JPH09304024A - 形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置Info
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- JPH09304024A JPH09304024A JP12460896A JP12460896A JPH09304024A JP H09304024 A JPH09304024 A JP H09304024A JP 12460896 A JP12460896 A JP 12460896A JP 12460896 A JP12460896 A JP 12460896A JP H09304024 A JPH09304024 A JP H09304024A
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- axis actuator
- axis
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 薄板状製品の幅、厚み等の形状を正確にかつ
高能率に測定する装置を提供する。 【解決手段】本発明の形状測定装置１は、主にｘ−ｙ軸
アクチュエータ１０、支持回動機構２２、一対のレーザ
変位計２３を備えるセンサユニット２０および基準面を
有するワーク台３０からなる。ｘ−ｙ軸アクチュエータ
１０によってレーザ変位計２３を所定経路に沿って移動
しつつ、基準面に載置した固体活性炭の電極板の表裏両
面からレーザ変位計２３によってｚ軸方向の変位量を測
定する。これにより測定対象物の厚みおよびそりを算出
する。変位量の急変により測定対象物の縁辺を検知し、
ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０による位置情報によって長
さ、幅を算出する。支持回動機構２２によって、反射光
の取入れ方向を変更することにより、ｚ軸方向段差によ
る反射光の撹乱の影響を軽減できる。
高能率に測定する装置を提供する。 【解決手段】本発明の形状測定装置１は、主にｘ−ｙ軸
アクチュエータ１０、支持回動機構２２、一対のレーザ
変位計２３を備えるセンサユニット２０および基準面を
有するワーク台３０からなる。ｘ−ｙ軸アクチュエータ
１０によってレーザ変位計２３を所定経路に沿って移動
しつつ、基準面に載置した固体活性炭の電極板の表裏両
面からレーザ変位計２３によってｚ軸方向の変位量を測
定する。これにより測定対象物の厚みおよびそりを算出
する。変位量の急変により測定対象物の縁辺を検知し、
ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０による位置情報によって長
さ、幅を算出する。支持回動機構２２によって、反射光
の取入れ方向を変更することにより、ｚ軸方向段差によ
る反射光の撹乱の影響を軽減できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄板状製品の幅、
厚み等の形状を測定する装置に関する。
厚み等の形状を測定する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄板状製品のように厚みが薄く、その
上、強度が低い材料でできた製品の寸法を測定する場
合、ノギス、マイクロメータ等による接触測定では、接
触圧によって製品が変形したり、破壊したりするので測
定が困難である。そこで、非接触的測定法として測定顕
微鏡、拡大投影器などを使用する方法が行われている
が、位置合せ、目盛の読取りなど極めて繁雑な操作を要
し、能率が低い。
上、強度が低い材料でできた製品の寸法を測定する場
合、ノギス、マイクロメータ等による接触測定では、接
触圧によって製品が変形したり、破壊したりするので測
定が困難である。そこで、非接触的測定法として測定顕
微鏡、拡大投影器などを使用する方法が行われている
が、位置合せ、目盛の読取りなど極めて繁雑な操作を要
し、能率が低い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の現状
に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、薄
板状製品の幅、厚み等の形状を正確にかつ高能率に測定
する装置を提供することにある。
に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、薄
板状製品の幅、厚み等の形状を正確にかつ高能率に測定
する装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の形状測定装置は、次の構成要素(a)(b)(c)
(d)(e)(f)(g) を含むことを特徴とする。 (a) 位置制御装置によって位置制御されるｘ−ｙ軸アク
チュエータを備える。 (b) 前記ｘ−ｙ軸アクチュエータによって搬送されるセ
ンサユニットを備える。
に、本発明の形状測定装置は、次の構成要素(a)(b)(c)
(d)(e)(f)(g) を含むことを特徴とする。 (a) 位置制御装置によって位置制御されるｘ−ｙ軸アク
チュエータを備える。 (b) 前記ｘ−ｙ軸アクチュエータによって搬送されるセ
ンサユニットを備える。
【０００５】(c) 前記センサユニットは、センサブラケ
ットと、該センサブラケットの一端に設ける支持回動機
構と、該センサブラケットに設ける一対のレーザ変位計
を備える。 (d) 前記支持回動機構は、該支持回動機構が備える回動
軸の中心軸と前記ｘ−ｙ軸アクチュエータの移動平面と
が直交するように前記ｘ−ｙ軸アクチュエータに結合さ
れている。
ットと、該センサブラケットの一端に設ける支持回動機
構と、該センサブラケットに設ける一対のレーザ変位計
を備える。 (d) 前記支持回動機構は、該支持回動機構が備える回動
軸の中心軸と前記ｘ−ｙ軸アクチュエータの移動平面と
が直交するように前記ｘ−ｙ軸アクチュエータに結合さ
れている。
【０００６】(e) 前記レーザ変位計は、互に対向し、か
つ、該レーザ変位計の照射光軸と前記支持回動機構が備
える回動軸の中心軸とが一致するように配置されてい
る。 (f) 前記一対のレーザ変位計の中間に、前記ｘ−ｙ軸ア
クチュエータの移動平面と平行な基準面を有するワーク
台を備える。 (g) 前記ワーク台は、基準面に直交して貫通する測定孔
を備える。
つ、該レーザ変位計の照射光軸と前記支持回動機構が備
える回動軸の中心軸とが一致するように配置されてい
る。 (f) 前記一対のレーザ変位計の中間に、前記ｘ−ｙ軸ア
クチュエータの移動平面と平行な基準面を有するワーク
台を備える。 (g) 前記ワーク台は、基準面に直交して貫通する測定孔
を備える。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の形状測定装置において、
ｘ−ｙ軸アクチュエータは、センサユニットを所定の位
置に運ぶためのものである。該ｘ−ｙ軸アクチュエータ
の動きは、位置制御装置によって制御される。連続測定
のときには、予め設定された順路に従ってセンサユニッ
トが移動するように制御することができる。
ｘ−ｙ軸アクチュエータは、センサユニットを所定の位
置に運ぶためのものである。該ｘ−ｙ軸アクチュエータ
の動きは、位置制御装置によって制御される。連続測定
のときには、予め設定された順路に従ってセンサユニッ
トが移動するように制御することができる。
【０００８】センサユニットが備える支持回動機構は、
センサブラケットの一端に設けられていて、該センサブ
ラケットを、レーザ変位計の照射光線軸の周りに回動自
在に支持するとともに、ｘ−ｙ軸アクチュエータに連結
する。前記センサブラケットには、一対のレーザ変位計
を備える。レーザ変位計は、投光レンズによって集光し
たレーザ光線を測定点に照射し、該測定点から拡散反射
されたレーザ光線を光位置検出素子で捉えることによ
り、三角測量方式によって、照射光線方向（ｚ軸方向と
する）の測定点の変位量を求めるためのものである。す
なわち、測定対象物を横切って測定点を移動したとき、
測定対象物の端末部ではｚ軸方向の変位量が急変するの
で、前記変位量が予め設けたしきい値を超えたときの両
端末部のｘ−ｙ座標値を求めることにより前記両端末間
の距離を知ることができる。
センサブラケットの一端に設けられていて、該センサブ
ラケットを、レーザ変位計の照射光線軸の周りに回動自
在に支持するとともに、ｘ−ｙ軸アクチュエータに連結
する。前記センサブラケットには、一対のレーザ変位計
を備える。レーザ変位計は、投光レンズによって集光し
たレーザ光線を測定点に照射し、該測定点から拡散反射
されたレーザ光線を光位置検出素子で捉えることによ
り、三角測量方式によって、照射光線方向（ｚ軸方向と
する）の測定点の変位量を求めるためのものである。す
なわち、測定対象物を横切って測定点を移動したとき、
測定対象物の端末部ではｚ軸方向の変位量が急変するの
で、前記変位量が予め設けたしきい値を超えたときの両
端末部のｘ−ｙ座標値を求めることにより前記両端末間
の距離を知ることができる。
【０００９】上記の操作において、測定対象物の端末部
の段差等により反射光線が遮蔽されると、測定に誤差を
生じるおそれがある。このときには、前記支持回動機構
によってセンサブラケットを回転し、レーザ変位計の受
光部を段差の方向と平行とすることにより、段差等によ
る反射光線の遮蔽の影響を軽減することができる。本発
明の形状測定装置は、測定対象物である薄板の厚みおよ
びそりを測定するために、測定対象物の厚み方向に対向
して、一対のレーザ変位計を備える。すなわち、第１の
レーザ変位計によって、所定の測定基準面から測定対象
物の表面までの距離Ｌ１を測定し、第２のレーザ変位計
によって、前記測定基準面から測定対象物の裏面までの
距離Ｌ２を測定する。Ｌ１とＬ２の差を求めることによ
り測定位置における厚みを知ることができる。測定対象
物の表裏によって測定点のｘ−ｙ座標値が異なることを
防ぐため、一対のレーザ変位計は、その照射光軸が互に
一致し、かつ該照射光軸と前記ｘ−ｙ軸アクチュエータ
の移動平面とが直交するように配置される。
の段差等により反射光線が遮蔽されると、測定に誤差を
生じるおそれがある。このときには、前記支持回動機構
によってセンサブラケットを回転し、レーザ変位計の受
光部を段差の方向と平行とすることにより、段差等によ
る反射光線の遮蔽の影響を軽減することができる。本発
明の形状測定装置は、測定対象物である薄板の厚みおよ
びそりを測定するために、測定対象物の厚み方向に対向
して、一対のレーザ変位計を備える。すなわち、第１の
レーザ変位計によって、所定の測定基準面から測定対象
物の表面までの距離Ｌ１を測定し、第２のレーザ変位計
によって、前記測定基準面から測定対象物の裏面までの
距離Ｌ２を測定する。Ｌ１とＬ２の差を求めることによ
り測定位置における厚みを知ることができる。測定対象
物の表裏によって測定点のｘ−ｙ座標値が異なることを
防ぐため、一対のレーザ変位計は、その照射光軸が互に
一致し、かつ該照射光軸と前記ｘ−ｙ軸アクチュエータ
の移動平面とが直交するように配置される。
【００１０】また、測定対象面を測定基準面に接して装
着したとき、接触点以外の位置において、該測定対象面
と該測定基準面との距離を測定することによってそりを
求めることができる。多くの測定位置において厚み、そ
りを同時に測定するときは、複数対のレーザ変位計を設
けてもよい。ワーク台は、測定対象物を所定の位置に保
持するとともに、ｚ軸方向の変位量測定の基準面を与え
る。該基準面に直交し、貫通して設ける測定孔は、ワー
ク台の背面側のレーザ変位計による測定の際に、レーザ
変位計の照射光線および反射光線を通過するためのもの
である。
着したとき、接触点以外の位置において、該測定対象面
と該測定基準面との距離を測定することによってそりを
求めることができる。多くの測定位置において厚み、そ
りを同時に測定するときは、複数対のレーザ変位計を設
けてもよい。ワーク台は、測定対象物を所定の位置に保
持するとともに、ｚ軸方向の変位量測定の基準面を与え
る。該基準面に直交し、貫通して設ける測定孔は、ワー
ク台の背面側のレーザ変位計による測定の際に、レーザ
変位計の照射光線および反射光線を通過するためのもの
である。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の形状測定装置の実施例を図１
に示す。形状測定装置１は、主にｘ−ｙ軸アクチュエー
タ１０、センサユニット２０およびワーク台３０から構
成されている。水平に設置された光学実験台上面２にベ
ース３および４を立設し、ベース３上には、ブラケット
５によって、水平にｘ軸アクチュエータ１１を設ける。
またベース４上には、ｘ軸アクチュエータ１１と平行に
ガイドモジュール１３を設ける。ｘ軸アクチュエータ１
１およびガイドモジュール１３に直交してｙ軸アクチュ
エータ１２を懸架し、ｙ軸アクチュエータ１２の一端を
ブラケット１４によってｘ軸アクチュエータ１１に結合
する。ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０の移動平面が光学実
験台上面２と平行となるように調整する。
に示す。形状測定装置１は、主にｘ−ｙ軸アクチュエー
タ１０、センサユニット２０およびワーク台３０から構
成されている。水平に設置された光学実験台上面２にベ
ース３および４を立設し、ベース３上には、ブラケット
５によって、水平にｘ軸アクチュエータ１１を設ける。
またベース４上には、ｘ軸アクチュエータ１１と平行に
ガイドモジュール１３を設ける。ｘ軸アクチュエータ１
１およびガイドモジュール１３に直交してｙ軸アクチュ
エータ１２を懸架し、ｙ軸アクチュエータ１２の一端を
ブラケット１４によってｘ軸アクチュエータ１１に結合
する。ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０の移動平面が光学実
験台上面２と平行となるように調整する。
【００１２】ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０は、ケーブル
１５、１６を通じて、図には示さない位置制御装置から
送られる電流によって制御して駆動される。センサユニ
ット２０は、主にセンサブラケット２１、支持回動機構
２２、一対のレーザ変位計２３からなる。センサブラケ
ット２１はＶ形とし、該Ｖ形開口部に上部レーザ変位計
２３１と下部レーザ変位計２３２とを対向して設ける。
ｘ−ｙステージ２５およびｚステージ２６を調整して上
部レーザ変位計２３１と下部レーザ変位計２３２の照射
光軸を互に一致させる。
１５、１６を通じて、図には示さない位置制御装置から
送られる電流によって制御して駆動される。センサユニ
ット２０は、主にセンサブラケット２１、支持回動機構
２２、一対のレーザ変位計２３からなる。センサブラケ
ット２１はＶ形とし、該Ｖ形開口部に上部レーザ変位計
２３１と下部レーザ変位計２３２とを対向して設ける。
ｘ−ｙステージ２５およびｚステージ２６を調整して上
部レーザ変位計２３１と下部レーザ変位計２３２の照射
光軸を互に一致させる。
【００１３】支持回動機構２２を、ブランケット１８に
よってｙ軸アクチュエータ１２に結合する。このとき、
支持回動機構２２が備える回動軸２２１の中心軸がｘ−
ｙ軸アクチュエータ１０の移動平面に対して垂直となる
ようにする。回動軸２２１の先端部には、センサブラケ
ット２１の端部２１１を結合する。このとき、センサブ
ラケット２１に設けたレーザ変位計２３の照射光軸と、
前記支持回動機構が備える回動軸の中心軸とが一致する
ように配置する。
よってｙ軸アクチュエータ１２に結合する。このとき、
支持回動機構２２が備える回動軸２２１の中心軸がｘ−
ｙ軸アクチュエータ１０の移動平面に対して垂直となる
ようにする。回動軸２２１の先端部には、センサブラケ
ット２１の端部２１１を結合する。このとき、センサブ
ラケット２１に設けたレーザ変位計２３の照射光軸と、
前記支持回動機構が備える回動軸の中心軸とが一致する
ように配置する。
【００１４】支持回動機構は、図には示さない位置制御
装置から、ケーブル１６を通じて、送られる電流によっ
て制御して駆動される。ケーブル１８はレーザ変位計２
３の制御および計測データの伝送のためのものである。
ワーク台３０は、主に回転ステージ３１、フレーム３
２、検査ステージ３３よりなる。Ｌ形のフレーム３２の
底面には回転ステージ３１を設け、Ｌ形のフレーム３２
の上端には検査ステージ３３を設ける。ワーク台３０
は、ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０の走査範囲内の光学実
験台上面２に設置する。
装置から、ケーブル１６を通じて、送られる電流によっ
て制御して駆動される。ケーブル１８はレーザ変位計２
３の制御および計測データの伝送のためのものである。
ワーク台３０は、主に回転ステージ３１、フレーム３
２、検査ステージ３３よりなる。Ｌ形のフレーム３２の
底面には回転ステージ３１を設け、Ｌ形のフレーム３２
の上端には検査ステージ３３を設ける。ワーク台３０
は、ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０の走査範囲内の光学実
験台上面２に設置する。
【００１５】検査ステージ３３の上面は、平滑な平面に
仕上げて、これを基準面３３１とする。基準面３３１
は、ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０の移動平面に平行で、
かつ、レーザ変位計２３、２４の中間に位置するように
調整する。基準面３３１には、測定対象物の位置を固定
するための２個の押えブロック３４、４本のパイロット
ピン３５を設ける。また、基準面３３１に直交して検査
ステージ３３を貫通する９個の測定孔３６を設ける。
仕上げて、これを基準面３３１とする。基準面３３１
は、ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０の移動平面に平行で、
かつ、レーザ変位計２３、２４の中間に位置するように
調整する。基準面３３１には、測定対象物の位置を固定
するための２個の押えブロック３４、４本のパイロット
ピン３５を設ける。また、基準面３３１に直交して検査
ステージ３３を貫通する９個の測定孔３６を設ける。
【００１６】測定孔３６は、後述する被檢体の厚み測定
箇所に合致するように設ける。パイロットピン３５は、
後述する被檢体を指定の測定位置に置いたときに、被檢
体の相隣る辺にそれぞれ２本づつ当接するように設け
る。押えブロック３４は、被檢体を指定の測定位置に置
いたときに、パイロットピン３５に当接しない被檢体の
辺に沿って設ける。
箇所に合致するように設ける。パイロットピン３５は、
後述する被檢体を指定の測定位置に置いたときに、被檢
体の相隣る辺にそれぞれ２本づつ当接するように設け
る。押えブロック３４は、被檢体を指定の測定位置に置
いたときに、パイロットピン３５に当接しない被檢体の
辺に沿って設ける。
【００１７】上記の形状測定装置を用いて、表１に示す
基準寸法および許容差を有する固体活性炭の電極板を被
檢体４０とし、各部の寸法を測定して合否判定を行っ
た。長さおよび幅の測定箇所は、各辺から７ｍｍ内側の
位置と各辺の中央との各々３箇所とし、厚みの測定箇所
は、前記長さおよび幅の測定線の交点９箇所とする。
基準寸法および許容差を有する固体活性炭の電極板を被
檢体４０とし、各部の寸法を測定して合否判定を行っ
た。長さおよび幅の測定箇所は、各辺から７ｍｍ内側の
位置と各辺の中央との各々３箇所とし、厚みの測定箇所
は、前記長さおよび幅の測定線の交点９箇所とする。
【００１８】
【表１】
【００１９】基準面３３１とｘ−ｙ軸アクチュエータ１
０の移動平面とは必ずしも平行であるとは限らないの
で、予め測定位置における基準面３３１の位置を測定し
ておく。厚み測定位置には、ワーク台３０に測定孔３６
が明いているため、直接に基準面３３１の位置を測定す
ることができない。そのため、基準面３３１の測定を次
のようにして行った。
０の移動平面とは必ずしも平行であるとは限らないの
で、予め測定位置における基準面３３１の位置を測定し
ておく。厚み測定位置には、ワーク台３０に測定孔３６
が明いているため、直接に基準面３３１の位置を測定す
ることができない。そのため、基準面３３１の測定を次
のようにして行った。
【００２０】上部レーザ変位計２３１によって、測定位
置ａを跨ぐ直線上にある基準面３３１上の２点ｂ、ｃに
ついて位置を計測し、ｂ、ｃの位置情報から内挿してａ
の位置を計算した。また、基準面３３１に平板を置き、
ワーク台３０の下方から、該平板上の測定位置ａを下部
レーザ変位計２３２によって測定した。以上の基準面位
置測定を前記９箇所のの厚み測定箇所について行った。
置ａを跨ぐ直線上にある基準面３３１上の２点ｂ、ｃに
ついて位置を計測し、ｂ、ｃの位置情報から内挿してａ
の位置を計算した。また、基準面３３１に平板を置き、
ワーク台３０の下方から、該平板上の測定位置ａを下部
レーザ変位計２３２によって測定した。以上の基準面位
置測定を前記９箇所のの厚み測定箇所について行った。
【００２１】被檢体４０の寸法測定は次のようにして行
った。まず、４本のパイロットピン３５のうち少なくと
も３本に被檢体４０の２辺が当接するように、被檢体４
０を基準面３３１上に置き、押えブロック３４で押え
る。つぎに、ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０を稼働して、
長さおよび幅の測定箇所の線上にレーザ変位計２３を移
動し、各位置における変位量を測定する。このとき、支
持回動機構２２を操作して、上部レーザ変位計２３１の
反射光取入れ窓が測定線と直交する方向にあるように調
整した。
った。まず、４本のパイロットピン３５のうち少なくと
も３本に被檢体４０の２辺が当接するように、被檢体４
０を基準面３３１上に置き、押えブロック３４で押え
る。つぎに、ｘ−ｙ軸アクチュエータ１０を稼働して、
長さおよび幅の測定箇所の線上にレーザ変位計２３を移
動し、各位置における変位量を測定する。このとき、支
持回動機構２２を操作して、上部レーザ変位計２３１の
反射光取入れ窓が測定線と直交する方向にあるように調
整した。
【００２２】上記の計測において、プログラム制御によ
って、図５に示すようにｓ点から出発して矢印方向へ順
次レーザ変位計２３の照射位置を移動し、その間におけ
るレーザ変位計２３の変位量とｘ−ｙ軸アクチュエータ
１０の位置情報をコンピュータに取込み、計算によって
前記の所定位置における長さ、幅、厚みおよびそりを求
めた。
って、図５に示すようにｓ点から出発して矢印方向へ順
次レーザ変位計２３の照射位置を移動し、その間におけ
るレーザ変位計２３の変位量とｘ−ｙ軸アクチュエータ
１０の位置情報をコンピュータに取込み、計算によって
前記の所定位置における長さ、幅、厚みおよびそりを求
めた。
【００２３】測定は１枚当り約１０秒で行うことができ
た。また、測定精度は、長さおよび幅については±５０
μｍ、厚みについては±５μｍであった。
た。また、測定精度は、長さおよび幅については±５０
μｍ、厚みについては±５μｍであった。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、薄板状
製品の幅、厚み等の形状を正確にかつ高能率に測定する
形状測定装置を提供することができる。
製品の幅、厚み等の形状を正確にかつ高能率に測定する
形状測定装置を提供することができる。
【図１】本発明の実施例における形状測定装置の正面図
である。
である。
【図２】本発明の実施例におけるセンサユニットの側面
図である。
図である。
【図３】本発明の実施例におけるワーク台の正面図であ
る。
る。
【図４】本発明の実施例における検査ステージの平面図
である。
である。
【図５】本発明の実施例における測定経路を示す説明図
である。
である。
１ 形状測定装置 ２ 光学実験台上面２ ３ ベース ４ ベース ５ ブラケット １０ ｘ−ｙ軸アクチュエータ １１ ｘ軸アクチュエータ １３ ガイドモジュール １２ ｙ軸アクチュエータ １４ ブラケット １５ ケーブル １６ ケーブル １７ ケーブル １８ ブランケット ２０ センサユニット ２１ センサブラケット ２１１ センサブラケット端部 ２２ 支持回動機構 ２２１ 回動軸 ２３ レーザ変位計 ２３１ 上部レーザ変位計 ２３２ 下部レーザ変位計 ２５ ｘ−ｙステージ ２６ ｚステージ ３０ ワーク台 ３１ 回転ステージ ３２ フレーム ３３ 検査ステージ ３３１ 基準面 ３４ 押えブロック ３５ パイロットピン ３６ 測定孔 ４０ 被檢体
Claims (1)
- 【請求項１】 形状測定装置で、次の構成要素(a)(b)
(c)(d)(e)(f)(g) を含むことを特徴とする。 (a) 位置制御装置によって位置制御されるｘ−ｙ軸アク
チュエータを備える。 (b) 前記ｘ−ｙ軸アクチュエータによって搬送されるセ
ンサユニットを備える。 (c) 前記センサユニットは、センサブラケットと、該セ
ンサブラケットの一端に設ける支持回動機構と、該セン
サブラケットに設ける一対のレーザ変位計を備える。 (d) 前記支持回動機構は、該支持回動機構が備える回動
軸の中心軸と前記ｘ−ｙ軸アクチュエータの移動平面と
が直交するように前記ｘ−ｙ軸アクチュエータに結合さ
れている。 (e) 前記レーザ変位計は、互に対向し、かつ、該レーザ
変位計の照射光軸と前記支持回動機構が備える回動軸の
中心軸とが一致するように配置されている。 (f) 前記一対のレーザ変位計の中間に、前記ｘ−ｙ軸ア
クチュエータの移動平面と平行な基準面を有するワーク
台を備える。 (g) 前記ワーク台は、基準面に直交して貫通する測定孔
を備える。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12460896A JPH09304024A (ja) | 1996-05-20 | 1996-05-20 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12460896A JPH09304024A (ja) | 1996-05-20 | 1996-05-20 | 形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304024A true JPH09304024A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=14889650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12460896A Pending JPH09304024A (ja) | 1996-05-20 | 1996-05-20 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09304024A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102322796A (zh) * | 2011-07-20 | 2012-01-18 | 唐大春 | 齿轮参数激光检测装置及方法 |
| CN113533081A (zh) * | 2020-04-15 | 2021-10-22 | Oppo（重庆）智能科技有限公司 | 一种强度检测装置、方法以及计算机存储介质 |
-
1996
- 1996-05-20 JP JP12460896A patent/JPH09304024A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102322796A (zh) * | 2011-07-20 | 2012-01-18 | 唐大春 | 齿轮参数激光检测装置及方法 |
| CN113533081A (zh) * | 2020-04-15 | 2021-10-22 | Oppo（重庆）智能科技有限公司 | 一种强度检测装置、方法以及计算机存储介质 |
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