JPH0936216A - 帯電防止ウエハキャリア - Google Patents
帯電防止ウエハキャリアInfo
- Publication number
- JPH0936216A JPH0936216A JP18456495A JP18456495A JPH0936216A JP H0936216 A JPH0936216 A JP H0936216A JP 18456495 A JP18456495 A JP 18456495A JP 18456495 A JP18456495 A JP 18456495A JP H0936216 A JPH0936216 A JP H0936216A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- wafer carrier
- weight
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 ポリエーテルエーテルケトン樹脂７０〜
９７重量％、及び導電性カーボンブラック３〜３０重量
％からなる樹脂組成物で、テーバー式磨耗質量が３〜５
０ｍｇと耐磨耗性に優れたことを特徴とする樹脂組成物
を成形することにより得られる帯電防止ウエハキャリア
を提供する。 【効果】 導電性を付与したウエハキャリアは静電気よ
るゴミ、ホコリ等の付着がなく、耐磨耗性に優れ低発塵
性で、耐熱性、機械特性に優れ、寸法精度が良く軽量で
あり、高温においても高剛性が維持され、ウエハの熱処
理工程、搬送、貯蔵に使用される。
９７重量％、及び導電性カーボンブラック３〜３０重量
％からなる樹脂組成物で、テーバー式磨耗質量が３〜５
０ｍｇと耐磨耗性に優れたことを特徴とする樹脂組成物
を成形することにより得られる帯電防止ウエハキャリア
を提供する。 【効果】 導電性を付与したウエハキャリアは静電気よ
るゴミ、ホコリ等の付着がなく、耐磨耗性に優れ低発塵
性で、耐熱性、機械特性に優れ、寸法精度が良く軽量で
あり、高温においても高剛性が維持され、ウエハの熱処
理工程、搬送、貯蔵に使用される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工業で取り
扱うシリコン等からなるウエハの加工、運搬、貯蔵の際
に使用されるウエハキャリアに関する。
扱うシリコン等からなるウエハの加工、運搬、貯蔵の際
に使用されるウエハキャリアに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハの熱処理工程ではアルミニ
ュウム製、及び耐熱性の高いポリエーテルエーテルケト
ン樹脂（以下、ＰＥＥＫ樹脂と略記する）製のキャリア
やフッソ樹脂製のキャリアが用いられていた。しかし、
半導体工業での技術進歩は目ざましく、１チップ上の集
積回路の集積度が飛躍的に増大している。これに伴って
回路の最小線幅も非常に狭くなってきている、この為、
従来ウエハに付着してもほとんど問題にならなかった大
きさのゴミ、ホコリ等でも不良を生じ、その部分のチッ
プが使いものにならなくなり、製品歩留りや生産効率、
生産性等が極端に悪くなるなどの問題が生じている。こ
のためウエハの加工、運搬、貯蔵の際に使用されるキャ
リアも低発塵性でゴミ、ホコリ等の付着しにくい材質で
あることが要望されている。
ュウム製、及び耐熱性の高いポリエーテルエーテルケト
ン樹脂（以下、ＰＥＥＫ樹脂と略記する）製のキャリア
やフッソ樹脂製のキャリアが用いられていた。しかし、
半導体工業での技術進歩は目ざましく、１チップ上の集
積回路の集積度が飛躍的に増大している。これに伴って
回路の最小線幅も非常に狭くなってきている、この為、
従来ウエハに付着してもほとんど問題にならなかった大
きさのゴミ、ホコリ等でも不良を生じ、その部分のチッ
プが使いものにならなくなり、製品歩留りや生産効率、
生産性等が極端に悪くなるなどの問題が生じている。こ
のためウエハの加工、運搬、貯蔵の際に使用されるキャ
リアも低発塵性でゴミ、ホコリ等の付着しにくい材質で
あることが要望されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、アルミニュウ
ム製のキャリアは、金属であり導電体であることからゴ
ミ等の付着はないものの高比重の為、キャリアが高重量
となり、取扱に際して現場の作業者に過大な負担がかか
る欠点を有している。従来のＰＥＥＫ樹脂製のキャリア
は絶縁体であることから、摩擦等で静電気が帯電し、周
囲の浮遊異物などが引きつけられ、ウエハの表面に付着
する。耐熱が高い樹脂としては、ポリエーテルスルホン
樹脂（以下、ＰＥＳ樹脂と略記する）、ポリアリレート
樹脂（以下、ＰＡＲ樹脂と略記する）、ナイロン樹脂
（以下、ＰＡ樹脂と略記する）、ポリフェニレンサルフ
ァイド樹脂（以下、ＰＰＳ樹脂と略記する）、パーフル
オロアルコキシ置換ポリテトラフルオロエチレン樹脂
（以下、ＰＦＡ樹脂と略記する）等があり、ＰＥＳ樹
脂、ＰＡＲ樹脂、ＰＦＡ樹脂に導電性を付与すべく導電
性カーボンブラックを添加したものは、耐磨耗性が悪く
カーボンブラックが脱落しやすい欠点を有している。Ｐ
Ａ樹脂に導電性カーボンブラックを添加したものは、耐
磨耗性には優れているが、高温下における剛性が弱くキ
ャリアが変形する欠点を有している。ＰＰＳ樹脂に導電
性カーボンブラックを添加したものは、耐磨耗性には優
れているが、成形品にバリが出やすく、脆く割れやすい
等の欠点を有している。
ム製のキャリアは、金属であり導電体であることからゴ
ミ等の付着はないものの高比重の為、キャリアが高重量
となり、取扱に際して現場の作業者に過大な負担がかか
る欠点を有している。従来のＰＥＥＫ樹脂製のキャリア
は絶縁体であることから、摩擦等で静電気が帯電し、周
囲の浮遊異物などが引きつけられ、ウエハの表面に付着
する。耐熱が高い樹脂としては、ポリエーテルスルホン
樹脂（以下、ＰＥＳ樹脂と略記する）、ポリアリレート
樹脂（以下、ＰＡＲ樹脂と略記する）、ナイロン樹脂
（以下、ＰＡ樹脂と略記する）、ポリフェニレンサルフ
ァイド樹脂（以下、ＰＰＳ樹脂と略記する）、パーフル
オロアルコキシ置換ポリテトラフルオロエチレン樹脂
（以下、ＰＦＡ樹脂と略記する）等があり、ＰＥＳ樹
脂、ＰＡＲ樹脂、ＰＦＡ樹脂に導電性を付与すべく導電
性カーボンブラックを添加したものは、耐磨耗性が悪く
カーボンブラックが脱落しやすい欠点を有している。Ｐ
Ａ樹脂に導電性カーボンブラックを添加したものは、耐
磨耗性には優れているが、高温下における剛性が弱くキ
ャリアが変形する欠点を有している。ＰＰＳ樹脂に導電
性カーボンブラックを添加したものは、耐磨耗性には優
れているが、成形品にバリが出やすく、脆く割れやすい
等の欠点を有している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記の課
題を解決すべく鋭意検討した結果、ＰＥＥＫ樹脂に導電
性カーボンブラックを添加したものは、帯電防止効果に
優れ、カーボン脱落がなく、耐熱性にも優れたウエハキ
ャリアを提供することを見いだし本発明に到達した。す
なわち、本発明は、ポリエーテルエーテルケトン樹脂７
０〜９７重量％、及び導電性カーボンブラック３〜３０
重量％からなる樹脂脂組成物で、テーバー式磨耗試験の
磨耗質量が３〜５０ｍｇと耐磨耗性に優れたことを特徴
とする樹脂組成物を成形することにより得られる帯電防
止ウエハキャリアである。
題を解決すべく鋭意検討した結果、ＰＥＥＫ樹脂に導電
性カーボンブラックを添加したものは、帯電防止効果に
優れ、カーボン脱落がなく、耐熱性にも優れたウエハキ
ャリアを提供することを見いだし本発明に到達した。す
なわち、本発明は、ポリエーテルエーテルケトン樹脂７
０〜９７重量％、及び導電性カーボンブラック３〜３０
重量％からなる樹脂脂組成物で、テーバー式磨耗試験の
磨耗質量が３〜５０ｍｇと耐磨耗性に優れたことを特徴
とする樹脂組成物を成形することにより得られる帯電防
止ウエハキャリアである。
【０００５】
【発明の実施形態】本発明の導電性を付与したウエハキ
ャリアは、下記式（１）でしめされる繰り返し単位を有
するＰＥＥＫ樹脂に導電性カーボンブラックを混合させ
た複合材料によって製造される。
ャリアは、下記式（１）でしめされる繰り返し単位を有
するＰＥＥＫ樹脂に導電性カーボンブラックを混合させ
た複合材料によって製造される。
【０００６】
【化１】
【０００７】本発明のＰＥＥＫ樹脂と導電性カーボンブ
ラックの組成比率は、ＰＥＥＫ樹脂７０〜９７重量％、
導電性カーボンブラック３〜３０重量％であり、好まし
くはＰＥＥＫ樹脂８０〜９５重量％、導電性カーボンブ
ラック５〜２０重量％である。導電性カーボンブラック
は３重量％未満では、好ましい導電性が得られず、３０
重量％を越えると成形加工性が悪い。
ラックの組成比率は、ＰＥＥＫ樹脂７０〜９７重量％、
導電性カーボンブラック３〜３０重量％であり、好まし
くはＰＥＥＫ樹脂８０〜９５重量％、導電性カーボンブ
ラック５〜２０重量％である。導電性カーボンブラック
は３重量％未満では、好ましい導電性が得られず、３０
重量％を越えると成形加工性が悪い。
【０００８】本発明中のＰＥＥＫ樹脂は対数粘度で０．
６５〜０．９５ｄｌ／ｇの範囲のものが用いられ、好ま
しくは０．７４〜０．９０ｄｌ／ｇの範囲のものが用い
られる。０．６５ｄｌ／ｇ未満ではウエハキャリアの機
械強度が不足し、０．９５ｄｌ／ｇを越えると流動性が
悪くウエハキャリアの成形加工性が悪い。対数粘度とは
下式（２）で定義されるものであり、９８％濃硫酸に重
合体を溶解し３０℃の条件下、オストワルド粘度計にて
測定したものである。 対数粘度＝１ｎ（ｔ／ｔ0)／Ｃ （２） ｔ ：試料溶液の落下時間 ｔ0 ：濃硫酸の落下時間 Ｃ ：試料濃度 ０．１ｇ／ｄｌ
６５〜０．９５ｄｌ／ｇの範囲のものが用いられ、好ま
しくは０．７４〜０．９０ｄｌ／ｇの範囲のものが用い
られる。０．６５ｄｌ／ｇ未満ではウエハキャリアの機
械強度が不足し、０．９５ｄｌ／ｇを越えると流動性が
悪くウエハキャリアの成形加工性が悪い。対数粘度とは
下式（２）で定義されるものであり、９８％濃硫酸に重
合体を溶解し３０℃の条件下、オストワルド粘度計にて
測定したものである。 対数粘度＝１ｎ（ｔ／ｔ0)／Ｃ （２） ｔ ：試料溶液の落下時間 ｔ0 ：濃硫酸の落下時間 Ｃ ：試料濃度 ０．１ｇ／ｄｌ
【０００９】本発明における導電性カーボンブラックと
は、樹脂中に充填することにより、導電性を付与し樹脂
の表面抵抗値を大幅に低下するものであり、アセチレン
ブラック及びファーネスブラック等が好ましく用いられ
る。ファーネスブラックとしては具体的にはケッチェン
ブラックＥＣ（オランダ、アクゾ社商品名）、旭ＨＳ−
５００（旭カーボン社商品名）、コロンビャンカーボン
Ｎ−５５０Ｕ（米国コロンビャンカーボン社商品名）等
の市販品がある。
は、樹脂中に充填することにより、導電性を付与し樹脂
の表面抵抗値を大幅に低下するものであり、アセチレン
ブラック及びファーネスブラック等が好ましく用いられ
る。ファーネスブラックとしては具体的にはケッチェン
ブラックＥＣ（オランダ、アクゾ社商品名）、旭ＨＳ−
５００（旭カーボン社商品名）、コロンビャンカーボン
Ｎ−５５０Ｕ（米国コロンビャンカーボン社商品名）等
の市販品がある。
【００１０】本発明中の樹脂組成物のテーバー式磨耗試
験の磨耗質量は３〜５０ｍｇの範囲であり、好ましくは
３〜２０ｍｇである。５０ｍｇを越えると摩擦等により
簡単にカーボンが脱落する。磨耗質量とは試験前の試験
片の質量を１ｍｇまで正確に測定し、テーバー式磨耗試
験機を使用して、磨耗輪ＣＳ−１７、荷重１ｋｇｆ、回
転数１０００回転の条件で試験後、試験片の質量を正確
に１ｍｇまで測定し、試験前の質量との差から求めたも
のであり、ＡＳＴＭ Ｄ１０４４に準拠した方法により
測定されたものである。
験の磨耗質量は３〜５０ｍｇの範囲であり、好ましくは
３〜２０ｍｇである。５０ｍｇを越えると摩擦等により
簡単にカーボンが脱落する。磨耗質量とは試験前の試験
片の質量を１ｍｇまで正確に測定し、テーバー式磨耗試
験機を使用して、磨耗輪ＣＳ−１７、荷重１ｋｇｆ、回
転数１０００回転の条件で試験後、試験片の質量を正確
に１ｍｇまで測定し、試験前の質量との差から求めたも
のであり、ＡＳＴＭ Ｄ１０４４に準拠した方法により
測定されたものである。
【００１１】本発明の導電性樹脂組成物の製造方法に関
しては特に制限はなく、通常公知の方法を採用すること
ができる。すなわち、ＰＥＥＫ樹脂、導電性カーボンを
タンブラー等の混合機を用いて均一混合した後、十分な
混練能力のある一軸または多軸の押出機で溶融混練して
ペレット化される。また、耐磨耗性の低下しない範囲内
で導電性フィラー、例えば炭素繊維、導電性付与したマ
イカ、タルク、ウィスカー等を添加しても良い。
しては特に制限はなく、通常公知の方法を採用すること
ができる。すなわち、ＰＥＥＫ樹脂、導電性カーボンを
タンブラー等の混合機を用いて均一混合した後、十分な
混練能力のある一軸または多軸の押出機で溶融混練して
ペレット化される。また、耐磨耗性の低下しない範囲内
で導電性フィラー、例えば炭素繊維、導電性付与したマ
イカ、タルク、ウィスカー等を添加しても良い。
【００１２】本発明の導電性ウエハキャリアの成形方法
に関しては特に制限はなく、通常公知の方法を採用する
ことができる。例えば射出成形法、圧縮成形法等をあげ
ることができる。
に関しては特に制限はなく、通常公知の方法を採用する
ことができる。例えば射出成形法、圧縮成形法等をあげ
ることができる。
【００１３】本発明に使用されるウエハキャリアの形状
は特に規定はないが、例えば複数のウエハーを隔離、支
持するための複数の溝を持つ相対する２枚のパネネルを
有するものをあげることができる。本発明の導電性を付
与したウエハーキャリアーは、耐磨耗性、耐熱性、機械
特性に優れ、特に寸法精度が良く、軽量であり、高温に
おいても高剛性が維持される等の特徴を有する。
は特に規定はないが、例えば複数のウエハーを隔離、支
持するための複数の溝を持つ相対する２枚のパネネルを
有するものをあげることができる。本発明の導電性を付
与したウエハーキャリアーは、耐磨耗性、耐熱性、機械
特性に優れ、特に寸法精度が良く、軽量であり、高温に
おいても高剛性が維持される等の特徴を有する。
【００１４】
【実施例】以下に実施例を挙げて、本発明をさらに詳し
く説明する。なお、実施例及び比較例に記した樹脂組成
物及びそれにより成形したウエハキャリアの特製評価は
次の方法に従って実施した。 （１）表面抵抗（導電性） 射出成形によりウエハキャリアを成形し、成形品の表面
を表面抵抗計（三菱油化社製、商品名 ハイレスタ）に
て測定し、１０12Ω以下を合格とした。 （２）メルトフローインデックス（成形加工性） ＪＩＳ−Ｋ７２１０に準拠した。荷重１０ｋｇ、温度４
００℃射出成形によりウエハキャリアを成形した場合、
メルトフローインデックスが２．０以下では成形できな
かった。 （３）耐磨耗性（カーボン脱落） 射出成形により厚み５ｍｍ、直径１２０ｍｍの円板を成
形し、テーバー式磨耗試験機で磨耗輪ＣＳ−１７、荷重
１ｋｇｆ、回転数１０００回転の条件で測定し磨耗質量
を求めた。 （４）耐衝撃性（機械強度） 射出成形によりウエハキャリアを成形し、高さ０．７５
ｍからコンクリート床面にウエハキャリアを落下させ、
破損しないものを合格（〇）、破損したものを不合格
（×）とした。
く説明する。なお、実施例及び比較例に記した樹脂組成
物及びそれにより成形したウエハキャリアの特製評価は
次の方法に従って実施した。 （１）表面抵抗（導電性） 射出成形によりウエハキャリアを成形し、成形品の表面
を表面抵抗計（三菱油化社製、商品名 ハイレスタ）に
て測定し、１０12Ω以下を合格とした。 （２）メルトフローインデックス（成形加工性） ＪＩＳ−Ｋ７２１０に準拠した。荷重１０ｋｇ、温度４
００℃射出成形によりウエハキャリアを成形した場合、
メルトフローインデックスが２．０以下では成形できな
かった。 （３）耐磨耗性（カーボン脱落） 射出成形により厚み５ｍｍ、直径１２０ｍｍの円板を成
形し、テーバー式磨耗試験機で磨耗輪ＣＳ−１７、荷重
１ｋｇｆ、回転数１０００回転の条件で測定し磨耗質量
を求めた。 （４）耐衝撃性（機械強度） 射出成形によりウエハキャリアを成形し、高さ０．７５
ｍからコンクリート床面にウエハキャリアを落下させ、
破損しないものを合格（〇）、破損したものを不合格
（×）とした。
【００１５】実施例１〜２ ＰＥＥＫ樹脂 ＶＩＣＴＲＥＸ ＰＥＥＫ ４５０Ｐ
［英国ビクトレックス社製、対数粘度で０．８６ｄｌ／
ｇ］、導電性カーボンとしてケッチェンブラックＥＣ
［オランダ：アクゾ社製］を表１に示す割合で配合し、
３５ｍｍφ二軸押出機で３６０〜４００℃の範囲で混
練、ペレット化した。このペレットを型締力２００ｔｏ
ｎの射出成形機により温度４００℃、金型温度１７０
℃、射出圧力１５００ｋｇ／ｃｍ2 の条件でウエハキャ
リアを成形した。この成形品の評価結果を表１に示す。
帯電防止性、耐衝撃性に優れ、カーボン脱落も少なく十
分な実用価値を有するものであった。
［英国ビクトレックス社製、対数粘度で０．８６ｄｌ／
ｇ］、導電性カーボンとしてケッチェンブラックＥＣ
［オランダ：アクゾ社製］を表１に示す割合で配合し、
３５ｍｍφ二軸押出機で３６０〜４００℃の範囲で混
練、ペレット化した。このペレットを型締力２００ｔｏ
ｎの射出成形機により温度４００℃、金型温度１７０
℃、射出圧力１５００ｋｇ／ｃｍ2 の条件でウエハキャ
リアを成形した。この成形品の評価結果を表１に示す。
帯電防止性、耐衝撃性に優れ、カーボン脱落も少なく十
分な実用価値を有するものであった。
【００１６】実施例３〜４ 導電性カーボンとしてコロンビャンカーボンＮ−５５０
Ｕ［米国コロンビャンカーボン社製］を用いて表１に示
す割合で配合した以外は実施例１、２と同様とした。評
価結果を表１に示す。
Ｕ［米国コロンビャンカーボン社製］を用いて表１に示
す割合で配合した以外は実施例１、２と同様とした。評
価結果を表１に示す。
【００１７】実施例５ 実施例１において、ＰＥＥＫ樹脂として、対数粘度０．
６８ｄｌ／を用いた以外は実施例１と同様とした。評価
結果を表１に示す。
６８ｄｌ／を用いた以外は実施例１と同様とした。評価
結果を表１に示す。
【００１８】比較例１ 実施例１〜２において、ケッチェンブラックＥＣの配合
割合を変えた以外は同様とた。結果は表２に示す。本発
明で規定した配合比を外れると導電性が大幅に低下し、
帯電防止効果が見られず、十分な実用価値を有するもの
ではない。
割合を変えた以外は同様とた。結果は表２に示す。本発
明で規定した配合比を外れると導電性が大幅に低下し、
帯電防止効果が見られず、十分な実用価値を有するもの
ではない。
【００１９】比較例２ 実施例３〜４において、コロンビャンカーボンＮ−５５
０Ｕの配合割合を変えた以外は同様とした。結果は表２
に示す。成形加工性が大幅に低下し、ウエハキャリアが
成形できなかった。
０Ｕの配合割合を変えた以外は同様とした。結果は表２
に示す。成形加工性が大幅に低下し、ウエハキャリアが
成形できなかった。
【００２０】比較例３ 実施例１において、ＰＥＥＫ樹脂として、対数粘度で
０．６０ｄｌ／ｇを用いた以外は実施例１と同様とし
た。結果を表２に示す。機械強度が不足し、ウエハキャ
リアを０．７５ｍの高さからコンクリート床面に落下し
た結果破損し、十分な実用価値を有するものではない。
０．６０ｄｌ／ｇを用いた以外は実施例１と同様とし
た。結果を表２に示す。機械強度が不足し、ウエハキャ
リアを０．７５ｍの高さからコンクリート床面に落下し
た結果破損し、十分な実用価値を有するものではない。
【００２１】比較例４ 実施例１において、ＰＥＥＫ樹脂として、対数粘度で
０．９８ｄｌ／ｇを用いた以外は実施例１と同様とし
た。結果を表２に示す。成形加工性が大幅に低下し、ウ
エハキャリアが成形できなかった。
０．９８ｄｌ／ｇを用いた以外は実施例１と同様とし
た。結果を表２に示す。成形加工性が大幅に低下し、ウ
エハキャリアが成形できなかった。
【００２２】比較例５ 実施例１において、ＰＥＥＫ樹脂をＰＦＡ樹脂ＰＦＡ
３４０−Ｊ［三井．デュポンフロロケミカル社製］に、
混練温度３６０〜４００℃を３００〜３５０℃に、射出
成形温度４００℃を３２０〜３５０℃に変更した以外は
実施例１と同様とした。結果を表２に示す。カーボン脱
落が多く十分な実用価値を有するものではない。
３４０−Ｊ［三井．デュポンフロロケミカル社製］に、
混練温度３６０〜４００℃を３００〜３５０℃に、射出
成形温度４００℃を３２０〜３５０℃に変更した以外は
実施例１と同様とした。結果を表２に示す。カーボン脱
落が多く十分な実用価値を有するものではない。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【表２】
【００２５】
【表３】
【００２６】
【表４】
【００２７】
【表５】
【００２８】
【発明の効果】本発明の帯電防止ウエハキャリアは静電
気によるゴミ、ホコリ等の付着がなく、低発塵性で、耐
熱性、機械特性に優れ、寸法精度が良く、軽量でありそ
の実用価値は大きい。
気によるゴミ、ホコリ等の付着がなく、低発塵性で、耐
熱性、機械特性に優れ、寸法精度が良く、軽量でありそ
の実用価値は大きい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大地 広泰 神奈川県横浜市栄区笠間町1190番地 三井 東圧化学株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】ポリエーテルエーテルケトン樹脂７０〜９
７重量％、及び導電性カーボンブラック３〜３０重量％
からなる樹脂組成物で、テーバー式磨耗試験の磨耗質量
が３〜５０ｍｇと耐磨耗性に優れたことを特徴とする樹
脂組成物を成形することにより得られる帯電防止ウエハ
キャリア。 - 【請求項２】ポリエーテルエーテルケトン樹脂の対数粘
度が０．７４〜０．９０ｄｌ／ｇの範囲である請求項１
に記載の帯電防止ウエハキャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18456495A JPH0936216A (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 帯電防止ウエハキャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18456495A JPH0936216A (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 帯電防止ウエハキャリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0936216A true JPH0936216A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16155420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18456495A Pending JPH0936216A (ja) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | 帯電防止ウエハキャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0936216A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8283031B2 (en) | 2003-10-06 | 2012-10-09 | Kureha Corporation | Semiconductive film, electric charge control member and process for producing the semiconductive film |
| JP2024530210A (ja) * | 2021-08-13 | 2024-08-16 | 吉林省中研高分子材料股▲ふん▼有限公司 | 高強度で、かつ低色度のポリエーテルエーテルケトン及びその製造方法 |
| CN118772573A (zh) * | 2024-06-28 | 2024-10-15 | 浙江兄弟新材料有限公司 | 一种抗静电聚醚醚酮复合材料及其制备方法 |
-
1995
- 1995-07-21 JP JP18456495A patent/JPH0936216A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8283031B2 (en) | 2003-10-06 | 2012-10-09 | Kureha Corporation | Semiconductive film, electric charge control member and process for producing the semiconductive film |
| JP2024530210A (ja) * | 2021-08-13 | 2024-08-16 | 吉林省中研高分子材料股▲ふん▼有限公司 | 高強度で、かつ低色度のポリエーテルエーテルケトン及びその製造方法 |
| CN118772573A (zh) * | 2024-06-28 | 2024-10-15 | 浙江兄弟新材料有限公司 | 一种抗静电聚醚醚酮复合材料及其制备方法 |
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