JPH09317768A - 静圧流体軸受 - Google Patents
静圧流体軸受Info
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- JPH09317768A JPH09317768A JP8139326A JP13932696A JPH09317768A JP H09317768 A JPH09317768 A JP H09317768A JP 8139326 A JP8139326 A JP 8139326A JP 13932696 A JP13932696 A JP 13932696A JP H09317768 A JPH09317768 A JP H09317768A
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- Japan
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- groove
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- hydrostatic bearing
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Abstract
(57)【要約】
【課題】可動体と固定体との間隙に供給する圧縮流体に
よる可動体の撓みを抑え、軸受け剛性および最大負荷容
量を向上させる。 【解決手段】固定体と該固定体を囲繞する可動体とから
なり、上記可動体の内壁面には、移動方向に対して直角
に左右対称な裾広がり状の圧力調整溝を形成し、該圧力
調整溝に圧縮流体を供給することで可動体を固定体上で
静圧支持して静圧流体軸受を構成する。
よる可動体の撓みを抑え、軸受け剛性および最大負荷容
量を向上させる。 【解決手段】固定体と該固定体を囲繞する可動体とから
なり、上記可動体の内壁面には、移動方向に対して直角
に左右対称な裾広がり状の圧力調整溝を形成し、該圧力
調整溝に圧縮流体を供給することで可動体を固定体上で
静圧支持して静圧流体軸受を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超精密旋盤、フラ
イス盤、平面研削盤などの精密加工装置や精密測定測定
装置のスライド装置等を構成する静圧流体軸受に関する
ものである。
イス盤、平面研削盤などの精密加工装置や精密測定測定
装置のスライド装置等を構成する静圧流体軸受に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、超精密旋盤、フライス盤、平面研
削盤などの精密加工装置や精密測定測定装置には、高精
度な案内および位置決めを行うためのスライド装置とし
て静圧流体軸受が使用されている。
削盤などの精密加工装置や精密測定測定装置には、高精
度な案内および位置決めを行うためのスライド装置とし
て静圧流体軸受が使用されている。
【０００３】図６（ａ）、（ｂ）に一般的な静圧流体軸
受Ｂの構造を示すように、外周のエッジ部に排気溝２３
を備えた固定体２２と、該固定体２２を囲繞する可動体
２１とからなり、上記固定体２２と可動体２１との間隙
に圧縮流体を供給することにより可動体２１を固定体２
２上で静圧支持するとともに、ボールネジあるいはリニ
アモー等の駆動手段（不図示）により可動体１の移動お
よび位置決めを行うようになっていた。
受Ｂの構造を示すように、外周のエッジ部に排気溝２３
を備えた固定体２２と、該固定体２２を囲繞する可動体
２１とからなり、上記固定体２２と可動体２１との間隙
に圧縮流体を供給することにより可動体２１を固定体２
２上で静圧支持するとともに、ボールネジあるいはリニ
アモー等の駆動手段（不図示）により可動体１の移動お
よび位置決めを行うようになっていた。
【０００４】また、図７に示すように、可動体２１の各
内壁面２１０には移動方向と平行な細長の流体溝２１１
が、移動方向と直角な方向には上記流体溝２１１より浅
いＴ字状の圧力導入溝２１２が左右対称にそれぞれ複数
個刻設してあり、各内壁面２１０の流体溝２１１には可
動体２１の内部に穿設する供給通路２１４から噴出孔２
１５を介して圧縮流体を噴出させるようになっていた。
内壁面２１０には移動方向と平行な細長の流体溝２１１
が、移動方向と直角な方向には上記流体溝２１１より浅
いＴ字状の圧力導入溝２１２が左右対称にそれぞれ複数
個刻設してあり、各内壁面２１０の流体溝２１１には可
動体２１の内部に穿設する供給通路２１４から噴出孔２
１５を介して圧縮流体を噴出させるようになっていた。
【０００５】そして、上記可動体２１の供給通路２１４
に圧縮流体を供給し、噴出孔２１５より各内壁面２１０
の流体溝２１１に噴出させることにより圧力導入溝２１
２を介して固定体２２と可動体２１との間隙に静圧流体
層を形成して静圧支持するようになっていた。
に圧縮流体を供給し、噴出孔２１５より各内壁面２１０
の流体溝２１１に噴出させることにより圧力導入溝２１
２を介して固定体２２と可動体２１との間隙に静圧流体
層を形成して静圧支持するようになっていた。
【０００６】また、このような静圧流体軸受Ｂにおい
て、軸受け剛性（モーメント、回転方向）を高めるため
には可動体２１の内壁面２１０に形成する圧力導入溝２
１２の面積を大きくする必要があり、その溝２１２を図
８ａに示す田字状をした圧力導入溝２１２や、さらには
図８ｂに示す多孔質体からなる圧力導入溝２１２とした
ものもあった。
て、軸受け剛性（モーメント、回転方向）を高めるため
には可動体２１の内壁面２１０に形成する圧力導入溝２
１２の面積を大きくする必要があり、その溝２１２を図
８ａに示す田字状をした圧力導入溝２１２や、さらには
図８ｂに示す多孔質体からなる圧力導入溝２１２とした
ものもあった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記静圧流
体軸受Ｂでは、可動体２１の噴出孔２１５より圧縮流体
を噴出して固定体２２と可動体２１との間隙に静圧流体
層を形成すると、図９のように可動体２１の各内壁面２
１０の中央部が外側に撓み、可動体２１と固定体２１と
の間隙が大きくなるといった課題があった。即ち、圧力
導入溝２１２の溝形状（溝深さや溝幅、溝長さ）は固定
体２２と可動体２１との間隙幅に応じて最適値が設計さ
れており、上述の如く可動体２１の内壁面２１０の中央
部が外側に撓んで間隙幅が変化すると、圧力導入溝２１
２の溝形状が最適設計から外れることから軸受け剛性
（モーメント、回転方向）が著しく低下するとともに、
振動を誘発したり、最大負荷容量が低下し、さらには圧
縮流体の使用量が多くなるといった課題があった。
体軸受Ｂでは、可動体２１の噴出孔２１５より圧縮流体
を噴出して固定体２２と可動体２１との間隙に静圧流体
層を形成すると、図９のように可動体２１の各内壁面２
１０の中央部が外側に撓み、可動体２１と固定体２１と
の間隙が大きくなるといった課題があった。即ち、圧力
導入溝２１２の溝形状（溝深さや溝幅、溝長さ）は固定
体２２と可動体２１との間隙幅に応じて最適値が設計さ
れており、上述の如く可動体２１の内壁面２１０の中央
部が外側に撓んで間隙幅が変化すると、圧力導入溝２１
２の溝形状が最適設計から外れることから軸受け剛性
（モーメント、回転方向）が著しく低下するとともに、
振動を誘発したり、最大負荷容量が低下し、さらには圧
縮流体の使用量が多くなるといった課題があった。
【０００８】そこで、可動体２１の変形を防ぐために肉
厚を厚くすることも考えられるが、この場合、可動体２
１の重量増加に伴い摺動特性を大きく阻害する恐れがあ
った。
厚を厚くすることも考えられるが、この場合、可動体２
１の重量増加に伴い摺動特性を大きく阻害する恐れがあ
った。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課
題に鑑み、固定体と該固定体を囲繞する可動体とからな
り、上記可動体の内壁面には、移動方向に対して直角に
裾広がり状の圧力導入溝を左右対称に備え、該圧力導入
溝に圧縮流体を供給することにより可動体を固定体上で
静圧支持して静圧流体軸受を構成したものである。
題に鑑み、固定体と該固定体を囲繞する可動体とからな
り、上記可動体の内壁面には、移動方向に対して直角に
裾広がり状の圧力導入溝を左右対称に備え、該圧力導入
溝に圧縮流体を供給することにより可動体を固定体上で
静圧支持して静圧流体軸受を構成したものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
る。
る。
【００１１】図１は本発明の実施形態の一例である静圧
流体軸受Ａを示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は主要
部の縦断面図であり、外周のエッジ部に排気溝３を備え
た四角柱の固定体２と、該固定体２を囲繞する固定体１
とからなり、上記固定体２と可動体１との間隙に圧縮流
体を供給することにより可動体１を固定体２上で静圧支
持するとともに、ボールネジあるいはリニアモー等の駆
動手段（不図示）により可動体１の移動および位置決め
を行うようになっている。
流体軸受Ａを示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は主要
部の縦断面図であり、外周のエッジ部に排気溝３を備え
た四角柱の固定体２と、該固定体２を囲繞する固定体１
とからなり、上記固定体２と可動体１との間隙に圧縮流
体を供給することにより可動体１を固定体２上で静圧支
持するとともに、ボールネジあるいはリニアモー等の駆
動手段（不図示）により可動体１の移動および位置決め
を行うようになっている。
【００１２】また、図２に示すように、可動体１の各内
壁面１０には移動方向と平行な細長の流体溝１１を設け
るとともに、移動方向と直角な方向には上記流体溝１１
より浅い溝深さが３〜２５μｍ程度の圧力導入溝１２を
左右対称にそれぞれ複数個刻設してなり、上記圧力導入
溝１２の溝形状を中央部から側端部に向かって裾広がり
状としてある。また、可動体１の内部には供給通路１４
を穿設してあり、該供給通路１４は噴出孔１５を介して
各内壁面１０の流体溝１１と連通させてある。
壁面１０には移動方向と平行な細長の流体溝１１を設け
るとともに、移動方向と直角な方向には上記流体溝１１
より浅い溝深さが３〜２５μｍ程度の圧力導入溝１２を
左右対称にそれぞれ複数個刻設してなり、上記圧力導入
溝１２の溝形状を中央部から側端部に向かって裾広がり
状としてある。また、可動体１の内部には供給通路１４
を穿設してあり、該供給通路１４は噴出孔１５を介して
各内壁面１０の流体溝１１と連通させてある。
【００１３】なお、噴出孔１５より流体溝１１に噴出さ
れた圧縮流体は絞り溝１３を介して圧力導入溝１２に導
入するようになっている。
れた圧縮流体は絞り溝１３を介して圧力導入溝１２に導
入するようになっている。
【００１４】そして、上記可動体１の供給通路１４に圧
縮流体を供給して噴出孔１５から流体溝１１に噴出し、
該圧力導入溝１２を介して固定体２と可動体１との間隙
に静圧流体層を形成することにより可動体１を固定体２
上で静圧支持するようになっている。
縮流体を供給して噴出孔１５から流体溝１１に噴出し、
該圧力導入溝１２を介して固定体２と可動体１との間隙
に静圧流体層を形成することにより可動体１を固定体２
上で静圧支持するようになっている。
【００１５】また、本発明は可動体１の各内壁面１０に
形成する圧力導入溝１２の溝形状を裾広がり状としてあ
るため、固定体２と可動体１との間隙に供給する圧縮流
体による可動体１の変形を抑えることができる。
形成する圧力導入溝１２の溝形状を裾広がり状としてあ
るため、固定体２と可動体１との間隙に供給する圧縮流
体による可動体１の変形を抑えることができる。
【００１６】即ち、圧力導入溝１２の溝形状を裾広がり
状とすることにより内壁面１０の中央部における圧力面
積を小さくし、内壁面１０の両側端部における圧力面積
を大きくすることができるため、噴出孔１５から流体溝
１１に供給された圧縮流体は剛性の高い内壁面１０の両
側端部へ流れるため、剛性の低い内壁面１０の中央部に
おける撓みを抑えることができる。その為、固定体２と
可動体１との間隙に供給する圧縮流体の噴出圧を高める
ことができるため、軸受け剛性ならびに最大負荷容量を
大幅に向上させることができるとともに、圧縮流体の使
用量を抑えることができる。
状とすることにより内壁面１０の中央部における圧力面
積を小さくし、内壁面１０の両側端部における圧力面積
を大きくすることができるため、噴出孔１５から流体溝
１１に供給された圧縮流体は剛性の高い内壁面１０の両
側端部へ流れるため、剛性の低い内壁面１０の中央部に
おける撓みを抑えることができる。その為、固定体２と
可動体１との間隙に供給する圧縮流体の噴出圧を高める
ことができるため、軸受け剛性ならびに最大負荷容量を
大幅に向上させることができるとともに、圧縮流体の使
用量を抑えることができる。
【００１７】ところで、圧力導入溝１２の溝形状が裾広
がり状とは、図２に示すように中央部から側端部に向か
って溝幅が滑らかに広くなる構造をしたもののことであ
り、図７に示す圧力導入溝２１２のように溝幅が急激に
広がるＴ字状をしたものとは明らかに異なるものであ
る。
がり状とは、図２に示すように中央部から側端部に向か
って溝幅が滑らかに広くなる構造をしたもののことであ
り、図７に示す圧力導入溝２１２のように溝幅が急激に
広がるＴ字状をしたものとは明らかに異なるものであ
る。
【００１８】このような圧力導入溝１２の溝形状の決定
に当たっては、圧力導入溝１２の溝形状を長方形とし、
固定体２と可動体１と間隙に圧縮流体を供給した時の可
動体１の撓み量を電気マイクロ等の測定器により検出
し、この撓みカーブと同一または近似した曲面パターン
を有する溝形状とすれば良い。その為、圧力導入溝１２
の溝形状は図２に示すもの以外に、図３に示すようなベ
ルボトム状をしたもの、あるいは三角形状をしたものや
階段状に広がる形状をしたものであっても良く、、好ま
しくは撓みカーブが最小でかつ溝面積が最大となるよう
な溝形状とすれば良い。なお、圧力導入溝１２の溝形状
の決定に当たってはコンピュータシュミレーション等に
より解析した溝形状を採用することもできる。
に当たっては、圧力導入溝１２の溝形状を長方形とし、
固定体２と可動体１と間隙に圧縮流体を供給した時の可
動体１の撓み量を電気マイクロ等の測定器により検出
し、この撓みカーブと同一または近似した曲面パターン
を有する溝形状とすれば良い。その為、圧力導入溝１２
の溝形状は図２に示すもの以外に、図３に示すようなベ
ルボトム状をしたもの、あるいは三角形状をしたものや
階段状に広がる形状をしたものであっても良く、、好ま
しくは撓みカーブが最小でかつ溝面積が最大となるよう
な溝形状とすれば良い。なお、圧力導入溝１２の溝形状
の決定に当たってはコンピュータシュミレーション等に
より解析した溝形状を採用することもできる。
【００１９】次に、本発明の他の実施形態について説明
する。
する。
【００２０】図４は可動体１の内壁面１０に形成する圧
力調整溝１２の他の溝形状を示す拡大図であり、図４
（ａ）は裾広がり状の圧力調整溝１２の内部に噴出孔１
５を設けるとともに、溝１２の内部に複数個の凸部１６
を設けたものである。このように溝１２の内部に複数個
の凸部１６を設けることにより溝１２容積の増加に伴う
共振（ニューマチックハンマ）を抑えることができる。
力調整溝１２の他の溝形状を示す拡大図であり、図４
（ａ）は裾広がり状の圧力調整溝１２の内部に噴出孔１
５を設けるとともに、溝１２の内部に複数個の凸部１６
を設けたものである。このように溝１２の内部に複数個
の凸部１６を設けることにより溝１２容積の増加に伴う
共振（ニューマチックハンマ）を抑えることができる。
【００２１】図４（ｂ）は中央部で左右対称な裾広がり
状の圧力調整溝１２を連通させたものであり、該圧力調
整溝１２の内部には噴出孔１５を設けるとともに、圧力
調整溝１２の外周に複数個のスリット１７を設けたもの
である。このように溝１２の外周にスリット１７を設け
ても図４（ａ）に示す圧力調整溝１２と同様に共振（ニ
ューマチックハンマ）を抑えることができる。
状の圧力調整溝１２を連通させたものであり、該圧力調
整溝１２の内部には噴出孔１５を設けるとともに、圧力
調整溝１２の外周に複数個のスリット１７を設けたもの
である。このように溝１２の外周にスリット１７を設け
ても図４（ａ）に示す圧力調整溝１２と同様に共振（ニ
ューマチックハンマ）を抑えることができる。
【００２２】なお、本発明における圧力調整溝１２の溝
形状は、図２乃至図４に示したものだけに限定されるも
のではなく、溝幅が内壁面１０の中央部から側端部に向
かって滑らかに広がる裾広がり状をしたものであれば良
い。
形状は、図２乃至図４に示したものだけに限定されるも
のではなく、溝幅が内壁面１０の中央部から側端部に向
かって滑らかに広がる裾広がり状をしたものであれば良
い。
【００２３】
（実施例１）図２の圧力調整溝１２を有する本発明の静
圧流体軸受Ａと図８ａ〜ｃの圧力調整溝２１２を有する
従来の静圧流体軸受Ｂとを用意して剛性特性（中央ラジ
アル剛性、モーメント剛性）および最大負荷容量につい
て実験を行った。
圧流体軸受Ａと図８ａ〜ｃの圧力調整溝２１２を有する
従来の静圧流体軸受Ｂとを用意して剛性特性（中央ラジ
アル剛性、モーメント剛性）および最大負荷容量につい
て実験を行った。
【００２４】各静圧流体軸受Ａ、Ｂは固定体２、２２を
断面が正方形（一辺：６０ｍｍ）をした角柱体とし、該
固定体２、２２を囲繞する可動体１、２１には長さが１
５０ｍｍ、厚さが１５ｍｍで、かつその軸受面積が１５
０×５６（ｍｍ）であるものを使用した。また、可動体
１、２１の内壁面１０、２１０に形成する圧力導入溝１
２、２１２の溝深さは２０μｍとし、可動体１および固
定体２は共にアルミナ純度が９９．５％のアルミナセラ
ミックスで形成した。
断面が正方形（一辺：６０ｍｍ）をした角柱体とし、該
固定体２、２２を囲繞する可動体１、２１には長さが１
５０ｍｍ、厚さが１５ｍｍで、かつその軸受面積が１５
０×５６（ｍｍ）であるものを使用した。また、可動体
１、２１の内壁面１０、２１０に形成する圧力導入溝１
２、２１２の溝深さは２０μｍとし、可動体１および固
定体２は共にアルミナ純度が９９．５％のアルミナセラ
ミックスで形成した。
【００２５】そして、可動体１の供給通路１４、２１４
に４（Ｋｇ／ｃｍ2 ）の圧縮流体を供給して可動体１、
２１を固定体２、２２上で静圧支持させて剛性特性およ
び最大負荷容量を測定した。それぞれの結果は表１に示
す通りである。
に４（Ｋｇ／ｃｍ2 ）の圧縮流体を供給して可動体１、
２１を固定体２、２２上で静圧支持させて剛性特性およ
び最大負荷容量を測定した。それぞれの結果は表１に示
す通りである。
【００２６】
【表１】
【００２７】この結果、従来の静圧流体軸受Ｂは全て図
９に示すように可動体２１の内壁面２１０の中央部にお
いて外側に広がる撓みを生じたが、本発明に係る静圧流
体軸受Ａでは可動体１の変形は見られなかった。
９に示すように可動体２１の内壁面２１０の中央部にお
いて外側に広がる撓みを生じたが、本発明に係る静圧流
体軸受Ａでは可動体１の変形は見られなかった。
【００２８】その為、本発明に係る静圧流体軸受Ａは従
来の中で最も高い軸受け剛性を有する図８ｂの圧力調整
溝２１２を備える静圧流体軸受Ｂと比べて軸受け剛性を
２倍近くまで高めることができ、また、最大負荷容量が
最も高い図８ａの圧力調整溝２１２を備える静圧流体軸
受Ｂと比べても最大負荷容量を大幅に向上させることが
できた。
来の中で最も高い軸受け剛性を有する図８ｂの圧力調整
溝２１２を備える静圧流体軸受Ｂと比べて軸受け剛性を
２倍近くまで高めることができ、また、最大負荷容量が
最も高い図８ａの圧力調整溝２１２を備える静圧流体軸
受Ｂと比べても最大負荷容量を大幅に向上させることが
できた。
【００２９】（実施例２）次に、図２の圧力調整溝１２
を有する本発明の静圧流体軸受Ａと図８ｂの圧力調整溝
１２を有する従来の静圧流体軸受Ｂとを用意して、各静
圧流体軸受Ａ、Ｂの可動体１、２１を一定の強さのもと
で樹脂ハンマーにより叩いた時の振動特性について比較
実験を行った。
を有する本発明の静圧流体軸受Ａと図８ｂの圧力調整溝
１２を有する従来の静圧流体軸受Ｂとを用意して、各静
圧流体軸受Ａ、Ｂの可動体１、２１を一定の強さのもと
で樹脂ハンマーにより叩いた時の振動特性について比較
実験を行った。
【００３０】本発明に係る静圧流体軸受Ａの振動特性は
図５（ａ）に、従来の静圧流体軸受Ｂの振動特性は図５
（ｂ）にそれぞれ示す通りである。
図５（ａ）に、従来の静圧流体軸受Ｂの振動特性は図５
（ｂ）にそれぞれ示す通りである。
【００３１】この結果、本発明に係る静圧流体軸受Ａの
減衰時間は、従来の静圧流体軸受Ｂの減衰時間の１／４
と非常に短く、振動発生の少ない静圧流体軸受とできる
ことが判った。
減衰時間は、従来の静圧流体軸受Ｂの減衰時間の１／４
と非常に短く、振動発生の少ない静圧流体軸受とできる
ことが判った。
【００３２】そこで、本発明の静圧流体軸受Ａを精密加
工装置のスライド装置に採用したところ、高速、高負荷
が可能となり、切削加工や研削加工では仕上げまでの加
工時間を従来のものに比べて２／３〜１／４にまで短縮
することができ、大幅に改善することができた。
工装置のスライド装置に採用したところ、高速、高負荷
が可能となり、切削加工や研削加工では仕上げまでの加
工時間を従来のものに比べて２／３〜１／４にまで短縮
することができ、大幅に改善することができた。
【００３３】また、３次元測定装置のスライド装置に採
用したところ、耐振動特性が改善され、測定精度と測定
スピードをそれぞれ４０％程度向上させることができ
た。
用したところ、耐振動特性が改善され、測定精度と測定
スピードをそれぞれ４０％程度向上させることができ
た。
【００３４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、固定体
と該固定体を囲繞する可動体とからなり、上記可動体の
内壁面には、移動方向に対して直角に裾広がり状の圧力
調整溝を左右対称に備え、該圧力調整溝に圧縮流体を供
給することにより可動体を固定体上で静圧支持して静圧
流体軸受を構成したことにより、可動体と固定体との間
隙に供給する圧縮流体による可動体の撓みを抑えること
ができる。その為、圧縮流体の噴出圧を高めることがで
き、軸受け剛性ならびに最大負荷容量を大幅に向上させ
ることができるとともに、圧縮流体の漏れを抑えること
ができる。その結果、いままでにない高速、高負荷が可
能となり、精密測定装置に用いれば、加工精度の向上と
加工時間を短縮することができるとともに、精密測定装
置に用いれば、測定精度の向上と測定時間を短縮するこ
とができる。
と該固定体を囲繞する可動体とからなり、上記可動体の
内壁面には、移動方向に対して直角に裾広がり状の圧力
調整溝を左右対称に備え、該圧力調整溝に圧縮流体を供
給することにより可動体を固定体上で静圧支持して静圧
流体軸受を構成したことにより、可動体と固定体との間
隙に供給する圧縮流体による可動体の撓みを抑えること
ができる。その為、圧縮流体の噴出圧を高めることがで
き、軸受け剛性ならびに最大負荷容量を大幅に向上させ
ることができるとともに、圧縮流体の漏れを抑えること
ができる。その結果、いままでにない高速、高負荷が可
能となり、精密測定装置に用いれば、加工精度の向上と
加工時間を短縮することができるとともに、精密測定装
置に用いれば、測定精度の向上と測定時間を短縮するこ
とができる。
【図１】本発明の実施形態の一例である静圧流体軸受を
示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は主要部の縦断
面図である。
示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は主要部の縦断
面図である。
【図２】図１（ｂ）のＸーＸ線断面図である。
【図３】本発明に係る他の溝形状を有する圧力調整溝を
備えた断面図である。
備えた断面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は本発明に係る圧力調整溝の他
の溝形状を示す拡大図である。
の溝形状を示す拡大図である。
【図５】（ａ）は本発明に係る静圧流体軸受の減衰特性
を示すグラフであり、（ｂ）は従来の静圧流体軸受の減
衰特性を示すグラフである。
を示すグラフであり、（ｂ）は従来の静圧流体軸受の減
衰特性を示すグラフである。
【図６】一般的な静圧流体軸受を示す図であり、（ａ）
は斜視図、（ｂ）は主要部の縦断面図である。
は斜視図、（ｂ）は主要部の縦断面図である。
【図７】図６（ｂ）のＹーＹ線断面図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は従来の他の溝形状を有する圧
力調整溝を備えた断面図である。
力調整溝を備えた断面図である。
【図９】従来の静圧流体軸受を構成する可動体と固定体
との間隙に圧縮流体を供給した時の状態を示す断面図で
ある。
との間隙に圧縮流体を供給した時の状態を示す断面図で
ある。
１・・・可動体、 ２・・・固定体、 ３・・・排出
溝、 10・・・内壁面、11・・・流体溝、 12・・・圧
力導入溝、 13・・・絞り溝、14・・・供給通路、 15
・・・噴出孔、 Ａ・・・静圧流体軸受
溝、 10・・・内壁面、11・・・流体溝、 12・・・圧
力導入溝、 13・・・絞り溝、14・・・供給通路、 15
・・・噴出孔、 Ａ・・・静圧流体軸受
Claims (1)
- 【請求項１】固定体と該固定体を囲繞する可動体とから
なり、上記可動体の内壁面には、移動方向に対して直角
に裾広がり状の圧力導入溝を左右対称に備え、該圧力導
入溝に圧縮流体を供給することにより可動体を固定体上
で静圧支持してなる静圧流体軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13932696A JP3285761B2 (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | 静圧流体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13932696A JP3285761B2 (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | 静圧流体軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09317768A true JPH09317768A (ja) | 1997-12-09 |
| JP3285761B2 JP3285761B2 (ja) | 2002-05-27 |
Family
ID=15242716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13932696A Expired - Fee Related JP3285761B2 (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | 静圧流体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3285761B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8492675B2 (en) | 2008-04-21 | 2013-07-23 | Honda Motor Co., Ltd. | Laser welding Al and Fe members with Zn filler |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913120A (ja) * | 1982-07-09 | 1984-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧流体軸受 |
| JPS6237622U (ja) * | 1985-08-22 | 1987-03-05 |
-
1996
- 1996-05-31 JP JP13932696A patent/JP3285761B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913120A (ja) * | 1982-07-09 | 1984-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧流体軸受 |
| JPS6237622U (ja) * | 1985-08-22 | 1987-03-05 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3285761B2 (ja) | 2002-05-27 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |