への往復移動可能に設けた可動ベースに支持され
   ていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の研
   磨装置。