JPH09330684A - 誘電体バリヤ放電ランプ - Google Patents
誘電体バリヤ放電ランプInfo
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- JPH09330684A JPH09330684A JP14566896A JP14566896A JPH09330684A JP H09330684 A JPH09330684 A JP H09330684A JP 14566896 A JP14566896 A JP 14566896A JP 14566896 A JP14566896 A JP 14566896A JP H09330684 A JPH09330684 A JP H09330684A
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- 230000004888 barrier function Effects 0.000 title claims abstract description 34
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来は放射輝度が十分に得られないか、ある
いは集光レンズによりある程度の高輝度は得られるもの
でも、集光効率が悪い。 【解決手段】 互いに離間対向して配置されている誘電
体１５と誘電体１６は放電容器の一部を構成しており、
その放電容器内には誘電体バリヤ放電によってエキシマ
分子を形成する放電用ガスが充填されている。また、誘
電体１５と誘電体１６はそれぞれ互いの対向面は平面と
され、かつ、対向面と反対側の面は凸曲面となるように
形成されている。これにより、誘電体１６は凸曲面の曲
率半径の設定により、集光機能を有するようにされてい
る。金属電極１８は凹曲面により集光機能と反射機能を
有するようにされている。誘電体１６の凸曲面上には網
状金属電極１９が形成されている。エキシマ光は、誘電
体１６を透過し、更に網状金属電極１９の電極の存在し
ない部分を通して外部へ放射される。
いは集光レンズによりある程度の高輝度は得られるもの
でも、集光効率が悪い。 【解決手段】 互いに離間対向して配置されている誘電
体１５と誘電体１６は放電容器の一部を構成しており、
その放電容器内には誘電体バリヤ放電によってエキシマ
分子を形成する放電用ガスが充填されている。また、誘
電体１５と誘電体１６はそれぞれ互いの対向面は平面と
され、かつ、対向面と反対側の面は凸曲面となるように
形成されている。これにより、誘電体１６は凸曲面の曲
率半径の設定により、集光機能を有するようにされてい
る。金属電極１８は凹曲面により集光機能と反射機能を
有するようにされている。誘電体１６の凸曲面上には網
状金属電極１９が形成されている。エキシマ光は、誘電
体１６を透過し、更に網状金属電極１９の電極の存在し
ない部分を通して外部へ放射される。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は誘電体バリヤ放電ラ
ンプに係り、特に誘電体バリヤ放電によって、エキシマ
分子を形成し、そのエキシマ分子から放射される光を利
用する、半導体露光装置の紫外線露光用光源などに用い
られる誘電体バリヤ放電ランプに関する。
ンプに係り、特に誘電体バリヤ放電によって、エキシマ
分子を形成し、そのエキシマ分子から放射される光を利
用する、半導体露光装置の紫外線露光用光源などに用い
られる誘電体バリヤ放電ランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、誘電体バリヤ放電を利用した
誘電体バリヤ放電ランプが種々提案されている（例え
ば、特開平２−７３５３号公報、特開平６−３３８３０
１号公報）。図５は特開平２−７３５３号公報記載の従
来の誘電体バリヤ放電ランプの構成図を示す。同図にお
いて、この誘電体バリヤ放電ランプは、誘電体３と５を
離間対向配置した放電容器４にエキシマ分子を形成する
放電用ガスを充填し、誘電体３上の反射機能付き金属電
極２と誘電体５に形成された網状金属電極６との間に電
源１から交流電圧を印加することにより、誘電体バリヤ
放電によってエキシマ分子を形成せしめ、このエキシマ
分子から放射される光を取り出す。
誘電体バリヤ放電ランプが種々提案されている（例え
ば、特開平２−７３５３号公報、特開平６−３３８３０
１号公報）。図５は特開平２−７３５３号公報記載の従
来の誘電体バリヤ放電ランプの構成図を示す。同図にお
いて、この誘電体バリヤ放電ランプは、誘電体３と５を
離間対向配置した放電容器４にエキシマ分子を形成する
放電用ガスを充填し、誘電体３上の反射機能付き金属電
極２と誘電体５に形成された網状金属電極６との間に電
源１から交流電圧を印加することにより、誘電体バリヤ
放電によってエキシマ分子を形成せしめ、このエキシマ
分子から放射される光を取り出す。
【０００３】また、放射輝度の高い従来の誘電体バリヤ
放電ランプとしては、図６に示す如き構成の誘電体バリ
ヤ放電ランプも従来より知られている（特開平６−３３
８３０１号公報）。同図において、平板状の誘電体３及
び４を離間対向させ、周辺部に光取り出し部材７と側板
８を設けて放電容器とし、この放電容器に誘電体バリヤ
放電によって、エキシマ分子を形成する放電用ガスが充
填され、放電容器の一部は誘電体放電の誘電体を兼ねて
いる。側板８の外部には反射膜１３が蒸着されている。
また、光取り出し窓部材７に直近して集光レンズ９が設
けられている（集光レンズ９の一部が光取り出し窓部材
を兼ねるようにしてもよい。）。
放電ランプとしては、図６に示す如き構成の誘電体バリ
ヤ放電ランプも従来より知られている（特開平６−３３
８３０１号公報）。同図において、平板状の誘電体３及
び４を離間対向させ、周辺部に光取り出し部材７と側板
８を設けて放電容器とし、この放電容器に誘電体バリヤ
放電によって、エキシマ分子を形成する放電用ガスが充
填され、放電容器の一部は誘電体放電の誘電体を兼ねて
いる。側板８の外部には反射膜１３が蒸着されている。
また、光取り出し窓部材７に直近して集光レンズ９が設
けられている（集光レンズ９の一部が光取り出し窓部材
を兼ねるようにしてもよい。）。
【０００４】この従来の誘電体バリヤ放電ランプにおい
て、誘電体３、４の互いの対向面とは反対側の表面上に
それぞれ形成された電極１０及び１１に、電源１から交
流電圧を印加すると、放電プラズマ１２が発生し、エキ
シマ分子が生成されてエキシマ光が放射される。放電プ
ラズマが細く、また放電空間の長い距離を吸収されるこ
となく進行するので、誘電体バリヤ放電の放電路に平行
に集光レンズ９を設けることにより、上記のエキシマ光
は光取り出し窓部材７及び集光レンズ９を通して放射さ
れる。
て、誘電体３、４の互いの対向面とは反対側の表面上に
それぞれ形成された電極１０及び１１に、電源１から交
流電圧を印加すると、放電プラズマ１２が発生し、エキ
シマ分子が生成されてエキシマ光が放射される。放電プ
ラズマが細く、また放電空間の長い距離を吸収されるこ
となく進行するので、誘電体バリヤ放電の放電路に平行
に集光レンズ９を設けることにより、上記のエキシマ光
は光取り出し窓部材７及び集光レンズ９を通して放射さ
れる。
【０００５】以上の従来の誘電体バリヤ放電ランプは、
波長領域が２００ｎｍ以下の紫外線を放射できるため
に、フォトリソグラフィ技術における解像度を高くして
半導体装置の超微細加工を実現するために、半導体露光
装置の紫外線露光用光源などに用いられる。
波長領域が２００ｎｍ以下の紫外線を放射できるため
に、フォトリソグラフィ技術における解像度を高くして
半導体装置の超微細加工を実現するために、半導体露光
装置の紫外線露光用光源などに用いられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記の従来
の誘電体バリヤ放電ランプのうち、図５に示した構成の
ものは、放射輝度が十分に得られないという問題があ
る。また、図６に示した従来の誘電体バリヤ放電ランプ
は、集光レンズ９によりエキシマ光を集光しているの
で、ある程度の高輝度は得られるものの、全方向に放射
される光のうち、光取り出し窓部材７の方向に放射され
たエキシマ光のみを集光しているため、放射された光の
一部しか利用しておらず、集光効率が悪いという問題が
ある。
の誘電体バリヤ放電ランプのうち、図５に示した構成の
ものは、放射輝度が十分に得られないという問題があ
る。また、図６に示した従来の誘電体バリヤ放電ランプ
は、集光レンズ９によりエキシマ光を集光しているの
で、ある程度の高輝度は得られるものの、全方向に放射
される光のうち、光取り出し窓部材７の方向に放射され
たエキシマ光のみを集光しているため、放射された光の
一部しか利用しておらず、集光効率が悪いという問題が
ある。
【０００７】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
高輝度の光を放射し得る誘電体バリヤ放電ランプを提供
することを目的とする。
高輝度の光を放射し得る誘電体バリヤ放電ランプを提供
することを目的とする。
【０００８】また、本発明の他の目的は、集光効率の良
い誘電体バリヤ放電ランプを提供することにある。
い誘電体バリヤ放電ランプを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、第１の発明は、互いに離間対向して配置されると共
に、互いの対向面は平面とされ、かつ、対向面と反対側
の面は凸曲面となるように形成されており、内部に誘電
体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガ
スが充填されている放電容器の一部をそれぞれ構成する
第１及び第２の誘電体と、第１の誘電体の凸曲面上に凹
曲面が密接するように形成された反射集光機能付きの第
１の金属電極と、集光機能を有する第２の誘電体の凸曲
面上に形成された網状の第２の金属電極とを有する構成
としたものである。
め、第１の発明は、互いに離間対向して配置されると共
に、互いの対向面は平面とされ、かつ、対向面と反対側
の面は凸曲面となるように形成されており、内部に誘電
体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガ
スが充填されている放電容器の一部をそれぞれ構成する
第１及び第２の誘電体と、第１の誘電体の凸曲面上に凹
曲面が密接するように形成された反射集光機能付きの第
１の金属電極と、集光機能を有する第２の誘電体の凸曲
面上に形成された網状の第２の金属電極とを有する構成
としたものである。
【００１０】この第１の発明では、第１及び第２の金属
電極間に交流電圧を印加して放電容器の放電空間で発生
させたエキシマ分子から放射する光が、第１の金属電極
により集光及び反射され、かつ、第２の誘電体により集
光されるため、エキシマ分子から放射されたすべての光
は第２の誘電体上に形成された第２の金属電極の存在し
ない部分を通して放射される。
電極間に交流電圧を印加して放電容器の放電空間で発生
させたエキシマ分子から放射する光が、第１の金属電極
により集光及び反射され、かつ、第２の誘電体により集
光されるため、エキシマ分子から放射されたすべての光
は第２の誘電体上に形成された第２の金属電極の存在し
ない部分を通して放射される。
【００１１】また、第２の発明は上記の目的を達成する
ため、第１の誘電体の凸曲面上に凹曲面が密接するよう
に形成された集光機能付きの誘電体多層反射膜と、誘電
体多層反射膜上に形成された表面が平坦な第３の誘電体
と、第３の誘電体上に形成された平板状の第３の金属電
極とを、第１の発明における第２の金属電極に代えて設
けた構成としたものである。
ため、第１の誘電体の凸曲面上に凹曲面が密接するよう
に形成された集光機能付きの誘電体多層反射膜と、誘電
体多層反射膜上に形成された表面が平坦な第３の誘電体
と、第３の誘電体上に形成された平板状の第３の金属電
極とを、第１の発明における第２の金属電極に代えて設
けた構成としたものである。
【００１２】この第２の発明では、第１及び第３の金属
電極間に交流電圧を印加して放電容器の放電空間で発生
させたエキシマ分子から放射する光が、誘電体多層反射
膜により集光及び反射され、かつ、第２の誘電体により
集光されるため、エキシマ分子から放射されたすべての
光は第２の金属電極の存在しない部分を通して放射され
る。
電極間に交流電圧を印加して放電容器の放電空間で発生
させたエキシマ分子から放射する光が、誘電体多層反射
膜により集光及び反射され、かつ、第２の誘電体により
集光されるため、エキシマ分子から放射されたすべての
光は第２の金属電極の存在しない部分を通して放射され
る。
【００１３】また、第３の発明は上記の目的を達成する
ため、第１及び第２の発明における第１の金属電極によ
る集光点位置と、集光機能を有する第２の誘電体による
集光点位置は、放電容器の外部で、かつ、第２の金属電
極が設けられた側の同一位置に設定されるようにしたも
のである。この第３の発明では、第１の金属電極による
集光点位置と第２の誘電体による集光点位置が、それぞ
れ同一位置であるために、高輝度な点光源を形成するこ
とができる。
ため、第１及び第２の発明における第１の金属電極によ
る集光点位置と、集光機能を有する第２の誘電体による
集光点位置は、放電容器の外部で、かつ、第２の金属電
極が設けられた側の同一位置に設定されるようにしたも
のである。この第３の発明では、第１の金属電極による
集光点位置と第２の誘電体による集光点位置が、それぞ
れ同一位置であるために、高輝度な点光源を形成するこ
とができる。
【００１４】更に、第４及び第５の発明は、第１及び第
２の誘電体を、それぞれ同一放電容器内において複数組
アレイ状に設け、第４の発明では第１及び第２の金属電
極間に交流電圧を印加して、第５の発明では第１及び第
３の金属電極間に交流電圧を印加して放電容器の放電空
間でアレイ状に発生させたエキシマ分子から放射する光
を、第２の金属電極の存在しない部分を通して放射して
点光源アレイを形成するようにしたものである。
２の誘電体を、それぞれ同一放電容器内において複数組
アレイ状に設け、第４の発明では第１及び第２の金属電
極間に交流電圧を印加して、第５の発明では第１及び第
３の金属電極間に交流電圧を印加して放電容器の放電空
間でアレイ状に発生させたエキシマ分子から放射する光
を、第２の金属電極の存在しない部分を通して放射して
点光源アレイを形成するようにしたものである。
【００１５】また、上記の目的を達成するため、第６の
発明は、第４又は第５の発明の点光源アレイからの光を
集光レンズにより集光させ、集光レンズの集光点位置に
配置されたマスク又はレチクル上に照射することを特徴
とする。この第６の発明では、マスク又はレチクル上に
光強度が均一な照明光を照射することができる。
発明は、第４又は第５の発明の点光源アレイからの光を
集光レンズにより集光させ、集光レンズの集光点位置に
配置されたマスク又はレチクル上に照射することを特徴
とする。この第６の発明では、マスク又はレチクル上に
光強度が均一な照明光を照射することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図１は本発明になる誘電体バリ
ヤ放電ランプの第１の実施の形態の構成図を示す。同図
において、互いに離間対向して配置されている誘電体１
５と誘電体１６は放電容器の一部を構成しており、その
放電容器内には誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子
を形成する放電用ガスが充填されている。また、誘電体
１５と誘電体１６はそれぞれ互いの対向面は平面とさ
れ、かつ、対向面と反対側の面は凸曲面となるように形
成されている。これにより、少なくとも誘電体１６は凸
曲面の曲率半径の設定により、集光機能を有するように
されている。
て図面と共に説明する。図１は本発明になる誘電体バリ
ヤ放電ランプの第１の実施の形態の構成図を示す。同図
において、互いに離間対向して配置されている誘電体１
５と誘電体１６は放電容器の一部を構成しており、その
放電容器内には誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子
を形成する放電用ガスが充填されている。また、誘電体
１５と誘電体１６はそれぞれ互いの対向面は平面とさ
れ、かつ、対向面と反対側の面は凸曲面となるように形
成されている。これにより、少なくとも誘電体１６は凸
曲面の曲率半径の設定により、集光機能を有するように
されている。
【００１７】更に、誘電体１５の凸曲面上には、一方が
凹曲面で他方が平面とされた金属電極１８の凹曲面が密
接して形成されている。この金属電極１８は凹曲面によ
り集光機能と反射機能を有するようにされている。ま
た、誘電体１６の凸曲面上には網状金属電極１９が形成
されている。更に、金属電極１８と１９は交流電源１に
接続されている。
凹曲面で他方が平面とされた金属電極１８の凹曲面が密
接して形成されている。この金属電極１８は凹曲面によ
り集光機能と反射機能を有するようにされている。ま
た、誘電体１６の凸曲面上には網状金属電極１９が形成
されている。更に、金属電極１８と１９は交流電源１に
接続されている。
【００１８】この実施の形態の動作について説明する
に、電極１８及び１９に、電源１から交流電圧を印加す
ると、放電容器内の放電空間１７に放電プラズマ２０が
発生し、エキシマ分子が生成されてエキシマ光が放射さ
れる。誘電体１６が凸曲面を有しているために集光機能
を有し、かつ、金属電極１８が反射機能と集光機能を有
しているため、このエキシマ光は、誘電体１６を透過
し、更に網状金属電極１９の電極の存在しない部分を通
して外部へ放射される。
に、電極１８及び１９に、電源１から交流電圧を印加す
ると、放電容器内の放電空間１７に放電プラズマ２０が
発生し、エキシマ分子が生成されてエキシマ光が放射さ
れる。誘電体１６が凸曲面を有しているために集光機能
を有し、かつ、金属電極１８が反射機能と集光機能を有
しているため、このエキシマ光は、誘電体１６を透過
し、更に網状金属電極１９の電極の存在しない部分を通
して外部へ放射される。
【００１９】ここで、誘電体１６による集光位置と金属
電極１８による集光位置とは、網状金属電極１９よりも
図中、下側の同一位置となるように、それらの曲率半径
が設定されているため、高輝度な点光源を形成すること
ができ、また、放射されたエキシマ光をすべて集光して
いるので、光の利用率も向上できる。
電極１８による集光位置とは、網状金属電極１９よりも
図中、下側の同一位置となるように、それらの曲率半径
が設定されているため、高輝度な点光源を形成すること
ができ、また、放射されたエキシマ光をすべて集光して
いるので、光の利用率も向上できる。
【００２０】次に、本発明の第２の実施の形態について
説明する。図２は本発明になる誘電体バリヤ放電ランプ
の第２の実施の形態の構成図を示す。同図中、図１と同
一構成部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
図２において、誘電体１５の凸曲面上には、ＭｇＦ2な
どの誘電体多層反射膜２２が成膜され、更にその誘電体
多層反射膜２２上に誘電体２１が埋め込まれて表面が平
面とされる。この誘電体２１の表面には平板状の金属電
極２３が形成されている。なお、誘電体多層反射膜２２
はその曲面の曲率半径の設定により、集光機能も有する
ようにされている。
説明する。図２は本発明になる誘電体バリヤ放電ランプ
の第２の実施の形態の構成図を示す。同図中、図１と同
一構成部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
図２において、誘電体１５の凸曲面上には、ＭｇＦ2な
どの誘電体多層反射膜２２が成膜され、更にその誘電体
多層反射膜２２上に誘電体２１が埋め込まれて表面が平
面とされる。この誘電体２１の表面には平板状の金属電
極２３が形成されている。なお、誘電体多層反射膜２２
はその曲面の曲率半径の設定により、集光機能も有する
ようにされている。
【００２１】この実施の形態によれば、誘電体２１、集
光機能付き誘電体多層反射膜２２及び金属電極２３は、
第１の実施の形態の反射集光機能付き金属電極１８と同
一の集光反射機能を有するため、第１の実施の形態と同
様の特長を有する。
光機能付き誘電体多層反射膜２２及び金属電極２３は、
第１の実施の形態の反射集光機能付き金属電極１８と同
一の集光反射機能を有するため、第１の実施の形態と同
様の特長を有する。
【００２２】次に、本発明の第３の実施の形態について
説明する。図３は本発明になる誘電体バリヤ放電ランプ
の第３の実施の形態の構成図を示す。同図中、図１と同
一構成部分には同一符号を付してある。図３において、
互いに離間対向して配置されている誘電体１５1と１
６1、誘電体１５2と１６2、誘電体１５3と１６3、誘電
体１５4と１６4は、それぞれ同一の放電容器内にアレイ
状に形成されており、その放電容器の放電空間１７内に
は誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放
電用ガスが充填されている。
説明する。図３は本発明になる誘電体バリヤ放電ランプ
の第３の実施の形態の構成図を示す。同図中、図１と同
一構成部分には同一符号を付してある。図３において、
互いに離間対向して配置されている誘電体１５1と１
６1、誘電体１５2と１６2、誘電体１５3と１６3、誘電
体１５4と１６4は、それぞれ同一の放電容器内にアレイ
状に形成されており、その放電容器の放電空間１７内に
は誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放
電用ガスが充填されている。
【００２３】また、誘電体１５1〜１５4と誘電体１６1
〜１６4はそれぞれ互いの対向面は平面とされ、かつ、
対向面と反対側の面は凸曲面となるように形成されてい
る。誘電体１６1〜１６4は凸曲面の曲率半径の設定によ
り、集光機能を有するようにされている。誘電体１５1
〜１５4の凸曲面上には、反射集光機能付き金属電極１
８の凹曲面が密接して形成されている。更に、誘電体１
６1〜１６4の凸曲面側にはそれぞれ網状金属電極１９ が
形成されている。これらにより、一次光源アレイ２５が
形成されている。
〜１６4はそれぞれ互いの対向面は平面とされ、かつ、
対向面と反対側の面は凸曲面となるように形成されてい
る。誘電体１６1〜１６4は凸曲面の曲率半径の設定によ
り、集光機能を有するようにされている。誘電体１５1
〜１５4の凸曲面上には、反射集光機能付き金属電極１
８の凹曲面が密接して形成されている。更に、誘電体１
６1〜１６4の凸曲面側にはそれぞれ網状金属電極１９ が
形成されている。これらにより、一次光源アレイ２５が
形成されている。
【００２４】この実施の形態の動作について説明する
に、金属電極１８及び１９に、電源１から交流電圧を印
加すると、放電容器内の対向する誘電体１５1〜１５4と
誘電体１６1〜１６4のそれぞれの放電空間１７に放電プ
ラズマ２０がアレイ状に発生し、エキシマ分子が生成さ
れてエキシマ光が放射され、このエキシマ光は、誘電体
１６1〜１６4を透過し、更に網状金属電極１９の電極の
存在しない部分を通して外部へ放射される。
に、金属電極１８及び１９に、電源１から交流電圧を印
加すると、放電容器内の対向する誘電体１５1〜１５4と
誘電体１６1〜１６4のそれぞれの放電空間１７に放電プ
ラズマ２０がアレイ状に発生し、エキシマ分子が生成さ
れてエキシマ光が放射され、このエキシマ光は、誘電体
１６1〜１６4を透過し、更に網状金属電極１９の電極の
存在しない部分を通して外部へ放射される。
【００２５】ここで、誘電体１６1〜１６4による集光位
置と金属電極１８による集光位置とは、網状金属電極１
９よりも図中、下側の同一位置となるように、それらの
曲率半径が設定されているため、高輝度な集光点２６1
〜２６4からなる二次光源アレイ（点光源アレイ）２７
を形成することができる。また、この実施の形態も放射
されたエキシマ光をすべて集光しているので、光の利用
率も向上できる。
置と金属電極１８による集光位置とは、網状金属電極１
９よりも図中、下側の同一位置となるように、それらの
曲率半径が設定されているため、高輝度な集光点２６1
〜２６4からなる二次光源アレイ（点光源アレイ）２７
を形成することができる。また、この実施の形態も放射
されたエキシマ光をすべて集光しているので、光の利用
率も向上できる。
【００２６】なお、図示の便宜上、図３では誘電体１５
と１６の組を４組設けているが、組数はこれに限定され
るものではないことは勿論である。
と１６の組を４組設けているが、組数はこれに限定され
るものではないことは勿論である。
【００２７】次に、本発明の応用例について説明する。
図４は本発明になる誘電体バリヤ放電ランプの応用例の
構成図を示す。同図中、図３と同一構成部分には同一符
号を付してある。図４において、図３に示したと同様の
構成の一次光源アレイ２５から放射された、例えば波長
１５７ｎｍの紫外線領域の光は、コンデンサレンズ２８
により集光され、その集光位置にマスクまたはレチクル
２９が配置されている。
図４は本発明になる誘電体バリヤ放電ランプの応用例の
構成図を示す。同図中、図３と同一構成部分には同一符
号を付してある。図４において、図３に示したと同様の
構成の一次光源アレイ２５から放射された、例えば波長
１５７ｎｍの紫外線領域の光は、コンデンサレンズ２８
により集光され、その集光位置にマスクまたはレチクル
２９が配置されている。
【００２８】これにより、コンデンサレンズ２８の集光
位置には、照明光強度が均一な照明光が照射されるた
め、マスクまたはレチクル２９上の超微細なパターンを
忠実に転写露光ができる。すなわち、この実施の形態で
は、一次光源アレイ２５が露光装置の紫外線露光用光源
として用いられている点に特長がある。
位置には、照明光強度が均一な照明光が照射されるた
め、マスクまたはレチクル２９上の超微細なパターンを
忠実に転写露光ができる。すなわち、この実施の形態で
は、一次光源アレイ２５が露光装置の紫外線露光用光源
として用いられている点に特長がある。
【００２９】なお、図３及び図４において、一次光源ア
レイ２５は図１に示した実施の形態を複数組設けた構成
であるが、図２に示した実施の形態を複数組設けた構成
でもよいことは勿論である。
レイ２５は図１に示した実施の形態を複数組設けた構成
であるが、図２に示した実施の形態を複数組設けた構成
でもよいことは勿論である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、第１及び第２の発
明によれば、放電容器の放電空間で発生させたエキシマ
分子から放射する光が、第１の金属電極により集光及び
反射され、かつ、第２の誘電体により集光され、エキシ
マ分子から放射されたすべての光が第２の誘電体上に形
成された第２の金属電極の存在しない部分を通して放射
されるようにしたため、光取り出し窓部材の方向に放射
されたエキシマ光のみを集光している従来の誘電体バリ
ヤ放電ランプに比し、光の利用率を向上することができ
る。
明によれば、放電容器の放電空間で発生させたエキシマ
分子から放射する光が、第１の金属電極により集光及び
反射され、かつ、第２の誘電体により集光され、エキシ
マ分子から放射されたすべての光が第２の誘電体上に形
成された第２の金属電極の存在しない部分を通して放射
されるようにしたため、光取り出し窓部材の方向に放射
されたエキシマ光のみを集光している従来の誘電体バリ
ヤ放電ランプに比し、光の利用率を向上することができ
る。
【００３１】また、第３の発明によれば、第１の金属電
極による集光点位置と第２の誘電体による集光点位置
が、それぞれ同一位置であるために、従来にくらべて高
輝度な点光源を形成することができ、紫外線露光用光源
に好適である。
極による集光点位置と第２の誘電体による集光点位置
が、それぞれ同一位置であるために、従来にくらべて高
輝度な点光源を形成することができ、紫外線露光用光源
に好適である。
【００３２】また、第４及び第５の発明によれば、高輝
度な点光源アレイを形成することができ、更に、第６の
発明によれば、この点光源アレイからの光を利用してマ
スク又はレチクル上に光強度が均一な照明光を照射する
ことができるため、超微細な露光パターンを形成するこ
とができ、半導体装置の超微細化加工に極めて有効であ
る。
度な点光源アレイを形成することができ、更に、第６の
発明によれば、この点光源アレイからの光を利用してマ
スク又はレチクル上に光強度が均一な照明光を照射する
ことができるため、超微細な露光パターンを形成するこ
とができ、半導体装置の超微細化加工に極めて有効であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の構成図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態の構成図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態の構成図である。
【図４】本発明の応用例の構成図である。
【図５】従来の一例の構成図である。
【図６】従来の他の例の構成図である。
１ 交流電源 １５、１５1〜１５4 誘電体 １６、１６1〜１６4 集光機能付き誘電体 １７ 放電空間 １８ 反射集光機能付き金属電極 １９ 網状金属電極 ２０ 放電プラズマ ２１ 誘電体 ２２ 集光機能付き誘電体多層反射膜 ２３ 平板状金属電極 ２５ 一次光源アレイ ２６1〜２６4 高輝度集光点 ２７ 二次光源アレイ（高輝度点光源アレイ） ２８ コンデンサレンズ ２９ マスク又はレチクル
Claims (6)
- 【請求項１】 互いに離間対向して配置されると共に、
互いの対向面は平面とされ、かつ、対向面と反対側の面
は凸曲面となるように形成されており、内部に誘電体バ
リヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが
充填されている放電容器の一部をそれぞれ構成する第１
及び第２の誘電体と、 前記第１の誘電体の凸曲面上に凹曲面が密接するように
形成された反射集光機能付きの第１の金属電極と、 集光機能を有する前記第２の誘電体の凸曲面上に形成さ
れた網状の第２の金属電極とを有し、前記第１及び第２
の金属電極間に交流電圧を印加して前記放電容器の放電
空間で発生させたエキシマ分子から放射する光を、前記
第２の金属電極の存在しない部分を通して放射すること
を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。 - 【請求項２】 前記第１の誘電体の凸曲面上に凹曲面が
密接するように形成された集光機能付きの誘電体多層反
射膜と、該誘電体多層反射膜上に形成された表面が平坦
な第３の誘電体と、該第３の誘電体上に形成された平板
状の第３の金属電極とを、前記第２の金属電極に代えて
設け、前記第１及び第３の金属電極間に交流電圧を印加
して前記放電容器の放電空間で発生させたエキシマ分子
から放射する光を、前記第２の金属電極の存在しない部
分を通して放射することを特徴とする請求項１記載の誘
電体バリヤ放電ランプ。 - 【請求項３】 前記第１の金属電極による集光点位置
と、集光機能を有する前記第２の誘電体による集光点位
置は、前記放電容器の外部で、かつ、前記第２の金属電
極が設けられた側の同一位置に設定されていることを特
徴とする請求項１又は２記載の誘電体バリヤ放電ラン
プ。 - 【請求項４】 前記第１及び第２の誘電体は、それぞれ
同一放電容器内において複数組アレイ状に設けられ、前
記第１及び第２の金属電極間に交流電圧を印加して前記
放電容器の放電空間でアレイ状に発生させたエキシマ分
子から放射する光を、前記第２の金属電極の存在しない
部分を通して放射して点光源アレイを形成することを特
徴とする請求項１記載の誘電体バリヤ放電ランプ。 - 【請求項５】 前記第１及び第２の誘電体は、それぞれ
同一放電容器内において複数組アレイ状に設けられ、前
記第１及び第３の金属電極間に交流電圧を印加して前記
放電容器の放電空間でアレイ状に発生させたエキシマ分
子から放射する光を、前記第２の金属電極の存在しない
部分を通して放射して点光源アレイを形成することを特
徴とする請求項２記載の誘電体バリヤ放電ランプ。 - 【請求項６】 形成した前記点光源アレイからの光を集
光レンズにより集光させ、該集光レンズの集光点位置に
配置されたマスク又はレチクル上に照射することを特徴
とする請求項４又は５記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14566896A JP2858563B2 (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | 誘電体バリヤ放電ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14566896A JP2858563B2 (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | 誘電体バリヤ放電ランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09330684A true JPH09330684A (ja) | 1997-12-22 |
| JP2858563B2 JP2858563B2 (ja) | 1999-02-17 |
Family
ID=15390330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14566896A Expired - Fee Related JP2858563B2 (ja) | 1996-06-07 | 1996-06-07 | 誘電体バリヤ放電ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2858563B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011009238A (ja) * | 2010-09-22 | 2011-01-13 | Gs Yuasa Corp | 無声放電ランプおよび照射装置 |
-
1996
- 1996-06-07 JP JP14566896A patent/JP2858563B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011009238A (ja) * | 2010-09-22 | 2011-01-13 | Gs Yuasa Corp | 無声放電ランプおよび照射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2858563B2 (ja) | 1999-02-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |