JPH09310896A - ファンフィルターユニット - Google Patents
ファンフィルターユニットInfo
- Publication number
- JPH09310896A JPH09310896A JP8126774A JP12677496A JPH09310896A JP H09310896 A JPH09310896 A JP H09310896A JP 8126774 A JP8126774 A JP 8126774A JP 12677496 A JP12677496 A JP 12677496A JP H09310896 A JPH09310896 A JP H09310896A
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- Japan
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- fan
- filter unit
- chamber
- filter
- casing
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルター吹き出し面からの風速分布を均一
化し、発生騒音の抑制をするファンフィルターユニット
を提供することを目的とする。 【解決手段】 空気を清浄化するフィルター７と、この
フィルター７に空気を供給するチャンバー１と、このチ
ャンバー１の中には送風用のファン２と、このファン２
の駆動用のモーター３と、送風用の二方向吹き出し口を
有するケーシング４と、このケーシング４の下流側の中
央近傍に開口部を持つ遮蔽板５と、この遮蔽板５の開口
部の下流側でパンチングメタル材の拡散板６を備えた構
成とすることにより、ファンモーターからの発生騒音を
抑制でき、フィルターからの吹き出し風速分布の均一化
ができるファンフィルターユニットを提供できる。
化し、発生騒音の抑制をするファンフィルターユニット
を提供することを目的とする。 【解決手段】 空気を清浄化するフィルター７と、この
フィルター７に空気を供給するチャンバー１と、このチ
ャンバー１の中には送風用のファン２と、このファン２
の駆動用のモーター３と、送風用の二方向吹き出し口を
有するケーシング４と、このケーシング４の下流側の中
央近傍に開口部を持つ遮蔽板５と、この遮蔽板５の開口
部の下流側でパンチングメタル材の拡散板６を備えた構
成とすることにより、ファンモーターからの発生騒音を
抑制でき、フィルターからの吹き出し風速分布の均一化
ができるファンフィルターユニットを提供できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場、食品
工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用
されるファンフィルターユニットに関する。
工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用
されるファンフィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、この種のファンフィルターユニッ
トは、フィルター吹き出し面の風速分布の均一化および
その発生騒音の抑制が求められている。
トは、フィルター吹き出し面の風速分布の均一化および
その発生騒音の抑制が求められている。
【０００３】従来、この種のファンフィルターユニット
は、図６に示すような構造が一般的であった。以下、そ
の構成について図６を参照しながら説明する。
は、図６に示すような構造が一般的であった。以下、そ
の構成について図６を参照しながら説明する。
【０００４】従来のファンフィルターユニットは、チャ
ンバー１０１に空気を送り込むためのファン１０２とモ
ーター１０３、ファン１０２とモーター１０３を覆うケ
ーシング１０４が配置されており、空気を清浄化するフ
ィルター１０５で構成されている。
ンバー１０１に空気を送り込むためのファン１０２とモ
ーター１０３、ファン１０２とモーター１０３を覆うケ
ーシング１０４が配置されており、空気を清浄化するフ
ィルター１０５で構成されている。
【０００５】そして、ファン１０２とモーター１０３よ
り送り込まれた空気が、フィルター１０５を通過して清
浄空気となって吹き出されていた。
り送り込まれた空気が、フィルター１０５を通過して清
浄空気となって吹き出されていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のファ
ンフィルターユニットでは、ファンから吹き出した空気
がフィルターに対して不均一に拡散し、フィルターから
吹き出す空気の風速が速い部分と遅い部分の差が大きく
なり、その風速分布がばらつくという課題があった。
ンフィルターユニットでは、ファンから吹き出した空気
がフィルターに対して不均一に拡散し、フィルターから
吹き出す空気の風速が速い部分と遅い部分の差が大きく
なり、その風速分布がばらつくという課題があった。
【０００７】また、ファンによる発生騒音を遮断、吸音
する手段がなく、このファンフィルターユニットの発生
騒音が大きいという課題があった。
する手段がなく、このファンフィルターユニットの発生
騒音が大きいという課題があった。
【０００８】これらの改善策として、特開平６−１５９
７５２号公報による提案もあったが、チャンバー内部全
体に消音材を貼りめぐらすなど、コストの面では必ずし
も有利とはいえないものであった。
７５２号公報による提案もあったが、チャンバー内部全
体に消音材を貼りめぐらすなど、コストの面では必ずし
も有利とはいえないものであった。
【０００９】本発明は、上記課題を解決するもので、開
口部を有する遮蔽板と、穴の開いたパンチングメタル材
の拡散板を設けることによって、フィルターより吹き出
す風速の分布を均一化でき、ファンモーターからの発生
騒音の伝播も抑制するファンフィルターユニットを提供
することを第１の目的としている。
口部を有する遮蔽板と、穴の開いたパンチングメタル材
の拡散板を設けることによって、フィルターより吹き出
す風速の分布を均一化でき、ファンモーターからの発生
騒音の伝播も抑制するファンフィルターユニットを提供
することを第１の目的としている。
【００１０】第２の目的は、遮蔽板に多孔質の消音材を
配置するという比較的簡単な消音材の貼付構成で、発生
騒音の伝播をより一層抑制することにある。
配置するという比較的簡単な消音材の貼付構成で、発生
騒音の伝播をより一層抑制することにある。
【００１１】第３の目的は、チャンバーの天面の一辺と
ほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段を有する
ことにより人が乗ることができ、メンテナンス作業を容
易に行うことにある。
ほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段を有する
ことにより人が乗ることができ、メンテナンス作業を容
易に行うことにある。
【００１２】第４の目的は、端部に穴を有し取っ手を設
けた補強手段を使用することにより、クリーンルームで
の搬入、施工をスムーズに容易に行うことにある。
けた補強手段を使用することにより、クリーンルームで
の搬入、施工をスムーズに容易に行うことにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明のファンフィルタ
ーユニットは上記目的を達成するために、空気を清浄化
するフィルターと、前記フィルターに隣接し空気を供給
するチャンバーと、前記チャンバーの天面に吸い込み用
の穴を備え、前記チャンバーの中には送風用のファン
と、前記ファンの駆動用のモーターと、送風用の二方向
吹き出し口を有するケーシングと、前記ケーシングの下
流側の中央近傍に開口部を持つ遮蔽板と、前記遮蔽板の
開口部の下流側にパンチングメタル材の拡散板を備えた
構成としたものである。
ーユニットは上記目的を達成するために、空気を清浄化
するフィルターと、前記フィルターに隣接し空気を供給
するチャンバーと、前記チャンバーの天面に吸い込み用
の穴を備え、前記チャンバーの中には送風用のファン
と、前記ファンの駆動用のモーターと、送風用の二方向
吹き出し口を有するケーシングと、前記ケーシングの下
流側の中央近傍に開口部を持つ遮蔽板と、前記遮蔽板の
開口部の下流側にパンチングメタル材の拡散板を備えた
構成としたものである。
【００１４】本発明によれば、ファンモーターからの発
生騒音を遮断、吸音する遮蔽板を配置したので、ファン
モーターからの発生騒音を抑制でき、また拡散板を配置
したので、フィルターからの吹き出し風速分布の均一化
ができるファンフィルターユニットを提供できる。
生騒音を遮断、吸音する遮蔽板を配置したので、ファン
モーターからの発生騒音を抑制でき、また拡散板を配置
したので、フィルターからの吹き出し風速分布の均一化
ができるファンフィルターユニットを提供できる。
【００１５】また、他の手段は遮蔽板に多孔質の消音材
を備えた構成としたものである。そして本発明によれ
ば、遮蔽板に多孔質の消音材を配置するという比較的簡
単な消音材の貼付構成で、発生騒音の伝播をより一層抑
制することができる。
を備えた構成としたものである。そして本発明によれ
ば、遮蔽板に多孔質の消音材を配置するという比較的簡
単な消音材の貼付構成で、発生騒音の伝播をより一層抑
制することができる。
【００１６】また、他の手段はチャンバーの天面の一辺
とほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段を有し
た構成としたものである。
とほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段を有し
た構成としたものである。
【００１７】そして本発明によれば、チャンバーの天面
の一辺とほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段
を有することにより、人が乗ることができ、メンテナン
ス作業を容易に行うことができる。
の一辺とほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段
を有することにより、人が乗ることができ、メンテナン
ス作業を容易に行うことができる。
【００１８】また、他の手段は端部に穴を有し、取っ手
を設けた補強手段を有した構成としたものである。
を設けた補強手段を有した構成としたものである。
【００１９】そして本発明によれば、端部に穴を有し取
っ手を設けた補強手段を使用することにより、クリーン
ルームでの搬入、施工をスムーズに容易に行うことがで
きる。
っ手を設けた補強手段を使用することにより、クリーン
ルームでの搬入、施工をスムーズに容易に行うことがで
きる。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明は空気を清浄化するフィル
ターと、前記フィルターに隣接し空気を供給するチャン
バーと、前記チャンバーの天面に吸い込み用の穴を備
え、前記チャンバーの中には送風用のファンと、前記フ
ァンの駆動用のモーターと、送風用の二方向吹き出し口
を有するケーシングと、前記ケーシングの下流側の中央
近傍に開口部を持つ遮蔽板と、前記遮蔽板の開口部の下
流側でパンチングメタル材の拡散板を備えたものであ
り、開口部を有する遮蔽板と、穴の開いたパンチングメ
タル材の拡散板を設けることによって、フィルターより
吹き出す風速の分布を均一化でき、ファンモーターから
の発生騒音の伝播も抑制することができる。
ターと、前記フィルターに隣接し空気を供給するチャン
バーと、前記チャンバーの天面に吸い込み用の穴を備
え、前記チャンバーの中には送風用のファンと、前記フ
ァンの駆動用のモーターと、送風用の二方向吹き出し口
を有するケーシングと、前記ケーシングの下流側の中央
近傍に開口部を持つ遮蔽板と、前記遮蔽板の開口部の下
流側でパンチングメタル材の拡散板を備えたものであ
り、開口部を有する遮蔽板と、穴の開いたパンチングメ
タル材の拡散板を設けることによって、フィルターより
吹き出す風速の分布を均一化でき、ファンモーターから
の発生騒音の伝播も抑制することができる。
【００２１】また、遮蔽板に多孔質の消音材を備えたも
のであり、遮蔽板に多孔質の消音材を配置するという比
較的簡単な消音材の貼付構成で、発生騒音の伝播をより
一層抑制することができる。
のであり、遮蔽板に多孔質の消音材を配置するという比
較的簡単な消音材の貼付構成で、発生騒音の伝播をより
一層抑制することができる。
【００２２】また、チャンバーの天面の一辺とほぼ等長
であって断面が略コの字状の補強手段を有したものであ
り、略コの字状の補強手段を有することにより、人が乗
るための足場としての使用ができ、クリーンルームでの
メンテナンス作業を容易に行うことができる。
であって断面が略コの字状の補強手段を有したものであ
り、略コの字状の補強手段を有することにより、人が乗
るための足場としての使用ができ、クリーンルームでの
メンテナンス作業を容易に行うことができる。
【００２３】また、端部に穴を有し、取っ手を設けた補
強手段を有したものであり、端部に穴を有し取っ手を設
けた補強手段を使用することにより、クリーンルームで
の搬入、施工をスムーズに容易に行うことができる。
強手段を有したものであり、端部に穴を有し取っ手を設
けた補強手段を使用することにより、クリーンルームで
の搬入、施工をスムーズに容易に行うことができる。
【００２４】以下、本発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００２５】
（実施例１）図１に示すように、ファンフィルターユニ
ットのチャンバー１には、送風用のファン２と、ファン
２の駆動用のモーター３と、二方向吹き出し口を有する
ケーシング４と、ケーシング４の下流側約５０〜１００
mmの位置にチャンバー１の水平面断面積の約５０〜７５
％を覆い中央近傍に開口部を有する遮蔽板５と、遮蔽板
５の開口部の下流側約５０〜１００mmの位置にパンチン
グメタル材の拡散板６を備えている。また、フィルター
７はチャンバー１の下部に設置されている。
ットのチャンバー１には、送風用のファン２と、ファン
２の駆動用のモーター３と、二方向吹き出し口を有する
ケーシング４と、ケーシング４の下流側約５０〜１００
mmの位置にチャンバー１の水平面断面積の約５０〜７５
％を覆い中央近傍に開口部を有する遮蔽板５と、遮蔽板
５の開口部の下流側約５０〜１００mmの位置にパンチン
グメタル材の拡散板６を備えている。また、フィルター
７はチャンバー１の下部に設置されている。
【００２６】上記構成において、ファン２とモーター３
とケーシング４からの発生騒音は遮蔽板５により遮音、
吸音するので全体の発生騒音を抑制することができる。
また、遮蔽板５と拡散板６により、ファン２から送られ
る空気をフィルター７に対して均一に吹き込み、フィル
ター７の吹き出し面からの風速分布を均一にすることが
できる。
とケーシング４からの発生騒音は遮蔽板５により遮音、
吸音するので全体の発生騒音を抑制することができる。
また、遮蔽板５と拡散板６により、ファン２から送られ
る空気をフィルター７に対して均一に吹き込み、フィル
ター７の吹き出し面からの風速分布を均一にすることが
できる。
【００２７】（実施例２）図２に示すように、遮蔽板５
の上流側表面に多孔質の消音材８を配置している。
の上流側表面に多孔質の消音材８を配置している。
【００２８】上記構成において、ファン２とモーター３
とケーシング４からの発生騒音は遮蔽板５の上流側表面
に多孔質の消音材８を配置するのみで遮音、吸音するの
で全体の発生騒音をより一層抑制することができる。
とケーシング４からの発生騒音は遮蔽板５の上流側表面
に多孔質の消音材８を配置するのみで遮音、吸音するの
で全体の発生騒音をより一層抑制することができる。
【００２９】（実施例３）図３に示すように、チャンバ
ー１の天面の一辺とほぼ等長であって断面が略コの字状
の補強手段９を配置している。
ー１の天面の一辺とほぼ等長であって断面が略コの字状
の補強手段９を配置している。
【００３０】上記構成において、補強手段９の上に人が
乗ることができるので、図４に示すようにファンフィル
ターユニットが多数設置されている場合に、容易にメン
テナンス作業を行うことができる。
乗ることができるので、図４に示すようにファンフィル
ターユニットが多数設置されている場合に、容易にメン
テナンス作業を行うことができる。
【００３１】（実施例４）図５に示すように、補強手段
９Ａの両端部に穴をあけ、取っ手１０を配置する。
９Ａの両端部に穴をあけ、取っ手１０を配置する。
【００３２】上記構成において、チャンバーを持ち上げ
搬送することが容易にできるので、クリーンルームでの
搬入、施工をスムーズに容易に行うことができる。
搬送することが容易にできるので、クリーンルームでの
搬入、施工をスムーズに容易に行うことができる。
【００３３】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように、本発
明によればファンモーターからの発生騒音を遮断、吸音
する遮蔽板を配置したので、ファンモーターからの発生
騒音を抑制でき、また、拡散板を配置したので、フィル
ターからの吹き出し風速分布の均一化ができるファンフ
ィルターユニットを提供できる。
明によればファンモーターからの発生騒音を遮断、吸音
する遮蔽板を配置したので、ファンモーターからの発生
騒音を抑制でき、また、拡散板を配置したので、フィル
ターからの吹き出し風速分布の均一化ができるファンフ
ィルターユニットを提供できる。
【００３４】また本発明によれば、遮蔽板に多孔質の消
音材を配置するという比較的簡単な消音材の貼付構成
で、発生騒音の伝播をより一層抑制することができるフ
ァンフィルターユニットを提供できる。
音材を配置するという比較的簡単な消音材の貼付構成
で、発生騒音の伝播をより一層抑制することができるフ
ァンフィルターユニットを提供できる。
【００３５】また本発明によれば、チャンバーの天面の
一辺とほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段を
有することにより、人が乗ることができ、メンテナンス
作業を容易に行うことができるファンフィルターユニッ
トを提供できる。
一辺とほぼ等長であって断面が略コの字状の補強手段を
有することにより、人が乗ることができ、メンテナンス
作業を容易に行うことができるファンフィルターユニッ
トを提供できる。
【００３６】また、取っ手を備えた補強手段を配置した
ので、人による搬入、施工をスムーズに容易に行え、ク
リーンルームでの設置後もメンテナンス作業を容易に行
うことができるファンフィルターユニットを提供でき
る。
ので、人による搬入、施工をスムーズに容易に行え、ク
リーンルームでの設置後もメンテナンス作業を容易に行
うことができるファンフィルターユニットを提供でき
る。
【図１】本発明の実施例１のファンフィルターユニット
の構成を示す断面図
の構成を示す断面図
【図２】本発明の実施例２のファンフィルターユニット
の構成を示す断面図
の構成を示す断面図
【図３】本発明の実施例３のファンフィルターユニット
の外観を示す斜視図
の外観を示す斜視図
【図４】同一般的なファンフィルターユニットの施工状
態を示す配置図
態を示す配置図
【図５】本発明の実施例４のファンフィルターユニット
の補強手段の構成を示す斜視図
の補強手段の構成を示す斜視図
【図６】従来のファンフィルターユニットの構成を示す
断面図
断面図
１ チャンバー ２ ファン ３ モーター ４ ケーシング ５ 遮蔽板 ６ 拡散板 ７ フィルター ８ 消音材 ９ 補強手段 ９Ａ 補強手段 １０ 取っ手
Claims (4)
- 【請求項１】 空気を清浄化するフィルターと、前記フ
ィルターに隣接し空気を供給するチャンバーと、前記チ
ャンバーの中には送風用のファンと、前記ファンの駆動
用のモーターと、送風用の二方向吹き出し口を有するケ
ーシングと、前記ケーシングの下流側の中央近傍に開口
部を持つ遮蔽板と、前記遮蔽板の開口部の下流側でパン
チングメタル材の拡散板を備えたファンフィルターユニ
ット。 - 【請求項２】 遮蔽板に多孔質の消音材を備えた請求項
１記載のファンフィルターユニット。 - 【請求項３】 チャンバーの天面の一辺とほぼ等長であ
って断面が略コの字状の補強手段を有した請求項１また
は請求項２記載のファンフィルターユニット。 - 【請求項４】 端部に穴を有し、取っ手を設けた補強手
段を有した請求項３記載のファンフィルターユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8126774A JPH09310896A (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | ファンフィルターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8126774A JPH09310896A (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | ファンフィルターユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09310896A true JPH09310896A (ja) | 1997-12-02 |
Family
ID=14943607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8126774A Pending JPH09310896A (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | ファンフィルターユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09310896A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485000B1 (ko) * | 2005-01-08 | 2005-04-25 | 수공아이엔씨(주) | 청정실 천정 설치용 공조관 연결형 송풍 장치 |
| JP2006112755A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Shimizu Corp | 局所清浄化空調システム |
| WO2006078102A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-27 | Su Gong Industrial Co., Ltd. | Air duct connection type wind-control device mounted on the roof of clean room |
| JP2006292255A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
| JP2008121992A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
| JP2009192139A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Panasonic Corp | ファンフィルターユニットの吹出し面温度分布改善 |
| JP2010223532A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Panasonic Corp | ファンフィルターユニット |
| CN106403497A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-02-15 | 南京妙策传媒有限公司 | 基于紧凑结构的撬装式液化装置 |
-
1996
- 1996-05-22 JP JP8126774A patent/JPH09310896A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006112755A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Shimizu Corp | 局所清浄化空調システム |
| KR100485000B1 (ko) * | 2005-01-08 | 2005-04-25 | 수공아이엔씨(주) | 청정실 천정 설치용 공조관 연결형 송풍 장치 |
| WO2006078102A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-27 | Su Gong Industrial Co., Ltd. | Air duct connection type wind-control device mounted on the roof of clean room |
| JP2006292255A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
| JP2008121992A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
| JP2009192139A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Panasonic Corp | ファンフィルターユニットの吹出し面温度分布改善 |
| JP2010223532A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Panasonic Corp | ファンフィルターユニット |
| CN106403497A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-02-15 | 南京妙策传媒有限公司 | 基于紧凑结构的撬装式液化装置 |
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