JPH09311062A - 流量センサ駆動回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ２つの発熱抵抗体と２つ又は１つの測温抵抗
体とを備えた流量センサに関して、経時的に不安定にな
りやすいブリッジ回路を用いずに、長期にわたって安定
駆動させる。 【解決手段】 各発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbに抵抗値既知の
発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1a，Ｒ_1bを直列接続し、ＣＰ
Ｕ３１、Ｄ／Ａ変換器２９ａ，２９ｂ及び電流源３０
ａ，３０ｂを介して制御された電流を各測温抵抗体
Ｒ_Sa，Ｒ_Sbに流し、測温抵抗体Ｒ_Sa，Ｒ_Sbの電圧を基準
入力として電圧源３３ａ，３３ｂにより各直列回路を駆
動し、アナログスイッチ３６ａ，３６ｂ，４１の切り換
えに伴いＡ／Ｄ変換器３５を介して抵抗器Ｒ_1a，Ｒ_1bの
両端電圧を測定することで発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbに流れ
る電流値を取得する一方発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbの電圧を
測定することで、発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbの発熱駆動時で
あっても発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbの抵抗値を測定できるよ
うに構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、都市ガスやＬＰＧ
の流量測定や、自動車の内燃機関に吸入される空気量測
定などに適用可能で、ともに抵抗温度係数が大きくて流
路中に配設される２つの発熱抵抗体と２つ又は１つの測
温抵抗体とを備えた流量センサを用いる流量測定装置に
おける流量センサ駆動回路に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、流量測定装置としては、発熱抵抗
体と測温抵抗体とを実装した流量センサを流路中に配設
し、発熱抵抗体と測温抵抗体とが常に一定の温度差を持
つように発熱抵抗体を発熱させながらこの発熱抵抗体の
電圧を測定することにより流量を測定するようにしたも
のがある。この場合の流量センサ駆動回路としては、例
えば、特公平５−３１２６１６号公報等に示されるよう
に発熱抵抗体と測温抵抗体とを用いてホイートストーン
ブリッジ回路を組み、発熱抵抗体の電圧によって流量を
測定する方式や、例えば、特公平７−１８７２７号公報
中に示されるように、発熱抵抗体と測温抵抗体（リファ
レンス抵抗）とを用いるが、ブリッジ回路を構成せずに
流量を測定するように回路構成した方式がある。

【０００３】ところが、１つの発熱抵抗体だけを備えた
流量センサを用いた構成による場合、外乱の影響を受け
やすく、低流量時の感度が落ちて線形性が劣化する欠点
があるため、最近では、２つの発熱抵抗体を実装した流
量センサを用い、２つの発熱抵抗体の電圧差をとること
により測定するようにしたものが種々考えられている。

【０００４】例えば、図１０は流量センサ１の一例を示
し、シリコン等のセンサチップ２には流体の流れ方向と
なる対角線方向に堀３が形成され、中央部にはこの堀３
を跨ぐように（流れ方向に直交するように）２本の橋
４，５が熱的に絶縁されて形成され、これらの橋４，５
上には各々発熱抵抗体Ｒ_ha，Ｒ_hbがパターン形成されて
いる。さらに、発熱抵抗体Ｒ_haよりも上流側のセンサチ
ップ２上にはこの発熱抵抗体Ｒ_haと対をなす測温抵抗体
Ｒ_saがパターン形成され、発熱抵抗体Ｒ_hbよりも下流側
のセンサチップ２上にはこの発熱抵抗体Ｒ_hbと対をなす
測温抵抗体Ｒ_sbがパターン形成されている。これらの抵
抗体Ｒ_ha，Ｒ_hb，Ｒ_sa，Ｒ_sbは何れも抵抗温度係数の高
い材料によりパターン形成され、流体の流れ中に十分に
晒されるように形成されている。

【０００５】このような２つの発熱抵抗体Ｒ_ha，Ｒ_hbを
用いた流量センサ１に対する駆動回路としても、前述し
た特公平５−３１２６１６号公報等の場合に準じて、２
つの発熱抵抗体と２つの測温抵抗体とに関して、対をな
す発熱抵抗体と測温抵抗体とで各々ホイートストンブリ
ッジ回路を組んで、各々の発熱抵抗体を駆動して発熱抵
抗体間の電圧差をとるようにしたものがある。これら
は、例えば、特公昭５９−２１４８５号公報や特公平６
−２４９６９２号公報等に示されている。

【０００６】このようなブリッジ回路を用いた流量セン
サ１に対する流量センサ駆動回路の典型例を図１１を参
照して説明する。この図１１に示す回路は、特公昭５９
−２１４８５号公報や特公平６−２４９６９２号公報に
示される回路とは異なるが、基本原理は同様である。ま
ず、対をなす発熱抵抗体Ｒ_ha、測温抵抗体Ｒ_saは、抵抗
値が固定的な基準抵抗器Ｒ_11a ，Ｒ_12a とともにホイー
トストーンブリッジ回路６ａを形成している。ここで
は、測温抵抗体Ｒ_saと基準抵抗器Ｒ_11a とが直列とさ
れ、発熱抵抗体Ｒ_haと基準抵抗器Ｒ_12a とが直列とされ
ている。また、基準抵抗器Ｒ_11a と測温抵抗体Ｒ_saとの
間には、発熱抵抗体Ｒ_haの加熱温度を決定するための基
準抵抗器Ｒ_13a が接続されている。この基準抵抗器Ｒ
_13a には短絡・開放制御されるスイッチ７ａが並列に接
続されている。また、基準抵抗器Ｒ_11a，Ｒ_12a 間には
これらの基準抵抗器Ｒ_11a ，Ｒ_12a とともに抵抗体
Ｒ_ha，Ｒ_saに流す電流のバランス微調整用の可変抵抗器
ＶＲ_a が接続されている。

【０００７】さらに、基準抵抗器Ｒ_11a ，Ｒ_13a の接続
点ａ₁ の電圧と、基準抵抗器Ｒ_12aと発熱抵抗体Ｒ_haと
の接続点ａ₂ の電圧とを比較する差動増幅器８ａが設け
られている。この差動増幅器８ａはゼロバランス出力を
出すもので、この差動増幅器８ａの出力は電力制御素
子、例えば、電力制御トランジスタ９ａのベース側に接
続されている。Ｒ_14a ，Ｒ_15a はバイアス抵抗である。
ここに、前記電力制御トランジスタ９ａのコレクタ・エ
ミッタ間は、電圧Ｖccなる直流電源１０と前記可変抵抗
器ＶＲ_a の可変摺動子との間に接続されている。前記電
力制御トランジスタ９ａのエミッタと前記可変抵抗器Ｖ
Ｒ_a の可変摺動子との間にはスイッチ１１ａが介在され
ている。このスイッチ１１ａの他端側と直流電源１０と
の間（即ち、前記電力制御トランジスタ９ａのコレクタ
・エミッタ間に並列に）には高抵抗の抵抗Ｒ_16a が接続
されている。

【０００８】また、発熱抵抗体Ｒ_haの両端間の各々の電
圧を入力とする差動増幅器１２ａも設けられている。

【０００９】対をなす発熱抵抗体Ｒ_hb、測温抵抗体Ｒ_sb
側に関しても、同様に形成されており、添字ｂを付して
示し、その説明を省略する。

【００１０】さらに、差動増幅器１２ａ，１２ｂの出力
を入力とする差動増幅器１３が設けられている。

【００１１】このような構成において、回路調整モード
時にはスイッチ１１ａ，１１ｂを図示状態から切り換え
て各々抵抗Ｒ_16a ，Ｒ_16b を選択する状態とし、かつ、
スイッチ７ａ，７ｂを閉じて各々基準抵抗器Ｒ_13a ，Ｒ
_13b の両端間を短絡した状態とする。これにより、直流
電源１０から抵抗値の高い抵抗Ｒ_16a ，Ｒ_16b を介して
発熱抵抗体Ｒ_ha，Ｒ_hb及び測温抵抗体Ｒ_sa，Ｒ_sbに微小
電流を流し、差動増幅器８ａ，８ｂに得られる出力が各
々ゼロバランスするように可変抵抗器ＶＲ_a ，ＶＲ_b 等
を調整する。

【００１２】ついで、実際の流量測定モード時には、ス
イッチ７ａ，７ｂ，１１ａ，１１ｂを各々図示の状態に
切り換える。即ち、基準抵抗器Ｒ_13a ，Ｒ_13b の短絡を
解除し、かつ、電力制御トランジスタ９ａ，９ｂが機能
するように切り換える。このとき、接続点ａ₁ ，ｂ₁ の
電圧は各々測温抵抗体Ｒ_sa，Ｒ_sbに基準抵抗器Ｒ_13a，
Ｒ１３_b による電圧分が加算されて高くなり、ブリッジ
回路６ａ，６ｂのゼロバランスが崩れるため、発熱抵抗
体Ｒ_ha，Ｒ_hbへの通電量が増してその発熱により抵抗値
が増加することで再びゼロバランスするように差動増幅
器８ａ，８ｂを介して電力制御トランジスタ９ａ，９ｂ
が制御される。即ち、基準抵抗器Ｒ_13a，Ｒ_13b が接続
されている分、発熱抵抗体Ｒ_ha，Ｒ_hbの温度が測温抵抗
体Ｒ_sa，Ｒ_sbの温度よりも一定温度だけ高くなるように
負帰還制御される（定温度加熱駆動）。

【００１３】流量の測定は、このような流量測定モード
における発熱抵抗体Ｒ_ha，Ｒ_hbの電圧降下を差動増幅器
１２ａ，１２ｂを通じて検出し、さらに、これらの差動
増幅器１２ａ，１２ｂ間の出力差を差動増幅器１３でと
ることにより行われる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、図１１に例
示したようなブリッジ回路６ａ，６ｂを組んで構成した
場合、回路中に正帰還を有するため、特に、測温抵抗体
Ｒ_sa，Ｒ_sb側の揺らぎが発熱抵抗体Ｒ_ha，Ｒ_hbの加熱時
間程度の時間で不安定さを持つため、流量を求めるのに
用いる発熱抵抗体電圧が揺らいでしまう。即ち、差動増
幅器８ａ，８ｂの反転端子に関しては電力制御トランジ
スタ９ａ，９ｂ等を介して負帰還がかかるため特に問題
ないが、差動増幅器８ａ，８ｂの非反転端子側に関して
は測温抵抗体Ｒ_sa，Ｒ_sbの温度上昇による僅かな変動が
正帰還となって帰還されるため、帰還系の時定数によっ
ては出力電圧が不安定になりやすい欠点がある。

【００１５】また、一般的に考えて、基準抵抗器
Ｒ_11a ，Ｒ_11b ，Ｒ_12a ，Ｒ_12b ，Ｒ_13a，Ｒ_13b 等の
抵抗値が安定であっても、発熱抵抗体Ｒ_ha，Ｒ_hbなどは
経時的にはその抵抗値が変化してしまい、結果として発
熱抵抗体Ｒ_ha，Ｒ_hbの加熱温度が変化するため、感度が
変化し、流量の測定に誤差を生ずる原因となる。観点を
代えると、図１１に示すように発熱抵抗体Ｒ_ha，Ｒ_hbや
測温抵抗体Ｒ_sa，Ｒ_sbに対して基準抵抗器Ｒ_11a ，Ｒ
_11b ，Ｒ_12a ，Ｒ_12b ，Ｒ_13a ，Ｒ_13b を用いてブリッ
ジ構成した場合には、これらの発熱抵抗体Ｒ_ha，Ｒ_hbや
測温抵抗体Ｒ_sa，Ｒ_sbの経時変化をデジタル信号解析に
よって調整しながら測定し続けるといった柔軟な対応を
採ることはできない。

【００１６】ちなみに、２つの発熱抵抗体が実装された
流量センサに関しても、例えば、特公平７−１８７２７
号公報等の記載に準じて、固定抵抗器とリファレンス抵
抗体（測温抵抗体に相当する）との直列回路で電源電圧
を分圧して差動増幅器に対する基準電圧を発生させ、発
熱抵抗体の電圧を差動増幅器に帰還させることで、ブリ
ッジ回路を用いない駆動回路構成とすることが可能であ
る。ところが、この構成において、定温度加熱駆動させ
たい場合には、発熱抵抗体の電圧だけでは発熱時に変化
した発熱抵抗体の抵抗値を知ることができないので、発
熱抵抗体の抵抗値を実測できるようにする必要がある
が、その対応策については言及されていない。さらに、
リファレンス抵抗体に直列に接続した固定抵抗器を用い
て基準電圧を発生させるようにしているが、回路の調節
のためには、必要に応じて、測温抵抗体（リファレンス
抵抗体）に流す電流を変化させたり、或いは、この電流
が一定でも差動増幅器へ入力する電圧を可変させたりし
たい場合もあるが、柔軟な対応が採れない。また、前者
の場合と同様に、発熱抵抗体や測温抵抗体の経時変化等
に対しても柔軟な対応が採れない。

【００１７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ともに抵抗温度係数が大きくて流路中に配設される２つ
の発熱抵抗体と各々対をなす２つの測温抵抗体とを備え
た流量センサを用いる流量センサ駆動回路において、前
記各発熱抵抗体と各々直列に接続されて抵抗値が固定的
で既知の２つの発熱体電流測定用抵抗器と、前記各発熱
抵抗体に対応して基準電圧を生成する２つの基準電圧生
成器と、各基準電圧生成器からの出力電圧が入力される
２つのＤ／Ａ変換器と、各Ｄ／Ａ変換器の出力電圧に応
じた電流で対応する前記測温抵抗体を通電駆動する２つ
の電流源と、前記各測温抵抗体に得られる電圧を基準入
力として対応する前記発熱体電流測定用抵抗器と前記発
熱抵抗体との直列回路を各々通電駆動する２つの電圧源
と、前記各発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧を測定し
てデジタル電圧値に変換するとともに、前記各発熱抵抗
体の電圧を測定してデジタル電圧値に変換するＡ／Ｄ変
換器と、前記各発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧の測
定と前記各発熱抵抗体の電圧の測定とを切り換えるアナ
ログスイッチと、前記Ａ／Ｄ変換器から出力されるデジ
タル電圧値を取り込むととともに、前記アナログスイッ
チの切り換え及び前記各Ｄ／Ａ変換器の動作を制御する
中央処理装置と、を備えている。

【００１８】従って、中央処理装置で制御されるＤ／Ａ
変換器は、基準電圧生成器が生成した基準電圧を入力と
して電流源を駆動することにより、この電流源が各々対
応する測温抵抗体に通電駆動する。各測温抵抗体に発生
した電圧を基準として各電圧源が各発熱抵抗体を駆動す
る。このとき、各々の発熱抵抗体には抵抗値が既知の発
熱体電流測定用抵抗器が直列に接続されているので、こ
の発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧をＡ／Ｄ変換器を
通じて測定することにより対応する発熱抵抗体に流れる
電流値を取得できる。また、アナログスイッチを切り換
えて対応する発熱抵抗体の電圧をＡ／Ｄ変換器を通じて
測定することにより、取得済みの電流値を用いて、駆動
時の各発熱抵抗体の実際の抵抗値、即ち、発熱温度を知
得することができる。従って、各発熱抵抗体に経時的な
変化があったような場合でも、リアルタイムで対応する
測温抵抗体を駆動している電流源出力を中央処理装置に
よるデジタル制御の下に対応するＤ／Ａ変換器によって
調整することが可能となり、長期の使用による発熱抵抗
体の変化に対応してデジタル制御を用いた総合的な補正
をかける、といった柔軟な制御を採れる。実際の流量
は、各発熱抵抗体の電圧測定に基づき得られるデジタル
電圧値を用いて、中央処理装置が、両電圧値間の差に基
づいて得ることができ、２つの発熱抵抗体を用いること
による低流量測定可能な特性を活かせる。

【００１９】請求項２記載の発明は、ともに抵抗温度係
数が大きくて流路中に配設される２つの発熱抵抗体と各
々対をなす２つの測温抵抗体とを備えた流量センサを用
いる流量センサ駆動回路において、前記各発熱抵抗体と
各々直列に接続されて抵抗値が固定的で既知の２つの発
熱体電流測定用抵抗器と、基準電圧を生成する基準電圧
生成器と、この基準電圧生成器からの出力電圧が入力さ
れる１つのＤ／Ａ変換器と、このＤ／Ａ変換器の出力側
に各々接続された２つのサンプルホールド回路と、各サ
ンプルホールド回路で保持された前記Ｄ／Ａ変換器の出
力電圧に応じた電流で対応する前記測温抵抗体を通電駆
動する２つの電流源と、前記各測温抵抗体に得られる電
圧を基準入力として対応する前記発熱体電流測定用抵抗
器と前記発熱抵抗体との直列回路を各々通電駆動する２
つの電圧源と、前記各発熱体電流測定用抵抗器の両端電
圧を測定してデジタル電圧値に変換するとともに、前記
各発熱抵抗体の電圧を測定してデジタル電圧値に変換す
るＡ／Ｄ変換器と、前記各発熱体電流測定用抵抗器の両
端電圧の測定と前記各発熱抵抗体の電圧の測定とを切り
換えるアナログスイッチと、前記Ａ／Ｄ変換器から出力
されるデジタル電圧値を取り込むととともに、前記アナ
ログスイッチの切り換え、前記各サンプルホールド回路
の動作及び前記Ｄ／Ａ変換器の動作を制御する中央処理
装置と、を備えている。

【００２０】従って、基本的には請求項１記載の発明と
同様であるが、特に消費電流が大きくなりやすいＤ／Ａ
変換器を１つだけにし、かつ、サンプルホールド回路を
利用しているので、このＤ／Ａ変換器は電圧出力をサン
プルホールド回路に送出している間だけ稼働させればよ
く、請求項１記載の発明の場合と同様に動作しながら、
消費電力を減らすことができる。

【００２１】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明におけるアナログスイッチが、Ａ／Ｄ変換器に
対して２つの直列回路を選択切り換えする第１のアナロ
グスイッチと、前記Ａ／Ｄ変換器に対して直列回路中の
発熱体電流測定用抵抗器と発熱抵抗体とを選択切り換え
する第２のアナログスイッチとを有し、この第２のアナ
ログスイッチと前記Ａ／Ｄ変換器との間にサンプルホー
ルド回路を備えている。従って、最小限のサンプルホー
ルド回路を用いて、請求項１又は２記載の発明の場合と
同様に動作させることができる。

【００２２】請求項４記載の発明は、ともに抵抗温度係
数が大きくて流路中に配設される２つの発熱抵抗体と１
つの測温抵抗体とを備えた流量センサを用いる流量セン
サ駆動回路において、前記各発熱抵抗体と各々直列に接
続されて抵抗値が固定的で既知の２つの発熱体電流測定
用抵抗器と、基準電圧を生成する１つの基準電圧生成器
と、基準電圧生成器からの出力電圧が入力される１つの
Ｄ／Ａ変換器と、このＤ／Ａ変換器の出力電圧に応じた
電流で前記測温抵抗体を通電駆動する１つの電流源と、
前記測温抵抗体に得られる電圧を入力として発熱抵抗体
毎に設けられた２つのサンプルホールド回路と、各サン
プルホールド回路で保持された電圧を基準入力として対
応する前記発熱体電流測定用抵抗器と前記発熱抵抗体と
の直列回路を各々通電駆動する２つの電圧源と、前記各
発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧を測定してデジタル
電圧値に変換するとともに、前記各発熱抵抗体の電圧を
測定してデジタル電圧値に変換するＡ／Ｄ変換器と、前
記各発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧の測定と前記各
発熱抵抗体の電圧の測定とを切り換えるアナログスイッ
チと、前記Ａ／Ｄ変換器から出力されるデジタル電圧値
を取り込むととともに、前記アナログスイッチの切り換
え、前記各Ｄ／Ａ変換器の動作及び前記サンプルホール
ド回路の動作を制御する中央処理装置と、を備えてい
る。

【００２３】従って、基本的には請求項１記載の発明と
同様であるが、２つの発熱抵抗体と１つの測温抵抗体と
を用いた流量センサにも同様に適用でき、特に消費電流
が大きくなりやすいＤ／Ａ変換器を１つだけにし、か
つ、サンプルホールド回路を利用しているので、このＤ
／Ａ変換器は電圧出力をサンプルホールド回路に送出し
ている間だけ稼働させればよく、請求項１記載の発明の
場合と同様に動作しながら、消費電力を減らすことがで
きる。

【００２４】

【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図１
ないし図５に基づいて説明する。まず、本実施の形態に
用いられる流量センサ２１は図２に示すようにセンサ基
板２２上の端部に一体で実装されて、流量の測定対象と
なる流路２３中に配設される。ここに、基本的に、流路
２３の断面積をＳ、流体の速度をＶとしたとき、かつ、
流路２３内の流速分布が少ないとき、流量センサ２１が
測定すべき流量Ｑは、Ｑ＝Ｖ×Ｓとなる。

【００２５】また、流量センサ２１の平面的な構造例を
図３に示す。流量センサ２１においては流体の流れの方
向に沿わせて堀２４が形成され、この堀２４を跨ぐよう
に（流れの方向に直交するように）第１の橋２５が形成
されている。この第１の橋２５上に抵抗温度係数の高い
材料により発熱抵抗体Ｒ_Haがパターン形成されている。
即ち、発熱抵抗体Ｒ_Haは堀２４内及び第１の橋２５上を
通って流れる流体の流れ中に十分に晒されるように形成
されている。また、第１の橋２５よりも下流側には補助
橋２６が形成され、前記堀２４上にてこれらの橋２５，
２６間に掛け渡した第２の橋２７が形成されている。即
ち、この第２の橋２７は第１の橋２５に直交する方向
（流れの方向）に形成されたもので、この第２の橋２７
上には抵抗温度係数の高い材料により発熱抵抗体Ｒ_Hbが
パターン形成されている。この発熱抵抗体Ｒ_Hbも堀２４
内及び第２の橋２７上を通って流れる流体の流れ中に十
分に晒されるように形成されている。さらに、流量セン
サ２１において、流体の流れの方向の最上流及び最下流
側に位置させて抵抗温度係数の高い材料により各々測温
抵抗体Ｒ_Sa，Ｒ_Sbがパターン形成されている。ここに、
測温抵抗体Ｒ_Saは発熱抵抗体Ｒ_Haと対をなし、測温抵抗
体Ｒ_Sbは発熱抵抗体Ｒ_Hbと対をなす。

【００２６】つづいて、このような２つの発熱抵抗体Ｒ
_Ha，Ｒ_Hbや２つの測温抵抗体Ｒ_Sa，Ｒ_Sbを含む流量セン
サ２１に対する駆動回路の構成例を図１を参照して説明
する。まず、発熱抵抗体Ｒ_Ha側について説明する。所定
の基準電圧を生成する基準電圧生成器として基準電圧素
子２８ａが設けられている。この基準電圧素子２８ａに
はＤ／Ａ変換器２９ａと電流源３０ａとが順に接続され
ている。前記Ｄ／Ａ変換器２９ａは中央処理装置である
ＣＰＵ３１にデータライン３２を介して接続されること
によりＤ／Ａ変換量が制御されるものである。前記電流
源３０ａは前記Ｄ／Ａ変換器２９ａから出力される出力
電圧の値に応じた電流で前記測温抵抗体Ｒ_Saを通電駆動
するものであり、この電流源３０ａの出力側には前記測
温抵抗体Ｒ_Saの一端が接続されている。さらに、この測
温抵抗体Ｒ_Saの一端に得られる電圧が基準入力なる基準
電圧として入力される電圧源３３ａが設けられている。
この電圧源３３ａは差動増幅器３４ａ等を主体とするも
ので、その出力側には前記発熱抵抗体Ｒ_Haが接続されて
いるが、この発熱抵抗体Ｒ_Haと電圧源３３ａとの間には
発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aが接続されている。即ち、
この発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aは発熱抵抗体Ｒ_Haに直
列に接続されたものであり、その抵抗値は固定的であっ
て、既知の値を有するものが用いられている。ここに、
詳細は後述するが、発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aと発熱
抵抗体Ｒ_Haとの接続点の電位は前記差動増幅器３４ａの
反転入力端子に負帰還接続されている。

【００２７】さらに、これらの発熱抵抗体Ｒ_Haや発熱体
電流測定用抵抗器Ｒ_1aに対しては電圧を測定してデジタ
ル電圧値に変換するＡ／Ｄ変換器３５がアナログスイッ
チ３６ａを介して設けられている。このアナログスイッ
チ３６ａは前記発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aの両端から
引き出された第１の端子Ｔ_1a，Ｔ_2aと、前記発熱抵抗体
Ｒ_Haの両端から引き出された第２の端子Ｔ_3a，Ｔ_4aとを
有して、前記ＣＰＵ３１による制御線３７を通した制御
により前記Ａ／Ｄ変換器３５に対する接続を第１の端子
Ｔ_1a，Ｔ_2aと第２の端子Ｔ_3a，Ｔ_4aとで切り換えるもの
である。ここに、端子Ｔ_3aは端子Ｔ_2aと同電位の端子で
あり、端子Ｔ_4aは接地されている。より詳細には、図４
に示すように、端子Ｔ_1a，Ｔ_3aに対する引出線上には前
記制御線３７を介して前記ＣＰＵ３１によりサンプル・
ホールド動作が制御されるサンプルホールド回路（Ｓ／
Ｈ）３８ａ，３９ａが介在されている。これらのサンプ
ルホールド回路３８ａ，３９ａには適切な低域フィルタ
（ＬＰＦ）が具備されている。

【００２８】前記Ｄ／Ａ変換器２９ａやこのＡ／Ｄ変換
器３５に接続された前記ＣＰＵ３１には、このＣＰＵ３
１の動作を規制するためのプログラムデータが予め格納
されたり、得られたデータを適宜格納するＲＯＭやＲＡ
Ｍにより構成されたメモリ４０が接続されている。

【００２９】他方の発熱抵抗体Ｒ_Hb側についても、発熱
抵抗体Ｒ_Ha側と同様に構成されており、添字ｂを付して
示し、その説明を省略する。ここに、発熱抵抗体Ｒ_Ha側
のアナログスイッチ３６ａと発熱抵抗体Ｒ_Hb側のアナロ
グスイッチ３６ｂと、１つのＡ／Ｄ変換器３５との間に
は、発熱抵抗体Ｒ_Ha側と発熱抵抗体Ｒ_Hbとを選択切り換
えするアナログスイッチ４１が介在されている。即ち、
このアナログスイッチ４１は発熱抵抗体Ｒ_Ha側を選択す
る端子Ｔａと発熱抵抗体Ｒ_Hb側を選択する端子Ｔｂとを
有する。

【００３０】このような構成において、作用について説
明する。ここでは、発熱抵抗体Ｒ_Ha側を中心に説明す
る。まず、ＣＰＵ３１により出力レベルが制御されるＤ
／Ａ変換器２９ａは、基準電圧素子２８ａの出力を基準
電圧入力として入力し、電流源３０ａを動作させる。こ
れにより、電流源３０ａは測温抵抗体Ｒ_Saを通電駆動
し、この測温抵抗体Ｒ_Saの一端に発生する電圧を基準電
圧として電圧源３３ａが発熱抵抗体Ｒ_Haを通電駆動す
る。ここに、発熱抵抗体Ｒ_Haには発熱体電流測定用抵抗
器Ｒ_1aが直列に接続されているので、発熱体電流測定用
抵抗器Ｒ_1aには発熱抵抗体Ｒ_Haと同量の電流が流れる。
よって、アナログスイッチ３６を第１の端子Ｔ₁ ，Ｔ₂
側に切り換えて（アナログスイッチ４１は端子Ｔａ
側）、Ａ／Ｄ変換器３５により発熱体電流測定用抵抗器
Ｒ_1aの両端電圧を測定し、対応するデジタル電圧値を得
れば、発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aの抵抗値は既知であ
るので、この発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aに流れる電流
値、従って、測温抵抗体Ｒ_Saに流れる電流値をＣＰＵ３
１が知得することができる。また、アナログスイッチ３
６を第２の端子Ｔ₃ ，Ｔ₄ 側に切り換えて（アナログス
イッチ４１は端子Ｔａ側のまま）、Ａ／Ｄ変換器３５に
より発熱抵抗体Ｒ_Haの電圧を測定し、対応するデジタル
電圧値を得れば、先に得られた電流値との演算によりＣ
ＰＵ３１は発熱抵抗体Ｒ_Haの現実の駆動時における抵抗
値を知得することができる。

【００３１】このような測定動作において、Ａ／Ｄ変換
器３５に対する測定系の前段には、低域フィルタを含む
サンプルホールド回路３８ａ，３９ａが介在されている
ので、発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aの両端電圧と、発熱
抵抗体Ｒ_Haの電圧とを測定する際の同時性（発熱抵抗体
Ｒ_Haの抵抗値を知得する上では、電圧と電流とを同時に
測定したほうがよい）を確保できるとともに、Ａ／Ｄ変
換器３５のサンプル動作を安定させることができる。ま
た、発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aと発熱抵抗体Ｒ_Haとの
接続点の電位（従って、発熱抵抗体Ｒ_Haの電圧）が差動
増幅器３４ａの入力側に負帰還接続されているので、発
熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aによる電圧降下の影響を受け
ることなく、電圧源３３ａに対する基準入力に従った電
圧を発熱抵抗体Ｒ_Haに発生させることができる。即ち、
発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aが存在しても、発熱抵抗体
Ｒ_Haの駆動電圧に影響を及ぼすことなく、発熱抵抗体Ｒ
_Haに流れる電流値を測定しながら、差動増幅器３４ａの
基準入力に応じて発熱抵抗体Ｒ_Haの駆動電圧を安定に制
御することができる。

【００３２】このような動作は、アナログスイッチ４１
を端子Ｔｂ側に切り換えることにより、発熱抵抗体Ｒ_Hb
側でも同様に行われる。

【００３３】よって、ＣＰＵ３１はＡ／Ｄ変換器３５か
ら得られるデジタル情報を取得して、発熱抵抗体Ｒ_Ha，
Ｒ_Hbの温度を算出し、その結果をメモリ４０に格納した
り、発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbの測定電圧値に基づくデジタ
ル電圧値を用いて、両者の電圧差をとることにより、予
め分かっている電圧差‐流体流量との関係に基づき、流
体流量を算出したりする。

【００３４】このようにして、本実施の形態によれば、
発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbの発熱駆動時に、これらの発熱抵
抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbの抵抗値を測定することができるため、
発熱抵抗体Ｒ_Haの抵抗値に経時的な変化があったような
場合には、リアルタイムで測温抵抗体Ｒ_Sa，Ｒ_Sbを駆動
している電流源３０ａ，３０ｂの出力をＤ／Ａ変換器２
９ａ，２９ｂを通じて容易に調整することで対処でき
る。つまり、長期の使用による発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbの
変化に対応して、その使用中であっても、ＣＰＵ３１の
制御によるデジタル情報を用いた総合的な補正をかける
ことができ、流量測定を長期に渡って安定して行うこと
ができる。

【００３５】ところで、本実施の形態における電圧源３
３ａ（電圧源３３ｂ側でも同様である）付近の詳細構成
例を図５に示す。差動増幅器３４ａの出力側にはベース
用、コレクタ・ベース用のバイアス抵抗Ｒ_2a，Ｒ_3aを介
してバイポーラ形のトランジスタ４２ａが接続されてい
る。このトランジスタ４２ａのコレクタ側は電源Ｖccに
接続されており、エミッタ側に発熱体電流測定用抵抗器
Ｒ_1aと発熱抵抗体Ｒ_Haとが接続されている。このような
構成により、発熱抵抗体Ｒ_Haには差動増幅器３４ａによ
ってトランジスタ４２ａのベースに与えられる出力電圧
に応じた電流が流され、発熱抵抗体Ｒ_Haの電圧（発熱体
電流測定用抵抗器Ｒ_1aと発熱抵抗体Ｒ_Haとの接続点の電
位）が差動増幅器３４ａに入力される基準入力（測温抵
抗体Ｒ_Saの電圧）に一致するように負帰還制御される。

【００３６】なお、図５（ａ）に示すようなバイポーラ
形のトランジスタ４２ａに代えて、図５（ｂ）に示すよ
うにＦＥＴによるトランジスタ４３ａを用いて発熱抵抗
体Ｒ _Haを駆動するようにしてもよい。図５（ｂ）に示す
ように、ＦＥＴによるトランジスタ４３ａを用いるほう
が、電源Ｖccの電圧が低くても或いは一定であっても、
２つの抵抗体（発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aと発熱抵抗
体Ｒ_Ha）を駆動すダイナミックレンジを広くすることが
できる。

【００３７】つづいて、本発明の第二の実施の形態を図
６に基づいて説明する。図１ないし図５で示した部分と
同一部分は同一符号を用いて示し、その説明も省略する
（以降の実施の形態でも同様とする）。本実施の形態で
は、２つの基準電圧素子２８ａ，２８ｂ及び２つのＤ／
Ａ変換器２９ａ，２９ｂに代えて、１つの基準電圧素子
２８及び１つのＤ／Ａ変換器２９が設けられている。さ
らに、前記Ｄ／Ａ変換器２９と発熱抵抗体Ｒ_Ha側の電流
源３０ａとの間にサンプルホールド回路４４ａが介在さ
れ、前記Ｄ／Ａ変換器２９と発熱抵抗体Ｒ_Hb側の電流源
３０ｂとの間にサンプルホールド回路４４ｂが介在され
ている。これらのサンプルホールド回路４４ａ，４４ｂ
にはそのサンプル・ホールド動作をＣＰＵ３１によって
制御するための制御線３７が接続されている。

【００３８】本実施の形態においては、例えば、アナロ
グスイッチ４１を端子Ｔａ側とすることにより発熱抵抗
体Ｒ_Ha側を選択しているとき、前述したようにＤ／Ａ変
換器２９を動作させるとともにサンプルホールド回路４
４ａ側をホールドモードにする。一方、アナログスイッ
チ４１を端子Ｔｂ側とすることにより発熱抵抗体Ｒ_Hb側
を選択しているとき、前述したようにＤ／Ａ変換器２９
を動作させるとともにサンプルホールド回路４４ｂ側を
ホールドモードにする。これにより、基準電圧素子２８
やＤ／Ａ変換器２９は１つずつであるが、サンプルホー
ルド回路４４ａ，４４ｂでホールドしたホールド電圧を
同時に電流源３０ａ，３０ｂ側に出力させることによ
り、電圧源３３ａ，３３ｂを制御し、２つの測温抵抗体
Ｒ_Sa，Ｒ_Sbを駆動させることができ、前記実施の形態の
場合と同様の駆動制御を採り得ることになる。よって、
消費電流が大きくなりやすいＤ／Ａ変換器を１つだけに
しても必要な機能が得られるので、支障なく消費電力を
減らすことができる。加えて、サンプルホールド回路４
４ａ，４４ｂを利用しているため、これらのサンプルホ
ールド回路４４ａ，４４ｂを動作させる時だけＤ／Ａ変
換器２９を動作させればよいので、一層の省電力化を図
れる。

【００３９】本発明の第三の実施の形態を図７に基づい
て説明する。本実施の形態は、第一，二の形態の何れの
形式にも適用し得るもので、発熱体電流測定用抵抗器Ｒ
_1a，Ｒ_1b及び発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbの電圧測定の同時性
を得るためには、厳密には、４つのサンプルホールド回
路３８ａ，３９ａ，３８ｂ，３９ｂを必要とするが、本
実施の形態では、最小限なる２つのサンプルホールド回
路４５，４６を用いるだけで必要とする同時性が確保で
きるように構成されている。即ち、これらのサンプルホ
ールド回路４５，４６は発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1a及
び発熱抵抗体Ｒ_Ha側と、発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1b及
び発熱抵抗体Ｒ_Hb側とで共通に使用するため、Ａ／Ｄ変
換器３５の直前位置に配設されている。また、発熱体電
流測定用抵抗器Ｒ_1a及び発熱抵抗体Ｒ_Ha側の直列回路
と、発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1b及び発熱抵抗体Ｒ_Hb側
の直列回路との間には、何れかの直列回路を選択切り換
えする第１のアナログスイッチ４７が設けられ、この第
１のアナログスイッチ４７とサンプルホールド回路４
５，４６との間には発熱体電流測定用抵抗器側と発熱抵
抗体側とを選択切り換えする第２のアナログスイッチ４
８が設けられている。これらのアナログスイッチ４７，
４８にはその切り換え動作をＣＰＵ３１によって制御す
るための制御線３７が接続されている。

【００４０】本実施の形態によれば、発熱体電流測定用
抵抗器Ｒ_1a，Ｒ_1b及び発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbの４つの電
圧測定の同時性を厳密に得ることはできないが、２つだ
けのサンプルホールド回路４５，４６を用いた簡易な構
成で、発熱体電流測定用抵抗器Ｒ_1aと発熱抵抗体Ｒ_Haと
の電圧測定の同時性、及び、発熱体電流測定用抵抗器Ｒ
_1bと発熱抵抗体Ｒ_Hbとの電圧測定の同時性を得ることは
できる。併せて、図４等の対比からも分かるように、ア
ナログスイッチの数も６個から４個に減らすことができ
る。

【００４１】なお、これらの第一ないし第三の実施の形
態は、図３に示したような構成の流量センサ２１に限ら
ず、２つの発熱抵抗体及び２つの測温抵抗体を備えた構
造のものに同様に適用し得るもので、例えば、図１０に
示したような流量センサ１であってもよい。

【００４２】本発明の第四の実施の形態を図８及び図９
に基づいて説明する。本実施の形態では、図８に示すよ
うに、発熱抵抗体Ｒ_Ha，Ｒ_Hbは２つのままとするが、測
温抵抗体Ｒ_Sbが省略されて、１つの測温抵抗体Ｒ_S （測
温抵抗体Ｒ_Saに相当する）のみを備える流量センサ４９
が用いられている。

【００４３】このような流量センサ４９に対する駆動回
路としては、図９に示すように、２つの基準電圧素子２
８ａ，２８ｂ、２つのＤ／Ａ変換器２９ａ，２９ｂ及び
２つの電流源３０ａ，３０ｂに代えて、１つの基準電圧
素子２８、１つのＤ／Ａ変換器２９及び１つの電流源３
０が設けられている。さらに、前記電流源３０（測温抵
抗体Ｒ_S ）と発熱抵抗体Ｒ_Ha側の電圧源３３ａとの間に
サンプルホールド回路５０ａが介在され、前記電流源３
０（測温抵抗体Ｒ_S ）と発熱抵抗体Ｒ_Hb側の電圧源３３
ｂとの間にサンプルホールド回路５０ｂが介在されてい
る。これらのサンプルホールド回路５０ａ，５０ｂには
そのサンプル・ホールド動作をＣＰＵ３１によって制御
するための制御線３７が接続されている。

【００４４】このような構成において、ＣＰＵ３１によ
る制御の下に、Ｄ／Ａ変換器２９は電流源３０を制御
し、１つの測温抵抗体Ｒ_S を駆動する。この測温抵抗体
Ｒ_S に発生する基準電圧は、ＣＰＵ３１の制御によっ
て、発熱抵抗体Ｒ_Ha側か発熱抵抗体Ｒ_Hb側かの何れかの
特性に併せてＤ／Ａ変換器２９を制御した結果によるも
のであり、それに合わせてサンプルホールド回路５０ａ
又は５０ｂをホールドさせることにより、１つの測温抵
抗体Ｒ_S であっても２つの電圧源３３ａ，３３ｂを制御
し得る電圧を発生させることができる。

【００４５】よって、本実施の形態によれば、消費電流
が大きくなりやすいＤ／Ａ変換器を１つだけにしても必
要な機能が得られるので、支障なく消費電力を減らすこ
とができる。加えて、サンプルホールド回路５０ａ，５
０ｂを利用しているため、電圧源３３ａ，３３ｂに対す
る基準電圧を得るためにこれらのサンプルホールド回路
５０ａ，５０ｂを動作させる時だけＤ／Ａ変換器２９を
動作させればよいので、一層の省電力化を図れる。

【００４６】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、各発熱抵
抗体の電圧を測定するとともに、各発熱抵抗体に直列に
接続された抵抗値既知の各発熱体電流測定用抵抗器の両
端電圧を測定することで各発熱抵抗体に流れる電流値を
知得できるので、各発熱抵抗体の駆動時であっても各発
熱抵抗体の抵抗値を測定することが可能となり、各発熱
抵抗体の抵抗値に変化があったときにはリアルタイムで
各測温抵抗体を駆動している各電流源の出力を各Ｄ／Ａ
変換器によって調整することができ、よって、長期の使
用による各発熱抵抗体の変化に対応してデジタル信号を
用いた総合的な補正をかけることで柔軟に対応でき、低
流量域に渡って直線性の高い流量測定が可能となる２つ
の発熱抵抗体及び２つの測温抵抗体を備えた流量センサ
を用いるメリットを、長期にわたって安定性を維持させ
ることができる。

【００４７】請求項２記載の発明による場合も、基本的
には請求項１記載の発明と同様であるが、特に消費電流
が大きくなりやすいＤ／Ａ変換器を１つだけにし、か
つ、サンプルホールド回路を利用するように構成したの
で、このＤ／Ａ変換器は電圧出力をサンプルホールド回
路に送出している間だけ稼働させればよく、請求項１記
載の発明の場合と同様の機能を確保しながら、極力、消
費電力を減らすことができる。

【００４８】請求項３記載の発明によれば、最小限の数
のサンプルホールド回路を用いるだけで、請求項１又は
２記載の発明の場合と同様の機能を支障なく確保するこ
とができる。

【００４９】請求項４記載の発明による場合も、基本的
には請求項１記載の発明と同様であるが、２つの発熱抵
抗体と１つの測温抵抗体とを用いた流量センサにも同様
に適用でき、特に消費電流が大きくなりやすいＤ／Ａ変
換器を１つだけにし、かつ、サンプルホールド回路を利
用しているので、このＤ／Ａ変換器は電圧出力をサンプ
ルホールド回路に送出している間だけ稼働させればよ
く、請求項１記載の発明の場合と同様の機能を確保しな
がら、消費電力を極力減らすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施の形態を示す回路図であ
る。

【図２】流量測定装置の全体構成を概念的に示す斜視図
である。

【図３】流量センサ部分の構成を概念的に示す平面図で
ある。

【図４】Ａ／Ｄ変換器の入力部分を抽出して示す回路図
である。

【図５】電圧源付近を抽出して示す回路図である。

【図６】本発明の第二の実施の形態を示す回路図であ
る。

【図７】本発明の第三の実施の形態を示す回路図であ
る。

【図８】本発明の実施の第四の形態の流量センサ部分の
構成を概念的に示す平面図である。

【図９】その回路図である。

【図１０】従来の流量センサ部分の構成を概念的に示す
平面図である。

【図１１】従来例を示す回路図である。

【符号の説明】

２１ 流量センサ ２３ 流路 ２８，２８ａ，２８ｂ 基準電圧生成器 ２９，２９ａ，２９ｂ Ｄ／Ａ変換器 ３０，３０ａ，３０ｂ 電流源 ３１ 中央処理装置 ３３ａ，３３ｂ 電圧源 ３５ Ａ／Ｄ変換器 ３６ａ，３６ｂ，４１ アナログスイッチ ４４ａ，４４ｂ サンプルホールド回路 ４５，４６ サンプルホールド回路 ４７ 第１のアナログスイッチ ４８ 第２のアナログスイッチ ４９ 流量センサ ５０ａ，５０ｂ サンプルホールド回路

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ともに抵抗温度係数が大きくて流路中に
   配設される２つの発熱抵抗体と各々対をなす２つの測温
   抵抗体とを備えた流量センサを用いる流量センサ駆動回
   路において、 前記各発熱抵抗体と各々直列に接続されて抵抗値が固定
   的で既知の２つの発熱体電流測定用抵抗器と、 前記各発熱抵抗体に対応して基準電圧を生成する２つの
   基準電圧生成器と、 各基準電圧生成器からの出力電圧が入力される２つのＤ
   ／Ａ変換器と、 各Ｄ／Ａ変換器の出力電圧に応じた電流で対応する前記
   測温抵抗体を通電駆動する２つの電流源と、 前記各測温抵抗体に得られる電圧を基準入力として対応
   する前記発熱体電流測定用抵抗器と前記発熱抵抗体との
   直列回路を各々通電駆動する２つの電圧源と、 前記各発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧を測定してデ
   ジタル電圧値に変換するとともに、前記各発熱抵抗体の
   電圧を測定してデジタル電圧値に変換するＡ／Ｄ変換器
   と、 前記各発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧の測定と前記
   各発熱抵抗体の電圧の測定とを切り換えるアナログスイ
   ッチと、 前記Ａ／Ｄ変換器から出力されるデジタル電圧値を取り
   込むととともに、前記アナログスイッチの切り換え及び
   前記各Ｄ／Ａ変換器の動作を制御する中央処理装置と、
   を備えることを特徴とする流量センサ駆動回路。
2. 【請求項２】 ともに抵抗温度係数が大きくて流路中に
   配設される２つの発熱抵抗体と各々対をなす２つの測温
   抵抗体とを備えた流量センサを用いる流量センサ駆動回
   路において、 前記各発熱抵抗体と各々直列に接続されて抵抗値が固定
   的で既知の２つの発熱体電流測定用抵抗器と、 基準電圧を生成する基準電圧生成器と、 この基準電圧生成器からの出力電圧が入力される１つの
   Ｄ／Ａ変換器と、 このＤ／Ａ変換器の出力側に各々接続された２つのサン
   プルホールド回路と、 各サンプルホールド回路で保持された前記Ｄ／Ａ変換器
   の出力電圧に応じた電流で対応する前記測温抵抗体を通
   電駆動する２つの電流源と、 前記各測温抵抗体に得られる電圧を基準入力として対応
   する前記発熱体電流測定用抵抗器と前記発熱抵抗体との
   直列回路を各々通電駆動する２つの電圧源と、 前記各発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧を測定してデ
   ジタル電圧値に変換するとともに、前記各発熱抵抗体の
   電圧を測定してデジタル電圧値に変換するＡ／Ｄ変換器
   と、 前記各発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧の測定と前記
   各発熱抵抗体の電圧の測定とを切り換えるアナログスイ
   ッチと、 前記Ａ／Ｄ変換器から出力されるデジタル電圧値を取り
   込むととともに、前記アナログスイッチの切り換え、前
   記各サンプルホールド回路の動作及び前記Ｄ／Ａ変換器
   の動作を制御する中央処理装置と、を備えることを特徴
   とする流量センサ駆動回路。
3. 【請求項３】 アナログスイッチは、Ａ／Ｄ変換器に対
   して２つの直列回路を選択切り換えする第１のアナログ
   スイッチと、前記Ａ／Ｄ変換器に対して直列回路中の発
   熱体電流測定用抵抗器と発熱抵抗体とを選択切り換えす
   る第２のアナログスイッチとを有し、この第２のアナロ
   グスイッチと前記Ａ／Ｄ変換器との間にサンプルホール
   ド回路を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の
   流量センサ駆動回路。
4. 【請求項４】 ともに抵抗温度係数が大きくて流路中に
   配設される２つの発熱抵抗体と１つの測温抵抗体とを備
   えた流量センサを用いる流量センサ駆動回路において、 前記各発熱抵抗体と各々直列に接続されて抵抗値が固定
   的で既知の２つの発熱体電流測定用抵抗器と、 基準電圧を生成する１つの基準電圧生成器と、 基準電圧生成器からの出力電圧が入力される１つのＤ／
   Ａ変換器と、 このＤ／Ａ変換器の出力電圧に応じた電流で前記測温抵
   抗体を通電駆動する１つの電流源と、 前記測温抵抗体に得られる電圧を入力として発熱抵抗体
   毎に設けられた２つのサンプルホールド回路と、 各サンプルホールド回路で保持された電圧を基準入力と
   して対応する前記発熱体電流測定用抵抗器と前記発熱抵
   抗体との直列回路を各々通電駆動する２つの電圧源と、 前記各発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧を測定してデ
   ジタル電圧値に変換するとともに、前記各発熱抵抗体の
   電圧を測定してデジタル電圧値に変換するＡ／Ｄ変換器
   と、 前記各発熱体電流測定用抵抗器の両端電圧の測定と前記
   各発熱抵抗体の電圧の測定とを切り換えるアナログスイ
   ッチと、 前記Ａ／Ｄ変換器から出力されるデジタル電圧値を取り
   込むととともに、前記アナログスイッチの切り換え、前
   記各Ｄ／Ａ変換器の動作及び前記サンプルホールド回路
   の動作を制御する中央処理装置と、を備えることを特徴
   とする流量センサ駆動回路。