JPH09318671A - インピーダンス測定装置 - Google Patents

インピーダンス測定装置

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JPH09318671A
JPH09318671A JP8136405A JP13640596A JPH09318671A JP H09318671 A JPH09318671 A JP H09318671A JP 8136405 A JP8136405 A JP 8136405A JP 13640596 A JP13640596 A JP 13640596A JP H09318671 A JPH09318671 A JP H09318671A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】広い帯域の測定周波数に対して高インピーダン
スの測定が可能なインピーダンス測定装置を実現する。 【解決手段】電圧電流測定法によるインピーダンス測定
装置の浮上型電流計に誤差を与える同相電圧の影響を、
広い周波数帯域にわたり除去する。すなわち、電流検出
抵抗の両端の電圧を測定する浮上型電流計において、測
定周波数の高域ではバラン35により同相成分を除去
し、低域では差動増幅器31が同相成分を除去する。バ
ラン35と差動増幅器31の同相除去作用は、コンデン
サ33のインピーダンスとバラン35の励磁インピーダ
ンスが等しくなる周波数でクロスオーバーする。クロス
オーバー周波数においてコンデンサ33とバラン35の
励磁インピーダンスによる共振を損失的にするように抵
抗37を選び、クロスオーバーの特性をなめらかにす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に電流測定に係わ
り、特に電圧と電流を測定してインピーダンスを求める
インピーダンス測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】広い周波数帯域において広い測定範囲の
インピーダンス測定装置を実現する方法は、従来から種
々考案されていた。出願人は、特願平3−313898
にて、1MHzから1GHz程度の広い周波数帯域で、
広範囲のインピーダンスを精度よく測定する電圧電流計
法のインピーダンス測定装置を提案した。図5に回路構
成を、図6にその等価回路を示す。
【0003】また出願人は、特願平5−352012に
て、コアキシャル・ケーブル及びトライアキシャル・ケ
ーブルを用い、特願平3−313898の特長を保持し
たまま遠隔測定が実現できることを示した。図7及び図
8にその回路構成を、また図9及び図10に等価回路を
示す。
【0004】図6、図9及び図10の等価回路におい
て、測定対象60に流れる電流を抵抗32又は抵抗32
と38の並列抵抗からなる電流検出抵抗に流している。
該電流検出抵抗の両端の電圧を電圧計30で測定すれば
測定対象60の電流を測定できる。すなわち電流検出抵
抗と電圧計が電流計を構成している。等価回路が示すよ
うに、該電流計は接地電位から電位的に浮上している浮
上型電流計である。
【0005】図6、図5のスイッチ40がオフのとき、
及び図10は、低インピーダンス測定に適した回路であ
る。電圧計10の内部抵抗11に流れる電流が電流検出
抵抗にも流れるため、測定対象60の電流が小さくなる
高インピーダンスの測定には適さない。
【0006】図5及び図6において、スイッチ40がオ
ンのとき、高インピーダンス測定用の回路構成になる。
また図7は、遠隔測定で高インピーダンス測定を実現す
る回路構成であり、等価回路は図9になる。この回路構
成が高インピーダンス測定に適することは良く知られて
いる
【0007】上記浮上型電流計は、図5、図7及び図8
に示すように接地型の電圧計30及びバラン35で実現
されている。バラン35は、磁気コアに同軸ケーブル3
6を貫通するか又は図13に例示するように磁気コア7
0に同軸ケーブル36を1回以上巻き付けて構成されて
いる。図11に、バラン35を示す等価回路を図示し
た。バラン35は高周波において励磁インピーダンスが
高いので、電圧計30が接地されていても、電流検出抵
抗は接地電位から電位的に浮上することができる。
【0008】しかしバラン35は、低周波において励磁
インピーダンスが低下して、信号源20の負荷となる。
動作周波数の下限を伸ばすためには、バランを多数回巻
きで、大きなコアにする必要がある。しかし巻線ケーブ
ル長とコアの増大は、特に高い周波数において、温度係
数の悪化や信号電力の損失を引き起こす。したがって、
測定周波数上限を維持しつつ、バランのみで動作周波数
をオーディオ周波数帯まで拡大することは事実上不可能
である。
【0009】ところで、電流検出用抵抗両端の電位差を
差動増幅器で検出する方法で、浮上型電流計を実現でき
る事は良く知られている。この等価回路を図12に示
す。近年の差動増幅器によれば100dBを越える同相
除去比が得られるので、実用上理想的と見なせる浮上型
電流計が実現できる。ただし、これは低周波に限られ、
周波数の増加と共に同相除去比は悪くなる。10MHz
で50dB、あるいは100MHzで30dBを得るこ
とは容易でなく、まして1GHzでは10dBの実現さ
えも困難である。
【0010】同相除去比の悪化により、測定端子61と
62間の開放時における測定電流値が零でなくなりオフ
セットが生じる。オフセットは、演算処理で補正可能で
ある。しかし温度変化により同相除去比が変動するた
め、長期的に安定なオフセットの補正は不可能である。
このため測定端子開放時におけるアドミタンス測定値に
もオフセットを生じ測定誤差になる。
【0011】また、高インピーダンスを測定するために
は、測定対象に流れる電流の測定感度を上げなければな
らない。そのために電流検出抵抗の両端の電圧を増幅す
る必要があるが、電流零点オフセットが大きいと、大き
な増幅ができない。すなわちインピーダンス測定装置の
高インピーダンス測定能力は、上記同相除去比に大きく
支配されているのである。
【0012】バランを使用すれば、高周波で安定かつ極
めて高い同相除去比が得られ、1GHzを越える高い周
波数までの浮上型電流計が実現できる。しかし低い周波
数では不都合がある。一方差動増幅器は、高い周波数で
不都合がある。したがって既存の方法では、高インピー
ダンス測定を可能とする周波数帯域は、高周波か低周波
のどちらかに限られていた。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】インピーダンス測定装
置の浮上型電流計において、広い周波数範囲で安定かつ
高い同相除去比が得られないために、特に高インピーダ
ンスの測定が不可能であった。本発明が解決しようとす
る課題は、広い周波数範囲で安定かつ高い同相除去比を
もつ浮上型電流計を実現し、直流からGHz帯までの広
帯域で、広い測定範囲のインピーダンス測定装置を供す
ることである。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は、同相除去作用
を高周波帯域ではバランに、低周波帯域では差動増幅器
に分担させることにより、広い周波数帯域にわたる浮上
型電流計を実現し、広帯域で広いインピーダンス範囲の
高精度測定を可能にする。
【0015】
【実施例】本発明の第1の実施例として、図1に回路構
成を、図4に簡略化した等価回路を示す。従来技術と同
様の構成要素には同じ参照符号を付している。電圧計3
0、差動増幅器31、2つの抵抗32及び38、並びに
バラン35が本発明の電流計の基本構成要素である。ま
たバラン35は、同軸ケーブル36を巻線として構成さ
れている。さらに同軸ケーブル36の外部導体のバラン
35の入出力間に抵抗37が接続されている。同軸ケー
ブル36の外部導体の差動増幅器入力側と接地間には、
コンデンサ33が接続されている。
【0016】実施例には電流計のほか、電圧計10、信
号源20、同軸ケーブル12、22及びスイッチ40等
を有している。また演算制御部は図示していない。これ
らは従来技術の例と同様である。抵抗32及び38は、
高周波帯域における整合のために、同軸ケーブルの特性
インピーダンスに等しくしてある。この部分については
特願平5−352012に詳しい説明がある。
【0017】本発明の第2の実施例を図2に示す。本実
施例は、特願平5−352012に提示した高インピー
ダンス測定向きの実施例に、本発明を実施した例を示す
ものである。第1の実施例にたいして第2の実施例は、
遠隔測定のためにコアキシャル・ケーブル51及びトラ
イアキシャル・ケーブル52を有している点が異なる。
電流計部分に注目すれば、第2の実施例の等価回路も図
4になる。
【0018】従来技術では、図5、図7、図8及び等価
回路図11に示すようにバラン35の出力側のケーブル
の外部導体が接地されていた。本発明の第1及び第2の
実施例では、図1、図2及び等価回路図4に示すよう
に、バラン35の出力側のケーブルの外部導体(図4に
示す節点b)はコンデンサ33を介して接地されてい
る。
【0019】低周波域ではコンデンサ33のインピーダ
ンスが高いので、バラン35の励磁インピーダンスが低
くなっても、バラン35が信号源20を短絡することは
ない。励磁インピーダンスが低いため、同相電圧は、そ
のまま差動増幅器31に伝えられるが、差動増幅器31
の大きな同相除去作用によって差動電圧のみが増幅され
る。抵抗32及び38の並列抵抗が電流検出抵抗を構成
し、その両端電圧が差動電圧である。差動増幅器の出力
を電圧計30が測定する。この結果、低周波帯で浮上型
電流計が実現される。
【0020】高周波帯域では、コンデンサ33のインピ
ーダンスが低いので、バラン35、抵抗32及びコンデ
ンサ33の共通接続点(図4に示す節点b)が等価的に
接地された状態になる。これは従来技術の実施例図5、
図7、図8及び等価回路図11と等価の状態である。
【0021】節点aから節点b及び節点cを経由して節
点dに至る経路において、バラン35の等価的巻数は零
だから、抵抗32は、バラン35を介して抵抗38と並
列接続された状態と等価とみなせる。すなわち低周波帯
域と同様に、電流検出抵抗は抵抗32と抵抗38の並列
抵抗になる。このようにして、電流検出抵抗の両端の電
圧のみが差動増幅器31で増幅され、電圧計30で測定
されて、高周波帯の浮上型電流計が実現される。
【0022】低周波帯域と高周波帯域の境界を次に説明
する。バラン35の励磁インピーダンスとコンデンサ3
3のインピーダンスが同一になる周波数が、バラン35
と差動増幅器31の同相除去作用の分担周波数帯の境
目、いわゆるクロスオーバー周波数である。クロスオー
バー周波数におけるバラン35の励磁インピーダンスあ
るいはコンデンサ33のインピーダンスが、全周波数帯
域を通じて信号源20に対する最大負荷になる。したが
って、信号源20の出力抵抗21に対してクロスオーバ
ー周波数におけるコンデンンサ33のインピーダンス及
び励磁インピーダンスが高くなるように、それぞれの大
きさを選ぶ。
【0023】抵抗37の役割は、バラン35の励磁イン
ダクタンスとコンデンサ33からなる直列共振のQをダ
ンプする事にある。バラン35のコアの損失が大きけれ
ば抵抗37はなくてもよい。Qが高いと上記クロスオー
バー周波数における推移特性が悪化する。すなわち、そ
の周波数で差動増幅器31の入力端子に大きな同相電圧
が生じるだけでなく信号源20にとって大きな負荷にな
る。そこで共振を損失的にするよう、抵抗37の値を選
ぶ。
【0024】なおコンデンサ33の機能を機械的あるい
は半導体スイッチで代行することができる。図3に本発
明の第3の実施例としてスイッチで代行する例を示す。
クロスオーバー周波数を境にスイッチ34をオンオフし
て、バラン35と差動増幅器31の分担を切り換える。
スイッチ34の制御は、測定周波数の設定に伴って演算
制御部が行う。
【0025】ところで、特願平3−313898及び特
願平5−352012に示したように、特性インピーダ
ンスで整合した回路構成を本発明に適用し、この構成を
2組使用して、それぞれの信号源を交互にオンオフでき
るようにすれば、Sパラメータ測定装置が実現できる。
この2ポート測定装置は、特性インピーダンス(例えば
50Ω)のポートインピーダンスでありながら、高入出
力インピーダンスを持つ測定対象のS11、S22を精
度よく測定することができる。
【0026】また図2において、バラン35と抵抗32
間の同軸ケーブル36に更に外部シールドを施して、本
発明の効果を損なうことなく外部からの雑音の混入を防
止することもできる。以上に本発明の実施例を示した
が、例示の様式、配置、その他に限定するものでなく、
必要に応じて本発明の要旨を失うことなく構成の変化も
許容される。
【0027】
【発明の効果】特願平5−352012にて提案した1
MHzから1GHz程度の広い周波数帯域で広範囲のイ
ンピーダンス値を精度よく遠隔測定する電圧電流計法
に、本発明を適用すれば、高周波帯域の特性を損なわな
いで周波数下限を直流まで延長できるようになり、実用
に供して有益である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示す図である。
【図3】本発明の第3の実施例を示す図である。
【図4】本発明の等価回路を示す図である。
【図5】従来技術のインピーダンス測定装置の例を示す
図である。
【図6】電圧電流計法のインピーダンス測定装置の原理
を示す図である。
【図7】従来技術のケーブル延長型インピーダンス測定
装置の例を示す図である。
【図8】従来技術のケーブル延長型インピーダンス測定
装置の例を示す図である。
【図9】図7の等価回路を示す図である。
【図10】図8の等価回路を示す図である。
【図11】バランを用いた浮上型電流計の例を示す図で
ある。
【図12】差動増幅器を用いた浮上型電流計の例を示す
図である。
【図13】同軸ケーブルによるバランの構成例を示す図
である。
【符号の説明】
10:電圧計 11:抵抗 12:同軸ケーブル 13:抵抗 20:信号源 21:抵抗 22:同軸ケーブル 30:電圧計 31:差動増幅器 32:抵抗 33:コンデンサ 34:スイッチ 35:バラン 36:同軸ケーブル 37:抵抗 38:抵抗 40:スイッチ 51:コアキシャル・ケーブル 52:トライアキシャル・ケーブル 60:測定対象 61:測定端子 62:測定端子 70:磁気コア

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被測定電流を電流検出抵抗に流し、前記電
    流検出抵抗の両端の電圧を測定して前記被測定電流を測
    定する電流計において、 磁気コアに同軸ケーブルを巻き付けるか貫通させて成る
    バランと、 1方の入力端子が前記バランの出力側の前記同軸ケーブ
    ルの中心導体に接続され、他方の入力端子が前記同軸ケ
    ーブルの外部導体に接続された差動増幅器と、 前記バランの入力側の中心導体と外部導体との間に接続
    された前記電流検出抵抗と、 前記バランの出力側の前記同軸ケーブルの外部導体を選
    択的に接地する接地手段と、 前記差動増幅器の出力電圧を測定して前記被測定電流を
    決定する電圧計と、 を備えて成り、前記被測定電流が高周波帯域のとき前記
    接地手段が前記同軸ケーブルの外部導体を接地し、前記
    被測定電流が低周波帯域のとき前記接地手段が前記同軸
    ケーブルの外部導体と接地間を開放することを特徴とす
    る電流計。
  2. 【請求項2】前記電流検出抵抗が前記バランの出力側の
    中心導体と外部導体との間に接続され、前記バランの入
    力側の前記同軸ケーブルの中心導体と外部導体との間に
    前記被測定電流が流されることを特徴とする請求項1記
    載の電流計。
  3. 【請求項3】前記電流検出抵抗が、それぞれ前記同軸ケ
    ーブルの特性インピーダンスに等しい第1、第2抵抗
    を、それぞれ前記バランの入力および出力側の前記中心
    導体と外部導体との間に接続して成ることを特徴とする
    請求項1記載の電流計。
  4. 【請求項4】前記接地手段がコンデンサ手段であること
    を特徴とする請求項1、請求項2または請求項3記載の
    電流計。
  5. 【請求項5】前記接地手段がスイッチ手段を有し、高周
    波帯域において前記同軸ケーブルの外部導体を前記スイ
    ッチ手段が接地することを特徴とする請求項1、請求項
    2または請求項3記載の電流計。
  6. 【請求項6】前記同軸ケーブルの外部導体の前記バラン
    の入力側と出力側との間に抵抗が接続されていることを
    特徴とする請求項4記載の電流計。
  7. 【請求項7】前記バランの出力側の同軸ケーブルに、更
    に外部シールドを有することを特徴とする請求項1、請
    求項2または請求項3記載の電流計。
  8. 【請求項8】測定対象に印加される電圧及び電流を測定
    し、前記電圧及び電流の測定値から測定対象のインピー
    ダンス等の回路定数や材料の特性値を演算処理によって
    求める測定装置において、 請求項1、請求項2または請求項3記載の電流計を有す
    ることを特徴とするインピーダンス測定装置。
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