JPH0939293A - レーザ描画装置 - Google Patents

レーザ描画装置

Info

Publication number
JPH0939293A
JPH0939293A JP18946695A JP18946695A JPH0939293A JP H0939293 A JPH0939293 A JP H0939293A JP 18946695 A JP18946695 A JP 18946695A JP 18946695 A JP18946695 A JP 18946695A JP H0939293 A JPH0939293 A JP H0939293A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
scanning
light
laser light
laser beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP18946695A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3629069B2 (ja
Inventor
Eiichi Ito
栄一 伊藤
Shingo Shiotani
慎吾 塩谷
Kiyoshi Yamamoto
山本  清
Koichi Furusawa
宏一 古澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pentax Corp
Original Assignee
Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd filed Critical Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Priority to JP18946695A priority Critical patent/JP3629069B2/ja
Publication of JPH0939293A publication Critical patent/JPH0939293A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3629069B2 publication Critical patent/JP3629069B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Laser Beam Printer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】レーザ光の照射位置を検出する手段を描画面か
ら離反した位置に設けることが可能なレーザ描画装置を
提供する。 【構成】レーザ光源11から射出されたレーザ光を反射
して偏向し、描画面を走査する主走査部15、およびレ
ーザ光の走査位置を検出するレーザ光検知部21を備
え、主走査部15によって反射されたレーザ光を少なく
とも二分割し、二分割された一方のレーザ光を描画面に
入射させる光束分割部19を設け、前記光束分割部19
で分割された他方のレーザ光を受光可能な位置にレーザ
光検知部21を配置した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の技術分野】本発明は、レザービームを利用した
プリンタなどの描画装置に関する。
【0002】
【従来技術およびその問題点】所定の文字、図形などを
レーザ光によって描画するプリンタやファクシミリなど
のレーザ描画装置では、レーザ光をポリゴンミラーなど
で反射して偏向し、描画面を走査することにより描画し
ている。例えば、レーザ光源から射出し、ポリゴンミラ
ーで反射したレーザ光は、fθレンズを透過して描画面
に入射し、ポリゴンミラーの回転に従って偏向して、描
画面を一定方向に主走査(移動)する。この主走査の際
に、レーザ光を変調、例えば発光/消灯、透過/遮光
(以下「オン/オフという)して、オン時のビームスポ
ットによりスポット径に相当するドットを、1ライン分
描画する。1ライン分の主走査が終了すると、描画面を
副走査方向に移動してから、次の1ライン分の走査を行
なう。以上の走査を繰り返して、ドットの集合により文
字、図形などを描画する。
【0003】ここで、主走査方向の描画に際して、レー
ザ光の走査位置と描画データにおける描画位置との同期
をとるために、描画面外の基準位置を通るレーザ光を検
知していた。つまり、非描画面外の主走査ライン上にレ
ーザ光を受光するビームディテクタを設け、ビームディ
テクタがレーザ光を検知した時を基準時とする時間制御
によっていわゆる水平同期をとっていた。
【0004】しかし、描画面周辺の機構的制約によっ
て、ビームディテクタは描画面から離れた位置に配置す
るしかなかった。そのため、レーザ光がビームディテク
タを通るように走査範囲、偏向角範囲を広くしなければ
ならなかった。
【0005】
【発明の目的】本発明は、レーザ光の照射位置を検出す
る手段を描画面から離反した位置に設けることが可能な
レーザ描画装置を提供することを目的とする。
【0006】
【発明の概要】この目的を達成する請求項1に記載の本
発明は、レーザ光を反射し、偏向して走査させる走査手
段;前記レーザ光の走査位置を検知する検知手段;前記
走査手段によって反射されたレーザ光を少なくとも二分
割して分割した一方のレーザ光を前記描画面に入射させ
る光束分割手段;および、この光束分割手段が分割した
他方のレーザ光を検知可能な位置に配置された走査位置
検知手段;を備えたこと、に特徴を有するレーザ描画装
置である。
【0007】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明を説明
する。図1は、本発明のレーザ描画装置の一実施の形態
をブロックで示す図である。
【0008】レーザ光源11から射出されたレーザ光
は、ビーム整形部13でビームの断面形状がほぼ円形に
整形され、主走査手段としての主走査部(偏光手段)1
5で反射されてfθレンズ17を透過し、光束分割手段
としての光束分割部19で反射および透過されて二分割
される。光束分割部19で反射したレーザ光は、被描画
部29上に集光して微小なスポットを形成する。そし
て、このスポットが、主走査部15の作動によって主走
査方向(水平方向)に移動して被描画部29を主走査
(水平走査)する。
【0009】一方、光束分割部19を透過したレーザ光
は、走査位置検知手段としてのレーザ光検知部21に入
射する。レーザ光検知部21は、被描画部29の描画面
を走査するレーザ光が基準位置(水平同期位置)に至っ
たことを検出するためのセンサである。本形態のレーザ
光検知部21は、光束分割部19に入射して分割された
レーザ光の内、反射したレーザ光が被描画部29上の描
画面(描画可能領域)を照射する前の基準位置を照射し
た時に、光束分割部19を透過したレーザ光を受光する
ように配置されている。したがって、主走査部15がレ
ーザ光を偏向する偏向角度範囲、つまり主走査する範囲
は、被描画部29の描画面の幅よりも少し広い。主走査
部15としては、例えば、揺動(往復回動)するガルバ
ノミラー、または連続回動するポリゴンミラーなどが使
用される。
【0010】副走査方向の(垂直方向)走査は、被描画
部29を副走査方向(垂直方向)に移動することによっ
て行なわれる。本実施例では、副走査部25が被描画部
29を副走査方向に移動させている。
【0011】この液晶書込み装置の描画動作は、通常マ
イクロコンピュータで構成される制御手段としての中央
制御部31によって制御される。中央制御部31は、パ
ーソナルコンピュータなどの外部通信機器から描画デー
タを入力し、描画用ページメモリ33にメモリし、描画
処理を開始する。この描画処理を、図2に示したフロー
チャートを参照して説明する。
【0012】描画処理を開始すると、中央制御部31
は、副走査駆動部27を介して副走査部25(被描画部
29)を初期位置に移動させ、主走査駆動部23を介し
て主走査部15を作動させる(S11、S13)。そし
て、描画用ページメモリ33にメモリされた描画データ
を順番に取得し、1水平ライン(主走査)分の描画デー
タを描画用ラインバッファ35に書込む(S15、S1
7)。
【0013】そして、光源駆動部37を駆動してレーザ
光源11からレーザ光を発光させ(S18)、レーザ光
が基準位置に達したことをレーザ光検知部21が検出し
た時を基準時として時間カウントを開始し、描画用ライ
ンバッファ35にセットした描画データを一定速度で読
出し、読み出したデータに基づいて、光源駆動部37を
オン/オフ制御する(S19、S21)。被描画部29
には、レーザ光がオンしているときにはレーザ光の照射
によって像が形成されるが、レーザ光がオフしていると
きには像が形成されないので、この光源駆動部37のオ
ン/オフ制御によってドット状に像が形成される。周知
の通り、このドットの集合によって文字、図形など描か
れる。
【0014】以上S21の描画処理を、1水平ライン分
繰り返す(S21、S23)。1水平ライン分の描画を
終了すると、副走査駆動部27を起動して副走査部25
を垂直走査方向に沿って規定量移動させて、次の1水平
ライン分のデータを描画用ページメモリ33から読み出
して描画用ラインバッファ35にセットする(S23、
S25、S15、S17)。そして、レーザ光検知部2
1がレーザ光が基準位置に達したことを検知するのを待
ち、検知したら、S19〜S23の描画処理を繰り返
す。
【0015】以上の処理によって、被描画部29上に、
所定のデータに基づく像が形成される。本実施の形態で
はレーザ光によって被描画部29に描画されるものを示
したが、被描画部29としては、例えばレーザプリンタ
などでは、この被描画部29として感光ドラムが使用さ
れる。また 図示の態様では、光束分割部19で反射し
たレーザ光を描画用に、透過したレーザ光を検知用に利
用したが、逆に透過したレーザ光を描画用に、反射した
レーザ光を検知用に利用してもよい。
【0016】以上は本発明の一実施の形態であるが、次
に、図3から図6を参照して、より具体的な一実施例に
ついて説明する。図3は、本発明を適用したレーザ描画
装置の一実施例を示す平面図、図4は、図3の切断線IV
−IVに沿う断面図である。このレーザ光描画装置は、被
描画部29としての熱書込み液晶セル101に文字、図
形などを描画する装置である。
【0017】熱書込み液晶セル101とは、一定温度以
上に過熱されると、液晶の相が透光状態から散乱状態に
転移する液晶の性質を利用したもので、例えば、液晶を
二枚の透明板の間に密封して、透明板を枠で固定するこ
とにより形成できる。また、この熱書込み液晶セルは、
液晶パネルの表裏の透明板の間に所定の電圧を印加され
ると、前記散乱状態の液晶が透光状態に復帰する。
【0018】このレーザ描画装置は、レーザ光源11と
してレーザダイオード113、ビーム整形部13として
コリメートレンズ115およびアナモフィックプリズム
117a、117b、主走査部15としてガルバノミラ
ー121、fθレンズ17としてfθレンズ123、光
束分割部19としてビームスプリッタ125、レーザ光
検知部21としてビームディテクタ127を備えてい
る。これらの各部材は、テーブル111上に配置されて
いて、テーブル111は、4本の脚112で支持されて
いる。テーブル111の下には、熱書込み液晶セル10
1を保持してこれを副走査方向に駆動する副走査部25
および副走査駆動部27としてステージ151を備えて
いる。
【0019】レーザダイオード113から発せられたレ
ーザ光は、コリメートレンズ115で集束され、アナモ
フィックプリズム117a、117bで断面形状がほぼ
円形に整形され、反射ミラー119で光路をほぼ90度
屈曲されてガルバノミラー121に入射する。そしてレ
ーザ光は、ガルバノミラー121で反射され、fθレン
ズ123で屈折され、ビームスプリッタ125に入射す
る。ビームスプリッタ125に入射したレーザ光のう
ち、大部分、例えば60〜90%、あるいは90%以上
がテーブル111の下方に配置された熱書込み液晶セル
101に向けて反射され、一部が、例えば40〜10
%、あるいは10%以下がビームスプリッタ125を透
過する。熱書込み液晶セル101に入射したレーザ光
は、微小なスポットに集光して、液晶を過熱する。な
お、ビームスプリッタ125の反射/透過の比率は任意
である。
【0020】ガルバノミラー121は、一定の周期で所
定角度範囲を揺動(往復回動)する。このガルバノミラ
ー121の揺動によって、レーザ光が所定偏向角範囲で
振られ、熱書込み液晶セル101を走査する。
【0021】ビームスプリッタ125の後方には、ガル
バノミラー121によって偏向されたレーザ光の内、反
射されたレーザ光が描画可能領域外の基準位置を通ると
きに透過したレーザ光を受光する位置にビームディテク
タ127が配置されている(図5および図6参照)。
【0022】熱書込み液晶セル101は、ステージ15
1の、少なくとも副走査方向に精密移動されるスライダ
153上に固定されている。スライダ153には、熱書
込み液晶セル101を保持するとともに、液晶転移温度
近くまでプレヒートする予熱器155が装着されてい
る。予熱器155は、熱書込み液晶セル101に接触す
るセル保持台157およびこのセル保持台157を過熱
する不図示の過熱手段を備えている。なお、図中符号1
59は、熱書込み液晶セル101に書込まれた像を消去
する電圧を印加するための電極を兼ねたセル押えであ
る。
【0023】このレーザ描画装置の制御部は、図1に示
した実施の形態と同様であり、この熱書込み液晶セル1
01への描画処理は、図2に示した実施の形態と同様で
ある。
【0024】以上の通り図3および4に示した実施例に
よれば、レーザ光を熱書込み液晶セル101およびビー
ムディテクタ127に向けてビームスプリッタ125で
分割するので、熱書込み液晶セル101からビームディ
テクタ127を独立分離して設けることが可能になっ
た。そのため、ビームディテクタ127を、従来より
も、描画可能領域隣接位置に相当する位置に設けること
も容易になったので、ガルバノミラー121による偏向
角範囲を従来よりも狭くすることが可能になった。
【0025】図示実施例では、描画可能領域外に相当す
る位置に1個のビームディテクタ127しか設けていな
いが、本発明は、ビームディテクタ127を複数個設け
ることも可能であり、さらに描画可能領域に相当する位
置に1個あるいは複数個設けることもできる。また、図
示実施例では光束分割部としてビームスプリッタを使用
したが、レーザ光を2以上に分割できる光束分割素子を
利用できる。また、本実施例では反射したレーザ光で描
画し、透過したレーザ光で位置検知したが、逆に透過し
たレーザ光で描画し、反射したレーザ光で位置検知する
構成としてもよい。
【0026】また、図示実施例ではビームスプリッタを
使用したが、レーザ光を分割できる部材であれば、ハー
フミラーなどでもよい。また、別の実施の形態では、描
画可能領域外を走査するレーザ光のみを反射または透過
する反射部材を設けて、描画可能領域外を走査するレー
ザ光を検知する構成としてもよい。このような形態によ
れば、描画可能領域をほぼ100 %のレーザ光で走査する
ことができる。図7には、部分反射ミラーの実施例とし
ての部分反射ミラー201の側面図を示してある。この
部分反射ミラー201は、レーザ光を描画面に向かって
反射する反射面203の一部にレーザ光を透過させる透
光部205を有している。
【0027】図8には、部分反射ミラー201の異なる
二つの実施例を示してある。部分反射ミラー211は、
反射したレーザ光が描画領域を走査する部分はすべて反
射面213であり、反射した際に描画領域外を照射する
位置に透光部215が形成されている。透光部215に
入射したレーザ光は、透光部215を透過して、走査位
置検知手段(例えば、ビームディテクタ127)に入射
する。
【0028】さらに他の実施例である部分反射ミラー2
21は、反射面223中に、レーザ光が走査する経路に
沿ってスリット状の透光部225が形成されている。透
光部225の幅は、部分反射ミラー221に入射するレ
ーザ光の光束径よりも小さく設定して、レーザー光の一
部が透光部225を透過し、大部分が反射面223で反
射する構成である。この部分反射ミラー221は、透光
部225にかかるレーザ光がここを透過するので、透光
部225に沿って複数のビームディテクタを配置するこ
とにより、簡単に複数位置においてレーザ光を検知する
ことができる。なお、透光部215、225は空間でも
よい。
【0029】
【発明の効果】以上の説明から明らかな通り本発明は、
レーザ描画装置において、走査手段によって反射された
レーザ光を少なくとも二分割し、二分割された一方のレ
ーザ光を描画面に入射させる光束分割手段を設け、前記
光束分割手段で分割された他方のレーザ光を検知可能な
位置に走査位置検知手段を配置したので、走査位置検知
手段の配置位置が描画面に規制も拘束もされることが無
くなった。したがって、走査手段によるレーザ光の偏向
角範囲も、ほぼ描画範囲まで狭めることが可能になり、
光学系の小型化が可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態をブロックで示す図であ
る。
【図2】同実施の形態における描画処理をフローチャー
トで示す図である。
【図3】本発明を適用したレーザ描画装置の一実施例の
要部を示す平面図である。
【図4】図3の切断線IV−IVに沿う断面図である。
【図5】図3に示した実施例における、ビームスプリッ
タ周辺の光学的構成の要部を示す平面図である。
【図6】図5の側面図である。
【図7】本発明における光束分割手段の別の実施例とし
て、部分反射型の光学素子の実施例の側面図である。
【図8】図7に示した部分反射型の光学素子の異なる実
施例を示す正面図である。
【符号の説明】
11 レーザ光源 13 ビーム整形部 15 主走査部(主走査手段) 17 fθレンズ(集光手段) 19 光束分割部(光束分割手段) 21 レーザ光検知部(走査位置検知手段) 23 主走査駆動部 113 レーザダイオード(レーザ光源) 121 ガルバノミラー(主走査手段) 123 fθレンズ(集光手段) 125 ビームスプリッタ(光束分割手段) 127 ビームディテクタ(走査位置検知手段)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古澤 宏一 東京都板橋区前野町2丁目36番9号 旭光 学工業株式会社内

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光を反射し、偏向して走査させる
    走査手段;前記レーザ光の走査位置を検知する検知手
    段;前記走査手段によって反射されたレーザ光を少なく
    とも二分割して分割した一方のレーザ光を描画面に入射
    させる光束分割手段;および、 この光束分割手段が分割した他方のレーザ光を検知可能
    な位置に配置された走査位置検知手段;を備えたことを
    特徴とするレーザ描画装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記走査手段は、前
    記一方のレーザ光を、前記描画面外まで走査し、前記走
    査位置検知手段は、前記一方のレーザ光が前記描画面外
    の特定位置を走査するときに、前記分割された他方のレ
    ーザ光を検知する位置に配置されていること、を特徴と
    するレーザ描画装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において、前記走査位置検知手
    段は、1個のビームディテクタであること、を特徴とす
    るレーザ描画装置。
  4. 【請求項4】 請求項1において、前記光束分割手段は
    ビームスプリッタであること、を特徴とするレーザ描画
    装置。
  5. 【請求項5】 請求項4において、前記ビームスプリッ
    タは、反射したレーザ光を描画面に導き、前記走査位置
    検知手段は、前記ビームスプリッタを透過したレーザ光
    を受光すること、を特徴とするレーザ描画装置。
  6. 【請求項6】 請求項1において、前記光束分割手段は
    部分反射ミラーであって、前記レーザ光を走査範囲の特
    定位置において透過し、他の位置においては反射するこ
    と、を特徴とするレーザ描画装置。
  7. 【請求項7】 請求項1において、前記光束分割手段
    は、前記走査されるレーザ光の大部分を反射する領域お
    よび一部を反射する領域を前記走査範囲に沿って有する
    こと、を特徴とするレーザ描画装置。
  8. 【請求項8】 請求項6または7において、前記ビーム
    スプリッタを透過したレーザ光を受光し得る位置に走査
    位置検知手段が配置されていること、を特徴とするレー
    ザ描画装置。
  9. 【請求項9】 請求項1において、前記走査手段は、前
    記一方のレーザ光が前記描画面を走査する範囲におい
    て、複数の異なる位置を走査するときに各異なる走査位
    置を検知可能に配置されていること、を特徴とするレー
    ザ描画装置。
JP18946695A 1995-07-25 1995-07-25 レーザ描画装置 Expired - Fee Related JP3629069B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18946695A JP3629069B2 (ja) 1995-07-25 1995-07-25 レーザ描画装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18946695A JP3629069B2 (ja) 1995-07-25 1995-07-25 レーザ描画装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0939293A true JPH0939293A (ja) 1997-02-10
JP3629069B2 JP3629069B2 (ja) 2005-03-16

Family

ID=16241749

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18946695A Expired - Fee Related JP3629069B2 (ja) 1995-07-25 1995-07-25 レーザ描画装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3629069B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190054764A (ko) * 2017-11-14 2019-05-22 연세대학교 산학협력단 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 시스템

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190054764A (ko) * 2017-11-14 2019-05-22 연세대학교 산학협력단 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
JP3629069B2 (ja) 2005-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3970359A (en) Flying spot flat field scanner
US20070024995A1 (en) Light beam emitter and image-forming device
GB1581275A (en) Flying-spot scanning system
JP2584224B2 (ja) 光ビ−ム記録装置
US4751525A (en) Scanning system and method of scanning
JP4129302B2 (ja) スキャナ
US20080173801A1 (en) Light beam scanning apparatus and image forming apparatus provided with the same
JP2001174732A (ja) マルチビーム光走査光学系及びそれを用いた画像形成装置
JPH0952387A (ja) レーザ描画装置
JPH0939293A (ja) レーザ描画装置
JPH0933839A (ja) レーザ描画装置
JPS60238811A (ja) 光ビ−ム走査装置
JP2713195B2 (ja) 走査光学装置
JPH0820619B2 (ja) 走査光学系
JPH09122942A (ja) レーザ描画装置
JP2527951Y2 (ja) 多点同期方式の光書込み装置
JP2582560B2 (ja) 放射線画像情報読取再生装置
JPH10149426A (ja) 光学走査装置及び光学情報読取装置並びに光学情報記録装置
JPH10274746A (ja) 光走査装置
KR19980067363A (ko) 멀티 빔 레이저 스캐너
JPH0954296A (ja) 熱書き込み液晶セル描画装置及び方法
JPS6291912A (ja) 光ビ−ム走査装置
JPH10325929A (ja) 走査光学装置
JPH0152731B2 (ja)
JPH10149427A (ja) 光学走査装置及び光学情報読取装置並びに光学情報記録装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Effective date: 20040128

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20040203

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Effective date: 20040401

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Effective date: 20041130

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20041210

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees