JPH09301484A - フラットパネルキャリヤとその組立方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 特定の任意の寸法を有するキャリヤを容易に
かつ迅速に構成することのできるフラットパネルキャリ
ヤとその組立方法の提供。 【解決手段】 ウェハーＷのキャリヤ２０はコネクタ部
７０，７２，７３，７４，７６，７８を利用している。
コネクタ部はレール５２と係合して四角形の枠組３６を
形成する。パネル係合部３８を適当なレール５２に組付
けて、ウェハーＷを受容するためのスロットを形成す
る。キャリヤ２０を持ち運ぶときにウェハーＷをキャリ
ヤ２０の中で保持するために、前の方の位置でレール５
２にハンドル４４，４６が取り付けられる。この構成に
より、多数の様々な寸法や様々な数のウェハーＷに対し
て、寸法が画一性でなく柔軟性を持たせた形で即座に最
適なキャリヤ２０が提供できる。また、様々に異なる寸
法を有するキャリヤ２０を形成するために、相互に交換
可能な部材を利用することができることである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は例えばシリコンウ
ェハーのようなフラットパネルのためのフラットパネル
キャリヤとその組立方法に関し、さらに詳しくはモジュ
ール式のフラットパネルキャリヤとその組立方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】シリコンウェハーのパネルは、処理し分
割してラップトップコンピュータなどのフラットパネル
ディスプレイにされる。こうした処理を行うときには、
フラットパネルディスプレイユニットをだめにする可能
性のある粒子や汚染物質をできる限り少なく抑えること
が重要である。フラットパネルディスプレイを処理する
ときに粒子や汚染物質に関して出会う問題は、シリコン
ウェハーを処理して集積回路チップにするときの問題と
同じではないとしても、非常に似ている。ウェハーキャ
リヤは一般に射出成形されたプラスチックから形成され
ている。フラットパネルキャリヤの寸法のために、反り
や歪において困難が生じ、その結果、キャリヤの形状が
不均一あるいは再現性のないものとなる。フラットパネ
ルの処理の大部分はロボット装置によって行われ、従っ
て公差は非常に小さい。キャリヤのスロットの標準化は
行われているが、フラットパネルの寸法やウェハーキャ
リヤの寸法についての標準化はまだ行われていない。フ
ラットパネルウェハーの処理業者は、指定された数のウ
ェハーを保持するために独特の寸法のキャリヤを注文す
ることがしばしばある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従って、特定の任意の
寸法を有するパネルシリコンウェハーキャリヤを容易に
かつ迅速に提供することのできる手段が必要とされてい
る。こうしたキャリヤは一般に、堅固であり、均一かつ
再現性のよい寸法を有し、軽量であり、粒子の発生が少
なくなければならない。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は寸法が画一的でなく柔軟性を持たせた形で
即座に組み立てられるモジュール式のフラットパネルキ
ャリヤを提供している。本発明のフラットパネルキャリ
ヤは、レール部分と係合して方形の枠組を形成するコネ
クタ部を利用している。フラットパネル係合部が適当な
レール部分と組み付けられて、フラットパネルを受容す
るためのスロットを形成する。キャリヤを持ち運ぶとき
にフラットパネルをキャリヤの中で保持するために、前
の方の位置で枠組にハンドルが取り付けられる。係合部
の各々は、接触ができる限り少なく抑えられているパネ
ル支持面と、パネルの載る部分を形成するパネルエッジ
ストップ部と、エッジストップ部の上方に設けられた斜
めのガイドイン(guide-in)表面を有している。この発明
の特徴は、交換可能な部材を利用することによって、様
々に異なる寸法のキャリヤを形成することができ、その
一方で堅固さを維持し、またキャリヤを軽量にしている
ことである。この発明の別の特徴は、各キャリヤは個々
に組み立てられるけれども、キャリヤの大きさ及び寸法
が非常に再現性のよいことである。この発明の別の利点
及び特徴は、モジュール式の構造になっているために、
キャリヤを様々に異なる材料で構成することができるこ
とである。材料は個々の部材に必要な特性に合わせて選
択することができる。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいてこの発
明の実施の形態を説明する。図１には満杯に装填された
状態にあるフラットパネルＷ用のキャリヤが示されてい
る。キャリヤは参照番号２０で表されている。キャリヤ
２０は、主として、上側の水平方向の第１の面部２２
と、第１の面部２２と平行でありこれと対向する下側の
水平方向の第２の面部２４と、上下方向の第３の面部２
６と、これと対向する上下方向の第４の面部２８と、開
口した前面受容用端部３０と、保持用端部３４から構成
されている。このキャリヤ２０は一般にボックス形状を
しており、モジュール式の調節可能な枠組３６と、多数
のパネル係合部３８を有している。パネル係合部３８は
水平方向の多数のパネルスロット４０を形成している。
調節可能な枠組３６は、その寸法を選択することによっ
て、特定寸法のフラットパネルや、特定数のフラットパ
ネルに合うようなキャリヤ２０を構成することができ
る。

【０００６】このキャリヤ２０は一対のハンドル４４，
４６を有している。ハンドル４４，４６は、キャリヤ２
０を運ぶために上側の第１の面部２２へ取り付けること
ができるようになっている。ハンドル４４，４６はフラ
ットパネルが装填された状態にあるキャリヤ２０のバラ
ンスライン４７より前方に位置する。この結果、ハンド
ル４４，４６によって持ち運ばれるとキャリヤ２０は自
然に後方へ傾く傾向にある。これは、フラットパネルを
適切な位置に保持する助けになる。

【０００７】図２〜図１１にはモジュール式のキャリヤ
２０を構成する枠組３６の構造の詳細が示されている。
図２は、ハンドル４４，４６が設置されておらず、フラ
ットパネルが装填されていない状態のキャリヤ２０であ
る。パネル係合部３８は図のように係合部のいくつかの
組に分割されている。図面では、参照番号４８で表され
ている７組の係合部に分割されている。各組はほぼ水平
な平面４９内に配置されている。枠組３６は一般に、コ
ネクタ部５０と、レール５２と、パネル係合部３８から
なっている。上側の水平方向の第１の面部２２と下側の
水平方向の第２の面部２４との間には七つの上下方向コ
ラム５４が設けられている。これらの上下方向コラム５
４は、第１のコラム５６と、第２のコラム５７と、第３
のコラム５８と、第４のコラム５９と、第５のコラム６
０と、第６のコラム６１と、第７のコラム６２を有して
いる。コラムの各々は、パネル係合部３８の多数のセグ
メント６４と、このセグメント６４と係合する上下方向
のレール部分６６からなっている。

【０００８】上下方向コラムの各々は第１の面部２２と
第２の面部２４との間を延びており、コネクタ部５０に
よって第１の面部２２と第２の面部２４へ連結されてい
る。第１の面部２２は、コーナーコネクタ部７０と、面
部中央コネクタ部７２と、端部中央コネクタ部７３を有
している。同様に、下側の水平方向の第２の面部２４
は、四つのコーナーコネクタ部７４と、面部中央コネク
タ部７６と、端部中央コネクタ部７８を有している。コ
ラムはプレスばめ係合及び／もしくはネジ８０によって
コネクタ部へ適当に取り付けられる。ネジ８０はレール
を貫通してコネクタ部の中まで延びているか、あるいは
その逆である。こうしたネジ８０はレールとコネクタ部
のどちらかか、あるいは両方にねじ込まれる。他の適当
な固定手段としては、リベットや、接着剤、あるいは各
部材を一体に溶接する方法があろう。

【０００９】図４〜図８にはコネクタ部の適当な構造が
示されている。図４はコーナーコネクタ部を示してい
る。図５は端部中央コネクタ部７３を示している。図６
は、下側の水平方向の第２の面部２４に適した構造を有
する面部中央コネクタ部７６を示している。図８は、下
側の水平方向の第２の面部２４に適した端部中央コネク
タ部７８を示している。コネクタ部の各々は、多数のレ
ール受容用スロットを有している。レール受容用スロッ
トの各々は文字Ａで表されている点線によって示された
軸を有している。各スロット８４は一対の係合部材８
６，８７によって形成されている。これらの係合部材８
６，８７とスロット８４はしっかりとレールに係合する
ような形状を有している。ここでの”スロット”はあら
ゆる種類の凹所、溝、あるいは開口部を意味するものと
して定義されており、図面の構造に示されているような
Ｃ字形のスロットに限定されると考えてはならない。

【００１０】図３には特にキャリヤ２０の上側の水平方
向の第１の面部２２が示されている。面部２２は、コー
ナーコネクタ部７０と、面部中央コネクタ部７２と、端
部中央コネクタ部７３と、上側の水平方向のレール部分
９０を有している。レール部９０の各々は対向する端部
９２，９４を有している。コーナ部分と係合する端部９
２，９４は、コーナーコネクタ部の内部で斜め継ぎ９６
を形成するような形に形成されている。長手方向に延び
るレール部分は、点線９７で示されているように面部中
央コネクタ部７２の中を延びているか、あるいは当接継
ぎ９８を形成している。図４〜図８の点線は、レール部
分の端部９２，９４に対する適当なジョイント１００を
示している。

【００１１】図９、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）はパ
ネル係合部３８のセグメント６４の一つの構造の詳細図
を示している。セグメント６４は位置が揃えられた多数
のパネル係合部３８からなっている。パネル係合部３８
は上下方向コラム６５の中に配置されている。各パネル
係合部３８は、レールスロット１０３と、凸状の涙滴状
をした突起部１０１と、斜めのガイドイン表面あるいは
ランプ１０６と、棚１０８を有している。突起部１０１
は係合ポイント１０４を有している。ランプ１０６はフ
ラットパネルを所定の位置にガイドする助けとなる。棚
１０８の上に涙滴形状をした突起部１０１が配置されて
いる。図１０（ｂ）は、ストップタブ１１０として形成
された前部パネルエッジストップ部１１１を示してい
る。ストップタブ１１０は、セグメント６４が、開口し
た前面受容用端部３０へ隣接されたときに使用される。
セグメント６４は節１１２を有している。節１１２は開
口部１１４と係合することによって、一つのセグメント
６４と次のセグメント６４との間のパネル係合部３８の
位置揃えを助ける。セグメント６４は図９において点線
１１５で示したように単一のパネル係合部３８を有する
こともできる。この場合は、分離した個々の部分を積み
上げることによって係合部のコラムが形成される。

【００１２】図１１には一つの適当な形状を有するレー
ル９０が示されている。このレール９０は、コネクタ部
のスロット８４あるいは係合部材８６，８７と係合する
任意の適当な構造にすることができる。図示されている
レール９０は、パネル係合部のスロットあるいはコネク
タ部に挿入されたとき、Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５
で表された五つのポイントで接触する。これらの明確で
局在した接触ポイントのために、洗浄のあとなどに汚染
物質や流体の溜る部分が極力少なくなっている。

【００１３】図１２にはパネル係合部３８とセグメント
６４の別の実施の形態が示されている。この実施の形態
においては、パネル係合部３８のスロットを用いるかわ
りに、突起部として形成された外側へ延びる係合部材１
２２，１２４が利用されている。係合部材１２２，１２
４は図１３に示されているＣ字形のレール１２０の中に
係合する。こうしたＣ字形のレール１２０とともに用い
るのに適した別のコネクタ部が図１４，図１５に示され
ている。コネクタ部は、Ｃ字形のレール１２０をスロッ
ト１３０の中に挿入することもできるし、オス型の係合
部材１３２のまわりに係合することもできることに注目
されたい。パネル係合部をレールとを別体とせずに、レ
ールをパネル係合部と一体にすることもこの発明の範囲
内のことである。

【００１４】図１６は、上側の第１の面部２２の長手方
向のレールへ取り付けられる適当なハンドル４４の構造
を示している。図１及び図２を再び参照すると、このキ
ャリヤ２０は任意の寸法のフラットパネルに合うような
構造にして用いることができる。また所望のあるいは特
定の任意の数のパネルを受容するようにもできる。言い
換えれば、このパネルキャリヤ２０は図２において軸群
１５０で表されているＸ、Ｙ、Ｚ軸方向において調節が
可能である。コネクタ部はアルミニウムを射出成形、機
械加工、あるいは他の適当な方法で成形することで形成
される。同様に、レール部分は押し出し成形あるいは射
出成形されたプラスチックか、アルミニウムなどから形
成される。パネル係合部はＰＥＥＫが充填されたカーボ
ンファイバなどの耐摩耗性と非帯電性を有するプラスチ
ックから形成されていることが理想である。

【００１５】この発明の作用は以下のとおりである。フ
ラットパネルが装填されていない状態での図１の構造体
を製造施設に設置する。一般的には、キャリヤ２０には
ロボットを用いてパネルが一つずつ装填されたり取り出
されたりする。図１０（ｂ）に最もよく示されているよ
うに、フラットパネルＷはランプ上方のパネルスロット
４０の一つに挿入され、次に下へ降ろされて係合ポイン
ト１０４の上に置かれる。図１及び図２の構造において
は、各上下方向コラム５４に対して一つずつ、全部で七
つの係合ポイント１０４が設けられている。パネルＷが
下へ降ろされて係合ポイント１０４の上に載せられると
き、もしウェハーが少し中心からずれていると、ランプ
１０６がパネルＷの所定の位置へのガイドとなる。いっ
たん所定の位置に設置されると、キャリヤ２０を動かし
たり押したりしたときに、図９に示されているストップ
タブ１１０がパネルＷの保持を助ける。また、ストップ
タブ１１０は、パネルが係合ポイント１０４と係合した
ときに長手方向への動きを防止し、擦れによる粒子の発
生を最少としている。フラットパネルＷに対してさらな
る加工やその他の要求により必要のあるときには、ロボ
ットアームをパネルの下へ延ばしてパネルを持ち上げ、
パネルをストップタブ１１０及びランプ１０６を過ぎる
まで上へ上げる。そのあとパネルＷを開口した前面受容
用端部３０から取り出す。

【００１６】図に示されているフラットパネルのキャリ
ヤ２０の組立は、選択した寸法のレール部分をコネクタ
部の中へ係合することと、これらのレール部分６６をコ
ネクタ部の中に組み付けるまえに、上下方向のレール部
分６６をパネル係合部３８に係合することからなってい
る。レールは、ネジや接着剤、溶接、あるいは他の適当
な機械的な固定手段など様々な手段を用いてコネクタ部
へ固定することができる。コネクタ部とレールを適当な
形状にして、組み付けたときにそれらが締りばめを形成
してさらに堅固さと固定が得られるようにできる。

【００１７】上述したモジュール式アセンブリによれ
ば、キャリヤ製造施設は単に部品やコネクタ部、パネル
係合部、切断した形のレールか、あるいは長い状態のレ
ール、及びハンドルを在庫として持っていればよいこと
になる。ある特定の寸法のキャリヤが注文されたときに
は、製造業者あるいはアセンブリ業者は在庫から適当な
コネクタ部や、適切な寸法を有するレール、あるいは適
当な寸法に切断されたレールと、適当な寸法のパネル係
合部を選択する。アセンブリ業者は単にこれらの部材
を、指定されたキャリヤに組み立てるだけである。

【００１８】図１７，図１８，図１９及び図２０には、
この発明の別の実施の形態が示されている。この実施の
形態は、図１３のＣ字形のレールと、図１４及び図１５
に示されているようなコネクタ部を利用して、図１７に
示されているような方形のモジュール式のボックス形状
のキャリヤを構成している。レールは主にプレスばめ摩
擦係合によりコネクタ部へ取り付けられる。そして、ネ
ジや接着剤あるいは材料の溶接などの固定手段を用いて
補強することによって、図２の実施の形態に関連して説
明したそれぞれの係合を固定する。この実施の形態も、
開口した前面受容用端部３０と、二つの上下方向レール
１４０，１４２を有している。また、この実施の形態
は、上下方向のパネルストップ部１４８に一体で連結さ
れている前部パネルエッジストップ部１４６を有してい
るという特徴もある。

【００１９】図１８，図１９，図２０には、図１７の実
施の形態の詳細が示されている。特に、図１９及び図２
０は、パネルＷの係合に関する特徴を示している。パネ
ル係合部３８の各々は、突起部１０１の、上方へ向いた
パネル係合面１５２を有している。パネルが図１９にお
いて参照番号１５８で示されている点線で表されている
状態に置かれたときには、パネル係合面１５２はパネル
Ｗの底面１５５のエッジ部１５３を係合ポイント１０４
の上で支える。こうした係合によって接触ポイントは非
常に小さくなる。

【００２０】前部パネルエッジストップ部１４６はほぼ
上下方向に設けられた内側へ向いた前方パネル拘束面１
６２を有している。前方パネル拘束面１６２はパネルの
前端１６４と接触する。上下方向のパネルストップ部１
４８は、連結部材１７０によってパネル係合部のセグメ
ント６４へ連結されている。前部パネルエッジストップ
部１４６は、前述した連結部材１７０と、ウェハー係合
部のセグメント６４と、係合部材１３０によってＣ字形
のレール１２０へ連結されている。図１７，図１８，図
１９及び図２０に示されている実施の形態においては、
前部パネルエッジストップ部１４６、連結部材１７０、
パネル係合部３８、係合部材１３０はすべて一体化され
ており、上下方向のパネル係合コラム１７１を構成して
いる。

【００２１】係合部材１３０は、Ｔ字形部材１７４と節
１７６を用いてＣ字形のレール１２０の中に係合してい
る。節１７６は対向する表面１７８を有している。表面
１７８はＣ字形のレール１２０の内壁１８２に接触して
いる。一般にＣ字形のレールの内部１８４は、係合部材
１３０と密に係合するような寸法を有している。上下方
向部材１９０が、隣接する係合部材１３０の間を延びて
いる。パネル係合部３８の各々はパネルエッジ拘束部材
１９６を有している。パネルエッジ拘束部材１９６はほ
ぼ上下方向に設けられた内側へ向いた表面１９８と、ラ
ンプ２０１の上に設けられた斜め内側上方へ向いたガイ
ドイン表面２００を有している。表面１９８は、パネル
エッジと対向する。ガイドイン面２００は、ロボットア
ームによって下へ降ろすときに、挿入されたパネルを置
かれた状態へ適切に位置付けする助けとなる。

【００２２】特に図１９を参照するとわかるように、パ
ネルをキャリヤから取り出すには、パネルを少なくとも
参照番号２０８で示されている点線のレベルまで上昇さ
せる必要がある。パネルキャリヤは一般に挿入及び離脱
レベルを有している。この挿入及び離脱レベルは四つの
パネルエッジストップ部の上面２１２と、次の隣接する
パネルストップ部の下面２１４によって限定される。こ
の挿入及び離脱レベルは、図１９において参照番号２１
６で示された点線で表されている。

【００２３】この実施の形態においては、パネル係合部
３８は一般に舌の形状をした棚２１２を有していること
に注目されたい。この棚２１２は製造を容易にし、最適
な支持を容易にし、材料をできる限り使わないようにす
る。この発明は、その精神及び本質から逸脱することな
く、他の形態で実現することが可能である。従って、上
述した実施の形態は単に説明のためのものであり、発明
を限定するものではない。この発明の範囲に関しては、
上述した説明よりも特許請求の範囲を参照すべきであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】装填した状態にあるこの発明によるモジュール
式フラットパネルキャリヤを示す斜視図である。

【図２】装填されていない状態のモジュール式フラット
パネルキャリヤを示す斜視図である。

【図３】モジュール式フラットパネルキャリヤの平面図
である。

【図４】コーナーコネクタ部の斜視図である。

【図５】リテイナー端部中央コネクタ部の斜視図であ
る。

【図６】上側の水平方向の面部中央コネクタ部の斜視図
である。

【図７】下側の面部中央コネクタ部の斜視図である。

【図８】下側の端部中央コネクタ部の斜視図である。

【図９】フラットパネル係合部のセグメントを示す斜視
図である。

【図１０】分図（ａ）はフラットパネル係合部のセグメ
ントを示す立面図、分図（ｂ）は図９の１０ｂ−１０ｂ
線におけるフラットパネル係合部の詳細断面図である。

【図１１】図９のセグメント及び図４〜図８のコネクタ
部と係合するのに適したレール部分の斜視図である。

【図１２】フラットパネル係合部のセグメントの別の実
施の形態を示す斜視図である。

【図１３】図１２に示されているセグメントと連結して
使用するのに適したＣ字形のレール部分の別の実施の形
態を示す斜視図である。

【図１４】図１３に示されているレール部分を受容する
ためのＣ字形のスロットを利用しているコネクタ部の別
の実施の形態を示す斜視図である。

【図１５】コネクタ部の別の実施の形態の斜視図であ
り、図１３に示されているような構造のレール部分へ連
結されるオス型係合部材も示している。

【図１６】取り付けハンドルの斜視図である。このハン
ドルは図１１に示されているようなレール部分へ取り付
けるように形成されている。

【図１７】図１３に示されているようなＣ字形のレール
を用いて組み立てられるフラットパネルキャリヤの斜視
図である。

【図１８】パネル係合部材のセグメントと前部パネルス
トップとを有するレール挿入部材を示す斜視図である。

【図１９】パネル係合部材と、図１３に示されているよ
うなＣ字形のレールに係合した前部パネルストップの詳
細立面図である。

【図２０】図１９の２０−２０線断面図である。

【符号の説明】

２０ キャリヤ ２２，２４，２６，２８ 面部 ３０ 前面受容用端部 ３４ 保持用端部 ３６ 枠組 ３８ パネル係合部 ４０ スロット ４４，４６ ハンドル ４７ バランスライン ４８ パネル係合部 ４９ 平面 ５０ コネクタ部 ５２ レール ５４ 上下方向コラム ５６，５７，５８，５９，６０，６１，６２ コラム ６４ セグメント ６５ 上下方向垂直コラム ６６ レール部分 ７０ コーナーコネクタ部 ７２ 面部中央コネクタ部 ７３ 端部中央コネクタ部 ７４ コーナーコネクタ部 ７６ 面部中央コネクタ部 ７８ 端部中央コネクタ部 ８０ ネジ ８４ スロット ８６，８７ 係合部材 ９０ レール部分 ９２，９４ 端部 １０１ 突起部 １０３ レールスロット １０４ 係合ポイント １０６ ガイドイン表面 １２０ レール １２２、１２４ 係合部材 １３０ スロット １３２ 係合部材 １４０，１４２ 上下方向レール

Claims (33)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下方向に積み重ねられた複数のフラッ
   トパネルを保持するためのモジュール式のフラットパネ
   ルキャリヤであって、 ａ）４つのコーナを有するとともに、各コーナに配置さ
   れたコーナーコネクタ部を有し、該コーナーコネクタ部
   の各々が係合部材を有してなる、上側の水平な第１の面
   部と、 ｂ）４つのコーナを有するとともに、各コーナに配置さ
   れたコーナーコネクタ部を有し、該コーナーコネクタ部
   の各々が係合部材を有してなる、下側の水平な第２の面
   部と、 ｃ）第１及び第２の上下方向のコラムを有し、これらの
   コラムの各々が、前記第１の面部と第２の面部との間を
   延びていて、各コーナーコネクタの対応する係合部材を
   用いて前記第１の面部と第２の面部へ連結されており、
   またこれらのコラムの各々が、上下方向に配置され内側
   を向いている複数のパネル係合部を有してなる、上下方
   向の第３の面部と、 ｄ）第３及び第４の上下方向のコラムを有し、これらの
   コラムの各々が、前記第１の面部と第２の面部との間を
   延びていて、各コーナーコネクタの対応する係合部材を
   用いて前記第１の面部と第２の面部へ連結されており、
   またこれらのコラムの各々が、上下方向に配置され内側
   を向いている複数のパネル係合部を有してなる、上下方
   向の第４の面部と、 ｅ）前記第３及び第４の上下の面部に設けられて上下方
   向に配置されたパネル係合部によって形成され、パネル
   載置部を有する複数のパネルスロットと、 ｆ）パネルを挿入したり取り出したりするための受容用
   端部と、を有するフラットパネルキャリヤ。
2. 【請求項２】 前記上下方向のコラムの各々が、パネル
   係合部から分離可能な上下方向のレールを有している請
   求項１記載のフラットパネルキャリヤ。
3. 【請求項３】 前記パネル係合部の各々が上下方向の軸
   を有するスロットを有し、上下合向のレールがこのスロ
   ットに適した寸法を有していて、スロットの中に挿入さ
   れるようになっている請求項２記載のフラットパネルキ
   ャリヤ。
4. 【請求項４】 前記第１の面部が、四角形状に配置され
   た少なくとも４つの上側の水平方向のレール部分を有
   し、これらのレールの各々が対向する端部を有し、第１
   の面部に設けられた４つのコネクタ部の各々がさらに２
   つのレール係合スロットを有し、このレール係合スロッ
   トの各々が水平方向の軸を有し、これらのスロットが４
   つの上側の水平方向のレール部分に合った寸法を有して
   いて、レール部分へ連結されるようになっている請求項
   １記載のフラットパネルキャリヤ。
5. 【請求項５】 前記第２の面部が、四角形状に配置され
   た少なくとも四つの上側の水平方向のレール部分を有
   し、これらのレールの各々が対向する端部を有し、第２
   の面部に設けられた４つのコネクタ部の各々がさらに２
   つのレール係合スロットを有し、このレール係合スロッ
   トの各々が水平方向の軸を有し、これらのスロットが４
   つの下側の水平方向のレール部分に合った寸法を有して
   いて、レール部分へ連結されるようになっている請求項
   ４記載のフラットパネルキャリヤ。
6. 【請求項６】 前記受容用端部とほぼ平行に上下方向の
   端部が設けられており、さらに、第５の上下方向のコラ
   ムが設けられ、この第５の上下方向のコラムが位置が揃
   えられた複数のパネル係合部を有し、このパネル係合部
   がスロットと位置が揃えられていて各パネルをさらに支
   持するようになっており、第５のコラムが、スロット内
   のパネルが前記端部を通り抜けないように配置されてい
   る請求項５記載のフラットパネルキャリヤ。
7. 【請求項７】 前記係合部の各々が、上方を向いた凸状
   の表面を有していて、接触ポイントが最小限に抑えられ
   ている請求項１記載のフラットパネルキャリヤ。
8. 【請求項８】 前記上下方向のレールに位置を揃えて設
   けられている前記パネル係合部が、複数のセグメントか
   らなるパネル係合部である請求項７記載のフラットパネ
   ルキャリヤ。
9. 【請求項９】 前記セグメントの各々が、単一のパネル
   係合部からなっている請求項８記載のフラットパネルキ
   ャリヤ。
10. 【請求項１０】 前記第１の面部が、四角形状に配置さ
    れた少なくとも４つの上側の水平方向のレール部分を有
    し、これらのレールの各々が対向する端部を有し、第１
    の面部に設けられた４つのコネクタ部の各々がさらに二
    つのレール係合スロットを有し、このレール係合スロッ
    トが水平方向の軸を有し、これらのスロットが４つの上
    側の水平方向のレール部分に合った寸法を有していて、
    レール部分へ連結されており、前記第２の面部が、四角
    形状に配置された少なくとも４つの上側の水平方向のレ
    ール部分を有し、これらのレールの各々が対向する端部
    を有し、第２の面部に設けられた４つのコネクタ部の各
    々がさらに二つのレール係合スロットを有し、このレー
    ル係合スロットが水平方向の軸を有し、これらのスロッ
    トが４つの下側の水平方向のレール部分に合った寸法を
    有していて、レール部分へ連結されている請求項２記載
    のフラットパネルキャリヤ。
11. 【請求項１１】 前記上側の水平方向のレールと、下側
    の水平方向のレールと、上下方向のレールがすべて同じ
    断面形状を有している請求項１０記載のフラットパネル
    キャリヤ。
12. 【請求項１２】 枠組へ連結されている複数の前部パネ
    ルエッジストップ部が設けられており、この前部パネル
    エッジストップ部が受容用端部においてほぼ上下方向に
    配置され、前部パネルエッジストップ部の一つが各スロ
    ットにおいてパネル載置位置より前方に配置されてお
    り、これによって、前記パネルがその載置位置にあると
    きにパネルが前方へ動かないようになっている請求項１
    記載のフラットパネルキャリヤ。
13. 【請求項１３】 フラットパネルキャリヤであって、 ａ）４つのコーナを有するほぼ四角形の第１の面部と、 ｂ）４つのコーナを有するほぼ四角形の第２の面部と、 ｃ）前記第１の面部の４つのコーナと前記第２の面部の
    ４つのコーナとの間を延びる４つのスパン用レールであ
    って、各々対向する端部を有しかつ前記第１の面部及び
    第２の面部と直角に配置されてなるスパン用レールと、 ｄ）前記第１の面部に設けられた４つのコーナーコネク
    タ部及び前記第２の面部に設けられた４つのコーナーコ
    ネクタ部であって、前記第１の面部及び第２の面部のコ
    ーナの各々に設けられており、また各々がレール係合ス
    ロットを有し、このレール係合スロットが第１の面部及
    び第２の面部の平面に対して直角な軸を有し、各スロッ
    トが前記スパン用レールに合った寸法を有していて、前
    記スパン用レールの一つと係合するようになっている、
    コーナーコネクタ部と、 ｅ）前記スパン用レールの各々に位置が揃った状態で設
    けられ、各々パネルと係合する接触部を有する複数のパ
    ネル係合部であって、複数のパネルを受容して保持する
    ためにキャリヤ内に平行な複数のスロットを形成するパ
    ネル係合部と、を有するフラットパネルキャリヤ。
14. 【請求項１４】 前記第１の面部が、四角形状に配置さ
    れた少なくとも４つのレール部分を有し、これらのレー
    ルの各々が対向する端部を有し、４つのコネクタ部の各
    々がさらに２つのレール係合スロットを有し、これらの
    レール係合スロットが４つのレール部分に合った寸法を
    有していて、レール部分へ連結されるようになっている
    請求項１３記載のフラットパネルキャリヤ。
15. 【請求項１５】 前記第２の面部が、四角形状に配置さ
    れた少なくとも４つのレール部分を有し、これらのレー
    ルの各々が対向する端部を有し、４つのコネクタ部の各
    々がさらに２つのレール係合スロットを有し、これらの
    レール係合スロットが４つのレール部分に合った寸法を
    有していて、レール部分へ連結されるようになっている
    請求項１４記載のフラットパネルキャリヤ。
16. 【請求項１６】 前面受容用端部と保持用端部とが設け
    られ、前記前面受容用端部が開口していてフラットパネ
    ルを受容するようになっており、前記保持用端部におい
    て第１の面部から第２の面部まで延びる保持用レールが
    設けられており、この保持用レールが位置が揃えられた
    複数のパネル係合部を有し、このパネル係合部がスロッ
    トと位置を揃えて配置されていて各パネルをさらに支持
    するようになっており、前記保持用レールが、パネル受
    容用スロットの中のパネルをその中で保持するように配
    置されている請求項１３記載のフラットパネルキャリ
    ヤ。
17. 【請求項１７】 前記スパン用レールの各々に位置を揃
    えて設けられているパネル係合部が、第１の面部と第２
    の面部の間で、スパン用レールに摺動可能に係合してい
    る請求項１３記載のフラットパネルキャリヤ。
18. 【請求項１８】 前記スパン用レールの各々に位置を揃
    えて設けられているパネル係合部が、複数のパネル係合
    部セグメントからなっている請求項１７記載のフラット
    パネルキャリヤ。
19. 【請求項１９】 前記セグメントの各々が、単一のパネ
    ル係合部からなっている請求項１８記載のフラットパネ
    ルキャリヤ。
20. 【請求項２０】 前記スパン用レールが、第１のスパン
    用レールと、第２のスパン用レールと、第３のスパン用
    レールと、第４のスパン用レールを有し、前記第１及び
    第２のスパン用レールがキャリヤの第３の面部の上に配
    置され、前記第３及び第４のスパン用レールがキャリヤ
    の第４の面部の上に配置されており、第１及び第２のス
    パン用レールの間にこれらと平行に配置されていて第１
    及び第２の面部の間を延びている第１の中間のスパン用
    レールがさらに設けられており、第２及び第３のスパン
    用レールの間にこれらと平行に配置されていて第１及び
    第２の面部の間を延びている第２の中間のスパン用レー
    ルがさらに設けられている請求項１６記載のフラットパ
    ネルキャリヤ。
21. 【請求項２１】 前記中間のスパン用レールの各々の上
    に、位置が揃えられた複数のパネル係合部が設けられ、
    この位置が揃えられた複数のパネル係合部がパネルスロ
    ットと位置を揃えて配置されていて各パネルをさらに支
    持するようになっている請求項２０記載のフラットパネ
    ルキャリヤ。
22. 【請求項２２】 前記レールの各々が二つの端部を有
    し、これらの端部の各々がコネクタ部において固定手段
    によって連結されている請求項１３記載のフラットパネ
    ルキャリヤ。
23. 【請求項２３】 前記固定手段が、コネクタ部を貫いて
    延びていてレールの端部と係合するネジからなっている
    請求項２２記載のフラットパネルキャリヤ。
24. 【請求項２４】 前記固定手段が、各レール端部をそれ
    ぞれのコネクタ部へ接合する接着剤からなっている請求
    項２２記載のフラットパネルキャリヤ。
25. 【請求項２５】 上側の面部と、前面受容用端部と、保
    持用端部が設けられており、キャリヤのパネルスロット
    の中に複数のパネルを装填したときのキャリヤのバラン
    スラインが上側の面部上に有り、バランスラインと前面
    受容用端部との間で前記上側の面部へハンドルが取り付
    けられていて、装填が行われたキャリヤを前記ハンドル
    で持ち運ぶときにキャリヤが保持用端部の方へ傾くよう
    になっている請求項１３記載のフラットパネルキャリ
    ヤ。
26. 【請求項２６】 前記スパン用レールの長さが、特定の
    数のスロットを有するキャリヤの寸法に合うように選択
    される請求項１３記載のフラットパネルキャリヤ。
27. 【請求項２７】 水平方向のレールの長さが、特定の寸
    法のパネルに対するキャリヤの寸法に合うように選択さ
    れる請求項１５記載のフラットパネルキャリヤ。
28. 【請求項２８】 前記パネル係合部の各々が接触ポイン
    トを有している請求項１３記載のフラットパネルキャリ
    ヤ。
29. 【請求項２９】 フラットパネルキャリヤであって、 ａ）４つのコーナを有するほぼ四角形の第１の面部と、 ｂ）４つのコーナを有し、前記第１の面部と平行でこれ
    と対向しているほぼ四角形の第２の面部と、 ｃ） 前記第１の面部の４つのコーナと前記第２の面部
    の４つのコーナとの間を延びる４つのスパン用レールで
    あって、各々対向する端部を有するとともに、前記第１
    の面部及び第２の面部と直角に配置されているスパン用
    レールと、 ｄ） 前記第１の面部に設けられた４つのコーナーコネ
    クタ部及び第２の面部に設けられた４つのコーナーコネ
    クタ部であって、前記第１の面部及び第２の面部のコー
    ナの各々に設けられており、また各々がレール係合スロ
    ットを有し、このレール係合スロットが第１の面部及び
    第２の面部の平面に対して直角な軸を有し、各スロット
    が前記スパン用レールに合った寸法を有していて、前記
    スパン用レールの一つと係合するようになっている、コ
    ーナーコネクタ部と、 ｅ）前記スパン用レールの各々に位置が揃った状態で設
    けられるとともに均一な寸法を有しかつ各々パネルと係
    合する接触部を有する複数のパネル係合部であって、複
    数のパネルを受容して保持するためにキャリヤ内に平行
    な複数のスロットを形成し、スパン用レールの長さが、
    特定の数のパネル係合部、従って特定の数のスロットに
    合うように選択される、パネル係合部と、を有するフラ
    ットパネルキャリヤ。
30. 【請求項３０】 フラットパネルキャリヤであって、 ａ）第１のコーナと第２のコーナと第３のコーナと第４
    のコーナの４つのコーナーを有する四角形状に配置さ
    れ、各々対向する端部を有する少なくとも４つのレール
    部分と、各コーナに一つずつ設けられ、各々が４つのレ
    ール部分に連結された二つのレール係合部材を有する４
    つのコネクタ部とを有する第１の面部と、 ｂ）第１のコーナと第２のコーナと第３のコーナと第４
    のコーナの４つのコーナーを有する四角形状に配置さ
    れ、各々対向する端部を有する少なくとも４つのレール
    部分と、各コーナに一つずつ設けられ、各々が４つのレ
    ール部分に連結された二つのレール係合部材を有する４
    つのコネクタ部とを有し、前記第１の面部と平行でこれ
    と対向する第２の面部と、 ｃ）前記第１の面部の第１のコーナ及び第２のコーナに
    おいて前記第１の面部へ連結されており、かつ前記第２
    の面部の第１のコーナ及び第２のコーナにおいて前記第
    ２の面部へ連結されている第３の面部と、前記第１の面
    部の第３のコーナ及び第４のコーナにおいて前記第１の
    面部へ連結されており、かつ前記第２の面部の第３のコ
    ーナ及び第４のコーナにおいて前記第２の面部へ連結さ
    れ、前記第３の面部と平行でこれと対向している第４の
    面部と、 ｄ）前記第３の面部に沿って延びる二つの平行な列を形
    成する、位置が揃えられた複数のパネル係合部と、前記
    第４の面部に沿って延びる二つの平行な列を形成する、
    位置が揃えられた複数のパネル係合部とからなり、パネ
    ルを受容し複数のパネルを保持するための複数のスロッ
    トを形成して、第１及び第２の寸法を有するレールの長
    さが、特定の寸法のパネルに対するキャリヤの寸法に合
    うように選択できるようにした、複数のパネル係合部
    と、を有するフラットパネルキャリヤ。
31. 【請求項３１】 特定の数のパネルスロットを有する特
    定の寸法のフラットパネルキャリヤを組み立てるための
    方法であって、 ａ）コネクタ部の在庫を維持する段階と、 ｂ）コネクタ部と係合してこれに連結されるような構造
    を有するレールの在庫を維持する段階と、 ｃ）レールと組み付けが可能なパネル係合部の在庫を維
    持する段階と、 ｄ）コネクタ部と組み付けるために、コネクタ部の寸法
    を考慮して選択された寸法のレールを在庫から得る段階
    と、 ｅ）特定の数のフラットパネルスロットに対して必要な
    数のフラットパネル係合部を在庫から得る段階と、 ｆ）選択された寸法の上下方向のレールとパネル係合部
    とを組み付ける段階と、 ｇ）上下方向のレールと水平レールをコネクタ部と組み
    付けて、特定の数のスロットを有する特定の寸法のキャ
    リヤを形成する段階と、を有するフラットパネルキャリ
    ヤの組立方法。
32. 【請求項３２】 特定のスロットを有する特定の寸法の
    ウェハーキャリヤを組み立てるための方法であって、 ａ）コネクタ部の在庫を維持する段階と、 ｂ）コネクタ部と係合してこれに連結されるような構造
    を有する水平レールの在庫を維持する段階と、 ｃ）コネクタ部と組み付けが可能でありパネル係合部を
    有している上下方向のコラムの在庫を維持する段階と、 ｄ）コネクタ部と組み付けるために適当な寸法の水平レ
    ールを在庫から選択して得る段階と、 ｅ）パネル係合部を有する適当な寸法の上下方向のコラ
    ムを在庫から選択して得る段階と、 ｆ）水平レールと上下方向のコラムをコネクタ部と組み
    付けて、特定の寸法のフラッパネルキャリヤを形成する
    段階と、を有するフラットパネルキャリヤの組立方法。
33. 【請求項３３】 フラットパネルキャリヤであって、 ａ）水平方向の上側の第１の面部と、 ｂ）水平方向の下側の第２の面部と、 ｃ）上下方向に配置されている二つの列の内側へ向いた
    パネル係合部を有して、第１の面部と第２の面部との間
    を延びている、上下方向の第３の面部と、 ｄ）上下方向に配置されている少なくとも二つの列の内
    側へ向いたパネル係合部を有して、第１の面部と第２の
    面部との間を延びており、前記第３の面部と対向する上
    下方向の第４の面部と、を有しており、 ｅ）前記パネル係合部の各々がパネルと係合する単一の
    接触ポイントを有し、この接触ポイントが複数のフラッ
    トパネルを受容するための複数の水平なスロットを形成
    している、フラットパネルキャリヤ。