JPH09311233A - 光波長フィルタ - Google Patents
光波長フィルタInfo
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- JPH09311233A JPH09311233A JP12797696A JP12797696A JPH09311233A JP H09311233 A JPH09311233 A JP H09311233A JP 12797696 A JP12797696 A JP 12797696A JP 12797696 A JP12797696 A JP 12797696A JP H09311233 A JPH09311233 A JP H09311233A
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- optical wavelength
- wavelength filter
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造が簡単で、特殊な材料、部品を必要とせ
ず、設計、製作の容易な光波長フィルタを提供する。 【解決手段】 屈折率が一定で幅が一定の平面型のマル
チモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射面に
接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マルチ
モード導波路の出射面に接続された少なくとも1つの出
力導波路からなり、前記入力導波路から入力された特定
の波長の光が、前記マルチモード導波路を介して前記出
力導波路に結合されるように配置されている光波長フィ
ルタである。
ず、設計、製作の容易な光波長フィルタを提供する。 【解決手段】 屈折率が一定で幅が一定の平面型のマル
チモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射面に
接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マルチ
モード導波路の出射面に接続された少なくとも1つの出
力導波路からなり、前記入力導波路から入力された特定
の波長の光が、前記マルチモード導波路を介して前記出
力導波路に結合されるように配置されている光波長フィ
ルタである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、設計、製作の容易
な光波長フィルタに関する。
な光波長フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】特定の波長の光を透過させる光波長フィ
ルタは、光通信、光情報処理等において広範な用途に応
用可能なキーデバイスである。透過させる光の波長を変
えることのできる、波長可変な光波長フィルタは、特に
重要である。
ルタは、光通信、光情報処理等において広範な用途に応
用可能なキーデバイスである。透過させる光の波長を変
えることのできる、波長可変な光波長フィルタは、特に
重要である。
【0003】従来の光波長フィルタには、方向性結合
器、TE-TMモード変換器、半導体光増幅素子を応用
したものなどがある。
器、TE-TMモード変換器、半導体光増幅素子を応用
したものなどがある。
【0004】方向性結合器を応用したものは、非対称な
方向性結合器で、2本の導波路の伝搬定数が一致する波
長で結合するので、その波長の光を透過させる光波長フ
ィルタとして動作する。また、結合部に装荷した加熱用
電極で加熱して温度を変化させて屈折率を変化させるこ
とにより、波長可変な光波長フィルタとなる。
方向性結合器で、2本の導波路の伝搬定数が一致する波
長で結合するので、その波長の光を透過させる光波長フ
ィルタとして動作する。また、結合部に装荷した加熱用
電極で加熱して温度を変化させて屈折率を変化させるこ
とにより、波長可変な光波長フィルタとなる。
【0005】TE-TMモード変換器には、電気光学材
料とEOグレーティングを組み合わせたものと、音響光
学材料とトランスデューサを組み合わせたものがある。
これらのTE-TMモード変換器の波長依存性を、光波
長フィルタとして利用している。電気光学効果を用いた
ものでは、EOグレーティングとは別の一様な電界を印
加することにより、また音響光学効果を用いたもので
は、トランスデューサに加える電気信号によってグレー
ティングのパラメータを変化させることにより、波長可
変型光波長フィルタとなる。
料とEOグレーティングを組み合わせたものと、音響光
学材料とトランスデューサを組み合わせたものがある。
これらのTE-TMモード変換器の波長依存性を、光波
長フィルタとして利用している。電気光学効果を用いた
ものでは、EOグレーティングとは別の一様な電界を印
加することにより、また音響光学効果を用いたもので
は、トランスデューサに加える電気信号によってグレー
ティングのパラメータを変化させることにより、波長可
変型光波長フィルタとなる。
【0006】半導体光増幅素子を応用した光波長フィル
タは、半導体活性層に回折格子などの波長選択性のある
光帰還構造を設けたものである。注入電流を制御して屈
折率等を変化させることにより、波長可変な光波長フィ
ルタとなる。
タは、半導体活性層に回折格子などの波長選択性のある
光帰還構造を設けたものである。注入電流を制御して屈
折率等を変化させることにより、波長可変な光波長フィ
ルタとなる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前記従来
の技術を検討した結果、以下の問題点を見い出した。
の技術を検討した結果、以下の問題点を見い出した。
【0008】方向性結合器を応用した光波長フィルタの
場合は、透過させる光の波長幅が広いため、狭い波長幅
を得るにはグレーティングなどと組み合わせなければな
らない。
場合は、透過させる光の波長幅が広いため、狭い波長幅
を得るにはグレーティングなどと組み合わせなければな
らない。
【0009】また、TE-TMモード変換器の場合は、
電気光学材料や音響光学材料など、特殊な材料を用いな
ければならず、櫛型電極やトランスデューサなどの部品
が必要である。
電気光学材料や音響光学材料など、特殊な材料を用いな
ければならず、櫛型電極やトランスデューサなどの部品
が必要である。
【0010】また、半導体光増幅素子の場合は、透過さ
せる光の波長を変化させても利得を一定に保つために
は、電極を分割して位相制御領域を設けるといった、構
造上の工夫が必要である。
せる光の波長を変化させても利得を一定に保つために
は、電極を分割して位相制御領域を設けるといった、構
造上の工夫が必要である。
【0011】以上のように、従来の光波長フィルタは概
して、構造が複雑であったり、設計、製作も技術的に難
しいものであった。
して、構造が複雑であったり、設計、製作も技術的に難
しいものであった。
【0012】本発明の目的は、構造が簡単で、特殊な材
料、部品を必要とせず、設計、製作の容易な光波長フィ
ルタを提供することにある。
料、部品を必要とせず、設計、製作の容易な光波長フィ
ルタを提供することにある。
【0013】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
にする。
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
にする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以
下のとおりである。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以
下のとおりである。
【0015】(1)屈折率が一定で幅が一定の平面型の
マルチモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射
面に接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マ
ルチモード導波路の出射面に接続された少なくとも1つ
の出力導波路からなり、前記入力導波路から入力された
特定の波長の光が、前記マルチモード導波路を介して前
記出力導波路に結合されるように配置されている光波長
フィルタである。
マルチモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射
面に接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マ
ルチモード導波路の出射面に接続された少なくとも1つ
の出力導波路からなり、前記入力導波路から入力された
特定の波長の光が、前記マルチモード導波路を介して前
記出力導波路に結合されるように配置されている光波長
フィルタである。
【0016】(2)屈折率が一定で幅が一定の平面型の
マルチモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射
面に接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マ
ルチモード導波路の出射面に接続された少なくとも1つ
の出力導波路からなり、前記入力導波路と出力導波路は
マルチモード導波路の中心に対して対称の位置に配置さ
れている光波長フィルタである。
マルチモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射
面に接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マ
ルチモード導波路の出射面に接続された少なくとも1つ
の出力導波路からなり、前記入力導波路と出力導波路は
マルチモード導波路の中心に対して対称の位置に配置さ
れている光波長フィルタである。
【0017】(3)屈折率が一定で幅が一定の平面型の
マルチモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射
面に接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マ
ルチモード導波路の出射面に接続された少なくとも1つ
の出力導波路からなり、入射面における入力導波路の位
置と出射面における出力導波路の位置を同じにした光波
長フィルタである。
マルチモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射
面に接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マ
ルチモード導波路の出射面に接続された少なくとも1つ
の出力導波路からなり、入射面における入力導波路の位
置と出射面における出力導波路の位置を同じにした光波
長フィルタである。
【0018】(4)屈折率が一定で幅が一定の平面型の
マルチモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射
面に接続された少なくとも1つの入力導波路と少なくと
も1つの出力導波路からなり、前記入力導波路と出力導
波路はマルチモード導波路の中心線に対して対称の位置
に配置されている光波長フィルタである。
マルチモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射
面に接続された少なくとも1つの入力導波路と少なくと
も1つの出力導波路からなり、前記入力導波路と出力導
波路はマルチモード導波路の中心線に対して対称の位置
に配置されている光波長フィルタである。
【0019】(5)前記(1)乃至(4)のうちいずれ
か1つの光波長フィルタにおいて、前記マルチモード導
波路の屈折率を変化させる手段を備えたものである。
か1つの光波長フィルタにおいて、前記マルチモード導
波路の屈折率を変化させる手段を備えたものである。
【0020】すなわち、本発明は、マルチモード導波路
のマルチモード干渉による自己結像の性質(L.B.Soldan
o他,“Optical Multi-Mode Interference Devices Base
d onSelf-Imaging:Principles and Applications",Jour
nal of Lightwave Technology,p.615,Vol.13,No.4,199
5)を利用して、光波長フィルタの機能を実現するもの
であり、光波長フィルタであって、屈折率が一様で幅が
一定の平面型のマルチモード導波路と、マルチモード導
波路の入射面に接続された少なくとも1つの入力導波路
と、マルチモード導波路の出射面に接続された少なくと
も1つの出力導波路からなることを特徴とする。
のマルチモード干渉による自己結像の性質(L.B.Soldan
o他,“Optical Multi-Mode Interference Devices Base
d onSelf-Imaging:Principles and Applications",Jour
nal of Lightwave Technology,p.615,Vol.13,No.4,199
5)を利用して、光波長フィルタの機能を実現するもの
であり、光波長フィルタであって、屈折率が一様で幅が
一定の平面型のマルチモード導波路と、マルチモード導
波路の入射面に接続された少なくとも1つの入力導波路
と、マルチモード導波路の出射面に接続された少なくと
も1つの出力導波路からなることを特徴とする。
【0021】マルチモード導波路の屈折率、幅、長さ
と、入出力導波路の電磁界分布、マルチモード導波路の
入出射面におけるそれらの接続される位置は、透過させ
る光の波長と波長幅に応じて設定されている。これによ
って、従来の光波長フィルタとは異なり、簡単な構造で
光波長フィルタが得られる。
と、入出力導波路の電磁界分布、マルチモード導波路の
入出射面におけるそれらの接続される位置は、透過させ
る光の波長と波長幅に応じて設定されている。これによ
って、従来の光波長フィルタとは異なり、簡単な構造で
光波長フィルタが得られる。
【0022】また、この光波長フィルタは、導波路の屈
折率を変化させる手段を備えることによって、容易に、
透過させる光の波長を変えることのできる、波長可変な
光波長フィルタとすることができる。
折率を変化させる手段を備えることによって、容易に、
透過させる光の波長を変えることのできる、波長可変な
光波長フィルタとすることができる。
【0023】マルチモード導波路に入射された光は、導
波路の多数のモードを励振する。それらのモードはそれ
ぞれ異なる伝搬定数を持つため、マルチモード導波路を
伝搬するにしたがってモード間に位相差を生じる。励振
されているモードのうち、どの2つのモードを選んでも
それらの位相差が2πの整数倍となるような長さを伝搬
したとき、それらのモードの重ね合わせ、すなわち、そ
こでの電磁界分布は、入射光と同じ電磁界分布となる、
といったような周期性を持っている。
波路の多数のモードを励振する。それらのモードはそれ
ぞれ異なる伝搬定数を持つため、マルチモード導波路を
伝搬するにしたがってモード間に位相差を生じる。励振
されているモードのうち、どの2つのモードを選んでも
それらの位相差が2πの整数倍となるような長さを伝搬
したとき、それらのモードの重ね合わせ、すなわち、そ
こでの電磁界分布は、入射光と同じ電磁界分布となる、
といったような周期性を持っている。
【0024】このようにモード間の干渉によって、マル
チモード導波路に入射された光は、マルチモード導波路
を伝搬するにしたがって、入射時の電磁界分布、入射時
の電磁界分布がマルチモード導波路の中心について反転
した電磁界分布、それらの電磁界分布が多重化された電
磁界分布、などをマルチモード導波路内に周期的に繰り
返し形成する。その周期は、マルチモード導波路の屈折
率と幅、および光の波長に依存する。
チモード導波路に入射された光は、マルチモード導波路
を伝搬するにしたがって、入射時の電磁界分布、入射時
の電磁界分布がマルチモード導波路の中心について反転
した電磁界分布、それらの電磁界分布が多重化された電
磁界分布、などをマルチモード導波路内に周期的に繰り
返し形成する。その周期は、マルチモード導波路の屈折
率と幅、および光の波長に依存する。
【0025】この現象は、マルチモード導波路に特有に
備わる性質であり、マルチモード導波路のマルチモード
干渉による自己結像の効果と呼ばれている。
備わる性質であり、マルチモード導波路のマルチモード
干渉による自己結像の効果と呼ばれている。
【0026】マルチモード導波路と、それに接続された
入力導波路と出力導波路からなる系において、入力導波
路からマルチモード導波路に入射された、ある波長の光
の電磁界分布が、前述の自己結像の効果によって、限ら
れた領域に集中するような電磁界分布を形成している位
置に、それに合うような電磁界分布を持った出力導波路
を接続すれば、光は出力導波路に効率よく結合されるよ
うにすることができる。
入力導波路と出力導波路からなる系において、入力導波
路からマルチモード導波路に入射された、ある波長の光
の電磁界分布が、前述の自己結像の効果によって、限ら
れた領域に集中するような電磁界分布を形成している位
置に、それに合うような電磁界分布を持った出力導波路
を接続すれば、光は出力導波路に効率よく結合されるよ
うにすることができる。
【0027】一方、入射される光の波長が異なると、各
モードの伝搬定数が変化し、マルチモード導波路の出射
面での電磁界分布も変化するため、光はもはや出力導波
路に結合しなくなる。この性質を、波長に関する通過あ
るいは阻止手段として用いることにより、光波長フィル
タとしての機能が実現できる。
モードの伝搬定数が変化し、マルチモード導波路の出射
面での電磁界分布も変化するため、光はもはや出力導波
路に結合しなくなる。この性質を、波長に関する通過あ
るいは阻止手段として用いることにより、光波長フィル
タとしての機能が実現できる。
【0028】すなわち、特定の波長の光に対し、マルチ
モード導波路の屈折率、幅、長さと、入出力導波路の電
磁界分布、マルチモード導波路の入出射面におけるそれ
らの接続される位置を最適に設計することにより、その
波長の光を透過させる光波長フィルタを構成することが
できる。
モード導波路の屈折率、幅、長さと、入出力導波路の電
磁界分布、マルチモード導波路の入出射面におけるそれ
らの接続される位置を最適に設計することにより、その
波長の光を透過させる光波長フィルタを構成することが
できる。
【0029】また、熱光学効果を持つ材料を用いて導波
路を構成し、加熱用の電極を装荷して導波路の温度を制
御するなど、導波路の屈折率を変化させる手段を備える
ことによって、透過させる光の波長を変えることのでき
る、波長可変型光波長フィルタとすることができる。
路を構成し、加熱用の電極を装荷して導波路の温度を制
御するなど、導波路の屈折率を変化させる手段を備える
ことによって、透過させる光の波長を変えることのでき
る、波長可変型光波長フィルタとすることができる。
【0030】
【実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施形態
(実施例)を詳細に説明する。
(実施例)を詳細に説明する。
【0031】(実施形態1)図1は本発明の実施形態1
の光波長フィルタの斜視図であり、11はマルチモード
導波路、12はシングルモード導波路からなる入力導波
路、13はシングルモード導波路からなる出力導波路で
ある。
の光波長フィルタの斜視図であり、11はマルチモード
導波路、12はシングルモード導波路からなる入力導波
路、13はシングルモード導波路からなる出力導波路で
ある。
【0032】本実施形態1の光波長フィルタは、図1に
示すように、屈折率が一様で幅が一定の平面型のマルチ
モード導波路11の入射面の中心に、シングルモード導
波路を入力導波路12として接続する。マルチモード導
波路11の出射面の中心に、入力導波路12と同じ電磁
界分布を持つシングルモード導波路を出力導波路13と
して接続する。
示すように、屈折率が一様で幅が一定の平面型のマルチ
モード導波路11の入射面の中心に、シングルモード導
波路を入力導波路12として接続する。マルチモード導
波路11の出射面の中心に、入力導波路12と同じ電磁
界分布を持つシングルモード導波路を出力導波路13と
して接続する。
【0033】マルチモード導波路11のコアの屈折率は
1.5065、クラッドの屈折率は1.49である。コア
の寸法の厚さは2μm、幅は50μm、長さは3750
μmである。入出力導波路12と出力導波路13の屈折
率はマルチモード導波路11のそれと同じであり、コア
の寸法の厚さは2μm、幅は2μmである。
1.5065、クラッドの屈折率は1.49である。コア
の寸法の厚さは2μm、幅は50μm、長さは3750
μmである。入出力導波路12と出力導波路13の屈折
率はマルチモード導波路11のそれと同じであり、コア
の寸法の厚さは2μm、幅は2μmである。
【0034】次に、図1を参照して本実施形態1の光波
長フィルタの原理を説明する。
長フィルタの原理を説明する。
【0035】等価屈折率法によれば、前記マルチモード
導波路11,入力導波路12及び出力導波路13は、コ
アの屈折率が1.50、クラッドの屈折率が1.49の水
平方向の2次元スラブ導波路とみなすことができる。マ
ルチモード導波路11の中心に入射された、対称な電磁
界分布を持つ波長λの光は、マルチモード導波路11の
コアの屈折率がn、幅がWのとき、入射面からnW2/
λの整数倍の距離で、入射時と同じ電磁界分布を形成す
る。
導波路11,入力導波路12及び出力導波路13は、コ
アの屈折率が1.50、クラッドの屈折率が1.49の水
平方向の2次元スラブ導波路とみなすことができる。マ
ルチモード導波路11の中心に入射された、対称な電磁
界分布を持つ波長λの光は、マルチモード導波路11の
コアの屈折率がn、幅がWのとき、入射面からnW2/
λの整数倍の距離で、入射時と同じ電磁界分布を形成す
る。
【0036】したがって、対称な電磁界分布を持つシン
グルモード導波路である入力導波路12から、長さがn
W2/λのマルチモード導波路11に入射された波長λ
の光は、入力導波路12と同じ電磁界分布を持つ出力導
波路13に結合し、波長λの光を透過させる光波長フィ
ルタになる。本実施形態1では、波長1.0μmの光を
透過させる光波長フィルタになっている。
グルモード導波路である入力導波路12から、長さがn
W2/λのマルチモード導波路11に入射された波長λ
の光は、入力導波路12と同じ電磁界分布を持つ出力導
波路13に結合し、波長λの光を透過させる光波長フィ
ルタになる。本実施形態1では、波長1.0μmの光を
透過させる光波長フィルタになっている。
【0037】マルチモード導波路11の長さがnW2/
λである場合のフィルタの波長幅(半値幅)は、入出力
導波路12,13の電磁界分布を幅ωのガウシアン分布
であるとすると、√3π(ω/W)2λとなる。この実
施例の場合、入出力導波路12,13はシングルモード
導波路であるから、その電磁界分布はガウシアン分布で
近似することができ、その幅はおよそ2.5μmであ
る。したがって、この光波長フィルタの波長幅はおよそ
0.01μmである。
λである場合のフィルタの波長幅(半値幅)は、入出力
導波路12,13の電磁界分布を幅ωのガウシアン分布
であるとすると、√3π(ω/W)2λとなる。この実
施例の場合、入出力導波路12,13はシングルモード
導波路であるから、その電磁界分布はガウシアン分布で
近似することができ、その幅はおよそ2.5μmであ
る。したがって、この光波長フィルタの波長幅はおよそ
0.01μmである。
【0038】(実施形態2)図2は本発明の実施形態2
の光波長フィルタの斜視図であり、21はマルチモード
導波路、22はシングルモード導波路からなる入力導波
路、23はシングルモード導波路からなる出力導波路、
24は加熱用電極である。
の光波長フィルタの斜視図であり、21はマルチモード
導波路、22はシングルモード導波路からなる入力導波
路、23はシングルモード導波路からなる出力導波路、
24は加熱用電極である。
【0039】本実施形態2の光波長フィルタは、図2に
示すように、前記実施形態1の光波長フィルタと同じ構
成を持つ光波長フィルタ、すなわち、マルチモード導波
路21,入力導波路22及び出力導波路23からなる光
波長フィルタに、加熱用電極24を装荷したものであ
る。
示すように、前記実施形態1の光波長フィルタと同じ構
成を持つ光波長フィルタ、すなわち、マルチモード導波
路21,入力導波路22及び出力導波路23からなる光
波長フィルタに、加熱用電極24を装荷したものであ
る。
【0040】マルチモード導波路21の厚さは2μm、
幅は50μm、長さは3750μmであり、屈折率は、
加熱用電極24による加熱によって、コアの屈折率は
1.5065から1.5815、クラッドの屈折率は1.
49から1.565、と温度に比例して変化する。入出
力導波路22,23の厚さは2μm、幅は2μmであ
り、屈折率はマルチモード導波路21のそれと同じであ
り、加熱によって同様に変化する。
幅は50μm、長さは3750μmであり、屈折率は、
加熱用電極24による加熱によって、コアの屈折率は
1.5065から1.5815、クラッドの屈折率は1.
49から1.565、と温度に比例して変化する。入出
力導波路22,23の厚さは2μm、幅は2μmであ
り、屈折率はマルチモード導波路21のそれと同じであ
り、加熱によって同様に変化する。
【0041】前記実施形態1と同様の光波長フィルタの
原理によって、マルチモード導波路21,入力導波路2
2及び出力導波路23は、コアの屈折率が1.506
5、クラッドの屈折率が1.49のときは、波長1.0μ
mの光を透過させ、また、コアの屈折率が1.581
5、クラッドの屈折率が1.565であるときは、波長
1.05μmの光を透過させるような、波長可変な光波
長フィルタになっている。
原理によって、マルチモード導波路21,入力導波路2
2及び出力導波路23は、コアの屈折率が1.506
5、クラッドの屈折率が1.49のときは、波長1.0μ
mの光を透過させ、また、コアの屈折率が1.581
5、クラッドの屈折率が1.565であるときは、波長
1.05μmの光を透過させるような、波長可変な光波
長フィルタになっている。
【0042】入出力導波路22,23の電磁界分布をガ
ウシアン分布で近似したときの幅は、温度にかかわら
ず、およそ2.5μmである。したがって、前記実施形
態1と同様の説明により、本実施形態2の光波長フィル
タの波長幅は、マルチモード導波路21,入力導波路2
2及び出力導波路23の温度にかかわらず、およそ0.
01μmである。
ウシアン分布で近似したときの幅は、温度にかかわら
ず、およそ2.5μmである。したがって、前記実施形
態1と同様の説明により、本実施形態2の光波長フィル
タの波長幅は、マルチモード導波路21,入力導波路2
2及び出力導波路23の温度にかかわらず、およそ0.
01μmである。
【0043】(実施形態3)図3は本発明の実施形態3
の光波長フィルタの斜視図であり、31はマルチモード
導波路、32はシングルモード導波路からなる入力導波
路、33はシングルモード導波路からなる出力導波路で
ある。
の光波長フィルタの斜視図であり、31はマルチモード
導波路、32はシングルモード導波路からなる入力導波
路、33はシングルモード導波路からなる出力導波路で
ある。
【0044】本実施形態3の光波長フィルタは、図3に
示すように、屈折率が一様で幅が一定の平面型のマルチ
モード導波路31の入射面の中心以外の位置に、シング
ルモード導波路を入力導波路32として接続する。マル
チモード導波路31の出射面の、入射面において入力導
波路32を接続した位置と中心対称な位置に、入力導波
路32と同じ電磁界分布を持つシングルモード導波路を
出力導波路33として接続する。マルチモード導波路3
1のコアの屈折率は1.5065、クラッドの屈折率は
1.49、厚さは2μm、幅は50μm、長さは150
00μmである。入出力導波路32,33の屈折率はマ
ルチモード導波路31のそれと同じであり、厚さは2μ
m、幅は2μmである。
示すように、屈折率が一様で幅が一定の平面型のマルチ
モード導波路31の入射面の中心以外の位置に、シング
ルモード導波路を入力導波路32として接続する。マル
チモード導波路31の出射面の、入射面において入力導
波路32を接続した位置と中心対称な位置に、入力導波
路32と同じ電磁界分布を持つシングルモード導波路を
出力導波路33として接続する。マルチモード導波路3
1のコアの屈折率は1.5065、クラッドの屈折率は
1.49、厚さは2μm、幅は50μm、長さは150
00μmである。入出力導波路32,33の屈折率はマ
ルチモード導波路31のそれと同じであり、厚さは2μ
m、幅は2μmである。
【0045】本実施形態3において、マルチモード導波
路31に関する位置関係が前記の条件を満たしているよ
うな入出力導波路の組の数は、図3に示すように、複数
でもよい。入出力導波路の組が複数の場合、それらの各
々が光波長フィルタとして機能し、多チャネルの光波長
フィルタとなる。それらの入出力導波路が、入出力導波
路32,33と同じ導波路であれば、それらの入出力導
波路による光波長フィルタの特性も、入出力導波路3
2,33による光波長フィルタと同じものとなる。
路31に関する位置関係が前記の条件を満たしているよ
うな入出力導波路の組の数は、図3に示すように、複数
でもよい。入出力導波路の組が複数の場合、それらの各
々が光波長フィルタとして機能し、多チャネルの光波長
フィルタとなる。それらの入出力導波路が、入出力導波
路32,33と同じ導波路であれば、それらの入出力導
波路による光波長フィルタの特性も、入出力導波路3
2,33による光波長フィルタと同じものとなる。
【0046】以下、入出力導波路32,33による光波
長フィルタのチャネルについて図3を参照して説明す
る。等価屈折率法によれば、前記マルチモード導波路3
1,入力導波路32及び出力導波路33は、コアの屈折
率が1.50、クラッドの屈折率が1.49の水平方向の
2次元スラブ導波路とみなすことができる。
長フィルタのチャネルについて図3を参照して説明す
る。等価屈折率法によれば、前記マルチモード導波路3
1,入力導波路32及び出力導波路33は、コアの屈折
率が1.50、クラッドの屈折率が1.49の水平方向の
2次元スラブ導波路とみなすことができる。
【0047】マルチモード導波路に入射された波長λの
光は、マルチモード導波路のコアの屈折率がn、幅がW
のとき、入射面から4nW2/λの奇数倍の距離で、入
射時の電磁界分布をマルチモード導波路の中心について
反転した電磁界分布を形成する。
光は、マルチモード導波路のコアの屈折率がn、幅がW
のとき、入射面から4nW2/λの奇数倍の距離で、入
射時の電磁界分布をマルチモード導波路の中心について
反転した電磁界分布を形成する。
【0048】したがって、対称な電磁界分布を持つシン
グルモード導波路である入力導波路32から、長さが4
nW2/λのマルチモード導波路31に入射された波長
λの光は、マルチモード導波路31の出射面の、入射面
において入力導波路32を接続した位置と中心対称な位
置にある、入力導波路32と同じ電磁界分布を持つ出力
導波路33に結合し、波長λの光を透過させる光波長フ
ィルタになる。本実施形態3では、波長1.0μmの光
を透過させる光波長フィルタになっている。
グルモード導波路である入力導波路32から、長さが4
nW2/λのマルチモード導波路31に入射された波長
λの光は、マルチモード導波路31の出射面の、入射面
において入力導波路32を接続した位置と中心対称な位
置にある、入力導波路32と同じ電磁界分布を持つ出力
導波路33に結合し、波長λの光を透過させる光波長フ
ィルタになる。本実施形態3では、波長1.0μmの光
を透過させる光波長フィルタになっている。
【0049】マルチモード導波路31の長さが4nW2
/λである場合のフィルタの波長幅(半値幅)は、入出
力導波路32,33の電磁界分布を幅ωのガウシアン分
布であるとすると、(√3/4)π(ω/W)2λとな
る。本実施形態3の場合、入出力導波路32,33はシ
ングルモード導波路であるから、その電磁界分布はガウ
シアン分布で近似することができ、その幅はおよそ2.
5μmである。したがって、この光波長フィルタの波長
幅はおよそ0.003μmである。
/λである場合のフィルタの波長幅(半値幅)は、入出
力導波路32,33の電磁界分布を幅ωのガウシアン分
布であるとすると、(√3/4)π(ω/W)2λとな
る。本実施形態3の場合、入出力導波路32,33はシ
ングルモード導波路であるから、その電磁界分布はガウ
シアン分布で近似することができ、その幅はおよそ2.
5μmである。したがって、この光波長フィルタの波長
幅はおよそ0.003μmである。
【0050】(実施形態4)図4は本発明の実施形態4
の光波長フィルタの斜視図であり、41はマルチモード
導波路、42はシングルモード導波路からなる入力導波
路、43はシングルモード導波路からなる出力導波路、
44は加熱用電極である。
の光波長フィルタの斜視図であり、41はマルチモード
導波路、42はシングルモード導波路からなる入力導波
路、43はシングルモード導波路からなる出力導波路、
44は加熱用電極である。
【0051】本実施形態4の光波長フィルタは、図4に
示すように、前記実施形態3の光波長フィルタと同じ構
成を持つ導波路、すなわち、マルチモード導波路41,
入力導波路42及び出力導波路43に、加熱用電極44
を装荷したものである。マルチモード導波路41の厚さ
は2μm、幅は50μm、長さは15000μmであ
り、屈折率は、加熱用電極44による加熱によって、コ
アの屈折率は1.5065から1.5815、クラッドの
屈折率は1.49から1.565と温度に比例して変化す
る。入出力導波路42,43の厚さは2μm、幅は2μ
mであり、屈折率はマルチモード導波路41のそれと同
じであり、加熱によって同様に変化する。
示すように、前記実施形態3の光波長フィルタと同じ構
成を持つ導波路、すなわち、マルチモード導波路41,
入力導波路42及び出力導波路43に、加熱用電極44
を装荷したものである。マルチモード導波路41の厚さ
は2μm、幅は50μm、長さは15000μmであ
り、屈折率は、加熱用電極44による加熱によって、コ
アの屈折率は1.5065から1.5815、クラッドの
屈折率は1.49から1.565と温度に比例して変化す
る。入出力導波路42,43の厚さは2μm、幅は2μ
mであり、屈折率はマルチモード導波路41のそれと同
じであり、加熱によって同様に変化する。
【0052】本実施形態4において、マルチモード導波
路41に関する位置関係が前記の条件を満たしているよ
うな入出力導波路の組の数は、図4に示すように、複数
でもよい。入出力導波路の組が複数の場合、それらの各
々が光波長フィルタとして機能し、多チャネルの光波長
フィルタとなる。それらの入出力導波路が、入出力導波
路42,43と同じ導波路であれば、それらの入出力導
波路による光波長フィルタの特性も、入出力導波路4
2,43による光波長フィルタと同じものとなる。
路41に関する位置関係が前記の条件を満たしているよ
うな入出力導波路の組の数は、図4に示すように、複数
でもよい。入出力導波路の組が複数の場合、それらの各
々が光波長フィルタとして機能し、多チャネルの光波長
フィルタとなる。それらの入出力導波路が、入出力導波
路42,43と同じ導波路であれば、それらの入出力導
波路による光波長フィルタの特性も、入出力導波路4
2,43による光波長フィルタと同じものとなる。
【0053】以下、入出力導波路42,43による光波
長フィルタのチャネルについて図4を参照して説明す
る。前記実施形態3と同様の原理によって、マルチモー
ド導波路41及び入出力導波路42,43は、コアの屈
折率が1.5065、クラッドの屈折率が1.49のとき
は、波長1.0μmの光を透過させ、また、コアの屈折
率が1.5815、クラッドの屈折率が1.565である
ときは、波長1.05μmの光を透過させるような、波
長可変な光波長フィルタになっている。
長フィルタのチャネルについて図4を参照して説明す
る。前記実施形態3と同様の原理によって、マルチモー
ド導波路41及び入出力導波路42,43は、コアの屈
折率が1.5065、クラッドの屈折率が1.49のとき
は、波長1.0μmの光を透過させ、また、コアの屈折
率が1.5815、クラッドの屈折率が1.565である
ときは、波長1.05μmの光を透過させるような、波
長可変な光波長フィルタになっている。
【0054】入出力導波路42,43の電磁界分布をガ
ウシアン分布で近似したときの幅は、温度にかかわら
ず、およそ2.5μmである。したがって、前記実施形
態3と同様の説明により、この光波長フィルタの波長幅
は、マルチモード導波路41及び入出力導波路42,4
3の温度にかかわらず、およそ0.003μmである。
ウシアン分布で近似したときの幅は、温度にかかわら
ず、およそ2.5μmである。したがって、前記実施形
態3と同様の説明により、この光波長フィルタの波長幅
は、マルチモード導波路41及び入出力導波路42,4
3の温度にかかわらず、およそ0.003μmである。
【0055】(実施形態5)図5は本発明の実施形態5
による光波長フィルタの斜視図であり、51はマルチモ
ード導波路、52はシングルモード導波路からなる入力
導波路、53はシングルモード導波路からなる出力導波
路である。
による光波長フィルタの斜視図であり、51はマルチモ
ード導波路、52はシングルモード導波路からなる入力
導波路、53はシングルモード導波路からなる出力導波
路である。
【0056】本実施形態5の光波長フィルタは、図5に
示すように、屈折率が一様で幅が一定の平面型のマルチ
モード導波路51の入射面の任意の位置に、シングルモ
ード導波路を入力導波路52として接続する。マルチモ
ード導波路51の出射面の、入射面において入力導波路
52を接続した位置と同じ位置に、入力導波路52と同
じ電磁界分布を持つシングルモード導波路を出力導波路
53として接続する。
示すように、屈折率が一様で幅が一定の平面型のマルチ
モード導波路51の入射面の任意の位置に、シングルモ
ード導波路を入力導波路52として接続する。マルチモ
ード導波路51の出射面の、入射面において入力導波路
52を接続した位置と同じ位置に、入力導波路52と同
じ電磁界分布を持つシングルモード導波路を出力導波路
53として接続する。
【0057】前記マルチモード導波路51のコアの屈折
率は1.5065、クラッドの屈折率は1.49、厚さは
2μm、幅は50μm、長さは30000μmである。
率は1.5065、クラッドの屈折率は1.49、厚さは
2μm、幅は50μm、長さは30000μmである。
【0058】前記入出力導波路52,53の屈折率はマ
ルチモード導波路51のそれと同じであり、厚さは2μ
m、幅は2μmである。
ルチモード導波路51のそれと同じであり、厚さは2μ
m、幅は2μmである。
【0059】本実施形態5において、マルチモード導波
路51に関する位置関係が前記の条件を満たしているよ
うな入出力導波路の組の数は、図5に示すように、複数
でもよい。入出力導波路の組が複数の場合、それらの各
々が光波長フィルタとして機能し、多チャネルの光波長
フィルタとなる。それらの入出力導波路が、入出力導波
路52,53と同じ導波路であれば、それらの入出力導
波路による光波長フィルタの特性も、入出力導波路5
2,53による光波長フィルタと同じものとなる。
路51に関する位置関係が前記の条件を満たしているよ
うな入出力導波路の組の数は、図5に示すように、複数
でもよい。入出力導波路の組が複数の場合、それらの各
々が光波長フィルタとして機能し、多チャネルの光波長
フィルタとなる。それらの入出力導波路が、入出力導波
路52,53と同じ導波路であれば、それらの入出力導
波路による光波長フィルタの特性も、入出力導波路5
2,53による光波長フィルタと同じものとなる。
【0060】以下、入出力導波路52、53による光波
長フィルタのチャネルについて図5を参照して説明す
る。等価屈折率法によれば、マルチモード導波路51及
び入出力導波路52,53は、コアの屈折率が1.5
0、クラッドの屈折率が1.49の水平方向の2次元ス
ラブ導波路とみなすことができる。マルチモード導波路
に入射された波長λの光は、マルチモード導波路のコア
の屈折率がn、幅がWのとき、入射面から8nW2/λ
の整数倍の距離で、入射時の電磁界分布と同じ電磁界分
布を形成する。したがって、入力導波路52から、長さ
8nW2/λのマルチモード導波路51に入射された波
長λの光は、マルチモード導波路51の出射面の、入射
面において入力導波路52を接続した位置と同じ位置に
ある、入力導波路52と同じ電磁界分布を持つ出力導波
路53に結合し、波長λの光を透過させる光波長フィル
タになる。本実施形態5では、波長1.0μmの光を透
過させる光波長フィルタになっている。
長フィルタのチャネルについて図5を参照して説明す
る。等価屈折率法によれば、マルチモード導波路51及
び入出力導波路52,53は、コアの屈折率が1.5
0、クラッドの屈折率が1.49の水平方向の2次元ス
ラブ導波路とみなすことができる。マルチモード導波路
に入射された波長λの光は、マルチモード導波路のコア
の屈折率がn、幅がWのとき、入射面から8nW2/λ
の整数倍の距離で、入射時の電磁界分布と同じ電磁界分
布を形成する。したがって、入力導波路52から、長さ
8nW2/λのマルチモード導波路51に入射された波
長λの光は、マルチモード導波路51の出射面の、入射
面において入力導波路52を接続した位置と同じ位置に
ある、入力導波路52と同じ電磁界分布を持つ出力導波
路53に結合し、波長λの光を透過させる光波長フィル
タになる。本実施形態5では、波長1.0μmの光を透
過させる光波長フィルタになっている。
【0061】マルチモード導波路51の長さが8nW2
/λである場合のフィルタの波長幅(半値幅)は、入出
力導波路52、53の電磁界分布を幅ωのガウシアン分
布であるとすると、(√3/8)π(ω/W)2λとな
る。この実施形態の場合、入出力導波路52、53はシ
ングルモード導波路であるから、その電磁界分布はガウ
シアン分布で近似することができ、その幅はおよそ2.
5μmである。したがって、この光波長フィルタの波長
幅はおよそ0.002μmである。
/λである場合のフィルタの波長幅(半値幅)は、入出
力導波路52、53の電磁界分布を幅ωのガウシアン分
布であるとすると、(√3/8)π(ω/W)2λとな
る。この実施形態の場合、入出力導波路52、53はシ
ングルモード導波路であるから、その電磁界分布はガウ
シアン分布で近似することができ、その幅はおよそ2.
5μmである。したがって、この光波長フィルタの波長
幅はおよそ0.002μmである。
【0062】(実施形態6)図6は本発明の実施形態6
による光波長フィルタの斜視図であり、61はマルチモ
ード導波路、62はシングルモード導波路からなる入力
導波路、63はシングルモード導波路からなる出力導波
路、64は加熱用電極である。
による光波長フィルタの斜視図であり、61はマルチモ
ード導波路、62はシングルモード導波路からなる入力
導波路、63はシングルモード導波路からなる出力導波
路、64は加熱用電極である。
【0063】本実施形態6の光波長フィルタは、図6に
示すように、前記実施形態5と同じ構成を持つ導波路、
すなわち、マルチモード導波路61及び入出力導波路6
2,63に、加熱用電極64を装荷したものである。
示すように、前記実施形態5と同じ構成を持つ導波路、
すなわち、マルチモード導波路61及び入出力導波路6
2,63に、加熱用電極64を装荷したものである。
【0064】前記マルチモード導波路61の厚さは2μ
m、幅は50μm、長さは30000μmであり、屈折
率は加熱用電極64による加熱によって、コアの屈折率
は1.5065から1.5815、クラッドの屈折率は
1.49から1.565、と温度に比例して変化する。入
出力導波路62,63の厚さは2μm、幅は2μmであ
り、屈折率はマルチモード導波路61のそれと同じであ
り、加熱によって同様に変化する。
m、幅は50μm、長さは30000μmであり、屈折
率は加熱用電極64による加熱によって、コアの屈折率
は1.5065から1.5815、クラッドの屈折率は
1.49から1.565、と温度に比例して変化する。入
出力導波路62,63の厚さは2μm、幅は2μmであ
り、屈折率はマルチモード導波路61のそれと同じであ
り、加熱によって同様に変化する。
【0065】本実施形態6において、マルチモード導波
路61に関する位置関係が前記の条件を満たしているよ
うな入出力導波路の組の数は、図6に示すように、複数
でもよい。入出力導波路の組が複数の場合、それらの各
々が光波長フィルタとして機能し、多チャネルの光波長
フィルタとなる。それらの入出力導波路が、入出力導波
路が、入出力導波路62,63と同じ導波路であれば、
それらの入出力導波路による光波長フィルタの特性も、
入出力導波路62,63による光波長フィルタと同じも
のとなる。
路61に関する位置関係が前記の条件を満たしているよ
うな入出力導波路の組の数は、図6に示すように、複数
でもよい。入出力導波路の組が複数の場合、それらの各
々が光波長フィルタとして機能し、多チャネルの光波長
フィルタとなる。それらの入出力導波路が、入出力導波
路が、入出力導波路62,63と同じ導波路であれば、
それらの入出力導波路による光波長フィルタの特性も、
入出力導波路62,63による光波長フィルタと同じも
のとなる。
【0066】以下、入出力導波路62,63による光波
長フィルタのチャネルについて図6を参照して説明す
る。前記実施形態5と同様の原理によって、マルチモー
ド導波路61及び入出力導波路62,63は、コアの屈
折率が1.5065、クラッドの屈折率が1.49のとき
は、波長1.0μmの光を透過させ、また、コアの屈折
率が1.5815、クラッドの屈折率が1.565である
ときは、波長1.05μmの光を透過させるような、波
長可変な光波長フィルタになっている。
長フィルタのチャネルについて図6を参照して説明す
る。前記実施形態5と同様の原理によって、マルチモー
ド導波路61及び入出力導波路62,63は、コアの屈
折率が1.5065、クラッドの屈折率が1.49のとき
は、波長1.0μmの光を透過させ、また、コアの屈折
率が1.5815、クラッドの屈折率が1.565である
ときは、波長1.05μmの光を透過させるような、波
長可変な光波長フィルタになっている。
【0067】入出力導波路62,63の電磁界分布をガ
ウシアン分布で近似したときの幅は、温度にかかわら
ず、およそ2.5μmである。したがって、前記実施形
態5と同様の説明により、この光波長フィルタの波長幅
は、マルチモード導波路61及び入出力導波路62,6
3の温度にかかわらず、およそ0.002μmである。
ウシアン分布で近似したときの幅は、温度にかかわら
ず、およそ2.5μmである。したがって、前記実施形
態5と同様の説明により、この光波長フィルタの波長幅
は、マルチモード導波路61及び入出力導波路62,6
3の温度にかかわらず、およそ0.002μmである。
【0068】なお、本発明は、前記実施形態1乃至6に
基づいて説明したが、それに限定されるものではない。
導波路の屈折率、幅、長さなどの諸数値の変更は勿論の
こと、その要旨を逸脱しない範囲内で、前記実施形態以
外の構造でも、この発明を実施することができる。
基づいて説明したが、それに限定されるものではない。
導波路の屈折率、幅、長さなどの諸数値の変更は勿論の
こと、その要旨を逸脱しない範囲内で、前記実施形態以
外の構造でも、この発明を実施することができる。
【0069】例えば、実施形態1において、マルチモー
ド導波路11の長さを7500μmとしても、同じ波長
1.0μmの光を透過させる光波長フィルタが得られ
る。その場合、波長幅は、およそ0.007μmとな
る。
ド導波路11の長さを7500μmとしても、同じ波長
1.0μmの光を透過させる光波長フィルタが得られ
る。その場合、波長幅は、およそ0.007μmとな
る。
【0070】また、例えば、実施形態3において、出射
面のかわりにその面を反射面とし、出力導波路を入射面
側に接続したような構造の光波長フィルタも可能であ
る。
面のかわりにその面を反射面とし、出力導波路を入射面
側に接続したような構造の光波長フィルタも可能であ
る。
【0071】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以
下のとおりである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以
下のとおりである。
【0072】(1)構造が簡単かつ任意性のある光波長
フィルタを実現できる。
フィルタを実現できる。
【0073】(2)特殊な材料、部品を必要とせず、設
計、製作が容易である。
計、製作が容易である。
【0074】(3)導波路の屈折率を変化させる手段を
備えることによって、容易に、透過させる光の波長を変
える波長可変型光波長フィルタを得ることができる。
備えることによって、容易に、透過させる光の波長を変
える波長可変型光波長フィルタを得ることができる。
【図1】本発明の実施形態1の光波長フィルタの斜視図
である。
である。
【図2】本発明の実施形態2の光波長フィルタの斜視図
である。
である。
【図3】本発明の実施形態3の光波長フィルタの斜視図
である。
である。
【図4】本発明の実施形態4の光波長フィルタの斜視図
である。
である。
【図5】本発明の実施形態5の光波長フィルタの斜視図
である。
である。
【図6】本発明の実施形態6の光波長フィルタの斜視図
である。
である。
11,21,31,41,51,61…マルチモード導
波路、12,22,32,42,52,62…入力導波
路、13,23,33,43,53,63…出力導波
路、24,44,64…加熱用電極。
波路、12,22,32,42,52,62…入力導波
路、13,23,33,43,53,63…出力導波
路、24,44,64…加熱用電極。
Claims (5)
- 【請求項1】 屈折率が一定で幅が一定の平面型のマル
チモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射面に
接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マルチ
モード導波路の出射面に接続された少なくとも1つの出
力導波路からなり、前記入力導波路から入力された特定
の波長の光が、前記マルチモード導波路を介して前記出
力導波路に結合されるように配置されていることを特徴
とする光波長フィルタ。 - 【請求項2】 屈折率が一定で幅が一定の平面型のマル
チモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射面に
接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マルチ
モード導波路の出射面に接続された少なくとも1つの出
力導波路からなり、前記入力導波路と出力導波路はマル
チモード導波路の中心に対して対称の位置に配置されて
いることを特徴とする光波長フィルタ。 - 【請求項3】 屈折率が一定で幅が一定の平面型のマル
チモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射面に
接続された少なくとも1つの入力導波路と、前記マルチ
モード導波路の出射面に接続された少なくとも1つの出
力導波路からなり、入射面における入力導波路の位置と
出射面における出力導波路の位置を同じにしたことを特
徴とする光波長フィルタ。 - 【請求項4】 屈折率が一定で幅が一定の平面型のマル
チモード導波路と、前記マルチモード導波路の入射面に
接続された少なくとも1つの入力導波路と少なくとも1
つの出力導波路からなり、前記入力導波路と出力導波路
はマルチモード導波路の中心線に対して対称の位置に配
置されていることを特徴とする光波長フィルタ。 - 【請求項5】 請求項1乃至4のうちいずれか1項に記
載される光波長フィルタにおいて、前記マルチモード導
波路の屈折率を変化させる手段を備えたことを特徴とす
る光波長フィルタ。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP12797696A JP3700988B2 (ja) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | 光波長フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12797696A JP3700988B2 (ja) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | 光波長フィルタ |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09311233A true JPH09311233A (ja) | 1997-12-02 |
| JP3700988B2 JP3700988B2 (ja) | 2005-09-28 |
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ID=14973360
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP12797696A Expired - Fee Related JP3700988B2 (ja) | 1996-05-23 | 1996-05-23 | 光波長フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3700988B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2388672A (en) * | 2002-05-15 | 2003-11-19 | Fujitsu Ltd | Optical waveguide device, optical modulator and acousto-optic tunable filter |
| JP2005506572A (ja) * | 2001-10-20 | 2005-03-03 | キネティック リミテッド | 光フィルタ |
| JP2005221999A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Fuji Xerox Co Ltd | 光変調器及び光変調器アレイ |
| WO2007097228A1 (ja) * | 2006-02-23 | 2007-08-30 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | 導波路型光学素子 |
| US8546899B2 (en) | 2011-03-20 | 2013-10-01 | Fujitsu Limited | Light receiving element, light receiving device, and light receiving module |
-
1996
- 1996-05-23 JP JP12797696A patent/JP3700988B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| GB2388672A (en) * | 2002-05-15 | 2003-11-19 | Fujitsu Ltd | Optical waveguide device, optical modulator and acousto-optic tunable filter |
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| US7289703B2 (en) | 2002-05-15 | 2007-10-30 | Fujitsu Limited | Optical modulator, optical waveguide device and acousto-optic tunable filter apparatus |
| US7315676B2 (en) | 2002-05-15 | 2008-01-01 | Fujitsu Limited | Optical modulator, optical waveguide device and acousto-optic tunable filter apparatus |
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| Publication number | Publication date |
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