JPH0936700A - 弾性表面波遅延線および通信装置および通信システム - Google Patents
弾性表面波遅延線および通信装置および通信システムInfo
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- JPH0936700A JPH0936700A JP18382395A JP18382395A JPH0936700A JP H0936700 A JPH0936700 A JP H0936700A JP 18382395 A JP18382395 A JP 18382395A JP 18382395 A JP18382395 A JP 18382395A JP H0936700 A JPH0936700 A JP H0936700A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- input
- delay line
- communication device
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02D—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGIES [ICT], I.E. INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGIES AIMING AT THE REDUCTION OF THEIR OWN ENERGY USE
- Y02D30/00—Reducing energy consumption in communication networks
- Y02D30/70—Reducing energy consumption in communication networks in wireless communication networks
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Small-Scale Networks (AREA)
- Mobile Radio Communication Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】弾性表面波遅延線の母材となる弾性表面波基板
1より電気機械結合係数の大きい薄膜材料、もしくは弾
性表面波モードを入出力すだれ状電極3、7の部分に適
用し、入出力すだれ状電極3、7の部分の電気機械結合
係数が伝搬路部分より大きくする。 【効果】遅延時間温度特性が良好で、低損失な弾性表面
波遅延線が得られるため、通信装置の低消費電力化を高
安定にでき、高性能(安定で、バッテリ消費量の少な
い)の通信システムが実現できる。
1より電気機械結合係数の大きい薄膜材料、もしくは弾
性表面波モードを入出力すだれ状電極3、7の部分に適
用し、入出力すだれ状電極3、7の部分の電気機械結合
係数が伝搬路部分より大きくする。 【効果】遅延時間温度特性が良好で、低損失な弾性表面
波遅延線が得られるため、通信装置の低消費電力化を高
安定にでき、高性能(安定で、バッテリ消費量の少な
い)の通信システムが実現できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波遅延線及び通
信装置及び通信システムに関する。
信装置及び通信システムに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の弾性表面波遅延線は、例えば、エ
レクトロニクスレターズ 1977年13巻19号(E
LECTRONICS LETTERS 1977 V
ol.13 No.19)の第586頁から588頁
(p.586−p.588)に記載されているように、
すだれ状電極部分と表面波伝搬部分は同一の基板をもち
いていた。
レクトロニクスレターズ 1977年13巻19号(E
LECTRONICS LETTERS 1977 V
ol.13 No.19)の第586頁から588頁
(p.586−p.588)に記載されているように、
すだれ状電極部分と表面波伝搬部分は同一の基板をもち
いていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】通常、遅延線はその入
出力間の信号伝達遅延時間をできる限り一定としなけれ
ばならない。従って、基板材料は温度係数の小さい水晶
等の基板を用いるのが普通である。しかし、一般に、温
度係数の小さい基板材料は電気機械結合係数が小さく
(例えば、ST−X水晶は1次の温度係数が0であるこ
とが知られているが、その電気機械結合系数k2は0.
116%で、通常の表面波基板より1桁程度小さ
い。)、上述のように従来の弾性表面波遅延線では、す
だれ状電極部分と表面波伝搬部分は同一の基板を用いて
いたため、遅延線のインピーダンスが大きくなり、外部
回路とのミスマッチロスが大きくなってしまう。
出力間の信号伝達遅延時間をできる限り一定としなけれ
ばならない。従って、基板材料は温度係数の小さい水晶
等の基板を用いるのが普通である。しかし、一般に、温
度係数の小さい基板材料は電気機械結合係数が小さく
(例えば、ST−X水晶は1次の温度係数が0であるこ
とが知られているが、その電気機械結合系数k2は0.
116%で、通常の表面波基板より1桁程度小さ
い。)、上述のように従来の弾性表面波遅延線では、す
だれ状電極部分と表面波伝搬部分は同一の基板を用いて
いたため、遅延線のインピーダンスが大きくなり、外部
回路とのミスマッチロスが大きくなってしまう。
【0004】本発明の目的は、温度による遅延時間の変
動を抑えたまま、遅延線のインピーダンスを下げ、外部
回路とのミスマッチを小さくした新規な弾性表面波遅延
線構造を提供する事にある。
動を抑えたまま、遅延線のインピーダンスを下げ、外部
回路とのミスマッチを小さくした新規な弾性表面波遅延
線構造を提供する事にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、弾性表面
波遅延線の母材となる弾性表面波基板より電気機械結合
係数の大きい薄膜材料、もしくは弾性表面波モードを入
出力すだれ状電極の部分に適用し、入出力すだれ状電極
の部分の電気機械結合係数が伝搬路部分より大きくする
ことにより達成される。
波遅延線の母材となる弾性表面波基板より電気機械結合
係数の大きい薄膜材料、もしくは弾性表面波モードを入
出力すだれ状電極の部分に適用し、入出力すだれ状電極
の部分の電気機械結合係数が伝搬路部分より大きくする
ことにより達成される。
【0006】
【作用】通常、弾性表面波遅延線では広帯域特性が要求
されるため、入出力すだれ状電極の電極対数は少なく、
すだれ状電極間の伝搬路部分に対して、充分短いため、
すだれ状電極部分の温度変動による遅延時間変動が、遅
延線全体の遅延時間に与える影響は小さい。従って、上
述のように温度特性が悪く、電気機械結合係数が大きい
薄膜材料、もしくは弾性波モードをすだれ状電極部分に
のみ適用しても、遅延線の遅延時間に与える影響は小さ
いため、全体として、遅延時間特性変動が小さく、低イ
ンピーダンス特性(低損失)が得られる。
されるため、入出力すだれ状電極の電極対数は少なく、
すだれ状電極間の伝搬路部分に対して、充分短いため、
すだれ状電極部分の温度変動による遅延時間変動が、遅
延線全体の遅延時間に与える影響は小さい。従って、上
述のように温度特性が悪く、電気機械結合係数が大きい
薄膜材料、もしくは弾性波モードをすだれ状電極部分に
のみ適用しても、遅延線の遅延時間に与える影響は小さ
いため、全体として、遅延時間特性変動が小さく、低イ
ンピーダンス特性(低損失)が得られる。
【0007】
【実施例】以下、図1から図10を用いて本発明の実施
例について説明する。
例について説明する。
【0008】図1は本発明を用いた弾性表面波遅延線を
模式的に示したものである。弾性表面波基板1としてS
T−X水晶(電気機械結合係数k2=0.116%)を
用いており、入力端子2に入力すだれ状電極3が接続さ
れ、同端子に電源インピーダンス4および電源5が接続
されている。出力端子6には出力すだれ状電極7および
負荷インピーダンス8が接続されている。入出力すだれ
状電極3、7部分にのみST−X水晶基板より電気機械
結合係数k2が大きい(通常1%程度)ZnO薄膜9が
形成され、良好な温度特性と、低損失化が図られてい
る。また、基板端面からの反射波を抑圧するため、吸音
材10が塗布されている。本実施例では弾性表面波基板
1としてST−X水晶基板を用いたが、表面波の励起は
すだれ状電極部分で行われるため、基板は遅延時間温度
特性に優れた非圧電体でも良い。また、本実施例では圧
電薄膜材料として、ZnO薄膜を用いたが、AlN、L
iNbO3等、電機機械結合係数の大きい他の材料を用
いても良い。
模式的に示したものである。弾性表面波基板1としてS
T−X水晶(電気機械結合係数k2=0.116%)を
用いており、入力端子2に入力すだれ状電極3が接続さ
れ、同端子に電源インピーダンス4および電源5が接続
されている。出力端子6には出力すだれ状電極7および
負荷インピーダンス8が接続されている。入出力すだれ
状電極3、7部分にのみST−X水晶基板より電気機械
結合係数k2が大きい(通常1%程度)ZnO薄膜9が
形成され、良好な温度特性と、低損失化が図られてい
る。また、基板端面からの反射波を抑圧するため、吸音
材10が塗布されている。本実施例では弾性表面波基板
1としてST−X水晶基板を用いたが、表面波の励起は
すだれ状電極部分で行われるため、基板は遅延時間温度
特性に優れた非圧電体でも良い。また、本実施例では圧
電薄膜材料として、ZnO薄膜を用いたが、AlN、L
iNbO3等、電機機械結合係数の大きい他の材料を用
いても良い。
【0009】図2は本発明の第1実施例の弾性表面波遅
延線の断面図を示し、圧電薄膜構造の例を示したもので
ある。(a)は基板1上にすだれ状電極の電極部分11
(入力)、11’(出力)が形成され、その上に圧電薄
膜9、9’が形成されている。(b)では(a)と同様
の構造で、圧電薄膜9、9’上に電極12、12’が形
成されている。(c)では基板1上に圧電薄膜9、9’
が形成されその上にすだれ状電極の電極部分11(入
力)、11’(出力)が形成されている。(d)では
(c)と同じ構造で、基板1と圧電薄膜9、9’間に電
極12、12’が設けられている。それぞれ、圧電薄膜
9、9’の厚さと結合係数の間には密接な関係があり、
図のそれぞれの場合で、異なるプロファイルを持つ。第
1実施例では(a)の構造を採用している。この構造は
少し厚めに圧電薄膜を形成しなければならないが、工程
が少なく、容易に形成が可能で、電極間のショート欠陥
が少ない等の利点を有する。
延線の断面図を示し、圧電薄膜構造の例を示したもので
ある。(a)は基板1上にすだれ状電極の電極部分11
(入力)、11’(出力)が形成され、その上に圧電薄
膜9、9’が形成されている。(b)では(a)と同様
の構造で、圧電薄膜9、9’上に電極12、12’が形
成されている。(c)では基板1上に圧電薄膜9、9’
が形成されその上にすだれ状電極の電極部分11(入
力)、11’(出力)が形成されている。(d)では
(c)と同じ構造で、基板1と圧電薄膜9、9’間に電
極12、12’が設けられている。それぞれ、圧電薄膜
9、9’の厚さと結合係数の間には密接な関係があり、
図のそれぞれの場合で、異なるプロファイルを持つ。第
1実施例では(a)の構造を採用している。この構造は
少し厚めに圧電薄膜を形成しなければならないが、工程
が少なく、容易に形成が可能で、電極間のショート欠陥
が少ない等の利点を有する。
【0010】図3は第1実施例の弾性表面波遅延線の周
波数特性(b)を従来の弾性表面波遅延線(a)と比較
して示している。測定は50Ω系で行った。遅延時間は
1μsで、温度特性は(a)、(b)でほぼ同等であ
り、18dBの損失改善効果が得られている。以上、本
実施例によれば遅延時間温度特性を殆ど劣化させずに、
低損失化が可能となる。
波数特性(b)を従来の弾性表面波遅延線(a)と比較
して示している。測定は50Ω系で行った。遅延時間は
1μsで、温度特性は(a)、(b)でほぼ同等であ
り、18dBの損失改善効果が得られている。以上、本
実施例によれば遅延時間温度特性を殆ど劣化させずに、
低損失化が可能となる。
【0011】図4は本発明の第2、3実施例の弾性表面
波遅延線の断面図であり、弾性表面波モードを変えて、
すだれ状電極部分の結合係数を増加させる方法を示し
た。図中(a)は電極13、13’としてAu等の密度
の大きい材料を用い、結合係数の大きいラブ波モードの
表面波を励起している。(b)では基板の厚さを薄くし
て、表面と裏面に電極14、14’(表面)、電極1
5、15’(裏面)を配置して、ラム波モードの波を発
生している。基板1の裏面は凹部16、16’が設けら
れ、部分的にラム波モードの弾性波を励起している。以
上、第2実施例では、電極材料を換えるだけで効果が得
られるため、作成が容易である。また、第3実施例を用
いれば、表面波速度を遅くすることができるため、低周
波デバイスを容易に作成することができる。
波遅延線の断面図であり、弾性表面波モードを変えて、
すだれ状電極部分の結合係数を増加させる方法を示し
た。図中(a)は電極13、13’としてAu等の密度
の大きい材料を用い、結合係数の大きいラブ波モードの
表面波を励起している。(b)では基板の厚さを薄くし
て、表面と裏面に電極14、14’(表面)、電極1
5、15’(裏面)を配置して、ラム波モードの波を発
生している。基板1の裏面は凹部16、16’が設けら
れ、部分的にラム波モードの弾性波を励起している。以
上、第2実施例では、電極材料を換えるだけで効果が得
られるため、作成が容易である。また、第3実施例を用
いれば、表面波速度を遅くすることができるため、低周
波デバイスを容易に作成することができる。
【0012】図5は第4実施例の本発明を用いたDPS
K(Differential Phase Shif
t Keying)遅延検波回路を示している。本発明
の弾性表面波遅延線17の遅延時間量は1情報ビットの
周期に相当する。1ビット遅れさせた信号と現在の信号
をミキサ18で乗算している。以上、本実施例のように
本発明の弾性表面波遅延線を用いれば、温度による遅延
時間変動が小さく、損失の小さい回路が得られ、増幅器
等の低電流化を果すことができる。
K(Differential Phase Shif
t Keying)遅延検波回路を示している。本発明
の弾性表面波遅延線17の遅延時間量は1情報ビットの
周期に相当する。1ビット遅れさせた信号と現在の信号
をミキサ18で乗算している。以上、本実施例のように
本発明の弾性表面波遅延線を用いれば、温度による遅延
時間変動が小さく、損失の小さい回路が得られ、増幅器
等の低電流化を果すことができる。
【0013】図6は本発明を用いたスペクトラム拡散通
信装置のシステムのブロック図である。入力情報信号は
入力端子19より入力され、混合器20により擬似雑音
コード発生器21からの信号と乗算され、さらに混合器
22により発振器23からの搬送波と乗算され、増幅器
24により増幅されアンテナ25より出力される。受信
系ではアンテナ25より取り込まれた受信信号は増幅器
26により増幅され、SAWマッチドフィルタ27によ
り整合信号に変換され、本発明の弾性表面波遅延線28
により遅延させられた1情報ビット前の信号と混合器2
9により乗算することにより検波され、方形波出力回路
30によりデジタル信号に変換され出力端子31から出
力される。本実施例では本発明の弾性表面波遅延線28
を用い遅延検波を行っているため、検波回路をより簡単
に、しかも低電流で、温度変動等に対して安定して、検
波信号が得られるという特長を有する。
信装置のシステムのブロック図である。入力情報信号は
入力端子19より入力され、混合器20により擬似雑音
コード発生器21からの信号と乗算され、さらに混合器
22により発振器23からの搬送波と乗算され、増幅器
24により増幅されアンテナ25より出力される。受信
系ではアンテナ25より取り込まれた受信信号は増幅器
26により増幅され、SAWマッチドフィルタ27によ
り整合信号に変換され、本発明の弾性表面波遅延線28
により遅延させられた1情報ビット前の信号と混合器2
9により乗算することにより検波され、方形波出力回路
30によりデジタル信号に変換され出力端子31から出
力される。本実施例では本発明の弾性表面波遅延線28
を用い遅延検波を行っているため、検波回路をより簡単
に、しかも低電流で、温度変動等に対して安定して、検
波信号が得られるという特長を有する。
【0014】図7は本発明とIF回路を用いたスペクト
ラム拡散通信装置のシステムのブロック図である。本実
施例では、特に受信部において、増幅器26で増幅され
たRF受信信号に発信器33から生じる搬送波をミキサ
32により乗算し、中間周波(IF)信号に変換され
る。RF信号の周波数が高く(例えば2.4GHz
帯)、SAWマッチドフィルタ27、弾性表面波遅延線
28、ミキサ29等の動作が難しい場合に有効である。
ラム拡散通信装置のシステムのブロック図である。本実
施例では、特に受信部において、増幅器26で増幅され
たRF受信信号に発信器33から生じる搬送波をミキサ
32により乗算し、中間周波(IF)信号に変換され
る。RF信号の周波数が高く(例えば2.4GHz
帯)、SAWマッチドフィルタ27、弾性表面波遅延線
28、ミキサ29等の動作が難しい場合に有効である。
【0015】図8は本発明を用いたDPSK通信装置の
システムのブロック図である。入力情報信号は入力端子
34より入力され、混合器35により発振器36からの
搬送波と乗算され、増幅器37により増幅されアンテナ
38より出力される。受信系ではアンテナ38より取り
込まれた受信信号は増幅器39により増幅され、本発明
の弾性表面波遅延線40により遅らされた1情報ビット
前の信号と混合器41により乗算することにより検波さ
れ、波形整形回路42によりデジタル信号に変換され出
力端子43から出力される。本実施例では本発明の弾性
表面波遅延線40を用い遅延検波を行っているため、検
波回路をより簡単に、しかも低電流で、安定した検波信
号が得られる。
システムのブロック図である。入力情報信号は入力端子
34より入力され、混合器35により発振器36からの
搬送波と乗算され、増幅器37により増幅されアンテナ
38より出力される。受信系ではアンテナ38より取り
込まれた受信信号は増幅器39により増幅され、本発明
の弾性表面波遅延線40により遅らされた1情報ビット
前の信号と混合器41により乗算することにより検波さ
れ、波形整形回路42によりデジタル信号に変換され出
力端子43から出力される。本実施例では本発明の弾性
表面波遅延線40を用い遅延検波を行っているため、検
波回路をより簡単に、しかも低電流で、安定した検波信
号が得られる。
【0016】図9はIF回路を用いたDPSK通信装置
のシステムのブロック図である。本実施例では、特に受
信部において、増幅器39で増幅されたRF受信信号に
発振器45から生じる搬送波をミキサ44により乗算
し、中間周波(IF)信号に変換される。RF信号の周
波数が高く(例えば2.4GHz帯)、弾性表面波遅延
線40、ミキサ41等の動作が難しい場合に有効であ
る。
のシステムのブロック図である。本実施例では、特に受
信部において、増幅器39で増幅されたRF受信信号に
発振器45から生じる搬送波をミキサ44により乗算
し、中間周波(IF)信号に変換される。RF信号の周
波数が高く(例えば2.4GHz帯)、弾性表面波遅延
線40、ミキサ41等の動作が難しい場合に有効であ
る。
【0017】図10は本発明を用いた通信システムを示
している。本実施例はLANに本方式の通信装置を用い
たものである。LAN用ケーブル46に本通信装置4
9、50が接続され、各端末47、52には本通信装置
48、51が接続されている。また、各端末53、56
に本通信装置54、55を接続し、各端末間で(有線系
を介さず)自由に通信を行うことができる。本実施例を
用いれば、各端末ではLANケーブルに接続する必要が
無いため、端末を自由に動かす事(レイアウト)ができ
る。
している。本実施例はLANに本方式の通信装置を用い
たものである。LAN用ケーブル46に本通信装置4
9、50が接続され、各端末47、52には本通信装置
48、51が接続されている。また、各端末53、56
に本通信装置54、55を接続し、各端末間で(有線系
を介さず)自由に通信を行うことができる。本実施例を
用いれば、各端末ではLANケーブルに接続する必要が
無いため、端末を自由に動かす事(レイアウト)ができ
る。
【0018】
【発明の効果】本発明によれば、遅延時間温度特性が良
好で、低損失な弾性表面波遅延線が得られるため、通信
装置の低消費電力化を高安定に達成でき、高性能(安定
で、バッテリ消費量の少ない)な通信システムが実現で
きる。
好で、低損失な弾性表面波遅延線が得られるため、通信
装置の低消費電力化を高安定に達成でき、高性能(安定
で、バッテリ消費量の少ない)な通信システムが実現で
きる。
【図1】本発明の第1実施例の弾性表面波遅延線の説明
図。
図。
【図2】本発明の第1実施例の弾性表面波遅延線の断面
図。
図。
【図3】本発明の弾性表面波遅延線の周波数特性図。
【図4】本発明の第2、3実施例の弾性表面波遅延線の
断面図。
断面図。
【図5】弾性表面波遅延線を用いた遅延検波方式のブロ
ック図。
ック図。
【図6】本発明の弾性表面波遅延線を用いたスペクトラ
ム拡散通信装置のブロック図。
ム拡散通信装置のブロック図。
【図7】本発明の弾性表面波遅延線とIF回路を用いた
スペクトラム拡散通信装置のブロック図。
スペクトラム拡散通信装置のブロック図。
【図8】本発明の弾性表面波遅延線を用いたDPSK通
信装置のブロック図。
信装置のブロック図。
【図9】本発明の弾性表面波遅延線とIF回路を用いた
DPSK通信装置のブロック図。
DPSK通信装置のブロック図。
【図10】本発明の通信装置を用いた無線LAN通信シ
ステムのブロック図。
ステムのブロック図。
1…弾性表面波基板、 3…入力すだれ状電極、 7…出力すだれ状電極、 9…圧電薄膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 康博 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所マルチメディアシステム開 発本部内 (72)発明者 山田 佳弘 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所マルチメディアシステム開 発本部内 (72)発明者 茂木 稔 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所情報映像事業部内
Claims (8)
- 【請求項1】弾性表面波基板上に、電気信号を弾性表面
波に変換する入出力すだれ状電極が1組以上配置され、
上記入出力電極の相互間に表面波伝搬路が配置された弾
性表面波遅延線において、上記入出力すだれ状電極の部
分の表面波に対する電気機械結合係数が伝搬路部分より
大きいことを特徴とする弾性表面波遅延線。 - 【請求項2】上記入出力すだれ状電極部分の電気機械結
合係数を増加させるため、母体となる上記弾性表面基板
より表面波に対する電気機械結合係数が大きい圧電薄膜
材料を配置した請求項1に記載の弾性表面波装置。 - 【請求項3】上記入出力すだれ状電極部分の表面波に対
する電気機械結合係数を増加させるため、母体となる弾
性表面基板として水晶、圧電薄膜材料としてZnO薄膜
を配置した請求項2に記載の弾性表面波装置。 - 【請求項4】上記入出力すだれ状電極部分の表面波に対
する電気機械結合係数を増加させる手段として、母体と
なる弾性表面基板より電気機械結合係数が大きい弾性波
モードを利用した請求項1に記載の弾性表面波装置。 - 【請求項5】請求項1、2、3または4に記載の上記弾
性表面波遅延線を用いた通信装置。 - 【請求項6】請求項1、2、3または4に記載の上記弾
性表面波遅延線をDPSK変調された信号の復調用途に
用いた請求項5に記載の通信装置。 - 【請求項7】上記通信装置が、情報帯域にたいして通信
帯域を拡げて送信する、スペクトラム拡散通信方式を用
いている請求項5に記載の通信装置。 - 【請求項8】請求項5、6または7に記載の通信装置を
用いた通信システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18382395A JPH0936700A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | 弾性表面波遅延線および通信装置および通信システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18382395A JPH0936700A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | 弾性表面波遅延線および通信装置および通信システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0936700A true JPH0936700A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16142480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18382395A Pending JPH0936700A (ja) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | 弾性表面波遅延線および通信装置および通信システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0936700A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015144418A (ja) * | 2013-12-28 | 2015-08-06 | 山之内 和彦 | 可変周波数弾性波変換器とこれを用いた電子装置 |
| JP2015228638A (ja) * | 2013-12-28 | 2015-12-17 | 株式会社弾性波デバイスラボ | 可変周波数弾性波変換器とこれを用いた電子装置 |
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1995
- 1995-07-20 JP JP18382395A patent/JPH0936700A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015144418A (ja) * | 2013-12-28 | 2015-08-06 | 山之内 和彦 | 可変周波数弾性波変換器とこれを用いた電子装置 |
| JP2015228638A (ja) * | 2013-12-28 | 2015-12-17 | 株式会社弾性波デバイスラボ | 可変周波数弾性波変換器とこれを用いた電子装置 |
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