JPH0941128A - 有機化合物用蒸発源 - Google Patents
有機化合物用蒸発源Info
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- JPH0941128A JPH0941128A JP19857395A JP19857395A JPH0941128A JP H0941128 A JPH0941128 A JP H0941128A JP 19857395 A JP19857395 A JP 19857395A JP 19857395 A JP19857395 A JP 19857395A JP H0941128 A JPH0941128 A JP H0941128A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】有機化合物モノマーの補充を簡単且つ安全に行
え、モニター用熱電対により安定して測温できる有機化
合物用蒸発源を提供する 【解決手段】真空処理室１内に設けた基板４上に高分子
膜を成膜する蒸発源であって、有機化合物モノマーＡを
収容したガラス製容器５と、該ガラス製容器を輻射加熱
するハロゲンランプまたは金属抵抗体の加熱装置６と、
該ガラス製容器の壁面に接触させた温調用熱電対７と、
該ガラス製容器内の有機化合物モノマーの温度を測定す
るモニター用熱電対８とを備えた蒸発源に於いて、該ガ
ラス製容器の壁面の一部に該容器の内部へ凹入する凹部
１０を設け、該凹部に該モニター用熱電対を取付けた
え、モニター用熱電対により安定して測温できる有機化
合物用蒸発源を提供する 【解決手段】真空処理室１内に設けた基板４上に高分子
膜を成膜する蒸発源であって、有機化合物モノマーＡを
収容したガラス製容器５と、該ガラス製容器を輻射加熱
するハロゲンランプまたは金属抵抗体の加熱装置６と、
該ガラス製容器の壁面に接触させた温調用熱電対７と、
該ガラス製容器内の有機化合物モノマーの温度を測定す
るモニター用熱電対８とを備えた蒸発源に於いて、該ガ
ラス製容器の壁面の一部に該容器の内部へ凹入する凹部
１０を設け、該凹部に該モニター用熱電対を取付けた
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に高分子膜
を成膜するために有機化合物モノマーの原料を蒸発させ
る蒸発源に関する。
を成膜するために有機化合物モノマーの原料を蒸発させ
る蒸発源に関する。
【０００２】
【従来の技術】出願人は、先に、この種の蒸発源とし
て、図１に示すような、有機化合物モノマーＡを収容し
たガラス製容器ａと、該ガラス製容器ａを輻射加熱する
ハロゲンランプまたは金属抵抗体の加熱装置ｂと、該ガ
ラス製容器ａの壁面に接触させた温調用熱電対ｃと、該
ガラス製容器内の有機化合物モノマーＡ中に挿入したモ
ニター用熱電対ｄとを備えた蒸発源を提案した（特開平
６−８１１２９号公報）。この蒸発源を真空処理室内に
基板と対向して設ければ、温調用熱電対ｃで該ガラス製
容器の温度コントロールすると共にモニター用熱電対ｄ
で有機化合物の実際温度をモニターすることができ、迅
速且つ精密に該有機化合物モノマーの温度昇降を制御し
ながら基板へ成膜を行うことが可能になり、例えば多数
の基板へ吸光度の一様な光学膜を成膜できる利点があ
る。尚、該蒸発源を複数個設け、基板上に各蒸発源から
の各種蒸発物を蒸着重合させて成膜することも可能であ
る。
て、図１に示すような、有機化合物モノマーＡを収容し
たガラス製容器ａと、該ガラス製容器ａを輻射加熱する
ハロゲンランプまたは金属抵抗体の加熱装置ｂと、該ガ
ラス製容器ａの壁面に接触させた温調用熱電対ｃと、該
ガラス製容器内の有機化合物モノマーＡ中に挿入したモ
ニター用熱電対ｄとを備えた蒸発源を提案した（特開平
６−８１１２９号公報）。この蒸発源を真空処理室内に
基板と対向して設ければ、温調用熱電対ｃで該ガラス製
容器の温度コントロールすると共にモニター用熱電対ｄ
で有機化合物の実際温度をモニターすることができ、迅
速且つ精密に該有機化合物モノマーの温度昇降を制御し
ながら基板へ成膜を行うことが可能になり、例えば多数
の基板へ吸光度の一様な光学膜を成膜できる利点があ
る。尚、該蒸発源を複数個設け、基板上に各蒸発源から
の各種蒸発物を蒸着重合させて成膜することも可能であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】該ガラス製容器ａ内の
有機化合物モノマーＡが、例えば２５℃付近では固体で
あり、且つ蒸発時には融解して液化する材料である場
合、その蒸発中はモニター用熱電対ｄが液中に浸されて
いるため高い精度で液温を測定できる。しかし、有機化
合物モノマーＡの蒸発が進み、該モノマーＡを補充する
場合、該モニター用熱電対ｄは溶固した有機化合物モノ
マーＡの残滓でガラス製容器ａの壁面に固着状態となっ
ているので、該残滓を一旦加熱して溶かした後でなけれ
ば該熱電対ｄを取外せず、該モノマーＡの補充に時間が
かかる不都合があった。また、この場合、該モノマーＡ
が加熱されるために大気中の水分を吸湿し大気による酸
化などで変質することがあり、加熱で発生した蒸気を吸
込むおそれもあった。更に、該モノマーＡを変更すると
きは、モニター用熱電対ｄに付着した先のモノマーを取
り除く必要があって面倒であり、モニター用熱電対ｄを
モノマーＡ中の同じ位置にセットしなければ加熱条件が
ずれるのでそのセットに細心の注意を払う必要もあって
作業性が悪い欠点があった。
有機化合物モノマーＡが、例えば２５℃付近では固体で
あり、且つ蒸発時には融解して液化する材料である場
合、その蒸発中はモニター用熱電対ｄが液中に浸されて
いるため高い精度で液温を測定できる。しかし、有機化
合物モノマーＡの蒸発が進み、該モノマーＡを補充する
場合、該モニター用熱電対ｄは溶固した有機化合物モノ
マーＡの残滓でガラス製容器ａの壁面に固着状態となっ
ているので、該残滓を一旦加熱して溶かした後でなけれ
ば該熱電対ｄを取外せず、該モノマーＡの補充に時間が
かかる不都合があった。また、この場合、該モノマーＡ
が加熱されるために大気中の水分を吸湿し大気による酸
化などで変質することがあり、加熱で発生した蒸気を吸
込むおそれもあった。更に、該モノマーＡを変更すると
きは、モニター用熱電対ｄに付着した先のモノマーを取
り除く必要があって面倒であり、モニター用熱電対ｄを
モノマーＡ中の同じ位置にセットしなければ加熱条件が
ずれるのでそのセットに細心の注意を払う必要もあって
作業性が悪い欠点があった。
【０００４】本発明は、有機化合物モノマーの補充を簡
単且つ安全に行え、モニター用熱電対により安定して測
温できる有機化合物用蒸発源を提供することを目的とす
るものである。
単且つ安全に行え、モニター用熱電対により安定して測
温できる有機化合物用蒸発源を提供することを目的とす
るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では、真空処理室
内に設けた基板上に高分子膜を成膜する蒸発源であっ
て、有機化合物モノマーを収容したガラス製容器と、該
ガラス製容器を輻射加熱するハロゲンランプまたは金属
抵抗体の加熱装置と、該ガラス製容器の壁面に接触させ
た温調用熱電対と、該ガラス製容器内の有機化合物モノ
マーの温度を測定するモニター用熱電対とを備えた蒸発
源に於いて、該ガラス製容器の壁面の一部に該容器の内
部へ凹入する凹部を設け、該凹部に該モニター用熱電対
を取付けたことにより、上記の目的を達成するようにし
た。該凹部は該ガラス製容器内の有機化合物中に延び、
該凹部の周壁の肉厚を該容器と略同厚もしくはそれ以下
に形成することが有利である。
内に設けた基板上に高分子膜を成膜する蒸発源であっ
て、有機化合物モノマーを収容したガラス製容器と、該
ガラス製容器を輻射加熱するハロゲンランプまたは金属
抵抗体の加熱装置と、該ガラス製容器の壁面に接触させ
た温調用熱電対と、該ガラス製容器内の有機化合物モノ
マーの温度を測定するモニター用熱電対とを備えた蒸発
源に於いて、該ガラス製容器の壁面の一部に該容器の内
部へ凹入する凹部を設け、該凹部に該モニター用熱電対
を取付けたことにより、上記の目的を達成するようにし
た。該凹部は該ガラス製容器内の有機化合物中に延び、
該凹部の周壁の肉厚を該容器と略同厚もしくはそれ以下
に形成することが有利である。
【０００６】
【発明の実施の形態】図２に示すように、本発明の有機
化合物用蒸発源１は真空排気口２により真空排気される
真空処理室３内に基板４と対向して設置され、該蒸発源
１から蒸発する有機化合物モノマーＡの蒸気を該基板４
に付着させてそこに高分子膜を成膜する。該基板４とし
ては、ガラス、プラスチック、シリコンウエハ等の任意
のものが使用され、これに該蒸発源１からの蒸気で例え
ばポリ尿素膜の高分子膜が成膜される。該蒸発源１の詳
細は図３の如くであり、有機化合物モノマーＡを収容し
た上方を向く蒸発口９を有するガラス製容器５と、該ガ
ラス製容器５を輻射加熱する該容器５の上方のハロゲン
ランプまたは金属抵抗体の加熱装置６と、該ガラス製容
器５の壁面に接触させた温調用熱電対７と、該ガラス製
容器５内の有機化合物モノマーＡの温度を測定するモニ
ター用熱電対８とを備え、該加熱装置６により該モノマ
ーＡを加熱蒸発させ、その際、該温調用熱電対７による
該容器５の温度とモニター用熱電対８による該モノマー
Ａの実際の温度を測定して加熱装置６をPID 制御するこ
とにより、該モノマーＡが蒸発に伴い減少してその熱容
量が変化しても迅速且つ精密に該モノマーＡの温度調整
を行え、繰り返して基板４に高分子膜を成膜したとき、
各基板４の膜質を均一となし得られ、例えば吸光度の均
一な成膜を各基板４に対して行える。該蒸発源１は、成
膜する高分子膜の種類によって１基もしくは複数基設け
られ、例えばポリ尿素の高分子膜を成膜するときは、２
基の蒸発源１が設けられ、その一方の蒸発源１には有機
化合物モノマーとして４，４´−ジアミノジフェニルメ
タン（以下、MDA という）を収容し、もう一方の蒸発源
１には４，４´−ジフェニルメタンジイソシアナート
（以下、MDI という）を収容する。
化合物用蒸発源１は真空排気口２により真空排気される
真空処理室３内に基板４と対向して設置され、該蒸発源
１から蒸発する有機化合物モノマーＡの蒸気を該基板４
に付着させてそこに高分子膜を成膜する。該基板４とし
ては、ガラス、プラスチック、シリコンウエハ等の任意
のものが使用され、これに該蒸発源１からの蒸気で例え
ばポリ尿素膜の高分子膜が成膜される。該蒸発源１の詳
細は図３の如くであり、有機化合物モノマーＡを収容し
た上方を向く蒸発口９を有するガラス製容器５と、該ガ
ラス製容器５を輻射加熱する該容器５の上方のハロゲン
ランプまたは金属抵抗体の加熱装置６と、該ガラス製容
器５の壁面に接触させた温調用熱電対７と、該ガラス製
容器５内の有機化合物モノマーＡの温度を測定するモニ
ター用熱電対８とを備え、該加熱装置６により該モノマ
ーＡを加熱蒸発させ、その際、該温調用熱電対７による
該容器５の温度とモニター用熱電対８による該モノマー
Ａの実際の温度を測定して加熱装置６をPID 制御するこ
とにより、該モノマーＡが蒸発に伴い減少してその熱容
量が変化しても迅速且つ精密に該モノマーＡの温度調整
を行え、繰り返して基板４に高分子膜を成膜したとき、
各基板４の膜質を均一となし得られ、例えば吸光度の均
一な成膜を各基板４に対して行える。該蒸発源１は、成
膜する高分子膜の種類によって１基もしくは複数基設け
られ、例えばポリ尿素の高分子膜を成膜するときは、２
基の蒸発源１が設けられ、その一方の蒸発源１には有機
化合物モノマーとして４，４´−ジアミノジフェニルメ
タン（以下、MDA という）を収容し、もう一方の蒸発源
１には４，４´−ジフェニルメタンジイソシアナート
（以下、MDI という）を収容する。
【０００７】こうした構成は先に提案した有機化合物用
蒸発源と略同様であるが、本発明では該ガラス製容器５
の壁面の一部に該容器の内部へ凹入する細管状の凹部１
０を設け、該凹部１０に該モニター用熱電対８を取付け
るようにし、該モノマーＡの補充・交換に際しての前記
不都合や欠点の解消を図るようにした。該凹部１０の内
径は、モニター用熱電対８が適合する程度に形成され、
該凹部１０の先端は、該容器５内に収容した該モノマー
Ａ中に浸す位置まで延ばすようにした。図３の実施例で
は、該凹部１０を該ガラス製容器５の上部壁面を凹入さ
せて形成したが、図４の如く該ガラス製容器５の側壁に
設けるようにしてもよく、該凹部１０の周壁の肉厚は該
容器５の肉厚と略同厚もしくはそれ以下とすることが好
ましい。また、温調用熱電対７を常に所定の位置に取付
けるために、図５のように該容器５の外周面にガラスの
ポケット１１を設けておくようにしてもよい。
蒸発源と略同様であるが、本発明では該ガラス製容器５
の壁面の一部に該容器の内部へ凹入する細管状の凹部１
０を設け、該凹部１０に該モニター用熱電対８を取付け
るようにし、該モノマーＡの補充・交換に際しての前記
不都合や欠点の解消を図るようにした。該凹部１０の内
径は、モニター用熱電対８が適合する程度に形成され、
該凹部１０の先端は、該容器５内に収容した該モノマー
Ａ中に浸す位置まで延ばすようにした。図３の実施例で
は、該凹部１０を該ガラス製容器５の上部壁面を凹入さ
せて形成したが、図４の如く該ガラス製容器５の側壁に
設けるようにしてもよく、該凹部１０の周壁の肉厚は該
容器５の肉厚と略同厚もしくはそれ以下とすることが好
ましい。また、温調用熱電対７を常に所定の位置に取付
けるために、図５のように該容器５の外周面にガラスの
ポケット１１を設けておくようにしてもよい。
【０００８】真空処理室１内を例えば１０-5Torrに真空
排気し、該加熱装置６により該容器５を適当な温度に加
熱すると、該容器５内の有機化合物モノマーＡが蒸発し
て基板４の表面に付着し、そこに高分子膜が形成される
が、該モノマーＡの内部へ凹部１０が浸っており、凹部
１０の温度と該モノマーＡの温度は一致し、モニター用
熱電対８の先端を該凹部１０の先端に接触させて精度良
く該モノマーＡの温度を測定でき、該加熱装置６の温度
制御を迅速且つ正確に行える。そして、多数枚の基板４
への成膜により該有機化合物モノマーＡが消耗すると、
成膜を止め、該容器５を真空処理室１から取出して該モ
ノマーＡを補充することになるが、この場合、該容器５
内へ単に該モノマーＡを補充するだけでよく、モニター
用熱電対の取外しのために該モノマーＡの溶固した残滓
を加熱溶融する必要がないから、該モノマーＡの吸湿・
酸化等を防げ、該モノマーＡの蒸気を吸入する恐れもな
い。また、モニター用熱電対８は該容器５の所定位置に
簡単に着脱でき、モノマーが付着することもないから、
該容器５を他のモノマーを収容した容器に簡単に交換で
き、測温条件がずれることもない。
排気し、該加熱装置６により該容器５を適当な温度に加
熱すると、該容器５内の有機化合物モノマーＡが蒸発し
て基板４の表面に付着し、そこに高分子膜が形成される
が、該モノマーＡの内部へ凹部１０が浸っており、凹部
１０の温度と該モノマーＡの温度は一致し、モニター用
熱電対８の先端を該凹部１０の先端に接触させて精度良
く該モノマーＡの温度を測定でき、該加熱装置６の温度
制御を迅速且つ正確に行える。そして、多数枚の基板４
への成膜により該有機化合物モノマーＡが消耗すると、
成膜を止め、該容器５を真空処理室１から取出して該モ
ノマーＡを補充することになるが、この場合、該容器５
内へ単に該モノマーＡを補充するだけでよく、モニター
用熱電対の取外しのために該モノマーＡの溶固した残滓
を加熱溶融する必要がないから、該モノマーＡの吸湿・
酸化等を防げ、該モノマーＡの蒸気を吸入する恐れもな
い。また、モニター用熱電対８は該容器５の所定位置に
簡単に着脱でき、モノマーが付着することもないから、
該容器５を他のモノマーを収容した容器に簡単に交換で
き、測温条件がずれることもない。
【０００９】
【実施例】真空処理室内に２基の該蒸発源１、１を配置
し、各蒸発源１のガラス製容器５を直径５０mm、長さ１
００mm、厚さ０．５mmの横長の円筒状に形成してその一
側に口径２０mmの蒸発口９を形成した。そして該容器５
の上面の周壁に内径２mm、深さ４５mm、厚さ０．５mmの
凹部１０を形成し、その奥に銅−銅ニッケル合金から成
る測定精度±０．１℃のモニター用熱電対８の接点を挿
入した。該温調用熱電対７は該容器５の上面の周壁に接
触させて取付け、該容器５の上方１０mmの位置にハロゲ
ンランプからなる加熱装置６を設けた。該加熱装置６は
各熱電対７、８からの検出信号に基づきPID 制御するよ
うにした。
し、各蒸発源１のガラス製容器５を直径５０mm、長さ１
００mm、厚さ０．５mmの横長の円筒状に形成してその一
側に口径２０mmの蒸発口９を形成した。そして該容器５
の上面の周壁に内径２mm、深さ４５mm、厚さ０．５mmの
凹部１０を形成し、その奥に銅−銅ニッケル合金から成
る測定精度±０．１℃のモニター用熱電対８の接点を挿
入した。該温調用熱電対７は該容器５の上面の周壁に接
触させて取付け、該容器５の上方１０mmの位置にハロゲ
ンランプからなる加熱装置６を設けた。該加熱装置６は
各熱電対７、８からの検出信号に基づきPID 制御するよ
うにした。
【００１０】基板４として厚さ１０００オングストロー
ムのアルミニウムを蒸着した幅２６mm、長さ７６mm、厚
さ１mmのガラス基板を該蒸発源１の上方に設け、一方の
ガラス製容器５内にMDA の有機化合物モノマーを収容
し、もう一方のガラス製容器５内にMDI の有機化合物モ
ノマーを収容した。MDA の真空中での融点は９１℃、蒸
発温度は１００℃付近で、MDI の真空中での融点は４０
℃、蒸発温度は７０℃付近であり、これらのモノマーは
常温では固体、蒸発時には液体になる。
ムのアルミニウムを蒸着した幅２６mm、長さ７６mm、厚
さ１mmのガラス基板を該蒸発源１の上方に設け、一方の
ガラス製容器５内にMDA の有機化合物モノマーを収容
し、もう一方のガラス製容器５内にMDI の有機化合物モ
ノマーを収容した。MDA の真空中での融点は９１℃、蒸
発温度は１００℃付近で、MDI の真空中での融点は４０
℃、蒸発温度は７０℃付近であり、これらのモノマーは
常温では固体、蒸発時には液体になる。
【００１１】MDA の蒸発源に於いては、温調用熱電対７
によりガラス製容器５の温度が１１０℃となり、モニタ
ー用熱電対８によりMDA の温度が１００±０．２℃とな
るように加熱装置６をセットし、MDI の蒸発源に於いて
は、温調用熱電対７によりガラス製容器５の温度が８０
℃となり、モニター用熱電対８によりMDI の温度が７０
±０．１℃となるように加熱装置６をセットした。そし
て各加熱装置６を作動させ、所定の蒸発量が得られるよ
うになった時点でシャッター１２を開き、基板４上にMD
A 及びMDI を５オングストローム／sec の析出速度で厚
さ５０００オングストロームの蒸着を行ったのち、シャ
ッター１２を閉じた。該基板４上では、MDA とMDI が重
合し、ポリ尿素膜が成膜される。このポリ尿素膜を赤外
吸収スペクトル分析で重合末端のイソシアナート（−Ｎ
＝Ｃ＝Ｏ）基による吸収（吸光度）を調べたところ、サ
ンプル１０個で平均値に対し±５％以下であった。これ
によれば、温度制御は該凹部１０にモニター用熱電対８
を設けても正確に行えることが分かる。また、該容器５
への該モノマーの補充のために要した時間は１０分であ
り、従来の５分の１にすぎなかった。
によりガラス製容器５の温度が１１０℃となり、モニタ
ー用熱電対８によりMDA の温度が１００±０．２℃とな
るように加熱装置６をセットし、MDI の蒸発源に於いて
は、温調用熱電対７によりガラス製容器５の温度が８０
℃となり、モニター用熱電対８によりMDI の温度が７０
±０．１℃となるように加熱装置６をセットした。そし
て各加熱装置６を作動させ、所定の蒸発量が得られるよ
うになった時点でシャッター１２を開き、基板４上にMD
A 及びMDI を５オングストローム／sec の析出速度で厚
さ５０００オングストロームの蒸着を行ったのち、シャ
ッター１２を閉じた。該基板４上では、MDA とMDI が重
合し、ポリ尿素膜が成膜される。このポリ尿素膜を赤外
吸収スペクトル分析で重合末端のイソシアナート（−Ｎ
＝Ｃ＝Ｏ）基による吸収（吸光度）を調べたところ、サ
ンプル１０個で平均値に対し±５％以下であった。これ
によれば、温度制御は該凹部１０にモニター用熱電対８
を設けても正確に行えることが分かる。また、該容器５
への該モノマーの補充のために要した時間は１０分であ
り、従来の５分の１にすぎなかった。
【００１２】
【発明の効果】以上のように本発明によるときは、有機
化合物蒸発源のガラス製容器の壁面の一部に該容器の内
部へ凹入する凹部を設けてそこにモニター用熱電対を取
付けたので、有機化合物モノマーを補充する場合、該モ
ニター用熱電対に妨げられることなく簡単且つ短時間に
その補充を行え、該熱電対の着脱も簡単で所定の位置に
設けることができ、測温のずれを生じることがなく、作
業性と安全性が向上する等の効果がある。
化合物蒸発源のガラス製容器の壁面の一部に該容器の内
部へ凹入する凹部を設けてそこにモニター用熱電対を取
付けたので、有機化合物モノマーを補充する場合、該モ
ニター用熱電対に妨げられることなく簡単且つ短時間に
その補充を行え、該熱電対の着脱も簡単で所定の位置に
設けることができ、測温のずれを生じることがなく、作
業性と安全性が向上する等の効果がある。
【図１】従来の有機化合物蒸発源の側面図
【図２】本発明の実施例の截断側面図
【図３】図２の蒸発源の要部の拡大図
【図４】図２のガラス製容器の変形例の側面図
【図５】図２のガラス製容器の他の変形例の側面図
１ 有機化合物用蒸発源 Ａ 有機化合物モ
ノマー ４ 基板 ５ ガラス製容器 ６ 加熱装置 ７ 温調用熱電対 ８ モニター用熱電対 １０ 凹部
ノマー ４ 基板 ５ ガラス製容器 ６ 加熱装置 ７ 温調用熱電対 ８ モニター用熱電対 １０ 凹部
Claims (2)
- 【請求項１】真空処理室内に設けた基板上に高分子膜を
成膜する蒸発源であって、有機化合物モノマーを収容し
たガラス製容器と、該ガラス製容器を輻射加熱するハロ
ゲンランプまたは金属抵抗体の加熱装置と、該ガラス製
容器の壁面に接触させた温調用熱電対と、該ガラス製容
器内の有機化合物モノマーの温度を測定するモニター用
熱電対とを備えた蒸発源に於いて、該ガラス製容器の壁
面の一部に該容器の内部へ凹入する凹部を設け、該凹部
に該モニター用熱電対を取付けたことを特徴とする有機
化合物用蒸発源。 - 【請求項２】上記凹部は上記ガラス製容器内の有機化合
物モノマー中に延び、該凹部の周壁の肉厚を該容器と略
同厚もしくはそれ以下に形成したことを特徴とする請求
項１に記載の有機化合物用蒸発源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19857395A JPH0941128A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 有機化合物用蒸発源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19857395A JPH0941128A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 有機化合物用蒸発源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0941128A true JPH0941128A (ja) | 1997-02-10 |
Family
ID=16393432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19857395A Pending JPH0941128A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 有機化合物用蒸発源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0941128A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005029895A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-02-03 | Agfa Gevaert Nv | 蒸着装置 |
| JP2011246786A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Optorun Co Ltd | 有機膜形成用蒸着材料 |
-
1995
- 1995-08-03 JP JP19857395A patent/JPH0941128A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005029895A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-02-03 | Agfa Gevaert Nv | 蒸着装置 |
| JP2011246786A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Optorun Co Ltd | 有機膜形成用蒸着材料 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040413 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040511 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040928 |