JPH0933456A - 単結晶インゴットの方位測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 固定金具を取り付けたインゴットを静止させ
ておいて、Ｘ線回折測定系の方を９０°ずつ回転させる
ことによって、４方向において結晶格子面の偏差角に関
する情報を測定し、固定金具を基準とした偏差角関連情
報を得る。 【構成】 Ａ点にＸ線管を、Ｃ点にＸ線検出器を配置し
て、Ｘ線回折測定系をＥ点を中心として、Ａ・Ｅ・Ｃ点
を含む測角平面内で回動して、回折Ｘ線の検出できる回
動角度δ１を測定する。次に、Ｘ線回折測定系をインゴ
ット２０の軸方向の回りに９０°時計回りに回転して、
Ｂ点にＸ線管を、Ｄ点にＸ線検出器を配置し、回折Ｘ線
の検出できる回動角度δ２を測定する。次に、インゴッ
ト２０と固定金具２８をインゴット２０の軸方向に一時
的に後退させて、Ｘ線回折測定系を時計方向に９０°回
転する。インゴット２０と固定金具２８を元の測定位置
に戻して、回折Ｘ線の検出できる回動角度δ３を測定す
る。さらに、Ｘ線回折測定系を時計方向に９０°回転し
て、回折Ｘ線の検出できる回動角度δ４を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、シリコンなどの
単結晶インゴットの方位をＸ線回折測定を用いて測定す
る方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】円筒形状の単結晶インゴットの方位測定
をするには、一般的に、インゴットの端面にＸ線を照射
してそこからの回折Ｘ線を検出している。この方位測定
は、インゴットの端面と結晶格子面とのなす角度（以
下、偏差角という。）とその傾斜方向とを測定するもの
である。シリコン単結晶インゴットを例にとると、この
インゴットは、その端面が、所定の結晶格子面と平行に
なるように、あるいは、所定の結晶格子面に対して一定
の偏差角となるように製造される。したがって、この結
晶格子面からの回折Ｘ線が検出できるようにＸ線回折測
定系を設定して、回折Ｘ線の予想検出位置と実際の検出
位置とのずれを測定することにより、上述の偏差角とそ
の傾斜方向とを求めることができる。

【０００３】上述の偏差角と傾斜方向とを正確に求める
ためには、インゴットの端面において、合計で４方向か
ら回折Ｘ線を検出する必要がある。図７は従来の測定方
法を示す。図７（ａ）において、円筒形状のインゴット
１０は、平行配置された１対のローラ１２（あるいはＶ
ブロックでもよい。）の上に載っていて、このインゴッ
ト１０はその軸線の回りに回転可能になっている。イン
ゴット１０の端面上において、互いに直交するＸ軸とＹ
軸を設定する。インゴット１０が回転すると、このＸ軸
とＹ軸も回転する。Ｘ線回折測定系の測角平面を水平に
配置して、Ｆ点にＸ線源を、Ｇ点にＸ線検出器を配置
し、これらが、目的の結晶格子面に対応した所定の回折
角２θの関係となるようにする。

【０００４】まず、Ｘ軸の正方向が図面の右側を向くよ
うにインゴット１０の回転位置を定める。そして、回折
Ｘ線が検出できるまで、Ｘ線源とＸ線検出器を、回折角
２θを保ったままで、水平面内で、インゴット端面上の
Ｘ線照射点を中心として回動させ、回折Ｘ線を検出した
ときの回動角度を測定する。次に、インゴット１０をそ
の軸回りに１８０°回転して、図７（ｂ）に示すよう
に、Ｘ軸の正方向が左側を向くようにする。そして、同
様に、回折Ｘ線を検出したときの回動角度を測定する。
これらの二つの情報の平均値から、Ｘ軸を含む平面内に
おいて、結晶格子面が端面に対してどれくらい傾斜して
いるかを求めることができる。

【０００５】次に、インゴット１０を９０°だけ元に戻
すように回転して、図７（ｃ）に示すように、Ｙ軸の正
方向が右側を向くようにする。そして、同様に、回折Ｘ
線を検出したときの回動角度を測定する。さらに、イン
ゴット１０を１８０°回転して、図７（ｄ）に示すよう
に、Ｙ軸の正方向が左側を向くようにする。そして、同
様に、回折Ｘ線を検出したときの回動角度を測定する。
これらの二つの情報の平均値から、Ｙ軸を含む平面内に
おいて、結晶格子面が端面に対してどれくらい傾斜して
いるかを求めることができる。

【０００６】以上のようにして、Ｘ軸を含む平面内にお
ける結晶格子面の偏差角成分と、Ｙ軸を含む平面内にお
ける結晶格子面の偏差角成分とを求めることができる。
また、これらをもとにして、真の偏差角の値と、その傾
斜方向とを演算により求めることもできる。このような
測定方法は、厳密に言えば、円筒形状のインゴットの外
周面を基準として、端面に対する結晶格子面の偏差角を
求めているものである。

【０００７】このようなシリコン単結晶インゴットは、
一般に、外周面にあらかじめオリフラ加工が施されてか
ら、上述のように方位測定される。方位測定を終えたシ
リコン単結晶インゴットは、その方位測定結果に基づい
てウェーハに切断される。なお、オリフラ加工をせずに
方位測定をする場合もあるが、その場合は、方位測定後
にオリフラ加工が施されて、ウェーハに切断される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】シリコン単結晶インゴ
ットをウェーハに切断加工する場合に、シリコン単結晶
インゴットの外周面に固定金具を取り付けて、この固定
金具を切断装置に固定してから、切断する方法がある。
このような切断方法では、シリコン単結晶インゴットの
外周面や端面を基準として偏差角を測定するよりも、こ
の固定金具の基準面を基準として偏差角を測定しておい
た方が、切断時に便利である。したがって、切断装置に
固定するための固定金具をシリコン単結晶インゴットに
固定した状態のままで、インゴットの端面での方位測定
を実施することが望まれる。このような固定金具は、マ
ルチブレードやマルチワイヤソーを使って多数のウェー
ハを一度に切り出す場合には、よく使われる。しかしな
がら、固定金具をインゴットに固定した状態では、従来
のようにインゴットを回転させる方法を採用するのは難
しい。さらに、ウェーハの大口径化に伴ってインゴット
が大型になり、この大型インゴットに固定金具を固定し
た状態でインゴットを回転させるのは、ますます困難に
なってきている。

【０００９】そこで、この発明の目的は、切断装置にイ
ンゴットを固定するための固定金具を、インゴットの外
周面に固定した状態で、このインゴットの端面における
方位測定を実施できるような方位測定方法を提供するこ
とにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明のインゴット方
位測定方法は、固定金具を取り付けたインゴットを回転
させないで、Ｘ線回折測定系の方を９０°ずつ回転させ
ることによって、４種類の測定方向において、結晶格子
面の偏差角に関する情報を測定している。その場合、最
初の二つの情報を測定したあとに、インゴットと固定金
具とをインゴットの軸方向に一時的に後退させてから、
Ｘ線回折測定系を回転することにより、回転時にＸ線回
折測定系と固定金具とが衝突しないようにしている。

【００１１】Ｘ線回折測定系で測定される偏差角関連情
報は、インゴットの外形面（外周面や端面）を基準にす
るのではなくて、固定金具を基準として測定される。し
たがって、インゴットを固定した状態の固定金具を切断
装置に取り付けた場合、インゴットの外周面や端面の向
きを検出することなく、測定された偏差角関連情報をそ
のまま用いるだけで、結晶格子面に対して指定角度とな
るようにインゴットからウェーハを切り出すことができ
る。

【００１２】

【実施例】図１は、この発明の測定方法の一例を示す斜
視図である。円筒形状のシリコン単結晶インゴット２０
は、その外周面２２と端面２４が所定の精度で研削され
ている。このインゴット２０の外周面２２は、カーボン
などの中間材２６に接着固定され、この中間材２６が固
定金具２８に接着固定されている。この固定金具２８
は、方位測定装置にインゴットを取り付けるために使わ
れるが、切断装置にインゴットを取り付けるためにも使
われるものである。固定金具２８の両端は、方位測定装
置に設けられた１対の支持腕３０に引っ掛けることがで
き、これによって、インゴット２０を方位測定装置に取
り付けることができる。この固定金具２８において、支
持腕３０に載せられる両端部分の下面２７ａと背面２７
ｂが基準面となる。

【００１３】インゴット２０の一方の端面２４に対向す
るようにＸ線回折測定系が配置される。このＸ線回折測
定系は、Ｘ線源と、Ｘ線検出器と、これらを移動させる
駆動機構とからなる。この実施例では、回折測定時に
は、Ｘ線源とＸ線検出器は、図１のＡ点、Ｂ点、Ｃ点、
Ｄ点のいずれかに位置し、Ｘ線源とＸ線検出器は互いに
対向するように配置される。例えば、Ｘ線源がＡ点にあ
るときは、Ｘ線検出器はＣ点にある。図２はこの状態を
示す正面図である。Ａ点にあるＸ線管３２からインゴッ
ト２０の端面２４上の照射点（Ｅ点）に向かう入射Ｘ線
は、端面２４を含む平面３１（図１参照）に対して角度
θをなし、もし結晶格子面が端面２４と平行になってい
れば、回折Ｘ線が端面２４に対して角度θで出ていっ
て、Ｃ点上のＸ線検出器３４で検出される。図２におい
て、Ａ点、Ｅ点、Ｃ点は測角平面内にあり、この測角平
面は、固定金具２８の中心線２９に対して４５°だけ傾
斜している。固定金具２８はインゴット２０の上方に位
置しており、固定金具２８の中心線２９はインゴット２
０の中心を上下に通っている。したがって、Ｘ線回折測
定系の測角平面は、鉛直面に対して４５°傾斜してい
る。

【００１４】入射Ｘ線の照射点（Ｅ点）は、必ずしもイ
ンゴットの端面２４の中心上にある必要はない。この方
位測定装置では、Ｘ線回折測定系の照射点高さは一定に
設定されていて、かつ、固定金具の取付位置も一定なの
で、測定しようとするインゴットの直径に応じて、イン
ゴットの端面上での照射点位置は異なる。図２に示すよ
うに、実線で示した直径１２インチのインゴット２０で
は、照射点（Ｅ点）は端面２４のほぼ中心にくるが、一
点鎖線で示した直径８インチのインゴット２１では、照
射点の位置はその端面の中心よりもかなり下方になる。

【００１５】図４は、インゴット２０の側方からインゴ
ットの端面２４付近を見た側面図である。この側面図
は、測角平面に対して垂直な方向から見ている。入射Ｘ
線３６が端面２４に対して角度θとなるように、Ｘ線管
３２は配置されており、また、端面２４から角度θで反
射してきた回折Ｘ線３８が検出できるように、Ｘ線検出
器３４が配置されている。入射Ｘ線３６に対する回折Ｘ
線３８のなす角度（回折角）は２θである。Ｘ線の波長
と、測定したい結晶格子面の格子面間隔とが決まれば、
この回折角２θが定まる。もし、結晶格子面がインゴッ
トの端面２４に完全に平行になっていれば、Ｘ線管３２
とＸ線検出器３４とがこの配置のときに、回折Ｘ線が検
出される。結晶格子面が端面２４に対して傾斜していれ
ば、この状態では回折Ｘ線が検出されず、Ｘ線管３２と
Ｘ線検出器３４との相対関係を保ったまま（すなわち、
回折角２θを保ったまま）、端面２４上のＥ点を中心と
して、測角平面内でＸ線管３２とＸ線検出器３４とを一
体で回動する。そして、回折Ｘ線の検出できる回動角度
δを測定する。この回動角度δが、結晶格子面の偏差角
に関する情報となる。

【００１６】ところで、Ｘ線回折測定系の回動角度δの
原点調整は、実際は、インゴットの端面２４に対してで
はなくて、固定金具２８の基準面２７ａ、２７ｂに対し
てなされている。インゴットを固定金具２８に固定する
ごとに、インゴットの端面２４と固定金具２８の基準面
２７ａ、２７ｂとの相対位置関係は変化してしまうの
で、そのたびにインゴットの端面２４とＸ線回折測定系
との角度関係を微調整して、Ｘ線回折測定系の回動角度
の原点調整をするのは現実的ではない。したがって、固
定金具２８の基準面２７ａ、２７ｂに対して、Ｘ線回折
測定系の回動角度の原点調整がなされている。すなわ
ち、固定金具２８の基準面２７ａ、２７ｂに対して垂直
になるように仮想的なインゴット端面が想定され、この
仮想的なインゴット端面に対して、結晶格子面の偏差角
が測定される。

【００１７】なお、結晶格子面の法線は、一般には、測
角平面内には存在しない。したがって、回折Ｘ線３８
は、一般には、測角平面内には存在しない。ただし、結
晶格子面の偏差角が小さければ（例えば数度以内であれ
ば）、測角平面に対して垂直な方向に回折Ｘ線がずれて
いても、この回折Ｘ線をＸ線検出器で検出できるように
なっている。そして、測定するのは、あくまでも、測角
平面内での回動角度δである。

【００１８】図３は、結晶格子面の偏差角情報を測定す
る手順を示した正面図である。図３（ａ）は、図２に示
した状態と同じ配置である。この状態で、回折Ｘ線の検
出できる回動角度δを測定し、これをδ１とする。次
に、（ａ）の状態からＸ線回折測定系（Ｘ線管３２とＸ
線検出器３４）を、インゴット２０の軸方向（端面２４
の法線方向）の回りに、端面２４を正面に見て時計方向
に９０°だけ回転して、図３（ｂ）の状態にする。そし
て、同様に、回折Ｘ線の検出できる回動角度δを測定
し、これをδ２とする。次に、インゴット２０と固定金
具２８をインゴットの軸方向に後退させて、インゴット
の端面２４をＸ線回折測定系から遠ざける。それから、
Ｘ線回折測定系を時計方向に９０°回転して、図３
（ｃ）の状態にする。そして、インゴット２０と固定金
具２８を軸方向に移動して、再び、端面２４をＸ線回折
測定系の照射点に合わせるようにする。このように、一
時的にインゴット２０と固定金具２８を軸方向に後退さ
せたのは、図３（ｂ）から図３（ｃ）に移行するために
Ｘ線回折測定系を回転させたときに、Ｘ線検出器３４が
固定金具２８に衝突しないようにするためである。固定
金具２８は、インゴット２０の端面２４よりも軸方向に
突き出しているので、もし固定金具２８を後退させなけ
れば、Ｘ線検出器３４が固定金具２８に衝突する恐れが
ある。なお、図３（ａ）から図３（ｂ）に移行すると
き、及び、図３（ｃ）から図３（ｄ）に移行するとき
は、Ｘ線回折測定系を９０°回転しても、Ｘ線検出器３
４やＸ線管３２は固定金具２８の近くを通過しないの
で、固定金具２８を後退させる必要はない。

【００１９】図３（ｃ）の状態で、回折Ｘ線の検出でき
る回動角度δを測定し、これをδ３とする。次に、Ｘ線
回折測定系を時計方向にさらに９０°回転して、図３
（ｄ）の状態にする。そして、回折Ｘ線の検出できる回
動角度δを測定し、これをδ４とする。以上のようにし
て、４方向での回動角度δが測定できたので、これらを
もとにして、結晶格子面の偏差角を演算することができ
る。回動角度δ１とδ３は、線分ＡＣを含む測角平面内
における、結晶格子面の偏差角成分を表す。このδ１と
δ３は、原理的には、絶対値が同じで符号が反対にな
る。このδ１とδ３の絶対値の平均値を求めて、線分Ａ
Ｃを含む測角平面内における偏差角成分としている。ま
た、この偏差角成分の符号は、例えば、δ１の符号を採
用すると決めておけばよい。また、回動角度δ２とδ４
は、線分ＢＤを含む測角平面内における、結晶格子面の
偏差角成分を表し、やはり、原理的には、絶対値が同じ
で符号が反対になる。このδ２とδ４の絶対値の平均値
を求めて、線分ＢＤを含む測角平面内における、結晶格
子面の偏差角成分としている。この偏差角成分の符号
は、例えば、δ２の符号を採用すると決めておけばよ
い。このように、互いに直交する二つの方向における偏
差角成分を求めることができ、これを方位角測定装置の
表示画面に表示するようにしている。この二つの偏差角
成分を用いることにより、切断装置において、結晶格子
面に対して指定角度となるようにインゴットからウェー
ハを切り出すことができる。

【００２０】さらに、二つの偏差角成分を基にして、偏
差角の真の値とその傾斜方向とを演算で求めることもで
きる。互いに直交する平面内におけるそれぞれの偏差角
成分から、結晶格子面の真の偏差角とその傾斜方向と求
める具体的な方法は、例えば、「Ｘ線による水晶の方位
測定」（ＱＩＡＪニュース別冊、全国水晶振動子工業組
合、１９８８年９月）に詳しく記載されている。

【００２１】図５は上述の測定方法を実施するための方
位測定装置の一例を示す側面図である。インゴット２０
は固定金具２８に固定されており、この固定金具２８
は、並進移動台４０に固定された１対の支持腕３０（図
１参照）に引っ掛けられて固定される。並進移動台４０
は、図示しない並進駆動機構で駆動されて、ガイド棒４
２に沿って並進移動する。ガイド棒４２は方位測定装置
のフレームに固定されている。

【００２２】Ｘ線管３２とＸ線検出器３４とを含むＸ線
回折測定系は、扇形のゴニオメータ基台４４に搭載され
ている。Ｘ線管３２はＸ線管支持台４６に載っていて、
このＸ線管支持台４６は、ゴニオメータ基台４４上で、
回転中心（Ｅ点）を中心として回動できる。Ｘ線検出器
３４はＸ線検出器支持台４８に載っていて、このＸ線検
出器支持台４８も、ゴニオメータ基台４４上で、回転中
心（Ｅ点）を中心として回動できる。ゴニオメータ基台
４４は、モータ５０の回転軸５２に結合されていて、回
転軸５２の中心線（上述のＥ点を通過する。）の回りを
回転できる。

【００２３】この方位測定装置を用いて方位測定を行う
手順は、図３に示した通りである。この場合、図３
（ｂ）から図３（ｃ）に移行するときには、並進移動台
４０を図５の左方向に一時的に後退させて、モータ５０
によりＸ線回折測定系を９０°回転させている。それか
ら、並進移動台４０をまた元に戻している。図５におい
ては、並進移動台４０と固定金具２８とインゴット２０
が後退したときの位置が実線で示されている。インゴッ
トの方位を測定するときの位置は一点破線５４で示され
ている。このとき、インゴットの端面２４上に照射点
（Ｅ点）が合っている。

【００２４】インゴットの長さＬはさまざまであるが、
短いインゴットの場合は、固定金具２８や並進移動台４
０が、インゴット端面２４から長く突き出すことにな
る。このような場合でも、図３（ｂ）から図３（ｃ）に
移行するときには、並進移動台が後退できるので、Ｘ線
回折測定系が回転しても固定金具２８や並進移動台４０
に衝突しない。

【００２５】図５の方位測定装置の仕様を説明すると、
この装置はシリコン単結晶インゴットの方位測定をする
ものであり、シリコン単結晶インゴットの製造時の引き
上げ結晶軸は＜１００＞を想定している。そして、Ｘ線
回折測定系は、（４００）結晶格子面からの回折Ｘ線を
検出するように設定されている。測定できるインゴット
寸法は、直径８インチまたは１２インチであり、測定可
能なインゴット最大長さは３００ｍｍである。Ｘ線検出
器３４としては２インチのシンチレーションカウンタを
用いている。Ｘ線回折測定系の回動角度δの測定精度は
±１分である。なお、これらの具体的な仕様は変更可能
であり、例えば、測定可能なインゴット最大長さは相当
長く（例えば１ｍに）することもできる。

【００２６】図６は、方位測定されたインゴットを切断
装置に取り付けるための構造を示す斜視図である。イン
ゴット２０は固定金具２８に固定された状態のままであ
り、この固定金具２８が、切断装置側の受け金具５６に
ボルトで固定される。インゴット２０の方位測定では、
固定金具２８を基準として結晶格子面の偏差角が測定さ
れているので、切断装置においては、これが有効に利用
される。すなわち、切断装置の受け金具５６に固定金具
２８が正確に位置決めされるので、切断装置側の座標系
において、固定金具２８の位置が正確に定まり、この固
定金具２８を基準として結晶格子面の偏差角が求まって
いることになる。したがって、インゴットの結晶格子面
に対して指定の切断角度でウェーハを切り出そうとする
場合に、切断装置側の座標系において上述の偏差角を考
慮するだけで切断角度を設定することができる。換言す
れば、切断装置とインゴットとの相対位置関係を計測す
る必要が全くなくなる。

【００２７】上述の実施例では、方位測定装置のフレー
ムに対して、インゴットと固定金具をインゴットの軸方
向に並進移動させているが、その代わりに、インゴット
と固定金具を静止させておいて、Ｘ線回折測定系の方を
インゴットの軸方向に並進移動させてもよい。

【００２８】なお、上述の実施例の説明では、その図面
において、インゴット２０の外周面は単なる円筒面とし
て描かれているが、実際は、方位測定の前にあらかじめ
オリフラ加工（またはこれに代わるノッチ等）が外周面
に施されているのが一般的である。また、オリフラ加工
をせずに方位測定をする場合もあるが、その場合は、方
位測定の後にオリフラ加工とウェーハ切断が実施され
る。本発明は、オリフラ加工を施したインゴットについ
ても、施さないインゴットについても、どちらにも適用
できるものである。

【００２９】

【発明の効果】この発明の単結晶インゴットの方位測定
方法は、インゴットに固定金具を取り付けた状態で、Ｘ
線回折測定系を回転させて４種類の方向から結晶格子面
の偏差角関連情報を測定することができる。その場合、
途中で、インゴットと固定金具とをインゴットの軸方向
に一時的に後退させてから、Ｘ線回折測定系を回転させ
ているので、Ｘ線回折測定系と固定金具とが衝突しな
い。また、偏差角関連情報は固定金具を基準として測定
されるので、方位測定をしたインゴットを取り付けたま
まの固定金具を切断装置に取り付ければ、切断装置とイ
ンゴットとの相対位置関係を計測することなく、偏差角
関連情報をそのまま用いるだけで、結晶格子面に対して
指定角度になるようにインゴットからウェーハを切り出
すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の測定方法の一例を示す斜視図であ
る。

【図２】一つの測定状態を示す正面図である。

【図３】結晶格子面の偏差角情報を測定する手順を示し
た正面図である。

【図４】インゴットの端面付近を見た側面図である。

【図５】方位測定装置の一例を示す側面図である。

【図６】インゴットを切断装置に取り付けるための構造
を示す斜視図である。

【図７】従来の測定方法を示す斜視図である。

【符号の説明】

２０ インゴット ２４ 端面 ２８ 固定金具 ３０ 支持腕 ３２ Ｘ線管 ３４ Ｘ線検出器 ３６ 入射Ｘ線 ３８ 回折Ｘ線 ４０ 並進移動台 ４４ ゴニオメータ基台 ５０ モータ ５２ 回転軸

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 次の各段階を備える単結晶インゴットの
   方位測定方法。 （イ）円筒形状の単結晶インゴットに固定金具を固定す
   る段階。 （ロ）前記固定金具を方位測定装置に取り付ける段階。 （ハ）前記インゴットの一方の端面上にＸ線回折測定系
   の照射点を合わせる段階。 （ニ）前記端面にＸ線を照射してそこからの回折Ｘ線を
   検出することにより、前記固定金具を基準としてインゴ
   ットの端面と結晶格子面とのなす角度（以下、偏差角と
   いう。）に関する第１の情報を得る段階。 （ホ）前記インゴットを静止したままで、Ｘ線回折測定
   系を前記インゴットの軸方向の回りに一定方向に９０°
   回転する段階。 （ヘ）前記端面にＸ線を照射してそこからの回折Ｘ線を
   検出することにより、前記固定金具を基準として前記偏
   差角に関する第２の情報を得る段階。 （ト）前記インゴットと前記固定金具を前記Ｘ線回折測
   定系に対して前記インゴットの軸方向に相対的に移動さ
   せて、前記端面を前記Ｘ線回折測定系から遠ざける段
   階。 （チ）前記Ｘ線回折測定系を前記インゴットの軸方向の
   回りに前記一定方向に９０°回転する段階。 （リ）前記インゴットを前記Ｘ線回折測定系に対して前
   記インゴットの軸方向に相対的に移動させて、前記端面
   上に前記照射点を合わせる段階。 （ヌ）前記端面にＸ線を照射してそこからの回折Ｘ線を
   検出することにより、前記固定金具を基準として前記偏
   差角に関する第３の情報を得る段階。 （ル）前記インゴットを静止したままで、Ｘ線回折測定
   系を前記インゴットの軸方向の回りに前記一定方向に９
   ０°回転する段階。 （ヲ）前記端面にＸ線を照射してそこからの回折Ｘ線を
   検出することにより、前記固定金具を基準として前記偏
   差角に関する第４の情報を得る段階。
2. 【請求項２】 前記第１の情報と第３の情報とに基づい
   て、前記偏差角の一方向での偏差角成分を得るととも
   に、前記第２の情報と第４の情報とに基づいて、前記一
   方向に垂直な他方向での偏差角成分を得て、これらの二
   つの偏差角成分をそれぞれ表示することを特徴とする請
   求項１記載の方位測定方法。
3. 【請求項３】 前記二つの偏差角成分に基づいて、前記
   偏差角の値とその傾斜方向とを求めることを特徴とする
   請求項２記載の方位測定方法。
4. 【請求項４】 前記インゴットの上方に前記固定金具が
   来るように前記固定金具を前記方位測定装置に取り付
   け、前記第１の情報を得る段階では前記Ｘ線回折測定系
   の測角平面が鉛直面に対して４５°傾斜していることを
   特徴とする請求項１記載の方位測定方法。