JPH0939257A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH0939257A JPH0939257A JP7198516A JP19851695A JPH0939257A JP H0939257 A JPH0939257 A JP H0939257A JP 7198516 A JP7198516 A JP 7198516A JP 19851695 A JP19851695 A JP 19851695A JP H0939257 A JPH0939257 A JP H0939257A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- electrode
- ink
- sheet
- recording head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インクジェット記録ヘッドの製造方法に関
し、特に圧電材料の変形を利用してインク吐出を行うヘ
ッドにおいて、インク流路を構成する圧電材料への電極
の形成方法を改善し、工程を簡略化する。 【構成】 圧電材料からなる底部シート１０に、熱可塑
性フィルムをラミネートし（ａ）、電極の大きさと等し
い深さの第一の溝１５を形成する（ｂ）。その全面に電
極２０となる金属膜を形成して（ｃ）フィルムを除去す
る（ｄ）。そして第一の溝１５を掘り下げて第二の溝１
６を形成する（ｅ）。その後、底部シート上に、溝を覆
う頂部シートと、溝に連通するノズルを形成したノズル
板を接合する。電極２０に信号電圧を印加すると、側壁
１２は変位し溝に充したインクは加圧され、溝に連通す
るノズルからインクが吐出する。
し、特に圧電材料の変形を利用してインク吐出を行うヘ
ッドにおいて、インク流路を構成する圧電材料への電極
の形成方法を改善し、工程を簡略化する。 【構成】 圧電材料からなる底部シート１０に、熱可塑
性フィルムをラミネートし（ａ）、電極の大きさと等し
い深さの第一の溝１５を形成する（ｂ）。その全面に電
極２０となる金属膜を形成して（ｃ）フィルムを除去す
る（ｄ）。そして第一の溝１５を掘り下げて第二の溝１
６を形成する（ｅ）。その後、底部シート上に、溝を覆
う頂部シートと、溝に連通するノズルを形成したノズル
板を接合する。電極２０に信号電圧を印加すると、側壁
１２は変位し溝に充したインクは加圧され、溝に連通す
るノズルからインクが吐出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッドの製造方法に関するものであり、特に圧電材料の変
形を利用してインク吐出を行うヘッドにおいて、圧電材
料への電極の形成方法を改善するものである。
ッドの製造方法に関するものであり、特に圧電材料の変
形を利用してインク吐出を行うヘッドにおいて、圧電材
料への電極の形成方法を改善するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、インクジェット記録装置は、カラ
ープリンタやコンピュータの端末機器として盛んに利用
されている。インクジェット記録ヘッドの一例として
は、図２の一部切欠断面図に示すように、圧電材料の剪
断方向の変形を利用して、インク吐出を行うものが知ら
れている。
ープリンタやコンピュータの端末機器として盛んに利用
されている。インクジェット記録ヘッドの一例として
は、図２の一部切欠断面図に示すように、圧電材料の剪
断方向の変形を利用して、インク吐出を行うものが知ら
れている。
【０００３】図において、底部シート１０はＰＺＴ（商
品名）等の圧電材料であり、インク流路となる多数の平
行な溝１１を、１ｍｍ当たり２つ以上の高密度で形成し
ている。溝１１の側壁１２には、その半分の高さまで電
極２０となるＡｌ等の金属膜を形成しており、電極２０
後端部は、頂部１３から駆動回路（図中省略）に接続し
ている。底部シート１０の上部には、溝１１へインクを
供給するためのインク供給口３１を形成した絶縁材料か
らなる頂部シート３０を接合している。また底部シート
１０及び頂部シート３０の前面には、溝１１に連通する
ノズル４１を形成したノズル板４０を接合している。
品名）等の圧電材料であり、インク流路となる多数の平
行な溝１１を、１ｍｍ当たり２つ以上の高密度で形成し
ている。溝１１の側壁１２には、その半分の高さまで電
極２０となるＡｌ等の金属膜を形成しており、電極２０
後端部は、頂部１３から駆動回路（図中省略）に接続し
ている。底部シート１０の上部には、溝１１へインクを
供給するためのインク供給口３１を形成した絶縁材料か
らなる頂部シート３０を接合している。また底部シート
１０及び頂部シート３０の前面には、溝１１に連通する
ノズル４１を形成したノズル板４０を接合している。
【０００４】圧電材料からなる底部シート１０は、矢印
６０の方向に分極している。このため図３の断面図に示
すように、溝１１ａを介して対向する２つの電極２０
に、パルス電圧を印加すると、側壁１２は剪断力によっ
て図中破線のように変形する。このとき容積が小さくな
った溝１１ａ内のインクは加圧され、インク滴としてノ
ズル４１から吐出する。逆に容積が大きくなった溝１１
ｂに連通するノズルからはインクの吐出はない。
６０の方向に分極している。このため図３の断面図に示
すように、溝１１ａを介して対向する２つの電極２０
に、パルス電圧を印加すると、側壁１２は剪断力によっ
て図中破線のように変形する。このとき容積が小さくな
った溝１１ａ内のインクは加圧され、インク滴としてノ
ズル４１から吐出する。逆に容積が大きくなった溝１１
ｂに連通するノズルからはインクの吐出はない。
【０００５】上記インクジェット記録ヘッドの製造方法
のうち、底部シートにインク流路となる溝を形成した
後、その側壁に電極を形成するまでの工程を図４に示
す。図（ａ）において、底部シート１０の上面に熱可塑
性のフィルム１４をラミネートした後、形成すべき溝１
１のパターンを形成するように露光、現像処理を施す。
図（ｂ）の工程では、回転円盤カッター等の機械加工に
より、フィルム１４上からインク流路となる溝１１を形
成する。
のうち、底部シートにインク流路となる溝を形成した
後、その側壁に電極を形成するまでの工程を図４に示
す。図（ａ）において、底部シート１０の上面に熱可塑
性のフィルム１４をラミネートした後、形成すべき溝１
１のパターンを形成するように露光、現像処理を施す。
図（ｂ）の工程では、回転円盤カッター等の機械加工に
より、フィルム１４上からインク流路となる溝１１を形
成する。
【０００６】図（ｃ）の工程では、側壁１２の両側面
に、溝１１の半分の深さまで真空蒸着方法により電極２
０を形成する。金属蒸発源から約０．５〜１ｍ離れた位
置に底部シート１０を配置し、金属蒸気ビームにて斜め
方向から側壁１２の一側面に蒸着する。次いで角度を変
えて、残る側壁１２の側面にも蒸着する。最後に図
（ｄ）の工程で、側壁１２の頂部１３上に形成された電
極部材を、フィルム１４を溶解するアセトン等の溶液に
浸漬することにより、フィルム１４と共に剥離し除去す
る。そしてこれらの工程の後、頂部シート３０及びノズ
ル板４０を接合して、インクジェット記録ヘッドが完成
する。
に、溝１１の半分の深さまで真空蒸着方法により電極２
０を形成する。金属蒸発源から約０．５〜１ｍ離れた位
置に底部シート１０を配置し、金属蒸気ビームにて斜め
方向から側壁１２の一側面に蒸着する。次いで角度を変
えて、残る側壁１２の側面にも蒸着する。最後に図
（ｄ）の工程で、側壁１２の頂部１３上に形成された電
極部材を、フィルム１４を溶解するアセトン等の溶液に
浸漬することにより、フィルム１４と共に剥離し除去す
る。そしてこれらの工程の後、頂部シート３０及びノズ
ル板４０を接合して、インクジェット記録ヘッドが完成
する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記構成の
ヘッドでは、側壁の変位量は、形成される電極の面積に
よって影響される。最も効率のよい変位を得るために
は、理論上、溝の深さの半分にまで形成すべきであり、
また各側壁の変位量を揃えるためにも、それぞれ同じ大
きさの電極を形成しなければならない。
ヘッドでは、側壁の変位量は、形成される電極の面積に
よって影響される。最も効率のよい変位を得るために
は、理論上、溝の深さの半分にまで形成すべきであり、
また各側壁の変位量を揃えるためにも、それぞれ同じ大
きさの電極を形成しなければならない。
【０００８】しかしながら上記従来の方法において、電
極を溝の半分まで形成したり、また各溝のばらつきをな
くしたりするためには、蒸発源から底部シートの距離
や、角度調整を精度よく行わなければならず、特殊な蒸
着装置が必要となる。また大きい面積の底部シートに蒸
着したり、多数の底部シートを一度に蒸着したりする場
合には、真空チャンバーの大きさ等の最適化も必要とな
ってくる。
極を溝の半分まで形成したり、また各溝のばらつきをな
くしたりするためには、蒸発源から底部シートの距離
や、角度調整を精度よく行わなければならず、特殊な蒸
着装置が必要となる。また大きい面積の底部シートに蒸
着したり、多数の底部シートを一度に蒸着したりする場
合には、真空チャンバーの大きさ等の最適化も必要とな
ってくる。
【０００９】そこで本発明は、電極に応じた深さの溝を
形成した後、底部シート全面に電極となる金属膜を形成
し、さらにその後、溝を掘り下げることにより、電極の
形成工程を簡単にしようとするものである。
形成した後、底部シート全面に電極となる金属膜を形成
し、さらにその後、溝を掘り下げることにより、電極の
形成工程を簡単にしようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、
圧電材料からなるインク流路の側壁に設けた電極に信号
電圧を印加し、前記インク流路の側壁を変形させること
により、前記溝に充されたインクを加圧し、前記インク
流路に連通するノズルからインクを吐出させるようにし
たインクジェット記録ヘッドを、少なくとも、前記シー
トに形成すべき電極の高さに応じた深さの溝を形成する
第１の工程と、前記溝を形成したシートの表面全面に電
極となる金属膜を形成する第２の工程と、前記第１の工
程において形成した溝の底部をさらに掘り下げてインク
流路を形成する第３の工程とから作製することを特徴と
するものである。
に、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、
圧電材料からなるインク流路の側壁に設けた電極に信号
電圧を印加し、前記インク流路の側壁を変形させること
により、前記溝に充されたインクを加圧し、前記インク
流路に連通するノズルからインクを吐出させるようにし
たインクジェット記録ヘッドを、少なくとも、前記シー
トに形成すべき電極の高さに応じた深さの溝を形成する
第１の工程と、前記溝を形成したシートの表面全面に電
極となる金属膜を形成する第２の工程と、前記第１の工
程において形成した溝の底部をさらに掘り下げてインク
流路を形成する第３の工程とから作製することを特徴と
するものである。
【００１１】
【作用】上記方法は、圧電シート材料に電極の大きさに
応じた深さの溝を形成し、その上面に一様に金属膜を形
成する。そしてさらに必要深さまで溝を掘り下げるもの
である。このため大きさのばらつきのない電極を簡単に
製造でき、また従来のように金属膜を形成するための特
殊な装置も必要としなくなる。
応じた深さの溝を形成し、その上面に一様に金属膜を形
成する。そしてさらに必要深さまで溝を掘り下げるもの
である。このため大きさのばらつきのない電極を簡単に
製造でき、また従来のように金属膜を形成するための特
殊な装置も必要としなくなる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。本実施例におけるインクジェット記
録ヘッドの製造方法は、底部シートに電極を形成する工
程に特徴があり、以下この点につき説明する。
しながら説明する。本実施例におけるインクジェット記
録ヘッドの製造方法は、底部シートに電極を形成する工
程に特徴があり、以下この点につき説明する。
【００１３】図１は電極の形成工程を示す断面図であ
り、図（ａ）では、圧電材料である低部シート１０の上
面に、熱可塑性のフィルム１４をラミネートした後、Ｕ
Ｖ露光、現像の所定の処理を施し、切削すべき溝のパタ
ーンを形成する。次に図（ｂ）の工程において、インク
流路となる溝のうち、電極が形成されるべき深さの第一
の溝１５を回転円盤カッティング装置で加工する。
り、図（ａ）では、圧電材料である低部シート１０の上
面に、熱可塑性のフィルム１４をラミネートした後、Ｕ
Ｖ露光、現像の所定の処理を施し、切削すべき溝のパタ
ーンを形成する。次に図（ｂ）の工程において、インク
流路となる溝のうち、電極が形成されるべき深さの第一
の溝１５を回転円盤カッティング装置で加工する。
【００１４】図（ｃ）において、電極２０となる金属膜
を加工面の全面に形成する。金属膜の形成方法は、抵抗
加熱、電子ビーム、スッパッタリング、イオンプレーテ
ィング等の真空蒸着方法や電解、無電解メッキ等の湿式
方法がある。代表的な材料としては、Ａｌ、Ａｕ等であ
るが前記方法で形成可能な材料であれば良い。また電極
２０は、密着性等の改善を目的として異種材料構成によ
る多層構造も可能である。
を加工面の全面に形成する。金属膜の形成方法は、抵抗
加熱、電子ビーム、スッパッタリング、イオンプレーテ
ィング等の真空蒸着方法や電解、無電解メッキ等の湿式
方法がある。代表的な材料としては、Ａｌ、Ａｕ等であ
るが前記方法で形成可能な材料であれば良い。また電極
２０は、密着性等の改善を目的として異種材料構成によ
る多層構造も可能である。
【００１５】次に図（ｄ）において、フィルム１４を溶
解するアセトン等の溶液に浸漬することにより、フィル
ム１４と共に不要な部分の電極材料を剥離除去する。こ
の時剥離を促進するために、超音波振動を併用すること
も効果的である。また他の除去方法としてプラズマエッ
チング装置を用いることも可能である。
解するアセトン等の溶液に浸漬することにより、フィル
ム１４と共に不要な部分の電極材料を剥離除去する。こ
の時剥離を促進するために、超音波振動を併用すること
も効果的である。また他の除去方法としてプラズマエッ
チング装置を用いることも可能である。
【００１６】そして最後に、図（ｅ）において、側壁１
２に形成した電極２０を傷つけないように、第一の溝１
５を掘り下げて、インク流路の下部を構成する第二の溝
１６を加工する。このとき第一の溝１５の低面１７の電
極も併せて除去される。
２に形成した電極２０を傷つけないように、第一の溝１
５を掘り下げて、インク流路の下部を構成する第二の溝
１６を加工する。このとき第一の溝１５の低面１７の電
極も併せて除去される。
【００１７】ここで第二の溝１６の幅は、好ましくは第
一の溝１５幅にできるだけ近いほうが良いのではある
が、その加工時に電極２０を傷つけるおそれがある。そ
こで電極２０との間に余裕をもたせて、第二の溝１６の
幅を狭くすると、側壁１２の下部は上部に比べ剛性が大
きくなってしまう。そこで第一の溝１５を全体の半分よ
り若干深くして、電極２０の面積を大きくすれば、効率
のよい変位を得ることができる。
一の溝１５幅にできるだけ近いほうが良いのではある
が、その加工時に電極２０を傷つけるおそれがある。そ
こで電極２０との間に余裕をもたせて、第二の溝１６の
幅を狭くすると、側壁１２の下部は上部に比べ剛性が大
きくなってしまう。そこで第一の溝１５を全体の半分よ
り若干深くして、電極２０の面積を大きくすれば、効率
のよい変位を得ることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、従来のよ
うに、斜め蒸着等の特殊な工程によらず電極を形成する
ことができ、工程を簡単にすることができる。またイン
ク流路の溝の数の多少に関係なく、常に一定の深さの電
極を形成することができ、ヘッドの特性も揃い、安定し
た吐出特性を得ることができる。
うに、斜め蒸着等の特殊な工程によらず電極を形成する
ことができ、工程を簡単にすることができる。またイン
ク流路の溝の数の多少に関係なく、常に一定の深さの電
極を形成することができ、ヘッドの特性も揃い、安定し
た吐出特性を得ることができる。
【図１】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法
における一工程を示す断面図
における一工程を示す断面図
【図２】本発明のインクジェット記録ヘッドを示す一部
切欠斜視図
切欠斜視図
【図３】同インクジェット記録ヘッドの断面図
【図４】従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法に
おける一工程を示す断面図
おける一工程を示す断面図
１０ 底部シート １１ 溝 １２ 側壁 １３ 頂部 １４ フィルム １５ 第一の溝 １６ 第二の溝 ２０ 電極 ３０ 頂部シート ３１ インク供給口 ４０ ノズル板 ４１ ノズル
Claims (1)
- 【請求項１】圧電材料からなるシートに、インク流路と
なる多数の溝を形成するとともに、前記溝の側壁に電極
を形成し、さらに前記溝を形成したシート上を他のシー
ト材料で覆ってなり、前記電極に信号電圧を印加するこ
とにより、前記側壁を変位させ、前記溝に充されたイン
クを加圧することにより、前記溝に連通するノズルか
ら、インクを吐出させるようにしたインクジェット記録
ヘッドの製造方法において、 前記シートに形成すべき電極の高さに応じた深さの溝を
形成する第１の工程と、前記溝を形成したシートの表面
全面に一様に金属膜を形成する第２の工程と、前記溝の
底部をさらに掘り下げる第３の工程とにより、前記電極
を形成するようにしたことを特徴とするインクジェット
記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7198516A JPH0939257A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7198516A JPH0939257A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0939257A true JPH0939257A (ja) | 1997-02-10 |
Family
ID=16392444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7198516A Pending JPH0939257A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0939257A (ja) |
-
1995
- 1995-08-03 JP JP7198516A patent/JPH0939257A/ja active Pending
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