JPH09298224A - 重量物旋回装置及び検査装置 - Google Patents
重量物旋回装置及び検査装置Info
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- JPH09298224A JPH09298224A JP8139412A JP13941296A JPH09298224A JP H09298224 A JPH09298224 A JP H09298224A JP 8139412 A JP8139412 A JP 8139412A JP 13941296 A JP13941296 A JP 13941296A JP H09298224 A JPH09298224 A JP H09298224A
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- test head
- fixed
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 従来のプローブ装置のようにモータ単独でテ
ストヘッドの重量を支え、旋回させるとモータの出力が
大きくなって自重が重くなると共にモータの駆動力を伝
達する歯車も大型化し、構造的には益々複雑になり高コ
スト化する。 【解決手段】 取付プレートに固定されたモータの負荷
を軽減する負荷軽減機構２７を設け、また、回転軸１１
の一端に固定された大歯車１６にはこれに対して相対回
転自在に取付プレートを連結し、取付プレートには大歯
車１６から相対的に先行させて取付プレートを所定量だ
け回転させ、その後はテストヘッド５により旋回させる
先行回転手段を設ける。大歯車１６にはシャッターを設
けると共に取付プレートにシャッターを検出してテスト
ヘッド５をプローブカードと接触する前に止めるフォト
センサを設けた。
ストヘッドの重量を支え、旋回させるとモータの出力が
大きくなって自重が重くなると共にモータの駆動力を伝
達する歯車も大型化し、構造的には益々複雑になり高コ
スト化する。 【解決手段】 取付プレートに固定されたモータの負荷
を軽減する負荷軽減機構２７を設け、また、回転軸１１
の一端に固定された大歯車１６にはこれに対して相対回
転自在に取付プレートを連結し、取付プレートには大歯
車１６から相対的に先行させて取付プレートを所定量だ
け回転させ、その後はテストヘッド５により旋回させる
先行回転手段を設ける。大歯車１６にはシャッターを設
けると共に取付プレートにシャッターを検出してテスト
ヘッド５をプローブカードと接触する前に止めるフォト
センサを設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、重量物旋回装置及
びこの重量物旋回装置を適用した検査装置に関する。
びこの重量物旋回装置を適用した検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の検査装置例えばプローブ装置は、
テスタと接続された状態で、例えば半導体ウエハに形成
された多数のＩＣチップに対する電気的検査を連続的に
行うようにしてある。プローブ装置は、一般に、カセッ
ト単位で搬入、搬出された半導体ウエハを１枚ずつ搬送
する搬送機構を有するローダ部と、このローダ部の搬送
機構との間で半導体ウエハを１枚ずつ授受し、半導体ウ
エハのＩＣチップを１個ずつ連続的に電気的検査を行う
プローバ部とを備えている。このプローバ部は、プロー
ブ装置本体を構成し、上記搬送機構との間で半導体ウエ
ハを１枚ずつ授受する載置台と、この載置台の上方に配
置された接触子機構（プローブカード）と、このプロー
ブカードとテスタ間を電気的に中継するテストヘッドと
を備えている。テストヘッドは、テストヘッド枠及びヒ
ンジを介して回転軸に固定され、この回転軸を中心にプ
ローブ装置本体とメンテナンスエリアとの間で例えば１
８０°旋回可能になっている。また、テストヘッドには
多数の電子部品が実装されており、テストヘッドとテス
トヘッド枠等の付属品を合わせた重量は小型のものでも
例えば３０〜１００Ｋｇに前後に達し、テストヘッドを
手動で旋回させるのは安全対策上得策ではない。そのた
め、例えば１００Ｋｇ程度のテストヘッドを旋回させる
場合にはモータを用いらることが多い。
テスタと接続された状態で、例えば半導体ウエハに形成
された多数のＩＣチップに対する電気的検査を連続的に
行うようにしてある。プローブ装置は、一般に、カセッ
ト単位で搬入、搬出された半導体ウエハを１枚ずつ搬送
する搬送機構を有するローダ部と、このローダ部の搬送
機構との間で半導体ウエハを１枚ずつ授受し、半導体ウ
エハのＩＣチップを１個ずつ連続的に電気的検査を行う
プローバ部とを備えている。このプローバ部は、プロー
ブ装置本体を構成し、上記搬送機構との間で半導体ウエ
ハを１枚ずつ授受する載置台と、この載置台の上方に配
置された接触子機構（プローブカード）と、このプロー
ブカードとテスタ間を電気的に中継するテストヘッドと
を備えている。テストヘッドは、テストヘッド枠及びヒ
ンジを介して回転軸に固定され、この回転軸を中心にプ
ローブ装置本体とメンテナンスエリアとの間で例えば１
８０°旋回可能になっている。また、テストヘッドには
多数の電子部品が実装されており、テストヘッドとテス
トヘッド枠等の付属品を合わせた重量は小型のものでも
例えば３０〜１００Ｋｇに前後に達し、テストヘッドを
手動で旋回させるのは安全対策上得策ではない。そのた
め、例えば１００Ｋｇ程度のテストヘッドを旋回させる
場合にはモータを用いらることが多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブ装置等の検査装置のようにモータ単独でテスト
ヘッドの重量を支え、旋回させるとモータの出力が大き
くなって自重が重くなると共にモータの駆動力を伝達す
る歯車も大型化するため、これらの支持構造の機械的強
度を大きく採る必要があり、しかもモータの万一の故障
等の不具合に備えてテストヘッドの落下を防止する、機
構的に複雑な落下防止機構を設けなくてはならず、構造
的には益々複雑になり高コスト化するという課題があっ
た。また、モータ単独でテストヘッドをプローブカード
等の接触子機構へ過負荷なく正確に位置決めして接触さ
せることが難しく、機構的に複雑な位置決め機構をモー
タとは別に設けなくてはならず、更なるコスト高を招く
という課題があった。
プローブ装置等の検査装置のようにモータ単独でテスト
ヘッドの重量を支え、旋回させるとモータの出力が大き
くなって自重が重くなると共にモータの駆動力を伝達す
る歯車も大型化するため、これらの支持構造の機械的強
度を大きく採る必要があり、しかもモータの万一の故障
等の不具合に備えてテストヘッドの落下を防止する、機
構的に複雑な落下防止機構を設けなくてはならず、構造
的には益々複雑になり高コスト化するという課題があっ
た。また、モータ単独でテストヘッドをプローブカード
等の接触子機構へ過負荷なく正確に位置決めして接触さ
せることが難しく、機構的に複雑な位置決め機構をモー
タとは別に設けなくてはならず、更なるコスト高を招く
という課題があった。
【０００４】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、モータの駆動力を軽減することができると
共にモータに万一の不具合が生じてもテストヘッド等の
重量物の急激な落下を防止することができ、しかも機構
的に簡単で低コストで製造できる重量物旋回装置及び検
査装置を提供することを目的としている。また、テスト
ヘッド等の重量物を所定の旋回位置に正確に位置決めす
ることができ、しかも極めて簡単な機構で且つ低コスト
で製造できる重量物旋回装置及び検査装置を提供するこ
とを目的としている。
れたもので、モータの駆動力を軽減することができると
共にモータに万一の不具合が生じてもテストヘッド等の
重量物の急激な落下を防止することができ、しかも機構
的に簡単で低コストで製造できる重量物旋回装置及び検
査装置を提供することを目的としている。また、テスト
ヘッド等の重量物を所定の旋回位置に正確に位置決めす
ることができ、しかも極めて簡単な機構で且つ低コスト
で製造できる重量物旋回装置及び検査装置を提供するこ
とを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の重量物旋回装置は、一対の支持体に回転自在に軸支さ
れた回転軸と、上記回転軸に固定された重量物を上記回
転軸を介して旋回させるモータと、上記モータへの負荷
を軽減する負荷軽減機構とを備え、上記負荷軽減機構
は、上記回転軸に固定された固定体と、上記固定体に連
結され、上記重量物から上記固定体に作用する回転トル
クを相殺する回転トルクを上記固定体に付与するスプリ
ング機構とを有することを特徴とするものである。
の重量物旋回装置は、一対の支持体に回転自在に軸支さ
れた回転軸と、上記回転軸に固定された重量物を上記回
転軸を介して旋回させるモータと、上記モータへの負荷
を軽減する負荷軽減機構とを備え、上記負荷軽減機構
は、上記回転軸に固定された固定体と、上記固定体に連
結され、上記重量物から上記固定体に作用する回転トル
クを相殺する回転トルクを上記固定体に付与するスプリ
ング機構とを有することを特徴とするものである。
【０００６】また、本発明の請求項２に記載の重量物旋
回装置は、請求項１に記載の発明において、上記スプリ
ング機構は、上記回転軸に直交させて設けられたガスス
プリングと、上記ガススプリングのピストンロッドと上
記固定体を連結する連結部材とを有し、上記ピストンロ
ッド及び連結部材を介して上記固定体に回転トルクを付
与するとを特徴とするものである。
回装置は、請求項１に記載の発明において、上記スプリ
ング機構は、上記回転軸に直交させて設けられたガスス
プリングと、上記ガススプリングのピストンロッドと上
記固定体を連結する連結部材とを有し、上記ピストンロ
ッド及び連結部材を介して上記固定体に回転トルクを付
与するとを特徴とするものである。
【０００７】また、本発明の請求項３に記載の重量物旋
回装置は、一対の支持体に回転自在に軸支された回転軸
と、上記回転軸に固定された重量物を上記回転軸を介し
て旋回させるモータと、上記モータが固定された取付体
と、上記取付体に固定されたモータの駆動力を上記回転
軸に伝達すべく上記回転軸の一部に固定された動力伝達
輪とを備え、上記動力伝達輪にはこれに対して相対回転
自在に上記取付体を連結すると共に、上記取付体には上
記動力伝達輪から相対的に先行させて上記取付体を上記
モータにより所定量だけ回転させ、その後は上記重量物
を上記モータにより旋回させる先行回転手段を設け、ま
た、上記動力伝達輪には被検出体を設けると共に上記取
付体には上記被検出体を検出して上記モータを止めるこ
とで上記重量物を所定の旋回位置に達する前に止める物
体検出センサを設け、上記先行移動量で上記重量物の停
止位置から所定の旋回位置までの移動量を補完すること
を特徴とするものである。
回装置は、一対の支持体に回転自在に軸支された回転軸
と、上記回転軸に固定された重量物を上記回転軸を介し
て旋回させるモータと、上記モータが固定された取付体
と、上記取付体に固定されたモータの駆動力を上記回転
軸に伝達すべく上記回転軸の一部に固定された動力伝達
輪とを備え、上記動力伝達輪にはこれに対して相対回転
自在に上記取付体を連結すると共に、上記取付体には上
記動力伝達輪から相対的に先行させて上記取付体を上記
モータにより所定量だけ回転させ、その後は上記重量物
を上記モータにより旋回させる先行回転手段を設け、ま
た、上記動力伝達輪には被検出体を設けると共に上記取
付体には上記被検出体を検出して上記モータを止めるこ
とで上記重量物を所定の旋回位置に達する前に止める物
体検出センサを設け、上記先行移動量で上記重量物の停
止位置から所定の旋回位置までの移動量を補完すること
を特徴とするものである。
【０００８】また、本発明の請求項４に記載の重量物旋
回装置は、請求項３に記載の発明において、上記モータ
への負荷を軽減する負荷軽減機構を上記回転軸に連結
し、上記負荷軽減機構は、上記回転軸に固定された固定
体と、上記固定体に連結され、上記重量物から上記固定
体に作用する回転トルクを相殺する回転トルクを付与す
るスプリング機構とを有することを特徴とするものであ
る。
回装置は、請求項３に記載の発明において、上記モータ
への負荷を軽減する負荷軽減機構を上記回転軸に連結
し、上記負荷軽減機構は、上記回転軸に固定された固定
体と、上記固定体に連結され、上記重量物から上記固定
体に作用する回転トルクを相殺する回転トルクを付与す
るスプリング機構とを有することを特徴とするものであ
る。
【０００９】また、本発明の請求項５に記載の検査装置
は、テストヘッドを回転軸を介して旋回させて接触子機
構とテスタとの導通を図り、上記テスタの信号を接触子
機構を介して被検査体との間で授受して上記被検査体の
電気的検査を行う検査装置において、上記テストヘッド
を上記回転軸を介して旋回させるモータと、上記モータ
の駆動力を上記回転軸に伝達すべく上記回転軸の一部に
固定された動力伝達輪と、上記テストヘッドから上記回
転軸を介して上記動力伝達輪に作用する負荷を軽減する
負荷軽減機構とを備え、且つ、上記負荷軽減機構とし
て、上記回転軸に固定された固定体と、上記固定体に連
結され、上記テストヘッドから上記固定体に作用する回
転トルクを相殺する回転トルクを上記固定体に付与する
スプリング機構を設けたことを特徴とするものである。
は、テストヘッドを回転軸を介して旋回させて接触子機
構とテスタとの導通を図り、上記テスタの信号を接触子
機構を介して被検査体との間で授受して上記被検査体の
電気的検査を行う検査装置において、上記テストヘッド
を上記回転軸を介して旋回させるモータと、上記モータ
の駆動力を上記回転軸に伝達すべく上記回転軸の一部に
固定された動力伝達輪と、上記テストヘッドから上記回
転軸を介して上記動力伝達輪に作用する負荷を軽減する
負荷軽減機構とを備え、且つ、上記負荷軽減機構とし
て、上記回転軸に固定された固定体と、上記固定体に連
結され、上記テストヘッドから上記固定体に作用する回
転トルクを相殺する回転トルクを上記固定体に付与する
スプリング機構を設けたことを特徴とするものである。
【００１０】また、本発明の請求項６に記載の検査装置
は、テストヘッドを回転軸を介して旋回させて接触子機
構をテスタとの導通を図り、テスタの信号を接触子機構
を介して被検査体との間で授受して被検査体の電気的検
査を行う検査装置において、上記テストヘッドを旋回す
べく取付体に固定されたモータと、上記モータの駆動力
を上記回転軸に伝達すべく上記回転軸の一部に固定され
た動力伝達輪と、上記テストヘッドから上記回転軸を介
して上記動力伝達輪に作用する負荷を軽減する負荷軽減
機構とを備え、且つ、上記負荷軽減機構として、上記回
転軸に固定された固定体と、上記固定体に連結され、上
記テストヘッドから上記固定体に作用する回転トルクを
相殺する回転トルクを上記固定体に付与するスプリング
機構を設け、上記動力伝達輪にはこれに対して相対回転
自在に上記取付体を連結すると共に、 上記取付体には
上記動力伝達輪から相対的に先行させて上記取付体を上
記モータにより所定量だけ回転させ、その後は上記テス
トヘッドを上記モータにより旋回させる先行回転手段を
設け、また、上記動力伝達輪には被検出体を設けると共
に上記取付体には上記被検出体を検出して上記モータを
止めることで上記テストヘッドを上記接触子機構と接触
する前に止める物体検出センサを設け、上記先行移動量
で上記テストヘッドの停止位置から上記接触子機構との
接触位置までの移動量を補完することを特徴とするもの
である。
は、テストヘッドを回転軸を介して旋回させて接触子機
構をテスタとの導通を図り、テスタの信号を接触子機構
を介して被検査体との間で授受して被検査体の電気的検
査を行う検査装置において、上記テストヘッドを旋回す
べく取付体に固定されたモータと、上記モータの駆動力
を上記回転軸に伝達すべく上記回転軸の一部に固定され
た動力伝達輪と、上記テストヘッドから上記回転軸を介
して上記動力伝達輪に作用する負荷を軽減する負荷軽減
機構とを備え、且つ、上記負荷軽減機構として、上記回
転軸に固定された固定体と、上記固定体に連結され、上
記テストヘッドから上記固定体に作用する回転トルクを
相殺する回転トルクを上記固定体に付与するスプリング
機構を設け、上記動力伝達輪にはこれに対して相対回転
自在に上記取付体を連結すると共に、 上記取付体には
上記動力伝達輪から相対的に先行させて上記取付体を上
記モータにより所定量だけ回転させ、その後は上記テス
トヘッドを上記モータにより旋回させる先行回転手段を
設け、また、上記動力伝達輪には被検出体を設けると共
に上記取付体には上記被検出体を検出して上記モータを
止めることで上記テストヘッドを上記接触子機構と接触
する前に止める物体検出センサを設け、上記先行移動量
で上記テストヘッドの停止位置から上記接触子機構との
接触位置までの移動量を補完することを特徴とするもの
である。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図５に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。本実施形態では重量物旋
回装置を備えた検査装置（プローブ装置）について説明
する。
に基づいて本発明を説明する。本実施形態では重量物旋
回装置を備えた検査装置（プローブ装置）について説明
する。
【００１２】本実施形態のプローブ装置１は、例えば図
１、図２の（ａ）に示すように、被検査体例えば半導体
ウエハＷの電気的検査を行うプローバ部を構成するプロ
ーブ装置本体（以下、単に「装置本体」と称す。）２
と、この装置本体２の左側に隣接させて配設された旋回
装置３と、この旋回装置３によって装置本体２とメンテ
ナンスエリア４との間でほぼ１８０°旋回するテストヘ
ッド５とを備えて構成されている。また、図示してない
が装置本体２の右隣には半導体ウエハＷをカセット単位
で収納し、このカセットから半導体ウエハＷを１枚ずつ
プローバ部へロード、アンロードするローダ部が配設さ
れている。尚、上記旋回装置３が重量物であるテストヘ
ッド５を旋回させる重量物旋回装置として構成されてい
る。
１、図２の（ａ）に示すように、被検査体例えば半導体
ウエハＷの電気的検査を行うプローバ部を構成するプロ
ーブ装置本体（以下、単に「装置本体」と称す。）２
と、この装置本体２の左側に隣接させて配設された旋回
装置３と、この旋回装置３によって装置本体２とメンテ
ナンスエリア４との間でほぼ１８０°旋回するテストヘ
ッド５とを備えて構成されている。また、図示してない
が装置本体２の右隣には半導体ウエハＷをカセット単位
で収納し、このカセットから半導体ウエハＷを１枚ずつ
プローバ部へロード、アンロードするローダ部が配設さ
れている。尚、上記旋回装置３が重量物であるテストヘ
ッド５を旋回させる重量物旋回装置として構成されてい
る。
【００１３】上記装置本体２内には図２の（ａ）に示す
ように半導体ウエハＷを載置する載置台６が配設され、
この載置台６はテーブル（図示せず）を介してＸ、Ｙ、
Ｚ及びθ方向へ移動し、半導体ウエハＷを所定の検査位
置へ位置決めするようにしてある。また、装置本体２の
天面を形成するヘッドプレート７の中央孔には接触子機
構（プローブカード）８が取り付けられ、テストヘッド
５が装置本体２上に旋回し位置決めされた時にテストヘ
ッド５が接続リング９を介してプローブカード８上面の
接続端子と電気的に接続するようにしてある。従って、
プローブ装置１は、テスタ（図示せず）からのテスト信
号をテストヘッド５、プローブカード８のプローブ針８
Ａを介して載置台６上の半導体ウエハＷの電極で受信
し、半導体ウエハＷの各ＩＣチップの電気的検査を行う
ようにしてある。
ように半導体ウエハＷを載置する載置台６が配設され、
この載置台６はテーブル（図示せず）を介してＸ、Ｙ、
Ｚ及びθ方向へ移動し、半導体ウエハＷを所定の検査位
置へ位置決めするようにしてある。また、装置本体２の
天面を形成するヘッドプレート７の中央孔には接触子機
構（プローブカード）８が取り付けられ、テストヘッド
５が装置本体２上に旋回し位置決めされた時にテストヘ
ッド５が接続リング９を介してプローブカード８上面の
接続端子と電気的に接続するようにしてある。従って、
プローブ装置１は、テスタ（図示せず）からのテスト信
号をテストヘッド５、プローブカード８のプローブ針８
Ａを介して載置台６上の半導体ウエハＷの電極で受信
し、半導体ウエハＷの各ＩＣチップの電気的検査を行う
ようにしてある。
【００１４】上記テストヘッド５は、例えば図１、図２
の（ａ）に示すように、一対のヒンジ１０を介して回転
軸１１に固定され、この回転軸１１を介して旋回可能に
してある。この回転軸１１の両端部は、図１に示すよう
に、一対の支持体１２上に配設された軸受１３によって
軸支されている。また、図３、図４に示すように一方の
支持体１２には例えば電磁ブレーキ付きモータ１４が配
設され、このモータ１４を介して回転軸１１を回転させ
るようにしてある。即ち、図３に示すようにモータ１４
の駆動軸先端には小歯車１５が固定され、この小歯車１
５には回転軸１１の一端に固定された大歯車１６と噛合
し、モータ１４の駆動力を小歯車１５、大歯車１６を介
して回転軸１１に伝達し、もってテストヘッド５を旋回
させるようにしてある。そして、このモータ１４は支持
体１２に配設されたコントローラ１７の制御下で駆動す
るようにしてある。
の（ａ）に示すように、一対のヒンジ１０を介して回転
軸１１に固定され、この回転軸１１を介して旋回可能に
してある。この回転軸１１の両端部は、図１に示すよう
に、一対の支持体１２上に配設された軸受１３によって
軸支されている。また、図３、図４に示すように一方の
支持体１２には例えば電磁ブレーキ付きモータ１４が配
設され、このモータ１４を介して回転軸１１を回転させ
るようにしてある。即ち、図３に示すようにモータ１４
の駆動軸先端には小歯車１５が固定され、この小歯車１
５には回転軸１１の一端に固定された大歯車１６と噛合
し、モータ１４の駆動力を小歯車１５、大歯車１６を介
して回転軸１１に伝達し、もってテストヘッド５を旋回
させるようにしてある。そして、このモータ１４は支持
体１２に配設されたコントローラ１７の制御下で駆動す
るようにしてある。
【００１５】また、上記モータ１４は、図３、図４に示
すように、取付プレート１８に固定されている。この取
付プレート１８の上部には大歯車１６のボス部１６Ａが
遊嵌する孔が形成されている。そして、ボス部１６Ａと
孔の間には軸受１９が介装され、この軸受１９を介して
取付プレート１８が大歯車１６に対して相対的に正逆方
向へ回転するようにしてある。また、取付プレート１８
の下部には図３、図４に示すように例えば円弧状の長孔
１８Ａが形成され、この長孔１８Ａに支持体１２に設け
られた側板に固定された位置決めピン２０が遊嵌してい
る。そして、取付プレート１８は、モータ１４が駆動し
て時に、位置決めピン２０が長孔１８Ａの一端で係合す
るまで大歯車１６より先行して回転し、その後はテスト
ヘッド５がモータ１４により旋回するようにしてある。
即ち、取付プレート１８の長孔１８Ａ及び位置決めピン
２０は、取付プレート１８をテストヘッド５に先行させ
て所定量回転させる先行回転手段２１として構成されて
いる。
すように、取付プレート１８に固定されている。この取
付プレート１８の上部には大歯車１６のボス部１６Ａが
遊嵌する孔が形成されている。そして、ボス部１６Ａと
孔の間には軸受１９が介装され、この軸受１９を介して
取付プレート１８が大歯車１６に対して相対的に正逆方
向へ回転するようにしてある。また、取付プレート１８
の下部には図３、図４に示すように例えば円弧状の長孔
１８Ａが形成され、この長孔１８Ａに支持体１２に設け
られた側板に固定された位置決めピン２０が遊嵌してい
る。そして、取付プレート１８は、モータ１４が駆動し
て時に、位置決めピン２０が長孔１８Ａの一端で係合す
るまで大歯車１６より先行して回転し、その後はテスト
ヘッド５がモータ１４により旋回するようにしてある。
即ち、取付プレート１８の長孔１８Ａ及び位置決めピン
２０は、取付プレート１８をテストヘッド５に先行させ
て所定量回転させる先行回転手段２１として構成されて
いる。
【００１６】また、上記取付プレート１８の上端部には
フォトセンサ２２が取り付けられ、このフォトセンサ２
２により大歯車１６の側部に取り付けられたシャッター
２３を検出し、この検出信号によりモータ１４を止め、
ひいてはテストヘッド５の旋回を止めるようにしてあ
る。シャッター２３は、テストヘッド５が旋回し、テス
トヘッド５がプローブカード８の接触端子に接触する前
にフォトセンサ２２の光線を遮断する位置に合わせて大
歯車１６に取り付けられている。
フォトセンサ２２が取り付けられ、このフォトセンサ２
２により大歯車１６の側部に取り付けられたシャッター
２３を検出し、この検出信号によりモータ１４を止め、
ひいてはテストヘッド５の旋回を止めるようにしてあ
る。シャッター２３は、テストヘッド５が旋回し、テス
トヘッド５がプローブカード８の接触端子に接触する前
にフォトセンサ２２の光線を遮断する位置に合わせて大
歯車１６に取り付けられている。
【００１７】また、上記テストヘッド５側面の下端には
図２に示すように係止片２４が取り付けられ、装置本体
２上面の側縁に係止片２４に対応させて配設された係止
部材２５によって係止され、テストヘッド５がプローブ
カード８と電気的に接続する位置で確実に止まるように
してある。そして、係止部材２５の外側にはクランプ機
構２６が配設され、テストヘッド５がプローブカード８
と接触する前に停止した直後にクランプ機構３６がコン
トローラ１７の制御下で作動し、係止部材２５と係合し
た係止片１４を係止部材２５とで挟持してテストヘッド
５を固定するようにしてある。また、テストヘッド５を
装置本体２から上方へ旋回する時にはコントローラ１７
の制御下でクランプ機構２６が矢印方向へ回転し、テス
トヘッド５を解放するようにしてある。
図２に示すように係止片２４が取り付けられ、装置本体
２上面の側縁に係止片２４に対応させて配設された係止
部材２５によって係止され、テストヘッド５がプローブ
カード８と電気的に接続する位置で確実に止まるように
してある。そして、係止部材２５の外側にはクランプ機
構２６が配設され、テストヘッド５がプローブカード８
と接触する前に停止した直後にクランプ機構３６がコン
トローラ１７の制御下で作動し、係止部材２５と係合し
た係止片１４を係止部材２５とで挟持してテストヘッド
５を固定するようにしてある。また、テストヘッド５を
装置本体２から上方へ旋回する時にはコントローラ１７
の制御下でクランプ機構２６が矢印方向へ回転し、テス
トヘッド５を解放するようにしてある。
【００１８】従って、例えば、図５の（ａ）で示すよう
にテストヘッド５を装置本体２側から９０°旋回した位
置から装置本体２側へ旋回させる時に、モータ１４が始
動して小歯車１５が同図の矢印で示すように時計方向へ
回転すると、これに伴って大歯車１６を反時計方向へ回
転させようとするが、大歯車１６は回転せず、取付プレ
ート１８が大歯車１６のボス部１６Ａを中心にモータ１
４と一体的に矢印で示すように時計方向へ回転する。
にテストヘッド５を装置本体２側から９０°旋回した位
置から装置本体２側へ旋回させる時に、モータ１４が始
動して小歯車１５が同図の矢印で示すように時計方向へ
回転すると、これに伴って大歯車１６を反時計方向へ回
転させようとするが、大歯車１６は回転せず、取付プレ
ート１８が大歯車１６のボス部１６Ａを中心にモータ１
４と一体的に矢印で示すように時計方向へ回転する。
【００１９】そして、取付プレート１８が上述のように
して所定角度回転すると図５の（ｂ）で示すように先行
回転手段２１の位置決めピン２０が長孔１８Ａの右端に
係合し、取付プレート１８のそれ以上の回転を規制し、
その後はモータ１４の駆動力が小歯車１５を介して大歯
車１６へ伝達され、テストヘッド５が装置本体２側へ旋
回する。更にモータ１４が駆動してテストヘッド５が旋
回し続けると、取付プレート１８のフォトセンサ２２が
大歯車１６のシャッター２３を検出し、モータ１４にブ
レーキが掛かり、モータ１４が止まり、テストヘッド５
が図５の（ｂ）で実線で示す位置（テストヘッド５がプ
ローブカード８と接触する前の位置）でやや傾斜した状
態のまま停止する。
して所定角度回転すると図５の（ｂ）で示すように先行
回転手段２１の位置決めピン２０が長孔１８Ａの右端に
係合し、取付プレート１８のそれ以上の回転を規制し、
その後はモータ１４の駆動力が小歯車１５を介して大歯
車１６へ伝達され、テストヘッド５が装置本体２側へ旋
回する。更にモータ１４が駆動してテストヘッド５が旋
回し続けると、取付プレート１８のフォトセンサ２２が
大歯車１６のシャッター２３を検出し、モータ１４にブ
レーキが掛かり、モータ１４が止まり、テストヘッド５
が図５の（ｂ）で実線で示す位置（テストヘッド５がプ
ローブカード８と接触する前の位置）でやや傾斜した状
態のまま停止する。
【００２０】テストヘッド５が停止するとクランプ機構
２６が作動してテストヘッド５を図５の（ｂ）で示す実
線位置から装置本体２側へ押し込むと、大歯車１６が反
時計方向へ回転するが、この時小歯車１５は回転できな
いため取付プレート１８が図５の（ｂ）の矢印で示すよ
うにテストヘッド５と同方向へ回転し長孔１８Ａの左端
が位置決めピン２０に係合し図５の（ｃ）の状態にな
る。この時、テストヘッド５はクランプ機構２６で固定
されている。つまり、取付プレート１８が長孔１８Ａの
円弧距離分だけ戻ると、テストヘッド５が接続リング９
を介してプローブカード８と電気的に接続することにな
る。
２６が作動してテストヘッド５を図５の（ｂ）で示す実
線位置から装置本体２側へ押し込むと、大歯車１６が反
時計方向へ回転するが、この時小歯車１５は回転できな
いため取付プレート１８が図５の（ｂ）の矢印で示すよ
うにテストヘッド５と同方向へ回転し長孔１８Ａの左端
が位置決めピン２０に係合し図５の（ｃ）の状態にな
る。この時、テストヘッド５はクランプ機構２６で固定
されている。つまり、取付プレート１８が長孔１８Ａの
円弧距離分だけ戻ると、テストヘッド５が接続リング９
を介してプローブカード８と電気的に接続することにな
る。
【００２１】更に、上記プローブ装置１には図１、図２
の（ａ）、（ｂ）に示すようにモータ１４の負荷を軽減
する負荷軽減機構２７が設けられている。この負荷軽減
機構２７は、回転軸１１に複数固定された固定体（例え
ば、フランジ）２８と、各フランジ２８にそれぞれ連結
されて上記テストヘッド５からフランジ２８に掛かる回
転トルクを相殺してモータ１４の負荷を軽減するスプリ
ング機構２９とを備えている。このスプリング機構２９
は、回転軸１１に直交する方向で且つ外側へやや傾斜さ
せて設けられたガススプリング２９Ａと、このガススプ
リング２９Ａのピストンロッド先端のプレート部を貫通
するピン２９Ｂと、このピン２９Ｂの両端とフランジ２
８を貫通するピン２９Ｃの両端とを連結する一対の連結
部材（例えば、強靱なワイヤー）２９Ｄとを有してい
る。
の（ａ）、（ｂ）に示すようにモータ１４の負荷を軽減
する負荷軽減機構２７が設けられている。この負荷軽減
機構２７は、回転軸１１に複数固定された固定体（例え
ば、フランジ）２８と、各フランジ２８にそれぞれ連結
されて上記テストヘッド５からフランジ２８に掛かる回
転トルクを相殺してモータ１４の負荷を軽減するスプリ
ング機構２９とを備えている。このスプリング機構２９
は、回転軸１１に直交する方向で且つ外側へやや傾斜さ
せて設けられたガススプリング２９Ａと、このガススプ
リング２９Ａのピストンロッド先端のプレート部を貫通
するピン２９Ｂと、このピン２９Ｂの両端とフランジ２
８を貫通するピン２９Ｃの両端とを連結する一対の連結
部材（例えば、強靱なワイヤー）２９Ｄとを有してい
る。
【００２２】また、図１、図２の（ａ）に示すように、
一対の支持体１２には段差を付けた２本の支持梁３０が
回転軸１１の下方でこれに平行させて架設され、更に２
本支持梁３０には上記各ガススプリング２９Ａのシリン
ダ上端を枢着、支持する支持部材３１が架設されてい
る。また、支持部材３２の下方にはこれに枢着されたガ
ススプリング２９Ａのピストンロッド下端のピン２９Ｂ
を長孔３２Ａでスライド可能に支持する一対のガイドプ
レート３２が配設されている。従って、テストヘッド５
がモータ１４の駆動力で旋回する時には、ガススプリン
グ２９Ａはシリンダ内の高圧空気等の高圧ガスのガス圧
で付勢するピストンロッドによりワイヤー２９Ｄに引張
力を付与し、この引張力によりフランジ２８及び回転軸
１１を介してテストヘッド５に回転トルクを相殺する回
転トルクを付与し、モータ１４の駆動力を軽減するよう
にしてある。
一対の支持体１２には段差を付けた２本の支持梁３０が
回転軸１１の下方でこれに平行させて架設され、更に２
本支持梁３０には上記各ガススプリング２９Ａのシリン
ダ上端を枢着、支持する支持部材３１が架設されてい
る。また、支持部材３２の下方にはこれに枢着されたガ
ススプリング２９Ａのピストンロッド下端のピン２９Ｂ
を長孔３２Ａでスライド可能に支持する一対のガイドプ
レート３２が配設されている。従って、テストヘッド５
がモータ１４の駆動力で旋回する時には、ガススプリン
グ２９Ａはシリンダ内の高圧空気等の高圧ガスのガス圧
で付勢するピストンロッドによりワイヤー２９Ｄに引張
力を付与し、この引張力によりフランジ２８及び回転軸
１１を介してテストヘッド５に回転トルクを相殺する回
転トルクを付与し、モータ１４の駆動力を軽減するよう
にしてある。
【００２３】次に、動作について説明する。プローブ装
置１を用いて例えば半導体ウエハＷの電気的検査を行う
場合には、テストヘッド５をメンテナンスエリア４（図
１参照）から１８０°旋回させて装置本体２のプローブ
カード８とテストヘッド５を電気的に接続させる。そし
て、載置台６上に半導体ウエハＷを吸着固定した状態で
載置台６がテーブルを介してＸ、Ｙ及びθ方向で移動
し、半導体ウエハＷの電極パッドをプローブカード８の
プローブ針８Ａに対して位置決めする。しかる後、載置
台６をＺ方向にオーバードライブすると、プローブ針８
Ａと半導体ウエハＷの電極パッドとが電気的に接触して
ＩＣチップの電気的検査を実施することができる。
置１を用いて例えば半導体ウエハＷの電気的検査を行う
場合には、テストヘッド５をメンテナンスエリア４（図
１参照）から１８０°旋回させて装置本体２のプローブ
カード８とテストヘッド５を電気的に接続させる。そし
て、載置台６上に半導体ウエハＷを吸着固定した状態で
載置台６がテーブルを介してＸ、Ｙ及びθ方向で移動
し、半導体ウエハＷの電極パッドをプローブカード８の
プローブ針８Ａに対して位置決めする。しかる後、載置
台６をＺ方向にオーバードライブすると、プローブ針８
Ａと半導体ウエハＷの電極パッドとが電気的に接触して
ＩＣチップの電気的検査を実施することができる。
【００２４】ところで、テストヘッド５がメンテナンス
エリア４へほぼ水平に張り出した状態（図１、図２に示
すテストヘッドの位置から１８０°旋回した状態）では
複数の負荷軽減機構２７のガススプリング２９Ａのピン
２９Ｃは図２の（ａ）で示すＰ１の位置にあり、一方、
ガススプリング２９Ａの下端のピン２９Ｂはガイドプレ
ート３２の長孔３２Ａの上部に位置している。この時、
各ガスすスプリング２９Ａは、シリンダ内のガス圧でピ
ストンロッドを介してワイヤー２９Ｄに対して図２の
（ａ）の矢印Ａ方向へ引張力を付与してフランジ２８に
回転トルクを付与し、この回転トルクによりテストヘッ
ド５から回転軸１１に掛かる回転トルクを相殺し、両回
転トルクの均衡を保持している。
エリア４へほぼ水平に張り出した状態（図１、図２に示
すテストヘッドの位置から１８０°旋回した状態）では
複数の負荷軽減機構２７のガススプリング２９Ａのピン
２９Ｃは図２の（ａ）で示すＰ１の位置にあり、一方、
ガススプリング２９Ａの下端のピン２９Ｂはガイドプレ
ート３２の長孔３２Ａの上部に位置している。この時、
各ガスすスプリング２９Ａは、シリンダ内のガス圧でピ
ストンロッドを介してワイヤー２９Ｄに対して図２の
（ａ）の矢印Ａ方向へ引張力を付与してフランジ２８に
回転トルクを付与し、この回転トルクによりテストヘッ
ド５から回転軸１１に掛かる回転トルクを相殺し、両回
転トルクの均衡を保持している。
【００２５】上述した図１、図２に示す状態から装置本
体２側へテストヘッド５を旋回するためにモータ１４を
始動すると、モータ１４により小歯車１５、大歯車１６
を介して回転軸１１を時計方向へ回転させてテストヘッ
ド５をメンテナンスエリア４から装置本体２側へ旋回さ
せる。テストヘッド５の旋回動作中はテストヘッド５の
回転トルクが負荷軽減機構２７の作用によって相殺され
ているため、モータ１４は小さな駆動力でテストヘッド
５を旋回させることができる。テストヘッド５が上死点
（図５の（ａ）に示す位置）に達すると、この地点を境
にテストヘッド５から回転軸１１に掛かる回転トルクが
反時計方向から時計方向に変わる。この時、負荷軽減機
構２７のフランジ２８のピン２９Ｃは図２のＰ２に示す
位置にある。
体２側へテストヘッド５を旋回するためにモータ１４を
始動すると、モータ１４により小歯車１５、大歯車１６
を介して回転軸１１を時計方向へ回転させてテストヘッ
ド５をメンテナンスエリア４から装置本体２側へ旋回さ
せる。テストヘッド５の旋回動作中はテストヘッド５の
回転トルクが負荷軽減機構２７の作用によって相殺され
ているため、モータ１４は小さな駆動力でテストヘッド
５を旋回させることができる。テストヘッド５が上死点
（図５の（ａ）に示す位置）に達すると、この地点を境
にテストヘッド５から回転軸１１に掛かる回転トルクが
反時計方向から時計方向に変わる。この時、負荷軽減機
構２７のフランジ２８のピン２９Ｃは図２のＰ２に示す
位置にある。
【００２６】更に上死点（図５の（ａ）で示す状態）か
らモータ１４を駆動すると、大歯車１６は回転せず、取
付プレート１８がモータ１４と一体的に大歯車１６のボ
ス部１６Ａを中心に同図の矢印で示す時計方向へ回転し
始め、同図の（ｂ）に示すように位置決めピン２０が長
孔１８Ａの右端で係合した時点で取付プレート１８は停
止する。これにより取付プレート１８はテストヘッド５
の旋回に先行して取付プレート１８の長孔１８Ａの分だ
け回転する。その後は取付プレート１８の回転が位置決
めピン２０によって規制され、モータ１４の駆動力が小
歯車１５、大歯車１６を介して回転軸１１に伝達されテ
ストヘッド５が装置本体２側へ旋回する。
らモータ１４を駆動すると、大歯車１６は回転せず、取
付プレート１８がモータ１４と一体的に大歯車１６のボ
ス部１６Ａを中心に同図の矢印で示す時計方向へ回転し
始め、同図の（ｂ）に示すように位置決めピン２０が長
孔１８Ａの右端で係合した時点で取付プレート１８は停
止する。これにより取付プレート１８はテストヘッド５
の旋回に先行して取付プレート１８の長孔１８Ａの分だ
け回転する。その後は取付プレート１８の回転が位置決
めピン２０によって規制され、モータ１４の駆動力が小
歯車１５、大歯車１６を介して回転軸１１に伝達されテ
ストヘッド５が装置本体２側へ旋回する。
【００２７】テストヘッド５が装置本体２側へ旋回して
行くと、取付プレート１８のフォトセンサ２２が図４に
示すように大歯車１６のシャッター２３を検出し、モー
タ１４を停止させる。この時、テストヘッド５は図５の
（ｂ）で実線で示すように装置本体２のプローブカード
８に接触する前に停止する。この状態ではテストヘッド
５の回転トルクは負荷軽減機構２７により相殺され、し
かもモータ１４が停止してもモータ１４のブレーキによ
り小歯車１５は回転することなく、テストヘッド５をや
や傾斜した状態で保持することができる。
行くと、取付プレート１８のフォトセンサ２２が図４に
示すように大歯車１６のシャッター２３を検出し、モー
タ１４を停止させる。この時、テストヘッド５は図５の
（ｂ）で実線で示すように装置本体２のプローブカード
８に接触する前に停止する。この状態ではテストヘッド
５の回転トルクは負荷軽減機構２７により相殺され、し
かもモータ１４が停止してもモータ１４のブレーキによ
り小歯車１５は回転することなく、テストヘッド５をや
や傾斜した状態で保持することができる。
【００２８】その後、クランプ機構２６がコントローラ
１７の制御下で作動してテストヘッド５を押し込み、係
止片２４をクランプ機構２６と係止部材２５とで挟持し
テストヘッド５を固定する。これによりテストヘッド５
は接続リング９を介してプローブカード８と電気的に導
通する。この時のテストヘッド５の押し込み量は取付プ
レート１８がテストヘッド５に先行して移動した量に相
当する。換言すれば、取付プレート１８の先行移動量を
手動操作によるテストヘッド５の押し込みにより補完し
たことになる。一方、この操作で大歯車１６が回転し、
これに噛合した小歯車１５を介して取付プレート１８が
同図の（ｂ）に示すように大歯車１６のボス部１６Ａを
中心に反時計方向へ回転し、図５の（ｃ）に示すように
位置決めピン２０に長孔１８Ａの左端が係合した取付プ
レート１８は止まる。また、所定の検査が終了した後、
テストヘッド５をメンテナンスエリア４へ移動させるに
は、モータ１４を逆向きに回転させることでテストヘッ
ド５をメンテナンスエリア４へ旋回させることができ
る。この際、小歯車１５は図５の（ｃ）で示し状態では
矢印で示すように反時計方向へ回転し、取付プレート１
８は同図で示した状態から移動しない。
１７の制御下で作動してテストヘッド５を押し込み、係
止片２４をクランプ機構２６と係止部材２５とで挟持し
テストヘッド５を固定する。これによりテストヘッド５
は接続リング９を介してプローブカード８と電気的に導
通する。この時のテストヘッド５の押し込み量は取付プ
レート１８がテストヘッド５に先行して移動した量に相
当する。換言すれば、取付プレート１８の先行移動量を
手動操作によるテストヘッド５の押し込みにより補完し
たことになる。一方、この操作で大歯車１６が回転し、
これに噛合した小歯車１５を介して取付プレート１８が
同図の（ｂ）に示すように大歯車１６のボス部１６Ａを
中心に反時計方向へ回転し、図５の（ｃ）に示すように
位置決めピン２０に長孔１８Ａの左端が係合した取付プ
レート１８は止まる。また、所定の検査が終了した後、
テストヘッド５をメンテナンスエリア４へ移動させるに
は、モータ１４を逆向きに回転させることでテストヘッ
ド５をメンテナンスエリア４へ旋回させることができ
る。この際、小歯車１５は図５の（ｃ）で示し状態では
矢印で示すように反時計方向へ回転し、取付プレート１
８は同図で示した状態から移動しない。
【００２９】以上説明したように本実施形態によれば、
プローブ装置１の旋回装置３にモータ１４とは別にテス
トヘッド５から回転軸１１に掛かる回転トルクを相殺す
る負荷軽減機構２７を設けたため、モータ１４の駆動力
が従来と比較して格段に小さくて済み、モータ１４及び
歯車１５、１６を小型化してコストを低減でき、しか
も、モータ１４が万一故障等しても急激に落下すること
がなく安全である。また、負荷軽減機構２７としてガス
スプリング機構２９という極めて簡単な部材を採用した
ため、モータ１４等の小型化と相俟って更なる低コスト
化を達成することができる。
プローブ装置１の旋回装置３にモータ１４とは別にテス
トヘッド５から回転軸１１に掛かる回転トルクを相殺す
る負荷軽減機構２７を設けたため、モータ１４の駆動力
が従来と比較して格段に小さくて済み、モータ１４及び
歯車１５、１６を小型化してコストを低減でき、しか
も、モータ１４が万一故障等しても急激に落下すること
がなく安全である。また、負荷軽減機構２７としてガス
スプリング機構２９という極めて簡単な部材を採用した
ため、モータ１４等の小型化と相俟って更なる低コスト
化を達成することができる。
【００３０】また、本実施形態によれば、大歯車１６に
はこれに対して相対回転自在に取付体プレート１８を連
結すると共に、上記取付プレート１８には大歯車１６か
ら相対的に先行させて取付プレート１８をモータ１４に
より所定量だけ回転させ、その後はテストヘッド５をモ
ータ１４により旋回させる先行回転手段２１を設け、ま
た、大歯車１６にはシャッター２３を設けると共に取付
プレート１８にはシャッター２３を検出してモータ１４
を止めることでテストヘッド５をプローブカード８との
接触位置に達する前に止めるフォトセンサ２２を設け、
先行回転手段２１による取付プレート１８の先行移動量
でテストヘッド５の停止位置からプローブカード８との
接触位置までの移動量を補完するようにしたため、モー
タ１４の駆動力を利用することなく、先行回転手段２１
である長孔１８Ａ及び位置決めピン２０という極めて簡
単且つ低コストな機構を取付プレート１８に設けるだけ
でテストヘッド５をプローブカード８に対して確実に位
置決めすることができる。また、位置決めに際し、テス
トヘッド５側の係止片２４と装置本体２側の係止部材２
５が有効に作用し、テストヘッド５とプローブカード８
とを確実に接続することができる。
はこれに対して相対回転自在に取付体プレート１８を連
結すると共に、上記取付プレート１８には大歯車１６か
ら相対的に先行させて取付プレート１８をモータ１４に
より所定量だけ回転させ、その後はテストヘッド５をモ
ータ１４により旋回させる先行回転手段２１を設け、ま
た、大歯車１６にはシャッター２３を設けると共に取付
プレート１８にはシャッター２３を検出してモータ１４
を止めることでテストヘッド５をプローブカード８との
接触位置に達する前に止めるフォトセンサ２２を設け、
先行回転手段２１による取付プレート１８の先行移動量
でテストヘッド５の停止位置からプローブカード８との
接触位置までの移動量を補完するようにしたため、モー
タ１４の駆動力を利用することなく、先行回転手段２１
である長孔１８Ａ及び位置決めピン２０という極めて簡
単且つ低コストな機構を取付プレート１８に設けるだけ
でテストヘッド５をプローブカード８に対して確実に位
置決めすることができる。また、位置決めに際し、テス
トヘッド５側の係止片２４と装置本体２側の係止部材２
５が有効に作用し、テストヘッド５とプローブカード８
とを確実に接続することができる。
【００３１】また、本実施形態によれば、テストヘッド
５がプローブカード８と接続される前にフォトセンサ２
２とシャッター２３によりテストヘッド５の旋回を停止
させ、後はクランプ機構２６により両者５、８を接続す
るようにしたため、従来のようにモータを利用する位置
決めと異なり、モータ１４の制御が簡単である。
５がプローブカード８と接続される前にフォトセンサ２
２とシャッター２３によりテストヘッド５の旋回を停止
させ、後はクランプ機構２６により両者５、８を接続す
るようにしたため、従来のようにモータを利用する位置
決めと異なり、モータ１４の制御が簡単である。
【００３２】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではなく、必要に応じて各構成要素は適宜設計変
更することができる。例えば、上記実施形態では先行回
転手段２１の長孔１８Ａを取付プレート１８に設け、位
置決めピン２０を支持体１２、１２間の側板に設けた場
合について説明したが、取付プレート１８に位置決めピ
ンを設け、側板に長孔を設けても良い。また、位置決め
ピンが遊嵌する孔は長孔でなくても良い。
るものではなく、必要に応じて各構成要素は適宜設計変
更することができる。例えば、上記実施形態では先行回
転手段２１の長孔１８Ａを取付プレート１８に設け、位
置決めピン２０を支持体１２、１２間の側板に設けた場
合について説明したが、取付プレート１８に位置決めピ
ンを設け、側板に長孔を設けても良い。また、位置決め
ピンが遊嵌する孔は長孔でなくても良い。
【００３３】
【発明の効果】本発明の請求項１及び請求項２に記載の
発明によれば、モータの駆動力を軽減することができる
と共にモータに万一の不具合が生じてもテストヘッド等
の重量物の急激な落下を防止することができ、しかも機
構的に簡単で低コストで製造できる重量物旋回装置を提
供することができる。
発明によれば、モータの駆動力を軽減することができる
と共にモータに万一の不具合が生じてもテストヘッド等
の重量物の急激な落下を防止することができ、しかも機
構的に簡単で低コストで製造できる重量物旋回装置を提
供することができる。
【００３４】また、本発明の請求項３及び請求項４に記
載に発明によれば、テストヘッド等の重量物を所定の旋
回位置に正確に位置決めすることができ、しかも極めて
簡単な機構で且つ低コストで製造できる重量物旋回装置
を提供することができる。
載に発明によれば、テストヘッド等の重量物を所定の旋
回位置に正確に位置決めすることができ、しかも極めて
簡単な機構で且つ低コストで製造できる重量物旋回装置
を提供することができる。
【００３５】また、本発明の請求項５に記載の発明によ
れば、モータの駆動力を軽減することができると共にモ
ータに万一の不具合が生じてもテストヘッドの急激な落
下を防止することができ、しかも機構的に簡単で低コス
トで製造できる検査装置を提供することができる。
れば、モータの駆動力を軽減することができると共にモ
ータに万一の不具合が生じてもテストヘッドの急激な落
下を防止することができ、しかも機構的に簡単で低コス
トで製造できる検査装置を提供することができる。
【００３６】また、本発明の請求項６に記載の発明によ
れば、テストヘッドを所定の旋回位置に正確に位置決め
することができ、しかも極めて簡単な機構で且つ低コス
トで製造できる検査装置を提供することができる。
れば、テストヘッドを所定の旋回位置に正確に位置決め
することができ、しかも極めて簡単な機構で且つ低コス
トで製造できる検査装置を提供することができる。
【図１】本発明の検査装置の一実施形態であるプローブ
装置の要部（旋回装置）を開放して示す斜視図である。
装置の要部（旋回装置）を開放して示す斜視図である。
【図２】（ａ）は図１に示すプローブ装置の負荷軽減機
構及び装置本体の内部の構成を示す正面図、（ｂ）は
（ａ）に示す負荷軽減機構を示すで側面図ある。
構及び装置本体の内部の構成を示す正面図、（ｂ）は
（ａ）に示す負荷軽減機構を示すで側面図ある。
【図３】図１に示すプローブ装置のテストヘッドの位置
決め機構を示す斜視図である。
決め機構を示す斜視図である。
【図４】図３に示す位置決め機構を中心に示す断面図で
ある。
ある。
【図５】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図３、図４
に示す位置決め機構である取付プレート及び先行回転手
段の動作を説明するための正面図である。
に示す位置決め機構である取付プレート及び先行回転手
段の動作を説明するための正面図である。
１ プローブ装置（検査装置） ２ 装置本体 ３ 旋回装置 ５ テストヘッド（重量物） ８ プローブカード（接触子機構） １１ 回転軸 １２ 支持体 １４ モータ １６ 大歯車（動力伝達輪） １８ 取付プレート（取付体） １８Ａ 長孔（先行回転手段） ２０ 位置決めピン（先行回転手段） ２１ 先行回転手段 ２２ フォトセンサ（物体検出センサ） ２３ シャッター（被検出体） ２７ 負荷軽減機構 ２８ フランジ（固定体） ２９ スプリング機構 ２９Ａ ガススプリング ２９Ｄ ワイヤー（連結部材）
Claims (6)
- 【請求項１】 一対の支持体に回転自在に軸支された回
転軸と、 上記回転軸に固定された重量物を上記回転軸を介して旋
回させるモータと、 上記モータへの負荷を軽減する負荷軽減機構とを備え、 上記負荷軽減機構は、上記回転軸に固定された固定体
と、 上記固定体に連結され、上記重量物から上記固定体に作
用する回転トルクを相殺する回転トルクを上記固定体に
付与するスプリング機構とを有することを特徴とする重
量物旋回装置。 - 【請求項２】 上記スプリング機構は、上記回転軸に直
交させて設けられたガススプリングと、 上記ガススプリングのピストンロッドと上記固定体を連
結する連結部材とを有し、 上記ピストンロッド及び連結部材を介して上記固定体に
回転トルクを付与することを特徴とする請求項１に記載
の重量物旋回装置。 - 【請求項３】 一対の支持体に回転自在に軸支された回
転軸と、 上記回転軸に固定された重量物を上記回転軸を介して旋
回させるモータと、 上記モータが固定された取付体と、 上記取付体に固定されたモータの駆動力を上記回転軸に
伝達すべく上記回転軸の一部に固定された動力伝達輪と
を備え、 上記動力伝達輪にはこれに対して相対回転自在に上記取
付体を連結すると共に、 上記取付体には上記動力伝達
輪から相対的に先行させて上記取付体を上記モータによ
り所定量だけ回転させ、その後は上記重量物を上記モー
タにより旋回させる先行回転手段を設け、また、 上記動力伝達輪には被検出体を設けると共に上記取付体
には上記被検出体を検出して上記モータを止めることで
上記重量物を所定の旋回位置に達する前に止める物体検
出センサを設け、 上記先行移動量で上記重量物の停止位置から所定の旋回
位置までの移動量を補完することを特徴とする重量物旋
回装置。 - 【請求項４】 上記モータへの負荷を軽減する負荷軽減
機構を上記回転軸に連結し、 上記負荷軽減機構は、上記回転軸に固定された固定体
と、 上記固定体に連結され、上記重量物から上記固定体に作
用する回転トルクを相殺する回転トルクを付与するスプ
リング機構とを有することを特徴とする請求項３に記載
の重量物旋回装置。 - 【請求項５】 テストヘッドを回転軸を介して旋回させ
て接触子機構とテスタとの導通を図り、上記テスタの信
号を接触子機構を介して被検査体との間で授受して上記
被検査体の電気的検査を行う検査装置において、 上記テストヘッドを上記回転軸を介して旋回させるモー
タと、 上記モータの駆動力を上記回転軸に伝達すべく上記回転
軸の一部に固定された動力伝達輪と、 上記テストヘッドから上記回転軸を介して上記動力伝達
輪に作用する負荷を軽減する負荷軽減機構とを備え、且
つ、 上記負荷軽減機構として、上記回転軸に固定された固定
体と、 上記固定体に連結され、上記テストヘッドから上記固定
体に作用する回転トルクを相殺する回転トルクを上記固
定体に付与するスプリング機構を設けたことを特徴とす
る検査装置。 - 【請求項６】 テストヘッドを回転軸を介して旋回させ
て接触子機構をテスタとの導通を図り、テスタの信号を
接触子機構を介して被検査体との間で授受して被検査体
の電気的検査を行う検査装置において、 上記テストヘッドを旋回すべく取付体に固定されたモー
タと、 上記モータの駆動力を上記回転軸に伝達すべく上記回転
軸の一部に固定された動力伝達輪と、 上記テストヘッドから上記回転軸を介して上記動力伝達
輪に作用する負荷を軽減する負荷軽減機構とを備え、且
つ、 上記負荷軽減機構として、上記回転軸に固定された固定
体と、 上記固定体に連結され、上記テストヘッドから上記固定
体に作用する回転トルクを相殺する回転トルクを上記固
定体に付与するスプリング機構を設け、 上記動力伝達輪にはこれに対して相対回転自在に上記取
付体を連結すると共に、 上記取付体には上記動力伝達
輪から相対的に先行させて上記取付体を上記モータによ
り所定量だけ回転させ、その後は上記テストヘッドを上
記モータにより旋回させる先行回転手段を設け、また、 上記動力伝達輪には被検出体を設けると共に上記取付体
には上記被検出体を検出して上記モータを止めることで
上記テストヘッドを上記接触子機構と接触する前に止め
る物体検出センサを設け、 上記先行移動量で上記テストヘッドの停止位置から上記
接触子機構との接触位置までの移動量を補完することを
特徴とする検査装置。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP13941296A JP3266509B2 (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 重量物旋回装置及び検査装置 |
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|---|---|---|---|
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|---|---|
| JPH09298224A true JPH09298224A (ja) | 1997-11-18 |
| JP3266509B2 JP3266509B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP13941296A Expired - Fee Related JP3266509B2 (ja) | 1996-05-09 | 1996-05-09 | 重量物旋回装置及び検査装置 |
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1997
- 1997-05-02 US US08/850,748 patent/US5886488A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-05-07 TW TW086106067A patent/TW322616B/zh not_active IP Right Cessation
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