JPH0936293A - Lead frame plating equipment - Google Patents
Lead frame plating equipmentInfo
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- JPH0936293A JPH0936293A JP18026695A JP18026695A JPH0936293A JP H0936293 A JPH0936293 A JP H0936293A JP 18026695 A JP18026695 A JP 18026695A JP 18026695 A JP18026695 A JP 18026695A JP H0936293 A JPH0936293 A JP H0936293A
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- plating
- base plate
- jig
- lead frame
- plating jig
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ベースプレート上において、めっき治具を容
易に位置決めすることができ、かつめっき治具を容易か
つ確実に固定すること。
【解決手段】 本体フレーム7内にめっき液室5が配設
され、本体フレーム7にベースプレート6が支持されて
いる。ベースプレート6上にめっき治具2が載置され、
めっき治具2はベースプレート6側の位置決めピン9を
ベースプレート6側の位置決め開口10内に挿入するこ
とにより位置決めされる。ベースプレート6上のクラン
プ8により、めっき治具2の両側がクランプされて固定
される。
(57) 【Abstract】 PROBLEM TO BE SOLVED: To easily position a plating jig on a base plate and to fix the plating jig easily and surely. SOLUTION: A plating solution chamber 5 is arranged in a main body frame 7, and a base plate 6 is supported by the main body frame 7. The plating jig 2 is placed on the base plate 6,
The plating jig 2 is positioned by inserting the positioning pin 9 on the base plate 6 side into the positioning opening 10 on the base plate 6 side. Both sides of the plating jig 2 are clamped and fixed by the clamps 8 on the base plate 6.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はめっき治具を有する
リードフレームのめっき装置に係り、とりわけめっき治
具の交換を容易かつ精度良くに行うことができるリード
フレームのめっき装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame plating apparatus having a plating jig, and more particularly to a lead frame plating apparatus that allows easy and accurate replacement of the plating jig.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来からIC用リードフレームのうち、
シリコンチップを搭載するパッド部と、ワイヤーボンデ
ィングを行うリード先端とに金、銀等の貴金属からなる
部分めっきが施されている。このようなリードフレーム
のめっき装置を、図3および図4により説明する。2. Description of the Related Art Among conventional IC lead frames,
Partial plating made of a noble metal such as gold or silver is applied to the pad portion on which the silicon chip is mounted and the tip of the lead for wire bonding. Such a lead frame plating apparatus will be described with reference to FIGS.
【0003】図3および図4に示すように、リードフレ
ームのめっき装置は、本体フレーム7と、この本体フレ
ーム7に支持されためっき液室5とを備え、めっき液室
5上にパッキン12を介してガラスエポキシまたは耐熱
塩ビ等からなるベースプレート6が設けられている。ま
たベースプレート6上に、リードフレーム(図示せず)
載置用のシリコンゴム製マスクゴム1が取付けられたガ
ラスエポキシ製めっき治具2が固定されている。As shown in FIGS. 3 and 4, the lead frame plating apparatus includes a body frame 7 and a plating solution chamber 5 supported by the body frame 7, and a packing 12 is provided on the plating solution chamber 5. A base plate 6 made of glass epoxy, heat-resistant vinyl chloride, or the like is provided therethrough. Further, a lead frame (not shown) is provided on the base plate 6.
A glass epoxy plating jig 2 to which a silicon rubber mask rubber 1 for mounting is attached is fixed.
【0004】めっき治具2には、治具取り付け用穴3が
設けられ、この穴3からネジ25を挿入することにより
めっき治具2がベースプレート6に固定されている。A jig mounting hole 3 is provided in the plating jig 2, and the plating jig 2 is fixed to the base plate 6 by inserting a screw 25 through the hole 3.
【0005】めっき液室5内には、圧送ポンプ14に連
結された噴出装置15が設けられ、この噴出装置15に
は噴出ノズル15aが突設されている。まためっき治具
2およびマスクゴム1には、噴出ノズル15aに対応す
る位置に開口16が形成されている。A jetting device 15 connected to the pressure feed pump 14 is provided in the plating solution chamber 5, and the jetting device 15 is provided with a jet nozzle 15a. Further, openings 16 are formed in the plating jig 2 and the mask rubber 1 at positions corresponding to the ejection nozzles 15a.
【0006】一方、マスクゴム1の上方には、マスクゴ
ム1との間でリードフレームを押圧するプレスブロック
13が昇降自在に設けられている。On the other hand, above the mask rubber 1, a press block 13 for pressing the lead frame with the mask rubber 1 is provided so as to be able to move up and down.
【0007】このような構成からなるリードフレームの
めっき装置において、マスクゴム1上にリードフレーム
を載置した後、リードフレームがマスクゴム1とプレス
ブロック13との間で押圧される。このとき、プレスブ
ロック内に設置された陰極がリードフレームに押し当て
られる。次に圧送ポンプ14からめっき液が噴出装置1
5に流入し、噴出ノズル15aからめっき液が噴出され
る。噴出ノズル15aから噴出されためっき液は、マス
クゴム1およびめっき治具2に形成された開口16から
リードフレームに対して噴出する。In the lead frame plating apparatus having such a structure, after the lead frame is placed on the mask rubber 1, the lead frame is pressed between the mask rubber 1 and the press block 13. At this time, the cathode installed in the press block is pressed against the lead frame. Next, the plating solution is ejected from the pressure feed pump 14
5, and the plating solution is ejected from the ejection nozzle 15a. The plating solution ejected from the ejection nozzle 15a is ejected to the lead frame through the openings 16 formed in the mask rubber 1 and the plating jig 2.
【0008】この間、リードフレームと噴出ノズル15
a間に電気が流れ、リードフレームに対してめっき作業
が施される。During this time, the lead frame and the ejection nozzle 15
Electricity flows between a and the lead frame is plated.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ところで、リードフレ
ームの品種を変更する場合、マスクゴム1を有するめっ
き治具2をベースプレート6から取外し、新たなめっき
治具2をベースプレート6に取付ける必要がある。しか
しながら、めっき治具2はベースプレート6に対してネ
ジ25により固着されているため、めっき治具2の交換
作業を行う際は、ネジ25を緩めたり締め付ける作業を
行う必要があり、交換作業に時間を要してしまう。また
ベースプレート6に対するめっき治具2の位置決めは熟
練を要するので交換作業はより煩雑となっている。By the way, when changing the type of the lead frame, it is necessary to remove the plating jig 2 having the mask rubber 1 from the base plate 6 and attach a new plating jig 2 to the base plate 6. However, since the plating jig 2 is fixed to the base plate 6 with the screw 25, when the plating jig 2 is replaced, it is necessary to loosen or tighten the screw 25. Will be required. Further, since positioning of the plating jig 2 with respect to the base plate 6 requires skill, the replacement work becomes more complicated.
【0010】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、めっき治具の交換作業を容易に行うことが
できるリードフレームのめっき装置を提供することを目
的とする。The present invention has been made in consideration of the above points, and an object of the present invention is to provide a lead frame plating apparatus which can easily perform a plating jig replacement operation.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は、本体フレーム
と、この本体フレーム内に配設されためっき液室と、リ
ードフレームを載置するマスクゴムが取付けられためっ
き治具と、めっき治具を載置するとともにめっき液室の
上方に位置するベースプレートと、めっき治具とベース
プレートとの間に設けられ、めっき治具をベースプレー
トの所定位置に位置決めする位置決め装置と、めっき治
具をベースプレートに固定する固定装置と、を備えたこ
とを特徴とするリードフレームのめっき装置である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is directed to a main body frame, a plating solution chamber arranged in the main body frame, a plating jig to which a mask rubber for mounting a lead frame is attached, and a plating jig. And a positioning device for positioning the plating jig at a predetermined position on the base plate and a base plate located above the plating solution chamber and between the plating jig and the base plate, and fixing the plating jig to the base plate. A lead frame plating device.
【0012】本発明によれば、ベースプレート上にめっ
き治具を位置決め装置により位置決めしながら載置した
後、固定装置によりめっき治具をベースプレート上に固
定する。According to the present invention, after the plating jig is placed on the base plate while positioning by the positioning device, the plating jig is fixed on the base plate by the fixing device.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例について説明する。図1および図2は本発明による
リードフレームのめっき装置の一実施例を示す図であ
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 are views showing an embodiment of a lead frame plating apparatus according to the present invention.
【0014】図1および図2に示すように、リードフレ
ームのめっき装置は鋼鉄製の本体フレーム7と、この本
体フレーム7内に配設された耐熱塩ビ製のめっき液室5
と、本体フレーム7に支持されるとともにめっき液室5
の上方に位置するステンレス(SUS)製のベースプレ
ート6とを備えている。As shown in FIGS. 1 and 2, the lead frame plating apparatus includes a steel body frame 7 and a heat-resistant PVC plating solution chamber 5 disposed in the body frame 7.
And the plating solution chamber 5 while being supported by the body frame 7.
And a base plate 6 made of stainless steel (SUS) located above.
【0015】ベースプレート6上には、リードフレーム
(図示せず)を載置するマスクゴム1が取付けられため
っき治具2が支持されている。めっき治具2はガラスエ
ポキシ製の治具本体2aと、治具本体2aの裏面に設け
られたSUS製またはセラミック製の裏張り体11とか
らなっている。このうち、裏張り体11は耐熱性を有
し、めっき治具2全体の剛性を高めている。なお、めっ
き治具2はめっき液室5の上端にパッキン12を介して
当接している。On the base plate 6, a plating jig 2 to which a mask rubber 1 for mounting a lead frame (not shown) is attached is supported. The plating jig 2 is composed of a jig body 2a made of glass epoxy and a lining body 11 made of SUS or ceramic provided on the back surface of the jig body 2a. Of these, the backing 11 has heat resistance and enhances the rigidity of the plating jig 2 as a whole. The plating jig 2 is in contact with the upper end of the plating solution chamber 5 via the packing 12.
【0016】またベースプレート6には、めっき治具2
を両側から押えるための一対のクランプ8が設けられて
いる。さらにベースプレート6には位置決めピン9が突
設され、めっき治具2には位置決めピン9と係合してめ
っき治具2をベースプレート6上の所定位置に位置決め
する位置決め開口10が形成されている。On the base plate 6, the plating jig 2 is attached.
Is provided with a pair of clamps 8 for pressing from both sides. Further, the base plate 6 is provided with a positioning pin 9, and the plating jig 2 is formed with a positioning opening 10 which engages with the positioning pin 9 and positions the plating jig 2 at a predetermined position on the base plate 6.
【0017】めっき液室5内には圧送ポンプ14に連結
された噴出装置15が設けられ、この噴出装置15には
噴出ノズル15aが突設されている。まためっき治具2
およびマスクゴム1には、噴出ノズル15aに対応する
位置に、開口16が形成されている。A jetting device 15 connected to the pressure feed pump 14 is provided in the plating solution chamber 5, and a jetting nozzle 15a is projectingly provided on the jetting device 15. Also plating jig 2
Further, the mask rubber 1 has an opening 16 formed at a position corresponding to the ejection nozzle 15a.
【0018】一方、マスクゴム1の上方には、マスクゴ
ム1との間でリードフレームを押圧するプレスブロック
13が昇降自在に設けられている。On the other hand, above the mask rubber 1, a press block 13 for pressing the lead frame with the mask rubber 1 is provided so as to be able to move up and down.
【0019】次にこのような構成からなる本実施例の作
用について説明する。まずマスクゴム1上にリードフレ
ームが載置され、その後リードフレーム1がマスクゴム
1とプレスブロック13との間で押圧される。このと
き、プレスブロック内に設置された陰極がリードフレー
ムに押し当てられる。Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described. First, the lead frame is placed on the mask rubber 1, and then the lead frame 1 is pressed between the mask rubber 1 and the press block 13. At this time, the cathode installed in the press block is pressed against the lead frame.
【0020】次に圧送ポンプ14からめっき液が噴出装
置15に圧送され、噴出ノズル15aからめっき液が噴
出される。噴出ノズル15aから噴出されためっき液
は、マスクゴム1およびめっき治具2に形成された開口
16からリードフレームに対して噴出される。この間、
リードフレームと噴出ノズル15aとの間に電気が流
れ、リードフレームの所定箇所(開口16に対応する部
分)に対してめっき作業が施される。Next, the plating solution is pressure-fed from the pressure pump 14 to the ejection device 15, and the plating solution is ejected from the ejection nozzle 15a. The plating solution jetted from the jet nozzle 15 a is jetted to the lead frame through the openings 16 formed in the mask rubber 1 and the plating jig 2. During this time,
Electricity flows between the lead frame and the jet nozzle 15a, and a predetermined portion of the lead frame (a portion corresponding to the opening 16) is plated.
【0021】リードフレームに対して噴出されためっき
液は、その後めっき液室5内に溜められ、次にめっき液
室5の下端に設けられた出口5aから排出される。The plating solution jetted onto the lead frame is then stored in the plating solution chamber 5 and then discharged from the outlet 5a provided at the lower end of the plating solution chamber 5.
【0022】次にリードフレームの品種に対応してマス
クゴム1を有するめっき治具2を交換する場合、めっき
治具2からクランプ8を外してめっき治具2をベースプ
レート6から取外す。次に新しいめっき治具をベースプ
レート6上に載置する。この場合、ベースプレート6の
位置決めピン9をめっき治具2の位置決め開口10内に
係合することにより、めっき治具2をベースプレート6
上の所定位置に位置決めすることができる。次にめっき
治具2に対してクランプ8を装着してめっき治具2をベ
ースプレート6上で堅固に固定する。Next, when replacing the plating jig 2 having the mask rubber 1 corresponding to the type of lead frame, the clamp 8 is removed from the plating jig 2 and the plating jig 2 is removed from the base plate 6. Next, a new plating jig is placed on the base plate 6. In this case, by engaging the positioning pin 9 of the base plate 6 into the positioning opening 10 of the plating jig 2, the plating jig 2 is moved to the base plate 6
It can be positioned in a predetermined position above. Next, the clamp 8 is attached to the plating jig 2 to firmly fix the plating jig 2 on the base plate 6.
【0023】このように本実施例によれば、ベースプレ
ート6の位置決めピンをめっき治具2の位置決め開口1
0内に係合することにより、めっき治具2をベースプレ
ート6上の所定位置に容易かつ確実に位置決めすること
ができる。また、めっき治具2に対してクランプ8を装
着したり取外すことにより、めっき治具2の交換を簡単
に行うことができる。さらにまた、ベースプレート6は
SUS製となっており、かつ鋼鉄製の本体フレーム7に
支持されているので、例えばベースプレート6が塩ビ製
のめっき液室5上に支持されている場合に比べて、めっ
き治具2の取付け精度を向上させることができる。ま
た、マスク治具2は耐熱性および剛性に優れた裏張り体
11を有しているので、マスク治具2が温度および経年
変化により変形することはない。As described above, according to this embodiment, the positioning pin of the base plate 6 is connected to the positioning opening 1 of the plating jig 2.
By engaging within 0, the plating jig 2 can be easily and reliably positioned at a predetermined position on the base plate 6. Also, the plating jig 2 can be easily replaced by attaching or detaching the clamp 8 to or from the plating jig 2. Furthermore, since the base plate 6 is made of SUS and is supported by the steel main body frame 7, for example, as compared with the case where the base plate 6 is supported on the plating solution chamber 5 made of vinyl chloride, plating is performed. It is possible to improve the mounting accuracy of the jig 2. Further, since the mask jig 2 has the backing body 11 having excellent heat resistance and rigidity, the mask jig 2 does not deform due to temperature and aging.
【0024】[0024]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ベースプ
レート上にめっき治具を位置決め装置により位置決めし
ながら載置し、その後固定装置によりめっき治具をベー
スプレート上に固定する。このようにベースプレート上
において、めっき治具の位置決めおよび固定作用を容易
かつ簡単に行うことができる。As described above, according to the present invention, the plating jig is placed on the base plate while being positioned by the positioning device, and then the plating jig is fixed on the base plate by the fixing device. In this way, the positioning and fixing action of the plating jig can be easily and easily performed on the base plate.
【図1】本発明によるリードフレームのめっき装置の一
実施例を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a lead frame plating apparatus according to the present invention.
【図2】本発明によるリードフレームのめっき装置の一
実施例を示す側断面図。FIG. 2 is a side sectional view showing an embodiment of a lead frame plating apparatus according to the present invention.
【図3】従来のリードフレームのめっき装置の一実施例
を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing an embodiment of a conventional lead frame plating apparatus.
【図4】従来のリードフレームのめっき装置の一実施例
を示す側断面図。FIG. 4 is a side sectional view showing an embodiment of a conventional lead frame plating apparatus.
1 マスクゴム 2 めっき治具 5 めっき液室 6 ベースプレート 7 本体フレーム 8 クランプ 9 位置決めピン 10 位置決め開口 1 Mask rubber 2 Plating jig 5 Plating liquid chamber 6 Base plate 7 Body frame 8 Clamp 9 Positioning pin 10 Positioning opening
Claims (3)
っき治具と、 めっき治具を載置するとともにめっき液室の上方に位置
するベースプレートと、 めっき治具とベースプレートとの間に設けられ、めっき
治具をベースプレートの所定位置に位置決めする位置決
め装置と、 めっき治具をベースプレートに固定する固定装置と、 を備えたことを特徴とするリードフレームのめっき装
置。1. A body frame, a plating solution chamber arranged in the body frame, a plating jig to which a mask rubber for mounting a lead frame is attached, and a plating solution chamber on which the plating jig is mounted. A base plate located above the base plate, a positioning device provided between the plating jig and the base plate for positioning the plating jig at a predetermined position on the base plate, and a fixing device for fixing the plating jig to the base plate. This is a lead frame plating device.
持されていることを特徴とする請求項1記載のリードフ
レームのめっき装置。2. The lead frame plating apparatus according to claim 1, wherein the base plate is supported by a main body frame.
具本体と、この治具本体の裏面に設けられたSUSまた
はセラミック製の裏張り体とからなることを特徴とする
請求項1記載のリードフレームめっき装置。3. The plating jig comprises a jig body made of glass epoxy and a lining made of SUS or ceramic provided on the back surface of the jig body. Lead frame plating equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18026695A JPH0936293A (en) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | Lead frame plating equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18026695A JPH0936293A (en) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | Lead frame plating equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0936293A true JPH0936293A (en) | 1997-02-07 |
Family
ID=16080239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18026695A Pending JPH0936293A (en) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | Lead frame plating equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0936293A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006152348A (en) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Partial plating equipment |
| CN107385491A (en) * | 2017-07-11 | 2017-11-24 | 宁波启谱自动化科技有限公司 | IC lead frames chip electroplates silver plating machine |
| CN112663122A (en) * | 2020-12-24 | 2021-04-16 | 铜陵蓝盾丰山微电子有限公司 | Multi-channel sheet type electroplating clamp for lead frame |
| KR102593415B1 (en) * | 2023-01-13 | 2023-10-25 | (주)수 | Multi-tap fire extinguishing liquid application jig |
-
1995
- 1995-07-17 JP JP18026695A patent/JPH0936293A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006152348A (en) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Shinko Electric Ind Co Ltd | Partial plating equipment |
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| CN107385491B (en) * | 2017-07-11 | 2019-02-01 | 宁波启谱自动化科技有限公司 | Silver plating machine is electroplated in IC lead frame chip |
| CN112663122A (en) * | 2020-12-24 | 2021-04-16 | 铜陵蓝盾丰山微电子有限公司 | Multi-channel sheet type electroplating clamp for lead frame |
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