JPH0934977A - 光ビーム走査装置 - Google Patents
光ビーム走査装置Info
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- JPH0934977A JPH0934977A JP7185636A JP18563695A JPH0934977A JP H0934977 A JPH0934977 A JP H0934977A JP 7185636 A JP7185636 A JP 7185636A JP 18563695 A JP18563695 A JP 18563695A JP H0934977 A JPH0934977 A JP H0934977A
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Abstract
焦点レンズ2a、2bによって集束され、ミラー3、4
によって方向転換される。そして、回転しているポリゴ
ン5の面に照射されて偏向されることにより、光ビーム
が走査面21上を走査する。このとき、制御部7は、セ
ンサ6で検出されたビームの偏向角度に応じてビームス
ポット径が所望の値となるように焦点距離を変化させる
制御信号をレンズ2a、2bに出力する。こうして、光
ビームの偏向に伴う走査面21までの光学距離の変化に
応じてレンズ2a、2bの焦点距離が変化するので、走
査面21上でビームスポット径を一定に保つことができ
る。
Description
等の光学系に使用される光ビーム走査装置に関するもの
である。
レーザ光を放射して被検体(バーコードラベル)を走査
する光ビーム走査装置がある(例えば、特願平2−29
4888号公報)。図5(a)は従来の光ビーム走査装
置のブロック図である。11は光ビームを発生するビー
ム光源、12a、12bは光源11から放射された光ビ
ームを集束させる固定焦点レンズ、13、14は折り返
しミラー、15はミラー14からの光ビームを偏向させ
るポリゴン、20は光軸、21は例えばバーコードラベ
ルとなる走査面である。
を説明する。ビーム光源11から放射された光ビーム
は、集束光学系をなすレンズ12a、12bによって走
査面21上で指定されたビームスポット径を有するよう
に集束され、折り返しミラー13、14によって反射さ
れてポリゴン15に照射される。ポリゴン15は図示し
ない回転機構によって回転しており、入射ビームを扇型
に偏向する。こうして、光ビームが走査面21上を直線
走査する(図5(a)では上から下へ走査する)。そし
て、走査面21からの反射光は、図示しない光検出器に
よって検出され、バーコード情報として読み取られるこ
とになる。
行っているため、走査ビームのスポット径が走査面21
上で同一とならず、ビームスポット径が同一となる点を
連ねると図5(a)のような曲線22となる。したがっ
て、走査面21上では走査の端に近づくほどビームスポ
ット径が太くなり、一種の収差となっていた。図5
(b)のように、ポリゴン15へ入射する光ビームとポ
リゴン15の面との交点Aから走査面21までの光軸2
0に沿った距離をd0、光ビームの偏向角をθとする
と、点Aから走査面21までの光ビームに沿った距離
d、及びビーム径が最も細くなる位置(曲線22)から
走査面21までの距離の誤差Δdは、次式となる。
ームスポット径が太くなるため、分解能が低下する。こ
れを抑えるためには、許容スポット径の範囲内に収まる
ように狭い偏向角で使用すればよいが、この場合には読
取り範囲が狭くなる。
として、図6のようにポリゴン15の前方にfθレンズ
16を配置する方法がある。fθレンズ16は、偏向角
θに応じて焦点距離が変わるものである。これによっ
て、走査面21上でビームスポット径を一定に保つこと
ができる。ただし、fθレンズ16は個々の光学系で仕
様が一義的に決まり、特性変更が不可能であるため、他
の光学系に転用することができず、高価になる。
配置して走査ビームの方向転換を行ったり、バーコード
ラベルに対して光ビームが斜めに走査した場合でも読み
取ることができるように、平面反射鏡を図7のように2
枚組の鏡17で構成して走査線分割を行ったりしている
場合がある。図7では、ポリゴン15で反射された光ビ
ームは、平面反射鏡17で紙面の下方に反射され方向転
換が行われる。このような場合には、収差の解決方法と
して上記平面反射鏡を凹面鏡に置き換えて、走査面上で
ビームスポット径が一定となるようにすることもでき
る。ただし、このように凹面鏡を用いて補正する場合、
受光感度を得るために大きな面積の凹面鏡が必要となる
ため、高価になる。
ビーム走査装置には、走査ビーム径が走査面上で一定と
ならない、つまり収差が発生して分解能が低下し、この
収差を抑えるために狭い偏向角で使用すると、読取り範
囲が狭くなるという問題点があった。また、この収差を
fθレンズ又は凹面鏡を用いて補正する場合には、コス
トアップになるという問題点があった。本発明は、上記
課題を解決するために、走査面上でビームスポット径を
一定に保つことができる光ビーム走査装置を提供するこ
とを目的とする。
生する光源と、光ビームを集束させる集束光学系と、こ
の集束光学系からの光ビームを偏向させる偏向素子と、
光ビームの偏向角度を検出するセンサと、焦点距離を変
化させる制御信号を可変焦点レンズに出力する制御部と
を有するものである。このような構成により、制御部が
センサで検出された光ビームの偏向角度に基づいて制御
信号を可変焦点レンズに出力する。こうして、光ビーム
の偏向に伴う走査面までの光学距離の変化に応じて、可
変焦点レンズの焦点距離が変化する。また、集束光学系
は、可変焦点レンズの焦点可変範囲を調整するための固
定焦点レンズを有するものである。このような構成によ
り、走査面上における光ビームスポット径と走査面まで
の光学距離の可変範囲を調整することができる。
す光ビーム走査装置のブロック図である。1はビーム光
源、2はビーム光源1から放射された光ビームを集束さ
せる集束光学系、2a、2bは集束光学系2をなす焦点
距離の調整が可能な可変焦点レンズ、3、4は折り返し
ミラー、5は偏向素子となるポリゴン、6はポリゴン5
の回転位置を後述する反射マークからの反射によって検
出する反射型検知センサである。また、7は制御部であ
り、センサ6の検出に応じて、走査面21上で光ビーム
スポット径が所望の値となるように焦点距離を変化させ
る制御信号を可変焦点レンズ2a、2bに出力する。
を説明する。基本的な動作は図5(a)の例と同じであ
り、ビーム光源1から放射されたレーザビームは、集束
光学系2をなす可変焦点レンズ2a、2bによって集束
され、折り返しミラー3、4によって方向転換されて、
回転しているポリゴン5の面に照射されて偏向される。
こうして、光ビームが走査面21上を直線走査する。
のミラー4で反射してポリゴン5へ入射する光と、ポリ
ゴン5で反射する光とが同一平面(すなわち紙面)上に
配置されているように見えるが、実際にはこれらは異な
る平面上に配置され、ポリゴン5への入射光と反射光が
重ならないことは言うまでもない。また、ポリゴン5の
反射面は4面あるので、ポリゴン5の1回転で4回の走
査が行われる。
可変焦点レンズ2a、2bの焦点距離を制御する制御信
号を以下のように出力する。このためには、ポリゴン5
の回転に伴って変化する光ビームの偏向角を検出する必
要があるが、本実施の形態では反射型検知センサ6によ
って上記偏向角に相当するポリゴン5の回転位置を検出
する。
位置関係を示す図である。5aはポリゴン5の回転軸、
5bは回転軸5aに平行なポリゴン5の4面(光ビーム
の入反射面)に対応して、回転軸5aに垂直なポリゴン
5の面に4枚設けられた反射マークである。
垂直なポリゴン5の面に光を照射する。そして、反射マ
ーク5bにこの光が入射したとき、マーク5bで反射さ
れた光をセンサ6が検出するようになっている。こうし
て、ポリゴン5の1回転に伴う4回の走査のそれぞれに
ついて走査の開始時点、つまり走査面21上の点S1に
走査ビームが当たる時点を検出することができるように
なっている。
2について説明する。図3は集束光学系2による結像の
様子を示す図である。集束光学系2の構成は、従来から
知られている2枚の固定焦点レンズからなる光学系と同
じであるが、レンズが可変焦点レンズ2a、2bである
ことが異なる(集束光学系についての参考文献:龍岡、
杉浦、「ガウスビームの集光特性」、NHK技術研究
誌、10〜19頁、1975年1月号、可変焦点レンズ
についての参考文献:特開昭63−229401号公
報)。
下の式が得られる。 1/R2=−1/fa+1/R1 ・・・(3) Z0=R2/[1+{λ×R2/(π×W12 )}2 ] ・・・(4) W22 ={λ×R2/(π×W1)}2 /[1+{λ×R2/(π×W12 )}2 ] ・・・(5)
ンズ2a、2bの焦点距離、λは光ビームの波長、W1
はビーム光源1から可変焦点レンズ2aに入射する光ビ
ームの半径、W2はレンズ2aによって集束された光ビ
ームの半径、W3はレンズ2bによって集束された光ビ
ームの半径、Dはレンズ2aと2b間の距離、R1はレ
ンズ2aへの入射波面の曲率半径、R2はレンズ2aの
出射波面の曲率半径、R3はレンズ2bへの入射波面の
曲率半径、R4はレンズ2bの出射波面の曲率半径、Z
0はレンズ2aからレンズ2aと2bの間のビームウエ
ストまでの距離、Z1はレンズ2bからレンズ2bの後
方のビームウエストまでの距離である。
の入射波面の曲率中心、P2はレンズ2aの出射波面及
びレンズ2bへの入射波面の曲率中心、P3はレンズ2
bの出射波面の曲率中心、30はレンズ2aの出射波面
である。可変焦点レンズ2aの出射部分を拡大すると、
レンズ2aの出射波面30は曲率中心P2を中心とする
曲率円をなし、曲率中心P2と出射波面30との距離が
曲率半径R2である。また、曲率中心P2の位置が光ビ
ームが最も細くなるビームウエストの位置であり、この
ビームウエストの位置における光ビームの半径がW2で
ある。
ームウエスト、ビーム半径に関する説明は、レンズ2a
の入射側におけるP1、R1、レンズ2bの入射側にお
けるP2、R3、W2、出射側におけるP3、R4、W
3でも同様に成り立つ。なお、可変焦点レンズ2aの出
射波とレンズ2bの入射波のビームウエストは一致する
ので、P2、W2はこれら両者に共通である。
に放射されるビームの特性、すなわち曲率半径R1及び
ビーム半径W1は設計によって決定される既知数であ
る。また、可変焦点レンズ2bから放射されるビームの
特性、すなわち曲率半径R4及びビーム半径W3も以下
のように既知数となる。
ムウエスト(曲率中心P3)の位置が走査面21上にく
るようにして、この走査面21上で所望のビーム半径が
得られるように設計するものであり、つまりビーム半径
W3は設計によって決定される既知数となる。
bの出射波面から曲率中心P3(走査面21)までの距
離である。このR4は、図5(b)及び式(1)の関係
を用いて次式のように表すことができる。 R4=L+d=L+d0/cosθ ・・・(10) Lはレンズ2bの出射波面からポリゴン5の面(図5
(b)の点A)までの距離である。ただし、このLは光
軸20に沿った距離ではなく光ビームに沿った距離であ
ることは言うまでもない。
って決定される既知数である。よって、偏向角θを決定
すれば曲率半径R4が決定できることになる。なお、こ
こでは距離Lを一定としているが、厳密にはポリゴン5
の回転に伴って変化する。しかし、この変化は僅かなも
のなので、ここでは一定として扱う。このように曲率半
径R4を決定して光学系の設計を行なえば、所望のビー
ム半径W3の光ビームを走査面21上に照射することが
できる。
に、ポリゴン5の回転による偏向角θの変化に伴って曲
率半径R4も変化する。よって、走査面21上でビーム
半径を一定値のW3にするには、偏向角θを最大値(走
査面21上の点S1にビームが当たるときの偏向角)か
ら0まで変化させながら、式(10)を用いて曲率半径
R4を求め、このR4を用いて式(3)〜(9)を連立
方程式として解くことを各θについて行えばよい。
を与えれば、未知数fa、R2、Z0、W2、R3、f
b、Z1、Dを求めることができる。そして、光学系の
設計に必要なのは、可変焦点レンズ2a、2bの焦点距
離fa、fb、レンズ2aと2b間の距離Dである。
始時点から光軸20までの走査(すなわち、図1の走査
の上半分)に相当するものであるが、光軸20から走査
終了時点(走査面21上の点S2にビームが当たる時
点)までの下半分については、上半分と逆に偏向角θが
0〜最大値まで変化するだけの違いである。また、距離
Dを計算するとしているが、このDはレンズ2aと2b
間の距離なので、実際は各計算において全て一定値であ
る。
が一定値W3となるような焦点距離fa、fbの値を偏
向角θに関して求めることができる。そして、偏向角θ
は時間に伴って変化する関数であるので、1回の走査が
始まってから終わるまでの時間が分かれば、偏向角θの
変化を時間の変化に置き換えることが可能となる。この
時間変化への置き換えにより、偏向角θに応じたレンズ
2a、2bの焦点距離fa、fbの値を走査が始まって
からの経過時間に応じた値に変換することができる。
焦点距離fa、fbの値を予め記憶しており、反射型検
知センサ6が走査の開始時点を検出すると、この検出時
点からの経過時間に応じた焦点距離fa、fbとなるよ
うに制御信号を可変焦点レンズ2a、2bに出力する。
これにより、レンズ2a、2bの焦点距離fa、fbが
光ビームの偏向角θに応じて変化する。
ビームの偏向に伴う走査面21までの光学距離(曲率半
径R4)の変化に応じて、可変焦点レンズ2a、2bの
焦点距離fa、fbを変化させるので、走査面21上で
ビーム半径を一定にすることができる。
して、コリメート光が可変焦点レンズ2aに入射する場
合、つまり曲率半径R1が無限大となる場合は、式
(3)〜(5)は次式となる。 R2=−fa ・・・(11) Z0=−fa/[1+{−λ×fa/(π×W12 )}2 ] ・・・(12) W22 ={−λ×fa/(π×W1)}2 /[1+{−λ×fa/(π×W12 )}2 ] ・・・(13) よって、このような場合には式(6)〜(13)を用い
て計算を行えばよい。
サ6を用いて走査の開始時点を検出したが、光ビームの
走査開始点(走査面21上の点S1に当たるときの光
路)上に光検知センサを設けて、このセンサに光ビーム
が入射したときを走査の開始時点としてもよい。
回転軸5aに取り付けてもよい。これにより、ポリゴン
5の回転位置を連続的に検出することができ、走査開始
時点だけでなく、より連続的に回転位置の変化に応じて
焦点距離fa、fbを変化させることを制御部に行わせ
ることができる。
可変焦点レンズ2a、2bで構成したが、レンズ2a、
2bの種類によっては所望の焦点可変範囲が得られず、
ビーム半径W3及び曲率半径R4が設計値通り得られな
いことがある。このような場合には、例えば図4に示す
ように、可変焦点レンズ2aの前(ビーム光源1とレン
ズ2aの間)に固定焦点レンズ8、9を設ければよい。
この固定焦点レンズ8、9により、曲率半径R1、ビー
ム半径W1を変えれば、所望のビーム半径W3及び曲率
半径R4を得ることができる。
出された光ビームの偏向角度に応じて、走査面上でビー
ムスポット径が所望の値となるように焦点距離を変化さ
せる制御信号を可変焦点レンズに出力することにより、
光ビームの偏向に伴う走査面までの光学距離の変化に応
じて可変焦点レンズの焦点距離が変化するので、走査面
上でビームスポット径を一定に保つことができる。そし
て、走査面までの光学距離や偏向角の範囲等の仕様が変
化しても、それらに応じた可変焦点レンズの焦点距離を
容易に求めることができるので、様々な応用が可能とな
る柔軟性を有し、従来のfθレンズや凹面鏡のような特
殊な光学部品を使う必要がないため、安価にできる。
点可変範囲を調整するための固定焦点レンズを有するこ
とにより、可変焦点レンズにて所望の焦点可変範囲が得
られない場合でも、走査面上で所望の光ビームスポット
径を得ることができる。
置のブロック図である。
の位置関係を示す図である。
である。
装置において集束光学系に用いる固定焦点レンズの構成
を示す図である。
の光ビーム走査装置で生じる収差を説明するための図で
ある。
来の光ビーム走査装置のブロック図である。
ーム走査装置のブロック図である。
点レンズ、3、4…折り返しミラー、5…ポリゴン、6
…反射型検知センサ、7…制御部、8、9…固定焦点レ
ンズ、21…走査面。
Claims (2)
- 【請求項1】 光ビームを発生する光源と、 焦点距離の調整が可能な2枚の可変焦点レンズからな
り、光源から放射された光ビームを集束させる集束光学
系と、 この集束光学系からの光ビームを偏向させて走査面上に
照射する偏向素子と、 偏向素子による光ビームの偏向角度を検出するセンサ
と、 このセンサで検出された光ビームの偏向角度に応じて、
走査面上で光ビームスポット径が所望の値となるように
焦点距離を変化させる制御信号を可変焦点レンズに出力
する制御部とを有することを特徴とする光ビーム走査装
置。 - 【請求項2】 請求項1記載の光ビーム走査装置におい
て、 前記集束光学系は、前記可変焦点レンズの他に、この可
変焦点レンズの焦点可変範囲を調整するための固定焦点
レンズを有するものであることを特徴とする光ビーム走
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7185636A JP2778530B2 (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 光ビーム走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7185636A JP2778530B2 (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 光ビーム走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0934977A true JPH0934977A (ja) | 1997-02-07 |
| JP2778530B2 JP2778530B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=16174245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7185636A Expired - Fee Related JP2778530B2 (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 光ビーム走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2778530B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100749065B1 (ko) * | 2005-02-09 | 2007-08-13 | 가부시끼가이샤 덴소 웨이브 | 광정보 판독 장치 |
| JP2016188841A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 株式会社東京精密 | 非接触形状測定装置及び走査レンズ収差補正方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02269305A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-02 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
-
1995
- 1995-07-21 JP JP7185636A patent/JP2778530B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02269305A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-02 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
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| KR100749065B1 (ko) * | 2005-02-09 | 2007-08-13 | 가부시끼가이샤 덴소 웨이브 | 광정보 판독 장치 |
| US7397057B2 (en) | 2005-02-09 | 2008-07-08 | Denso Wave Incorporated | Optical information readout apparatus |
| JP2016188841A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 株式会社東京精密 | 非接触形状測定装置及び走査レンズ収差補正方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2778530B2 (ja) | 1998-07-23 |
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