JPH09329015A - コロナ放電素子およびそれを用いたガス処理装置 - Google Patents
コロナ放電素子およびそれを用いたガス処理装置Info
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- JPH09329015A JPH09329015A JP15253396A JP15253396A JPH09329015A JP H09329015 A JPH09329015 A JP H09329015A JP 15253396 A JP15253396 A JP 15253396A JP 15253396 A JP15253396 A JP 15253396A JP H09329015 A JPH09329015 A JP H09329015A
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Abstract
を同時に除去する。 【解決手段】 一対の電極間に誘電体で作成された多孔
質フィルタ層と、稠密な誘電体で作成された誘電体層を
介在し、両電極間に交流高圧電源を接続し、多孔質フィ
ルタの表面とその内部の細孔の壁面に発生するラジカル
やオゾンで、そこを通過するガス状及び粒子状有害物質
を酸化及び還元して安全なガスにする。
Description
ン、各種ボイラーなどの排気ガス中に含まれる粒子状汚
染物質ならびにガス状汚染物質を除去・分解したり、各
種有機溶剤や有機塩素剤、悪臭などを含有するガスを浄
化するためのコロナ放電素子ならびにそれを用いたガス
処理装置に関するものである。
に2つの絶縁された電極1a、4a間に稠密な誘電体2
aを挟み込み、該両電極間に交流高電圧またはパルス電
圧9を印加することにより無声放電と呼ばれる形式の放
電を発生させたり、図10に示すように稠密な誘電体2
aの一側面に誘導電極1aを、他側面に放電電極4bを
設け該両電極間に交流高電圧またはパルス電圧を印加す
ることにより沿面放電と呼ばれる形式の放電を発生させ
ていた。
含まれる粒子状汚染物質を除去するために図11に示す
ような蜂の巣状のセラミックフィルタ11を用い、処理
対象ガス5がガス入口12から入って多孔質セラミック
フィルタ11を通過ガス10で示すように通過する際に
粒子状汚染物質を分離除去し、ガス出口13から処理終
了ガス6として排出していた。
や沿面放電コロナ放電素子ではプラズマを発生させ、プ
ラズマ中に生成されるラジカルと排ガス中のガス状汚染
物質との化学反応を発生させることはできたが、粒子状
汚染物質は除去することはできなかった。
コロナ放電素子で発生するプラズマは放電空間3aの空
隙で疎らに発生する極細いチャネルや稠密な誘電体の表
面で形成される結果、ラジカルと排ガス中のガス状汚染
物質の分子との衝突確率が小さく処理に時間がかかって
いた。
排ガス中のカーボンを主成分とする粒子状汚染物質は除
去することはできたが、ガス状汚染物質に対しては効果
がなかった。
り除去した粒子状汚染物質はフィルタ上に蓄積され目詰
りを生じるため、定期的に加熱してカーボンを燃焼させ
て取り除く作業が必要であった。
ミックフィルタが破損する場合があった。
ス中の粒子状汚染物質とガス状汚染物質を同時に除去す
ることで清浄なガスとして外部に放出できるようにする
ことである。
とガス状汚染物質分子との衝突確率を高めて、そのガス
状汚染物質分子を酸化作用と還元作用で分解して安全な
分子に変換するために要する時間(処理時間)を短くす
ることである。
ーボンを主成分とする粒子状汚染物質を分解する場合、
プラズマにより低温で二酸化炭素として除去し、前記セ
ラミックフィルタの局所加熱による破損などを防止する
ことである。
カーボンを主成分とする粒子状汚染物質を排ガス中の窒
素酸化物の還元剤として作用させ、窒素酸化物を窒素に
変換して処理することである。
子およびそれを用いた処理装置は金属や半導体などで作
製された互に絶縁された一対の電極間に、セラミックな
どの誘電体で作製した多孔質フィルタとアルミナなどの
セラミックや、石英ガラスなどのガラスで作製した稠密
な誘電体を夫々少なくとも1つずつ挟み込んでコロナ放
電素子を構成し、該両電極間に交流高電圧もしくはパル
ス高電圧を印加して沿面放電、無声放電、ボイド放電の
少なくとも1つの放電形態を有するコロナ放電を発生さ
せ、非平衡プラズマを発生させるものである。
孔質フィルタを通過させる過程で粒子状汚染物質を多孔
質フィルタ上に堆積して排ガスから分離するものであ
る。
電が、内部の微小空隙状の細孔内ではボイド放電が、多
孔質フィルタの両側もしくは片側では無声放電が、それ
らの各放電の少なくとも1つが発生しており、放電プラ
ズマで生成されるラジカルとガス状汚染物質が多孔質フ
ィルタの表面及び内部の細孔内で衝突するために、従来
の放電空間におけるガス中のみで衝突する場合と比較し
て衝突確率が大きくなり、ガス状汚染物質の酸化・還元
反応が促進され処理時間が低減できる。
排ガスでは、排ガス中のカーボンを主成分とする粒子状
汚染物質は多孔質フィルタで濾過される際、そのフィル
タ上に堆積するが、そこに存在する放電プラズマ中の酸
化性ラジカルの作用で二酸化炭素に酸化され、ガス状物
質となって前記フィルタ上から除去される。
染物質の二酸化炭素への酸化反応は低温で進行するた
め、セラミックフィルタの損傷につながる局所加熱など
の問題は発生しない。
排ガスは酸素濃度が高いため、放電生成プラズマだけで
は排ガス中の窒素酸化物は一層高次の酸化物、例えば一
酸化窒素は二酸化窒素に酸化されるのみで、排ガス中の
窒素酸化物を除去することが難しいが、カーボン状粒子
の共存で、特に、セラミックフィルタの表面で放電生成
プラズマの作用を受けると窒素酸化物は窒素にまで還元
されるため、排ガス中の窒素酸化物を除去することが可
能となる。
に絶縁された一対の電極間にアルミナセラミックなどの
誘電体で作製した多孔質フィルタと、アルミナなどのセ
ラミックや石英ガラスなどのガラスで作製した稠密な誘
電体を、少なくとも1つずつ挟み込んだコロナ放電素子
を構成し、両電極間に交流高電圧もしくはパルス高電圧
を印加することで沿面放電、無声放電、ボイド放電の少
なくとも1つの放電形態を有するコロナ放電を発生させ
非平衡プラズマを発生させる。
孔質フィルタを通過させて浄化する場合は、該多孔質フ
ィルタの内部にそこを通過させるためのガス流路を設け
る。
質フィルタにより濾過される際、除去され、ガス状汚染
物質は放電プラズマで生成されるラジカルにより安全な
ガスに分解して除去される。
ンの排ガスの場合、カーボンを主成分とする粒子状汚染
物質は多孔質フィルタで濾過される際、放電プラズマの
作用で低温酸化して二酸化炭素に変換されて放出される
ため、多孔質フィルタは常に目詰まりのない状態が保持
されるうえに、排ガス中のガス状汚染物質の窒素酸化物
を放電プラズマの作用の下で還元して安全な窒素ガスと
して放出できる。
図面で説明すると図1に示すように、アルミナなどのセ
ラミックや石英などのガラスで作製した稠密な誘電体2
aに密着して、導体または半導体の板、網、蒸着膜など
で作製した誘導電極1aと、これに平行して放電極4a
を配置して、誘電体2a、放電極4aの間にセラミック
などの誘電体で構成された板状の多孔質フィルタ14a
を置いて放電空間3a、3bを形成する。
保持し、該両電極1a、4a間にリード線7、8を介し
て交流高圧電源もしくは高圧パルス電源9を接続するも
のである。
電圧を印加すると図2に示す如く放電空間3a、3bで
無声放電3dが、また、多孔質フィルタ14aの表面1
4sで、並びに稠密な誘電体2aの放電空間3aに接し
た表面2sで沿面放電14sdおよび2sdがさらに、
多孔質フィルタ14a内部の細孔14vではボイド放電
14vdが発生する。
d、2sd、ボイド放電14vdでプラズマを生成し、
放電空間3a、3bもしくは多孔質フィルタ14a内部
の細孔14vに存在するガス分子を励起し、反応性に富
むラジカル例えば図示してないが、酸化性ラジカルとし
てNO*、O2*、OHなど、還元性ラジカルとしてN*、
N2*、CO*などやオゾンを大量に生成する。
理装置の実施例も図1に示す通りの装置であって、その
装置の作用状況を示す図2において、ディーゼルエンジ
ン、各種ボイラーなどの排ガスや、有機溶剤、有機塩素
剤、悪臭などを含む空気などの処理対象ガス5を多孔質
フィルタ14aの一側の放電空間3a内に、その多孔質
フィルタ14を通過ガス10として多孔質フィルタ14
aの他側の放電空間3bを通過するように導入すると、
その際、処理対象ガス5中のガス状汚染物質は放電生成
プラズマ中の電子の射突を直接受けると同時に、プラズ
マで生成されるラジカルやオゾン分子と衝突して酸化・
還元反応し、無害化され処理終了ガス6としてガス処理
装置の外部に放出される。
ス5を瀘過する際、その中に含まれる粒子状汚染物質を
その表面14s上に堆積するので、前述の処理対象ガス
5のガス状汚染物質と粒子状汚染物質を同時に除去でき
る。
ン排ガスの場合には粒子状汚染物質はカーボンを主成分
としており、多孔質フィルタ14a上にカーボンが濾過
堆積するが、放電生成プラズマの作用により、低温酸化
され二酸化炭素として無害化されガスとなって放出され
る。
ン排ガスの場合には図2に示すように一酸化窒素NOを
主とする窒素酸化物がガス状汚染物質として多く含有さ
れているが、多孔質フィルタ14aの表面14s上に濾
過堆積されたカーボンCが同図の楕円内の放電プラズマ
中での反応状況に示す如く放電生成プラズマ下では還元
剤として作用し、カーボンCが低温酸化されて二酸化炭
素CO2となる反応に付随して、窒素酸化物は還元反応
により窒素N2となって無害化され処理終了ガス6とな
って外部に排出される。
たガス処理装置実施例は図1に示すものに限定されるも
のでなく、この発明の範囲内で部分的に変更したり、付
加して実施することができる。例えば図1の実施例のよ
うにする代りに、図3のように稠密な誘電体2bに密着
して導体または半導体の板、網、蒸着膜などで作製した
放電極4aを誘導電極1aに平行に絶縁配置してもよ
い。
上に直接、スリット状、網状、パンチング状などガスが
通過できるように導体または半導体の板、網、蒸着膜な
どで作製したコロナ放電極4bを誘導電極1aに平行に
絶縁配置してもよい。
a、板状稠密誘電体2a、放電空間5、板状誘電体製セ
ラミックフィルタ14aでコロナ放電素子を形成する代
りに、平行電極構造のみならず、図5に示すように円筒
状誘導電極4c、放電空間3a、3b、円筒状誘電体製
セラミックフィルタ14b、円筒状稠密誘電体2c、誘
導電極1bで同心的に形成してもよい。
施例における、円筒状誘電体円筒状誘導電極4cの内面
に稠密な円筒状誘電体2dを配置することもできる。
施例における円筒状誘導電極4cを設ける代りに、円筒
状誘電体製セラミックフィルタ14bの外周に接触して
リング状、若しくは螺旋状コロナ放電極4dを配置する
こともできる。
施例におけるリング状若しくは螺旋状コロナ放電極4d
の代りに、金網状コロナ放電極4eを設けることも可能
である。
号中図1及び2に示す図面符号と同一の部分について
は、その部分の名称及び機能についても同一である。
構成された多孔質フィルタおよび稠密な誘電体を夫々少
なくとも1つずつ挟み込んでいることによって処理対象
ガスが該多孔質フィルタを通過する際に、単に放電空間
を通過させるだけの場合に比較して、該多孔質フィルタ
の表面や内部細孔で発生する放電生成プラズマの作用
(電子の射突やラジカル・オゾンとの衝突)を大幅に向
上させることが可能となる。
孔の壁面がラジカル・オゾンとガス状有害物質分子との
反応の場となり酸化・還元反応が促進される。
だけの場合に比較してガス処理時間を大幅に短縮するこ
とが可能となる。
有する場合には、ガス状有害物質と粒子状有害物質を同
時に除去できる。
ガスの場合には多孔質フィルタに濾過・蓄積されたカー
ボンが放電生成プラズマの作用を受け低温酸化され、同
時に窒素酸化物が還元され、それぞれ二酸化炭素、窒素
に変換され無害な処理終了ガスとして放出される。
図である。
である。
である。
である。
る。
である。
ルタとその内部の部分的拡大断面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 互に絶縁された一対の電極間に交流高電
圧またはパルス高電圧を印加してコロナ放電を発生させ
るコロナ放電素子において、該一対の電極間に誘電体で
構成された多孔質フィルタおよび稠密な誘電体を夫々少
なくとも1つずつ挟み込んだことを特徴とするコロナ放
電素子。 - 【請求項2】 互に絶縁された一対の電極間に交流高電
圧電源またはパルス高電圧電源を接続し、該一対の電極
間に被処理ガスが通過して濾過されるような細孔を有す
る誘電体で構成された多孔質フィルタおよび調密な誘電
体を夫々少なくとも一つずつ介在することを特徴とする
コロナ放電素子を用いたガス処理装置。
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|---|---|---|---|
| JP15253396A JP4016134B2 (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | ガス処理装置 |
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