JPH09304029A - 表面形状検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成にしながらも、被検査物の移動等
による影響を少なくしてその表面の形状を高精度に検査
する。 【解決手段】 被検査物である感光ドラム４の回転軸と
光の照射方向の成す角度を鋭角にし、その感光ドラム４
に断面が長方形で実質的に均一なレーザ光を照射する。
そして、正反射の反射光軸上に位置する平凸型シリンド
リカルレンズ５で拡散した光を収束させ、半透明スクリ
ーン６上に反射光による像を投影する。ＣＣＤカメラ７
は、この半透明スクリーン６の背面から像を撮像し、そ
の輝度信号を処理装置８に送出する。処理装置８では、
輝度の範囲が正常範囲かどうかで、感光ドラム４の表面
が良好か否かを判断、もしくはその判断するための像を
表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は表面検査装置及び方
法、例えば複写機等の静電潜像方式で画像を形成する際
に使用される感光ドラムの表面の検査装置及び方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に感光ドラムの表面の欠陥、特に、
凹凸形状欠陥を検査する手法としては、例えばスリット
状の光束を被検査物表面に照射し、その光束の直線性の
変化から表面形状を得る光切断法がある。検査装置とし
ては、スリット状光束を出射する光源とスリット状光束
を照射した表面の光束直線性を検出する受光系、たとえ
ば、エリアセンサーカメラを備えたものがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の様
な表面検査方法および検査装置では、表面形状変化とし
て緩やかで、しかも変化量が微小な凹凸に対して受光倍
率を大きくする必要がある。この事から、 １．被検査物の回転、及び送りによる表面の位置変動が
受光系の合焦を乱し、また、光束の直線および傾きを乱
す要因となり、形状変化による直線性の変化を検出する
のが困難になる。 ２．位置変動を極力少なくする為には光源、受光系、被
検査物表面の相対位置を合わす必要があり、装置が困難
になる。 ３．検査視野が狭くなることから被検査物全面検査に要
する時間が長くなる。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明はかかる問題点に
鑑みなされたものであり、簡単な構成にしながらも、被
検査物の移動等による影響を少なくして表面の形状を高
精度に検査することを可能ならしめる表面形状検査装置
を提供しようとするものである。

【０００５】この課題を解決するため、本発明の表面形
状検査装置は以下の構成を備える。すなわち、被検査物
の表面に、所定面積を有すると共に実質的に均等な強度
を有する光を照射する照射手段と、該照射手段による照
射の正反射光軸上にあって、反射光を結像して所定のス
クリーンに投影させる投影手段と、該投影手段で投影さ
れた像を撮像する撮像手段とを備える。そして、かかる
構成において、撮像手段で撮像された映像に基づいて、
前記被検査物の表面状態を検査することになる。

【０００６】ここで本発明の好適な実施形態に従えば、
前記被検査物は感光ドラムにした場合にその効率を良く
発揮できる。

【０００７】また、感光ドラムが被検査物の場合には、
反射光は拡散するので、投影手段には、反射光の拡散方
向について収束させるための平凸型シリンドリカルレン
ズを有することが望ましい。

【０００８】また、照射手段は、感光ドラムの回転軸に
対して直角な方向から所定角度傾いた方向から光を照射
する。より望ましくは、感光ドラムの回転軸に対して鋭
角になっていることが望まれる。これによって、被検査
物への照射される面積を稼ぐことが可能になり、全面の
検査が短時間で行なえるようになる。

【０００９】また、スクリーンは半透明スクリーンであ
って、撮像手段は投影されたスクリーンの背面から撮像
することが望ましい。これによって、撮像手段の位置は
何等の制約を受けず、且つ、投影された映像に対して実
質的に垂直な方向から撮像できるので、像の歪みもなく
なる。

【００１０】また、更に、撮像された映像信号を入力
し、入力した輝度信号に応じた色変換処理を行って表示
する表示手段を備えることが望ましい。この結果、人間
によって区別し易い表面形状を表示させることが可能に
なる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係る実施形態の一例を詳細に説明する。

【００１２】図１は実施形態のシステム構成を示してい
る。同図において１は光源であるところのＨｅ−Ｎｅレ
ーザ、２はＨｅ−Ｎｅレーザ１の出力光を拡大かつ、平
行光とするビームエキスパンダー、３は被検査物表面に
検査光として照射する原形状を定めるマスク板、４は実
施形態における被検査物である感光体ドラムである。ま
た、５は検査光照射による被検査物表面の反射光像を投
影する平凸型シリンドリカルレンズ、６は平凸型シリン
ドリカルレンズ５による被検査物表面の反射光像を投射
する半透明体スクリーン、７は半透明体スクリーンの投
写像を撮像し、その像を電気信号に変換するＣＣＤエリ
アセンサーカメラ、８はＣＣＤエリアセンサーカメラ７
により撮像した映像出力信号を処理装置である。

【００１３】尚、上記構成中において１から７は外光を
遮断する不図示の遮光板にてカバーされており、暗所に
配置されている。

【００１４】検査光光源であるＨｅ−Ｎｅ（波長６３
２．８ｎｍ）レーザ１の出力ビーム光１ａは同光軸に配
置されたビームエキスパンダー２に入射され、入射ビー
ム光径（１ａ）を、検査光束３ａとして照射する原形状
を定めるマスク板３の原形状の大きさより十分大きく光
強度分布が均一なビーム光径に拡大し、又、平行光とし
た検査光束２ａに変換する。

【００１５】ビームエキスパンダー２で変換された検査
光束２ａは、照射する原形状を定めるマスク板３を照射
する。マスク板３は被検査物４に照射する検査光束の原
形状部のみをレーザ光が貫通するようになっていて、他
は遮光板により遮光される構造を成している。例えばマ
スク板３には、格子状のマスクパターンが形成されてい
る。又、マスク板３の盤面は検査光の進行方向（光軸）
と垂直に配置され、貫通されている検査光束２ａの原形
状部の中心は、光軸にある。マスク板３の検査光束の原
形状は、例えば長方形（３ｘ＝１２ｍｍ，３ｙ＝１４ｍ
ｍ）を有し、出射光束２ａのマスク板３への照射により
原形状部を通過した光束は長方形の面を成す平行な検査
光束３ａが形成され、被検査物４の表面に照射される。
ここで、検査光束３ａの長方形の面を有する光束の一変
である３ｘ（１２ｍｍ）は被検査物４である感光体ドラ
ム４の長て方向に対応させて照射する。

【００１６】尚、被検査物４の感光体ドラムの中心軸４
ａは、検査光の入射方向に対して所定角度を有してい
る。つまり、感光体ドラム表面への検査光束３ａの照射
は、感光ドラムの法線（厳密には、感光体ドラムの回転
軸と検査光の照射軸で規定される平面上における、感光
体ドラム表面からの法線）に対し、或入射角θ（６０ー
８７度）にて斜めより照射する。

【００１７】これにより、被検査物４の感光体ドラムの
長て方向の検査光の照射長４ｘ、検査光束の一辺を３
ｘ、入射角θとすると、これらの間には次の関係式が成
立する。すなわち、 ｃｏｓθ＝３ｘ／４ｘ である。ここで、光束の一片３ｘを１２ｍｍ、入射角θ
を８０度とすると、感光ドラム４の長手方向の照射長４
ｘは４ｘ＝３ｘ／ｃｏｓθ≒１２／０．１７３６≒６９
ｍｍとなる。

【００１８】つまり、マスク板３の通過後の長方形の面
を有する検査光３ａの一辺である３ｘ＝１２ｍｍに比
べ、長い範囲を照射する事になる。

【００１９】尚、検査光３ａの長方形の他辺である３ｙ
（１４ｍｍ）は、被検査物が円筒物であることから、前
記検査照射光の照射による両辺４ｙは円弧（正確には楕
円弧）状となり、表面照射長も３ｙ＝１４ｍｍに比べ長
い範囲を照射する。

【００２０】また、感光体ドラムは直径約３０ｍｍを有
する導電性円筒物の鏡面状を有するものとしており、そ
の表面に感光体となる有機物が均一に数層コーティング
されている。つまり、感光体ドラム表面は鏡面に近い状
態を成している。

【００２１】この様な感光体ドラム表面に入射角θにて
検査光束３ａを照射すると、その長手方向に対しては正
反射されるものの、円筒形をなしているが故に拡散（拡
大）する。但し、もともと検査光束３ａは、感光ドラム
の径に対して十分に小さいこともあり、拡散するといっ
ても、ある程度の限られた範囲に納まる。

【００２２】平凸形シリンドリカルレンズ５は、正反射
光軸上に配置されていて、尚且つ、感光ドラム４からの
反射光全体を入射できる程度の面積、或いは、感光ドラ
ム４からの距離に固定されている（距離が短いと拡散の
度合が小さいのでレンズは小さくできる）。

【００２３】また、平凸形シリンドリカルレンズ５は、
入射した反射光像４ｂの拡散する方向を補正するもので
ある。

【００２４】つまり、検査光束３ａの３ｙ（１４ｍｍ）
方向に対する反射光像は、感光体ドラムの表面が半径１
５ｍｍの曲面を有すことから、感光体ドラム周方向の照
射位置によって定まる正反射光の反射角によって広がり
をもった正反射光像となるので、前記平凸シリンドリカ
ルレンズ５には拡散された正反射光像が入射される。こ
の様な反射光像の４ｂの入射に対し、平凸形シリンドリ
カルレンズ５は、検査光束３ａの３ｙ方向の反射光像に
対してはレンズ作用があり、３ｘ方向の反射光像に対し
てはレンズ作用がない配置となっている。従って、検査
光束３ａの３ｘ（１２ｍｍ）方向に対する反射光像の大
きさは実質的に変らない。

【００２５】尚、検査光束３ａの感光体ドラム表面の照
射位置と平凸形シリンドリカルレンズ５の間隔は平凸形
シリンドリカルレンズの焦点距離以上の間隔を有し、平
凸形シリンドリカルレンズが配置されている。

【００２６】このことで平凸形シリンドリカルレンズに
入射された前記反射光像４ｂの前記検査光束３ａの３ｘ
方向に対するレンズ出射光像は、不図示の焦点の位置で
結像し、それ以上離れると像が１８０°反転し、距離及
びレンズ倍率に依存して拡大する反転像となる。

【００２７】又、３ｙ方向に対するレンズ出射光像は、
被検査物４の表面の曲率と前記表面の検査光束３ａ照射
位置からの距離に依存する拡大像となる。

【００２８】この様に平凸形シリンドリカルレンズ５を
通過した感光体ドラム表面の反射光像５ａを、光軸上の
正反射光軸に垂直に配置された半透明スクリーン６に投
撮することになる。

【００２９】半透明スクリーン６と平凸形シリンドリカ
ルレンズ５の間隔は、半透明スクリーン６に投撮される
像の縦横比が、その像を撮像するＣＣＤエリアセンサー
カメラ７の撮像素子面の縦横比と合うように、予め調整
してある。

【００３０】尚、半透明スクリーン６の材質としては、
拡散素材として微粒径の白色オパールを透明板ガラス上
に均一にコートし、拡散透過率が５０％ー７５％の拡散
素材半透明スクリーンを用いた。上記のように配置した
半透明スクリーン６に投影された前記感光体ドラム表面
の反射光像５ａを半透明スクリーン６に裏面に写し出た
像をＣＣＤエリアセンサーカメラ７により撮像する。

【００３１】尚、ＣＣＤエリアセンサーカメラ７には撮
像レンズを有し、撮像レンズは半透明スクリーン６の裏
面に合焦し、この撮像レンズを介して前記反射光像を撮
像する。

【００３２】ＣＣＤエリアセンサーカメラ７により撮像
された反射光像は電気信号に変換され、映像信号７ａと
して出力され、処理装置８（後述）に入力され、ここで
感光ドラム４の表面の良不良の判断が行われる。具体的
には、入力される映像信号（輝度信号）７ａに対し、反
射光像に対応する映像信号部分のみを対象として映像信
号レベルを事前に設定された規格レベルの上下限値と比
較され、規格値を外れると、その箇所に表面形状不良が
存在すると判断する。また、規格値内の場合はその箇所
の表面は良品と判断される。

【００３３】図２は、平行な前記検査光束３ａが感光体
ドラム中心軸４ａ及びそれと平行をなすドラム表面に対
し、入射角θで表面上のある範囲４ｘを照射し、緩やか
な表面形状変化の有無による反射光を示す。

【００３４】さて、ドラム表面に緩やかな凹凸形状変化
がない表面（４ｘ１，４ｘ３）の場合、その表面とドラ
ム中心軸４ａの平行が保たれる事から全表面の反射光の
反射角θは入射角θと同じになる。しかしながら、図示
の如く、緩やかな凸形状（図示の４ｘ2で示す部分）の
場合、その表面はドラム中心軸４ａとの平行がなくな
り、中心軸４ａに対し傾きｘｎ°を生じる事から、その
表面に対する各照射箇所の入射角θｎはθ−Ｘｎとな
り、表面形状変化のない場合の表面への入射角θと異る
入射角で検査光束が照射される。

【００３５】凸形状表面（４ｘ２）に対し、前記入射角
θｎで照射され、その表面での反射光の反射角θｎ’
は、入射角θｎ と同角度で反射され、反射光像（４ｂ
２）を成す。

【００３６】この様に検査光束３ａを照射したドラム表
面の範囲４ｘに対する前記入射角θ及びθ’の反射光範
囲４ｘ’において、反射光の或位置で反射光と直角を成
す直線４ｃ上での反射強度分布は、４ｄのように示さ
れ、表面の凸形状による光強度の変化が変化部４ｂ２’
として現れ、表面形状変化のない表面と反射光強度の差
が得られる。

【００３７】この様に得られた反射光像を前記平凸型シ
リンドリカルレンズ５を通し、半透明スクリーン６に投
影し、ＣＣＤエリアカメラ７で撮像することで光強度の
変化を電気信号の電圧レベル変化に変換される。従っ
て、処理部８では、このカメラから得た光強度（輝度）
の度合の大小を予め設定された範囲内にあるか否かを判
断することで、その被検査対象物である感光ドラムの表
面を検査することができる。

【００３８】尚、凸状部分が存在する際、その凸部分で
の反射光は、本来あるべき方向とは異なる方向に反射さ
れ、半透明スクリーン６に投影される像の該当する位置
は暗くなる。従って、暗い部分は、確実に不良部分であ
ると判断できる。

【００３９】一方、凸部分での反射光がたまたま正常な
他の領域に反映されると、その部分では本来の反射光と
凸部からの反射光が合成されることになり輝度は高くな
るであろう。

【００４０】従って、実際には、処理装置８で欠陥部分
を特定するのであれば、輝度が所定以下の部分について
検査するだけで十分である。但し、反射光強度が高い部
分があるということは、位置は特定できないかもしれな
いが、間接的に欠陥部分があることを示唆していること
になる。従って、輝度が高い部分が存在するか否かで欠
陥部分があるか否かを判断することはできる。

【００４１】図３は実施形態における処理装置８の具体
的なブロック構成を示している。図示において、１００
は装置全体の制御を司るＣＰＵであり、１０１はブート
プログラム等の記憶しているＲＯＭである。１０２はＣ
ＰＵ１００がＯＳ（オペレーティングシステム）や後述
する解析処理を行うプログラムをロードし実行すると共
に、ＣＰＵ１００のワークエリアとして使用されるＲＡ
Ｍである。１０３はハードディスク等の外部記憶装置で
あり、ＯＳや解析プログラム等を記憶している。１０４
は先に説明したＣＣＤエリアセンサカメラ７からの映像
信号（輝度信号）を、本装置とり込むためのインターフ
ェースであり、映像信号のアナログ信号をデジタル信号
（例えば１画素８ビット）に変換するためのＡ／Ｄ変換
器を内蔵している。１０５は表示装置１０６に表示する
ためのビットマップイメージを展開するためのＶＲＡＭ
である。１０７は各種指示を与えるためのキーボードで
ある。１０８はＣＰＵ１００の制御下で、被検査対象の
感光ドラム４の回転及びその回転軸に沿っての移動を行
うモータ（図示せず）を駆動するモータドライバであ
る。

【００４２】上記構成において、装置に電源が投入され
ると、ＯＳ及び検査のためのプログラムが外部記憶装置
１０３からＲＡＭ１０２にロードされ、操作者からの指
示を待つことになる。

【００４３】この検査プログラムは、例えば図５に示す
フローチャートに従うものである。以下、同フローチャ
ートに従って動作を説明する。

【００４４】先ず、ステップＳ１において、操作者によ
るキーボード１０７からの入力を判別する。入力される
キー操作の種類は様々なものがあるものの、ここでは被
検査物である感光ドラム４の回転／移動のドラム制御操
作と、撮影映像の取り込み指示の２つについて説明す
る。

【００４５】感光ドラム４のドラム制御に係る操作であ
ると判断した場合には、ステップＳ２に進み、指示され
た内容に応じて感光ドラムを回転或いは移動を行う。

【００４６】一方、映像読み取り指示であると判断した
場合には、ステップＳ３でインターフェース１０４を介
して輝度のデジタルデータを受信する。受信したデータ
は、例えば１画素につき８ビット（２５６階調）であ
る。

【００４７】ここで、受信した輝度信号をそのままＶＲ
ＡＭに表示させても構わないが、微妙な輝度相違はわか
りにくい。そこで、実施形態では、ステップＳ４におい
て、受信した輝度値の高低に応じて異なる色を割当てる
ように変換する。例えば、輝度の低い部分については赤
にし、正常範囲については青、高い輝度に対しては緑等
である。勿論、３段階ではなく、多段階にわけ実質的に
連続して変化する色を割当てても構わない。

【００４８】こうして、ステップＳ４で色変換が行われ
ると、それをＶＲＡＭ１０５に転送し、表示される。

【００４９】図４は、表示装置１０６に表示された像の
一例を示している。図示において、２０１は、感光ドラ
ムの表面の長手方向における表面の中心線である。ま
た、２０３或いは２０４は赤色部分、すなわち、半透明
スクリーンに投影された像の低輝度部分を示している。

【００５０】以上のようにして、操作者は表示装置に映
し出された映像を見ながら、欠陥部分があるか否かを判
定することが可能になる。

【００５１】尚、感光ドラム４の表面が仮に正常であっ
ても、その感光ドラムの外径に対して検査光束の面積が
大きいほど、図４における中心線２０１近傍部分とそこ
から外れる縁部分とを比較すると、後者の縁部分の輝度
は低くなる。理由は、縁部分（特に扇状の幅の広い弧の
端部分）では、もともと拡散しているからである。

【００５２】従って、感光ドラム４に照射する検査光束
の面積を相対的に小さくするか、検査対象を中心線２０
１近傍すれば良いが、これでは検査する回数を増やすこ
とが必要になる。従って、実際には、比較判断基準とな
る閾値も位置に応じて適宜調整するか、入力したデジタ
ル輝度データそのものを補正することが必要である。実
施形態では、予め検査する領域毎に閾値を用意してお
き、この閾値を用いて上記誤差の発生を抑えた。

【００５３】また、上記実施形態では、手動操作でもっ
て感光ドラムの回転及び移動を行ったが、これを全自動
化することも勿論可能である。すなわち、感光ドラムの
外径及び長さを入力すれば、あとはＣＰＵ１００が適宜
ドラムの回転及び移動を制御し、その都度映像を取り込
め良い。

【００５４】また、検査の判断を自動化するためには、
不良部分（例えば低輝度部分）に対応する画素数を計数
し、その計数値が所定以上存在するか否かで判断すれば
良い。また、不良部分の位置を判断基準にしても良い。
すなわち、ドラムの端部分と中央部分とを比較した場
合、中央部分に対して大きい重み付けを行って判断す
る。

【００５５】＜第２の実施形態＞上記実施形態（第１の
実施形態）では、半透明スクリーン６に投影された感光
体ドラム表面の正反射光像を撮像するためのＣＣＤエリ
アセンサカメラ７を用いたが、ラインセンサカメラにす
ることも可能である。この際、ラインセンサは図４にお
ける中心線２０１に対する撮影を行うようにする。

【００５６】この結果、感光ドラムの回転及び移動を行
うことで撮影された映像において、感光ドラムが円筒形
をなしていることを実質的に考慮しなくて済み、例えば
図６に示すような１枚のドラム表面を展開した映像を表
示させることが可能になろう。

【００５７】また、この場合にも図示の３０１、３０２
の如く、欠陥部分を他の色と異なるようにして表示する
ことが望まれる。

【００５８】＜他の実施形態＞上述したように、第１、
第２の実施形態における処理装置８は、プログラムに従
って特別な機能を果たすわけであるから、前述した実施
形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコード
を記録した記憶媒体を、システムあるいは装置に供給
し、そのシステムあるいは装置のコンピュータ（または
ＣＰＵやＭＰＵ）が記憶媒体に格納されたプログラムコ
ードを読出し実行することによっても、達成されること
は言うまでもない。

【００５９】この場合、記憶媒体から読出されたプログ
ラムコード自体が前述した実施形態の機能を実現するこ
とになり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体は
本発明を構成することになる。

【００６０】プログラムコードを供給するための記憶媒
体としては、例えば、フロッピディスク，ハードディス
ク，光ディスク，光磁気ディスク，ＣＤ−ＲＯＭ，ＣＤ
−Ｒ，磁気テープ，不揮発性のメモリカード，ＲＯＭな
どを用いることができる。

【００６１】また、コンピュータが読出したプログラム
コードを実行することにより、前述した実施形態の機能
が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示
に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレ
ーティングシステム）などが実際の処理の一部または全
部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が
実現される場合も含まれることは言うまでもない。

【００６２】さらに、記憶媒体から読出されたプログラ
ムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボード
やコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わる
メモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示に
基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わ
るＣＰＵなどが実際の処理の一部または全部を行い、そ
の処理によって前述した実施形態の機能が実現される場
合も含まれることは言うまでもない。

【００６３】以上説明したように本実施形態によれば、
平行光束を表面に照射し、その表面での正反射光の光強
度分布像を拡大光学系により拡大した投影像にし、その
投影像を撮像することから表面形状変化による光強度分
布の差が明確になり、また、検出の面積分解能が上がっ
て小さな形状変化欠陥も検出することができる。

【００６４】また、検査照射光束の入射角を９０度に近
い鋭角にすることで、照射光束面積よりもドラム表面に
て、広い表面を照射することができる。これにより、検
査視野が広くなり全面検査に要する時間が短くなる。ま
た、形状変化表面と正常表面との反射角の差が大きくな
り、正反射光強度分布の差として明確になり、変化量の
小さな形状変化も光強度分との差として得ることができ
る。

【００６５】更に、正反射光軸に平凸型シリンドリカル
レンズを設け、表面からの正反射光像を平凸型シリンド
リカルレンズを通して、半透明スクリーンに投影するこ
とで前記感光体ドラムの中心軸方向の正反射光像を拡大
投影することができ、変化量の小さな形状変化も光強度
分布の差として得ることができる。また、ドラム周方向
の照射位置によって定められる正反射光の反射角、及び
これによるドラム周方向の正反射光像の拡大と拡大光学
系による中心軸方向の倍率比が選定でき、撮像カメラの
撮像素子の縦横比に合わせて半透明スクリーンに正反射
光像を撮影することができる。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、簡
単な構成にしながらも、被検査物の移動等による影響を
少なくして表面の形状を高精度に検査することが可能に
なる。

【００６７】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による感光ドラムの表面形状欠陥検査方
法、及びその装置の実施形態を説明する構成図である。

【図２】実施形態における被検査物表面の形状変化によ
る正反射光強度分布差を説明する図である。

【図３】実施形態における処理装置のブロック構成図で
ある。

【図４】第１の実施形態における処理装置で表示される
表面状態の一例を示す図である。

【図５】第１の実施形態における処理装置の動作手順を
示すフローチャートである。

【図６】第２の実施形態における処理装置で表示される
表面状態の一例を示す図である。

【符号の説明】

１ 光源 ２ ビームエキスパンダー ３ マスク位置 ３ａ 検査照射光束 ４ 被検査物である感光体ドラム ５ 平凸型シリンドリカルレンズ ６ 半透明スクリーン ７ 撮像カメラ ８ 処理装置

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査物の表面形状を検査する表面形状
   検査装置であって、 被検査物の表面に、所定面積を有すると共に実質的に均
   等な強度を有する光を照射する照射手段と、 該照射手段による照射の正反射光軸上にあって、反射光
   を結像して所定のスクリーンに投影させる投影手段と、 該投影手段で投影された像を撮像する撮像手段とを備
   え、 前記撮像手段で撮像された映像に基づいて、前記被検査
   物の表面状態を検査することを特徴とする表面形状検査
   装置。
2. 【請求項２】 前記被検査物は感光ドラムであることを
   特徴とする請求項第１項に記載の表面形状検査装置。
3. 【請求項３】 前記投影手段には、反射光の拡散方向に
   ついて収束させるための平凸型シリンドリカルレンズを
   有することを特徴とする請求項第２項に記載の表面形状
   検査装置。
4. 【請求項４】 前記照射手段は、前記感光ドラムの回転
   軸に対して直角な方向から所定角度傾いた方向から光を
   照射することを特徴とする請求項第２項に記載の表面形
   状検査装置。
5. 【請求項５】 前記所定角度は、前記感光ドラムの回転
   軸に対して鋭角になっていることを特徴とする請求項第
   ４項に記載の表面形状検査装置。
6. 【請求項６】 前記スクリーンは、半透明スクリーンで
   あって、前記撮像手段は投影されたスクリーンの背面か
   ら撮像することを特徴とする請求項第１項乃至第５項に
   記載の表面検査装置。
7. 【請求項７】 更に、撮像された映像信号を入力し、入
   力した輝度信号に応じた色変換処理を行って表示する表
   示手段を備えることを特徴とする請求項第１項乃至第６
   項に記載の表面検査装置。