JPH09314497A - 有孔基板並びにその製造方法および装置 - Google Patents

有孔基板並びにその製造方法および装置

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JPH09314497A
JPH09314497A JP8359439A JP35943996A JPH09314497A JP H09314497 A JPH09314497 A JP H09314497A JP 8359439 A JP8359439 A JP 8359439A JP 35943996 A JP35943996 A JP 35943996A JP H09314497 A JPH09314497 A JP H09314497A
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major surface
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perforated
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Carlton G Jenkins
ジー ジェンキンズ カールトン
David R Hurst
アール ハースト デイヴィッド
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Original Assignee
Precious Plate Florida
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電池の電極集電体のような比較的薄い金属基
層ないしシートに多数の穿孔を設けてもわん曲しないよ
うにする。 【解決手段】 金属シートに設けた多数の穿孔のうちの
半数はシートの一方側の表面からシートを貫通して設
け、残りの半数の穿孔は反対側の表面からシートを貫通
して設ける。これによってシートに互いに反対向きの等
しい応力を導入し、これらの応力が互いに打ち消し合っ
て、穿孔されたシートに使用条件に正確に適合した平坦
性を与える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は有孔基層ないし基板
(perforated substrate)、詳し
くは多数の穿孔(perforations)を設けた
平坦な導電性の基層ないし基板(以下基板と言う)に関
する。この基板は、例えば、電気化学電池の集電体とし
て有用である。
【0002】
【従来の技術】導電性シートにその一面のみからパンチ
(punch)その他の方法によって穴を開けて穿孔基
板を形成することは公知である。米国特許第43454
52号は鉛合金の基板材料シートで電池グリッドを形成
する穿孔装置(punching apparatu
s)を記述している。この穿孔装置は穿孔されるべき基
板材料の支持手段と、支持された材料の上方に配備され
基板の一方側から穴を開けるための付勢されたパンチ部
材(punch member)とを有する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】問題はパンチ(穿孔)
動作によって各孔の反対側に生じた「バリ」ないし「か
えり」(burr)が基板に応力(stress fo
rce)を導入し、これが基板を曲げることである。従
来このわん曲ないしそり(bow)は「かえり」を押し
潰すことによって基板から除去している。しかし、基板
の幅が大きくなると、わん曲の補正の困難さが増す。
【0004】電池の製造において、集電体基板はこれに
電極活物質を高速で積層させるためにできるだけ平坦で
あることが極めて重要である。しかし、許容できる程に
平坦な基板を提供するのに十分に「かえり」を押し潰す
ことはしばしば困難であり、穿孔された基板からわん曲
を除くためのプレスによる補正作業は製作行程に不必要
な一工程を付加することになる。従って、例えば電池の
商業的生産のような商業的使用に要求される平面性の仕
様に合致した導電性穿孔基板が必要である。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の有孔基板は、表
裏平行な第1と第2の主表面を有し、これらの主表面は
それぞれ他方の主表面へ基板を貫通延長する多数の穿孔
の類似のパターンを有し、一方の主表面からの孔と他方
の主表面からの隣接する孔とは、両主表面のどの方向に
おいても交互に配置されている。このように穿孔を均一
に交互に配置することにより、各々の穿孔に生成された
応力は基板の反対側の主表面を通して形成された隣接す
る穿孔によって実質的に打ち消され、基板は極めて平坦
な形状を維持する。このことは穿孔の半数は基板の一方
側から形成し、他の半数はその反対側から形成する複合
穿孔技術(compound punching te
chnique)によって達成される。この穿孔基板
は、例えば、電気化学電池における電極の集電体として
有用であり、このように穿孔された基板は商業的電池生
産において使用するのに非常に好ましい。
【0006】
【発明の実施の形態】図1、図2は好ましくは導電性材
料からなり、図3、図4に示す本発明の複合穿孔装置1
2を使用して形成された有孔基板10を示す。この複合
穿孔装置12は隔置関係にある第1プレート14と第2
プレート16とを含んでいる。図示していないが、有孔
基板10は無孔ないし穿孔されていない巻回シート材料
20(図3、4)から作られる。このシートはロールか
ら引き出されると、表裏をなす互いに平行に配置された
第1および第2の主表面22、24を有するほぼ平坦な
形状を呈する。基板材料のシート20は、例えば、軟鋼
からなり、両プレート14、16間に形成された中間ス
ペース26に沿って、これら両プレートの端近傍に配置
された2個の偏心ローラ28、30の引張り力によって
動かされる。シート20の他の適当な材料には、銅、ア
ルミニウム、鉄、ニッケル、亜鉛、チタン、ステンレス
スチールおよびこれらの合金がある。
【0007】複数の第1パンチ部材32が第1プレート
14の内側円筒状開口34に摺動可能に嵌合されてい
る。これらの第1パンチ部材32は回転可能なカム駆動
シャフト38上に偏心して取り付けられた第1カム部材
36に係合している。カム駆動シャフト38の完全な1
回転がカム部材36に完全な1穿孔サイクルの往復運動
をさせて、第1パンチ部材32を開口34内で上昇行程
(アップストローク)位置(図3)と下降行程(ダウン
ストローク)位置(図4)との間を移動させ、アップス
トローク位置に復帰させる。ダウンストロークにおい
て、カム駆動シャフト38の回転によりカム部材36が
第1パンチ部材32を第1プレート14中の開口34を
通して無孔基板20の方へ押し動かし、第1パンチ部材
32が第2プレート16の対向面上に支持されたシート
材料を貫通する。シュート40が第1パンチ部材32の
開口34に合致するように第2プレート16に設けら
れ、パンチ部材による基板からの打ち抜き片(ブラン
ク)42(図4)が収集位置(図示省略)に移動する通
路として作用する。
【0008】同様にして、第2プレート16も複数の円
筒状開口44を有しており、ここに摺動可能な第2パン
チ部材46が嵌合されている。第1プレート14の第1
パンチ部材32の場合のように、第2パンチ部材46も
第2の回転可能なカム駆動シャフト50に偏心して取付
けられた第2カム部材48に係合している。駆動シャフ
ト50の完全な1回転がカム部材48に完全な1穿孔サ
イクルの往復運動をさせ、第2パンチ部材46を開口4
4内でアップストローク位置(図3)とダウンストロー
ク(図4)の間を移動させ、アップストローク位置に復
帰させる。ダウンストロークにおいて、カム駆動シャフ
ト50の回転によりカム部材48が第2パンチ部材46
を開口44を通して押し動かし、第1プレート14の対
向面で支持されたシート材料20を貫通させる。シュー
ト52が円筒状開口44と一致して第1プレート14に
設けられ、第2パンチ部材によってシート材料20から
打ち抜かれたブランク54を収集位置(図示省略)へ移
動させる。この点に関し、本発明の複合穿孔装置12
は、ブランク42、54が重力によってシュート40、
52を通って落下するように第1および第2プレート1
4、16を配置することが好ましい。すなわち、プレー
ト14、16を互いに上下に配置するよりも横並びに配
置する方が好ましい。
【0009】本発明の一つの態様において、第1および
第2穿孔サイクルが同時に一致して動作されて穿孔サイ
クルのダウンストローク中、パンチ部材32、46が実
質上同時に基板シート20を貫通するのが好ましい。し
かし、第1および第2穿孔サイクルが順次動作されて基
板材料シート20を貫通することも本発明の範囲に含ま
れる。本発明のこの後者の態様において、「順次」と
は、パンチ部材32または46のいずれか一方が基板材
料を貫通した後、それと分かる時間間隔をおいて他方の
パンチ部材が動作することである。この時間間隔は1秒
以下から基板を各表面側から貫通する別個の工程の間の
時間間隔までの範囲である。基板材料20を貫通するの
にパンチ部材32、46を実質上同時に作動させるか、
または順次に作動させるかにかかわらず、この複合パン
チ技術は互いに逆向きの等しい応力を基板の各穿孔に導
入し、これらの応力が本質的に打ち消し合って、有孔基
板10に対する所望の平坦特性を維持する。
【0010】第1パンチ部材32とその支持プレート1
4の構造について、第2パンチ部材46と第2プレート
16も同様の構造をしていることを念頭において、詳細
に説明する。各第1パンチ部材32は拡大部56、本体
部58および切断部60を有している。拡大部56は開
口34の大径部62内に移動可能に嵌合する寸法に形成
されている。開口34の大径部62は段部66を形成す
る棚部64まで延長している。段部66は両プレート1
4、16間の中間スペース26に開口し、パンチ部材3
2の拡大部56よりも小さい断面直径を有し、パンチ部
材32の本体部58を摺動可能に受け入れる寸法に形成
されている。棚部64はばね68をバイアスする座を形
成している。このばねはパンチ部材32の本体部58に
巻回され、パンチ部材32の拡大部56によって受け止
められている。各バイアスばね68はその関連するパン
チ部材に両プレート14、16間の中間スペース26か
ら離れる方向に連続的に力を加える。パンチストップ7
0がプレート14の外面に取り付けられ、開口34の大
径部62を部分的に閉鎖し、これによって第1パンチ部
材32がばね68の力によってそれぞれの開口34から
押し出されるのを阻止する。パンチストップ70は、パ
ンチ部材32が摩耗したときに交換できるように取り外
し可能であるのが好ましい。
【0011】同様に、第2パンチ部材46も拡大部7
2、本体部74および切断部76を有している。拡大部
72は開口44の大径部78内に移動可能に嵌合し、大
径部78は段部82を形成する棚部80に延長してい
る。段部82は両プレート14、16間の中間スペース
26に開口している。段部82はパンチ部材46の本体
部74を移動可能に受け入れる寸法に形成され、一方棚
部80はパンチ部材の拡大部72によって受け止められ
本体部74に巻回されたバイアスばね84のための座を
形成している。ばね84は関連するパンチ部材46を中
間スペース26から離すように連続的に付勢している。
他方、取り外し可能なパンチストップ86が開口44の
大径部78を部分的に閉鎖し、第2パンチ部材46がば
ねによってそれぞれの開口44から押し出されるのを阻
止している。
【0012】図3は第1と第2のプレート14、16に
よって支持されたパンチ部材32、46をそのアップス
トロークの頂点において示し、この位置では両者は無孔
シート材料20を穿孔していない。この位置において、
カム駆動シャフト38、50に偏心して取り付けられた
カム部材36、48は、シャフトとパンチ部材間を最短
距離とする。偏心カム36、48がシャフト38、50
上で回転し続けると、パンチ部材32、46がばね6
8、84のバイアス力に抗して押し動かされて、無孔シ
ート材料20を穿孔して有孔基板10を形成する(図
1、2および4)。シャフト38、50が回転し続ける
と、カム36、48のシャフト38、50に対する距離
が減少し、バイアスばね68、84の上方向力によりパ
ンチ部材32、46がカム部材36、48のカム面に追
従して中間スペース26から離れるように移動する。
【0013】以上説明したように、本発明の重要な点
は、シート材料20をその両側に配置されたパンチ部材
32、46によって複合パンチング(穿孔)することに
ある。1回の穿孔サイクルが完了すると、両側からのパ
ンチングが実質上同時に実行されたかまたは順次実行さ
れたかにかかわらず、駆動シャフト38、50の回転に
応じてパンチ部材32、46は穿孔された基板10から
引き抜かれ、カム部材36、48はシャフトに対して最
短距離のアップストローク位置に置かれる。それから基
板材料のシートが、次のパンチング工程の前に、偏心ロ
ーラ28、30の動作によって所定長さだけ前方向に送
られる。
【0014】シート材料の複合パンチング中、パンチン
グが実質上同時に実行されるかまたは順次実行されるか
にかかわらず、パンチ部材の往復動が正確に制御され、
無孔基板20の両主表面22、24を通して穿設された
隣り合う孔と孔の間の距離が常にほぼ均一に維持される
ことが必要である。従って、ブロック88、90で示す
カウンタバランス(つり合わせ手段)と、ブロック9
2、94で示す衝撃吸収手段(ショックアブソーバ)を
カム駆動シャフト38、50に設けて、パンチング工程
の全サイクルを通して完全に平衡した運動を保証するこ
とが好ましい。さらに、基板材料シートの所定長さの送
りが偏心ローラ28、30によって正確に制御されるこ
とも重要である。ローラ28、30は、パンチ部材3
2、46が両者とも開口34、44内で上方向に変位さ
れている穿孔サイクルのアップストローク相中に(図
3)、シート材料を移動させるように構成されている。
従って、パンチ部材がカム36、48によってそのダウ
ンストローク動作を開始したときには、偏心ローラ2
8、30が回転して有孔基板12との接触から離れ、穿
孔サイクルのダウンストローク相中(図4)基板は静止
状態に維持される。
【0015】上述のようにして、図3、4でブロック9
6で示した同期化手段が、ローラ駆動シャフト98、1
00に取り付けられた偏心ローラ28、30の回転運動
に関連させてカム駆動シャフト38、50の回転運動を
制御する。ローラ28、30は所定の回転角度の回転に
より基板をプレート14、16間の中間スペース26に
沿って前方向へ動かし、これによって続くパンチングサ
イクルの開始時には、基板シートがその無孔部分をパン
チ部材32、46と一致させるのに必要な長さだけすで
に前進し、さらに、先行するパンチ部材が後続する穿孔
から基板の両側主表面からパンチされた交互に配置され
た孔の間の距離に正確に等しい距離だけ離れるようにす
る。
【0016】基板材料のシートがもはや偏心ローラ2
8、30に係合しないと、同期化手段96がカム駆動シ
ャフト38、50によってカム36、48を回転させて
対向するパンチ部材32、46をばね68、84のバイ
アスカに抗してパンチングサイクルのダウンストローク
相へ押し動かす。これによりパンチ部材が基板材料の無
孔のシート20の両主表面を貫通する。カム駆動シャフ
ト38、50の回転中、バイアスばね68、84はパン
チ部材32、46に連続的に力を加えてこれを基板から
離してカム部材のカム面に接触させる。ローラ駆動シャ
フト98、100上のカウンタバランス102、104
と、カム駆動シャフト38、50上のカウンタバランス
88、90とがこれらのシャフトの回転運動を振動のな
い状態に維持し、一方同期化手段96が基板シート20
の段階的複合パンチングと送りを保証して均一にパンチ
された平坦な製品を提供する。
【0017】この完成された有孔形態において、有孔基
板10は複数の孔または開口106(図1および2)を
有し、それぞれ実質上円形であり、主表面のいずれに沿
っていずれの方向において見ても、一つおきの孔106
が交互に第1および第2主表面22、24から基板の厚
みを通して穿孔されるようにパターン化されている。好
ましくは、孔106は直径約0.5mmから約3.0m
mの間であり、開口率(aperture rate)
は基板材料の表面積の約25%から約75%の間であ
る。さらに、シート材料は好ましくは厚みが約0.01
3mmから0.25mmの間である。
【0018】図2に示すように、このようにして穿孔さ
れた基板10は各孔に「かえり」108の形態の包囲応
力域(stress region)を有する。この応
力域はこの孔を穿設するのにパンチ部材を貫通させた主
表面とは反対側の主表面の平面から外方へ突出してい
る。各「かえり」は孔のすぐ近くに応力を発生させ、こ
のため基板材料のシートはその元の平坦形状から変形す
る。しかしながら、基板の両側から穿設する孔を交互に
配置形成することによって形成された「かえり」は両主
表面から交互に突出することになる。これらの孔は同一
形状であるので、「かえり」の交互配設パターンは基板
の穿孔域の全体にわたって互いに反対向きの等しい応力
を発生させる。円形以外の孔の形状も本発明の複合穿孔
装置には可能であり、適当な有孔基板を提供できる。
【0019】このようにして、各孔は基板のどの方向に
延長する範囲においても局所化された応力を有するが、
これらの局所的応力は互いに打消し合って穿孔された基
板に一般的平坦特性を与える。従って本発明の有孔基板
は従来の穿孔基板よりも実質的により長くより幅広いも
のを提供でき、しかも電池の商業的生産に要求される平
坦性の許容仕様に合致しまたは超過することができる。
【0020】この様に、本発明の方法においては、穿孔
の半数は基板の一方側から形成され、他の半数が反対側
から形成される。この複合穿孔技術は基板に互いに反対
向きの等しい応力を導入し、これらの応力が実質的に互
いに打消し合い従来技術によって得られるよりもより平
らな製品を提供する。その結果、基板の両面を通して均
等に分布した等数の穿孔が形成されている電極の構成要
素が得られる。これは電気化学電池の集電体として有用
である。両面を通して形成された穿孔を均等に交互に配
置することにより、各穿孔に生成された応力が基板の反
対側の主表面を通して形成された応力によって実質的に
打消される。このようにして有孔基板は比較的平らな形
状を維持する。
【0021】以下本発明の諸実施態様を要約して掲げ
る。 (1)平行な第1と第2の主表面を有し、各主表面が応
力域で囲まれた基板の部分を除いてそれぞれ穿設された
複数の孔によって形成された応力域の類似のパターンを
有し、一方の主表面から形成された穿孔と他方の主表面
から形成された隣接する穿孔とを主表面のどの方向に沿
っても交互に配置して、互いに実質的に打ち消し合う互
いに反対向きの等しい応力を基板に導入して平面特性を
与えてなる実質上平らな有孔基板。 (2)各穿孔の応力域が「かえり」である(1)項の基
板。 (3)導電性材料からなる(1)項の基板。 (4)電気化学電池の集電体として使用される(1)項
の基板。 (5)鋼、銅、アルミニウム、鉄、ニッケル、亜鉛、チ
タン、ステンレススチールおよびこれらの合金からなる
群から選ばれた導電性材料からなる(1)項の基板。 (6)第1と第2の主表面間の厚さが約0.013mm
から約0.25mmである(1)項の基板。 (7)穿孔がほぼ円形である(1)項の基板。 (8)穿孔が約0.5mmから約3.0mmの直径を有
する(1)項の基板。 (9)穿孔が基板中に約25%から約75%の穿孔率
(perforationrate)で形成されている
(1)項の基板。 (10)表裏をなす平行な第1と第2の主表面を有し、
各主表面に一方の主表面から基板を貫通して他方の主表
面にパンチによって貫通穿設された複数の孔の類似のパ
ターンを設け、一方の主表面からの穿孔と他方の主表面
からの隣接する穿孔とを主表面のどの方向に沿っても交
互に配置し、応力域によって囲まれた基板の部分を除い
て穿設された孔によって生成された互いに反対向きの等
しい応力を基板に導入し、これらの応力が互いに実質上
打ち消し合って平面特性を与えてなる実質上平らな有孔
基板。 (11)穿孔が両主表面に交互に配置された「かえり」
を形成する(10)項の基板。 (12)電気化学電池の集電体として使用される(1
0)項の基板。 (13)導電性材料からなる(10)項の基板。 (14)鋼、銅、アルミニウム、鉄、ニッケル、亜鉛、
チタン、ステンレススチールおよびこれらの合金からな
る群から選ばれた導電性材料からなる(10)項の基
板。 (15)第1と第2の主表面間の厚さが約0.013m
mから約0.25mmである(10)項の基板。 (16)穿孔がほぼ円形である(11)項の基板。 (17)穿孔が約0.5mmから約3.0mmの直径を
有している(16)項の基板。 (18)穿孔が基板中に約25%から約75%の穿孔率
で形成されている(10)項の基板。 (19)表裏平行な第1と第2の主表面を有し、各主表
面に一方の主表面から始まり基板を貫通して他方の主表
面に延長して穿設された複数の孔の類似のパターンを設
け、一方の主表面からの穿孔と他方の主表面からの隣接
する穿孔とを主表面のどの方向に沿っても交互に配置
し、応力域によって囲まれた基板の部分を除いて穿設さ
れた孔によって生成された互いに反対向きの等しい応力
を基板に導入し、これらの応力が互いに実質上打ち消し
合って平面特性を与えてなる実質上平らな有孔基板。 (20)電気化学電池の集電体として使用される(1
9)項の基板。 (21)導電性材料からなる(19)項の基板。 (22)穿孔が主表面に交互に配置された「かえり」を
形成する(19)項の基板。 (23)鋼、銅、アルミニウム、鉄、ニッケル、亜鉛、
チタン、ステンレススチールおよびこれらの合金からな
る群から選ばれた導電性材料からなる(19)項の基
板。 (24)第1と第2の主表面間の厚さが約0.013m
mから約0.25mmである(19)項の基板。 (25)穿孔がほぼ円形である(19)項の基板。 (26)穿孔が約0.5mmから約3.0mmの直径を
有する(25)項の基板。 (27)穿孔が基板中に約25%から約75%の穿孔率
で形成されている(19)項の基板。 (28)a)第1と第2の平行連続主表面を有する基板
材料の無孔シートを用意し、 b)一方の表面から始まりシートを貫通して他方の表面
に延長する複数の孔の類似のパターンを設け、一方の表
面からの穿孔と他方の表面からの隣接する穿孔とを両表
面のどの方向に沿っても交互に配置することにより互い
に反対向きの等しい応力をシートに導入し、これらの応
力が互いに実質上打ち消し合って穿孔シートに平面特性
を与えるようにした実質上平らな有孔基板の製造方法。 (29)同時に各表面からシートを通して孔を穿設する
ことを含む(28)項の方法。 (30)順次に各表面からシートを通して孔を穿設する
ことを含む(28)項の方法。 (31)ほぼ円形の孔を穿設することを含む(28)項
の方法。 (32)穿孔を基板中に約25%から約75%の穿孔率
で形成することを含む(28)項の方法。 (33)第1と第2の主表面間の厚さが約0.013m
mから約0.25mmであるシートを用意することを含
む(28)項の方法。 (34)a)第1と第2の平行連続主表面を有する基板
材料の無孔シートを用意し、 b)一方の主表面から始まりシートを貫通して他方の主
表面に延長する複数の孔の類似のパターンをパンチング
によって設け、一方の主表面からの穿孔と他方の表面か
らの隣接する穿孔とを両主表面のどの方向に沿っても交
互に配置することにより互いに反対向きの等しい応力を
シートに導入し、これら応力が互いに実質上打ち消し合
って穿孔シートに平面特性を与えるようにした実質上平
らな有孔基板の製造方法。 (35)同時に各表面からシートを通して孔をパンチン
グによって形成することを含む(34)項の方法。 (36)順次に各表面からシートを通して孔を穿設する
ことを含む(34)項の方法。 (37)ほぼ円形の孔を穿設することを含む(34)項
の方法。 (38)穿孔を基板中に約25%から約75%の穿孔率
で形成することを含む(34)項の方法。 (39)第1と第2の主表面間の厚さが約0.013m
mから約0.25mmであるシートを用意することを含
む(34)項の方法。 (40)第1と第2の主表面を有する実質状平坦な基板
を製造するために、 a)基板の第1の主表面に第2の主表面を通って延長す
る第1の複数の穿孔を形成する第1のパンチング手段
と、 b)基板の第2の主表面に第1の主表面を通って延長す
る第2の複数の穿孔を形成する第2のパンチング手段
と、 c)第1と第2のパンチング手段を同期動作させて第1
と第2の穿孔を実質上同時に基板に穿設する同期化手段
とからなり、両主表面の一方から形成された穿孔と他方
の主表面から形成された隣接する穿孔とを主表面のどの
方向に沿っても交互に配置し、互いに反対向きの等しい
応力を基板に導入し、これら応力が互いに実質上打ち消
し合って穿孔基板に平面特性を与えるようにした実質上
平らな有孔基板の製造装置。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による有孔基板の一部の平面図である。
【図2】図1の線2−2に沿う断面図である。
【図3】本発明による有孔基板を製造するための複合穿
孔装置の一部断面図で、パンチ部材が上昇行程位置にあ
る状態を示す図である。
【図4】図3においてパンチ部材が下降行程位置にある
状態を示す図である。
【符号の説明】
10 有孔基板 12 複合穿孔装置 14、16 プレート 20 巻回シート材料 22、24 主表面 26 中間スペース 28、30 偏心ローラ 32、46 パンチ部材 34、44 開口 36、48 カム部材 38、50 カム駆動シャフト 40、52 シュート 42、54 ブランク 56、72 パンチ部材32、46の拡大部 58、74 パンチ部材32、46の本体部 60、76 パンチ部材32、46の切断部 62、78 開口34、44の大径部 64、80 開口34、44の棚部 66、82 開口34、44の段部 68、84 ばね 70、86 パンチストップ 88、90、102、104 カウンタバランス 92、94 衝撃吸収手段 96 同期化手段 98、100 ローラ駆動シャフト 106 孔
フロントページの続き (71)出願人 597012611 2656 Electronics Way, West Palm Beach,Flo rida 33407,U.S.A. (72)発明者 デイヴィッド アール ハースト アメリカ合衆国、フロリダ州 33462、 マナラパン、カーリュー ロード 69

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1と第2の主表面を有し、各主表面が
    応力域で囲まれた基板の部分を除いてそれぞれ穿設され
    た複数の孔によって形成された応力域の類似のパターン
    を有し、一方の主表面から形成された穿孔と他方の主表
    面から形成された隣接する穿孔とを主表面のどの方向に
    沿っても交互に配置して、互いに実質的に打ち消し合う
    互いに反対向きの等しい応力を基板に導入して平面特性
    を与えてなる有孔基板。
  2. 【請求項2】 第1と第2の主表面を有し、各主表面に
    一方の主表面から基板を貫通して他方の主表面にパンチ
    によって貫通穿設された複数の孔の類似のパターンを設
    け、一方の主表面からの穿孔と他方の主表面からの隣接
    する穿孔とを主表面のどの方向に沿っても交互に配置
    し、応力域によって囲まれた基板の部分を除いて穿設さ
    れた孔によって生成された互いに反対向きの等しい応力
    を基板に導入し、これらの応力が互いに打ち消し合って
    平面特性を与えてなる有孔基板。
  3. 【請求項3】 第1と第2の主表面を有し、各主表面に
    一方の主表面から始まり基板を貫通して他方の主表面に
    延長して穿設された複数の孔の類似のパターンを設け、
    一方の主表面からの穿孔と他方の主表面からの隣接する
    穿孔とを主表面のどの方向に沿っても交互に配置し、応
    力域によって囲まれた基板の部分を除いて穿設された孔
    によって生成された互いに反対向きの等しい応力を基板
    に導入し、これらの応力が互いに打ち消し合って平面特
    性を与えてなる有孔基板。
  4. 【請求項4】 a)第1と第2の連続主表面を有する無
    孔基板を用意し、 b)一方の主表面から始まり基板を貫通して他方の主表
    面に延長する複数の孔の類似のパターンを設け、一方の
    主表面からの穿孔と他方の主表面からの隣接する穿孔と
    を主表面のどの方向に沿っても交互に配置することによ
    り互いに反対向きの等しい応力を基板に導入し、これら
    応力が互いに打ち消し合って穿孔基板に平面特性を与え
    るようにした有孔基板の製造方法。
  5. 【請求項5】 a)第1と第2の連続主表面を有する無
    孔基板を用意し、 b)一方の主表面から始まり基板を貫通して他方の主表
    面に延長する複数の穿孔の類似のパターンをパンチング
    によって設け、一方の主表面からの穿孔と他方の主表面
    からの隣接する穿孔とを両主表面のどの方向に沿っても
    交互に配置することにより互いに反対向きの等しい応力
    を基板に導入し、これら応力が互いに打ち消し合って穿
    孔基板に平面特性を与えるようにした有孔基板の製造方
    法。
  6. 【請求項6】 第1と第2の主表面を有する実質上平坦
    な基板を製造するために、 a)基板の第1の主表面に第2の主表面を通って延長す
    る第1の複数の穿孔を形成する第1のパンチング手段
    と、 b)基板の第2の主表面に第1の主表面を通って延長す
    る第2の複数の穿孔を形成する第2のパンチング手段
    と、 c)第1と第2のパンチング手段を同期動作させて第1
    と第2の穿孔を実質上同時に基板に設ける同期化手段と
    からなり、 両主表面の一方から形成された穿孔と他方の主表面から
    形成された隣接する穿孔とを主表面のどの方向に沿って
    も交互に配置して、互いに反対向きの等しい応力を基板
    に導入し、これら応力が互いに打ち消し合って穿孔基板
    に平面特性を与えるようにした有孔基板の製造装置。
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