JPH0936468A - ２波長多方式発振レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】１台の発振装置で、１０６４ｎｍと５３２ｎｍ
の２波長のレーザの双方を多方式で出力することが出来
る２波長多方式発振レーザ装置を提供する。 【解決手段】第１の波長の第１のレーザ光を発振するた
めの第１のレーザ媒体６と、第１のレーザ媒体６の光軸
上に選択的に出入り可能に設けられたところの、全反射
ミラーＭ1及びＱ−スイッチＭａと、第１のレーザ光を
５°〜２０°の角度で全反射させるとともに、第１のレ
ーザ光を所定の集光位置に集光させる凹面ミラーＭ0
と、第１のレーザ光の励起により第２の波長の第２のレ
ーザ光を発振する第２のレーザ媒体２と、光軸上に選択
的に出入り可能に設けられたところの、凹面ミラーＭ2,
Ｍｂと、凹面ミラーＭ2を透過した第１のレーザ光の光
路を変更して、第２のレーザ光と同じ光軸上にのせる光
路変更光学系とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は工業、理化学、医療
レーザー診断、治療応用分野に用いられる２波長発振レ
ーザ装置に関し、特に２波長多方式発振レーザ装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】１９８４年、Y.S.Liuらが0pt.Lett.9:76
-78(1984)において、１９８７年、P.E.PerkinsらがJ.Op
t.Soc.Amer.B4:1066-1071(1987)において、１９８７
年、Bernard G.,Huth, Dirk KuizengaがLasers Optroni
csにおいて、内部共振型固体レーザ発振器をそれぞれ発
表した。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の装置においては、１台の内部発振器より１０６４
ｎｍ及び５３２ｎｍのどちらか一方しか出力できない
か、あるいはこれらの２波長のレーザの双方を出力でき
ても例えば連続発振、パルス発振のうちの１方式しか出
力できなかった。すなわち、現在のところ、１台の装置
で２波長のレーザを同時に出力でき、かつ多方式で発振
させる装置は存在していない。

【０００４】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、１台の発
振装置で、１０６４ｎｍと５３２ｎｍの２波長のレーザ
の双方を多方式で出力することが出来る２波長多方式発
振レーザ装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し目
的を達成するために、本発明に係わる２波長多方式発振
レーザ装置は、第１の波長の第１のレーザ光を発振する
ための第１のレーザ媒体と、前記第１のレーザ光を全反
射する全反射ミラー及び前記第１のレーザ光を全反射す
る状態と吸収する状態とが周期的に切り替わるＱ−スイ
ッチを前記第１のレーザ媒体の光軸上に選択的に出入り
可能にする第１の切り替え手段と、前記第１のレーザ媒
体の光軸上の前記全反射ミラー及びＱ−スイッチの反対
側に配置され、前記第１のレーザ光を５°〜２０°の角
度で全反射させるとともに、前記第１のレーザ光を所定
の集光位置に集光させる第１の凹面鏡と、前記集光位置
近傍に光軸上に出入り可能に配置され、前記第１のレー
ザ光の励起により第２の波長の第２のレーザ光を発振す
る第２のレーザ媒体と、前記第１のレーザ光と前記第２
のレーザ光を全反射させる第２の凹面鏡及び前記第１の
レーザ光を部分透過させ前記第２のレーザ光を全反射さ
せる第３の凹面鏡を前記第１の凹面鏡で全反射された第
１のレーザ光の光軸上に選択的に出入り可能にする第２
の切り替え手段と、前記第３の凹面鏡を透過した前記第
１のレーザ光の光路を変更して、前記第１の凹面鏡を透
過して外部に出射される第２のレーザ光と同じ光軸上に
のせる光路変更手段とを具備することを特徴としてい
る。

【０００６】また、この発明に係わる２波長多方式発振
レーザ装置において、前記第１のレーザ媒体はＹＡＧ結
晶であり、前記第２のレーザ媒体はＫＴＰ結晶であるこ
とを特徴としている。

【０００７】以上の様に構成される本発明に係わる２波
長多方式発振レーザ装置においては、第１のレーザ光の
光路上に、全反射ミラーとＱ−スイッチを選択的に出入
り可能とすることにより、連続発振とパルス発振とを切
り替えることができ、且つ第２のレーザ媒体を光軸上に
出入り可能に設けると共に第２の凹面鏡と第３の凹面鏡
を光軸上に選択的に出入り可能に配置することにより、
第１のレーザ光の単独発振、第２のレーザ光の単独発
振、及び第１及び第２のレーザ光の同時発振を行うこと
が出来る。従って、２波長のレーザ光を多方式で発振さ
せることが出来る２波長多方式発振レーザ装置が提供さ
れる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の２波長多方式発振
レーザ装置の好適な一実施形態について、添付図面を参
照して詳細に説明する。

【０００９】図１は一実施形態の２波長多方式発振レー
ザ装置２０の全体平面図である。図１において、第１の
レーザ媒体は、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶６、即ちＮｄ³⁺を微量
添加したイットリウムアルミニウムガーネットの単結晶
であり、このＹＡＧ結晶６の脇には、励起用の光源とし
てＫｒ（クリプトン）アークランプ７が配置されてい
る。Ｋｒアークランプ７は、固体レーザ共振器２０の不
図示の制御装置に接続されており、この制御装置により
点灯の制御が行われる。ＹＡＧ結晶６及びＫｒアークラ
ンプ７は、基台８上に配置されており、この基台８に
は、これらを冷却するための不図示の冷却水循環パイプ
が接続されている。冷却水循環パイプは不図示の冷却水
循環装置に接続されている。

【００１０】ＹＡＧ結晶６の光軸上には、ＹＡＧレーザ
の波長である第１の波長としての１０６４ｎｍの波長の
レーザ光を全反射する平面ミラーＭ1とＹＡＧレーザの
エネルギーを吸収して、ＹＡＧレーザを全反射する状態
と吸収する状態が切り替わるＹＡＧ結晶からなる可飽和
吸収体で構成されたＱ−スイッチ型全反射ミラーＭａが
設けられている。このＹＡＧ結晶は、パルス発振出来る
ようにＮｄ３＋とは異なる微量元素をイットリウムアル
ミニウムガーネット（ＹＡＧ）結晶に添加したものであ
る。平面ミラーＭ1とＱ−スイッチ型全反射ミラーＭａ
は、ステージ５３上に配置されており、このステージ５
３がステッピングモータ５４によりＹＡＧレーザの光軸
と直行する方向に移動されることにより、図１に示すよ
うに平面ミラーＭ1がＹＡＧレーザの光軸上に位置する
状態と、Ｑ−スイッチ型全反射ミラーＭａがＹＡＧレー
ザの光軸上に位置する状態とが第１の切り替え手段によ
って自動または手動で選択的に切り替わる。また、平面
ミラーＭ1とＱ−スイッチ型全反射ミラーＭａの背部に
はこれらのミラーの角度を調整するための角度調整機構
５２ａ,５２ｂが設けられており、これらの調整機構に
より、平面ミラーＭ1とＱ−スイッチ型全反射ミラーＭ
ａのＹＡＧレーザに対する角度が調整される。なお、ス
テッピングモータ５４は、コンピュータ制御システムで
あるＭＡＳＣ（multi axis stage controller）に接続
されており、角度調整機構５２ａ,５２ｂは、同じくコ
ンピュータ制御システムであるＭＡＣ（multi axis con
troller）に接続されている。

【００１１】ＹＡＧ結晶の可飽和吸収体からなるＱ−ス
イッチ型全反射ミラーＭａは、通常の状態では、ＹＡＧ
結晶６で発振されたＹＡＧレーザ（連続光としてのＹＡ
Ｇレーザ：１０６４ｎｍ）を吸収して反射させないが、
ＹＡＧレーザのエネルギーを吸収して飽和状態になる
と、連続光としてのＹＡＧレーザを透過させる状態とな
り、背面にコーティングされた全反射多層誘電体膜によ
りＹＡＧレーザを略全反射するようになる。この作用に
より、ＹＡＧ結晶の可飽和吸収体３０は、一定周期でＹ
ＡＧレーザを反射しない状態と全反射する状態に切り替
わり、Ｑ−スイッチとして動作することとなり、高周波
の第１の波長の１０６４ｎｍのレーザ光をパルス発振す
る。

【００１２】また、ＹＡＧ結晶６の光軸上の、平面ミラ
ーＭ1及びＱ−スイッチ型全反射ミラーＭａと反対側に
は、凹面状の二向色性ミラーＭ0が配置されている。二
向色性ミラーＭ0は、第１の波長である１０６４ｎｍの
ＹＡＧレーザを全反射し、後述するＫＴＰ結晶２により
発振される第２の波長である５３２ｎｍのレーザ光をほ
とんど１００％透過させる様に構成されている。二向色
性ミラーＭ0の背部にはこのミラーの角度を調整するた
めの角度調整機構６３が配置されている。角度調整機構
６３もコンピュータ制御システムＭＡＣに接続されてい
る。

【００１３】また、ＹＡＧ結晶６で発振されたレーザ光
の二向色性ミラーＭ0への入射角φは、１２.８７°に設
定されている。この１２.８７°という値は、図３のグ
ラフに示すように、図１に示す光学系の非点収差がゼロ
になる角度である。ここで、図３は、入射角φと非点収
差の関係を示したグラフであり、図中縦軸は非点収差の
大きさを実質的に表わすε／ｓを示しており、横軸は入
射角φを示している。また、図中の曲線Ａ,Ｂ,Ｃは、そ
れぞれ図４に示す計算結果をプロットしたものであり、
この実施形態では、ＫＴＰ結晶の厚さｈを５.８３ｍｍ
としているので、曲線Ｂがその特性を示している。な
お、ｎは屈折率を表わす。光学系の非点収差を略１００
％補償するためには、入射角φを１２.８７°に設定す
る必要があるが、入射角φを５°〜２０°程度の範囲に
すれば従来の４５°に比較して非点収差ははるかに小さ
くなり、実際上は問題にならない程度に抑えることが出
来る。

【００１４】一方、二向色性ミラーＭ0で反射されたレ
ーザ光の光軸上には、非線形結晶ＫＴＰ（カリウムチタ
ン燐酸：ＫＴｉＰＯ₄）２が、第２のレーザ媒体として
配置されている。ＫＴＰ結晶２はステージ６１上に配置
されており、このステージ６１をステッピングモータ６
０で、レーザ光の光軸と直行する方向に移動させること
により、図１に示すようにＫＴＰ結晶２がレーザ光の光
軸上に位置する状態と、光軸上から退避した状態とが第
２の切り替え手段の１つにより自動または手動で選択的
に切り替えられる。また、ＫＴＰ結晶２の背部には、こ
のＫＴＰ結晶２の角度を調整するための角度調整機構６
２が配置されており、角度調整機構６２は、コンピュー
タ制御システムＭＡＣに接続されている。

【００１５】ＫＴＰ結晶２は、二向色性ミラーＭ0の凹
面によりＹＡＧレーザが集光される焦点位置に配置され
ている。ＫＴＰ結晶２は、ＹＡＧレーザを励起光源とし
て、５３２ｎｍの波長のレーザ光を発振する。このと
き、集光されたＹＡＧレーザの光スポットの直径が小さ
いほどＫＴＰ結晶２を励起するためのエネルギー密度が
向上し、レーザ発振が安定すると共に、発振閾値が低下
する。本実施形態では、上記の様に二向色性ミラーＭ0
へのＹＡＧレーザの入射角φを１２.８７°に設定し、
非点収差を略１００％補償することにより、ＹＡＧレー
ザの光スポット径を小さくし、ＫＴＰ結晶２でのレーザ
発振の安定性の向上と発振閾値の低下を図っている。

【００１６】なお、ＫＴＰ結晶２を挟んで、二向色性ミ
ラーＭ0と対向する位置には、５３２ｎｍのレーザ光を
全反射すると共に１０６４ｎｍのレーザ光を部分反射す
る凹面ミラーＭ2と５３２ｎｍのレーザ光及び１０６４
ｎｍのレーザ光を共に全反射する凹面ミラーＭｂとが配
置されており、二向色性ミラーＭ0とともに、５３２ｎ
ｍのレーザ光の共振器を構成している。そして、この共
振器で発振された５３２ｎｍのレーザ光が二向色性ミラ
ーＭ0を透過し、外部に出力される。なお、凹面ミラー
Ｍ2,Ｍｂは、ステージ５９上に配置されており、このス
テージ５９がステッピングモータ５８によりレーザ光の
光軸と直行する方向に移動されることにより、図１に示
すように凹面ミラーＭ2がレーザ光の光軸上に位置する
状態と、凹面ミラーＭｂがレーザ光の光軸上に位置する
状態とが第２の切り替え手段の１つにより自動または手
動で選択的に切り替わる。また、凹面ミラーＭ2,Ｍｂの
背部にはこれらのミラーの角度を調整するための角度調
整機構５７が設けられており、これらの調整機構によ
り、凹面ミラーＭ2,Ｍｂのレーザ光に対する角度が調整
される。なお、ステッピングモータ５８は、コンピュー
タ制御システムＭＡＳＣに接続されており、角度調整機
構５７は、同じくコンピュータ制御システムＭＡＣに接
続されている。

【００１７】さらに、凹面ミラーＭ2,Ｍｂの後方には、
凹面ミラーＭ2を部分透過した１０６４ｎｍのレーザ光
をコリメーションするためのコリメーションレンズＬが
配置されている。コリメーションレンズＬはステージ５
６上に配置されており、このステージ５６がステッピン
グモータ５５によって、光軸方向に移動されることによ
り、ステージ５６と共に移動される様に構成されてい
る。ステッピングモータ５５はコンピュータ制御システ
ムＭＡＳＣに接続されている。なお、コリメーションレ
ンズＬを透過した１０６４ｎｍのＹＡＧレーザ光は、ミ
ラーＭ3,Ｍ4,Ｍ5,Ｍ6により光路を折り曲げられて、５
３２ｎｍのレーザ光と同じ光軸上に重ねられる。

【００１８】一方、同じ光軸上に重ねられた５３２ｎｍ
のレーザ光と１０６４ｎｍのレーザ光とは、光フィード
バックシステムを構成するためにアンコーティングミラ
ーＭ7によりその一部が取り出される。光フィードバッ
クシステムは、１０６４ｎｍ波長高透過、５３２ｎｍ波
長全反射のフィルターＦ1、１０６４ｎｍ波長全反射、
５３２ｎｍ波長高透過のフィルターＦ2、半導体センサ
Ｄ、光電信号増幅器Ｂ1、光強度の鑑別器及び増幅器Ｂ
2、標準電池Ｓから構成され、１０６４ｎｍあるいは５
３２ｎｍの波長のレーザ光の４〜８％がコンピュータ制
御システムＭＡＣにフィードバックされ、レーザ出力の
制御が行われる。

【００１９】次に、図２は、各レーザ媒体及び各ミラー
の位置関係をより詳細に示した図である。

【００２０】図２においては、平面ミラーＭ1と二向色
性ミラーＭ0との間の距離をｄ1、二向色性ミラーＭ0の
焦点距離をｆ0、二向色性ミラーＭ0の焦点付近から全反
射ミラーＭ2までの距離をＲ2、二向色性ミラーＭ0と凹
面ミラーＭ2との間の距離をｄ2、ＫＴＰ結晶２の厚さを
ｈとして示している。

【００２１】本実施形態においては、ｄ1＝５８３ｍ
ｍ、ｆ0＝５０ｍｍ、Ｒ2＝５０ｍｍに設定されており、
ｄ2＝ｆ0＋Ｒ2＋Δ＝５０＋５０＋４.２９＝１０４.２
９ｍｍに設定されている。ここで、Δで表わされる領域
は安定域であり、この領域内にＫＴＰ結晶２を位置させ
る様にするものである。また、ＫＴＰ結晶２は、その厚
みｈが大きくなるほどレーザ光の出力は増加するが、逆
に厚みが厚くなるほどレーザ光のＫＴＰ結晶内部での吸
収が起こるため、それらのバランスから本実施形態では
その厚みｈを５.８３ｍｍに設定している。

【００２２】次に、上記の様に構成される２波長多方式
発振レーザ装置２０の動作について説明する。

【００２３】まず、レーザ装置２０を動作させる前段階
として、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１３を点灯させて、レーザ装
置２０の各ミラー及びレーザ媒体の位置合わせを行っ
た。Ｈｅ−Ｎｅレーザは赤色の可視光であるため、この
レーザをガイド光として、各ミラー及びレーザ媒体の光
軸合わせ及び角度合わせを行った。具体的には、Ｈｅ−
Ｎｅレーザビームは１０６４ｎｍ波長全反射の平面ミラ
ーＭ1、１０６４ｎｍ波長部分反射、５３２ｎｍ波長全
反射の凹面ミラーＭ2、１０６４ｎｍ波長全反射、５３
２ｎｍ波長全透過の二向色性ミラーＭ0をそれぞれ透過
して、各ミラーによる反射ガイドビームを元のＨｅ−Ｎ
ｅレーザ１３の出射口に戻る様に調整した。

【００２４】次に、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１４を点灯させ
て、１０６４ｎｍ波長４５°全反射平面ミラーＭ4、１
０６４ｎｍ波長４５°全反射平面ミラーＭ3、コリメー
ションレンズＬを透過して、レーザ共振器に進入したレ
ーザ光の反射光を、もとのＨｅ−Ｎｅレーザ１４の出射
口に戻る様に調整した。

【００２５】つぎに、ステッピングモータ５４を駆動し
てＱ−スイッチ型全反射ミラーＭａをＹＡＧレーザの光
軸上に移動させ、さらに光軸調整機構５２ｂによりミラ
ーＭａの角度を調整し、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１４の反射光
が、その出射口に戻る様に調整した。

【００２６】以上により、光学系の調整が終了し、Ｈｅ
−Ｎｅレーザ１３,１４をレーザの光路上から取り外し
た。

【００２７】次に、本実施形態における多方式のレーザ
光を発振させる手順について説明する。

【００２８】（１）高周波数（1KHz〜10KHz）パルス発
振の１０６４ｎｍ波長レーザと高周波数（1KHz〜10KH
z）パルス発振の５３２ｎｍ波長レーザの同時出力 まず、上記の様にして調節された光学系において、ステ
ッピングモータ６０を駆動し、ＫＴＰ結晶をビームウエ
スト、すなわち光軸上に挿入した。Ｎｄ：ＹＡＧ結晶６
を励起するための連続高圧Ｋｒアークランプを点灯さ
せ、電気入力をレーザー発振閾値以上にし、高周波数
（1KHz〜10KHz）パルス１０６４ｎｍのレーザ光と、高
周波数（1KHz〜10KHz）パルス５３２ｎｍ波長のレーザ
光を同時に発振させた。光パワーメータを用いて、２波
長のレーザー出力を測定したところ、最初の出力は設定
値よりやや低いが、数秒後その出力値が自動的に設定値
に到達した。

【００２９】（２）高周波数（1KHz〜10KHz）パルス発
振の１０６４ｎｍ波長レーザの単独出力 （１）の操作の後、ステッピングモータ６０を駆動し、
ＫＴＰ結晶２をビームウエスト、すなわち光軸上から退
避させた。１０６４ｎｍ波長部分反射及び５３２ｎｍ波
長全反射の凹面ミラーＭ2、飽和可能な吸収結晶Ｑ−ス
イッチを有する１０６４ｎｍ波長全反射の平面ミラーＭ
ａ、１０６４ｎｍ波長全反射及び５３２ｎｍ波長全透過
の二向色性ミラーＭ０を用いてレーザの発振を行い、高
周波数（1KHz〜10KHz）パルス発振の波長１０６４ｎｍ
のレーザがＭ2から単独に出力できた。

【００３０】（３）連続発振の５３２ｎｍ波長レーザの
単独出力 （２）の操作の後、ステッピングモータ５４を駆動し、
Ｑ−スイッチ型全反射ミラーＭａをＹＡＧレーザの光軸
上から退避させ、平面ミラーＭ1をＹＡＧレーザの光軸
上に挿入した。また、ステッピングモータ６０を駆動
し、ＫＴＰ結晶２をビームウエスト、すなわちレーザ光
の光軸上に挿入した。１０６４ｎｍ波長及び５３２ｎｍ
波長全反射の凹面ミラーＭｂ、１０６４ｎｍ波長全反射
の平面ミラーＭ1、１０６４ｎｍ波長全反射及び５３２
ｎｍ波長全透過の二向色性ミラーＭ0の３ミラー折り返
し共振器により連続発振の５３２ｎｍ波長レーザを二向
色性ミラーＭ0から単独出力させることができた。

【００３１】（４）高周波数（1KHz〜10KHz）パルス発
振の５３２ｎｍ波長レーザの単独出力 （３）の操作の後、ステッピングモータ５４を駆動し、
平面ミラーＭ1をＹＡＧレーザの光軸上から退避させ、
Ｑ−スイッチ型全反射ミラーＭａを光軸上に挿入した。
Ｑ−スイッチ型全反射ミラーＭａ、二向色性ミラーＭ
0、ＫＴＰ結晶２、凹面ミラーＭｂから構成される３ミ
ラー折り返し共振器により、高周波数（1KHz〜10KHz）
パルス発振の５３２ｎｍ波長のレーザがＭ0から単独出
力できた。

【００３２】（５）連続発振１０６４ｎｍ波長のレーザ
及び連続発振５３２ｎｍ波長レーザの同時出力 （４）の操作の後、ステッピングモータ５４を駆動し、
Ｑ−スイッチ型全反射ミラーＭａをＹＡＧレーザの光軸
上から退避させ、平面ミラーＭ1を光軸上に挿入した。
さらに、ステッピングモータ５８を駆動し、凹面ミラー
Ｍｂを光軸上から退避させ、凹面ミラーＭ2を光軸上に
挿入した。１０６４ｎｍ波長部分反射及び５３２ｎｍ波
長全反射の凹面ミラーＭ2、１０６４ｎｍ波長全反射及
び５３２ｎｍ波長全透過の二向色性ミラーＭ0、ＫＴＰ
結晶２から構成される３ミラー折り返し共振器により、
Ｍ2から連続発振１０６４ｎｍ波長のレーザ、Ｍ0から連
続発振５３２ｎｍ波長のレーザが同時に出力できた。

【００３３】（６）連続発振１０６４ｎｍ波長のレーザ
の単独出力 （５）の操作の後、ステッピングモータ６０を駆動して
ＫＴＰ結晶２を光軸から退避させた。平面ミラーＭ1、
凹面ミラーＭ2、二向色性ミラーＭ0から構成される３ミ
ラー折り返し共振器により、Ｍ2から連続発振１０６４
ｎｍ波長のレーザを単独出力させることができた。

【００３４】以上説明した様に、本実施形態の２波長多
方式発振レーザ装置を用いれば、１台の装置で上述した
（１）〜（６）のような１０６４ｎｍ及び５３２ｎｍ波
長のレーザの６方式の出力ができ、高精度、多機能を持
つ効果がある。

【００３５】なお、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲
で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可能
である。

【００３６】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明に係わる２波
長多方式発振レーザ装置によれば、第１のレーザ光の光
路上に、全反射ミラーとＱ−スイッチを選択的に出入り
可能とすることにより、連続発振とパルス発振とを切り
替えることができ、且つ第２のレーザ媒体を光軸上に出
入り可能に設けると共に第２の凹面鏡と第３の凹面鏡を
光軸上に選択的に出入り可能に配置することにより、第
１のレーザ光の単独発振、第２のレーザ光の単独発振、
及び第１及び第２のレーザ光の同時発振を行うことが出
来る。従って、２波長のレーザ光を多方式で発振させる
ことが出来る２波長多方式発振レーザ装置が提供され
る。

【００３７】

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態の２波長多方式発振レーザ装置の全
体平面図である。

【図２】各レーザ媒体及び各ミラーの位置関係をより詳
細に示した図である。

【図３】入射角φと非点収差の関係を示したグラフであ
る。

【図４】入射角φと非点収差の関係を示した図である。

【符号の説明】

Ｍ0 二向色性ミラー（対１０６４ｎｍレーザ光全反
射、対５３２ｎｍレーザ光９０％以上透過） Ｍ1 平面ミラー（対１０６４ｎｍレーザ光全反射） Ｍ2 凹面ミラー（対１０６４ｎｍレーザ光部分反射、
対５３２ｎｍレーザ光全反射） Ｍａ Ｑ−スイッチ型全反射ミラー（対１０６４ｎｍレ
ーザ光全反射及び可飽和吸収） Ｍｂ 凹面ミラー（対１０６４ｎｍレーザ光及び５３２
ｎｍレーザ光全反射） ２ ＫＴＰ結晶 ６ Ｎｄ：ＹＡＧ結晶 ７ Ｋｒアークランプ ８ 基台 １３,１４ Ｈｅ−Ｎｅレーザ ２０ 収差全補償型固体レーザ共振器 ２１ 冷却水循環パイプ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の波長の第１のレーザ光を発振する
   ための第１のレーザ媒体と、 前記第１のレーザ光を全反射する全反射ミラー及び前記
   第１のレーザ光を全反射する状態と吸収する状態とが周
   期的に切り替わるＱ−スイッチを前記第１のレーザ媒体
   の光軸上に選択的に出入り可能にする第１の切り替え手
   段と、 前記第１のレーザ媒体の光軸上の前記全反射ミラー及び
   Ｑ−スイッチの反対側に配置され、前記第１のレーザ光
   を５°〜２０°の角度で全反射させるとともに、前記第
   １のレーザ光を所定の集光位置に集光させる第１の凹面
   鏡と、 前記集光位置近傍に光軸上に出入り可能に配置され、前
   記第１のレーザ光の励起により第２の波長の第２のレー
   ザ光を発振する第２のレーザ媒体と、 前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光を全反射させ
   る第２の凹面鏡及び前記第１のレーザ光を部分透過させ
   前記第２のレーザ光を全反射させる第３の凹面鏡を前記
   第１の凹面鏡で全反射された第１のレーザ光の光軸上に
   選択的に出入り可能にする第２の切り替え手段と、 前記第３の凹面鏡を透過した前記第１のレーザ光の光路
   を変更して、前記第１の凹面鏡を透過して外部に出射さ
   れる第２のレーザ光と同じ光軸上にのせる光路変更手段
   とを具備することを特徴とする２波長多方式発振レーザ
   装置。
2. 【請求項２】 前記第１のレーザ媒体はＹＡＧ結晶であ
   り、前記第２のレーザ媒体はＫＴＰ結晶であることを特
   徴とする請求項１に記載の２波長多方式発振レーザ装
   置。