JPH0949812A - Ｘ線回折装置の試料ホルダ - Google Patents
Ｘ線回折装置の試料ホルダInfo
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- JPH0949812A JPH0949812A JP7221192A JP22119295A JPH0949812A JP H0949812 A JPH0949812 A JP H0949812A JP 7221192 A JP7221192 A JP 7221192A JP 22119295 A JP22119295 A JP 22119295A JP H0949812 A JPH0949812 A JP H0949812A
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- 238000013519 translation Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 7
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000634 powder X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 交差する３軸回りに試料を回転させる試料回
転機構を備えるＸ線回折装置の試料ホルダに、試料面に
平行な１次元の並進運動と試料面に垂直な回転運動とを
組み合わせた照射位置調節機構を搭載して、照射位置調
節機構の占有空間を小さくする。 【解決手段】 χサークル４０はω軸４２の回りにω回
転でき、このχサークル４０に沿ってＺ移動台４４がχ
回転する。またφ軸４６はＺ移動台４４に対して前後に
スライドでき、試料の前後移動の調節を可能にする。φ
軸４６は試料をφ回転する。φ軸４６には並進ガイド５
０が固定されていて、試料取付台４８は並進ガイド５０
に対して水平方向に移動でき、かつ、試料取付台４８は
その中心の回りを回転できる。このｒ並進運動とα回転
により試料上の任意の位置にＸ線を照射できる。
転機構を備えるＸ線回折装置の試料ホルダに、試料面に
平行な１次元の並進運動と試料面に垂直な回転運動とを
組み合わせた照射位置調節機構を搭載して、照射位置調
節機構の占有空間を小さくする。 【解決手段】 χサークル４０はω軸４２の回りにω回
転でき、このχサークル４０に沿ってＺ移動台４４がχ
回転する。またφ軸４６はＺ移動台４４に対して前後に
スライドでき、試料の前後移動の調節を可能にする。φ
軸４６は試料をφ回転する。φ軸４６には並進ガイド５
０が固定されていて、試料取付台４８は並進ガイド５０
に対して水平方向に移動でき、かつ、試料取付台４８は
その中心の回りを回転できる。このｒ並進運動とα回転
により試料上の任意の位置にＸ線を照射できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、互いに交差する
３軸回りに試料を回転させる試料回転機構を備えるＸ線
回折装置の試料ホルダに関し、特に、試料面内のＸ線照
射位置を調節する機構に特徴のある試料ホルダに関す
る。
３軸回りに試料を回転させる試料回転機構を備えるＸ線
回折装置の試料ホルダに関し、特に、試料面内のＸ線照
射位置を調節する機構に特徴のある試料ホルダに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図７はＸ線回折装置の従来の試料ホルダ
の一例の運動原理を示す斜視図である。この試料ホルダ
は、互いに交差する三つの回転軸、すなわちω軸、χ
（カイ）軸、φ軸、の回りに試料を回転させることがで
きる。このような回転機構を備える試料ホルダをユーレ
リアン・クレードル型の試料ホルダと呼んでいる。この
試料回転機構にはＸ線照射位置調節機構が搭載されてい
て、試料面内での２次元の並進移動を可能にしている。
図７において、χサークル１０はω軸１２の回りにω回
転でき、このχサークル１０に沿ってＺ移動台１４がχ
回転する。またφ軸１６はＺ移動台１４に対して前後に
スライドでき、試料の前後移動の調節を可能にする。φ
軸１６は試料をφ回転する。φ軸１６にはＸ線照射位置
調節機構が搭載されていて、そのＸ並進台１８はＸ並進
ガイド２０に沿ってＸ方向に移動する。Ｘ並進ガイド２
０はφ軸１４に固定されている。また、試料取付台２２
はＸ並進台１８に対してＹ方向に並進移動できる。入射
Ｘ線２４は試料取付台２２上の試料に照射され、ここで
回折した回折Ｘ線２６はＸ線検出器２８で検出される。
Ｘ線検出器２８はゴニオメータの２θ回転台３０に搭載
されていて、２θ回転する。
の一例の運動原理を示す斜視図である。この試料ホルダ
は、互いに交差する三つの回転軸、すなわちω軸、χ
（カイ）軸、φ軸、の回りに試料を回転させることがで
きる。このような回転機構を備える試料ホルダをユーレ
リアン・クレードル型の試料ホルダと呼んでいる。この
試料回転機構にはＸ線照射位置調節機構が搭載されてい
て、試料面内での２次元の並進移動を可能にしている。
図７において、χサークル１０はω軸１２の回りにω回
転でき、このχサークル１０に沿ってＺ移動台１４がχ
回転する。またφ軸１６はＺ移動台１４に対して前後に
スライドでき、試料の前後移動の調節を可能にする。φ
軸１６は試料をφ回転する。φ軸１６にはＸ線照射位置
調節機構が搭載されていて、そのＸ並進台１８はＸ並進
ガイド２０に沿ってＸ方向に移動する。Ｘ並進ガイド２
０はφ軸１４に固定されている。また、試料取付台２２
はＸ並進台１８に対してＹ方向に並進移動できる。入射
Ｘ線２４は試料取付台２２上の試料に照射され、ここで
回折した回折Ｘ線２６はＸ線検出器２８で検出される。
Ｘ線検出器２８はゴニオメータの２θ回転台３０に搭載
されていて、２θ回転する。
【０００３】図８は図７に示されたＸ線照射位置調節機
構の働きを示した正面図である。図８（ａ）は試料取付
台２２の中心がφ軸上に来た状態を示している。このφ
軸上にＸ線が照射される。Ｘ並進台１８はＸ並進ガイド
２０に沿ってＸ方向に移動でき、試料取付台２２はＸ並
進台１８に対してＹ方向に並進移動できる。円形の試料
取付台２２に取り付けられたウェーハ試料３２のＸ線照
射位置をＰ点にしたい場合には、２次元の並進機構を用
いて試料３２をその面内で２次元移動する。すなわち、
まず、図８（ｂ）に示すように、Ｘ移動台１８をＸ並進
ガイド２０に対して左方向に移動し、次に、試料台２２
をＸ移動台１８に対して下方に移動する。これにより、
Ｐ点をφ軸上にもってくることができる。Ｐ点の座標
（ｘ、ｙ）は、試料取付台２２に固定されている座標軸
（ｘ軸とｙ軸）を基準にして表現されている。
構の働きを示した正面図である。図８（ａ）は試料取付
台２２の中心がφ軸上に来た状態を示している。このφ
軸上にＸ線が照射される。Ｘ並進台１８はＸ並進ガイド
２０に沿ってＸ方向に移動でき、試料取付台２２はＸ並
進台１８に対してＹ方向に並進移動できる。円形の試料
取付台２２に取り付けられたウェーハ試料３２のＸ線照
射位置をＰ点にしたい場合には、２次元の並進機構を用
いて試料３２をその面内で２次元移動する。すなわち、
まず、図８（ｂ）に示すように、Ｘ移動台１８をＸ並進
ガイド２０に対して左方向に移動し、次に、試料台２２
をＸ移動台１８に対して下方に移動する。これにより、
Ｐ点をφ軸上にもってくることができる。Ｐ点の座標
（ｘ、ｙ）は、試料取付台２２に固定されている座標軸
（ｘ軸とｙ軸）を基準にして表現されている。
【０００４】以上のような２次元の並進機構を用いるこ
とにより、試料３２上の任意の地点にＸ線を照射するこ
とができる。
とにより、試料３２上の任意の地点にＸ線を照射するこ
とができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図９は上述の試料ホル
ダの試料取付台とＸ線照射位置調節機構とが必要とする
占有空間を示した正面図である。Ｘ並進台１８はＸ方向
に移動し、試料取付台２２はＹ方向に移動するが、試料
の全ての地点にＸ線を照射可能にするには、Ｘ方向の移
動量とＹ方向の移動量は、それぞれ、試料取付台２２に
取り付ける試料の最大寸法の２倍を必要とする。図９で
は、便宜的に、円形の試料取付台２２の直径の２倍に等
しい移動範囲を示している。さらに、このような移動範
囲に加えて、Ｘ線照射位置調節機構はφ軸回りに回転す
るから、この移動範囲自体がφ回転する。したがって、
試料取付台とＸ線照射位置調節機構とが必要とする占有
空間は、円３４で囲まれた範囲となり、大きな空間を必
要とする。ここで、図７を参照すると、試料取付台２２
とＸ線照射位置調節機構は、χサークル１０の内部に存
在しているので、試料取付台２２とＸ線照射位置調節機
構の占有空間が大きくなると、これらがχサークル１０
にぶつからないように、χサークル１０の直径を大きく
する必要がある。そうすると、Ｘ線回折装置の大型化は
避けられない。
ダの試料取付台とＸ線照射位置調節機構とが必要とする
占有空間を示した正面図である。Ｘ並進台１８はＸ方向
に移動し、試料取付台２２はＹ方向に移動するが、試料
の全ての地点にＸ線を照射可能にするには、Ｘ方向の移
動量とＹ方向の移動量は、それぞれ、試料取付台２２に
取り付ける試料の最大寸法の２倍を必要とする。図９で
は、便宜的に、円形の試料取付台２２の直径の２倍に等
しい移動範囲を示している。さらに、このような移動範
囲に加えて、Ｘ線照射位置調節機構はφ軸回りに回転す
るから、この移動範囲自体がφ回転する。したがって、
試料取付台とＸ線照射位置調節機構とが必要とする占有
空間は、円３４で囲まれた範囲となり、大きな空間を必
要とする。ここで、図７を参照すると、試料取付台２２
とＸ線照射位置調節機構は、χサークル１０の内部に存
在しているので、試料取付台２２とＸ線照射位置調節機
構の占有空間が大きくなると、これらがχサークル１０
にぶつからないように、χサークル１０の直径を大きく
する必要がある。そうすると、Ｘ線回折装置の大型化は
避けられない。
【０００６】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、交差する３軸回りに
試料を回転させる試料回転機構を備えるＸ線回折装置の
試料ホルダにおいて、Ｘ線照射位置調節機構を搭載して
も占有空間を比較的小さくすることにある。
なされたものであり、その目的は、交差する３軸回りに
試料を回転させる試料回転機構を備えるＸ線回折装置の
試料ホルダにおいて、Ｘ線照射位置調節機構を搭載して
も占有空間を比較的小さくすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の試料ホルダ
は、互いに交差する三つの回転軸の回りに試料を回転可
能な試料回転機構を備えるＸ線回折装置の試料ホルダに
おいて、前記試料回転機構に、試料の表面に平行に試料
を並進移動させる１次元の並進機構と、試料の表面に垂
直な回転軸の回りに試料を回転させる照射位置調節用回
転機構とからなるＸ線照射位置調節機構を搭載したもの
である。したがって、試料の照射位置を調節するための
運動は、極座標に応じた運動となり、α回転とｒ並進の
組み合わせで表現できる。これにより、従来の２次元並
進運動を用いた照射位置調節機構と比較して、占有空間
が小さくなる。
は、互いに交差する三つの回転軸の回りに試料を回転可
能な試料回転機構を備えるＸ線回折装置の試料ホルダに
おいて、前記試料回転機構に、試料の表面に平行に試料
を並進移動させる１次元の並進機構と、試料の表面に垂
直な回転軸の回りに試料を回転させる照射位置調節用回
転機構とからなるＸ線照射位置調節機構を搭載したもの
である。したがって、試料の照射位置を調節するための
運動は、極座標に応じた運動となり、α回転とｒ並進の
組み合わせで表現できる。これにより、従来の２次元並
進運動を用いた照射位置調節機構と比較して、占有空間
が小さくなる。
【０００８】なお、この明細書において試料の「回転」
とは、試料を１点の回りに運動させることを意味し、１
点の回りに試料を同じ方向に連続的に運動させることの
ほかに、１点の回りに試料を揺動させる運動も含んでい
る。
とは、試料を１点の回りに運動させることを意味し、１
点の回りに試料を同じ方向に連続的に運動させることの
ほかに、１点の回りに試料を揺動させる運動も含んでい
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、この発明の実施の一形態
の運動原理を示す斜視図である。この試料ホルダは、互
いに交差する三つの回転軸、すなわちω軸、χ（カイ）
軸、φ軸、の回りに試料を回転させることができる。い
わゆるユーレリアン・クレードル型の試料ホルダであ
る。そして、この試料回転機構には、１次元の並進機構
と照射位置調節用回転機構とからなるＸ線照射位置調節
機構が搭載されていて、試料の面内の任意の位置にＸ線
を照射できるようになっている。図１において、χサー
クル４０はω軸４２の回りにω回転でき、このχサーク
ル４０に沿ってＺ移動台４４がχ回転する。またφ軸４
６はＺ移動台４４に対して前後にスライドでき、試料の
前後移動の調節を可能にする。φ軸４６は試料をφ回転
する。φ軸４６にはＸ線照射位置調節機構が搭載されて
いる。このＸ線照射位置調節機構では、試料取付台４８
が並進ガイド５０に対して水平方向に移動でき、かつ、
試料取付台４８がその中心の回りを回転できる。後者の
回転機構が照射位置調節用回転機構を構成する。並進ガ
イド５０はφ軸４６に固定されている。並進ガイド５０
に沿った並進運動はｒ並進運動と呼ぶことにし、照射位
置調節用の回転運動はα回転と呼ぶことにする。入射Ｘ
線５２は試料取付台４８上の試料に照射されて、ここで
回折した回折Ｘ線５４はＸ線検出器５６で検出される。
Ｘ線検出器５６はゴニオメータの２θ回転台５８に搭載
されていて、２θ回転する。
の運動原理を示す斜視図である。この試料ホルダは、互
いに交差する三つの回転軸、すなわちω軸、χ（カイ）
軸、φ軸、の回りに試料を回転させることができる。い
わゆるユーレリアン・クレードル型の試料ホルダであ
る。そして、この試料回転機構には、１次元の並進機構
と照射位置調節用回転機構とからなるＸ線照射位置調節
機構が搭載されていて、試料の面内の任意の位置にＸ線
を照射できるようになっている。図１において、χサー
クル４０はω軸４２の回りにω回転でき、このχサーク
ル４０に沿ってＺ移動台４４がχ回転する。またφ軸４
６はＺ移動台４４に対して前後にスライドでき、試料の
前後移動の調節を可能にする。φ軸４６は試料をφ回転
する。φ軸４６にはＸ線照射位置調節機構が搭載されて
いる。このＸ線照射位置調節機構では、試料取付台４８
が並進ガイド５０に対して水平方向に移動でき、かつ、
試料取付台４８がその中心の回りを回転できる。後者の
回転機構が照射位置調節用回転機構を構成する。並進ガ
イド５０はφ軸４６に固定されている。並進ガイド５０
に沿った並進運動はｒ並進運動と呼ぶことにし、照射位
置調節用の回転運動はα回転と呼ぶことにする。入射Ｘ
線５２は試料取付台４８上の試料に照射されて、ここで
回折した回折Ｘ線５４はＸ線検出器５６で検出される。
Ｘ線検出器５６はゴニオメータの２θ回転台５８に搭載
されていて、２θ回転する。
【００１０】円形軌道を構成するχサークル４０は、そ
の一部分６０が切り欠いてある。この切り欠きにより、
入射Ｘ線５２及び回折Ｘ線５４がχサークル４０にぶつ
からないような角度条件を広くしている。このように切
り欠きを形成したχサークル４０はオープン型のχサー
クルと呼ばれる。したがって、この試料ホルダは、オー
プン・ユーレリアン・クレードル型の試料ホルダと呼ば
れる。
の一部分６０が切り欠いてある。この切り欠きにより、
入射Ｘ線５２及び回折Ｘ線５４がχサークル４０にぶつ
からないような角度条件を広くしている。このように切
り欠きを形成したχサークル４０はオープン型のχサー
クルと呼ばれる。したがって、この試料ホルダは、オー
プン・ユーレリアン・クレードル型の試料ホルダと呼ば
れる。
【００１１】図２は図１に示されたＸ線照射位置調節機
構の働きを示した正面図である。図２（ａ）は試料取付
台４８の中心がφ軸上に来た状態を示している。このφ
軸上の試料位置にＸ線が照射される。試料取付台４８は
並進ガイド５０に沿って水平方向に移動できる。また、
試料取付台４８はその中心の回りに回転できる。今、試
料取付台４８に取り付けたウェーハ試料６２上の任意の
点Ｐ（ｘ、ｙ）にＸ線を照射する場合を考える。Ｐ点の
座標（ｘ、ｙ）は、試料取付台４８に固定されている座
標軸（ｘ軸とｙ軸）を基準にして表現されている。ま
ず、直交座標（ｘ、ｙ）を極座標（ｒ、α）に変換す
る。次に、図２（ｂ）に示すように試料取付台４８をそ
の中心回りに角度αだけ時計方向に回転する。さらに、
図２（ｃ）に示すように試料取付台４８を並進ガイド５
０に沿って左方向に距離ｒだけ移動する。これによっ
て、Ｐ点はφ軸上に来ることになり、このＰ点にＸ線が
照射される。このように、本発明によるＸ線照射位置調
節機構を用いると、試料のα回転と１次元のｒ並進運動
とを組み合わせて、試料６２上の任意の地点にＸ線を照
射することができる。
構の働きを示した正面図である。図２（ａ）は試料取付
台４８の中心がφ軸上に来た状態を示している。このφ
軸上の試料位置にＸ線が照射される。試料取付台４８は
並進ガイド５０に沿って水平方向に移動できる。また、
試料取付台４８はその中心の回りに回転できる。今、試
料取付台４８に取り付けたウェーハ試料６２上の任意の
点Ｐ（ｘ、ｙ）にＸ線を照射する場合を考える。Ｐ点の
座標（ｘ、ｙ）は、試料取付台４８に固定されている座
標軸（ｘ軸とｙ軸）を基準にして表現されている。ま
ず、直交座標（ｘ、ｙ）を極座標（ｒ、α）に変換す
る。次に、図２（ｂ）に示すように試料取付台４８をそ
の中心回りに角度αだけ時計方向に回転する。さらに、
図２（ｃ）に示すように試料取付台４８を並進ガイド５
０に沿って左方向に距離ｒだけ移動する。これによっ
て、Ｐ点はφ軸上に来ることになり、このＰ点にＸ線が
照射される。このように、本発明によるＸ線照射位置調
節機構を用いると、試料のα回転と１次元のｒ並進運動
とを組み合わせて、試料６２上の任意の地点にＸ線を照
射することができる。
【００１２】Ｘ線照射位置をＰ点に合わせる場合に、そ
のときのウェーハ試料６２の方位も所定の向きにする必
要があるときは、図２（ｃ）の状態からさらに、φ回転
を実施して、図３の状態にする。このとき、Ｐ点はφ軸
上にあるから、φ回転を実施してもＰ点の位置は変化せ
ず、ウェーハ試料６２の向きだけが変化する。図３の例
では、試料取付台４８のｘｙ座標軸を元の状態に戻して
いる。すなわち、角度αだけ反時計方向にφ回転してい
る。
のときのウェーハ試料６２の方位も所定の向きにする必
要があるときは、図２（ｃ）の状態からさらに、φ回転
を実施して、図３の状態にする。このとき、Ｐ点はφ軸
上にあるから、φ回転を実施してもＰ点の位置は変化せ
ず、ウェーハ試料６２の向きだけが変化する。図３の例
では、試料取付台４８のｘｙ座標軸を元の状態に戻して
いる。すなわち、角度αだけ反時計方向にφ回転してい
る。
【００１３】図４は試料取付台４８と並進ガイド５０と
が必要とする占有空間を示した正面図である。試料取付
台４８はその中心回りにα回転し、この試料取付台４８
が並進ガイド５０上を水平方向に並進移動するから、試
料６２の全ての地点についてＸ線を照射可能にするに
は、試料取付台４８の水平方向の移動量について、試料
の最大寸法の２倍を確保すればよい。そして、並進ガイ
ド５０はφ軸回りに回転するから、上述の移動範囲自体
がφ回転する。したがって、試料取付台４８と並進ガイ
ド５０とが必要とする占有空間は、円６４で囲まれた範
囲となり、図９に示す従来例と比較して小さな占有空間
で済む。その結果、χサークルの直径も小さくて済み、
Ｘ線回折装置が小型化できる。
が必要とする占有空間を示した正面図である。試料取付
台４８はその中心回りにα回転し、この試料取付台４８
が並進ガイド５０上を水平方向に並進移動するから、試
料６２の全ての地点についてＸ線を照射可能にするに
は、試料取付台４８の水平方向の移動量について、試料
の最大寸法の２倍を確保すればよい。そして、並進ガイ
ド５０はφ軸回りに回転するから、上述の移動範囲自体
がφ回転する。したがって、試料取付台４８と並進ガイ
ド５０とが必要とする占有空間は、円６４で囲まれた範
囲となり、図９に示す従来例と比較して小さな占有空間
で済む。その結果、χサークルの直径も小さくて済み、
Ｘ線回折装置が小型化できる。
【００１４】図５は本発明の別の実施形態を示す斜視図
である。これが図１の実施形態と異なっている部分は、
χサークル４０がω軸４２に対して偏心していることで
ある。すなわち、χサークル４０を含む平面は、ω軸４
２に対して距離Ｅだけ偏心している。これに対応して、
Ｚ移動台４４は突出台６６に載っており、この突出台６
６がχサークル４０に沿ってχ回転する。φ軸４６の位
置は、依然として図１に示す実施形態と同じ位置にあ
る。このようにχサークル４０を偏心したのは、試料回
りの空間を広く確保して、χサークル４０による制約を
できるだけ受けないようにするためである。
である。これが図１の実施形態と異なっている部分は、
χサークル４０がω軸４２に対して偏心していることで
ある。すなわち、χサークル４０を含む平面は、ω軸４
２に対して距離Ｅだけ偏心している。これに対応して、
Ｚ移動台４４は突出台６６に載っており、この突出台６
６がχサークル４０に沿ってχ回転する。φ軸４６の位
置は、依然として図１に示す実施形態と同じ位置にあ
る。このようにχサークル４０を偏心したのは、試料回
りの空間を広く確保して、χサークル４０による制約を
できるだけ受けないようにするためである。
【００１５】図６は試料６２上のマッピングの例を示し
た正面図である。「マッピング」とは、試料６２におけ
るＸ線照射位置の分布状態を意味し、あるいはそのよう
な分布状態に照射位置を合わせることを意味する。図６
に示すように、試料６２の中心を通る放射線６８上にお
いて所定間隔をおいて多数の照射位置を設定する場合に
は、本発明における照射位置調節機構を用いて、最初に
所定のα回転を施しておけば、あとは、ｒ並進運動だけ
を順に実施すれば必要なマッピングが可能になる。ま
た、試料６２の中心と同心の円形線７０上において等間
隔に多数の照射位置を設定する場合にも、最初に所定の
ｒ並進運動を実施しておけば、あとは、α回転を順に実
施すれば必要なマッピングが可能になる。
た正面図である。「マッピング」とは、試料６２におけ
るＸ線照射位置の分布状態を意味し、あるいはそのよう
な分布状態に照射位置を合わせることを意味する。図６
に示すように、試料６２の中心を通る放射線６８上にお
いて所定間隔をおいて多数の照射位置を設定する場合に
は、本発明における照射位置調節機構を用いて、最初に
所定のα回転を施しておけば、あとは、ｒ並進運動だけ
を順に実施すれば必要なマッピングが可能になる。ま
た、試料６２の中心と同心の円形線７０上において等間
隔に多数の照射位置を設定する場合にも、最初に所定の
ｒ並進運動を実施しておけば、あとは、α回転を順に実
施すれば必要なマッピングが可能になる。
【００１６】試料６２上のマッピングにおいて、全ての
領域を網の目のように照射点を設定することもあり得る
が、円形の試料では、図６に示すように放射線や同心円
上でマッピングすれば十分な場合もあり、このような場
合に本発明における照射位置調節機構を用いると、２次
元並進機構を用いる従来例と比較して、マッピング作業
が容易になる。
領域を網の目のように照射点を設定することもあり得る
が、円形の試料では、図６に示すように放射線や同心円
上でマッピングすれば十分な場合もあり、このような場
合に本発明における照射位置調節機構を用いると、２次
元並進機構を用いる従来例と比較して、マッピング作業
が容易になる。
【００１７】また、粉末Ｘ線回折では、Ｘ線照射中の試
料を振動させて照射位置を広げることにより回折測定の
平均化（アベレージング）を実施する手法があるが、こ
のような測定手法の場合にも、本発明における照射位置
調節機構を用いると、α回転の連続回転を実施するだけ
で平均化が可能になる。これに対して従来の２次元の並
進移動機構を用いると、必然的に往復運動が必要にな
り、駆動機構の負担が重くなると共に、各照射位置のＸ
線通過速度を試料面内で一定に保つのが難しい。
料を振動させて照射位置を広げることにより回折測定の
平均化（アベレージング）を実施する手法があるが、こ
のような測定手法の場合にも、本発明における照射位置
調節機構を用いると、α回転の連続回転を実施するだけ
で平均化が可能になる。これに対して従来の２次元の並
進移動機構を用いると、必然的に往復運動が必要にな
り、駆動機構の負担が重くなると共に、各照射位置のＸ
線通過速度を試料面内で一定に保つのが難しい。
【００１８】
【発明の効果】この発明の試料ホルダは、ユーレリアン
・クレードル型の試料ホルダに、試料面に平行な１次元
の並進運動と試料面に垂直な回転運動とを組み合わせた
照射位置調節機構を搭載したことにより、照射位置調節
機構の占有空間が小さくなり、Ｘ線回折装置の小型化に
寄与する。
・クレードル型の試料ホルダに、試料面に平行な１次元
の並進運動と試料面に垂直な回転運動とを組み合わせた
照射位置調節機構を搭載したことにより、照射位置調節
機構の占有空間が小さくなり、Ｘ線回折装置の小型化に
寄与する。
【図１】この発明の実施の一形態の運動原理を示す斜視
図である。
図である。
【図２】図１に示されたＸ線照射位置調節機構の働きを
示した正面図である。
示した正面図である。
【図３】図１に示されたＸ線照射位置調節機構のさらに
別の状態を示した正面図である。
別の状態を示した正面図である。
【図４】試料取付台と並進ガイドの占有空間を示した正
面図である。
面図である。
【図５】本発明の別の実施形態を示す斜視図である。
【図６】試料上のマッピングの例を示した正面図であ
る。
る。
【図７】Ｘ線回折装置の従来の試料ホルダの運動原理を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図８】図７に示されたＸ線照射位置調節機構の働きを
示した正面図である。
示した正面図である。
【図９】図７に示されたＸ線照射位置調節機構の占有空
間を示した正面図である。
間を示した正面図である。
４０ χサークル ４２ ω軸 ４４ Ｚ移動台 ４６ φ軸 ４８ 試料取付台 ５０ 並進ガイド ５２ 入射Ｘ線 ５４ 回折Ｘ線 ５６ Ｘ線検出器 ５８ ２θ回転台
Claims (4)
- 【請求項１】 互いに交差する三つの回転軸の回りに試
料を回転可能な試料回転機構を備えるＸ線回折装置の試
料ホルダにおいて、前記試料回転機構に、試料の表面に
平行に試料を並進移動させる１次元の並進機構と、試料
の表面に垂直な回転軸の回りに試料を回転させる照射位
置調節用回転機構とからなるＸ線照射位置調節機構を搭
載したことを特徴とする試料ホルダ。 - 【請求項２】 前記Ｘ線照射位置調節機構は円形の試料
取付台を備えることを特徴とする請求項１記載の試料ホ
ルダ。 - 【請求項３】 前記試料回転機構において、試料を面内
回転させる回転軸（φ軸）を搭載する円形軌道（χサー
クル）が部分的に切り欠いてあることを特徴とする請求
項１記載の試料ホルダ。 - 【請求項４】 前記試料回転機構において、前記円形軌
道（χサークル）を含む平面が、この円形軌道を回転さ
せる回転軸（ω軸）に対して偏心していることを特徴と
する請求項３記載の試料ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7221192A JPH0949812A (ja) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | Ｘ線回折装置の試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7221192A JPH0949812A (ja) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | Ｘ線回折装置の試料ホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0949812A true JPH0949812A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16762919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7221192A Pending JPH0949812A (ja) | 1995-08-08 | 1995-08-08 | Ｘ線回折装置の試料ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0949812A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999051972A3 (en) * | 1998-04-07 | 2001-02-01 | Osmic Inc | X-ray diffractometer with adjustable image distance |
| JP2001336992A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Shin Sangyo Souzou Kenkyu Kiko | Ｘ線応力測定方法及びｘ線応力測定装置 |
| EP1892522A3 (de) * | 2006-08-25 | 2008-04-02 | Carl Zeiss MicroImaging GmbH | Drehvorrichtung für einen optischen Tomographen und optischer Tomograph mit einer Drehvorrichtung |
| CN103983650A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-08-13 | 重庆大学 | 多自由度、多角度旋转装置 |
| CN121298786A (zh) * | 2025-12-08 | 2026-01-09 | 江苏科标医学技术集团有限公司 | 一种用于眼科植入物晶型结构分析的x射线衍射样品架 |
-
1995
- 1995-08-08 JP JP7221192A patent/JPH0949812A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999051972A3 (en) * | 1998-04-07 | 2001-02-01 | Osmic Inc | X-ray diffractometer with adjustable image distance |
| JP2001336992A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Shin Sangyo Souzou Kenkyu Kiko | Ｘ線応力測定方法及びｘ線応力測定装置 |
| EP1892522A3 (de) * | 2006-08-25 | 2008-04-02 | Carl Zeiss MicroImaging GmbH | Drehvorrichtung für einen optischen Tomographen und optischer Tomograph mit einer Drehvorrichtung |
| CN103983650A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-08-13 | 重庆大学 | 多自由度、多角度旋转装置 |
| CN103983650B (zh) * | 2014-05-15 | 2016-04-06 | 重庆大学 | 多自由度、多角度旋转装置 |
| CN121298786A (zh) * | 2025-12-08 | 2026-01-09 | 江苏科标医学技术集团有限公司 | 一种用于眼科植入物晶型结构分析的x射线衍射样品架 |
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