JPH0945468A - Ｃｃｍのヒーターエレメント - Google Patents
ＣｃｍのヒーターエレメントInfo
- Publication number
- JPH0945468A JPH0945468A JP21024095A JP21024095A JPH0945468A JP H0945468 A JPH0945468 A JP H0945468A JP 21024095 A JP21024095 A JP 21024095A JP 21024095 A JP21024095 A JP 21024095A JP H0945468 A JPH0945468 A JP H0945468A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater element
- slits
- heating
- ccm
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｓｉ単結晶引上げ用上げ炉等の高温炉に
用い、軽量で強度が高く、加工も簡単で、局部発熱や発
熱班を防止し、均熱加熱が可能なＣＣＭ製のヒーターエ
レメントを提供する。 【解決手段】 スリットが多数交互に設けられジグ
ザグ状の発熱体部が形成されてなる加熱炉用円筒状又は
板状のヒーターエレメントにおいて、ヒーターエレメン
ト内にスリットを１本以上内在させ加熱電流を強制的に
平均に分流させたＣＣＭのヒーターエレメント。また上
記ヒーターエレメントにおいてヒーターエレメントに内
在させたスリットの数をｎとし、ヒーターエレメントの
幅ｗ及び長さａに対し、内在させたスリットの長さ〓を
特定の関係に定め、スリットを均等に配置させたＣＣＭ
のヒーターエレメント。
用い、軽量で強度が高く、加工も簡単で、局部発熱や発
熱班を防止し、均熱加熱が可能なＣＣＭ製のヒーターエ
レメントを提供する。 【解決手段】 スリットが多数交互に設けられジグ
ザグ状の発熱体部が形成されてなる加熱炉用円筒状又は
板状のヒーターエレメントにおいて、ヒーターエレメン
ト内にスリットを１本以上内在させ加熱電流を強制的に
平均に分流させたＣＣＭのヒーターエレメント。また上
記ヒーターエレメントにおいてヒーターエレメントに内
在させたスリットの数をｎとし、ヒーターエレメントの
幅ｗ及び長さａに対し、内在させたスリットの長さ〓を
特定の関係に定め、スリットを均等に配置させたＣＣＭ
のヒーターエレメント。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、シリコン単結晶引き上げ装置等
の大型高温炉に用いられる炭素ヒーターの改良に関す
る。
の大型高温炉に用いられる炭素ヒーターの改良に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えばシリコン単結晶引き上げ炉のヒー
ターとしては、図３に示すように、円筒状の形状をな
し、上端から下端へ向かうかまたは下端から上端へ向か
うスリット２とが交互に設けられたヒーター本体１と一
体に設けられた２つの端子３を有する炭素ヒーターが用
いられている。この炭素ヒーターの原理は、２つの端子
３間に電圧を印加して、ヒーター本体１の隣接する２つ
のスリット２に挟まれた各ヒーターセグメントを順次上
下に流れる電流によって抵抗加熱するものである。
ターとしては、図３に示すように、円筒状の形状をな
し、上端から下端へ向かうかまたは下端から上端へ向か
うスリット２とが交互に設けられたヒーター本体１と一
体に設けられた２つの端子３を有する炭素ヒーターが用
いられている。この炭素ヒーターの原理は、２つの端子
３間に電圧を印加して、ヒーター本体１の隣接する２つ
のスリット２に挟まれた各ヒーターセグメントを順次上
下に流れる電流によって抵抗加熱するものである。
【０００３】
【発明の課題】近年シリコンウエハーの８インチ以上と
大口径化の移行に伴い、炭素ヒーターも大型になった。
重量大となった炭素ヒーターの取り付交換作業も慎重さ
が必要とされ、軽量の炭素繊維強化炭素材料（以下ＣＣ
Ｍという）のヒーターが好んで使われるようになった。
大口径化の移行に伴い、炭素ヒーターも大型になった。
重量大となった炭素ヒーターの取り付交換作業も慎重さ
が必要とされ、軽量の炭素繊維強化炭素材料（以下ＣＣ
Ｍという）のヒーターが好んで使われるようになった。
【０００４】しかし従来の炭素材をＣＣＭ材に置き換え
ると、高価なものになってしまうので、強度の高いＣＣ
Ｍ材は薄肉厚のヒーター形状とすると、二次元的に補強
された積層構造になるため、電気抵抗、熱伝導率が面方
向と積層方向で大差があり、スリットエンドの周りの局
部発熱を生じ、均熱加熱できるヒーターが求められてい
た。
ると、高価なものになってしまうので、強度の高いＣＣ
Ｍ材は薄肉厚のヒーター形状とすると、二次元的に補強
された積層構造になるため、電気抵抗、熱伝導率が面方
向と積層方向で大差があり、スリットエンドの周りの局
部発熱を生じ、均熱加熱できるヒーターが求められてい
た。
【０００５】
【発明の課題】本発明は、上記した目的を達成するため
に、ＣＣＭ材のヒーターエレメントに両端が閉じられた
スリットを内在させ、加熱電流を強制的に均一に分流さ
せ、均熱部分を多くさせたヒーターエレメントを提供す
る。本発明によるＣＣＭ材のヒーターエレメントを持つ
Ｓｉ単結晶引上げ炉等の高温炉に用いられると、軽量で
強度が高く加工も簡単で、局部発熱や発熱班を防止し、
均熱加熱が可能になる。
に、ＣＣＭ材のヒーターエレメントに両端が閉じられた
スリットを内在させ、加熱電流を強制的に均一に分流さ
せ、均熱部分を多くさせたヒーターエレメントを提供す
る。本発明によるＣＣＭ材のヒーターエレメントを持つ
Ｓｉ単結晶引上げ炉等の高温炉に用いられると、軽量で
強度が高く加工も簡単で、局部発熱や発熱班を防止し、
均熱加熱が可能になる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】ＣＣＭ材自体の抵抗調整
は、原料炭素繊維、マトリックス、加熱条件等を厳密に
規定せねばならず、工程設計に困難が伴うが、前記のス
リットを内在させた構造とすることにより、容易に調整
可能になる。本発明品においてはＣＣＭ材について好適
であることを述べたが、本発明は従来の炭素材について
も適用できることは言うまでもない。
は、原料炭素繊維、マトリックス、加熱条件等を厳密に
規定せねばならず、工程設計に困難が伴うが、前記のス
リットを内在させた構造とすることにより、容易に調整
可能になる。本発明品においてはＣＣＭ材について好適
であることを述べたが、本発明は従来の炭素材について
も適用できることは言うまでもない。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例により説明する。図１
および図２は、本発明に係るＣＣＭ材のヒーターエレメ
ントの要部を示す。図１は両端が閉じられたスリットを
ヒーターエレメントに１本内在させた例であり、図２は
当該スリットを２本内在させた例である。スリットが多
数交互に設けられたジグザグ状の発熱体部が形成されて
なる加熱炉用の円筒状又は板状のヒーターエレメントに
おいて、ヒーターエレメントに両端が閉じられたスリッ
トを内在させる。
および図２は、本発明に係るＣＣＭ材のヒーターエレメ
ントの要部を示す。図１は両端が閉じられたスリットを
ヒーターエレメントに１本内在させた例であり、図２は
当該スリットを２本内在させた例である。スリットが多
数交互に設けられたジグザグ状の発熱体部が形成されて
なる加熱炉用の円筒状又は板状のヒーターエレメントに
おいて、ヒーターエレメントに両端が閉じられたスリッ
トを内在させる。
【０００８】内在させるスリットの長さ〓は、ヒーター
発熱部の長さａ、幅ｗ、スリット数ｎとする時、 となるように決め、スリットに対し平行に等配させる。
この時、内在させる両端が閉じたスリットは、ヒーター
のターン部に食い込む形となる。
発熱部の長さａ、幅ｗ、スリット数ｎとする時、 となるように決め、スリットに対し平行に等配させる。
この時、内在させる両端が閉じたスリットは、ヒーター
のターン部に食い込む形となる。
【０００９】このような形状にＣＣＭのヒーターを形成
すると、例えば薄く幅広く、加熱部分が短い形状のヒー
ターであっても、従来スリットエンド部で生じた局部発
熱や発熱班を減じ、均一発熱するヒーターが得られる。
特にＣＣＭの材料でヒーターを作ると、従来の炭素材
（黒鉛材を含む）では厚肉で重量が大きいが、本願提案
の方法によると、薄肉で軽量なヒーターが得られるこ
と、従来の炭素材と同寸法とすると、ＣＣＭでは高価に
なってしまい、高温炉での採用は難しくなってしまう。
高強度で軽量なＣＣＭのヒーターは本発明の両端が閉じ
たスリットを内在させることによって、大型の高温炉に
採用が可能となる。
すると、例えば薄く幅広く、加熱部分が短い形状のヒー
ターであっても、従来スリットエンド部で生じた局部発
熱や発熱班を減じ、均一発熱するヒーターが得られる。
特にＣＣＭの材料でヒーターを作ると、従来の炭素材
（黒鉛材を含む）では厚肉で重量が大きいが、本願提案
の方法によると、薄肉で軽量なヒーターが得られるこ
と、従来の炭素材と同寸法とすると、ＣＣＭでは高価に
なってしまい、高温炉での採用は難しくなってしまう。
高強度で軽量なＣＣＭのヒーターは本発明の両端が閉じ
たスリットを内在させることによって、大型の高温炉に
採用が可能となる。
【図１】本発明のヒーターエレメントで両端が閉じられ
たスリットを１本内在させた例を示す。
たスリットを１本内在させた例を示す。
【図２】本発明のヒーターエレメントで両端が閉じられ
たスリットを２本内在させた例を示す。
たスリットを２本内在させた例を示す。
【図３】従来のシリコン単結晶引き上げ炉用の炭素ヒー
ターを示す。
ターを示す。
１ ヒーター本体 ２ スリット ３ 端子 ａ ヒーターエレメントの長さ 〓 スリットの長さ ｗ ヒーターエレメントの幅
Claims (2)
- 【請求項１】スリットが多数交互に設けられジグザグ状
の発熱体部が形成されてなる加熱炉用円筒状又は板状の
ヒーターエレメントにおいて、発熱部の局部発熱や発熱
班を防止し、均熱部を多くするためにヒーターエレメン
ト内にスリットを１本以上内在させ加熱電流を強制的に
平均に分流させたＣＣＭのヒーターエレメント - 【請求項２】ヒーターエレメントに内在させたスリット
の数をｎとし、ヒーターエレメントの幅ｗ及び長さａに
対し、内在させたスリットの長さ〓が、 であるスリットを均等に配置させることを特徴とする請
求項１記載のＣＣＭのヒーターエレメント
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21024095A JPH0945468A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | Ｃｃｍのヒーターエレメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21024095A JPH0945468A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | Ｃｃｍのヒーターエレメント |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0945468A true JPH0945468A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16586110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21024095A Pending JPH0945468A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | Ｃｃｍのヒーターエレメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0945468A (ja) |
-
1995
- 1995-07-27 JP JP21024095A patent/JPH0945468A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20001205 |