JPH09329460A - モノリシック集積センサ回路 - Google Patents
モノリシック集積センサ回路Info
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- JPH09329460A JPH09329460A JP9048005A JP4800597A JPH09329460A JP H09329460 A JPH09329460 A JP H09329460A JP 9048005 A JP9048005 A JP 9048005A JP 4800597 A JP4800597 A JP 4800597A JP H09329460 A JPH09329460 A JP H09329460A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/02—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for altering or correcting the law of variation
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
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- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、モノリシック集積センサ回路の全
オフセットエラーをできる限り小さくすることを目的と
する。 【解決手段】 電子センサ信号ｕ１を発生するセンサシ
ステム100 と、センサシステム100 のための電源装置40
0 と、センサ信号を増幅するための増幅装置200と、ク
ロック信号源500 からのスイッチングクロックによって
等しい時間間隔でセンサ信号の極性を反転させる増幅装
置200 の信号通路に配置された反転装置310,320,330,34
0 と、増幅されたセンサ信号ｕ４を受信する入力と、信
号通路のスイッチング状態には関係なく常に同じになる
ような方法で反転装置310,320,330,340 によって制御さ
れる基準極性を有する出力ｕ５とを有する平均化結合器
段240 とを具備していることを特徴とする。
オフセットエラーをできる限り小さくすることを目的と
する。 【解決手段】 電子センサ信号ｕ１を発生するセンサシ
ステム100 と、センサシステム100 のための電源装置40
0 と、センサ信号を増幅するための増幅装置200と、ク
ロック信号源500 からのスイッチングクロックによって
等しい時間間隔でセンサ信号の極性を反転させる増幅装
置200 の信号通路に配置された反転装置310,320,330,34
0 と、増幅されたセンサ信号ｕ４を受信する入力と、信
号通路のスイッチング状態には関係なく常に同じになる
ような方法で反転装置310,320,330,340 によって制御さ
れる基準極性を有する出力ｕ５とを有する平均化結合器
段240 とを具備していることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、与えられた物理的
入力量を、測定される物理量にできる限り緊密に関連し
た値および極性を有する電子センサ信号に変換する電子
センサシステムを具備しているモノリシック集積センサ
回路に関する。
入力量を、測定される物理量にできる限り緊密に関連し
た値および極性を有する電子センサ信号に変換する電子
センサシステムを具備しているモノリシック集積センサ
回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧力、加速度、温度、電流、磁界等を測
定するための上述のようなセンサシステムが知られてい
る。モノリシック集積中に、製造誤差および温度効果に
よって生じるエラー源を補償することはしばしば可能で
ある。モノリシック集積中の絶対公差は大きいが、相対
公差は非常に小さいということが利用されている。回路
を適切に整合するかあるいは対称的に設計することによ
って絶対公差が大きくなることを防ぐことができ、結果
的に小さい相対的公差だけが影響を持つようになる。さ
らに、集積回路における個々の段は一般的に調整不可能
である。これを改良するために、そのような調整の必要
を排除する複雑でコストのかかる制御回路がチップ上で
一体化されることができる。
定するための上述のようなセンサシステムが知られてい
る。モノリシック集積中に、製造誤差および温度効果に
よって生じるエラー源を補償することはしばしば可能で
ある。モノリシック集積中の絶対公差は大きいが、相対
公差は非常に小さいということが利用されている。回路
を適切に整合するかあるいは対称的に設計することによ
って絶対公差が大きくなることを防ぐことができ、結果
的に小さい相対的公差だけが影響を持つようになる。さ
らに、集積回路における個々の段は一般的に調整不可能
である。これを改良するために、そのような調整の必要
を排除する複雑でコストのかかる制御回路がチップ上で
一体化されることができる。
【０００３】個々のセンサシステムの非直線性に加え
て、センサ回路のオフセットエラーが特に妨害となる。
除去するのが困難であるこれらのエラーは一般的にＤＣ
電圧オフセットエラーであり、それらの大きさがそれぞ
れのセンサからの電子信号に関してもはや無視できない
ものとなったときに歪みとなる。一般的に、センサは既
にオフセットを含んだ信号を出力しており、付加的なオ
フセットエラーが連続した増幅器の個々の段において生
成される。最悪の場合、全てのオフセットエラーが加算
される。従って、センサ回路全体の有効な感度および正
確度は、全てのオフセットエラーの可能な合計値、最悪
の場合には最大のオフセットエラーによって制限され
る。
て、センサ回路のオフセットエラーが特に妨害となる。
除去するのが困難であるこれらのエラーは一般的にＤＣ
電圧オフセットエラーであり、それらの大きさがそれぞ
れのセンサからの電子信号に関してもはや無視できない
ものとなったときに歪みとなる。一般的に、センサは既
にオフセットを含んだ信号を出力しており、付加的なオ
フセットエラーが連続した増幅器の個々の段において生
成される。最悪の場合、全てのオフセットエラーが加算
される。従って、センサ回路全体の有効な感度および正
確度は、全てのオフセットエラーの可能な合計値、最悪
の場合には最大のオフセットエラーによって制限され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】それ故、本発明の目的
は、全オフセットエラーができる限り小さいモノリシッ
ク集積センサ回路を提供することである。
は、全オフセットエラーができる限り小さいモノリシッ
ク集積センサ回路を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、この目
的は、電子センサ信号を発生するためのセンサシステム
と、センサシステムのための電源装置と、センサ信号を
増幅するための増幅装置と、クロック信号源からのスイ
ッチングクロックによって等しい時間間隔でセンサ信号
の極性を反転させる増幅装置の信号通路に配置された反
転装置と、増幅されたセンサ信号を受信する入力と、信
号通路のスイッチング状態には関係なく常に同じになる
ような方法で反転装置によって制御される基準極性を有
する出力とを有する平均化結合器段とを具備しているモ
ノリシック集積センサ回路によって達成される。
的は、電子センサ信号を発生するためのセンサシステム
と、センサシステムのための電源装置と、センサ信号を
増幅するための増幅装置と、クロック信号源からのスイ
ッチングクロックによって等しい時間間隔でセンサ信号
の極性を反転させる増幅装置の信号通路に配置された反
転装置と、増幅されたセンサ信号を受信する入力と、信
号通路のスイッチング状態には関係なく常に同じになる
ような方法で反転装置によって制御される基準極性を有
する出力とを有する平均化結合器段とを具備しているモ
ノリシック集積センサ回路によって達成される。
【０００６】本発明の利点は、周期的な信号反転によっ
て個々の増幅器段のオフセットエラーが平均化されるこ
とである。本発明の方法は良く知られているチョッパ技
術に類似しているが、結合器段の出力において中断なし
に連続的な信号を供給する。これは、それぞれのセンサ
システムが非常に低い周波数成分あるいはＤＣ成分を有
する物理量を測定するためのものである場合に重要であ
る。評価回路において電界効果トランジスタが使用され
た場合、これらの低い周波数範囲はしばしばフリッカ雑
音と重畳される。このフリッカ雑音はオフセットエラー
と同じ影響を及ぼすので、本発明によるセンサ回路によ
って抑制される。さらに、本発明によるセンサ回路は、
例えばクロック信号源の周波数を変化させる等の可能な
補助機能のためのほんのわずかの外部配線しか必要とし
ない。
て個々の増幅器段のオフセットエラーが平均化されるこ
とである。本発明の方法は良く知られているチョッパ技
術に類似しているが、結合器段の出力において中断なし
に連続的な信号を供給する。これは、それぞれのセンサ
システムが非常に低い周波数成分あるいはＤＣ成分を有
する物理量を測定するためのものである場合に重要であ
る。評価回路において電界効果トランジスタが使用され
た場合、これらの低い周波数範囲はしばしばフリッカ雑
音と重畳される。このフリッカ雑音はオフセットエラー
と同じ影響を及ぼすので、本発明によるセンサ回路によ
って抑制される。さらに、本発明によるセンサ回路は、
例えばクロック信号源の周波数を変化させる等の可能な
補助機能のためのほんのわずかの外部配線しか必要とし
ない。
【０００７】このセンサシステムは、差動センサシステ
ムとして設計されるのが有効である。その場合、２つの
別個のオン・チップセンサシステムの出力信号は、例え
ば逆並列構成等を使用して極性に従って加算的あるいは
減算的に結合され、一緒に増幅装置に供給される。
ムとして設計されるのが有効である。その場合、２つの
別個のオン・チップセンサシステムの出力信号は、例え
ば逆並列構成等を使用して極性に従って加算的あるいは
減算的に結合され、一緒に増幅装置に供給される。
【０００８】本発明は、単一チップ上で関連した評価回
路と共に集積されたホールセンサシステムに特に適して
いる。集積されたホールプレートの感度の低さは、増加
した利得によって補償され、ホールプレートは、任意の
温度応答特性を達成するような方法でチップ上で熱結合
することによって制御されることができる。従って、複
雑な評価装置および補助回路を使用して任意に“インテ
リジェント”なセンサ回路がチップ上に形成されること
ができる。
路と共に集積されたホールセンサシステムに特に適して
いる。集積されたホールプレートの感度の低さは、増加
した利得によって補償され、ホールプレートは、任意の
温度応答特性を達成するような方法でチップ上で熱結合
することによって制御されることができる。従って、複
雑な評価装置および補助回路を使用して任意に“インテ
リジェント”なセンサ回路がチップ上に形成されること
ができる。
【０００９】別の改良は、ホールセンサシステムにおけ
る電流方向を変えることができる場合に達成され、それ
は、これによって、一方では増幅装置に対して必要な信
号の反転が可能となり、他方ではホールプレートの製造
誤差および応力誘発オフセットエラーを抑制することが
可能となるからである。電流方向の変化を通して、オフ
セットエラーは正および負の符号で生じ、その結果、そ
れらは平均期間中に消去されるが、一方、ホール電圧
は、信号通路における電流方向が適切な方法で変化した
場合には加算される。ホールプレートのオフセットエラ
ーが除去されるスイッチ可能なホールセンサは、例えば
ＥＰ 0 548 391 A1 （ＩＴＴにおける整理番号はC-DIT-
1445）に記載されている。
る電流方向を変えることができる場合に達成され、それ
は、これによって、一方では増幅装置に対して必要な信
号の反転が可能となり、他方ではホールプレートの製造
誤差および応力誘発オフセットエラーを抑制することが
可能となるからである。電流方向の変化を通して、オフ
セットエラーは正および負の符号で生じ、その結果、そ
れらは平均期間中に消去されるが、一方、ホール電圧
は、信号通路における電流方向が適切な方法で変化した
場合には加算される。ホールプレートのオフセットエラ
ーが除去されるスイッチ可能なホールセンサは、例えば
ＥＰ 0 548 391 A1 （ＩＴＴにおける整理番号はC-DIT-
1445）に記載されている。
【００１０】信号通路および関連した回路素子の対称的
な設計によって、例えば全差動信号処理によってモノリ
シック集積センサ回路は妨害放射に対して不感応になる
が、その理由は、後者は基本的に共通モード信号として
現れ、それらは回路の対称性のために補償されるかある
いは影響を受けないからである。スイッチング装置によ
って生じるダイナミックオフセットエラー、スイッチン
グ装置およびフィードバック抵抗器の非直線性、および
個々の増幅器段の共通モードエラー等の別の共通モード
エラーの原因の影響もまた抑制される。調整回路を使用
すると、対称的な信号通路の動作点は、ＣＭＯＳ回路中
で５Ｖの電源の場合には例えば２．５Ｖ程度の予め定め
られた電圧レベルに維持されることができる。この中間
動作点によって、正および負のセンサ信号を測定するこ
とが可能となり、それによってダイナミック・レンジが
２倍になる。
な設計によって、例えば全差動信号処理によってモノリ
シック集積センサ回路は妨害放射に対して不感応になる
が、その理由は、後者は基本的に共通モード信号として
現れ、それらは回路の対称性のために補償されるかある
いは影響を受けないからである。スイッチング装置によ
って生じるダイナミックオフセットエラー、スイッチン
グ装置およびフィードバック抵抗器の非直線性、および
個々の増幅器段の共通モードエラー等の別の共通モード
エラーの原因の影響もまた抑制される。調整回路を使用
すると、対称的な信号通路の動作点は、ＣＭＯＳ回路中
で５Ｖの電源の場合には例えば２．５Ｖ程度の予め定め
られた電圧レベルに維持されることができる。この中間
動作点によって、正および負のセンサ信号を測定するこ
とが可能となり、それによってダイナミック・レンジが
２倍になる。
【００１１】増幅装置は、フィードバック演算増幅器と
して設計されると有利である。ホールセンサシステムに
おいて、増幅装置に接続されたホールプレートの内部抵
抗によって入力抵抗が形成される。フィードバック抵抗
器は、製造誤差および温度に関して良好に整合させるよ
うにホールプレートと同じ半導体材料で形成されてい
る。結合器段も形成する個々の増幅器段にとって、相互
コンダクタンス増幅器は特に適している。それらは容易
に安定化され、また、容易にＣＭＯＳ技術によって構成
することができる。平均化結合器段は、例えば容量性フ
ィードバックを有する相互コンダクタンス増幅器で構成
されることができ、その場合には、結果的な時定数はス
イッチングクロックの１以上の周期よりも大きくなけれ
ばならないが、少なくともオーバーラップしない部分ｂ
３と同じ程度の大きさである。相互コンダクタンス増幅
器の入力は直流がなく、それは、それらが電界効果トラ
ンジスタのゲート端子によって形成されているからであ
る。結果的に、集積されたキャパシタは容易に必要な信
号の記憶を行い、平均化のために電圧を一定に維持する
ことができる。
して設計されると有利である。ホールセンサシステムに
おいて、増幅装置に接続されたホールプレートの内部抵
抗によって入力抵抗が形成される。フィードバック抵抗
器は、製造誤差および温度に関して良好に整合させるよ
うにホールプレートと同じ半導体材料で形成されてい
る。結合器段も形成する個々の増幅器段にとって、相互
コンダクタンス増幅器は特に適している。それらは容易
に安定化され、また、容易にＣＭＯＳ技術によって構成
することができる。平均化結合器段は、例えば容量性フ
ィードバックを有する相互コンダクタンス増幅器で構成
されることができ、その場合には、結果的な時定数はス
イッチングクロックの１以上の周期よりも大きくなけれ
ばならないが、少なくともオーバーラップしない部分ｂ
３と同じ程度の大きさである。相互コンダクタンス増幅
器の入力は直流がなく、それは、それらが電界効果トラ
ンジスタのゲート端子によって形成されているからであ
る。結果的に、集積されたキャパシタは容易に必要な信
号の記憶を行い、平均化のために電圧を一定に維持する
ことができる。
【００１２】本発明は、図１においてブロック図で示さ
れた好ましい実施形態に関する以下の詳細な説明からよ
り明らかとなる。
れた好ましい実施形態に関する以下の詳細な説明からよ
り明らかとなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１において、スイッチ可能なホ
ールセンサシステムの形態のセンサシステムを有するモ
ノリシック集積センサ回路が示されている。このセンサ
システムは、もちろん、圧力、温度、放射線等のセンサ
システムによって置換されることもできる。これによっ
て回路の基本的な動作が変更されることはない。センサ
システム100 の出力は差動電圧ｕ１を生成し、それは増
幅装置200 によって増幅され、差動出力信号ｕ５として
出力される。増幅装置200 は、２つの別個の増幅段を有
する演算増幅器に対応する。信号増幅器は入力増幅器22
0 であり、一方、出力段240 はわずかな利得しか有して
おらず、さらに低域通過特性を有し、その理由は、容量
性のフィードバックが２つのキャパシタｃ１、ｃ２を通
して行われるからである。本発明によれば、出力段240
はまた平均化結合器段の機能を実行し、フィードバック
増幅器200 に対してダイナミックな補償を行い、不安定
な動作あるいはハンティングでさえも阻止する。
ールセンサシステムの形態のセンサシステムを有するモ
ノリシック集積センサ回路が示されている。このセンサ
システムは、もちろん、圧力、温度、放射線等のセンサ
システムによって置換されることもできる。これによっ
て回路の基本的な動作が変更されることはない。センサ
システム100 の出力は差動電圧ｕ１を生成し、それは増
幅装置200 によって増幅され、差動出力信号ｕ５として
出力される。増幅装置200 は、２つの別個の増幅段を有
する演算増幅器に対応する。信号増幅器は入力増幅器22
0 であり、一方、出力段240 はわずかな利得しか有して
おらず、さらに低域通過特性を有し、その理由は、容量
性のフィードバックが２つのキャパシタｃ１、ｃ２を通
して行われるからである。本発明によれば、出力段240
はまた平均化結合器段の機能を実行し、フィードバック
増幅器200 に対してダイナミックな補償を行い、不安定
な動作あるいはハンティングでさえも阻止する。
【００１４】演算増幅装置200 の出力信号ｕ５は、電子
スイッチング装置330,310 を介して入力増幅器220 の２
つの入力に接続された第１のフィードバック抵抗器Ｒ１
および第２のフィードバック抵抗器Ｒ２を通してフィー
ドバックされる。演算増幅装置の入力抵抗は、センサ測
定出力端子の間に接続された全てのホールプレートの抵
抗に対応する等価抵抗ＲＨによって形成される。この等
価抵抗ＲＨは、入力増幅器220 の反転入力と非反転入力
との間に接続される。従って、演算増幅装置200 の全利
得は２×Ｒ１／ＲＨであり、ここにおいて、Ｒ１＝Ｒ２
である。
スイッチング装置330,310 を介して入力増幅器220 の２
つの入力に接続された第１のフィードバック抵抗器Ｒ１
および第２のフィードバック抵抗器Ｒ２を通してフィー
ドバックされる。演算増幅装置の入力抵抗は、センサ測
定出力端子の間に接続された全てのホールプレートの抵
抗に対応する等価抵抗ＲＨによって形成される。この等
価抵抗ＲＨは、入力増幅器220 の反転入力と非反転入力
との間に接続される。従って、演算増幅装置200 の全利
得は２×Ｒ１／ＲＨであり、ここにおいて、Ｒ１＝Ｒ２
である。
【００１５】それぞれのセンサシステム100 および回路
の残りは電源装置400 から供給され、それは、予め定め
られた温度依存性が回路全体に対して必要である場合に
は必要な電流および補助電圧を供給し、また、必要な場
合には、与えられた電圧＋Ｕから調整された供給電圧を
発生する。電源装置400 は、良好な熱整合を達成し、製
造誤差を補償するために、ホールプレート110,130 と技
術的に緊密に結合される。回路はさらにクロック信号源
500 を含み、それは、同じ長さの間隔ｂ１、ｂ２をそれ
ぞれ有する第１のスイッチングクロックｔ１およびオー
バーラップしない第２のスイッチングクロックｔ２を発
生する。クロック周波数は例えば１００ｋＨｚであり、
したがって周期Ｔは１０マイクロ秒である。クロック信
号源500は、オーバーラップしない部分ｂ３に対応する
第３のクロック信号ｔ３も発生し、その長さは２０ナノ
秒である。
の残りは電源装置400 から供給され、それは、予め定め
られた温度依存性が回路全体に対して必要である場合に
は必要な電流および補助電圧を供給し、また、必要な場
合には、与えられた電圧＋Ｕから調整された供給電圧を
発生する。電源装置400 は、良好な熱整合を達成し、製
造誤差を補償するために、ホールプレート110,130 と技
術的に緊密に結合される。回路はさらにクロック信号源
500 を含み、それは、同じ長さの間隔ｂ１、ｂ２をそれ
ぞれ有する第１のスイッチングクロックｔ１およびオー
バーラップしない第２のスイッチングクロックｔ２を発
生する。クロック周波数は例えば１００ｋＨｚであり、
したがって周期Ｔは１０マイクロ秒である。クロック信
号源500は、オーバーラップしない部分ｂ３に対応する
第３のクロック信号ｔ３も発生し、その長さは２０ナノ
秒である。
【００１６】入力増幅器220 および出力段240 の動作点
をそれぞれ予め定められた電圧値ｕｒ１およびｕｒ２に
維持するために、第１の調整回路620 および第２の調整
回路640 が増幅装置200 に結合される。
をそれぞれ予め定められた電圧値ｕｒ１およびｕｒ２に
維持するために、第１の調整回路620 および第２の調整
回路640 が増幅装置200 に結合される。
【００１７】主要なインターフェイスにおいて、演算増
幅装置200 の信号通路は、本発明に必要な反転装置310,
320,330,340 を含んでいる。それらは、第１および第２
のスイッチングクロックｔ１、ｔ２によって制御されて
いる。信号通路の対称的な設計のために、スイッチング
クロックｔ１、ｔ２のいずれか一方によって信号通路が
直接スイッチされ、スイッチングクロックｔ２、ｔ１の
他方によって信号通路の交差スイッチングが行われる。
短いオーバーラップしない時間ｂ３の期間中、信号通路
は開いており、それによって信号の相互作用は生じな
い。任意の外部からの擬似信号が間隔ｂ３の期間中に開
いたインターフェイスによって“捕捉”されるのを防ぐ
ために、この臨界的な間隔ｂ３の期間中に対称的な通路
を短絡する短絡スイッチ600 が入力増幅器220 と平均化
結合器段240 との間に挿入される。出力信号ｕ５に対す
る短いパルスの影響は小さく、その理由は、時間間隔ｂ
３がクロック周期Ｔと比較して小さく、また、短絡によ
って２つの信号ラインが中性の中間レベルに結合される
からである。もちろん、間隔ｂ３の期間中の急激な電圧
の変化を減少させる洗練されたバッファも実現可能であ
る。
幅装置200 の信号通路は、本発明に必要な反転装置310,
320,330,340 を含んでいる。それらは、第１および第２
のスイッチングクロックｔ１、ｔ２によって制御されて
いる。信号通路の対称的な設計のために、スイッチング
クロックｔ１、ｔ２のいずれか一方によって信号通路が
直接スイッチされ、スイッチングクロックｔ２、ｔ１の
他方によって信号通路の交差スイッチングが行われる。
短いオーバーラップしない時間ｂ３の期間中、信号通路
は開いており、それによって信号の相互作用は生じな
い。任意の外部からの擬似信号が間隔ｂ３の期間中に開
いたインターフェイスによって“捕捉”されるのを防ぐ
ために、この臨界的な間隔ｂ３の期間中に対称的な通路
を短絡する短絡スイッチ600 が入力増幅器220 と平均化
結合器段240 との間に挿入される。出力信号ｕ５に対す
る短いパルスの影響は小さく、その理由は、時間間隔ｂ
３がクロック周期Ｔと比較して小さく、また、短絡によ
って２つの信号ラインが中性の中間レベルに結合される
からである。もちろん、間隔ｂ３の期間中の急激な電圧
の変化を減少させる洗練されたバッファも実現可能であ
る。
【００１８】第１の反転装置310 は、センサシステム10
0 と入力増幅器220 との間に直接位置されている。セン
サ信号ｕ１はそれによって反転あるいは非反転され、差
信号ｕ２を形成し、それは入力増幅器220 に供給され
る。後者の差出力信号ｕ３は、対称的な容量的にバイパ
スされたインピーダンス変成器段230 に供給され、その
インピーダンス変成器段230 の出力は電圧分割器に接続
されており、そこにおいて、中間タップ電圧は第１の調
整回路620 を介して入力増幅器220 の動作点を調整す
る。インピーダンス変成器段230 の出力信号ｕ３' は第
２の反転装置320 に供給され、その出力信号ｕ４は差信
号として平均化結合器段240 の入力に供給される。後者
の出力は、所望された出力信号ｕ５を供給する。段240
の出力端子は電圧分割器に接続されており、その電圧分
割器の中間タップ電圧は、出力信号ｕ５の動作点を電圧
値ｕｒ２（ＣＭＯＳ技術における回路構成では２．５Ｖ
であるのが好ましい）に保持するために第２の調整回路
640 に供給される。第２の調整回路640 はその入力にお
いて差動増幅器645 を含み、その出力によって２つの電
流源650,655 を駆動し、それら２つの電流源650,655 の
出力電流は結合段240 の出力端子に接続され、２つの調
整電流が相互コンダクタンス増幅器240 の出力電流に重
畳される。電流の重畳を通して、出力信号ｕ５の平均値
は所望された動作点ｕｒ２にされる。
0 と入力増幅器220 との間に直接位置されている。セン
サ信号ｕ１はそれによって反転あるいは非反転され、差
信号ｕ２を形成し、それは入力増幅器220 に供給され
る。後者の差出力信号ｕ３は、対称的な容量的にバイパ
スされたインピーダンス変成器段230 に供給され、その
インピーダンス変成器段230 の出力は電圧分割器に接続
されており、そこにおいて、中間タップ電圧は第１の調
整回路620 を介して入力増幅器220 の動作点を調整す
る。インピーダンス変成器段230 の出力信号ｕ３' は第
２の反転装置320 に供給され、その出力信号ｕ４は差信
号として平均化結合器段240 の入力に供給される。後者
の出力は、所望された出力信号ｕ５を供給する。段240
の出力端子は電圧分割器に接続されており、その電圧分
割器の中間タップ電圧は、出力信号ｕ５の動作点を電圧
値ｕｒ２（ＣＭＯＳ技術における回路構成では２．５Ｖ
であるのが好ましい）に保持するために第２の調整回路
640 に供給される。第２の調整回路640 はその入力にお
いて差動増幅器645 を含み、その出力によって２つの電
流源650,655 を駆動し、それら２つの電流源650,655 の
出力電流は結合段240 の出力端子に接続され、２つの調
整電流が相互コンダクタンス増幅器240 の出力電流に重
畳される。電流の重畳を通して、出力信号ｕ５の平均値
は所望された動作点ｕｒ２にされる。
【００１９】フィードバック抵抗器Ｒ１、Ｒ２の誤差を
補償するために、第３の反転装置330 がこれら２つのフ
ィードバック抵抗器の後で信号通路に挿入される。従っ
て、フィードバック抵抗器の後にセンサ信号ｕ６がセン
サ信号ｕ７に変換され、それは上述の演算増幅装置200
における入力信号ｕ１と同一のものである。
補償するために、第３の反転装置330 がこれら２つのフ
ィードバック抵抗器の後で信号通路に挿入される。従っ
て、フィードバック抵抗器の後にセンサ信号ｕ６がセン
サ信号ｕ７に変換され、それは上述の演算増幅装置200
における入力信号ｕ１と同一のものである。
【００２０】センサ回路全体の基本ブロックはセンサシ
ステム100 であり、それはこの実施形態においてスイッ
チ可能なホールセンサシステムである。図１において、
正方形のホールプレートは、単一のホールプレートある
いは並列に接続された複数のホールプレートを代表的に
示している。その方位およびそれぞれの電流方向が異な
る複数の並列接続されたホールプレートを使用すると、
正確度を増加させ、結果的なオフセットエラーを減少さ
せることができる。結晶格子もまた方向に依存した影響
を減少する。ホールプレート110 の概略的形態は、ホー
ル供給電流ｉｈのための入力端子と、第４の反転装置34
0 を通して接地された反対側の出力端子とを有してい
る。ホールプレート110 の２つの測定端子は、２つの電
流端子のように分配ネットワーク120 に接続されてお
り、その分配ネットワーク120 は、第１および第３の反
転装置310,330 を通って増幅装置200 に結合され、ま
た、第４の反転装置340 を通って電源装置400 に結合さ
れている。
ステム100 であり、それはこの実施形態においてスイッ
チ可能なホールセンサシステムである。図１において、
正方形のホールプレートは、単一のホールプレートある
いは並列に接続された複数のホールプレートを代表的に
示している。その方位およびそれぞれの電流方向が異な
る複数の並列接続されたホールプレートを使用すると、
正確度を増加させ、結果的なオフセットエラーを減少さ
せることができる。結晶格子もまた方向に依存した影響
を減少する。ホールプレート110 の概略的形態は、ホー
ル供給電流ｉｈのための入力端子と、第４の反転装置34
0 を通して接地された反対側の出力端子とを有してい
る。ホールプレート110 の２つの測定端子は、２つの電
流端子のように分配ネットワーク120 に接続されてお
り、その分配ネットワーク120 は、第１および第３の反
転装置310,330 を通って増幅装置200 に結合され、ま
た、第４の反転装置340 を通って電源装置400 に結合さ
れている。
【００２１】図１に概略的に示されたホールセンサシス
テムにおいて、反転装置340 によってホールプレート11
0,130 における電流の方向が９０度変化される。さらに
別のスイッチング手段によってホールプレート110 のフ
ィード・イン点が任意の方法で交換されることができ、
ホール電圧のためのタップも対応して交換されることが
できる。電流方向を９０度変化させることは特に有利で
あり、それは、ホールプレート110 の結果的なオフセッ
トエラーが一方の電流方向におけるホール電圧に加えら
れ、また、９０°回転された電流方向におけるホール電
圧から減算されるからである。ホール電圧の関連したタ
ップが適切に選択された場合、所望された位相位置の所
望されたセンサ信号が入力信号ｕ１に対して使用可能と
なる。これによって、例えばセンサにおける電流方向が
１８０°変えられた場合等の所定の環境の下では、第１
の反転装置310 の必要は除去される。３６０°にわたっ
てステップにおいて周期的にホール電流ｉｈの方向を変
化させると、回路の複雑さを著しく増加させずにホール
電圧測定の対称性を増加させる。
テムにおいて、反転装置340 によってホールプレート11
0,130 における電流の方向が９０度変化される。さらに
別のスイッチング手段によってホールプレート110 のフ
ィード・イン点が任意の方法で交換されることができ、
ホール電圧のためのタップも対応して交換されることが
できる。電流方向を９０度変化させることは特に有利で
あり、それは、ホールプレート110 の結果的なオフセッ
トエラーが一方の電流方向におけるホール電圧に加えら
れ、また、９０°回転された電流方向におけるホール電
圧から減算されるからである。ホール電圧の関連したタ
ップが適切に選択された場合、所望された位相位置の所
望されたセンサ信号が入力信号ｕ１に対して使用可能と
なる。これによって、例えばセンサにおける電流方向が
１８０°変えられた場合等の所定の環境の下では、第１
の反転装置310 の必要は除去される。３６０°にわたっ
てステップにおいて周期的にホール電流ｉｈの方向を変
化させると、回路の複雑さを著しく増加させずにホール
電圧測定の対称性を増加させる。
【００２２】出力信号ｕ５および先行の信号ｕ４は、も
ちろんセンサシステムの位相の反転を受けてはならな
い。出力信号ｕ５の極性は、各センサシステム100 およ
び測定される物理量によって決定される基準極性によっ
て決定される。例えば、ホールセンサの場合、ホールプ
レート110 に対する垂線が磁界の基準方向を決定し、従
って、出力信号ｕ５の基準極性を決定する。外部の磁界
の極性が変化した場合、固定された関係のために出力信
号ｕ５の極性は変化する。
ちろんセンサシステムの位相の反転を受けてはならな
い。出力信号ｕ５の極性は、各センサシステム100 およ
び測定される物理量によって決定される基準極性によっ
て決定される。例えば、ホールセンサの場合、ホールプ
レート110 に対する垂線が磁界の基準方向を決定し、従
って、出力信号ｕ５の基準極性を決定する。外部の磁界
の極性が変化した場合、固定された関係のために出力信
号ｕ５の極性は変化する。
【００２３】ホールセンサシステムが差動システムとし
て設計されている場合、設計においてできる限りホール
プレートシステム110 と同じである別のホールプレート
システム130 が分配ネットワーク120 を介して接続され
ることができる。２つのホールプレートシステムは、出
力電圧に関して逆並列に接続されるのが有効であるが、
それはただ２つのホール電圧の差の値が測定電圧ｕ１と
して増幅される必要があるからである。
て設計されている場合、設計においてできる限りホール
プレートシステム110 と同じである別のホールプレート
システム130 が分配ネットワーク120 を介して接続され
ることができる。２つのホールプレートシステムは、出
力電圧に関して逆並列に接続されるのが有効であるが、
それはただ２つのホール電圧の差の値が測定電圧ｕ１と
して増幅される必要があるからである。
【００２４】従って、図１に関して説明されたセンサ回
路において、基本的なオフセットエラーは信号の反転お
よび平均化によって取除かれることができる。結合器段
240のオフセットエラーは例外であり、その理由は、そ
の入力信号ｕ４は常に同じ極性を有しているからであ
る。しかしながら、オフセットエラーに対するこの段の
影響は小さく、入力増幅器220 の利得に反比例する。入
力利得が５０ｄＢである場合、結合器段240 のオフセッ
トエラーは−５０ｄＢだけ出力信号ｕ５に入る。図１の
回路の場合、出力信号ｕ５に関して４０ｍＶ／ｍＴのホ
ール感度を達成することができる。
路において、基本的なオフセットエラーは信号の反転お
よび平均化によって取除かれることができる。結合器段
240のオフセットエラーは例外であり、その理由は、そ
の入力信号ｕ４は常に同じ極性を有しているからであ
る。しかしながら、オフセットエラーに対するこの段の
影響は小さく、入力増幅器220 の利得に反比例する。入
力利得が５０ｄＢである場合、結合器段240 のオフセッ
トエラーは−５０ｄＢだけ出力信号ｕ５に入る。図１の
回路の場合、出力信号ｕ５に関して４０ｍＶ／ｍＴのホ
ール感度を達成することができる。
【００２５】相互コンダクタンス増幅器を使用すること
によって回路の直線性が増強されるが、それは、全ての
相互コンダクタンス増幅器が入力端部において実質的に
ゼロで動作されるため、電圧差による非直線性が生じ得
ないからである。フィードバック抵抗器Ｒ１、Ｒ２を通
って流れるフィードバック電流は、ホールプレートシス
テム110,130 内の各ホール電圧ｕｈを補償するので、こ
の電圧は、測定される磁界の大きさに関わらず、出力端
子においてゼロの値を有するだけである。この方法にお
いて、オフセット補償の任意の残りのエラーは、電流の
方向が９０°変化し、電圧がホールプレートに供給され
た状態ではホールプレート内で既にほとんど除去されて
いる。
によって回路の直線性が増強されるが、それは、全ての
相互コンダクタンス増幅器が入力端部において実質的に
ゼロで動作されるため、電圧差による非直線性が生じ得
ないからである。フィードバック抵抗器Ｒ１、Ｒ２を通
って流れるフィードバック電流は、ホールプレートシス
テム110,130 内の各ホール電圧ｕｈを補償するので、こ
の電圧は、測定される磁界の大きさに関わらず、出力端
子においてゼロの値を有するだけである。この方法にお
いて、オフセット補償の任意の残りのエラーは、電流の
方向が９０°変化し、電圧がホールプレートに供給され
た状態ではホールプレート内で既にほとんど除去されて
いる。
【００２６】平均化結合器段は、増幅装置200 の外部に
位置され、等しい時間間隔の極性で反転されたセンサ信
号を供給されることもできる。その後、反転はこの結合
器段と関連付けられなければならない。これは、例えば
増幅されたセンサ信号が先にデジタル化され、その後、
加算器／減算器によって記憶されたセンサ値へ加算さ
れ、あるいはセンサ値から減算される場合に容易に可能
となる。その場合、平均化はデジタルフィルタにより良
好に行われ、それは、そのようなフィルタが幾つかの記
憶された値を平均化し、それによって信号波形が改良さ
れるからである。外部で平均化を行うための簡単なアナ
ログ構成は、最も簡単な場合において外部のＲＣセクシ
ョンによって形成された外部低域通過フィルタ、すなわ
ち一次低域通過フィルタを使用する。
位置され、等しい時間間隔の極性で反転されたセンサ信
号を供給されることもできる。その後、反転はこの結合
器段と関連付けられなければならない。これは、例えば
増幅されたセンサ信号が先にデジタル化され、その後、
加算器／減算器によって記憶されたセンサ値へ加算さ
れ、あるいはセンサ値から減算される場合に容易に可能
となる。その場合、平均化はデジタルフィルタにより良
好に行われ、それは、そのようなフィルタが幾つかの記
憶された値を平均化し、それによって信号波形が改良さ
れるからである。外部で平均化を行うための簡単なアナ
ログ構成は、最も簡単な場合において外部のＲＣセクシ
ョンによって形成された外部低域通過フィルタ、すなわ
ち一次低域通過フィルタを使用する。
【図１】スイッチ可能なホールセンサシステムの形態の
センサシステムを有するモノリシック集積センサ回路の
概略的回路図。
センサシステムを有するモノリシック集積センサ回路の
概略的回路図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウルリヒ・テウス ドイツ連邦共和国、デー − 79194 グ ンデルフィンゲン、シェーンベルクシュト ラーセ ５ベー (72)発明者 マリオ・モッツ ドイツ連邦共和国、デー − 79346 エ ンディゲン、アインジーデルンシュトラー セ ６
Claims (10)
- 【請求項１】 電子センサ信号を発生するためのセンサ
システムと、 センサシステムのための電源装置と、 センサ信号を増幅するための増幅装置と、 クロック信号源からのスイッチングクロックによって等
しい時間間隔でセンサ信号の極性を反転させる増幅装置
の信号通路に配置された反転装置と、 増幅されたセンサ信号を受信する入力と、信号通路のス
イッチング状態には関係なく常に同じになるような方法
で反転装置によって制御される基準極性を有する出力と
を有する平均化結合器段とを具備していることを特徴と
するモノリシック集積センサ回路。 - 【請求項２】 センサシステムは差動センサシステムを
含んでいることを特徴とする請求項１記載のセンサ回
路。 - 【請求項３】 センサシステムはホールセンサシステム
を含んでいることを特徴とする請求項１あるいは２記載
のセンサ回路。 - 【請求項４】 ホールセンサシステムにおける電流方向
および／または電圧測定方向は、特にホールセンサシス
テムによって予め定められた基本的な方向に関して９０
°の整数倍だけ変化されることができることを特徴とす
る請求項３記載のセンサ回路。 - 【請求項５】 センサの信号通路は基本的に対称的であ
ることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載
のセンサ回路。 - 【請求項６】 増幅装置は対称的な信号通路の動作点を
予め定められた電圧レベルに安定化する調整回路を具備
していることを特徴とする請求項５記載のセンサ回路。 - 【請求項７】 ＣＭＯＳ製造プロセスによってモノリシ
ックに集積されることを特徴とする請求項１乃至６のい
ずれか１項記載のセンサ回路。 - 【請求項８】 増幅装置はフィードバック演算増幅装置
であり、その入力抵抗はそれに接続されたホールプレー
トの内部抵抗によって形成され、また、そのフィードバ
ック抵抗器はホールプレートと同じ半導体材料から形成
されていることを特徴とする請求項３乃至７のいずれか
１項記載のセンサ回路。 - 【請求項９】 増幅装置および／または結合器段は相互
コンダクタンス増幅器を具備していることを特徴とする
請求項１乃至８のいずれか１項記載のセンサ回路。 - 【請求項１０】 結合器段における相互コンダクタンス
増幅器は容量性フィードバックを有し、結果的に生じた
時定数は少なくともスイッチングクロックのオーバーラ
ップしていない部分と同じ程度の大きさであることを特
徴とする請求項９記載のセンサ回路。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE96103238.0 | 1996-03-02 | ||
| EP96103238A EP0793075B1 (de) | 1996-03-02 | 1996-03-02 | Monolithisch integrierte Sensorschaltung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09329460A true JPH09329460A (ja) | 1997-12-22 |
| JP4037481B2 JP4037481B2 (ja) | 2008-01-23 |
Family
ID=8222525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04800597A Expired - Fee Related JP4037481B2 (ja) | 1996-03-02 | 1997-03-03 | モノリシック集積センサ回路 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5844427A (ja) |
| EP (1) | EP0793075B1 (ja) |
| JP (1) | JP4037481B2 (ja) |
| KR (1) | KR970067334A (ja) |
| CN (1) | CN1091247C (ja) |
| DE (1) | DE59609727D1 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010156686A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-07-15 | Robert Bosch Gmbh | オフセットが低減されている集積センサアレイ |
| JP2010281764A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Sanyo Electric Co Ltd | オフセットキャンセル回路 |
| JP2012068248A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Infineon Technologies Ag | 複数の信号経路を利用したセンサ自己診断 |
| KR101156914B1 (ko) * | 2009-10-09 | 2012-06-21 | 인터실 아메리카스 엘엘씨 | 신호 전송 네트워크에서 풀 페일세이프 능력을 제공하는 시스템 및 방법 |
| JP2012150003A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | ホール電圧検出装置 |
| JP2013121160A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-17 | Rohm Co Ltd | 全差動型帰還増幅回路および電気機器 |
| KR101337170B1 (ko) * | 2006-08-15 | 2013-12-05 | 제너럴 일렉트릭 캄파니 | 진동 측정용 변환기 |
| JP2014167422A (ja) * | 2013-02-28 | 2014-09-11 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | ホール起電力信号検出回路及びその電流センサ |
| JP2016166862A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-15 | エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社 | 磁気センサ回路 |
| JP2016166759A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 磁気センサ |
| KR20170119636A (ko) * | 2016-04-19 | 2017-10-27 | 인피니온 테크놀로지스 아게 | 다중 신호 경로들을 사용하는 센서 자체 진단 |
| JP2018009818A (ja) * | 2016-07-11 | 2018-01-18 | 株式会社ジェイテクト | モータ装置 |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100296911B1 (ko) | 1998-10-28 | 2001-08-07 | 박종섭 | 전류 방향 감지 증폭기 |
| DE19943128A1 (de) * | 1999-09-09 | 2001-04-12 | Fraunhofer Ges Forschung | Hall-Sensoranordnung zur Offset-kompensierten Magnetfeldmessung |
| DE19951045B4 (de) * | 1999-10-22 | 2005-03-17 | Micronas Gmbh | Magnetfeldsensor mit Kettenleiterfilter |
| US6777932B2 (en) | 2000-03-23 | 2004-08-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic field sensor |
| JP4764996B2 (ja) * | 2001-04-12 | 2011-09-07 | 富士電機株式会社 | 半導体物理量センサ装置 |
| US7180798B2 (en) | 2001-04-12 | 2007-02-20 | Fuji Electric Co., Ltd. | Semiconductor physical quantity sensing device |
| JP4451577B2 (ja) | 2001-07-26 | 2010-04-14 | パナソニック株式会社 | 磁界センサ |
| DE10160794B4 (de) * | 2001-12-11 | 2006-07-27 | Parker Hannifin Gmbh | Signalverarbeitungseinrichtung für einen Druckschalter od. dgl. |
| DE10201875C1 (de) * | 2002-01-18 | 2003-05-22 | Austriamicrosystems Ag | Sensorsystem und Verfahren zum Betrieb des Sensorsystems |
| NL1024114C1 (nl) * | 2003-08-15 | 2005-02-16 | Systematic Design Holding B V | Werkwijze en inrichting voor het verrichten van metingen aan magnetische velden met gebruik van een hall-sensor. |
| US7006938B2 (en) * | 2004-06-16 | 2006-02-28 | Ami Semiconductor, Inc. | Reactive sensor modules using Pade' Approximant based compensation and providing module-sourced excitation |
| US7061311B2 (en) * | 2004-07-23 | 2006-06-13 | Honeywell International Inc. | Differential amplifier for dual bridge transducer |
| US7525365B1 (en) * | 2005-05-09 | 2009-04-28 | National Semiconductor Corporation | System and method for providing an offset voltage minimization circuit |
| US7481400B2 (en) * | 2005-07-01 | 2009-01-27 | Portec, Rail Products Ltd. | Railway wheel sensor |
| KR100720620B1 (ko) * | 2005-11-21 | 2007-05-22 | (주)에이디테크놀로지 | 자석의 극성에 따른 자계센서 출력 보정회로, 그보정회로를 포함하는 포인팅 장치 및 디지털 단말기 |
| JP2008309626A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Oki Electric Ind Co Ltd | 感磁出力ｉｃ |
| US7894561B1 (en) | 2007-06-21 | 2011-02-22 | National Semiconductor Corporation | Method and system for providing dynamic DC offset correction |
| US7952350B2 (en) * | 2008-05-30 | 2011-05-31 | Infineon Technologies Ag | Circuit that provides output voltages in a homogenous magnetic field |
| DE102008043966B4 (de) | 2008-11-21 | 2019-03-21 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung und Betriebsverfahren hierfür |
| CN101762796B (zh) * | 2008-12-24 | 2013-02-13 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 磁场检测器 |
| EP2402779A1 (en) * | 2010-07-02 | 2012-01-04 | Liaisons Electroniques-Mecaniques Lem S.A. | Hall sensor system |
| CN101995501B (zh) * | 2010-10-09 | 2012-07-04 | 佛山市中格威电子有限公司 | 一种能实现电源和输入、输出信号三隔离的测试方法及电路 |
| EP2728369B1 (en) | 2012-01-25 | 2016-06-15 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Hall electromotive force signal detection circuit and current sensor thereof |
| EP2624001B1 (en) | 2012-02-01 | 2015-01-07 | ams AG | Hall sensor and sensor arrangement |
| JP6043424B2 (ja) | 2013-03-28 | 2016-12-14 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | ホール起電力信号検出回路及びその電流センサ並びにホール素子の駆動方法 |
| EP2999942B1 (en) * | 2013-05-22 | 2018-10-24 | Aktiebolaget SKF | Sensor assembly of a sensor bearing |
| WO2016047149A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | ホール起電力信号検出回路及び電流センサ |
| US10627458B2 (en) * | 2017-09-25 | 2020-04-21 | Allegro Microsystems, Llc | Omnipolar schmitt trigger |
| CN108318058A (zh) * | 2018-03-14 | 2018-07-24 | 无锡思泰迪半导体有限公司 | 一种为霍尔传感器提供偏置电压的系统和方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0115391A3 (en) * | 1983-01-27 | 1987-06-10 | Optron, Inc. | Hall-effect position sensor apparatus |
| US4992731A (en) * | 1988-03-04 | 1991-02-12 | North American Philips Corporation | Rotary speed sensor with base line compensation of Hall cell output signal |
| EP0363512B1 (de) * | 1988-10-13 | 1992-05-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung zur berührungsfreien Erfassung der Drehzahl eines rotierenden Zahnrades |
| DE4118255A1 (de) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Itt Ind Gmbh Deutsche | Monolithisch integrierter sensorschaltkreis in cmos-technik |
| EP0536667B1 (en) * | 1991-10-07 | 1997-01-08 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Analogue signal processor |
| EP0548391B1 (de) * | 1991-12-21 | 1997-07-23 | Deutsche ITT Industries GmbH | Offsetkompensierter Hallsensor |
| US5278462A (en) * | 1992-04-24 | 1994-01-11 | Fasco Controls Corporation | Threshold crossover detector with improved digital noise rejection |
| JPH08201490A (ja) * | 1995-01-31 | 1996-08-09 | Mitsumi Electric Co Ltd | センサｉｃ |
| DE19530386A1 (de) * | 1995-08-18 | 1997-02-20 | Philips Patentverwaltung | Positionssensor |
-
1996
- 1996-03-02 EP EP96103238A patent/EP0793075B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-02 DE DE59609727T patent/DE59609727D1/de not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-02-26 KR KR1019970005875A patent/KR970067334A/ko not_active Withdrawn
- 1997-02-26 US US08/806,905 patent/US5844427A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-28 CN CN97103103A patent/CN1091247C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1997-03-03 JP JP04800597A patent/JP4037481B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101337170B1 (ko) * | 2006-08-15 | 2013-12-05 | 제너럴 일렉트릭 캄파니 | 진동 측정용 변환기 |
| JP2010156686A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-07-15 | Robert Bosch Gmbh | オフセットが低減されている集積センサアレイ |
| US8502530B2 (en) | 2009-06-08 | 2013-08-06 | Sanyo Semiconductor Co., Ltd. | Offset cancelling circuit |
| JP2010281764A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Sanyo Electric Co Ltd | オフセットキャンセル回路 |
| KR101156914B1 (ko) * | 2009-10-09 | 2012-06-21 | 인터실 아메리카스 엘엘씨 | 신호 전송 네트워크에서 풀 페일세이프 능력을 제공하는 시스템 및 방법 |
| US8971387B2 (en) | 2009-10-09 | 2015-03-03 | Intersil Americas LLC | System and method for providing a full fail-safe capability in signal transmission networks |
| US9276779B2 (en) | 2009-10-09 | 2016-03-01 | Intersil Americas LLC | System and method for providing a full fail-safe capability in signal transmission networks |
| JP2012068248A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Infineon Technologies Ag | 複数の信号経路を利用したセンサ自己診断 |
| JP2012150003A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | ホール電圧検出装置 |
| JP2013121160A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-17 | Rohm Co Ltd | 全差動型帰還増幅回路および電気機器 |
| JP2014167422A (ja) * | 2013-02-28 | 2014-09-11 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | ホール起電力信号検出回路及びその電流センサ |
| JP2016166862A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-15 | エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社 | 磁気センサ回路 |
| JP2016166759A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 磁気センサ |
| KR20170119636A (ko) * | 2016-04-19 | 2017-10-27 | 인피니온 테크놀로지스 아게 | 다중 신호 경로들을 사용하는 센서 자체 진단 |
| JP2018009818A (ja) * | 2016-07-11 | 2018-01-18 | 株式会社ジェイテクト | モータ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| US5844427A (en) | 1998-12-01 |
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