JPH0932894A - 動力伝達ベルトのテンション調整治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 動力伝達ベルトのテンションを容易にかつ適
正に調整することができるテンション調整治具を提供す
ることである。 【解決手段】 延長プレート１１は動力伝達ベルト６の
外周面に沿って配置される。延長プレート１１が支持プ
レート１２に固定され、保持部材１４が動力伝達ベルト
６の外周面に対してほぼ垂直な方向に摺動可能に支持プ
レート１２に支持される。保持部材１４にはスピンドル
１７が摺動自在に挿入され、そのスピンドル１７はスプ
リングにより動力伝達ベルト６に向かう方向に付勢され
て動力伝達ベルト６の外周面に当接する。スピンドル１
７と平行にテンション確認マーカ２５が付された表示プ
レート２３が配置される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数のプーリ間に
架け渡される動力伝達ベルトのテンション（張力）を調
整するためのテンション調整治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、種々の産業装置において、複
数の回転軸間で動力を伝達するために、各回転軸にプー
リを取り付け、それらのプーリ間に動力伝達ベルトを架
け渡してなる動力伝達機構が用いられている。このよう
な動力伝達機構を有する装置の組み立て時には、動力伝
達ベルトが架け渡される回転軸間の間隔を調整すること
により、その動力伝達ベルトに付与されるテンションを
調整している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなテンションの調整作業は、作業者の経験や勘に頼っ
ているため、回転軸間の間隔を広げすぎて動力伝達ベル
トのテンションが強すぎたり、あるいは回転軸間の間隔
を狭くしすぎて動力伝達ベルトのテンションが弱すぎた
りする場合が生じる。動力伝達ベルトのテンションが強
すぎると回転軸に繰り返し応力が加わり、回転軸が破損
するおそれがある。また、動力伝達ベルトが磨耗した
り、動力伝達ベルトの素材が破断してパーティクル（粒
子）が発生するおそれもある。一方、動力伝達ベルトの
テンションが弱すぎると、プーリが動力伝達ベルトに対
して空回りし、確実に動力を伝達することができない。

【０００４】本発明の目的は、動力伝達ベルトのテンシ
ョンを容易にかつ適正に調整することができるテンショ
ン調整治具を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る動力伝達ベルトのテンション調整治具は、複
数のプーリ間に架け渡される動力伝達ベルトのテンショ
ンを調整するためのテンション調整治具であって、動力
伝達ベルトの外周面に当接して動力伝達ベルトにテンシ
ョンを付与するための当接部材と、動力伝達ベルトの外
周面に対してほぼ垂直な方向に当接部材を移動可能に支
持する支持部材と、当接部材を支持部材に固定する固定
部材と、動力伝達ベルトに所定のテンションが付与され
る当接部材の位置を表示する位置表示手段とを備えたも
のである。

【０００６】第２の発明に係る動力伝達ベルトのテンシ
ョン調整治具は、第１の発明に係る動力伝達ベルトのテ
ンション調整治具の構成において、当接部材が、動力伝
達ベルトの外周面に先端部で当接する棒状部材を含み、
位置表示手段が、棒状部材にほぼ平行に配置されかつ棒
状部材の最適位置を示す表示が付された表示用部材から
なるものである。

【０００７】第３の発明に係る動力伝達ベルトのテンシ
ョン調整治具は、第１または第２の発明に係る動力伝達
ベルトのテンション調整治具の構成において、当接部材
を動力伝達ベルトの外周面に向かう方向に付勢する付勢
手段をさらに備えたものである。

【０００８】第４の発明に係る動力伝達ベルトのテンシ
ョン調整治具は、第２の発明に係る動力伝達ベルトのテ
ンション調整治具の構成において、当接部材が、棒状部
材を動力伝達ベルトの外周面に対してほぼ垂直な方向に
摺動自在に保持する保持部材と、棒状部材を保持部材に
対して動力伝達ベルトの外周面に向かう方向に付勢する
付勢手段とをさらに含み、支持部材が、保持部材を動力
伝達ベルトの外周面に対してほぼ垂直な方向に摺動可能
に支持するものである。

【０００９】第５の発明に係る動力伝達ベルトのテンシ
ョン調整治具は、第１、第２、第３または第４の発明に
係る動力伝達ベルトのテンション調整治具の構成におい
て、動力伝達ベルトの外周面に沿って延びかつ支持部材
が固定される延長部材をさらに備えたものである。

【００１０】第１〜第５の発明に係る動力伝達ベルトの
テンション調整治具においては、当接部材が支持部材に
より動力伝達ベルトの外周面に対してほぼ垂直な方向に
移動可能に支持され、動力伝達ベルトの外周面に当接す
る。また、動力伝達ベルトに所定のテンションが付与さ
れる当接部材の位置が位置表示手段により表示される。

【００１１】したがって、作業者は、位置表示手段によ
り表示される位置に当接部材を移動させ、その位置で当
接部材を支持部材に固定するだけで、動力伝達ベルトに
適正なテンションを容易に付与することができる。その
結果、テンション調整作業における作業誤差がなくな
り、回転軸の破損、動力伝達ベルトの磨耗、動力伝達ベ
ルトの素材の破断によるパーティクルの発生を防止しつ
つ、確実な動力の伝達を達成することができる。

【００１２】特に、第２の発明に係る動力伝達ベルトの
テンション調整治具においては、当接部材が動力伝達ベ
ルトの外周面に先端部で当接する棒状部材からなるの
で、当接部材と動力伝達ベルトとの間の摩擦が最小限に
抑えられる。また、位置表示手段が棒状部材に平行に配
置された表示用部材からなるので、棒状部材を表示用部
材の最適位置を示す表示に移動させるだけで、棒状部材
の位置決めを容易に行うことができる。したがって、動
力伝達ベルトのテンションを容易にかつ適正に調整する
ことができるとともに、表示用部材により動力伝達ベル
トのテンションが適正な状態であるか否かを容易に確認
することができる。

【００１３】また、第３の発明に係る動力伝達ベルトの
テンション調整治具においては、当接部材が動力伝達ベ
ルトの外周面に向かう方向に付勢されているので、その
付勢力により動力伝達ベルトにテンションを付与するこ
とができる。

【００１４】さらに、第４の発明に係る動力伝達ベルト
のテンション調整治具においては、保持部材に摺動自在
に保持された棒状部材が付勢手段により動力伝達ベルト
の外周面に向かう方向に付勢され、保持部材が支持部材
に摺動可能に支持されているので、保持部材を支持部材
に対して摺動させ、棒状部材を表示用部材に付された最
適位置を示す表示に位置させるだけで、付勢手段の付勢
力により動力伝達ベルトに適正なテンションを付与する
ことができる。

【００１５】また、第５の発明に係る動力伝達ベルトの
テンション調整治具においては、動力伝達ベルトの外周
面に沿って延びる延長部材に支持部材が固定されるの
で、回転軸間の間隔が異なる種々の動力伝達機構にテン
ション調整治具を適用することが可能となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例における
動力伝達ベルトのテンション調整治具の概略斜視図であ
る。また、図２は同実施例のテンション調整治具の一部
断面平面図、図３（ａ），（ｂ）はそのテンション調整
治具の側面図および断面図である。本実施例のテンショ
ン調整治具は、動力伝達ベルトによる動力伝達機構を有
する種々の装置に設けられる。

【００１７】図１において、モータ１の回転軸２に駆動
側プーリ３が取り付けられ、従動軸４に従動側プーリ５
が取り付けられ、それらのプーリ３，５間に動力伝達ベ
ルト（以下、ベルトと略記する）６が架け渡されてい
る。このベルト６のテンションを調整するために、本実
施例のテンション調整治具１０が設けられている。

【００１８】テンション調整治具１０において、延長プ
レート１１は、中央部に凹部が設けられるように折曲形
成されている。この延長プレート１１は、ベルト６の外
周面に沿うように配置され、ねじ１３により支持プレー
ト１２に固定されている。この支持プレート１２の中央
の上面部１２ａには、ベルト６の外周面にほぼ垂直な方
向の長孔１３ａ，１３ｂが形成されている。

【００１９】支持プレート１２の凹部内には、保持部材
１４がベルト６の外周面に対して垂直な方向（矢印Ｖの
方向）に摺動自在に挿入され、ねじ１５ａ，１５ｂが支
持プレート１２の長孔１３ａ，１３ｂを通して保持部材
１４のねじ孔１６ａ，１６ｂ（図２参照）に螺合されて
いる。これらのねじ１５ａ，１５ｂを緩めることによ
り、保持部材１４が支持プレート１２に対して矢印Ｖの
方向に摺動可能となる。また、ねじ１５ａ，１５ｂを締
め付けることにより、保持部材１４が支持プレート１２
に対して固定される。

【００２０】保持部材１４の内部には、円柱状の空洞部
１８が設けられている（図２および図３（ｂ）参照）。
この空洞部１８にはベルト６にテンションを付与するた
めのスピンドル１７が挿入され、保持部材１４のベルト
６側の端面に摺動自在に挿通されている。スピンドル１
７の先端部は尖鋭に形成され、スピンドル１７の先端尖
鋭部がベルト６に接触する状態が一定状態に保たれるよ
う回り止め機能を備えてベルト６に当接する。スピンド
ル１７の後端部には、空洞部１８内に摺動自在に嵌挿さ
れた円形の摺動部材１９が固定されている。保持部材１
４にスピンドル１７を挿通した状態で空洞部１８にスプ
リング２０が挿入され、蓋部材２１がねじ２２ａ，２２
ｂにより開口部に取り付けられている。それにより、ス
ピンドル１７がベルト６に向かう方向に付勢されてい
る。

【００２１】保持部材１４の下面には、矢印Ｖの方向に
沿った凸部１４ａが設けられている（図３（ｂ）参
照）。表示プレート２３は、この凸部１４ａに嵌合する
ように凹状に折曲形成されている。この表示プレート２
３は、スピンドル１７に平行に配置され、ねじ２４ａ，
２４ｂにより保持部材１４の下面に矢印Ｖの方向に摺動
自在に取り付けられている。表示プレート２３の上面の
ベルト６側の端部には、テンション確認マーカ２５が付
されている。テンション確認マーカ２５は、ベルト６に
適正なテンションを付与するスピンドル１７の先端部の
位置範囲を示している。この表示プレート２３は支持プ
レート１２に固定されている。

【００２２】支持プレート１２の後部側（ベルト６と反
対側）にはコの字状部材２６が固定されている（図２お
よび図３（ａ）参照）。コの字状部材２６の中央部には
ネジ部２６ａが形成され、このネジ部２６ａの部分にナ
ット２７がはめ込まれている。ボルトからなるストッパ
２８がこのネジ部２６ａに螺合され、ナット２７で回転
防止され、その先端部が保持部材１４の蓋部材２１に当
接する。このストッパ２８により保持部材１４がベルト
６から離れる方向に移動することが阻止される。なお、
図１では、コの字状部材２６の図示が省略されている。

【００２３】本実施例では、支持プレート１２が支持部
材を構成し、保持部材１４およびスピンドル１７が当接
部材を構成し、ねじ１５ａ，１５ｂが固定部材を構成す
る。また、表示プレート２３およびテンション確認マー
カ２５が位置表示手段を構成し、スプリング２０が付勢
手段を構成する。さらに、延長プレート１１が延長部材
を構成する。なお、付勢手段としてスプリング２０の代
わりにその他の弾性部材を用いてもよい。

【００２４】次に、本実施例のテンション調整治具１０
を用いてベルト６のテンションを調整する方法を説明す
る。まず、ねじ１５ａ，１５ｂを緩めることにより、保
持部材１４を矢印Ｖの方向に支持プレート１２に対して
摺動可能にする。保持部材１４をベルト６に近づく方向
または遠ざかる方向に移動させ、スピンドル１７の先端
部が表示プレート２３のテンション確認マーカ２５の範
囲内に位置するように調整を行う。その状態でねじ１５
ａ，１５ｂを締め付け、保持部材１４を支持プレート１
２に対して固定する。さらに、ストッパ２８をコの字状
部材２６の孔２６ａにねじ込み、保持部材１４の蓋部材
２１に当接させる。それにより、支持プレート１２に対
して保持部材１４がさらに確実に固定される。

【００２５】このように、スピンドル１７の先端部がテ
ンション確認マーカ２５の範囲内に位置するように保持
部材１４を移動させるだけで、スプリング２０の付勢力
によりベルト６に適正なテンションが付与される。した
がって、装置の組み立て時に、作業者の経験や勘に頼る
ことなく、ベルト６のテンションを適正な状態に容易に
調整することができる。また、装置の保守時に、表示プ
レート２３のテンション確認マーカ２５によりベルト６
のテンションが適正な状態であるか否かを容易に確認す
ることができ、適正な状態でない場合には、そのテンシ
ョンを容易に適正な状態に調整することができる。

【００２６】したがって、本実施例のテンション調整治
具１０を用いると、ベルト６に付与されるテンションが
強すぎることによる回転軸の破損が防止されるととも
に、ベルト６の磨耗やベルト６の素材の破断によるパー
ティクルの発生が防止される。

【００２７】また、本実施例のテンション調整治具１０
においては、延長プレート１１が設けられているので、
回転軸間の間隔が異なる種々の動力伝達機構に適用する
ことが可能となる。

【００２８】図４に本実施例のテンション調整治具が適
用される装置の一例として基板処理装置を示す。図４の
基板処理装置は、基板１００に塗布処理、現像処理、密
着強化処理、加熱処理、冷却処理等の一連の処理を行う
ための装置であり、正面側に基板処理ユニット領域Ａを
有し、後方側に基板処理ユニット領域Ｂを有し、基板処
理ユニット領域Ａと基板処理ユニット領域Ｂとの間に搬
送領域Ｃを有する。

【００２９】基板処理ユニット領域Ａには、塗布処理を
行う基板処理ユニットであるスピンコータＳＣ、および
現像処理を行う基板処理ユニットであるスピンデベロッ
パＳＤが配列されている。また、基板処理ユニット領域
Ｂには、各種熱処理を行う基板処理ユニットである密着
強化ユニットＡＨ、ホットプレートＨＰ１〜ＨＰ３およ
びクーリングプレートＣＰ１，ＣＰ２が配置されてい
る。搬送領域Ｃには、基板搬送装置５０が移動自在に設
けられている。

【００３０】さらに、この基板処理装置の側部側には、
基板１００の搬入および搬出を行うインデクサＩＮＤが
設けられている。インデクサＩＮＤの移載ロボット９１
は、カセット９２から基板１００を取り出して基板搬送
装置５０に送り出し、逆に、一連の処理が施された基板
１００を基板搬送装置５０から受け取ってカセット９２
に戻す。

【００３１】基板搬送装置５０は、基板１００を支持す
る上下一対のアーム５１ａ，５１ｂおよびそれらのアー
ム５１ａ，５１ｂを移動させる移動体５２を有する。一
対のアーム５１ａ，５１ｂは、アーム駆動機構（図示せ
ず）によりそれぞれ独立して基板処理ユニット領域Ａお
よび基板処理ユニット領域Ｂの側に進退移動可能となっ
ており、各基板処理ユニットとの間で処理済の基板と未
処理の基板とを交換する。すなわち、移動体５２が基板
処理ユニット領域Ａ，Ｂのいずれかの基板処理ユニット
の位置に移動し、一方のアームでその基板処理ユニット
内の処理済の基板を受け取るとともに、他方のアームで
未処理の基板をその基板処理ユニットに受け渡す。

【００３２】図５は図４の基板処理装置における基板搬
送装置５０の詳細な斜視図である。この基板搬送装置５
０は、一対のアーム５１ａ，５１ｂを移動体５２に対し
て水平のＹ方向にそれぞれ独立に移動させるＹ方向移動
機構（図示せず）と、アーム５１ａ，５１ｂを移動体５
２とともに鉛直のＺ方向に移動させるＺ方向移動機構６
０と、アーム５１ａ，５１ｂを移動体５２とともに水平
のＸ方向に移動させるＸ方向移動機構７０と、移動体５
２を旋回させて上述のＹ方向の向きを変える旋回機構８
０とを有し、アーム５１ａ，５１ｂを３次元的に移動さ
せる。

【００３３】本実施例のテンション調整治具１０は、Ｘ
方向移動機構７０に適用される。Ｘ方向移動機構７０に
おいて、モータ１の回転軸２には駆動側プーリ３が取り
付けられ、従動軸４には従動側プーリ５が取り付けられ
ている。従動軸４はボールねじの雄ねじからなり、図４
に示す搬送領域Ｃの長手方向（Ｘ方向）に沿って設けら
れている。プーリ３，５間にベルト６が架け渡され、モ
ータ１の回転に伴って従動軸４も回転駆動される。この
ベルト６のテンションを調整するために、本実施例のテ
ンション調整治具（図示せず）が設けられる。

【００３４】従動軸４の両端は搬送領域Ｃの長手方向の
両端にまで至っており、図外の部分で回転自在に支持さ
れている。従動軸４は、Ｘ方向移動台７１に固定された
ボールねじの雌ねじ７２に螺合している。この雌ねじ７
２にはケーブルベア７３が連結されている。図中に一点
鎖線で示すように、モータ１の正回転または逆回転によ
り、Ｘ方向移動台７１がＸ方向に往復移動する。

【００３５】Ｚ方向移動機構６０において、モータ６１
がＸ方向移動台７１上に取り付けられている。モータ６
１の回転軸には、Ｚ方向に雄ねじ６２が連結されてい
る。雄ねじ６２は、Ｚ方向移動台６３に固定された雌ね
じ６４に螺合している。Ｚ方向移動台６３は、Ｘ方向移
動台７１に垂直に立設されたガイド６５に案内されてい
る。モータ６１の正回転または逆回転により、Ｚ方向移
動台６３が雄ねじ６３に沿ってＺ方向に上下動する。

【００３６】Ｚ方向移動台６３の上端部には水平部６３
ａが形成されており、その水平部６３ａに旋回機構８０
が設けられている。旋回機構８０において、モータ８１
は、その回転軸（図示せず）がＺ方向と平行な軸Ｒと一
致するように水平部６３ａの下面に取り付けられてい
る。モータ８１の回転軸は、水平部６３ａを貫通してそ
の上面に突出している。この回転軸には移動体５２が取
り付けられている。それにより、移動体５２は、モータ
８１の回転により、軸Ｒの回りでθ方向に旋回可能とな
っている。

【００３７】移動体５２は、Ｙ方向移動機構（図示せ
ず）によりＹ方向に進退移動される。このＹ方向移動機
構においては、移動体５２の両側面でＹ方向に延びるガ
イドレール（図示せず）が設けられ、一対の摺動腕５３
ａ，５３ｂがそのガイドレールに案内されている。これ
らの摺動腕５３ａ，５３ｂはそれぞれアーム５１ａ，５
１ｂを支持する。摺動腕５３ａ，５３ｂはモータ、ワイ
ヤ、プーリ等からなる一対の駆動装置（図示せず）によ
り独立に往復移動される。

【００３８】この基板処理装置において本実施例のテン
ション調整治具を用いることにより、ベルト６のテンシ
ョンを容易にかつ適正に調整することができる。それに
より、回転軸の破損、ベルト６の磨耗およびパーティク
ルの発生を防止しつつ確実な動力の伝達を達成すること
ができ、その結果、基板処理装置の信頼性が向上する。

【００３９】なお、本発明のテンション調整治具は、基
板処理装置に限らず、動力伝達ベルトを用いた動力伝達
機構を有する種々の産業装置に適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における動力伝達ベルトのテ
ンション調整治具の概略斜視図である。

【図２】図１の動力伝達ベルトのテンション調整治具の
一部断面平面図である。

【図３】図１の動力伝達ベルトのテンション調整治具の
側面図および断面図である。

【図４】図１のテンション調整治具が適用される基板処
理装置の斜視図である。

【図５】図４の基板処理装置における基板搬送装置の斜
視図である。

【符号の説明】

１ モータ ２ 回転軸 ３ 駆動側プーリ ４ 従動軸 ５ 従動側プーリ ６ 動力伝達ベルト １０ テンション調整治具 １１ 延長プレート １２ 支持プレート １４ 保持部材 １５ａ，１５ｂ ねじ １７ スピンドル ２０ スプリング ２３ 表示プレート ２５ テンション確認マーカ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のプーリ間に架け渡される動力伝達
   ベルトのテンションを調整するためのテンション調整治
   具であって、 前記動力伝達ベルトの外周面に当接して前記動力伝達ベ
   ルトにテンションを付与するための当接部材と、 前記動力伝達ベルトの外周面に対してほぼ垂直な方向に
   前記当接部材を移動可能に支持する支持部材と、 前記当接部材を前記支持部材に固定する固定部材と、 前記動力伝達ベルトに所定のテンションが付与される前
   記当接部材の位置を表示する位置表示手段とを備えたこ
   とを特徴とする動力伝達ベルトのテンション調整治具。
2. 【請求項２】 前記当接部材は、前記動力伝達ベルトの
   外周面に先端部で当接する棒状部材を含み、前記位置表
   示手段は、前記棒状部材にほぼ平行に配置されかつ前記
   棒状部材の最適位置を示す表示が付された表示用部材か
   らなることを特徴とする請求項１記載の動力伝達ベルト
   のテンション調整治具。
3. 【請求項３】 前記当接部材を前記動力伝達ベルトの外
   周面に向かう方向に付勢する付勢手段をさらに備えたこ
   とを特徴とする請求項１または２記載の動力伝達ベルト
   のテンション調整治具。
4. 【請求項４】 前記当接部材は、前記棒状部材を前記動
   力伝達ベルトの外周面に対してほぼ垂直な方向に摺動自
   在に保持する保持部材と、前記棒状部材を前記保持部材
   に対して前記動力伝達ベルトの外周面に向かう方向に付
   勢する付勢手段とをさらに含み、 前記支持部材は、前記保持部材を前記動力伝達ベルトの
   外周面に対してほぼ垂直な方向に摺動可能に支持するこ
   とを特徴とする請求項２記載の動力伝達ベルトのテンシ
   ョン調整治具。
5. 【請求項５】 前記動力伝達ベルトの外周面に沿って延
   びかつ前記支持部材が固定される延長部材をさらに備え
   たことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の動
   力伝達ベルトのテンション調整治具。