JPH0935676A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
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- JPH0935676A JPH0935676A JP7184121A JP18412195A JPH0935676A JP H0935676 A JPH0935676 A JP H0935676A JP 7184121 A JP7184121 A JP 7184121A JP 18412195 A JP18412195 A JP 18412195A JP H0935676 A JPH0935676 A JP H0935676A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的は選択された興味ある像上領域の
位置に対応する試料上位置の電子ビ−ムによる照射を正
確かつ容易に行うのに適した電子顕微鏡を提供すること
にある。 【構成】試料２１の電子顕微鏡像はシンチレ−タ２に形
成され、そしてＴＶカメラ５により撮像されてモニタ１
４−１に表示される。一方、ＴＶカメラの陰極線を偏向
しかつその偏向幅を変えることによりモニタ１４−１上
の像中の任意領域を選択する。この選択された領域の拡
大像はモニタ１４−２に表示される。また、試料２１の
照射用電子ビ−ムは選択された領域に対応する試料上領
域に移動され、この状態で試料から放出されるＸ線はＸ
線元素分析装置１７により検出され、分析される。
位置に対応する試料上位置の電子ビ−ムによる照射を正
確かつ容易に行うのに適した電子顕微鏡を提供すること
にある。 【構成】試料２１の電子顕微鏡像はシンチレ−タ２に形
成され、そしてＴＶカメラ５により撮像されてモニタ１
４−１に表示される。一方、ＴＶカメラの陰極線を偏向
しかつその偏向幅を変えることによりモニタ１４−１上
の像中の任意領域を選択する。この選択された領域の拡
大像はモニタ１４−２に表示される。また、試料２１の
照射用電子ビ−ムは選択された領域に対応する試料上領
域に移動され、この状態で試料から放出されるＸ線はＸ
線元素分析装置１７により検出され、分析される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子顕微鏡、特に結
像レンズ系により形成された試料の拡大像を撮像して表
示するタイプの透過形電子顕微鏡に関する。
像レンズ系により形成された試料の拡大像を撮像して表
示するタイプの透過形電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】透過形電子顕微鏡では、結像レンズ系に
より形成された試料の拡大像をＴＶカメラで撮像し、こ
れをＣＲＴモニタ上に表示することが一般に行われてい
る。また、試料から発生されるＸ線を検出してその発生
領域の元素分析を行うことも一般に行われている。この
分析を実行するために、まずモニタ上に表示されている
像を観察して興味ある領域を選択し、しかる後試料又は
電子ビ−ムを移動して像上の興味ある領域の位置に対応
する試料上位置を電子ビ−ムで照射し、そのとき試料か
ら発生されるＸ線を検出する。
より形成された試料の拡大像をＴＶカメラで撮像し、こ
れをＣＲＴモニタ上に表示することが一般に行われてい
る。また、試料から発生されるＸ線を検出してその発生
領域の元素分析を行うことも一般に行われている。この
分析を実行するために、まずモニタ上に表示されている
像を観察して興味ある領域を選択し、しかる後試料又は
電子ビ−ムを移動して像上の興味ある領域の位置に対応
する試料上位置を電子ビ−ムで照射し、そのとき試料か
ら発生されるＸ線を検出する。
【０００３】
【本発明が解決しようとする課題】しかし、像中の興味
ある領域を選択することは容易であるとしても、その興
味ある領域の位置に対応する試料上位置を正確に電子ビ
−ム照射して元素分析することは容易でないのが普通で
ある。
ある領域を選択することは容易であるとしても、その興
味ある領域の位置に対応する試料上位置を正確に電子ビ
−ム照射して元素分析することは容易でないのが普通で
ある。
【０００４】したがって、本発明の目的は選択された興
味ある像上領域の位置に対応する試料上位置の電子ビ−
ムによる照射を正確かつ容易に行うことを可能するのに
適した電子顕微鏡を提供することにある。
味ある像上領域の位置に対応する試料上位置の電子ビ−
ムによる照射を正確かつ容易に行うことを可能するのに
適した電子顕微鏡を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、電子ビ
−ムを試料に収束するように前記電子ビ−ムで前記試料
を照射する照射レンズ系と、その照射によって前記試料
を透過した電子ビ−ムによる前記試料の拡大像を形成す
る結像レンズ系と、その形成された試料拡大像を撮像す
る手段と、その撮像された試料拡大像を表示する手段
と、その表示された試料拡大像の領域を選択する手段
と、前記電子ビ−ムによる前記試料の照射位置を前記領
域選択手段に関連させて変える手段とを備えていること
を特徴とする電子顕微鏡が提供される。
−ムを試料に収束するように前記電子ビ−ムで前記試料
を照射する照射レンズ系と、その照射によって前記試料
を透過した電子ビ−ムによる前記試料の拡大像を形成す
る結像レンズ系と、その形成された試料拡大像を撮像す
る手段と、その撮像された試料拡大像を表示する手段
と、その表示された試料拡大像の領域を選択する手段
と、前記電子ビ−ムによる前記試料の照射位置を前記領
域選択手段に関連させて変える手段とを備えていること
を特徴とする電子顕微鏡が提供される。
【０００６】本発明の別の側面によれば、前記電子ビ−
ムによる前記試料の照射領域を前記領域選択手段に関連
させて変える手段が備えられる。
ムによる前記試料の照射領域を前記領域選択手段に関連
させて変える手段が備えられる。
【０００７】本発明の更に別の側面によれば、前記電子
ビ−ムによる前記試料の照射位置及び該照射位置での前
記電子ビ−ムの大きさを前記領域選択手段に関連させて
変える手段が備えられる。
ビ−ムによる前記試料の照射位置及び該照射位置での前
記電子ビ−ムの大きさを前記領域選択手段に関連させて
変える手段が備えられる。
【０００８】本発明のもう一つ側面によれば、前記撮像
手段はＴＶカメラ装置を含み、該ＴＶカメラ装置は前記
試料拡大像を光学像に変する手段と、その光学像を電荷
像に変換する手段と、その電荷像を陰極線ビ−ムで走査
する手段とを含み、前記領域選択は前記陰極線ビ−ムを
偏向してその陰極線ビ−ムによる前記電荷像の走査領域
の大きさ及び位置を変えることによって行われる。
手段はＴＶカメラ装置を含み、該ＴＶカメラ装置は前記
試料拡大像を光学像に変する手段と、その光学像を電荷
像に変換する手段と、その電荷像を陰極線ビ−ムで走査
する手段とを含み、前記領域選択は前記陰極線ビ−ムを
偏向してその陰極線ビ−ムによる前記電荷像の走査領域
の大きさ及び位置を変えることによって行われる。
【０００９】本発明の更にもう一つの側面によれば、電
気信号を増幅する手段と該増幅手段の増幅度を変える手
段とを備え、前記撮像手段は前記試料拡大像を撮像して
前記電気信号に変換するように構成され、前記表示手段
は前記増幅された電気信号にもとづいて前記試料拡大像
を表示するように構成され、前記照射レンズ系及び結像
レンズ系のうちの少なくとも一方はそのレンズ条件を変
更し得るように構成され、前記増幅度を変える手段は前
記信号増幅手段の増幅度を前記レンズ条件の変更と関連
づけて変えるように構成されている。
気信号を増幅する手段と該増幅手段の増幅度を変える手
段とを備え、前記撮像手段は前記試料拡大像を撮像して
前記電気信号に変換するように構成され、前記表示手段
は前記増幅された電気信号にもとづいて前記試料拡大像
を表示するように構成され、前記照射レンズ系及び結像
レンズ系のうちの少なくとも一方はそのレンズ条件を変
更し得るように構成され、前記増幅度を変える手段は前
記信号増幅手段の増幅度を前記レンズ条件の変更と関連
づけて変えるように構成されている。
【００１０】
【発明の実施の形態】図４は本発明にもとづく電子顕微
鏡のＴＶカメラシステムの一部を概念的に示すものであ
る。電子顕微鏡の結像レンズ系の最終段投射レンズによ
り投射される電子ビ−ム１はシンチレ−タ２上に試料の
拡大像を結像する。シンチレ−タ２はその拡大像の強度
を光の強度に変換する。すなわち、結像レンズ系によっ
て形成された試料の拡大像はシンチレ−タ２によって光
学像に変換される。
鏡のＴＶカメラシステムの一部を概念的に示すものであ
る。電子顕微鏡の結像レンズ系の最終段投射レンズによ
り投射される電子ビ−ム１はシンチレ−タ２上に試料の
拡大像を結像する。シンチレ−タ２はその拡大像の強度
を光の強度に変換する。すなわち、結像レンズ系によっ
て形成された試料の拡大像はシンチレ−タ２によって光
学像に変換される。
【００１１】変換された光学像は光学レンズ３を介して
ＴＶカメラ５のタ−ゲット４上に結像する。膜状のタ−
ゲット４では光強度に応じたエレクトロン−ホ−ルペア
が形成される。すなわち、光学像はタ−ゲット４により
電荷像に変換される。タ−ゲット４には高電圧源８によ
り８００Ｖ程度の電圧が印加されている。ＴＶカメラ５
の電子源１５からは陰極線ビ−ムである電子ビ−ム６が
放出され、タ−ゲット４に細く収束される。また、電子
ビ−ム６はＴＶカメラ５の走査コイル７により通常のＴ
Ｖ周波数で２次元的に偏向され、したがってタ−ゲット
４は電子ビ−ム６でもって同じ周波数で二次元的に走査
される。
ＴＶカメラ５のタ−ゲット４上に結像する。膜状のタ−
ゲット４では光強度に応じたエレクトロン−ホ−ルペア
が形成される。すなわち、光学像はタ−ゲット４により
電荷像に変換される。タ−ゲット４には高電圧源８によ
り８００Ｖ程度の電圧が印加されている。ＴＶカメラ５
の電子源１５からは陰極線ビ−ムである電子ビ−ム６が
放出され、タ−ゲット４に細く収束される。また、電子
ビ−ム６はＴＶカメラ５の走査コイル７により通常のＴ
Ｖ周波数で２次元的に偏向され、したがってタ−ゲット
４は電子ビ−ム６でもって同じ周波数で二次元的に走査
される。
【００１２】走査過程でタ−ゲットの１点が電子ビ−ム
６で照射されると、その点に蓄積されたエレクトロン−
ホ−ルペアに対応した電流が得られる。この電流信号は
増幅器９を介してＣＲＴモニタ１４に表示される。こう
してモニタ１４上に試料の拡大像すなわち電子顕微鏡像
が表示される。
６で照射されると、その点に蓄積されたエレクトロン−
ホ−ルペアに対応した電流が得られる。この電流信号は
増幅器９を介してＣＲＴモニタ１４に表示される。こう
してモニタ１４上に試料の拡大像すなわち電子顕微鏡像
が表示される。
【００１３】なお、ＴＶカメラ５の走査コイル７及びモ
ニタ走査コイル１１には電源１０及び１２がそれぞれ接
続され、これらの電源は信号発生器１３によって制御さ
れる。電源１０及び１２からの走査信号の振幅は独立に
制御可能となっている。
ニタ走査コイル１１には電源１０及び１２がそれぞれ接
続され、これらの電源は信号発生器１３によって制御さ
れる。電源１０及び１２からの走査信号の振幅は独立に
制御可能となっている。
【００１４】図２は図１のモニタ１４に表示される像の
例を示す。ＴＶカメラのタ−ゲット４の有効領域は通常
１インチである。この全領域を電子ビ−ム６で走査した
ときの画像を領域１（図２の（１））で示す。また、タ
−ゲット４の一部分を電子ビ−ム６で走査した場合の画
像を領域２、３及び４（図２の（１））で示す。タ−ゲ
ット４の一部分を走査した場合でもモニタ走査コイル７
の信号の振幅を変えなければ、モニタ１４上には図２の
（２）〜（４）に示したようにモニタ全面にそれぞれの
領域の拡大像が示される。
例を示す。ＴＶカメラのタ−ゲット４の有効領域は通常
１インチである。この全領域を電子ビ−ム６で走査した
ときの画像を領域１（図２の（１））で示す。また、タ
−ゲット４の一部分を電子ビ−ム６で走査した場合の画
像を領域２、３及び４（図２の（１））で示す。タ−ゲ
ット４の一部分を走査した場合でもモニタ走査コイル７
の信号の振幅を変えなければ、モニタ１４上には図２の
（２）〜（４）に示したようにモニタ全面にそれぞれの
領域の拡大像が示される。
【００１５】図３はＴＶカメラ走査コイル７のＸ軸方向
の信号レベルを示す。図３の（１）は図２の領域１に対
応する信号レベルｖ１を、図３の（２）は領域２、３及
び４に対応する信号レベルｖ２をそれぞれ示している。
領域２、３及び４の位置は直流電圧ｖｄで制御すること
ができる。すなわち、直流電圧ｖｄを変えることにより
領域１の任意のＸ軸方向の位置に走査領域を移動するこ
とができる。また、Ｙ軸方向に関しても同様にして位置
と振幅の制御を行うことができる。
の信号レベルを示す。図３の（１）は図２の領域１に対
応する信号レベルｖ１を、図３の（２）は領域２、３及
び４に対応する信号レベルｖ２をそれぞれ示している。
領域２、３及び４の位置は直流電圧ｖｄで制御すること
ができる。すなわち、直流電圧ｖｄを変えることにより
領域１の任意のＸ軸方向の位置に走査領域を移動するこ
とができる。また、Ｙ軸方向に関しても同様にして位置
と振幅の制御を行うことができる。
【００１６】図１は本発明にもとづく電子顕微鏡の全体
構成を概念的に示すものである。電子顕微鏡の電子源１
６からは電子ビ−ムが発生する。照射レンズ系１８は発
生した電子ビ−ムを試料２１に収束すべく電子ビ−ムで
試料２１を照射せしめるように働く。電子ビ−ムは電子
顕微鏡の電子ビ−ム偏向コイル１９により試料２１面上
で二次元方向に微細に移動できる。更に、試料２１は試
料微動装置２０によりＸ及びＹ軸方向に二次元的に移動
できる。
構成を概念的に示すものである。電子顕微鏡の電子源１
６からは電子ビ−ムが発生する。照射レンズ系１８は発
生した電子ビ−ムを試料２１に収束すべく電子ビ−ムで
試料２１を照射せしめるように働く。電子ビ−ムは電子
顕微鏡の電子ビ−ム偏向コイル１９により試料２１面上
で二次元方向に微細に移動できる。更に、試料２１は試
料微動装置２０によりＸ及びＹ軸方向に二次元的に移動
できる。
【００１７】試料を透過した電子ビ−ムは電子顕微鏡の
結像レンズ系２２により試料の拡大像をシンチレ−タ２
上に形成する。ＴＶカメラからの出力信号は信号増幅器
９を通り、更にスイッチ２７を通ってＣＲＴモニタ１４
−１又は１４−２に試料の拡大像を表示する。照射レン
ズ系１８、電子線偏向コイル１９、結像レンズ系２２及
び試料微動装置２０はそれぞれの制御装置２３、２４、
２５、２６を介し演算制御装置２７によりそれぞれ制御
される。また、ＴＶカメラ走査コイル電源１０、信号増
幅器９、モニタ走査コイル１１−１及び１１−２用のモ
ニタ走査電源１２−１、１２−２及びスイッチ２７も演
算制御装置２８により制御される。演算制御装置２８に
は更に倍率設定器３０、ビ−ム照射位置設定スイッチ３
５並びにカ−ソル設定器３７が接続され、また、演算制
御装置２８とスイッチ２７の間にはキャラクタジュネレ
−タ３４及びスイッチ３８が接続されている。なお、３
３は画像メモリである。
結像レンズ系２２により試料の拡大像をシンチレ−タ２
上に形成する。ＴＶカメラからの出力信号は信号増幅器
９を通り、更にスイッチ２７を通ってＣＲＴモニタ１４
−１又は１４−２に試料の拡大像を表示する。照射レン
ズ系１８、電子線偏向コイル１９、結像レンズ系２２及
び試料微動装置２０はそれぞれの制御装置２３、２４、
２５、２６を介し演算制御装置２７によりそれぞれ制御
される。また、ＴＶカメラ走査コイル電源１０、信号増
幅器９、モニタ走査コイル１１−１及び１１−２用のモ
ニタ走査電源１２−１、１２−２及びスイッチ２７も演
算制御装置２８により制御される。演算制御装置２８に
は更に倍率設定器３０、ビ−ム照射位置設定スイッチ３
５並びにカ−ソル設定器３７が接続され、また、演算制
御装置２８とスイッチ２７の間にはキャラクタジュネレ
−タ３４及びスイッチ３８が接続されている。なお、３
３は画像メモリである。
【００１８】以上のような構成において、システムの操
作及び動作は次のように行われる。
作及び動作は次のように行われる。
【００１９】１）電子顕微鏡の倍率を所定の値に設定す
る。これは、倍率設定器３０を操作し、それによって結
像レンズ系２２のレンズ条件を変えることによって行わ
れる。
る。これは、倍率設定器３０を操作し、それによって結
像レンズ系２２のレンズ条件を変えることによって行わ
れる。
【００２０】２）図２における領域１を走査し、領域１
に対応する電子顕微鏡像をＴＶカメラ５に取り込み、ス
イッチ２７を介してモニタ１４−１に表示する。これは
ＴＶカメラ操作コイル７に図３の（１）の信号を与える
ことによって可能である。像は次の指示があるまで表示
され、画像メモリ３３に記憶される。
に対応する電子顕微鏡像をＴＶカメラ５に取り込み、ス
イッチ２７を介してモニタ１４−１に表示する。これは
ＴＶカメラ操作コイル７に図３の（１）の信号を与える
ことによって可能である。像は次の指示があるまで表示
され、画像メモリ３３に記憶される。
【００２１】３）スイッチ２７をオンにすると、カ−ソ
ル（たとえば矩形カ−ソル）がキャラクタジェネレ−タ
３４によって発生し、モニタ１４−１上に像に重畳して
表示される。
ル（たとえば矩形カ−ソル）がキャラクタジェネレ−タ
３４によって発生し、モニタ１４−１上に像に重畳して
表示される。
【００２２】４）領域１中の拡大を希望する領域の位置
と大きさをカ−ソル設定器３７を用いてモニタ１４−１
上で選択する。すなわち、図２の（１）の領域２を選択
するのであれば、その領域２にカ−ソルを移動し、重ね
合わせる。カ−ソル移動量は図３の（２）に示した直流
電圧ｖｄに変換され、選択され領域の大きさ（矩形カ−
ソルの大きさ）はｖ２に変換される。
と大きさをカ−ソル設定器３７を用いてモニタ１４−１
上で選択する。すなわち、図２の（１）の領域２を選択
するのであれば、その領域２にカ−ソルを移動し、重ね
合わせる。カ−ソル移動量は図３の（２）に示した直流
電圧ｖｄに変換され、選択され領域の大きさ（矩形カ−
ソルの大きさ）はｖ２に変換される。
【００２３】５）ビ−ム照射位置設定スイッチ３５をオ
ンにすると、スイッチ２７はモニタ１４−２側に切換え
られ、更に演算制御装置２８はＴＶカメラの走査コイル
電源１０を制御して、カ−ソルで選択された領域２の、
位置がｖｄ及び大きさがｖ２の信号をＴＶカメラの走査
コイル７に与える。これにより、ＴＶカメラの走査コイ
ル電源１０からは走査コイル７に図３の（２）の、大き
さがｖ２、直流レベルがｖｄの信号が与えられ、したが
ってＴＶカメラ５からの出力信号は図２の（１）の領域
２の拡大像信号となって、スイッチ２７を介してモニタ
１４−２に表示される。かくして、モニタ１４−１には
試料の低倍率像が、また、モニタ１４−２には試料の高
倍率像が同時に表示される。
ンにすると、スイッチ２７はモニタ１４−２側に切換え
られ、更に演算制御装置２８はＴＶカメラの走査コイル
電源１０を制御して、カ−ソルで選択された領域２の、
位置がｖｄ及び大きさがｖ２の信号をＴＶカメラの走査
コイル７に与える。これにより、ＴＶカメラの走査コイ
ル電源１０からは走査コイル７に図３の（２）の、大き
さがｖ２、直流レベルがｖｄの信号が与えられ、したが
ってＴＶカメラ５からの出力信号は図２の（１）の領域
２の拡大像信号となって、スイッチ２７を介してモニタ
１４−２に表示される。かくして、モニタ１４−１には
試料の低倍率像が、また、モニタ１４−２には試料の高
倍率像が同時に表示される。
【００２４】６）ビ−ム照射位置設定スイッチ３５をオ
ンにしたときには、演算制御装置２８は更に制御装置２
４を制御して、選択された領域の位置（ｖｄに対応）に
対応する試料２１上の位置に電子ビ−ムを変更コイル１
９により偏向すると共に、制御装置２３をも制御して、
試料２１上の電子ビ−ムの大きさが選択された領域の大
きさ（ｖ２に対応）に対応した大きさとなるように照射
レンズ系１８のレンズ条件（収束条件）を変える。この
状態において、試料から電子ビ−ム照射によって放射さ
れるＸ線はＸ線元素分析装置１７によって検出され、元
素分析が行われる。したがって、Ｘ線分析を行うときは
その分析領域の確認が正確かつ容易にきると共に、Ｘ線
分析を行っているときはその分析が行われている領域を
常時観察することができる。
ンにしたときには、演算制御装置２８は更に制御装置２
４を制御して、選択された領域の位置（ｖｄに対応）に
対応する試料２１上の位置に電子ビ−ムを変更コイル１
９により偏向すると共に、制御装置２３をも制御して、
試料２１上の電子ビ−ムの大きさが選択された領域の大
きさ（ｖ２に対応）に対応した大きさとなるように照射
レンズ系１８のレンズ条件（収束条件）を変える。この
状態において、試料から電子ビ−ム照射によって放射さ
れるＸ線はＸ線元素分析装置１７によって検出され、元
素分析が行われる。したがって、Ｘ線分析を行うときは
その分析領域の確認が正確かつ容易にきると共に、Ｘ線
分析を行っているときはその分析が行われている領域を
常時観察することができる。
【００２５】なお、試料照射用の電子ビ−ムを偏向（移
動）する代わりに試料を移動するようにしてもよい。こ
の場合は、その分だけＴＶカメラの陰極線ビ−ムをも一
緒に偏向（移動）することが必要となる。
動）する代わりに試料を移動するようにしてもよい。こ
の場合は、その分だけＴＶカメラの陰極線ビ−ムをも一
緒に偏向（移動）することが必要となる。
【００２６】以上の説明からわかるように、選択された
試料像領域の位置に対応する試料上位置が自動的に決定
され、そしてその位置に電子ビ−ムが自動的に一致され
る。したがって、その位置の電子ビ−ムによる照射が正
確かつ容易に行われることが理解される。これはＸ線分
析が正確かつ効率的に行われ得ることに帰着する。ま
た、選択された試料像領域の位置だけでなく、その領域
の大きさに対応する試料上の大きさも自動的に決定さ
れ、かつ電子ビ−ムがその決定された大きさに自動的に
絞られるので、Ｘ線分析がより効率的に行われ得るよう
になる。
試料像領域の位置に対応する試料上位置が自動的に決定
され、そしてその位置に電子ビ−ムが自動的に一致され
る。したがって、その位置の電子ビ−ムによる照射が正
確かつ容易に行われることが理解される。これはＸ線分
析が正確かつ効率的に行われ得ることに帰着する。ま
た、選択された試料像領域の位置だけでなく、その領域
の大きさに対応する試料上の大きさも自動的に決定さ
れ、かつ電子ビ−ムがその決定された大きさに自動的に
絞られるので、Ｘ線分析がより効率的に行われ得るよう
になる。
【００２７】更に、選択された試料像領域の拡大試料像
を得るために結像レンズ系の倍率を変える必要がないた
め、その倍率の変更に伴う電子ビ−ムの軸ずれや非点収
差の発生というような問題は生じない。
を得るために結像レンズ系の倍率を変える必要がないた
め、その倍率の変更に伴う電子ビ−ムの軸ずれや非点収
差の発生というような問題は生じない。
【００２８】試料上での電子ビ−ムの大きさが変わる
と、単位面積当たりの電子ビ−ム量が変わるため、像の
明るさが変化する。そこで、演算制御装置２８は照射レ
ンズ系１８のレンズ条件を変えてもそれによって像の明
るさが変化せず、実質的に一定に保たれるように増幅器
９の増幅度を変えている。また、結像レンズ系２２のレ
ンズ条件を変えてそのレンズ系の倍率を変えた場合、つ
まりシンチレ−タ２上の試料像の倍率を変えた場合も単
位面積当たりの電子ビ−ム量が変化するので、像の明る
さが変化する。そこで、この場合も、演算制御装置２８
は結像レンズ系２２のレンズ条件を変えてもそれによっ
て像の明るさが変化せず、実質的に一定に保たれるよう
に増幅器９の増幅度を変えている。
と、単位面積当たりの電子ビ−ム量が変わるため、像の
明るさが変化する。そこで、演算制御装置２８は照射レ
ンズ系１８のレンズ条件を変えてもそれによって像の明
るさが変化せず、実質的に一定に保たれるように増幅器
９の増幅度を変えている。また、結像レンズ系２２のレ
ンズ条件を変えてそのレンズ系の倍率を変えた場合、つ
まりシンチレ−タ２上の試料像の倍率を変えた場合も単
位面積当たりの電子ビ−ム量が変化するので、像の明る
さが変化する。そこで、この場合も、演算制御装置２８
は結像レンズ系２２のレンズ条件を変えてもそれによっ
て像の明るさが変化せず、実質的に一定に保たれるよう
に増幅器９の増幅度を変えている。
【図１】本発明にもとづく一実施例の電子顕微鏡の全体
構成のを概念図。
構成のを概念図。
【図２】図１のモニタ１４に表示される像の例を示す
図。
図。
【図３】図１のＴＶカメラ走査コイルのＸ軸方向の信号
レベルを示す図。
レベルを示す図。
【図４】本発明にもとづく電子顕微鏡のＴＶカメラシス
テムの一部の概念図。
テムの一部の概念図。
２：シンチレ−タ、３：光学レンズ、４：タ−ゲット、
５：ＴＶカメラ、６：ＴＶカメラの電子ビ−ム：、７：
ＴＶカメラの走査コイル、８：高電圧源、９：増幅器、
１０：ＴＶカメラの走査コイル電源、１１：モニタ走査
コイル、１２：モニタ走査コイル電源、１３：信号発生
器、１４：ＣＲＴモニタ、１７：Ｘ線元素分析装置、１
８：照射レンズ系、１９：電子ビ−ム偏向コイル、２
０：試料微動装置、２１：試料、２２：結像レンズ系、
２３：照射レンズ系制御系、２４：電子線偏向コイル制
御系、２５：試料微動装置制御系、２６、結像レンズ系
制御系、２７：スイッチ、２８：演算制御装置３０：倍
率設定器、３３：画像メモリ、３４：キャラクタジェネ
レ−タ、３５：ビ−ム照射位置設定スイッチ、３７：カ
−ソル設定器。
５：ＴＶカメラ、６：ＴＶカメラの電子ビ−ム：、７：
ＴＶカメラの走査コイル、８：高電圧源、９：増幅器、
１０：ＴＶカメラの走査コイル電源、１１：モニタ走査
コイル、１２：モニタ走査コイル電源、１３：信号発生
器、１４：ＣＲＴモニタ、１７：Ｘ線元素分析装置、１
８：照射レンズ系、１９：電子ビ−ム偏向コイル、２
０：試料微動装置、２１：試料、２２：結像レンズ系、
２３：照射レンズ系制御系、２４：電子線偏向コイル制
御系、２５：試料微動装置制御系、２６、結像レンズ系
制御系、２７：スイッチ、２８：演算制御装置３０：倍
率設定器、３３：画像メモリ、３４：キャラクタジェネ
レ−タ、３５：ビ−ム照射位置設定スイッチ、３７：カ
−ソル設定器。
Claims (6)
- 【請求項１】電子ビ−ムを試料に収束するように前記電
子ビ−ムで前記試料を照射する照射レンズ系と、その照
射によって前記試料を透過した電子ビ−ムによる前記試
料の拡大像を形成する結像レンズ系と、その形成された
試料拡大像を撮像する手段と、その撮像された試料拡大
像を表示する手段と、その表示された試料拡大像の領域
を選択する手段と、前記電子ビ−ムによる前記試料の照
射位置を前記領域選択手段に関連させて変える手段とを
備えていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項２】電子ビ−ムを試料に収束するように前記電
子ビ−ムで前記試料を照射する照射レンズ系と、その照
射によって前記試料を透過した電子ビ−ムによる前記試
料の拡大像を形成する結像レンズ系と、その形成された
試料拡大像を撮像する手段と、その撮像された試料拡大
像を表示する手段と、その表示された試料拡大像の領域
を選択する手段と、前記電子ビ−ムによる前記試料の照
射領域を前記領域選択手段に関連させて変える手段とを
備えていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項３】電子ビ−ムを試料に収束するように前記電
子ビ−ムで前記試料を照射する照射レンズ系と、その照
射によって前記試料を透過した電子ビ−ムによる前記試
料の拡大像を形成する結像レンズ系と、その形成された
試料拡大像を撮像する手段と、その撮像された試料拡大
像を表示する手段と、その表示された試料拡大像の領域
を選択する手段と、前記電子ビ−ムによる前記試料の照
射位置及び該照射位置での前記電子ビ−ムの大きさを前
記領域選択手段に関連させて変える手段とを備えている
ことを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載された電子
顕微鏡において、前記撮像手段はＴＶカメラ装置を含
み、該ＴＶカメラ装置は前記試料拡大像を光学像に変換
する手段と、その光学像を電荷像に変換する手段と、そ
の電荷像を陰極線ビ−ムで走査する手段とを含み、前記
領域選択は前記陰極線ビ−ムを偏向してその陰極線ビ−
ムによる前記電荷像の走査領域の大きさ及び位置を変え
ることによって行われるようにしたことを特徴とする電
子顕微鏡。 - 【請求項５】請求項１〜４のいずれかに記載された電子
顕微鏡において、電気信号を増幅する手段と該増幅手段
の増幅度を変える手段とを備え、前記撮像手段は前記試
料拡大像を撮像して前記電気信号に変換するように構成
され、前記表示手段は前記増幅された電気信号にもとづ
いて前記試料拡大像を表示するように構成され、前記照
射レンズ系及び結像レンズ系のうちの少なくとも一方は
そのレンズ条件を変更し得るように構成され、前記増幅
度を変える手段は前記信号増幅手段の増幅度を前記レン
ズ条件の変更と関連づけて変えるように構成されている
ことを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項６】請求項１〜５のいずれかに記載された電子
顕微鏡において、前記表示手段は前記試料拡大像を表示
するモニタと、その表示された試料拡大像の選択された
領域の試料拡大像を表示するモニタとを含むことを特徴
とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7184121A JPH0935676A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7184121A JPH0935676A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0935676A true JPH0935676A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16147748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7184121A Pending JPH0935676A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0935676A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009110969A (ja) * | 1999-07-09 | 2009-05-21 | Hitachi Ltd | パターン寸法測定方法、及びパターン寸法測定装置 |
-
1995
- 1995-07-20 JP JP7184121A patent/JPH0935676A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009110969A (ja) * | 1999-07-09 | 2009-05-21 | Hitachi Ltd | パターン寸法測定方法、及びパターン寸法測定装置 |
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