JPH0938589A - 自動洗浄機の薬液秤量装置 - Google Patents
自動洗浄機の薬液秤量装置Info
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- JPH0938589A JPH0938589A JP7211196A JP21119695A JPH0938589A JP H0938589 A JPH0938589 A JP H0938589A JP 7211196 A JP7211196 A JP 7211196A JP 21119695 A JP21119695 A JP 21119695A JP H0938589 A JPH0938589 A JP H0938589A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 正確な量の薬液を補充でき、また、部品の劣
化等がなく維持費を低減できるようにした自動洗浄機の
薬液秤量装置を提供する。 【解決手段】 複数種類の各薬液をそれぞれの秤量槽２
により秤量し、この各薬液を混合して物質の洗浄に使用
する自動洗浄機の薬液秤量装置において、各秤量槽２
に、所定量の薬液が貯えられたときオーバーフローする
ように構成された薬液補充用計量容器６と、薬液補充用
計量容器６の上部および下部に各々接続された供給バル
ブ４および補充液投入バルブ７とを備え、供給バルブ４
から供給された薬液は薬液補充用計量容器６に溜まり、
余った薬液はオーバーフローし、薬液補充用計量容器６
内の薬液が補充液投入バルブ７より処理槽１に投入され
るように構成する。
化等がなく維持費を低減できるようにした自動洗浄機の
薬液秤量装置を提供する。 【解決手段】 複数種類の各薬液をそれぞれの秤量槽２
により秤量し、この各薬液を混合して物質の洗浄に使用
する自動洗浄機の薬液秤量装置において、各秤量槽２
に、所定量の薬液が貯えられたときオーバーフローする
ように構成された薬液補充用計量容器６と、薬液補充用
計量容器６の上部および下部に各々接続された供給バル
ブ４および補充液投入バルブ７とを備え、供給バルブ４
から供給された薬液は薬液補充用計量容器６に溜まり、
余った薬液はオーバーフローし、薬液補充用計量容器６
内の薬液が補充液投入バルブ７より処理槽１に投入され
るように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体等の自動洗
浄機の薬液秤量装置に関し、詳しくは２種類以上の薬液
の混合液を使用する自動洗浄機において、その混合比を
適正な値に保持するために各薬液を補充するのに好適な
自動洗浄機の薬液秤量装置に関する。
浄機の薬液秤量装置に関し、詳しくは２種類以上の薬液
の混合液を使用する自動洗浄機において、その混合比を
適正な値に保持するために各薬液を補充するのに好適な
自動洗浄機の薬液秤量装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体等の自動洗浄機において、２種類
以上の薬液の混合液を使用する場合、特にその溶液が化
学反応により混合比が変化する性質のものであり、かつ
使用目的上その混合比を適正な値に保持する必要があ
る。この場合、次に述べる仕様が必要となる。 （１）混合液を作成するための各薬液の秤量槽がある。 （２）混合液の混合比を一定に保持するための各薬液の
補充機能がある。ここで、問題になるのは、上記（２）
の補充機能であり、次に述べる２つの方式が知られてい
る。 （２−ａ） ポンプによる補充方式 （２−ｂ） 補充用レベルセンサ付き秤量槽を用いる方
式
以上の薬液の混合液を使用する場合、特にその溶液が化
学反応により混合比が変化する性質のものであり、かつ
使用目的上その混合比を適正な値に保持する必要があ
る。この場合、次に述べる仕様が必要となる。 （１）混合液を作成するための各薬液の秤量槽がある。 （２）混合液の混合比を一定に保持するための各薬液の
補充機能がある。ここで、問題になるのは、上記（２）
の補充機能であり、次に述べる２つの方式が知られてい
る。 （２−ａ） ポンプによる補充方式 （２−ｂ） 補充用レベルセンサ付き秤量槽を用いる方
式
【０００３】図４は上記（２−ａ）の補充方式の概略構
成を示している。図４において、混合液が貯えられてい
る自動洗浄機の処理槽１の上方に、各薬液を秤量するた
めの秤量槽２が２個（２種類の混合液の場合）設けら
れ、各秤量槽２の下部に投入バルブ３が、上部に供給バ
ルブ４が各々設けられ、かつ各秤量槽２にポンプ５が接
続されている。ポンプ５は、タイマ等によりその作動間
隔を設定してあり、これにより各薬液を処理槽１へ補充
する間隔が設定される。また、処理槽１への薬液の補充
量は、ポンプ５が作動する時間で決めるようになってい
る。すなわち、ポンプ作動時間−薬液補充量の関係を表
すグラフを作成し、薬液補充量の目安としている。ポン
プ５は秤量槽２の薬液の量とは無関係に作動する。
成を示している。図４において、混合液が貯えられてい
る自動洗浄機の処理槽１の上方に、各薬液を秤量するた
めの秤量槽２が２個（２種類の混合液の場合）設けら
れ、各秤量槽２の下部に投入バルブ３が、上部に供給バ
ルブ４が各々設けられ、かつ各秤量槽２にポンプ５が接
続されている。ポンプ５は、タイマ等によりその作動間
隔を設定してあり、これにより各薬液を処理槽１へ補充
する間隔が設定される。また、処理槽１への薬液の補充
量は、ポンプ５が作動する時間で決めるようになってい
る。すなわち、ポンプ作動時間−薬液補充量の関係を表
すグラフを作成し、薬液補充量の目安としている。ポン
プ５は秤量槽２の薬液の量とは無関係に作動する。
【０００４】図５は上記（２−ｂ）の方式の概略構成を
示している。図５において、投入、供給の各バルブ３、
４は、タイマ等によりその作動間隔を設定しており、こ
れにより各薬液の処理槽１への補充間隔が設定される。
秤量槽２には、レベルセンサ１２が設けられており、上
から秤量定量レベルＬ1 、補充レベルＬ2 、秤量空レベ
ルＬ3 とを各々検知するようになっている。
示している。図５において、投入、供給の各バルブ３、
４は、タイマ等によりその作動間隔を設定しており、こ
れにより各薬液の処理槽１への補充間隔が設定される。
秤量槽２には、レベルセンサ１２が設けられており、上
から秤量定量レベルＬ1 、補充レベルＬ2 、秤量空レベ
ルＬ3 とを各々検知するようになっている。
【０００５】図５の補充装置は次のように作動する。供
給バルブ４が開（このとき投入バルブ３は閉）になると
薬液が秤量槽２に供給され、薬液が定量レベルＬ1 に達
すると、レベルセンサ１２がこれを検知し、供給バルブ
４は閉となり、投入バルブ３が開となって薬液が処理槽
１に投入される。
給バルブ４が開（このとき投入バルブ３は閉）になると
薬液が秤量槽２に供給され、薬液が定量レベルＬ1 に達
すると、レベルセンサ１２がこれを検知し、供給バルブ
４は閉となり、投入バルブ３が開となって薬液が処理槽
１に投入される。
【０００６】薬液が補充レベルＬ2 に達すると、レベル
センサ１２がこれを検知し、投入バルブ３が閉となる。
この作動が混合液の混合比を適正な値に保持するための
通常の補充動作で、以下この補充動作を繰り返す。薬液
交換時は次のように作動する。薬液が定量レベルに達
し、レベルセンサ１２がこれを検知すると、供給バルブ
４が閉となり、投入バルブ３が開となり薬液が処理槽１
に投入され、薬液が秤量空レベルＬ3 に達したときレベ
ルセンサ１２がこれを検知し、投入バルブ３が閉とな
り、通常の補充動作に戻る。
センサ１２がこれを検知し、投入バルブ３が閉となる。
この作動が混合液の混合比を適正な値に保持するための
通常の補充動作で、以下この補充動作を繰り返す。薬液
交換時は次のように作動する。薬液が定量レベルに達
し、レベルセンサ１２がこれを検知すると、供給バルブ
４が閉となり、投入バルブ３が開となり薬液が処理槽１
に投入され、薬液が秤量空レベルＬ3 に達したときレベ
ルセンサ１２がこれを検知し、投入バルブ３が閉とな
り、通常の補充動作に戻る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示す上記（２−ａ）の補充方式では、ポンプ動作時間−
薬液補充量の関係が、ポンプの性能のばらつき、ポンプ
の劣化等によって変化するため、薬液補充量が不正確に
なる。また、ポンプの価格および維持費がかかると共
に、ポンプ設置のスペースが必要となるという問題があ
る。
示す上記（２−ａ）の補充方式では、ポンプ動作時間−
薬液補充量の関係が、ポンプの性能のばらつき、ポンプ
の劣化等によって変化するため、薬液補充量が不正確に
なる。また、ポンプの価格および維持費がかかると共
に、ポンプ設置のスペースが必要となるという問題があ
る。
【０００８】また、図５に示す上記（２−ｂ）の補充方
式では、上記（２−ａ）の問題点はほとんど解消される
が、補充量を決定するレベルセンサ１２は圧力式か光学
式であるため、センサの性能上、やはり補充量にばらつ
きが生ずることが避けられない。
式では、上記（２−ａ）の問題点はほとんど解消される
が、補充量を決定するレベルセンサ１２は圧力式か光学
式であるため、センサの性能上、やはり補充量にばらつ
きが生ずることが避けられない。
【０００９】本発明は上述の点に着目してなされたもの
で、補充計量容器を用いることにより、正確な量の薬液
を補充でき、また、部品の劣化等がなく維持費を低減で
きる自動洗浄機の薬液秤量装置を提供することを目的と
する。
で、補充計量容器を用いることにより、正確な量の薬液
を補充でき、また、部品の劣化等がなく維持費を低減で
きる自動洗浄機の薬液秤量装置を提供することを目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、複数種類の各薬液をそれぞれの秤量槽に
より秤量し、この各薬液を混合して物質の洗浄に使用す
る自動洗浄機の薬液秤量装置であって、前記各秤量槽
に、所定量の薬液が貯えられたときオーバーフローする
ように構成された薬液補充用計量容器と、該薬液補充用
計量容器の上部および下部に各々接続された供給バルブ
および補充液投入バルブと、前記薬液補充用計量容器に
貯えられた薬液が補充定量レベルに達したことおよび薬
液が補充空レベルに達したことを検知し、前記供給バル
ブおよび補充液投入バルブを開閉させる信号を出力する
レベルセンサとを設けたものである。
め、本発明は、複数種類の各薬液をそれぞれの秤量槽に
より秤量し、この各薬液を混合して物質の洗浄に使用す
る自動洗浄機の薬液秤量装置であって、前記各秤量槽
に、所定量の薬液が貯えられたときオーバーフローする
ように構成された薬液補充用計量容器と、該薬液補充用
計量容器の上部および下部に各々接続された供給バルブ
および補充液投入バルブと、前記薬液補充用計量容器に
貯えられた薬液が補充定量レベルに達したことおよび薬
液が補充空レベルに達したことを検知し、前記供給バル
ブおよび補充液投入バルブを開閉させる信号を出力する
レベルセンサとを設けたものである。
【００１１】また、本発明は、前記薬液補充用計量容器
からオーバーフローした薬液が前記秤量槽に流入するよ
うに構成されたことを特徴とするものである。また、本
発明は、前記薬液補充用計量容器が秤量槽と一体に形成
され、秤量槽の側壁に形成された開口部から前記薬液補
充用計量容器の薬液がオーバーフローして秤量槽内に流
入するように構成されたことを特徴とするものである。
また、本発明は、前記薬液補充用計量容器は、前記秤量
槽に上下動自在に取り付けられ、該薬液補充用計量容器
の底面と前記秤量槽に形成された開口部との距離を可変
することにより薬液補充用計量容器に貯えられる薬液の
量を調整するようにしたことを特徴とするものである。
また、本発明は、前記薬液補充用計量容器と前記補充液
投入バルブ間に接続されるパイプは、薬液補充用計量容
器に摺動自在に取り付けられ、このパイプの薬液補充用
計量容器内における突出高さにより薬液補充用計量容器
に貯えられる薬液の量を調整するようにしたことを特徴
とするものである。
からオーバーフローした薬液が前記秤量槽に流入するよ
うに構成されたことを特徴とするものである。また、本
発明は、前記薬液補充用計量容器が秤量槽と一体に形成
され、秤量槽の側壁に形成された開口部から前記薬液補
充用計量容器の薬液がオーバーフローして秤量槽内に流
入するように構成されたことを特徴とするものである。
また、本発明は、前記薬液補充用計量容器は、前記秤量
槽に上下動自在に取り付けられ、該薬液補充用計量容器
の底面と前記秤量槽に形成された開口部との距離を可変
することにより薬液補充用計量容器に貯えられる薬液の
量を調整するようにしたことを特徴とするものである。
また、本発明は、前記薬液補充用計量容器と前記補充液
投入バルブ間に接続されるパイプは、薬液補充用計量容
器に摺動自在に取り付けられ、このパイプの薬液補充用
計量容器内における突出高さにより薬液補充用計量容器
に貯えられる薬液の量を調整するようにしたことを特徴
とするものである。
【００１２】本発明では、供給バルブが開になると、薬
液が補充用計量容器に供給され、薬液が補充液定量レベ
ルに達すると、レベルセンサの検知信号のより供給バル
ブが閉となり、少量の薬液が補充用計量容器からオーバ
ーフローし、補充用計量容器内には定量の補充液が貯え
られ、補充液投入バルブが開になると定量の補充液が処
理槽に投入される。
液が補充用計量容器に供給され、薬液が補充液定量レベ
ルに達すると、レベルセンサの検知信号のより供給バル
ブが閉となり、少量の薬液が補充用計量容器からオーバ
ーフローし、補充用計量容器内には定量の補充液が貯え
られ、補充液投入バルブが開になると定量の補充液が処
理槽に投入される。
【００１３】また、本発明では、薬液補充用計量容器か
らオーバーフローした薬液が前記秤量槽に流入し、薬液
が無駄にならない。また、本発明では、補充液計量容器
が秤量槽と一体になっているため、薬液補充手段がコン
パクトにまとまり、設置スペースが小さくてすむ。ま
た、本発明では、薬液補充用計量容器を上下に動かすこ
とにより、薬液補充用計量容器に貯えられる補充薬液の
量を調整できる。また、本発明では、補充液投入バルブ
のパイプを上下に動かし、薬液補充用計量容器内におけ
る突出高さを可変させることにより、薬液補充用計量容
器に貯えられる補充薬液の量を調整できる。
らオーバーフローした薬液が前記秤量槽に流入し、薬液
が無駄にならない。また、本発明では、補充液計量容器
が秤量槽と一体になっているため、薬液補充手段がコン
パクトにまとまり、設置スペースが小さくてすむ。ま
た、本発明では、薬液補充用計量容器を上下に動かすこ
とにより、薬液補充用計量容器に貯えられる補充薬液の
量を調整できる。また、本発明では、補充液投入バルブ
のパイプを上下に動かし、薬液補充用計量容器内におけ
る突出高さを可変させることにより、薬液補充用計量容
器に貯えられる補充薬液の量を調整できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施例
に基づいて説明する。図１および図２は、本発明の第１
実施例を示すもので、混合液が貯えられている自動洗浄
機の処理槽１上方に、各薬液を秤量するための秤量槽２
が２個（２種類の混合液の場合）設けられ、各秤量槽２
の下部に投入バルブ３が設けられている。各秤量槽２の
側部には、薬液補充用計量容器６が設けられ、この薬液
補充用計量容器６の上部に供給バルブ４が、下部に補充
液投入バルブ７が各々接続されている。薬液補充用計量
容器６は、図２に示すように秤量槽２と一体に形成さ
れ、この秤量槽２との間の仕切壁８には、開口部９が形
成されている。
に基づいて説明する。図１および図２は、本発明の第１
実施例を示すもので、混合液が貯えられている自動洗浄
機の処理槽１上方に、各薬液を秤量するための秤量槽２
が２個（２種類の混合液の場合）設けられ、各秤量槽２
の下部に投入バルブ３が設けられている。各秤量槽２の
側部には、薬液補充用計量容器６が設けられ、この薬液
補充用計量容器６の上部に供給バルブ４が、下部に補充
液投入バルブ７が各々接続されている。薬液補充用計量
容器６は、図２に示すように秤量槽２と一体に形成さ
れ、この秤量槽２との間の仕切壁８には、開口部９が形
成されている。
【００１５】補充液投入バルブ７の接続パイプ１１は、
Ｏリング等のシール材１３を介して薬液補充用計量容器
６の底面６ａに摺動自在に取り付けられており、このパ
イプ１１の薬液補充用計量容器６内での突出高さによ
り、薬液補充用計量容器６内に溜まる補充液の量を調整
できるようになっている。秤量槽２および薬液補充用計
量容器６の内部には、レベルセンサ１４および１５が各
々設置されている。投入バルブ３、供給バルブ４および
補充液投入バルブ７が作動する間隔は、タイマ等により
予め設定されている。
Ｏリング等のシール材１３を介して薬液補充用計量容器
６の底面６ａに摺動自在に取り付けられており、このパ
イプ１１の薬液補充用計量容器６内での突出高さによ
り、薬液補充用計量容器６内に溜まる補充液の量を調整
できるようになっている。秤量槽２および薬液補充用計
量容器６の内部には、レベルセンサ１４および１５が各
々設置されている。投入バルブ３、供給バルブ４および
補充液投入バルブ７が作動する間隔は、タイマ等により
予め設定されている。
【００１６】薬液の補充動作は次のように行われる。ま
ず、供給バルブ４を開にして薬液を薬液補充用計量容器
６に供給する。この薬液補充用計量容器６の薬液レベル
が開口部９に達する直前の補充液定量レベルＬ4 に達す
ると、レベルセンサ１４がこれを検知し、供給バルブ４
にこの検知信号を伝え、予め設定されたディレイタイム
経過後に供給バルブ４を閉にする。したがって、レベル
センサ１４が検知信号を出し供給バルブ４が閉になるま
での間、薬液の供給が少し続き、少量の薬液が開口部９
からオーバーフローし秤量槽２に流れ込む。補充液投入
バルブ７は、予め設定された補充間隔で開となり、補充
用計量容器６内の薬液が処理槽１に投入される。そし
て、補充用計量容器６内の薬液レベルが補充空レベルＬ
5 になると、補充液投入バルブ７は閉となり、初期状態
に戻る。以上の動作を繰り返すことにより、処理槽１へ
の各薬液の補充を行う。
ず、供給バルブ４を開にして薬液を薬液補充用計量容器
６に供給する。この薬液補充用計量容器６の薬液レベル
が開口部９に達する直前の補充液定量レベルＬ4 に達す
ると、レベルセンサ１４がこれを検知し、供給バルブ４
にこの検知信号を伝え、予め設定されたディレイタイム
経過後に供給バルブ４を閉にする。したがって、レベル
センサ１４が検知信号を出し供給バルブ４が閉になるま
での間、薬液の供給が少し続き、少量の薬液が開口部９
からオーバーフローし秤量槽２に流れ込む。補充液投入
バルブ７は、予め設定された補充間隔で開となり、補充
用計量容器６内の薬液が処理槽１に投入される。そし
て、補充用計量容器６内の薬液レベルが補充空レベルＬ
5 になると、補充液投入バルブ７は閉となり、初期状態
に戻る。以上の動作を繰り返すことにより、処理槽１へ
の各薬液の補充を行う。
【００１７】処理槽１の液交換は次のように行われる。
まず、供給バルブ４を開にして開口部９からオーバーフ
ローする薬液を秤量槽２に貯えられる。秤量槽２の薬液
レベルが秤量定量レベルＬ3 に達すると、レベルセンサ
１５が検知信号を出力し、この信号により供給バルブ４
を閉にする。なお、上記補充動作において、オーバーフ
ローして秤量槽２に溜まっいた薬液は、ここで定量の一
部として取り込まれるため無駄にはならない。また、秤
量槽２の薬液レベルが秤量定量レベルＬ3 に達すると、
投入バルブ３が開となり、秤量槽２内の薬液が処理槽１
に投入される。そして、秤量槽２内の薬液レベルが秤量
空レベルＬ3 に達すると、レベルセンサ１４の信号によ
り投入バルブ３が閉となり、初期状態に戻る。その後、
上述の補充動作に戻る。
まず、供給バルブ４を開にして開口部９からオーバーフ
ローする薬液を秤量槽２に貯えられる。秤量槽２の薬液
レベルが秤量定量レベルＬ3 に達すると、レベルセンサ
１５が検知信号を出力し、この信号により供給バルブ４
を閉にする。なお、上記補充動作において、オーバーフ
ローして秤量槽２に溜まっいた薬液は、ここで定量の一
部として取り込まれるため無駄にはならない。また、秤
量槽２の薬液レベルが秤量定量レベルＬ3 に達すると、
投入バルブ３が開となり、秤量槽２内の薬液が処理槽１
に投入される。そして、秤量槽２内の薬液レベルが秤量
空レベルＬ3 に達すると、レベルセンサ１４の信号によ
り投入バルブ３が閉となり、初期状態に戻る。その後、
上述の補充動作に戻る。
【００１８】以上のように、第１実施例の自動洗浄機の
薬液秤量装置では、薬液補充用計量容器６で補充液を計
量して処理槽１に投入しているため、常に正確に定量の
薬液が投入できると共に、レベルセンサ１４の誤差等に
よって薬液がオーバーフローしても秤量槽２に貯えられ
るため、薬液が無駄になることがない。また、パイプ１
１を上下動させることにより、薬液補充用計量容器６に
溜まる薬液の量を任意に可変し、補充液の量を任意に設
定できる。
薬液秤量装置では、薬液補充用計量容器６で補充液を計
量して処理槽１に投入しているため、常に正確に定量の
薬液が投入できると共に、レベルセンサ１４の誤差等に
よって薬液がオーバーフローしても秤量槽２に貯えられ
るため、薬液が無駄になることがない。また、パイプ１
１を上下動させることにより、薬液補充用計量容器６に
溜まる薬液の量を任意に可変し、補充液の量を任意に設
定できる。
【００１９】図３は、本発明の第２実施例を示してい
る。秤量槽２の側部に摺動部１６が形成され、薬液補充
用計量容器６はこの摺動部１６に摺動自在に取り付けら
れている。薬液補充用計量容器６の側部に開口部１７が
形成され、この開口部１７と秤量槽２の開口部９とが連
通している。秤量槽２と薬液補充用計量容器６との間の
摺動部分にはシール材１８が設けられている。
る。秤量槽２の側部に摺動部１６が形成され、薬液補充
用計量容器６はこの摺動部１６に摺動自在に取り付けら
れている。薬液補充用計量容器６の側部に開口部１７が
形成され、この開口部１７と秤量槽２の開口部９とが連
通している。秤量槽２と薬液補充用計量容器６との間の
摺動部分にはシール材１８が設けられている。
【００２０】上記第２実施例では、薬液補充用計量容器
６を上下動させることにより、薬液補充用計量容器６の
底面６ａと秤量槽２の開口部９との間の距離が可変し、
薬液補充用計量容器６の補充液の量を調整することがで
きる。
６を上下動させることにより、薬液補充用計量容器６の
底面６ａと秤量槽２の開口部９との間の距離が可変し、
薬液補充用計量容器６の補充液の量を調整することがで
きる。
【００２１】上記第２実施例では、薬液補充用計量容器
６を秤量槽２に組み込んでいるが、薬液補充用計量容器
６は秤量槽２とは完全に独立した構成であってもよい。
この場合、薬液補充用計量容器６の開口部１７からオー
バーフローする薬液を別の容器で受けるか、あるいはパ
イプなどで秤量槽２に投入するようにすることが好まし
い。
６を秤量槽２に組み込んでいるが、薬液補充用計量容器
６は秤量槽２とは完全に独立した構成であってもよい。
この場合、薬液補充用計量容器６の開口部１７からオー
バーフローする薬液を別の容器で受けるか、あるいはパ
イプなどで秤量槽２に投入するようにすることが好まし
い。
【００２２】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、薬
液が補充用計量容器で計量されるので、常に正確な量の
補充液が処理槽に投入され、また、補充液の計量は容器
のみで行われ、ポンプ、センサ等の機器を使用しないの
で、部品の劣化等がなく維持費を低減できる。また、本
発明によれば、薬液補充用計量容器からオーバーフロー
した薬液が秤量槽に流入し、薬液が無駄にならない。ま
た、本発明によれば、補充液計量容器が秤量槽と一体に
形成されているので、薬液補充手段がコンパクトにまと
まり、設置スペースが小さくてすむ。また、本発明で
は、薬液補充用計量容器を上下に動かすことにより、薬
液補充用計量容器に貯えられる薬液の量を調整できる。
また、本発明では、投入バルブのパイプを上下に動か
し、薬液補充用計量容器内における突出高さを可変させ
ることにより、薬液補充用計量容器に貯えられる薬液の
量を調整できる。
液が補充用計量容器で計量されるので、常に正確な量の
補充液が処理槽に投入され、また、補充液の計量は容器
のみで行われ、ポンプ、センサ等の機器を使用しないの
で、部品の劣化等がなく維持費を低減できる。また、本
発明によれば、薬液補充用計量容器からオーバーフロー
した薬液が秤量槽に流入し、薬液が無駄にならない。ま
た、本発明によれば、補充液計量容器が秤量槽と一体に
形成されているので、薬液補充手段がコンパクトにまと
まり、設置スペースが小さくてすむ。また、本発明で
は、薬液補充用計量容器を上下に動かすことにより、薬
液補充用計量容器に貯えられる薬液の量を調整できる。
また、本発明では、投入バルブのパイプを上下に動か
し、薬液補充用計量容器内における突出高さを可変させ
ることにより、薬液補充用計量容器に貯えられる薬液の
量を調整できる。
【図１】本発明に係わる自動洗浄機の薬液秤量装置の第
１実施例を示す説明図である。
１実施例を示す説明図である。
【図２】第１実施例における薬液補充用計量容器を含む
補充槽の縦断側面図である。
補充槽の縦断側面図である。
【図３】本発明の第２実施例における薬液補充用計量容
器を含む補充槽の縦断側面図である。
器を含む補充槽の縦断側面図である。
【図４】従来の自動洗浄機の薬液秤量装置の一例を示す
説明図である。
説明図である。
【図５】従来の自動洗浄機の薬液秤量装置の他例を示す
説明図である。
説明図である。
１ 処理槽 ２ 秤量槽 ４ 供給バルブ ６ 薬液補充用計量容器 ６ａ 底面 ７ 補充液投入バルブ ９ 開口部 １１ 接続パイプ １５ レベルセンサ
Claims (5)
- 【請求項１】 複数種類の各薬液をそれぞれの秤量槽に
より秤量し、この各薬液を混合して物質の洗浄に使用す
る自動洗浄機の薬液秤量装置であって、 前記各秤量槽に、 所定量の薬液が貯えられたときオーバーフローするよう
に構成された薬液補充用計量容器と、 前記薬液補充用計量容器の上部および下部に各々接続さ
れた供給バルブおよび補充液投入バルブと、 前記薬液補充用計量容器に貯えられた薬液が補充定量レ
ベルに達したことおよび薬液が補充空レベルに達したこ
とを検知し、前記供給バルブおよび補充液投入バルブを
開閉させる信号を出力するレベルセンサと、 を設けたことを特徴とする自動洗浄機の薬液秤量装置。 - 【請求項２】 前記薬液補充用計量容器からオーバーフ
ローした薬液が前記秤量槽に流入するように構成された
請求項１記載の自動洗浄機の薬液秤量装置。 - 【請求項３】 前記薬液補充用計量容器が秤量槽と一体
に形成され、秤量槽の側壁に形成された開口部から前記
薬液補充用計量容器の薬液がオーバーフローして秤量槽
内に流入するように構成された請求項１または２記載の
自動洗浄機の薬液秤量装置。 - 【請求項４】 前記薬液補充用計量容器は、前記秤量槽
に上下動自在に取り付けられ、該薬液補充用計量容器の
底面と前記秤量槽に形成された開口部との距離を可変す
ることにより薬液補充用計量容器に貯えられる薬液の量
を調整するようにした請求項１または２記載の自動洗浄
機の薬液秤量装置。 - 【請求項５】 前記薬液補充用計量容器と前記補充液投
入バルブ間に接続されるパイプは、薬液補充用計量容器
に摺動自在に取り付けられ、このパイプの薬液補充用計
量容器内における突出高さにより薬液補充用計量容器に
貯えられる薬液の量を調整するようにした請求項１また
は２記載の自動洗浄機の薬液秤量装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7211196A JPH0938589A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 自動洗浄機の薬液秤量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7211196A JPH0938589A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 自動洗浄機の薬液秤量装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0938589A true JPH0938589A (ja) | 1997-02-10 |
Family
ID=16601972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7211196A Pending JPH0938589A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 自動洗浄機の薬液秤量装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0938589A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103861853A (zh) * | 2014-03-21 | 2014-06-18 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 一种找零式精确自动补液系统及其补液方法 |
-
1995
- 1995-07-26 JP JP7211196A patent/JPH0938589A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103861853A (zh) * | 2014-03-21 | 2014-06-18 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 一种找零式精确自动补液系统及其补液方法 |
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