JPH09298332A - 波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置 - Google Patents
波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置Info
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Abstract
発振の繰り返し回数を従来と比較して著しく高めること
ができるとともに、励起入力を低くすることができ、し
かも波長可変速度の高速化を図り、利用する際の自由度
を格段に向上する。 【解決手段】対向する所定の反射率を有するミラーによ
り構成されるレーザー共振器と、レーザー共振器内に配
設された所定範囲の波長域においてレーザー発振可能な
波長可変レーザー媒質と、レーザー共振器内に配設さ
れ、波長可変レーザー媒質からの出射光が入射される光
音響光学結晶と、光音響光学結晶に装着され、光音響光
学結晶に音響波を入力するための音響波入力手段と、レ
ーザー共振器内に配設され、光音響光学結晶から出射さ
れる回折光の分散を補正する光学素子と、レーザー共振
器内に励起レーザー光を入射するパルス励起レーザーと
を有する。
Description
における波長選択可能なレーザー発振装置に関し、さら
に詳細には、レーザー光のレーザー共振器内における高
繰り返し発振を実現することのできる波長可変レーザー
における波長選択可能なレーザー発振装置に関する。
来、レーザー光のレーザー共振器内におけるパルス発振
の実現を目指した波長可変レーザー装置として、例え
ば、フラッシュ・ランプ励起Q−スイッチYAGレーザ
ー励起チタン・サファイア(Ti:Al2O3)レーザー
が知られている。
YAGレーザー励起チタン・サファイア・レーザーは、
励起レーザー光として、フラッシュ・ランプによるパル
ス励起でQ−スイッチにより動作されるYAGレーザー
を用いているので、レーザ光のレーザー共振器内におけ
る繰り返し回数はフラッシュ・ランプの点灯回数に依存
することになる。
は、一般に1Hz〜50Hz程度であるため、レーザー
共振器内におけるレーザー光の繰り返し回数を高くする
にも制限があり、より高い繰り返し回数を実現できる波
長可変レーザー装置の案出が望まれていた。
−スイッチYAGレーザー励起チタン・サファイア・レ
ーザーは、励起入力が高く(励起入力としては、一般
に、20mJ/パルス程度必要である。)、また、波長
可変速度が遅いため、利用する際の自由度に乏しいとい
う問題点もあった。
うな要望や従来の技術が有する上記したような問題点に
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
レーザー光のレーザー共振器内におけるパルス発振の繰
り返し回数を従来と比較して著しく高めることができる
とともに、励起入力を低くすることができ、しかも波長
可変速度の高速化を図り、利用する際の自由度を格段に
向上した波長可変レーザーにおける波長選択可能なレー
ザー発振装置を提供しようとするものである。
に、本発明による波長可変レーザーにおける波長選択可
能なレーザー発振装置は、対向する所定の反射率を有す
るミラーにより構成されるレーザー共振器と、上記レー
ザー共振器内に配設された所定範囲の波長域においてレ
ーザー発振可能な波長可変レーザー媒質と、上記レーザ
ー共振器内に配設され、上記波長可変レーザー媒質から
の出射光が入射される光音響光学結晶と、上記光音響光
学結晶に装着され、上記光音響光学結晶に音響波を入力
するための音響波入力手段と、上記レーザー共振器内に
励起レーザー光を入射するパルス励起レーザーとを有す
るようにしたものである。
ける波長選択可能なレーザー発振装置は、対向する所定
の反射率を有するミラーにより構成されるレーザー共振
器と、上記レーザー共振器内に配設された所定範囲の波
長域においてレーザー発振可能な波長可変レーザー媒質
と、上記レーザー共振器内に配設され、上記波長可変レ
ーザー媒質からの出射光が入射される光音響光学結晶
と、上記光音響光学結晶に装着され、上記光音響光学結
晶に音響波を入力するための音響波入力手段と、上記レ
ーザー共振器内に配設され、上記光音響光学結晶から出
射される回折光の分散を補正する光学素子と、上記レー
ザー共振器内に励起レーザー光を入射するパルス励起レ
ーザーとを有するようにしたものである。
り返しCW−Q−スイッチ固体レーザーにより構成する
ことができ、上記高繰り返しCW−Q−スイッチ固体レ
ーザーは、高繰り返しレーザーダイオード励起固体レー
ザーにより構成することができる。
ド励起固体レーザーは、具体的には、CW−Q−スイッ
チパルスNd:YLFレーザーやCW−Q−スイッチパ
ルスYAGレーザーなどにより構成することができる。
型のレーザー共振器やXホールド型のレーザー共振器と
して構成することができる。
入射端面がブルースターカットされ、上記レーザー共振
器内の光路に対して上記入射端面がブルースターアング
ルにより配置されるようにしてもよい。
入射端面が無反射コーティングされ、上記レーザー共振
器内の光路に対して上記入射端面が垂直に配置されるよ
うにしてもよい。
するミラーの一方を、上記波長可変レーザー媒質の端面
に形成された鏡面コーティングにより構成するようにし
てもよい。
長選択可能なレーザー発振装置においては、波長可変レ
ーザー媒質内の励起レーザーによる励起体積とレーザー
共振器内の光モード体積とを整合させるようにして効率
を高め、励起入力を低くすることにより、出力の高くと
れない高繰り返しパルス励起レーザーに適用できる。ま
た、波長可変レーザー媒質からの出射光を光音響光学結
晶へ入射し、この光音響光学結晶に音響波入力手段によ
り音響波を入力することにより、波長可変レーザー媒質
からの出射光の波長を選択するようにしたので、この波
長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装
置からの出射レーザー光の波長可変速度の高速化を図る
ことができる。
おける波長選択可能なレーザー発振装置の波長選択は、
TeO2結晶などの複屈折性をもつ光音響光学結晶中に
音響波を発生させると、当該結晶に入射された光の中で
当該音響波の周波数に応じた特定波長の回折光の偏光面
は、非回折光の偏光面と直交するようになるばかりでな
く、当該回折光の出射角度が非回折光の出射角度と大き
く異なるように偏角する点に着目してなされたものであ
る。
作用を用いた波長選択作用を示す概念図であるが、複屈
折の性質を有する光音響光学結晶100中に、波長λ
i、角周波数ωiの入射光102を入射するものとす
る。さらに、光音響光学結晶100中に、周波数ωaの
音響波104を与えると、回折光106が得られること
になる。
光線成分たる回折光106に対して、全反射ミラー11
0と所定の透過性を有する出射側ミラー112とを配置
すると、全反射ミラー110と出射側ミラー112とに
より両者の間を回折光106が往復するレーザー共振器
が構成されることになる。
学結晶100中に発生される音響波104の周波数によ
って決定されるので、例えば、光音響光学結晶100に
対してRF電源により駆動される圧電素子を添着し、R
F電源により圧電素子を駆動させて当該圧電素子に歪み
を生じさせることにより、当該歪みに応じた周波数の音
響波104を光音響光学結晶100に入力する場合に
は、RF電源の周波数の制御によりレーザー波長の可変
制御が可能となる。
強度により決定されるので、RF電源の入力強度の制御
よりレーザー共振器の損失を制御し、ひいてはレーザー
出力の可変制御が可能となる。
106の波長に対して完全に一定ではないので、回折光
106に対する全反射ミラー110の垂直反射により、
レーザー共振器を構成できる波長範囲は狭く、広い波長
領域でレーザー発振させるためには全反射ミラー110
の配置角度を少しづつ調整しなければならないので、実
用上その調整作業が煩雑になる恐れがある。このため、
全反射ミラー110の配置角度を変えることなく可変波
長範囲を広げるためには、何らかの手段により回折角α
109のぶれを補正する必要がある。
としては、例えば、三角プリズムなどの光の波長を分散
させる光学素子を用いて、波長λ1、λ2のぶれ角Δα
をもつ光線が三角プリズム通過後にほぼ平行に進行する
ように設定することができる。これにより、回折光10
6を全反射ミラー110に常時垂直に入射させることが
できるようになり、広波長域用のレーザー共振器を構成
できる。
発明による波長可変レーザーにおける波長選択可能なレ
ーザー発振装置の実施の形態を詳細に説明するものとす
る。
る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置の概略構成説明図が示されている。
能なレーザー発振装置は、レーザー共振器内を往復する
光の光路がアルファベットの「Z」字形状になる、所
謂、Zホールド型のレーザー共振器を用いており、この
Zホールド型のレーザー共振器は、所定の透過性を有す
る出射側ミラー10と全反射ミラー12とを有して構成
されている。
は、励起レーザー光Aを入射するとともに出射側ミラー
10と全反射ミラー12との間を往復する光Bを反射す
る第1中間ミラー14と、出射側ミラー10と全反射ミ
ラー12との間を往復する光Bを反射する第2中間ミラ
ー16とを備えて構成されており、レーザー共振器内を
往復する光Bの光路がアルファベットの「Z」字形状に
なるように配置されている。
14と第2中間ミラー16との間には、波長可変レーザ
ー媒質として入射光の入射端面がブルースターカットさ
れたTi:Al2O3レーザー結晶18が、その入射端面
が入射光の反射が0となるブルースターアングルに配置
されており、励起レーザー光Aにより縦方向同軸励起に
よりレーザー発振が生じるように構成されている。
ミラー16と全反射ミラー12との間には、波長選択用
の結晶としての複屈折の性質を有する光音響光学結晶2
0が配設されている。
入力手段として、パーソナル・コンピューター22によ
り周波数を制御されたRF電源24により駆動される圧
電素子26が添着されている。従って、パーソナル・コ
ンピューター22の制御により任意の周波数に設定され
たRF電源24により圧電素子26を駆動して、圧電素
子26に歪みを生じさせると、この圧電素子26の歪み
に基づいて、当該歪みに応じた周波数の音響波が光音響
光学結晶20に入力されることになる。そして、光音響
光学結晶20は入力された音響波に応じた光Dのみを回
折することになる。
0から出射させたい出射レーザー光Cの波長を備えた光
Bのみを、光音響光学結晶20が所定の方向に回折した
回折光Dとして出射し、レーザー共振することができる
ように、パーソナル・コンピューター22により光音響
光学結晶20への音響波の入力が制御されることにな
る。
ー12との間には、回折光Dの分散を補正するための分
散補正用プリズム28が配設されている。この分散補正
用プリズム28を用いることにより、出射レーザー光C
の方向性を一定にすることができる。
長選択可能なレーザー発振装置においては、レーザー共
振器内へ励起レーザー光Aを入射するためのレーザーと
して、パルス励起レーザー32を用いている。パルス励
起レーザー32としては、高繰り返しCW−Q−スイッ
チ固体レーザーを用いることができ、そして、高繰り返
しCW−Q−スイッチ固体レーザーとしては、小型の高
繰り返しレーザーダイオード(LD)励起固体レーザー
などがあり、具体的には、CW−QスイッチパルスYA
Gレーザーや、CW−QスイッチパルスNd:YLFレ
ーザーなどを用いることができる。
た励起レーザー光Aは全反射ミラー34により全反射集
光ミラー36に反射され、全反射集光ミラー36により
集光されて第1中間ミラー14を介してTi:Al2O3
レーザー結晶18を縦方向同軸励起するように入射され
る。
得るには、パルス励起レーザー36により入射された励
起レーザ光Aを用いてTi:Al2O3レーザー結晶18
を励起する。また、上記した原理に基づいて、出射側ミ
ラー10から出射させたい出射レーザー光Cの波長に応
じて、RF電源24の周波数をパーソナル・コンピュー
ター22により制御し、圧電素子26を振動する。
に入射されたTi:Al2O3レーザー結晶18から出射
された広範囲の波長帯域の出射光の中で、RF電源24
の周波数に応じた波長の出射光に関しては、所定の方向
に回折されて回折光Dとして光音響光学結晶20から出
射されることになる。さらに、光音響光学結晶20から
所定の方向に回折されて出射された回折光Dは、分散補
正用プリズム28を介して全反射ミラー12に入射さ
れ、この全反射ミラー12によって反射されて、「Z」
字形状の光路によりレーザー共振器内を往復することに
なる。
長の光のみが増幅されてレーザー発振を生ぜしめ、レー
ザー共振器から当該波長の出射レーザー光Cのみを出射
させることができる。
は、パーソナル・コンピューター22の制御によりRF
電源24の周波数を選択して、RF電源24により圧電
素子26を振動させることで実現できるので、出射レー
ザー光Cの高速かつランダムな波長選択が可能であり、
結果として、出射レーザー光の波長可変速度を高速化す
ることができる。
ているため、回折光Dの回折角度の分散が補正されるこ
とになる。回折光Dの回折角度の分散があるとレーザー
共振器内で光の光路が変わることになり、波長可変域に
制限を受けることになるが、分散補正用プリズム28を
設けることにより、こうした問題点を解消することがで
きる。
いた固体レーザーに代えて、パルス励起レーザー32を
用いて励起レーザー光Aを発生するようにしたので、従
来と比較するとレーザー共振器内における光の往復の繰
り返し回数を著しく増加することができ、しかも装置を
小型化できる。
ールド型に構成して、励起レーザー光Aを全反射集光ミ
ラー36により集光してTi:Al2O3レーザー結晶1
8へ入射するようにしたので、従来のフラッシュランプ
励起を用いたパルスレーザーと比較すると励起入力強度
が低いパルス励起レーザー32による励起レーザー光A
によっても、十分にレーザー発振を生じさせることがで
きる。
る波長選択可能なレーザー発振装置を用いた実験例につ
いて説明することとする。
32としてCW−Q−スイッチパルスNd:YLFレー
ザーを用い、その第2高調波を励起レーザー光Aとして
用いた。励起レーザー光Aの波長は523nmであり、
パルスの繰り返しは1kHzであり、パルス当たりの最
大出力は200μJである。
0mmとし、第1中間ミラー14および第2中間ミラー
16の半径は100mmとし、出射側ミラーを反射率9
7%(即ち、透過率3%)とする。
選択可能なレーザー発振装置に示すZホールド型のレー
ザー共振器においては、Ti:Al2O3レーザー結晶1
8で共振器モードは数十ミクロンまで絞られ、全反射集
光ミラー36によりこの領域に励起レーザー光Aを集光
することによって、励起効率の向上が図られる。
ー光Cの波長を800nmに固定した際における、励起
レーザー光A(入力)のエネルギーと出射レーザー光C
(出力)のエネルギーとの入出力特性が図3に示されて
いる。図3から明らかなように、この波長可変レーザー
装置においては、励起レーザー光Aのエネルギーがパル
ス当たり約40mJになったときに、レーザー発振の閾
値に達した。
ルギーが100μJのときの波長可変特性が示されてい
る。図4から明らかなように、波長可変域は約740n
m〜約870nmである。
ことにより、レーザーの波長同調時に観測されるビーム
の変動は、完全に観測限界以下になった。
る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置の概略構成説明図が示されているが、図2に示す
本発明の第1の実施の形態による波長可変レーザーにお
ける波長選択可能なレーザー発振装置の構成と同一ある
いは相当する構成には、図1と同一の符号を付して示す
ことにより、その詳細な説明は省略する。
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置は、レー
ザー共振器の構成が、所謂、Xホールド型とされている
点についてのみ、第1の実施の形態に示す波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置と相違す
る。
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置に用いた
Xホールド型のレーザー共振器においても、励起レーザ
ー光Aは、全反射集光ミラー36により集光されてT
i:Al2O3レーザー結晶18へ入射されるので、従来
のフラッシュランプ励起や放電励起を用いたイオンレー
ザーと比較すると励起入力強度が低いパルス励起レーザ
ー32による励起レーザー光Aによっても、十分にレー
ザー発振を生じさせることができる。
器によれば、Zホールド型のレーザー共振器に比べて、
レーザー共振器の構成をコンパクトにすることができ
る。
る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置の概略構成説明図が示されているが、図2に示す
本発明の第1の実施の形態による波長可変レーザーにお
ける波長選択可能なレーザー発振装置の構成と同一ある
いは相当する構成には、図1と同一の符号を付して示す
ことにより、その詳細な説明は省略する。
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置において
は、図1における全反射ミラー12を出射側ミラー10
により置換するとともに、図1における出射側ミラー1
0および第1中間ミラー14を排除し、その代わりに励
起レーザー光Aが入射される側のTi:Al2O3レーザ
ー結晶18の端面に、励起レーザー光Aを入射するとと
もにTi:Al2O3レーザー結晶18から出射される光
を反射する鏡面コーティング40を施した点についての
み、第1の実施の形態に示す波長可変レーザーにおける
波長選択可能なレーザー発振装置と相違する。
レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置にお
いては、鏡面コーティング40と出射側ミラー10とに
よりレーザー共振器が構成されることになる。
変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置に
よれば、第1実施の形態ならびに第2の実施の形態に示
す波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置よりも構成部品点数を削減することができ、装置
全体を小型化することができるとともに、コスト低減を
図ることができる。
る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置の概略構成説明図が示されているが、図2に示す
本発明の第1の実施の形態による波長可変レーザーにお
ける波長選択可能なレーザー発振装置の構成と同一ある
いは相当する構成には、図1と同一の符号を付して示す
ことにより、その詳細な説明は省略する。
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置において
は、Ti:Al2O3レーザー結晶18をブルースターカ
ットしてブルースターアングルで配置するのではなく、
Ti:Al2O3レーザー結晶18を垂直入射カットする
とともに無反射コーティング42を施し、励起レーザー
光Aが垂直に入射されるように配置した点において、第
1の実施の形態に示す波長可変レーザーにおける波長選
択可能なレーザー発振装置と相違する。
18を励起レーザー光Aが垂直に入射されるように配置
する場合には、ブルースターアングルに配置する場合に
比べてセッティングが容易であり、角度の分散も小さく
広い波長領域を得ることができる。
ているので、レーザー光のレーザー共振器内における繰
り返し回数を従来と比較して著しく高めることができる
とともに、励起入力を低くすることができ、しかも波長
可変速度の高速化を図ることができるので、利用する際
の自由度を格段に向上するという優れた効果を奏する。
波長選択作用を示す概念図である。
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置の概略構
成説明図である。
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置を用いた
実験における、励起レーザー光(入力)のエネルギーと
出射レーザー光(出力)のエネルギーとの入出力特性を
示すグラフである。
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置を用いた
実験における、波長可変特性を示すグラフである。
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置の概略構
成説明図である。
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置の概略構
成説明図である。
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置の概略構
成説明図である。
Claims (11)
- 【請求項1】 対向する所定の反射率を有するミラーに
より構成されるレーザー共振器と、 前記レーザー共振器内に配設された所定範囲の波長域に
おいてレーザー発振可能な波長可変レーザー媒質と、 前記レーザー共振器内に配設され、前記波長可変レーザ
ー媒質からの出射光が入射される光音響光学結晶と、 前記光音響光学結晶に装着され、前記光音響光学結晶に
音響波を入力するための音響波入力手段と、 前記レーザー共振器内に励起レーザー光を入射するパル
ス励起レーザーとを有することを特徴とする波長可変レ
ーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置。 - 【請求項2】 対向する所定の反射率を有するミラーに
より構成されるレーザー共振器と、 前記レーザー共振器内に配設された所定範囲の波長域に
おいてレーザー発振可能な波長可変レーザー媒質と、 前記レーザー共振器内に配設され、前記波長可変レーザ
ー媒質からの出射光が入射される光音響光学結晶と、 前記光音響光学結晶に装着され、前記光音響光学結晶に
音響波を入力するための音響波入力手段と、 前記レーザー共振器内に配設され、前記光音響光学結晶
から出射される回折光の分散を補正する光学素子と、 前記レーザー共振器内に励起レーザー光を入射するパル
ス励起レーザーとを有することを特徴とする波長可変レ
ーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置。 - 【請求項3】 請求項1または2のいずれか1項に記載
の波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置において、 前記パルス励起レーザーが、高繰り返しCW−Q−スイ
ッチ固体レーザーであることを特徴とする波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置。 - 【請求項4】 請求項3記載の波長可変レーザーにおけ
る波長選択可能なレーザー発振装置において、 前記高繰り返しCW−Q−スイッチ固体レーザーは、高
繰り返しレーザーダイオード励起固体レーザーであるこ
とを特徴とする波長可変レーザーにおける波長選択可能
なレーザー発振装置。 - 【請求項5】 請求項4記載の波長可変レーザーにおけ
る波長選択可能なレーザー発振装置において、 前記高繰り返しレーザーダイオード励起固体レーザー
は、CW−Q−スイッチパルスNd:YLFレーザーで
あることを特徴とする波長可変レーザーにおける波長選
択可能なレーザー発振装置。 - 【請求項6】 請求項4記載の波長可変レーザーにおけ
る波長選択可能なレーザー発振装置において、 前記高繰り返しレーザーダイオード励起固体レーザー
は、CW−Q−スイッチパルスYAGレーザーであるこ
とを特徴とする波長可変レーザーにおける波長選択可能
なレーザー発振装置。 - 【請求項7】 請求項1、2、3、4、5または6のい
ずれか1項に記載の波長可変レーザーにおける波長選択
可能なレーザー発振装置において、 前記レーザー共振器は、Zホールド型のレーザー共振器
であることを特徴とする波長可変レーザーにおける波長
選択可能なレーザー発振装置。 - 【請求項8】 請求項1、2、3、4、5または6のい
ずれか1項に記載の波長可変レーザーにおける波長選択
可能なレーザー発振装置において、 前記レーザー共振器は、Xホールド型のレーザー共振器
であることを特徴とする波長可変レーザーにおける波長
選択可能なレーザー発振装置。 - 【請求項9】 請求項1、2、3、4、5、6、7また
は8のいずれか1項に記載の波長可変レーザーにおける
波長選択可能なレーザー発振装置において、 前記波長可変レーザー媒質は入射端面をブルースターカ
ットされ、前記レーザー共振器内の光路に対して前記入
射端面がブルースターアングルにより配置されたことを
特徴とする波長可変レーザーにおける波長選択可能なレ
ーザー発振装置。 - 【請求項10】 請求項1、2、3、4、5、6、7ま
たは8のいずれか1項に記載の波長可変レーザーにおけ
る波長選択可能なレーザー発振装置において、 前記波長可変レーザー媒質は入射端面を無反射コーティ
ングされ、前記レーザー共振器内の光路に対して前記入
射端面が垂直に配置されたことを特徴とする波長可変レ
ーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置。 - 【請求項11】 請求項1、2、3、4、5、6、7ま
たは8のいずれか1項に記載の波長可変レーザーにおけ
る波長選択可能なレーザー発振装置において、 前記レーザー共振器を構成する対向するミラーの一方
は、前記波長可変レーザー媒質の端面に形成された鏡面
コーティングであることを特徴とする波長可変レーザー
における波長選択可能なレーザー発振装置。
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