JPH09318558A - ピンホール検査方法及び装置 - Google Patents
ピンホール検査方法及び装置Info
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- JPH09318558A JPH09318558A JP8131606A JP13160696A JPH09318558A JP H09318558 A JPH09318558 A JP H09318558A JP 8131606 A JP8131606 A JP 8131606A JP 13160696 A JP13160696 A JP 13160696A JP H09318558 A JPH09318558 A JP H09318558A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査物が大きな欠陥を有していても、光検
出器が計測不能になる程のダメージを受けることなく検
査を行うことができるピンホール検査方法及び装置を提
供する。 【解決手段】 光源からの光を被検査物に照射し、被検
査物からの通過光の光量を光検出器によって検出し、光
検出器によって検出された光量値に基づいて被検査物中
のピンホールの有無を判定するピンホール検査方法は、
光検出器によって検出された光量値に基づいて、光源が
照射する光の光量を段階的に増加させることを特徴とし
ている。
出器が計測不能になる程のダメージを受けることなく検
査を行うことができるピンホール検査方法及び装置を提
供する。 【解決手段】 光源からの光を被検査物に照射し、被検
査物からの通過光の光量を光検出器によって検出し、光
検出器によって検出された光量値に基づいて被検査物中
のピンホールの有無を判定するピンホール検査方法は、
光検出器によって検出された光量値に基づいて、光源が
照射する光の光量を段階的に増加させることを特徴とし
ている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学機器等で遮光
部材として用いられる不透明シート材中のピンホールの
有無を検査する方法及び装置に関する。
部材として用いられる不透明シート材中のピンホールの
有無を検査する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学機器においては、それを構成する部
品間の隙間等に遮光を目的として不透明シート材が用い
られている。特にカメラのシャッタ幕においては、感光
フィルムの直前において使用されるため、遮光性が強く
求められている。即ち、シャッタ幕に微小なピンホール
等の透光性欠陥部分があると、ピンホールを通過する光
がフィルムに長時間に亘って露光する。このため、微弱
な光でもフィルムを感光させるに十分な露光量（光量×
時間）となり、画質に悪影響を与えることになる。
品間の隙間等に遮光を目的として不透明シート材が用い
られている。特にカメラのシャッタ幕においては、感光
フィルムの直前において使用されるため、遮光性が強く
求められている。即ち、シャッタ幕に微小なピンホール
等の透光性欠陥部分があると、ピンホールを通過する光
がフィルムに長時間に亘って露光する。このため、微弱
な光でもフィルムを感光させるに十分な露光量（光量×
時間）となり、画質に悪影響を与えることになる。
【０００３】従来、この種の欠陥を検出するために、人
間の目による目視検査が行われてきたが、人間による検
査には、蓄積能力が短く且つ定量的ではないとか、個人
差によるばらつきがあって客観性に欠けるというような
欠点があった。そこで、最近になって、目視に頼らず、
ピンホールを通過してくる光の光量を光検出器によって
測定することにより、客観的に判定を行うことのできる
検査装置が使われるようになってきた。このような検査
装置では、微弱な光を精度よく検出するために、高感度
の受光素子や光電子増倍管（以下、「ホトマル」とい
う。）等が光検出器に用いられている。
間の目による目視検査が行われてきたが、人間による検
査には、蓄積能力が短く且つ定量的ではないとか、個人
差によるばらつきがあって客観性に欠けるというような
欠点があった。そこで、最近になって、目視に頼らず、
ピンホールを通過してくる光の光量を光検出器によって
測定することにより、客観的に判定を行うことのできる
検査装置が使われるようになってきた。このような検査
装置では、微弱な光を精度よく検出するために、高感度
の受光素子や光電子増倍管（以下、「ホトマル」とい
う。）等が光検出器に用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の技術においては、被検査物である不透明シ
ート材にクラック等の大きな欠陥がある場合、高感度の
受光素子やホトマル等の光電面に大光量が入射してしま
い、光検出器にそれを計測不能にするダメージを与えて
しまう。この種のダメージは、受光素子やホトマルを暗
室内に数時間放置すれば回復するが、その間、検査を行
うことができなくなるという問題点があった。
ような従来の技術においては、被検査物である不透明シ
ート材にクラック等の大きな欠陥がある場合、高感度の
受光素子やホトマル等の光電面に大光量が入射してしま
い、光検出器にそれを計測不能にするダメージを与えて
しまう。この種のダメージは、受光素子やホトマルを暗
室内に数時間放置すれば回復するが、その間、検査を行
うことができなくなるという問題点があった。
【０００５】そこで、本発明は、クラック等のような大
光量を通過させてしまうような欠陥を有する被検査物で
あっても、光検出器が計測不能になる程のダメージを受
けることなく検査を行うことができるピンホール検査方
法及び装置を提供することを目的とする。
光量を通過させてしまうような欠陥を有する被検査物で
あっても、光検出器が計測不能になる程のダメージを受
けることなく検査を行うことができるピンホール検査方
法及び装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第１の形態によれば、光源からの光を被検
査物に照射し、被検査物からの通過光の光量を光検出器
によって検出し、光検出器によって検出された光量値に
基づいて被検査物中のピンホールの有無を判定するピン
ホール検査方法が提供され、このピンホール検査方法
は、光検出器によって検出された光量値に基づいて、光
源が照射する光の光量を段階的に増加させることを特徴
としている。
め、本発明の第１の形態によれば、光源からの光を被検
査物に照射し、被検査物からの通過光の光量を光検出器
によって検出し、光検出器によって検出された光量値に
基づいて被検査物中のピンホールの有無を判定するピン
ホール検査方法が提供され、このピンホール検査方法
は、光検出器によって検出された光量値に基づいて、光
源が照射する光の光量を段階的に増加させることを特徴
としている。
【０００７】また、本発明の第２の形態によれば、被検
査物に光を照射する光源と、被検査物からの通過光の光
量を検出する光検出器と、光源及び光検出器を制御し且
つ光検出器によって検出された光量値に基づいて被検査
物中のピンホールの有無を判定する制御装置とを具備す
るピンホール検査装置が提供され、このピンホール検査
装置は、制御装置が、光検出器によって検出された光量
値に基づいて、光源を、それによって照射される光の光
量が段階的に増加するように制御することを特徴として
いる。この場合において、光源は、開口部を有する筐体
と、筐体内に収容されている発光器と、開口部に配設さ
れている拡散板とで構成されているのが好ましい。ま
た、発光器は、規則的に配列されている複数個のＬＥＤ
で構成されているのが好ましい。更に、光検出器は、窓
部を有する筐体と、筐体内に収容されている光電子増倍
管と、窓部を開閉可能に設けられているシャッタと、光
電子増倍管に接続されているカウンタとで構成されてい
るのが好ましい。以下に、本発明の実施の形態を説明す
るが、本発明はこれに限られるものではない。
査物に光を照射する光源と、被検査物からの通過光の光
量を検出する光検出器と、光源及び光検出器を制御し且
つ光検出器によって検出された光量値に基づいて被検査
物中のピンホールの有無を判定する制御装置とを具備す
るピンホール検査装置が提供され、このピンホール検査
装置は、制御装置が、光検出器によって検出された光量
値に基づいて、光源を、それによって照射される光の光
量が段階的に増加するように制御することを特徴として
いる。この場合において、光源は、開口部を有する筐体
と、筐体内に収容されている発光器と、開口部に配設さ
れている拡散板とで構成されているのが好ましい。ま
た、発光器は、規則的に配列されている複数個のＬＥＤ
で構成されているのが好ましい。更に、光検出器は、窓
部を有する筐体と、筐体内に収容されている光電子増倍
管と、窓部を開閉可能に設けられているシャッタと、光
電子増倍管に接続されているカウンタとで構成されてい
るのが好ましい。以下に、本発明の実施の形態を説明す
るが、本発明はこれに限られるものではない。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明においては、検査する当初
において、光源が被検査物に照射する光量を微少なもの
とし、その後、光検出器での検出値に基づいてそれを徐
々に増加させて行く。従って、被検査物がクラック等の
ような大きな欠陥を有する場合には、光源の光量が微少
な段階で、その被検査物は不良であると判定される。ま
た、光検出器での検出値に基づいて徐々に光源の光量を
増加させて行くので、微小なピンホールであっても、精
度良く検出することができる。ピンホールの有無の判定
は、制御装置が、光検出器での検出値と所定の判定基準
値とを比較することによって行う。なお、判定基準値
は、被検査物の遮光性の度合いに合わせ、その時に光源
が照射する光量と被検査物を通過してくる光量との割合
を考慮して設定される。被検査物を通過してくる光量が
所定の判定時間内に判定基準値を超えると、その被検査
物は、不良と判定される。
において、光源が被検査物に照射する光量を微少なもの
とし、その後、光検出器での検出値に基づいてそれを徐
々に増加させて行く。従って、被検査物がクラック等の
ような大きな欠陥を有する場合には、光源の光量が微少
な段階で、その被検査物は不良であると判定される。ま
た、光検出器での検出値に基づいて徐々に光源の光量を
増加させて行くので、微小なピンホールであっても、精
度良く検出することができる。ピンホールの有無の判定
は、制御装置が、光検出器での検出値と所定の判定基準
値とを比較することによって行う。なお、判定基準値
は、被検査物の遮光性の度合いに合わせ、その時に光源
が照射する光量と被検査物を通過してくる光量との割合
を考慮して設定される。被検査物を通過してくる光量が
所定の判定時間内に判定基準値を超えると、その被検査
物は、不良と判定される。
【０００９】本発明に係るピンホール検査装置において
は、光源と光検出器とを被検査物近傍に配置するのがよ
い。光源と光検出器とを暗箱内に設置すれば、暗室内で
検査を行う必要がなくなり、利便性が高まる。なお、光
源及び光検出器は、ピンホールの有無の判定を行う上記
制御装置によって制御される。本発明装置に用いられる
光源は、発光器と、拡散板と、これらを収容する筐体と
で構成されている。発光器としては、それに印加される
電圧を変化させることによって光量を変えられるもので
あれば、ハロゲンランプやタングステンランプのような
管球でも、また、ＬＥＤのような発光素子であっても構
わない。ただし、電圧を変化させても安定した光量が得
られるものが望ましい。特にＬＥＤであれば、必要な光
量を得るのに時間が掛らなくて済む。更に、被検査物の
検査面積に合わせて複数個のＬＥＤを規則的に配列する
ことにより、被検査物をむらなく照射することができ
る。また、複数個のＬＥＤを用いると、印加電圧を変え
て光量を変化させることができるだけでなく、点灯させ
るＬＥＤの数を変えることによっても光量を変化させる
ことができる。従って、これらを併用することにより、
光源の安定した光量の設定範囲の幅が広くなるという利
点もある。
は、光源と光検出器とを被検査物近傍に配置するのがよ
い。光源と光検出器とを暗箱内に設置すれば、暗室内で
検査を行う必要がなくなり、利便性が高まる。なお、光
源及び光検出器は、ピンホールの有無の判定を行う上記
制御装置によって制御される。本発明装置に用いられる
光源は、発光器と、拡散板と、これらを収容する筐体と
で構成されている。発光器としては、それに印加される
電圧を変化させることによって光量を変えられるもので
あれば、ハロゲンランプやタングステンランプのような
管球でも、また、ＬＥＤのような発光素子であっても構
わない。ただし、電圧を変化させても安定した光量が得
られるものが望ましい。特にＬＥＤであれば、必要な光
量を得るのに時間が掛らなくて済む。更に、被検査物の
検査面積に合わせて複数個のＬＥＤを規則的に配列する
ことにより、被検査物をむらなく照射することができ
る。また、複数個のＬＥＤを用いると、印加電圧を変え
て光量を変化させることができるだけでなく、点灯させ
るＬＥＤの数を変えることによっても光量を変化させる
ことができる。従って、これらを併用することにより、
光源の安定した光量の設定範囲の幅が広くなるという利
点もある。
【００１０】本発明装置に用いられる光検出器は、ホト
マルと、カウンタと、シャッタと、これらを収容する筐
体とで構成されている。シャッタは、検査の休止時に不
要な光がホトマルに入射するのを防ぐために設置され
る。ホトマルとカウンタとを用いることにより、微小な
ピンホールを通過してくる光子を数えることができる。
従って、高感度の検査を行うことが可能となる。
マルと、カウンタと、シャッタと、これらを収容する筐
体とで構成されている。シャッタは、検査の休止時に不
要な光がホトマルに入射するのを防ぐために設置され
る。ホトマルとカウンタとを用いることにより、微小な
ピンホールを通過してくる光子を数えることができる。
従って、高感度の検査を行うことが可能となる。
【００１１】本発明に係るピンホール検査方法及び装置
においては、被検査物中のピンホールの有無を検査する
のに有効なばかりでなく、例えば、光学機器でよく用い
られる微小開口絞りを、それが光学設計通りに作られて
いるかどうかを検査するのにも用いることができる。
においては、被検査物中のピンホールの有無を検査する
のに有効なばかりでなく、例えば、光学機器でよく用い
られる微小開口絞りを、それが光学設計通りに作られて
いるかどうかを検査するのにも用いることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。本発明に係るピンホール検査装置の一実施
例の断面を示す図１を参照するに、ピンホール検査装置
１０は、暗箱１２を備えており、この暗箱１２内には、
被検査物である不透明のシート材１４を挟むようにし
て、それらの詳細は後述する光源と光検出器とが配設さ
れている。シート材１４は、暗箱１２の両外側面に設け
られている、遮光機能を有するチャック１６によって保
持されている。光源は、複数個のＬＥＤ２０ｂ（図２）
が規則的に配列されている発光器２０と、拡散板として
のスリ硝子２２と、発光器２０を収容すると共にその開
口部にスリ硝子２２が取着されている筐体２４とで構成
されている。本実施例に使用されているＬＥＤ２０ｂ
は、後述する光検出器の感度特性に合わせて４５０ｎｍ
のピーク波長を有していると共に、最大検査面積に合わ
せて６１個のＬＥＤ２０ｂが、図２に示されているよう
に、平面状に千鳥配列されて発光器２０の発光面２０ａ
を形成している。なお、発光器２０が発する光の光量
は、後述する制御装置４０によって制御される。
て説明する。本発明に係るピンホール検査装置の一実施
例の断面を示す図１を参照するに、ピンホール検査装置
１０は、暗箱１２を備えており、この暗箱１２内には、
被検査物である不透明のシート材１４を挟むようにし
て、それらの詳細は後述する光源と光検出器とが配設さ
れている。シート材１４は、暗箱１２の両外側面に設け
られている、遮光機能を有するチャック１６によって保
持されている。光源は、複数個のＬＥＤ２０ｂ（図２）
が規則的に配列されている発光器２０と、拡散板として
のスリ硝子２２と、発光器２０を収容すると共にその開
口部にスリ硝子２２が取着されている筐体２４とで構成
されている。本実施例に使用されているＬＥＤ２０ｂ
は、後述する光検出器の感度特性に合わせて４５０ｎｍ
のピーク波長を有していると共に、最大検査面積に合わ
せて６１個のＬＥＤ２０ｂが、図２に示されているよう
に、平面状に千鳥配列されて発光器２０の発光面２０ａ
を形成している。なお、発光器２０が発する光の光量
は、後述する制御装置４０によって制御される。
【００１３】光検出器は、ホトマル３０と、シャッタ３
２と、カウンタ３４と、これらを収容する筐体３６とで
構成されており、筐体３６には窓部３６ａが形成されて
いる。本実施例に使用されているホトマル３０は、３０
０ｎｍ〜６５０ｎｍの感度波長範囲と４００ｎｍ付近の
最高感度とを有している。筐体３６の窓部３６ａを開閉
するシャッタ３２は、空気圧シリンダ３２ａとそのロッ
ドの先端部に設けられている遮光板３２ｂとで構成され
ており、ロッドが前進・後退することにより、開閉動作
を行う。なお、このシャッタ３２の開閉動作は、後述す
る制御装置４０によって制御される。カウンタ３４は、
ホトマル３０の光電面に光子が入射した時に発生するホ
トマル３０の電圧を入射光量（入射光子数／秒）に換算
し、その換算値をパルス電圧に変換して制御装置４０に
出力する。マイクロプロセッサで構成されている制御装
置４０は、カウンタ３４から入力する、ホトマル３０へ
の入射光量を表すパルス電圧に基づき、光源の光量制御
及びシャッタの開閉制御を行うと同時に、被検査物にお
けるピンホールの有無の判定即ち被検査物の良否の判定
を行い、その判定結果をディスプレイ４２に表示する。
２と、カウンタ３４と、これらを収容する筐体３６とで
構成されており、筐体３６には窓部３６ａが形成されて
いる。本実施例に使用されているホトマル３０は、３０
０ｎｍ〜６５０ｎｍの感度波長範囲と４００ｎｍ付近の
最高感度とを有している。筐体３６の窓部３６ａを開閉
するシャッタ３２は、空気圧シリンダ３２ａとそのロッ
ドの先端部に設けられている遮光板３２ｂとで構成され
ており、ロッドが前進・後退することにより、開閉動作
を行う。なお、このシャッタ３２の開閉動作は、後述す
る制御装置４０によって制御される。カウンタ３４は、
ホトマル３０の光電面に光子が入射した時に発生するホ
トマル３０の電圧を入射光量（入射光子数／秒）に換算
し、その換算値をパルス電圧に変換して制御装置４０に
出力する。マイクロプロセッサで構成されている制御装
置４０は、カウンタ３４から入力する、ホトマル３０へ
の入射光量を表すパルス電圧に基づき、光源の光量制御
及びシャッタの開閉制御を行うと同時に、被検査物にお
けるピンホールの有無の判定即ち被検査物の良否の判定
を行い、その判定結果をディスプレイ４２に表示する。
【００１４】次に、本発明に係るピンホール検査方法に
ついて、その検査手順を示す図３のフローチャートを参
照して説明する。なお、以下のピンホール検査ルーチン
は、上述のように、制御装置４０によって実行される。
先ず、ステップ１０１において、シャッタ３２が閉じて
いるか否か、即ち空気圧シリンダ３２ａが消勢されてい
るか否かを判定し、判定結果が否定（Ｎ）の場合には、
ステップ１０９に進んでシャッタ３２を閉じ、ステップ
１０２に進む。他方、その判定結果が肯定（Ｙ）の場合
には、直接、ステップ１０２に進む。
ついて、その検査手順を示す図３のフローチャートを参
照して説明する。なお、以下のピンホール検査ルーチン
は、上述のように、制御装置４０によって実行される。
先ず、ステップ１０１において、シャッタ３２が閉じて
いるか否か、即ち空気圧シリンダ３２ａが消勢されてい
るか否かを判定し、判定結果が否定（Ｎ）の場合には、
ステップ１０９に進んでシャッタ３２を閉じ、ステップ
１０２に進む。他方、その判定結果が肯定（Ｙ）の場合
には、直接、ステップ１０２に進む。
【００１５】ステップ１０２では、微少光量で点灯すべ
く、６１個のＬＥＤ（図２参照）のうち１３個のＬＥＤ
を点灯し、次いで、ステップ１０３において、空気圧シ
リンダ３２ａを付勢することにより、シャッタ３２を開
き、ステップ１０４に進む。ステップ１０４では、ホト
マルからのパルス電圧に基づく入射光量（入射光子数／
秒）を測定し、次いで、ステップ１０５において、その
測定結果である測定値ｎ１が所定の第１判定基準値Ｎ１
以上であるか否かを判定する。この判定結果が肯定の場
合には、被検査物であるシート材１４が不良品であると
判定し、ステップ１０６においてディスプレイ４２に
「不良」の表示をし、ステップ１０７において空気圧シ
リンダ３２ａを消勢してシャッタ３２を閉じ、そして、
ステップ１０８においてＬＥＤを消灯する。他方、ステ
ップ１０５における判定結果が否定の場合には、ステッ
プ１１０に進む。
く、６１個のＬＥＤ（図２参照）のうち１３個のＬＥＤ
を点灯し、次いで、ステップ１０３において、空気圧シ
リンダ３２ａを付勢することにより、シャッタ３２を開
き、ステップ１０４に進む。ステップ１０４では、ホト
マルからのパルス電圧に基づく入射光量（入射光子数／
秒）を測定し、次いで、ステップ１０５において、その
測定結果である測定値ｎ１が所定の第１判定基準値Ｎ１
以上であるか否かを判定する。この判定結果が肯定の場
合には、被検査物であるシート材１４が不良品であると
判定し、ステップ１０６においてディスプレイ４２に
「不良」の表示をし、ステップ１０７において空気圧シ
リンダ３２ａを消勢してシャッタ３２を閉じ、そして、
ステップ１０８においてＬＥＤを消灯する。他方、ステ
ップ１０５における判定結果が否定の場合には、ステッ
プ１１０に進む。
【００１６】ステップ１１０では、６１個のＬＥＤのう
ち３３個のＬＥＤを点灯して光量を増やし、ステップ１
１１において入射光量を測定し、次いで、ステップ１１
２において、測定値ｎ２が、上記第１判定基準値よりも
小さい所定の第２判定基準値Ｎ２以上であるか否かを判
定する。この判定結果が肯定の場合には、シート材１４
が不良品であると判定し、ステップ１１３においてディ
スプレイ４２に「不良」の表示をし、シャッタ３２を閉
じ（ステップ１０７）、ＬＥＤを消灯する（ステップ１
０８）。他方、ステップ１１２における判定結果が否定
の場合には、ステップ１１４に進む。
ち３３個のＬＥＤを点灯して光量を増やし、ステップ１
１１において入射光量を測定し、次いで、ステップ１１
２において、測定値ｎ２が、上記第１判定基準値よりも
小さい所定の第２判定基準値Ｎ２以上であるか否かを判
定する。この判定結果が肯定の場合には、シート材１４
が不良品であると判定し、ステップ１１３においてディ
スプレイ４２に「不良」の表示をし、シャッタ３２を閉
じ（ステップ１０７）、ＬＥＤを消灯する（ステップ１
０８）。他方、ステップ１１２における判定結果が否定
の場合には、ステップ１１４に進む。
【００１７】ステップ１１４では、６１個全てのＬＥＤ
を点灯して光量を最大限に増やし、ステップ１１５にお
いて入射光量を測定し、次いで、ステップ１１６におい
て、測定値ｎ３が、前記第２判定基準値よりも小さい所
定の第３判定基準値Ｎ３以上であるか否かを判定する。
この判定結果が肯定の場合には、シート材１４が不良品
であると判定し、ステップ１１７においてディスプレイ
４２に「不良」の表示をし、シャッタ３２を閉じ（ステ
ップ１０７）、ＬＥＤを消灯する（ステップ１０８）。
他方、ステップ１１６における判定結果が否定の場合に
は、被検査物であるシート材１４が良品であると判定
し、ステップ１１８においてディスプレイ４２に「良」
の表示をし、シャッタ３２を閉じ（ステップ１０７）、
ＬＥＤを消灯し（ステップ１０８）、本ピンホール検査
ルーチンを終了する。
を点灯して光量を最大限に増やし、ステップ１１５にお
いて入射光量を測定し、次いで、ステップ１１６におい
て、測定値ｎ３が、前記第２判定基準値よりも小さい所
定の第３判定基準値Ｎ３以上であるか否かを判定する。
この判定結果が肯定の場合には、シート材１４が不良品
であると判定し、ステップ１１７においてディスプレイ
４２に「不良」の表示をし、シャッタ３２を閉じ（ステ
ップ１０７）、ＬＥＤを消灯する（ステップ１０８）。
他方、ステップ１１６における判定結果が否定の場合に
は、被検査物であるシート材１４が良品であると判定
し、ステップ１１８においてディスプレイ４２に「良」
の表示をし、シャッタ３２を閉じ（ステップ１０７）、
ＬＥＤを消灯し（ステップ１０８）、本ピンホール検査
ルーチンを終了する。
【００１８】なお、上述したピンホール検査ルーチンに
おいては、所定の判定基準値Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３を、Ｎ１
＞Ｎ２＞Ｎ３となるように設定したが、必ずしもそのよ
うに設定する必要はなく、使用する受光素子やホトマル
によっては、Ｎ１＝Ｎ２＝Ｎ３であってもよい。また、
点灯するＬＥＤの数を変えることによって光源の光量を
調節したが、これに代えて、ＬＥＤへの印加電圧を変え
ることによって光源の光量を調節してもよく、更には、
それらを併用してもよい。
おいては、所定の判定基準値Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３を、Ｎ１
＞Ｎ２＞Ｎ３となるように設定したが、必ずしもそのよ
うに設定する必要はなく、使用する受光素子やホトマル
によっては、Ｎ１＝Ｎ２＝Ｎ３であってもよい。また、
点灯するＬＥＤの数を変えることによって光源の光量を
調節したが、これに代えて、ＬＥＤへの印加電圧を変え
ることによって光源の光量を調節してもよく、更には、
それらを併用してもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ピンホ
ールの大小に拘らず、高感度の光検出器がダメージを受
けることなく検査することができる。従って、高い精度
で安定した検査結果を得ることができるという効果があ
る。
ールの大小に拘らず、高感度の光検出器がダメージを受
けることなく検査することができる。従って、高い精度
で安定した検査結果を得ることができるという効果があ
る。
【図１】本発明によるピンホール検査装置の一実施例の
構成を示す概略断面図である。
構成を示す概略断面図である。
【図２】本発明によるピンホール検査装置で用いられる
発光器におけるＬＥＤの配列を示す平面図である。
発光器におけるＬＥＤの配列を示す平面図である。
【図３】本発明によるピンホール検査方法の手順を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
１０ ピンホール検査装置 １２ 暗箱 １４ シート材（被検査物） １６ チャック ２０ 発光器 ２０ａ 発光面 ２０ｂ ＬＥＤ ２２ スリ硝子（拡散板） ２４ 筐体 ３０ ホトマル ３２ シャッタ ３２ａ 空気圧シリンダ ３２ｂ 遮光板 ３４ カウンタ ３６ 筐体 ３６ａ 窓部
Claims (5)
- 【請求項１】 光源からの光を被検査物に照射し、前記
被検査物からの通過光の光量を光検出器によって検出
し、前記光検出器によって検出された光量値に基づいて
前記被検査物中のピンホールの有無を判定するピンホー
ル検査方法において、 前記光検出器によって検出された光量値に基づいて、前
記光源が照射する光の光量を段階的に増加させることを
特徴とするピンホール検査方法。 - 【請求項２】 被検査物に光を照射する光源と、前記被
検査物からの通過光の光量を検出する光検出器と、前記
光源及び前記光検出器を制御し且つ前記光検出器によっ
て検出された光量値に基づいて前記被検査物中のピンホ
ールの有無を判定する制御装置とを具備するピンホール
検査装置において、 前記制御装置が、前記光検出器によって検出された光量
値に基づいて、前記光源を、それによって照射される光
の光量が段階的に増加するように制御することを特徴と
するピンホール検査装置。 - 【請求項３】 前記光源が、開口部を有する筐体と、前
記筐体内に収容されている発光器と、前記開口部に配設
されている拡散板とで構成されている請求項２に記載の
ピンホール検査装置。 - 【請求項４】 前記発光器が、規則的に配列されている
複数個のＬＥＤで構成されている請求項３に記載のピン
ホール検査装置。 - 【請求項５】 前記光検出器が、窓部を有する筐体と、
前記筐体内に収容されている光電子増倍管と、前記窓部
を開閉可能に設けられているシャッタと、前記光電子増
倍管に接続されているカウンタとで構成されている請求
項２〜４のいずれか一項に記載のピンホール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8131606A JPH09318558A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | ピンホール検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8131606A JPH09318558A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | ピンホール検査方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09318558A true JPH09318558A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15062002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8131606A Withdrawn JPH09318558A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | ピンホール検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09318558A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001035084A1 (en) * | 1998-05-12 | 2001-05-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical inspection apparatus |
| JP2007303872A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | Toshiba Teli Corp | 管内検査カメラの照明装置および管内検査カメラの照明方法 |
| JP2011007819A (ja) * | 2010-10-15 | 2011-01-13 | Toshiba Teli Corp | 管内検査カメラの照明装置 |
| CN118464789A (zh) * | 2024-05-07 | 2024-08-09 | 苏州贝赛检测技术有限公司 | 一种pcb板检测装置 |
-
1996
- 1996-05-27 JP JP8131606A patent/JPH09318558A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001035084A1 (en) * | 1998-05-12 | 2001-05-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical inspection apparatus |
| US6891612B1 (en) | 1999-11-11 | 2005-05-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical inspection device that detects holes in an object to be inspected |
| JP2007303872A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | Toshiba Teli Corp | 管内検査カメラの照明装置および管内検査カメラの照明方法 |
| JP2011007819A (ja) * | 2010-10-15 | 2011-01-13 | Toshiba Teli Corp | 管内検査カメラの照明装置 |
| CN118464789A (zh) * | 2024-05-07 | 2024-08-09 | 苏州贝赛检测技术有限公司 | 一种pcb板检测装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030805 |