JPH0935895A - プラズマ生成装置 - Google Patents
プラズマ生成装置Info
- Publication number
- JPH0935895A JPH0935895A JP7205055A JP20505595A JPH0935895A JP H0935895 A JPH0935895 A JP H0935895A JP 7205055 A JP7205055 A JP 7205055A JP 20505595 A JP20505595 A JP 20505595A JP H0935895 A JPH0935895 A JP H0935895A
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Links
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Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プラズマの生成に利用するアークの点灯を容
易にすること。 【構成】 例えばデュオプラズマ型イオン源にあって
は、プラズマ生成過程に熱電子放出フィラメントからの
アーク放電を利用している。フィラメント１にエッジを
持つ部材、エッジ付きビーズ１１が嵌められている。同
ビーズはタンタル又はモリブデン等の高融点金属材で形
成されており、円周部のエッジ１１ｂの電場が強くな
り、エッジからの放電がアークのトリガとなり、アーク
点灯性が良くなる。フィラメントに高融点金属材による
針金、細帯を巻き付けてもよい。針金、細帯の端部、切
り口がエッジとなる。
易にすること。 【構成】 例えばデュオプラズマ型イオン源にあって
は、プラズマ生成過程に熱電子放出フィラメントからの
アーク放電を利用している。フィラメント１にエッジを
持つ部材、エッジ付きビーズ１１が嵌められている。同
ビーズはタンタル又はモリブデン等の高融点金属材で形
成されており、円周部のエッジ１１ｂの電場が強くな
り、エッジからの放電がアークのトリガとなり、アーク
点灯性が良くなる。フィラメントに高融点金属材による
針金、細帯を巻き付けてもよい。針金、細帯の端部、切
り口がエッジとなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマ生成過程に熱
電子放出フィラメントからのアーク放電を利用するイオ
ン源等のプラズマ生成装置に係り、アークが容易に点灯
するようにしたプラズマ生成装置に関する。
電子放出フィラメントからのアーク放電を利用するイオ
ン源等のプラズマ生成装置に係り、アークが容易に点灯
するようにしたプラズマ生成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、プラズマ生成過程にフィラメン
ト部のアーク放電を利用しているプラズマ生成装置、例
えばデュオプラズマ型イオン源の基本構造図である。同
イオン源は典型的にはフィラメント１による陰極、中間
電極２、陽極３を有する。陰極のフィラメント１と陽極
３との間にはアーク電源４が接続されており、中間電極
２には抵抗５を介してアーク電源に接続されている。中
間電極２の内部にイオン源ガスを導入し、陽極３と陰極
のフィラメント１との間にアーク電圧を印加すると、ア
ーク放電が発生し、フィラメントから放出する熱電子に
よって放電路に沿ってプラズマが生じる。中間電極と陽
極は磁性材でできていて磁極を構成し、プラズマは中間
電極と陽極間の磁場によって磁気的に圧縮され、高密度
のプラズマを生成させている。
ト部のアーク放電を利用しているプラズマ生成装置、例
えばデュオプラズマ型イオン源の基本構造図である。同
イオン源は典型的にはフィラメント１による陰極、中間
電極２、陽極３を有する。陰極のフィラメント１と陽極
３との間にはアーク電源４が接続されており、中間電極
２には抵抗５を介してアーク電源に接続されている。中
間電極２の内部にイオン源ガスを導入し、陽極３と陰極
のフィラメント１との間にアーク電圧を印加すると、ア
ーク放電が発生し、フィラメントから放出する熱電子に
よって放電路に沿ってプラズマが生じる。中間電極と陽
極は磁性材でできていて磁極を構成し、プラズマは中間
電極と陽極間の磁場によって磁気的に圧縮され、高密度
のプラズマを生成させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】イオン源の起動に際
し、時としてアーク点灯がしにくいことがあり、長時間
（〜１時間）に亘り点灯するのを待ったり、或いはアー
ク点灯を容易にするために、アーク電源４として、より
高電圧（通常使用電圧２００Ｖに対し、例えば５００
Ｖ）のものを用いなければならない等の問題点があっ
た。
し、時としてアーク点灯がしにくいことがあり、長時間
（〜１時間）に亘り点灯するのを待ったり、或いはアー
ク点灯を容易にするために、アーク電源４として、より
高電圧（通常使用電圧２００Ｖに対し、例えば５００
Ｖ）のものを用いなければならない等の問題点があっ
た。
【０００４】本発明は、プラズマの生成に利用するアー
クの点灯を容易にしたイオン源等のプラズマ生成装置に
関する。
クの点灯を容易にしたイオン源等のプラズマ生成装置に
関する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、プラズマの生
成過程に熱電子放出フィラメントからのアーク放電を利
用するプラズマ生成装置において、前記フィラメントに
エッジを持つ部材が取り付けられていることを特徴とす
るものである。
成過程に熱電子放出フィラメントからのアーク放電を利
用するプラズマ生成装置において、前記フィラメントに
エッジを持つ部材が取り付けられていることを特徴とす
るものである。
【０００６】
【作用】熱電子放出フィラメントにエッジを持つ部材が
取り付けられていることにより、同部材のエッジの部分
では電場が強くなり、エッジからの放電がアークのトリ
ガとなり、アークが容易に点灯する。
取り付けられていることにより、同部材のエッジの部分
では電場が強くなり、エッジからの放電がアークのトリ
ガとなり、アークが容易に点灯する。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１は実施例要部の構成図であり、（ａ）は熱電
子放出フィラメントにエッジを持つ部材を取り付けた構
成図であり、（ｂ）はエッジを持つ部材の平面図、
（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ線での断面図である。熱電子放
出用フィラメント１にエッジを持つ部材、エッジ付きビ
ーズ１１が嵌められている。同ビーズは中心部にフィラ
メント１を通す孔１１ａが開いており、円周部が尖った
エッジ１１ｂとなっており、タンタル又はモリブデン等
の高融点金属材で形成されている。フィラメント１にエ
ッジ付きビーズ１１を嵌めて取り付けることにより、エ
ッジ１１ｂの部分の電場が強くなり、エッジからの放電
がアークのトリガとなり、アークが容易に点灯する。
する。図１は実施例要部の構成図であり、（ａ）は熱電
子放出フィラメントにエッジを持つ部材を取り付けた構
成図であり、（ｂ）はエッジを持つ部材の平面図、
（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ線での断面図である。熱電子放
出用フィラメント１にエッジを持つ部材、エッジ付きビ
ーズ１１が嵌められている。同ビーズは中心部にフィラ
メント１を通す孔１１ａが開いており、円周部が尖った
エッジ１１ｂとなっており、タンタル又はモリブデン等
の高融点金属材で形成されている。フィラメント１にエ
ッジ付きビーズ１１を嵌めて取り付けることにより、エ
ッジ１１ｂの部分の電場が強くなり、エッジからの放電
がアークのトリガとなり、アークが容易に点灯する。
【０００８】図２は他の実施例要部の構成図であり、同
図（ａ）では、熱電子放出フィラメント１に針金を巻き
付けることによりエッジを持つ部材２１が取り付けられ
ている。フィラメントに巻き付けた針金の端部、切り口
が強い電場を形成するエッジとなり、強い電場を形成す
ることによりアーク放電をトリガする。同針金もタンタ
ル又はモリブデン等の高融点金属製である。
図（ａ）では、熱電子放出フィラメント１に針金を巻き
付けることによりエッジを持つ部材２１が取り付けられ
ている。フィラメントに巻き付けた針金の端部、切り口
が強い電場を形成するエッジとなり、強い電場を形成す
ることによりアーク放電をトリガする。同針金もタンタ
ル又はモリブデン等の高融点金属製である。
【０００９】図２（ｂ）では、フィラメント１に、タン
タル又はモリブデン等の高融点金属材で形成された細帯
を巻き付けることによりエッジを持つ部材ボン３１が取
り付けられており、細帯の端部、切り口が強い電場を形
成するエッジとなる。かかるエッジを持つ部材２１，３
１は熱電子放出フィラメントに１個若しくは２個程度、
適宜取り付ける。
タル又はモリブデン等の高融点金属材で形成された細帯
を巻き付けることによりエッジを持つ部材ボン３１が取
り付けられており、細帯の端部、切り口が強い電場を形
成するエッジとなる。かかるエッジを持つ部材２１，３
１は熱電子放出フィラメントに１個若しくは２個程度、
適宜取り付ける。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、熱電子放出フィラメントに取り付けたエッジを持
つ部材のエッジ部の電場が強くなるから、エッジからの
放電がアークのトリガとなり、アークの点灯性能が良く
なる。したがって、点灯待ち時間を短縮することがで
き、アーク電源は電圧が低いもので済む。
ので、熱電子放出フィラメントに取り付けたエッジを持
つ部材のエッジ部の電場が強くなるから、エッジからの
放電がアークのトリガとなり、アークの点灯性能が良く
なる。したがって、点灯待ち時間を短縮することがで
き、アーク電源は電圧が低いもので済む。
【図１】本発明の実施例の要部の構成図である。
【図２】他の実施例の要部の構成図である。
【図３】デュオプラズマ型イオン源の基本構造図であ
る。
る。
１ 熱電子放出フィラメント １１，２１，３１ エッジを持つ部材
Claims (1)
- 【請求項１】 プラズマの生成過程に熱電子放出フィラ
メントからのアーク放電を利用するプラズマ生成装置に
おいて、前記フィラメントにエッジを持つ部材が取り付
けられていることを特徴とするプラズマ生成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7205055A JPH0935895A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | プラズマ生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7205055A JPH0935895A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | プラズマ生成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0935895A true JPH0935895A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16500702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7205055A Pending JPH0935895A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | プラズマ生成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0935895A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6240163B1 (en) | 1998-06-19 | 2001-05-29 | Advanced Laser & Fusion Technology | Radiation E.G. X-ray pulse generator mechanisms |
-
1995
- 1995-07-20 JP JP7205055A patent/JPH0935895A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6240163B1 (en) | 1998-06-19 | 2001-05-29 | Advanced Laser & Fusion Technology | Radiation E.G. X-ray pulse generator mechanisms |
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