JPH09323236A - 送り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 移動台の意図しない挙動の因子を少なくす
る。 【解決手段】 固定台座１０には、移動台２０の移動方
向であるＸ方向に対して垂直な断面形状がＶ型を成し且
つＸ方向に伸びているＶ溝ガイド１１と、Ｘ方向に対し
て垂直な断面形状が平坦で且つＸ方向に伸びている平坦
ガイド１２とが形成されている。また、移動台２０に
は、球面を有しこの球面の一部がＶ溝ガイドのＶ型を形
成する２面に接触する２つのＶ溝側被ガイド球体２１，
２２と、球面を有しこの球面の一部が平坦ガイド１２の
平坦面に接触する１つの平坦側被ガイド球体２３とが、
固定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固定台座と移動台
とを備え、該移動台の上に載置されたものを一定方向に
送る送り装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の送り装置としては、例えば、図８
に示すようなものがある。この送り装置は、固定台座１
と、固定台座１に対して一定方向に移動する移動台５
と、移動台５を固定台座１に対して一定方向に移動させ
る駆動機構７とを備えている。

【０００３】固定台座１の上面には、一定方向に伸びて
いるＶ溝ガイド２及び平坦ガイド３が形成されている。
また、移動台５の下面には、一定方向に伸び固定台座１
のＶ溝ガイド２内に入る凸型被ガイド６が形成されてい
る。固定台座１のＶ溝ガイド２及び平坦ガイド３には、
それぞれ、多数のローラ４，４，…が配されている。駆
動機構７は、一定方向に伸びているボルト部材８ａと、
このボルト部材８ａに螺合し移動台５に固定されている
ナット部材８ｂと、ボルト部材８ａを回転させるモータ
９とを有している。この送り装置は、駆動機構７のボル
ト部材８ａを回転させてナット部材８ｂを一定方向に移
動させることで、ナット部材８ｂが固定されている移動
台５を各ガイド２，３に沿って、一定方向に移動するも
のである。

【０００４】以上の送り装置は、例えば、図９に示すよ
うに、被測定物５１の形状測定を行う場合等に用いられ
る。この場合、移動台５の上に被測定物５１を載置し、
固定台座１に対してＸ方向に相対移動しない測定プロー
ブ５２を被測定物５１に接触するよう配して、移動台５
と共に被測定物５１をＸ方向に移動させ、このときの測
定プローブのＺ方向の変位から、被測定物５１の形状を
測定している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来技術では、多数のローラ４，４，…、多い場合
には数十以上のローラが設けられているため、各ローラ
４，４，…の直径のバラツキ及び転がり方のバラツキ、
駆動機構７のボルト部材８ａの雄ネジに対するナット部
材８ｂの雌ネジのガタや、回転中のボルト部材８ａの雄
ネジとナット部材８ｂの雌ネジとの噛み合い関係の変化
等により、移動台５に意図しない微妙な挙動が発生して
しまうという問題点がある。このような移動台５の意図
しない挙動は、送り装置で搬送対象物を精密に送る場合
に、その送り精度に問題が生じ、特に、前述した形状測
定に送り装置を用いる場合には、大きな問題となる。

【０００６】そこで、本発明は、このような従来の問題
点について着目し、移動台の意図しない挙動の因子をで
きる限り少なくすると共に、移動台に微妙な挙動が発生
する場合でも、挙動再現性のある送り装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の送り装置は、固定台座には、移動台の移動方向である
一定方向に対して垂直な断面形状がＶ型を成し且つ該一
定方向に伸びているＶ溝ガイドと、該一定方向に対して
垂直な断面形状が平坦で且つ該一定方向に伸びている平
坦ガイドとが形成され、前記移動台には、球面を有し該
球面の一部が前記Ｖ溝ガイドのＶ型を形成する２面に接
触する２つのＶ溝側被ガイド球体と、球面を有し該球面
の一部が前記平坦ガイドの平坦面に接触する１つの平坦
側被ガイド球体とが、固定されていることを特徴とする
ものである。

【０００８】ここで、前記Ｖ溝側被ガイド球体及び前記
平坦被ガイド球体は、全外周が全て球面である完全な球
体である必要はなく、少なくとも各ガイドに対向する部
分のみが球面であるものも含んでいる。

【０００９】また、前記送り装置において、二つの前記
Ｖ溝側被ガイド球体と前記Ｖ溝ガイドのＶ型を形成する
２面とがそれぞれ接触する各接触点と、１つの前記平坦
側被ガイド球体と前記平坦ガイドの平坦面とが接触する
接触点とは、前記一定方向に平行な１つの平面内に有し
ていることが好ましい。

【００１０】また、前記Ｖ溝側被ガイド球体及び前記平
坦側被ガイド球体の球面は、各ガイドに対する摩擦係数
の小さい樹脂で形成されているものであってもよい。

【００１１】さらに、以上の送り装置において、駆動機
構は、前記移動台の前記一定方向への移動距離以上で且
つ該一定方向に伸び、その両端が該移動台に取り付けら
れ、該一定方向に対して垂直な方向への弾性を有する薄
板材と、前記薄板材を挾持する一対のローラと、一対の
前記ローラが前記薄板材を挾み込んだ状態で、一対の該
ローラをそれぞれ回転可能で且つ前記固定台座に対して
相対移動不能に支持するローラ支持手段と、一対の前記
ローラのうち、一方を回転させるローラ回転機構と、を
有しているものであることが好ましい。

【００１２】この駆動機構は、一対の前記ローラで前記
薄板材を挾持する力を調節する挾持力調節手段を有して
いることが望ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る一実施形態と
しての送り装置について、図面を用いて説明する。

【００１４】この実施形態における送り装置は、図４に
示すように、固定台座１０と、この固定台座１０の上に
一定方向（以下、Ｘ方向とする。）に移動可能に載置さ
れている移動台２０と、移動台２０をＸ方向に移動させ
る駆動機構３０と、固定台座１０に対する移動台２０の
Ｘ方向の相対移動量を検知するリニアエンコーダ４０
と、このリニアエンコーダ４０からの信号に応じて駆動
機構３０の駆動量を制御する制御器４５とを備えてい
る。

【００１５】固定台座１０には、図１〜図３に示すよう
に、Ｘ方向に対して垂直な断面形状がＶ型を成し且つＸ
方向に伸びているＶ溝ガイド１１と、Ｘ方向に対して垂
直な断面形状が平坦で且つＸ方向に伸びている平坦ガイ
ド１２と、Ｘ方向に伸び駆動機構３０の一部が収納され
る駆動機構収納凹部１３とが形成されている。

【００１６】移動台２０には、図１〜図３に示すよう
に、球面を有し球面の一部がＶ溝ガイド１１のＶ型を形
成する２面に接触する２つのＶ溝側被ガイド球体２１，
２２と、球面を有し球面の一部が平坦ガイド１２の平坦
面に接触する１つの平坦側被ガイド球体２３とが、固着
されている。各被ガイド球体２１，２２，２３は、各ガ
イド１１，１２との摩擦抵抗を減らすために、その表面
が四フッ化エチレン樹脂（商標名：テフロン）で形成さ
れている。Ｖ溝側被ガイド球体２２は、図３に示すよう
に、Ｖ溝ガイド１１と二点２２ａ，２２ｂで接触し、平
坦側被ガイド球体２３は、平坦ガイド１２と一点２３ａ
で接触する。従って、３つの被ガイド球体２１，２２，
２３と各ガイド１１，１２との接触点は、合計で５点と
なる。Ｖ溝ガイド１１のＶの角度、平坦ガイド１２の平
坦面のレベルや、被ガイド球体２１，２２，２３の直径
は、図３に示すように、３つの被ガイド球体２１，２
２，２３と各ガイド１１，１２との各接触点が、ｚ方向
に垂直な一平面Ａ内に収まるよう形成されている。

【００１７】駆動機構３０は、図５に示すように、Ｘ方
向に伸びＺ方向に弾性力を有する薄板材３１と、薄板材
３１を挾持する一対のローラ３２，３３と、一対のロー
ラ３２，３３をそれぞれ回転可能に支持するローラ支持
台３４と、一対のローラ３２，３３のうち一方を回転さ
せるローラ回転機構３９とを有している。

【００１８】図２に示すように、薄板材３１のＸ方向の
長さは、移動台２０のＸ方向の移動距離以上の長さであ
る。薄板材３１のＸ方向の両端は、移動台２０の下面に
設けられている薄板材支持ブラケット２５，２５に固定
されている。薄板材３１は、この実施形態において、厚
さが０．１〜１．０ｍｍのバネ材で形成されている。

【００１９】２つのローラ３２，３３（以下、一方を駆
動ローラ３２、他方を従動ローラ３３とする。）は、図
５に示すように、ｚ方向に並び、それぞれの回転軸がｙ
方向に伸びた状態で、各回転軸を中心として回転可能に
ローラ支持台３４に支持されている。ローラ支持台３４
は、駆動ローラ３２の回転軸を支持する駆動ローラ支持
アーム３５と、従動ローラ３３の回転軸を支持する従動
ローラ支持アーム３６と、各ローラ支持アーム３５，３
６を支持する支持台本体３７と、駆動ローラ３２と従動
ローラ３３とで薄板材３１を挾み込む挾持力を調節する
ための挾持力調節ネジ３８とを有している。従動ローラ
支持アーム３６は、支持台本体３７に対して揺動可能に
設けられている。駆動ローラ支持アーム３５は、支持台
本体３７に固定されている。各支持アーム３５，３６
は、図３に示すように、各支持アーム３５，３６が支持
する各ローラ３２，３３と薄板材３１との接触点３１ａ
が、３つの被ガイド球体２１，２２と各ガイド１１，１
２との各接触点を含む平面Ａ内に収まる位置で、支持台
本体３７に設けられている。なお、駆動ローラ３２と薄
板材３１との接触点と従動ローラ３３と薄板材３１との
接触点とは、Ｚ方向の位置が異なるが、薄板材３１の厚
さが薄いため、実際問題として、両接触点は同一位置に
存在していると考えることができる。すなわち、駆動ロ
ーラ３２と薄板材３１との接触点も、従動ローラ３３と
薄板材３１との接触点も、実質的に、平面Ａ内に収まっ
ているものとしている。従動ローラ支持アーム３６の先
端部と駆動ローラ支持アーム３５の先端部には、図５に
示すように、ネジ孔が形成されており、ここに挾持力調
節ネジ３８が捩じ込まれている。この挾持力調節ネジ３
８の捩じ込み操作で、従動ローラ３３と駆動ローラ３２
との間隔が変り、２つのローラ３２，３３による挾持力
が調節される。支持台本体３７は、固定台座１０の駆動
機構収納凹部１３の底に固定されている。

【００２０】ローラ回転機構３９は、モータ３９ａと、
モータ３９ａの回転力を駆動ローラ３２の回転軸に伝達
する回転駆動力伝達部材３９ｂとを有している。モータ
３９ａは、固定台座１０の側面に固定されている。

【００２１】リニアエンコーダ４０は、Ｘ方向に伸び、
固定台座１０の側面に固定されているリニアスケール４
１と、移動台２０の側面で且つリニアスケール４１に対
向する位置に固定されているセンサ４２とを有してい
る。このセンサ４２からの信号が制御器４５に送られる
よう、センサと制御器４５とは位置信号線で接続されて
いる。また、駆動機構３０のモータ３９ａと制御器４５
とは駆動信号線で接続されている。

【００２２】なお、この実施形態において、被ガイド球
体２１，２２，２３と摺接する各ガイド１１，１２は、
摩擦等での温度変化による変形を極力抑えるため、熱膨
脹率の小さい鋳物で形成されている。また、要求される
精度にもよるが、Ｖ溝ガイド１１のＶ溝を形成する２面
と平坦ガイド１２の平坦面は、いずれも、平坦度１μ
ｍ、表面粗さ１ｎｍ以下に加工してある。

【００２３】次に、以上で説明した送り装置の動作につ
いて説明する。制御器４５から駆動機構３０のモータ３
９ａに駆動信号が出力され、モータ３９ａが駆動して、
駆動機構３０の駆動ローラ３２が回転すると、この駆動
ローラ３２と従動ローラ３３とで挾持されている薄板材
３１は、図６及び図７に示すように、固定台座１０に対
してＸ方向に移動する。この薄板材３１は、移動台２０
に固定されているので、移動台２０は、この薄板材３１
の移動に伴って、移動台２０も移動する。このとき、移
動台２０に形成されている各被ガイド球体２１，２２，
２３が、固定台座１０に形成されている各ガイド１１，
１２によって移動方向がＸ方向に規制されているため、
移動台２０は傾いたりすることなく真っ直にＸ方向に移
動する。移動台２０の移動量は、リニアエンコーダ４０
により検知され、この検知結果に基づいて制御器４５が
モータ３９ａの駆動量を制御する。

【００２４】ここで、各被ガイド球体２１，２２，２３
と各ガイド１１，１２との接触関係について説明する。
前述したように、この実施形態において、３つの被ガイ
ド球体２１，２２，２３と各ガイド１１，１２との接触
点は合計で５点である。ところで、ある板材を空間上で
静止させる場合には、この板材を３点で支える必要があ
る。従って、この実施形態において、仮に、移動台２０
と固定台座１０とは、図１に示すように、平坦ガイド１
２と平坦側被ガイド球体２３との接点２３ａ、Ｖ溝ガイ
ド１１と第１のＶ溝側被ガイド球体２１との（＋）Ｙ側
の接点２１ａ、Ｖ溝ガイド１１と第２のＶ溝側被ガイド
球体２２との（＋）Ｙ側の接点２２ａの、合計３点での
み接触しているとする。

【００２５】しかし、この状態で、移動台２０に対して
（−）Ｙ方向の力がかかると、移動台２０は、（−）Ｙ
方向に移動してしまう。従って、移動台２０の（−）Ｙ
方向の移動を規制するために、Ｖ溝ガイド１１と第１の
Ｖ溝側被ガイド球体２１との（−）Ｙ側の接点２１ｂ、
又は、Ｖ溝ガイド１１と第２のＶ溝側被ガイド球体２２
との（−）Ｙ側の接点２２ｂで、移動台２０は固定台座
１０と接触する必要がある。そこで、移動台２０と固定
台座１０とは、先に述べた３点２１ａ，２２ａ，２３ａ
の他、Ｖ溝ガイド１１と第１のＶ溝側被ガイド球体２１
との（−）Ｙ側の接点２１ｂでも接触していると仮定す
る。

【００２６】しかし、この状態においても、例えば、移
動台２０に対して、第１のＶ溝側被ガイド球体２１の中
心から外れた点に（−）Ｙ方向の力が作用すると、移動
台２０は、ＸＹ平面内で第１のＶ溝側被ガイド球体２１
を中心として回転してしまう。従って、第１のＶ溝側被
ガイド球体２１を中心とする移動台２０の回転を規制す
るために、Ｖ溝ガイド１１と第２のＶ溝側被ガイド球体
２２との（−）Ｙ側の接点２２ｂにおいても、移動台２
０と固定台座１０とは接触している必要がある。

【００２７】以上のように、移動台２０が、傾いたり回
転したりすることなく、Ｘ方向に真っ直ぐ移動するため
には、固定台座１０と、最低５点で接触している必要が
ある。とこで、この実施形態では、移動台２０と固定台
座１０とは、移動台２０が傾いたり回転したりすること
なくＸ方向に真っ直ぐ移動するために必要な最小限の５
点２１ａ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂで、接触し
ている。従って、この実施形態は、移動台２０と固定台
座１０とが不要な点で接触していないので、図８に示す
従来技術のように、移動台２０が多数のローラ４，４，
…と線接触するものに比べて、意図していない挙動の因
子が少ないと言える。

【００２８】また、平坦側被ガイド球体２３が平坦ガイ
ド１２に接触し、２つのＶ溝側被ガイド球体２１，２２
がいずれもＶ溝ガイド１１のＶ溝内に収まる場合には、
例えば、２つのＶ溝側被ガイド球体２１，２２のうち、
第２のＶ溝側被ガイド球体２２が極端に小さくて、移動
台２０の下面が固定台座１０の上面に接触し、この第２
のＶ溝側被ガイド球体２２がＶ溝ガイド１１とまったく
接触しない場合等を除き、各被ガイド球体２１，２２，
２３の直径に多少のバラツキがあったとしても、移動台
２０と固定台座１０とは、前述した５つの接触点２１
ａ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂで確実に接触す
る。すなわち、この実施形態では、移動台２０と固定台
座１０とは、各被ガイド球体２１，２２，２３の直径や
真球度に多少のバラツキがあっても、予定している点で
確実に接触し、Ｖ溝ガイド１１が正確に形成されていれ
ば、移動台２０は挙動なくＸ方向に移動する。一方、図
８に示す従来技術では、各ローラ４，４，…の直径や形
状に僅かなバラツキがあると、たとえ、Ｖ溝ガイド１１
が正確に形成されていても、移動台２０と接触しないロ
ーラ４が存在してしまい、移動台２０に意図しない挙動
が生じる恐れが大きい。従って、移動台２０が予定して
いる点で常時確実に接触するこの実施形態は、移動台５
と時には接触し時には接触しないローラ４が存在してし
まう従来技術に比べて、意図していない挙動の因子が少
ないと言える。

【００２９】さらに、この実施形態では、移動方向であ
るＸ方向に対して垂直な方向に弾性を有する薄板材３１
をローラ３２，３３で移動させることで、移動台２０を
Ｘ方向に移動させているので、各ローラ３２，３３に直
径誤差や、薄板材３１に対する各ローラ３２，３３の相
対位置誤差があったとしても、さらに、モータ３９ａの
振動が駆動ローラ３２に伝わり、この駆動ローラ３２が
振動したとしても、これらは全て薄板材３１に吸収され
てしまうので、駆動機構３０を原因とする挙動は発生し
ない。これに対して、図８に示す従来技術では、駆動機
構７のボルト部材８ａの雄ネジに対するナット部材８ｂ
の雌ネジのガタや、回転中のボルト部材８ａの雄ネジと
ナット部材８ｂの雌ネジとの噛み合い関係の変化、さら
には、ナット部材８ｂの移動方向に対する方向性等によ
り、移動台５に意図しない挙動が発生してしまう。

【００３０】また、図８に示す従来技術では、ネジのガ
タではないが、歯の製作上の誤差や運動による歯の変形
で生じる歯と歯との軋みで、ネジが円滑運動しなくなる
のを防ぐために、歯と歯との間に必ず隙間、つまりバッ
クラッシを設けている。このため、移動台５の移動開始
時等に、Ｘ方向における移動誤差が生じてしまう。これ
に対して、この実施形態では、挾持力調節ネジ３８を回
して、駆動ローラ３２と従動ローラ３３とで薄板材３１
を挾み込む挾持力を調節し、移動台２０の移動開始時に
おいても、各ローラ３２，３３が薄板材３１に対して、
滑らず、確実に転がり接触するよう、各ローラ３２，３
３と薄板材３１との間の摩擦力を確保しておけば、移動
台２０の移動開始時等のＸ方向の移動誤差を避けること
ができる。

【００３１】以上のように、この実施形態は、ガイド形
式においても、駆動形式においても、移動台２０の挙動
因子が非常に少ないと言える。しかしながら、この実施
形態でも、Ｖ溝ガイド１１のＶ溝を形成する各面及び平
坦ガイド１２の平坦面が、高精度で平坦であり且つＸ方
向に対して平行に形成されていなければ、移動台２０
は、挙動してしまうことになる。この実施形態では、各
被ガイド球体２１，２２，２３の直径や真球度に多少の
バラツキがあっても、さらに、各ガイド１１，１２が正
確に形成されていなくとも、前述したように、移動台２
０と固定台座１０とは、予定している点で確実に接触す
る。従って、移動台２０を一度Ｘ方向に移動させた後、
元の位置に戻し、再び移動台２０をＸ方向に移動させた
場合、最初の移動時と後の移動時とにおいて、同じ挙動
を示すことになる、つまり挙動再現性がある。これに対
して、図８に示す従来技術では、各ローラ４，４，…の
直径や形状に僅かなバラツキがあると、たとえ、各ガイ
ド２，３が正確に形成されていても、各ローラ４，４，
…の転がり方に差異が生じるため、挙動再現性がない。
この実施形態のように挙動再現性があると、「従来技
術」で述べたように、送り装置を用いて形状測定を行う
場合、予め移動台２０の挙動を把握しておけば、形状測
定値から挙動量を減算することで、正確な形状を得るこ
とができる。

【００３２】ここで、仮に、Ｚ方向において、平坦ガイ
ド１２の位置がＶ溝ガイド１１の位置よりも（＋）Ｚ側
に大きくズレているとすると、ローラ３２，３３と薄板
材３１との接触点３１ａを中心とするモーメントが移動
台２０に作用してしまう。しかしながら、この実施形態
では、３つの被ガイド球体２１，２２，２３と各ガイド
１１，１２との各接触点２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２
ｂ，２３ａ、及びローラ３２，３３と薄板材３１との接
触点３１ａは、一平面Ａ内に位置しているため、以上の
ようなモーメントが移動台２０に作用することはなく、
移動台２０を安定走行させることができる。

【００３３】なお、この実施形態におけるガイド形式も
駆動形式も、いずれも挙動因子を削減することができる
ので、この実施形態におけるガイド形式と駆動形式との
うち、一方のみを採用しても、挙動因子を削減すること
ができる。すなわち、この実施形態において、駆動形式
のみ従来の駆動形式を採用しても、ガイド形式のみ従来
のガイド形式を採用しても、挙動因子を削減することが
できる。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、移動台と固定台座と
は、移動台を目的の移動方向以外への移動を規制し得る
最小の接触点数で接触し、しかも、予定している各接触
点で常時確実に接触するので、移動台の挙動因子を少な
くすることができる。また、移動台と固定台座とは、前
述したように、予定している各接触点で確実に接触する
ため、その挙動の再現性を確保することができる。

【００３５】また、薄板材を有している駆動機構を備え
ているものでも、駆動機構の駆動源からの振動等を薄板
材で吸収することができるので、移動台の挙動因子を少
なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る一実施形態としての送り装置の平
面図である。

【図２】図１におけるII−II線断面図である。

【図３】図１におけるIII−III線断面図である。

【図４】本発明に係る一実施形態としての送り装置の全
体斜視図である。

【図５】本発明に係る一実施形態としての駆動機構の斜
視図である。

【図６】本発明に係る一実施形態としての送り装置（移
動後）の平面図である。

【図７】図６におけるＶII−ＶII線断面図である。

【図８】従来の送り装置の斜視図である。

【図９】従来の送り装置を用いての形状測定方法を示す
説明図である。

【符号の説明】

１０…固定台座、１１…Ｖ溝ガイド、１２…平坦ガイ
ド、２０…移動台、２１，２２…Ｖ溝側被ガイド球体、
２３…平坦側ガイド球体、３０…駆動機構、３１…薄板
材、３２…駆動ローラ、３３…従動ローラ、３４…ロー
ラ支持台、３８…挾持力調節ネジ、３９…ローラ回転機
構、３９ａ…モータ、４０…リニアエンコーダ、４５…
制御器。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲田 惠司 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】固定台座と、該固定台座に対して一定方向
   に移動する移動台と、該移動台を該固定台座に対して該
   一定方向に移動させる駆動機構とを備え、該移動台の上
   に載置されたものを該一定方向に送る送り装置におい
   て、 前記固定台座には、前記一定方向に対して垂直な断面形
   状がＶ型を成し且つ該一定方向に伸びているＶ溝ガイド
   と、該一定方向に対して垂直な断面形状が平坦で且つ該
   一定方向に伸びている平坦ガイドとが形成され、 前記移動台には、球面を有し該球面の一部が前記Ｖ溝ガ
   イドのＶ型を形成する２面に接触する２つのＶ溝側被ガ
   イド球体と、球面を有し該球面の一部が前記平坦ガイド
   の平坦面に接触する１つの平坦側被ガイド球体とが、固
   定されていることを特徴とする送り装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の送り装置において、 二つの前記Ｖ溝側被ガイド球体と前記Ｖ溝ガイドのＶ型
   を形成する２面とがそれぞれ接触する各接触点と、１つ
   の前記平坦側被ガイド球体と前記平坦ガイドの平坦面と
   が接触する接触点とは、前記一定方向に平行な１つの平
   面内に有していることを特徴とする送り装置。
3. 【請求項３】請求項１又は２記載の送り装置において、 前記Ｖ溝側被ガイド球体及び前記平坦側被ガイド球体の
   球面は、各ガイドに対する摩擦係数の小さい樹脂で形成
   されていることを特徴とする送り装置。
4. 【請求項４】請求項１、２又は３記載の送り装置におい
   て、 前記駆動機構は、 前記移動台の前記一定方向への移動距離以上で且つ該一
   定方向に伸び、その両端が該移動台に取り付けられ、該
   一定方向に対して垂直な方向への弾性を有する薄板材
   と、 前記薄板材を挾持する一対のローラと、 一対の前記ローラが前記薄板材を挾み込んだ状態で、一
   対の該ローラをそれぞれ回転可能で且つ前記固定台座に
   対して相対移動不能に支持するローラ支持手段と、 一対の前記ローラのうち、一方を回転させるローラ回転
   機構と、 を有していることを特徴とする送り装置。
5. 【請求項５】請求項４記載の送り装置において、 一対の前記ローラと前記薄板材とが接触する接触点と、
   二つの前記Ｖ溝側被ガイド球体と前記Ｖ溝ガイドのＶ型
   を形成する２面とがそれぞれ接触する各接触点と、１つ
   の前記平坦側被ガイド球体と前記平坦ガイドの平坦面と
   が接触する接触点とは、実質的に、前記一定方向に平行
   な１つの平面内に有していることを特徴とする送り装
   置。
6. 【請求項６】固定台座と、該固定台座に対して一定方向
   に移動する移動台と、該移動台を該固定台座に対して該
   一定方向に移動させる駆動機構とを備え、該移動台の上
   に載置されたものを該一定方向に送る送り装置におい
   て、 前記固定台座と前記移動台とのうち、いずれか一方に
   は、前記一定方向に伸びているガイドが形成され、 前記固定台座と前記移動台とのうち、他方には、前記一
   方に形成されている前記ガイドに沿って該一方に対して
   相対移動して、該他方の相対移動方向を前記一定方向に
   する被ガイド部材が取り付けられ、 前記駆動機構は、 前記移動台の前記一定方向への移動距離以上で且つ該一
   定方向に伸び、その両端が該移動台に取り付けられ、該
   一定方向に対して垂直な方向への弾性を有する薄板材
   と、 前記薄板材を挾持する一対のローラと、 一対の前記ローラが前記薄板材を挾み込んだ状態で、一
   対の該ローラをそれぞれ回転可能で且つ前記固定台座に
   対して相対移動不能に支持するローラ支持手段と、 一対の前記ローラのうち、一方を回転させるローラ回転
   機構と、 を有していることを特徴とする送り装置。
7. 【請求項７】請求項４、５又は６記載の送り装置におい
   て、 前記駆動機構は、 一対の前記ローラで前記薄板材を挾持する力を調節する
   挾持力調節手段を有していることを特徴とする送り装
   置。