JPH0938403A

JPH0938403A - 溶剤回収装置

Info

Publication number: JPH0938403A
Application number: JP19719795A
Authority: JP
Inventors: Shinpei Tanaka; 信平田中
Original assignee: Taikisha Ltd
Current assignee: Taikisha Ltd
Priority date: 1995-08-02
Filing date: 1995-08-02
Publication date: 1997-02-10
Anticipated expiration: 2015-08-02
Also published as: JP3468924B2

Abstract

(57)【要約】【課題】溶剤回収を継続して能率良く行えるようにす
る。【解決手段】処理対象空気ＥＡ中の溶剤蒸気を冷却に
より凝縮させて、処理対象空気ＥＡから溶剤Ｓを一次回
収する冷却手段５と、一次回収後の空気ＥＡ’が冷却手
段５から供給されることに並行して、この一次回収後の
空気ＥＡ’から残存溶剤蒸気の濃度を高めた濃縮空気Ｈ
Ａ’を連続的に生成する濃縮手段１１と、この濃縮空気
ＨＡ’中の溶剤蒸気を冷却により凝縮させて、濃縮空気
ＨＡ’から溶剤Ｓを二次回収する副冷却手段１５とを設
ける。また、望ましくは、副冷却手段１５から送出され
る二次回収後の空気ＨＡ”を冷却手段５からの一次回収
後の空気ＥＡ’に合流させて濃縮手段１１に供給する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、溶剤蒸気を含む処
理対象空気から溶剤を回収する溶剤回収装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、溶剤回収装置としては、次の
（イ）〜（ニ）の手順で溶剤回収を行うものが提案され
ている（例えば特公平６−２４６０６号公報参照）。（イ）溶剤の蒸気を含む処理対象空気を冷却装置により
冷却することで、溶剤蒸気を凝縮させて処理対象空気か
ら溶剤を一次回収する。また、これに並行して、一次回
収後の空気を活性炭吸着塔に送ることにより、一次回収
後の空気中に残存する溶剤蒸気を活性炭吸着塔で活性炭
に吸着させる。（ロ）活性炭吸着塔における活性炭が飽和状態になって
吸着機能が低下すると、冷却装置に対する処理対象空気
の供給は停止した状態で、活性炭吸着塔と冷却装置との
間で空気循環させながら活性炭吸着塔における活性炭を
加熱し、これにより、吸着溶剤蒸気を活性炭から循環空
気中へ脱着させる脱着再生処理を行うとともに、脱着し
た溶剤蒸気を含む循環空気を冷却装置により冷却するこ
とで、脱着溶剤蒸気を凝縮させて循環空気から溶剤を二
次回収する。（ハ）上記の脱着再生処理が完了して活性炭吸着塔にお
ける活性炭の吸着機能が回復すると、活性炭吸着塔と冷
却装置との間での空気循環、及び、活性炭の加熱を停止
して、冷却装置に対する処理対象空気の供給を再開し、
これにより、上記（イ）の工程に戻る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来装
置では、脱着再生処理を行いながら二次回収する上記
（ロ）の期間中は、処理対象空気の供給を停止して新た
な処理対象空気からの溶剤回収（具体的には冷却装置で
の一次回収、及び、活性炭による残存溶剤蒸気の吸着）
を中断しなければならない為、溶剤回収の能率が低く、
また、この期間中は溶剤蒸気発生域からの処理対象空気
の導出も停止することとなる為、溶剤蒸気発生域おける
溶剤蒸気濃度が高くなって域内での溶剤を用いた諸作業
に悪影響を与える等の域環境の悪化を招く問題もある。

【０００４】そして、これら問題に対処するには、溶剤
回収装置を二基装備して、一方の溶剤回収装置が脱着再
生処理及び二次回収の期間中であるときには、他方の溶
剤回収装置をもって新たな処理対象空気からの溶剤回収
を継続するといったことが必要となるが、この場合、溶
剤回収装置を二基装備する為に装置コストが高く付く問
題が生じる。

【０００５】以上の実情に対し、本発明の主たる課題
は、処理対象空気からの溶剤回収を継続して能率良く行
えるようにする点にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】・請求項１記載の発明で
は、濃縮手段において、冷却手段からの一次回収後の空
気の供給に伴い、この一次回収後の空気から残存溶剤蒸
気の濃度を高めた濃縮空気を連続的に生成することによ
り、冷却手段での処理対象空気からの溶剤一次回収と、
副冷却手段での濃縮空気からの溶剤二次回収とを並行し
て実施することを可能にする。

【０００７】つまり、請求項１記載の発明によれば、処
理対象空気を継続して供給しながら溶剤の一次回収と二
次回収を並行実施でき、これにより、先述の従来装置に
比べ溶剤回収の能率を向上し得る。

【０００８】また、溶剤蒸気発生域からの処理対象空気
の導出も中断なく実施できて、溶剤蒸気発生域での溶剤
蒸気濃度の上昇による域環境の悪化を防止でき、しか
も、新たな処理対象空気からの溶剤回収を継続する為に
溶剤回収装置を二基装備するといったことも不要にでき
て装置コストを安価にしながら、上記の回収能率の向上
と域環境の悪化防止を達成できる。

【０００９】・請求項２記載の発明では、副冷却手段か
ら送出される二次回収後の空気を、冷却手段から送出さ
れる一次回収後の空気に合流させて濃縮手段に供給する
ことにより、濃縮手段において一次回収後の空気と二次
回収後の空気との合流気からから濃縮空気を生成（すな
わち、二次回収後の空気から再び濃縮空気を生成）し、
これにより、二次回収後の空気中に未だ残存する溶剤蒸
気に対して再度、二次回収を施す形態とする。

【００１０】つまり、請求項２記載の発明によれば、二
次回収を行った後の空気中に未だ残る溶剤に対し再度、
二次回収を施して、溶剤の回収効率を向上させることが
できる。

【００１１】・請求項３記載の発明では、濃縮手段にお
いて、冷却手段からの一次回収後の空気の供給に伴い、
この一次回収後の空気から残存溶剤蒸気の濃度を高めた
濃縮空気を連続的に生成することにより、処理対象空気
からの溶剤一次回収と濃縮空気からの溶剤二次回収との
並行実施を可能にし、そして、これら一次回収と二次回
収を並行実施するあたっては、二次回収の対象である濃
縮空気を処理対象空気に合流させて冷却手段に供給する
ことにより、この一の冷却手段をもって処理対象空気か
らの溶剤一次回収と濃縮空気からの溶剤二次回収との双
方を同時に行う形態とする。

【００１２】つまり、請求項３記載の発明によれば、先
述した請求項１記載の発明と同様、処理対象空気を継続
して供給しながら溶剤の一次回収と二次回収を並行実施
できて、溶剤回収の能率を向上でき、また、溶剤蒸気発
生域からの処理対象空気の導出も中断なく実施できて、
溶剤蒸気発生域での溶剤蒸気濃度の上昇による域環境の
悪化を防止でき、さらに、新たな処理対象空気からの溶
剤回収を継続する為に溶剤回収装置を二基装備するとい
ったことも不要にできて装置コストを安価にし得る。

【００１３】また、一の冷却手段をもって一次回収と二
次回収との双方を行うことにより、一次回収用の冷却手
段と二次回収用の冷却手段とを各別に設けるに比べ、全
体装置構成を簡略にして装置製作及び装置設置を容易に
し得る。

【００１４】・請求項４記載の発明では、吸着工程にお
いて一次回収後の空気における残存溶剤蒸気を吸着手段
に吸着させ、この吸着工程で吸着した溶剤蒸気を脱着工
程において吸着手段から、一次回収後の空気よりも小風
量の再生用空気へ脱着（すなわち、再生用空気へ移行）
させ、これにより、一次回収後の空気よりも溶剤蒸気濃
度が高くなる脱着作用後の再生用空気を前記の濃縮空気
として発生させる。

【００１５】そして、吸着工程後の吸着手段を脱着工程
に移行させるに伴い脱着工程後の吸着手段を吸着工程に
移行させる工程移行を繰り返して、吸着工程及び脱着工
程の夫々を継続させることにより、冷却手段からの一次
回収後の空気の供給に並行して、濃縮空気としての脱着
作用後の再生用空気を連続的に生じさせる。

【００１６】つまり、請求項４記載の発明によれば、基
本的濃縮方式としては従来装置と同様の信頼性の高い吸
脱着方式を採用しながら、吸着工程及び脱着工程の夫々
を継続させて、冷却手段からの一次回収後の空気の供給
に伴う濃縮空気の連続的生成を行うことができる。

【００１７】・請求項５記載の発明では、脱着作用後に
おいて二次回収対象の濃縮空気となる再生用空気を予め
除湿しておくことにより、二次回収の際に、溶剤蒸気の
凝縮とともに濃縮空気中の水分が凝縮して、多量の凝縮
水が回収溶剤に混入することを防止する。

【００１８】つまり、請求項５記載の発明によれば、回
収溶剤中に多量の水が混入することを防止できて回収溶
剤の後処理を容易し得る。

【００１９】・請求項６記載の発明では、吸脱着式の濃
縮手段において残存溶剤蒸気を吸着手段により吸着除去
した後の空気（すなわち、残存溶剤蒸気が除去されて清
浄化された一次回収後の空気）を、換気用空気として処
理対象空気の導出域に供給することにより、処理対象空
気の導出と、この換気用空気の供給をもって処理対象空
気の導出域（すなわち、溶剤蒸気発生域）を良好な域内
環境に保つ。

【００２０】つまり、請求項６記載の発明によれば、処
理対象空気の導出域である溶剤蒸気発生域に対し外部か
ら導入した換気用空気を供給するに比べ、溶剤蒸気発生
域を外部に対しクローズド化することができて、域内で
の溶剤を用いた諸作業を外部環境変化の影響を受けるこ
との少ない状態で安定的に実施できる。

【００２１】また、前述の如く、副冷却手段から送出さ
れる二次回収後の空気を冷却手段から送出される一次回
収後の空気に合流させて濃縮手段に供給するといった装
置構成、あるいは、濃縮手段で生成した濃縮空気を処理
対象空気に合流させて冷却手段に供給するといった装置
構成の組み合わせにより、処理対象空気の導出域である
溶剤蒸気発生域を含めた溶剤回収系を外部に対しほぼ完
全にクローズド化することができ、これにより、外部へ
の影響、及び、外部からの影響の少ない良好な溶剤回収
運転を実施できる。

【００２２】

【発明の実施の形態】図１は、電子部品や精密機械部品
などの製造で、製造品の洗浄に用いた洗浄用溶剤を回収
するシステムを示し、１は洗浄用溶剤Ｓ（例えば、Ｎ−
メチル−２−ピロリドンなど）による製造品の洗浄処理
や、洗浄製造品の乾燥処理などを行う洗浄作業域、２は
上記の洗浄処理や乾燥処理で発生した洗浄用溶剤Ｓの蒸
気を含む洗浄作業域１からの排気ＥＡを導く排気路、３
は洗浄作業域１に対して換気用空気ＳＡを供給する給気
路である。

【００２３】排気路２により導く排気ＥＡは、ヒートポ
ンプ装置４の冷却部４ｃにおいて予冷し、続いて、冷却
水コイル６と冷水コイル７を備える主冷却装置５に送
る。

【００２４】主冷却装置５では、溶剤Ｓの一次回収処理
として、装置に導入される排気ＥＡ（すなわち、処理対
象空気）を先ず冷却水コイル６で前段冷却し、続いて、
冷水コイル７でさらに低温に後段冷却し、これら冷却に
より排気ＥＡ中における洗浄用溶剤Ｓの蒸気を凝縮させ
る。そして、凝縮してドレンパン８上に落下する洗浄用
溶剤Ｓの液を回収路９を介して回収タンク１０に送り、
一方、主冷却装置５を通過して洗浄用溶剤Ｓの蒸気濃度
が低下した排気ＥＡ’（すなわち、一次回収後の排気）
は風路Ｄ１を通じて濃縮装置１１に送る。

【００２５】濃縮装置１１は、通気性吸着体（例えば、
活性炭を主材とするもの）を構成要素とするロータ１２
を備え、このロータ１２の回転域を吸着域ａと脱着域ｂ
とに区分した状態でロータ１２を回転させて、ロータ１
２の各部を吸着域ａと脱着域ｂとに交互に位置させる。
また、装置内の仕切り１３により、主冷却装置５からの
排気ＥＡ’（詳しくは後述の合流気ＭＡ）を吸着域ａに
対し通過させ、一方、加熱装置１４から風路Ｄ２を通じ
て供給される高温の再生用空気ＨＡを脱着域ｂに対し通
過させる。

【００２６】つまり、濃縮装置１１では、主冷却装置５
からの排気ＥＡ’中に残存する洗浄用溶剤Ｓの蒸気を吸
着域ａに位置するロータ部分に吸着させる吸着工程と、
この吸着工程で吸着した溶剤蒸気を脱着域ｂに位置する
ロータ部分から再生用空気ＨＡに脱着させる脱着工程と
を実施し、また、これら吸着工程と脱着工程の実施にあ
たり、ロータ１２の回転により、吸着域ａに位置してい
たロータ部分を脱着域ｂに移行させるに伴い脱着域ｂに
位置していたロータ部分を吸着域ａに移行させる工程移
行（すなわち、吸着工程後のロータ部分を脱着工程に移
行させるに伴い脱着工程後のロータ部分を吸着工程に移
行させる工程移行）を繰り返し、これにより、吸着工程
と脱着工程との並行実施を継続させる。

【００２７】そして、主冷却装置５からの排気ＥＡ’の
風量（詳しくは、後述の合流気ＭＡの風量）に比べ加熱
装置１４からの再生用空気ＨＡの風量が小さい運転条件
の下で、上記の吸脱着を行わせることにより、吸着域ａ
通過前の排気ＥＡ’における洗浄用溶剤Ｓの蒸気濃度に
比べ、脱着域ｂ通過後の再生用空気ＨＡ’における洗浄
用溶剤Ｓの蒸気濃度を高くする濃縮処理（すなわち、排
気ＥＡ’中から再生用空気ＨＡ中への溶剤蒸気移行に伴
い洗浄用溶剤Ｓの蒸気濃度を高める濃縮処理）を行う。

【００２８】濃縮装置１１の脱着域ｂを通過した脱着作
用後の再生用空気ＨＡ’（すなわち、濃縮空気）は、冷
却水コイル１６と冷水コイル１７を備える副冷却装置１
５へ風路Ｄ３を通じて送り、この副冷却装置１５では、
溶剤Ｓの二次回収処理として主冷却装置５と同様、装置
に導入される脱着作用後の再生用空気ＨＡ’を先ず冷却
水コイル１６で前段冷却し、続いて、冷水コイル１７で
さらに低温に後段冷却し、これら冷却により脱着作用後
の再生用空気ＨＡ’中における洗浄用溶剤Ｓの蒸気を凝
縮させ、そして、凝縮してドレンパン１８上に落下する
洗浄用溶剤Ｓの液を回収路１９を介して回収タンク１０
に送る。

【００２９】副冷却装置１５を通過して洗浄用溶剤Ｓの
蒸気濃度が低下した脱着作用後の再生用空気ＨＡ”（す
なわち、二次回収後の空気）は、主冷却装置５から濃縮
装置１１へ送る排気ＥＡ’に対し風路Ｄ４を通じて合流
させ、これにより、前記の濃縮装置１１では、主冷却装
置５を通過した排気ＥＡ’と副冷却装置１５を通過した
脱着作用後の再生用空気ＨＡ”との合流気ＭＡに対して
前述の濃縮処理を行わせる。

【００３０】主冷却装置５及び副冷却装置１５での冷却
処理により回収タンク１０に回収した洗浄用溶剤Ｓの液
は必要に応じ蒸留などの適当な後処理を施した上で製造
品の洗浄に再利用し、一方、濃縮装置１１を通過して洗
浄用溶剤Ｓの蒸気濃度がさらに低下した合流気ＭＡ’
は、ヒートポンプ装置４の加熱部４ｈにおいて加熱した
上で前記の換気用空気ＳＡとして給気路３を通じ乾燥器
１に供給する。

【００３１】前記の加熱装置１４は、フィルタ２０、冷
水コイル２１、蒸気コイル２２、及び、電気ヒータ２３
を備え、この加熱装置１４では、風路Ｄ４を通じて取り
入れる外気ＯＡを先ずフィルタ２０で除塵処理したのち
冷水コイル２１で露点温度未満に冷却して除湿処理し、
そして、この除湿外気ＯＡを蒸気コイル２２及び電気ヒ
ータ２３で加熱した高温乾燥空気を前記の再生用空気Ｈ
Ａとして濃縮装置１１に供給する。

【００３２】つまり、濃縮装置１１での脱着作用後にお
いて洗浄用溶剤Ｓの二次回収の為に副冷却装置１５で冷
却処理する再生用空気ＨＡを、濃縮装置１１での脱着作
用前において予め除湿処理しておくことにより、副冷却
装置１５での冷却処理の際に洗浄用溶剤Ｓの蒸気ととも
に再生用空気ＨＡ’中の水分も凝縮して洗浄用溶剤Ｓの
回収液中に多量の水が混入することを防止する。

【００３３】２４は主冷却装置５の冷却水コイル６及び
副冷却装置１５の冷却水コイル１６に対して循環させる
冷却水ＣＷを冷却する大気放熱源の冷却塔、２５は主冷
却装置５の冷水コイル７、副冷却装置１５の冷水コイル
１７、及び、加熱装置１４の冷水コイル２１に対して循
環させる冷水Ｃを冷却する冷凍機であり、また、Ｆはフ
ァンである。

【００３４】次に上記システムにおける運転諸元の一例
を示す。主冷却装置５の導入排気ＥＡ：温度１００℃，溶剤濃度１６００ｐｐｍ主冷却装置５での冷却温度：１２℃ 濃縮装置１１の導入合流気ＭＡ：溶剤濃度１２０ｐｐｍ副冷却装置１５の導入再生用空気ＨＡ’：溶剤濃度９６５ｐｐｍ副冷却装置１５での冷却温度：１２℃ 濃縮装置１１からの送出合流気ＭＡ’：溶剤濃度１７ｐｐｍ加熱装置１４の加熱温度：１３０℃ 主冷却装置５での溶剤回収効率：８７％副冷却装置１５での溶剤回収効率：７８％濃縮装置１１での溶剤移行率：９２％システム全体としての溶剤回収効率：９９％

【００３５】要するに、本実施形態では、主冷却装置５
が、処理対象空気ＥＡ中の溶剤蒸気を冷却により凝縮さ
せて、処理対象空気ＥＡから溶剤Ｓを一次回収する冷却
手段を構成し、吸脱着式の濃縮装置１１が、一次回収を
行った後の空気ＥＡ’から、残存溶剤蒸気の濃度を高め
た濃縮空気ＨＡ’を生成する濃縮手段を構成し、副冷却
装置１５が、濃縮空気ＨＡ’中の溶剤蒸気を冷却により
凝縮させて、濃縮空気ＨＡ’から溶剤Ｓを二次回収する
副冷却手段１５を構成する。そして、二次回収を行った
後の空気ＨＡ”は、一次回収を行った後の空気ＥＡ’に
合流させて濃縮装置１１に供給するシステム構成を採っ
ている。

【００３６】また、吸脱着式の濃縮装置１１を採用する
ことおいて、ロータ１２が、一次回収を行った後の空気
ＥＡ’における残存溶剤蒸気を吸着する吸着手段を構成
し、加熱装置１４における冷水コイル２１が、濃縮装置
１１に供給する再生用空気ＨＡを除湿する除湿手段を構
成する。

【００３７】〔別の実施形態〕・前述の実施形態の如く副冷却装置１５を設けるに代
え、図２に示すように、濃縮装置１１での脱着作用後の
再生用空気ＨＡ’（すなわち濃縮空気）を、排気路２の
排気ＥＡに合流させて冷却手段としての主冷却装置５に
供給するシステム構成を採用し、これにより、排気ＥＡ
からの一次回収と濃縮空気からの二次回収との双方を一
の冷却手段５で行うようにしてもよい。

【００３８】・回収対象の溶剤Ｓは洗浄用溶剤に限定さ
れるものではなく、各種分野で用いる種々の溶剤を回収
対象とすることができる。また、回収対象溶剤Ｓの蒸気
を含む処理対象空気の発生工程も、洗浄や乾燥の工程に
限定されるものではない。

【００３９】・溶剤の回収目的は、回収溶剤の再利用、
あるいは、溶剤蒸気による外部への影響を防止すること
など、どのような目的であってもよい。

【００４０】・冷却手段５や副冷却手段１５における冷
却方式は、冷却水ＣＷや冷水Ｃによる冷却に限定される
ものではなく、例えば、低温ブラインによる冷却や、直
膨式の冷却などであってもよい。

【００４１】・濃縮手段１１の濃縮方式は、吸脱着式に
よる濃縮に限定されるものでなく、種々の濃縮方式を採
用できる。

【００４２】・再生用空気ＨＡを除湿する除湿手段２１
の除湿方式は、冷水や低温ブライン、あるいは、直膨式
などによる冷却除湿方式に限定されるものではなく、吸
着材を用いた除湿、あるいは、吸湿剤を用いた除湿を採
用してもよい。

【００４３】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするため符号を記すが、該記入により本発明は添
付図面の構成に限定されるものではない。

【００４４】

【発明の効果】

・請求項１記載の発明によれば、処理対象空気を継続し
て供給しながら溶剤の一次回収と二次回収を並行実施で
き、これにより、先述の従来装置に比べ溶剤回収の能率
を向上し得る。

【００４５】また、溶剤蒸気発生域からの処理対象空気
の導出も中断なく実施できて、溶剤蒸気発生域での溶剤
蒸気濃度の上昇による域環境の悪化を防止でき、しか
も、新たな処理対象空気からの溶剤回収を継続する為に
溶剤回収装置を二基装備するといったことも不要にでき
て装置コストを安価にしながら、上記の回収能率の向上
と域環境の悪化防止を達成できる。

【００４６】・請求項２記載の発明によれば、二次回収
を行った後の空気中に未だ残る溶剤に対し再度、二次回
収を施して、溶剤の回収効率を向上させることができ
る。

【００４７】・請求項３記載の発明によれば、先述した
請求項１記載の発明と同様、処理対象空気を継続して供
給しながら溶剤の一次回収と二次回収を並行実施でき
て、溶剤回収の能率を向上でき、また、溶剤蒸気発生域
からの処理対象空気の導出も中断なく実施できて、溶剤
蒸気発生域での溶剤蒸気濃度の上昇による域環境の悪化
を防止でき、更に、新たな処理対象空気からの溶剤回収
を継続する為に溶剤回収装置を二基装備するといったこ
とも不要にできて装置コストを安価にし得る。

【００４８】また、一の冷却手段をもって一次回収と二
次回収との双方を行うことにより、一次回収用の冷却手
段と二次回収用の冷却手段とを各別に設けるに比べ、全
体装置構成を簡略にして装置製作及び装置設置を容易に
し得る。

【００４９】・請求項４記載の発明によれば、基本的濃
縮方式としては従来装置と同様の信頼性の高い吸脱着方
式を採用しながら、吸着工程及び脱着工程の夫々を継続
させて、冷却手段からの一次回収後の空気の供給に伴う
濃縮空気の連続的生成を行うことができる。

【００５０】・請求項５記載の発明によれば、回収溶剤
中に多量の水が混入することを防止できて回収溶剤の後
処理を容易し得る。

【００５１】・請求項６記載の発明によれば、処理対象
空気の導出域である溶剤蒸気発生域に対し外部から導入
した換気用空気を供給するに比べ、溶剤蒸気発生域を外
部に対しクローズド化することができて、域内での溶剤
を用いた諸作業を外部環境変化の影響を受けることの少
ない状態で安定的に実施できる。

【００５２】また、副冷却手段から送出される二次回収
後の空気を冷却手段から送出される一次回収後の空気に
合流させて濃縮手段に供給するといった装置構成、ある
いは、濃縮手段で生成した濃縮空気を処理対象空気に合
流させて冷却手段に供給するといった装置構成の組み合
わせにより、処理対象空気の導出域である溶剤蒸気発生
域を含めた溶剤回収系を外部に対しほぼ完全にクローズ
ド化することができ、これにより、外部への影響、及
び、外部からの影響の少ない良好な溶剤回収運転を実施
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】発明の実施形態を示す装置構成図

【図２】別の実施形態を示す装置構成図

【符号の説明】

ＥＡ処理対象空気Ｓ溶剤ＥＡ’ 一次回収後の空気ＨＡ’ 濃縮空気５冷却手段１１濃縮手段１５副冷却手段ＨＡ” 二次回収後の空気１２吸着手段ＨＡ再生用空気２１除湿手段１処理対象空気の導出域ＭＡ’ 吸着除去後の空気ＳＡ換気用空気

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】処理対象空気（ＥＡ）中の溶剤蒸気を冷
却により凝縮させて、処理対象空気（ＥＡ）から溶剤
（Ｓ）を一次回収する冷却手段（５）と、一次回収後の空気（ＥＡ’）が前記冷却手段（５）から
供給されることに並行して、この一次回収後の空気（Ｅ
Ａ’）から残存溶剤蒸気の濃度を高めた濃縮空気（Ｈ
Ａ’）を連続的に生成する濃縮手段（１１）と、この濃縮空気（ＨＡ’）中の溶剤蒸気を冷却により凝縮
させて、濃縮空気（ＨＡ’）から溶剤（Ｓ）を二次回収
する副冷却手段（１５）とを設けた溶剤回収装置。
【請求項２】前記副冷却手段（１５）から送出される
二次回収後の空気（ＨＡ”）を、前記冷却手段（５）か
ら送出される一次回収後の空気（ＥＡ’）に合流させて
前記濃縮手段（１１）に供給する請求項１記載の溶剤回
収装置。
【請求項３】処理対象空気（ＥＡ）中の溶剤蒸気を冷
却により凝縮させて、処理対象空気（ＥＡ）から溶剤
（Ｓ）を一次回収する冷却手段（５）と、一次回収後の空気（ＥＡ’）が前記冷却手段（５）から
供給されることに並行して、この一次回収後の空気（Ｅ
Ａ’）から残存溶剤蒸気の濃度を高めた濃縮空気（Ｈ
Ａ’）を連続的に生成する濃縮手段（１１）とを設け、この濃縮空気（ＨＡ’）を前記の処理対象空気（ＥＡ）
に合流させて前記冷却手段（５）に供給する溶剤回収装
置。
【請求項４】前記濃縮手段（１１）が、一次回収後の
空気（ＥＡ’）における残存溶剤蒸気を吸着手段（１
２）に吸着させる吸着工程と、この吸着工程で吸着した
溶剤蒸気を吸着手段（１２）から再生用空気（ＨＡ）に
脱着させる脱着工程とを実施して、この脱着工程で生じ
る脱着作用後の再生用空気を前記の濃縮空気とし、か
つ、吸着工程後の前記吸着手段（１２）を脱着工程に移
行させるに伴い脱着工程後の前記吸着手段（１２）を吸
着工程に移行させる工程移行を繰り返して、吸着工程及
び脱着工程の夫々を継続させる吸脱着式の濃縮手段であ
る請求項１、２又は３記載の溶剤回収装置。
【請求項５】前記吸脱着式の濃縮手段（１１）に供給
する再生用空気（ＨＡ）を除湿する除湿手段（２１）を
設けた請求項４記載の溶剤回収装置。
【請求項６】前記吸脱着式の濃縮手段（１１）におい
て残存溶剤蒸気を前記吸着手段（１２）により吸着除去
した後の空気（ＭＡ’）を換気用空気（ＳＡ）として前
記処理対象空気（ＥＡ）の導出域（１）に供給する請求
項４又は５記載の溶剤回収装置。