JPH0950307A - 製造装置 - Google Patents
製造装置Info
- Publication number
- JPH0950307A JPH0950307A JP20302595A JP20302595A JPH0950307A JP H0950307 A JPH0950307 A JP H0950307A JP 20302595 A JP20302595 A JP 20302595A JP 20302595 A JP20302595 A JP 20302595A JP H0950307 A JPH0950307 A JP H0950307A
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- Japan
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- signal
- time
- outputs
- operation control
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 18
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Programmable Controllers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 正確にタクト運転をする。
【解決手段】 油圧シリンダ１の動作終了を検出したと
き動作終了信号Ｓ1を出力する動作終了検出センサ３を
設け、動作開始信号Ｓ5（説明後述）が出力されたとき
電磁弁２の動作を動作制御信号Ｓ6により制御する動作
制御手段１２を設け、動作制御信号Ｓ6が入力されてか
ら所定時間経過後に時間経過信号Ｓ7を出力する時間計
測手段１３を設け、時間経過信号Ｓ7を入力する前に動
作終了信号Ｓ1を入力した場合には時間経過信号Ｓ7を入
力したとき動作開始信号Ｓ5を出力し、時間経過信号Ｓ7
を入力したのちに動作終了信号Ｓ1を入力した場合には
動作異常信号Ｓ8を出力する判断手段１１を設け、動作
異常信号Ｓ8を入力したとき動作異常を表示する表示装
置７を設ける。
き動作終了信号Ｓ1を出力する動作終了検出センサ３を
設け、動作開始信号Ｓ5（説明後述）が出力されたとき
電磁弁２の動作を動作制御信号Ｓ6により制御する動作
制御手段１２を設け、動作制御信号Ｓ6が入力されてか
ら所定時間経過後に時間経過信号Ｓ7を出力する時間計
測手段１３を設け、時間経過信号Ｓ7を入力する前に動
作終了信号Ｓ1を入力した場合には時間経過信号Ｓ7を入
力したとき動作開始信号Ｓ5を出力し、時間経過信号Ｓ7
を入力したのちに動作終了信号Ｓ1を入力した場合には
動作異常信号Ｓ8を出力する判断手段１１を設け、動作
異常信号Ｓ8を入力したとき動作異常を表示する表示装
置７を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はアクチュエータを
有する複数の処理装置（コマンド）からなる製造装置、
たとえば半導体素子、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）など
の製造装置に関するものである。
有する複数の処理装置（コマンド）からなる製造装置、
たとえば半導体素子、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）など
の製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の製造装置の処理装置のアク
チュエータ部を示す図である。図に示すように、油圧シ
リンダ１に電磁弁２が接続され、油圧シリンダ１の動作
終了を検出したとき動作終了信号Ｓ1を出力する動作終
了検出センサ３が設けられ、動作終了信号Ｓ1を入力す
る判断手段４が設けられ、判断手段４から動作開始信号
Ｓ2（説明後述）が出力されたとき、電磁弁２の動作を
動作制御信号Ｓ3により制御する動作制御手段５が設け
られ、判断手段４は動作制御信号Ｓ3が入力してから所
定時間内に動作終了信号Ｓ1が入力した場合には動作制
御手段５に動作開始信号Ｓ2を出力し、動作制御信号Ｓ3
が入力してから所定時間内に動作終了信号Ｓ1が入力し
ない場合には表示装置７に動作異常信号Ｓ4を出力し、
表示装置７は動作異常信号Ｓ4を入力したとき動作異常
を表示する。そして、判断手段４、動作制御手段５で制
御装置６が構成されている。
チュエータ部を示す図である。図に示すように、油圧シ
リンダ１に電磁弁２が接続され、油圧シリンダ１の動作
終了を検出したとき動作終了信号Ｓ1を出力する動作終
了検出センサ３が設けられ、動作終了信号Ｓ1を入力す
る判断手段４が設けられ、判断手段４から動作開始信号
Ｓ2（説明後述）が出力されたとき、電磁弁２の動作を
動作制御信号Ｓ3により制御する動作制御手段５が設け
られ、判断手段４は動作制御信号Ｓ3が入力してから所
定時間内に動作終了信号Ｓ1が入力した場合には動作制
御手段５に動作開始信号Ｓ2を出力し、動作制御信号Ｓ3
が入力してから所定時間内に動作終了信号Ｓ1が入力し
ない場合には表示装置７に動作異常信号Ｓ4を出力し、
表示装置７は動作異常信号Ｓ4を入力したとき動作異常
を表示する。そして、判断手段４、動作制御手段５で制
御装置６が構成されている。
【０００３】この処理装置を有する製造装置において
は、動作制御手段５から動作制御信号Ｓ3が出力される
と、電磁弁２が切り換えられ、油圧シリンダ１が動作す
る。そして、油圧シリンダ１の動作が終了すると、動作
終了検出センサ３から動作終了信号Ｓ1が出力され、判
断手段４に動作制御信号Ｓ3が入力されてから所定時間
内に動作終了信号Ｓ1を入力したときには、判断手段４
から動作制御手段５に動作開始信号Ｓ2が出力され、動
作制御手段５から動作制御信号Ｓ3が出力されるから、
電磁弁２が切り換わり、油圧シリンダ１が次の動作を行
なう。また、判断手段４に動作制御信号Ｓ3が入力され
てから所定時間内に動作終了信号Ｓ1を入力しないとき
には、判断手段４が表示装置７に動作異常信号Ｓ4を出
力し、表示装置７は動作異常信号Ｓ4を入力したとき動
作異常を表示する。
は、動作制御手段５から動作制御信号Ｓ3が出力される
と、電磁弁２が切り換えられ、油圧シリンダ１が動作す
る。そして、油圧シリンダ１の動作が終了すると、動作
終了検出センサ３から動作終了信号Ｓ1が出力され、判
断手段４に動作制御信号Ｓ3が入力されてから所定時間
内に動作終了信号Ｓ1を入力したときには、判断手段４
から動作制御手段５に動作開始信号Ｓ2が出力され、動
作制御手段５から動作制御信号Ｓ3が出力されるから、
電磁弁２が切り換わり、油圧シリンダ１が次の動作を行
なう。また、判断手段４に動作制御信号Ｓ3が入力され
てから所定時間内に動作終了信号Ｓ1を入力しないとき
には、判断手段４が表示装置７に動作異常信号Ｓ4を出
力し、表示装置７は動作異常信号Ｓ4を入力したとき動
作異常を表示する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような処
理装置を有する製造装置においては、油圧シリンダ１に
作用する力などが相違することがあるから、油圧シリン
ダ１の動作所要時間すなわち動作制御信号Ｓ3が出力さ
れてから動作終了信号Ｓ1が出力されるまでの時間にば
らつきがある。このことは他の処理装置のアクチュエー
タについても同様であるから、各処理装置の処理時間に
ばらつきが生ずる。たとえば、製造装置が８個の処理装
置すなわち予備加熱装置、第１の搬送装置、第１の成膜
装置、第２の搬送装置、第２の成膜装置、第３の搬送装
置、第３の成膜装置、第４の搬送装置からなる場合に、
各処理装置のアクチュエータの動作所要時間に５秒のば
らつきがあると、製造装置の処理時間のばらつきは最大
４０秒となる。このため、製造装置を正確にタクト運転
することができない。
理装置を有する製造装置においては、油圧シリンダ１に
作用する力などが相違することがあるから、油圧シリン
ダ１の動作所要時間すなわち動作制御信号Ｓ3が出力さ
れてから動作終了信号Ｓ1が出力されるまでの時間にば
らつきがある。このことは他の処理装置のアクチュエー
タについても同様であるから、各処理装置の処理時間に
ばらつきが生ずる。たとえば、製造装置が８個の処理装
置すなわち予備加熱装置、第１の搬送装置、第１の成膜
装置、第２の搬送装置、第２の成膜装置、第３の搬送装
置、第３の成膜装置、第４の搬送装置からなる場合に、
各処理装置のアクチュエータの動作所要時間に５秒のば
らつきがあると、製造装置の処理時間のばらつきは最大
４０秒となる。このため、製造装置を正確にタクト運転
することができない。
【０００５】この発明は上述の課題を解決するためにな
されたもので、正確にタクト運転することができる製造
装置を提供することを目的とする。
されたもので、正確にタクト運転することができる製造
装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明においては、アクチュエータを有する複数
の処理装置からなる製造装置において、上記アクチュエ
ータの動作開始から所定時間経過後に上記アクチュエー
タの次の動作を指令する制御装置を設ける。
め、この発明においては、アクチュエータを有する複数
の処理装置からなる製造装置において、上記アクチュエ
ータの動作開始から所定時間経過後に上記アクチュエー
タの次の動作を指令する制御装置を設ける。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１はこの発明に係る製造装置の
処理装置のアクチュエータ部を示す図である。図に示す
ように、動作終了検出センサ３から動作終了信号Ｓ1を
入力する判断手段１１が設けられ、判断手段１１から動
作開始信号Ｓ5（説明後述）が出力されたとき、電磁弁
２の動作を動作制御信号Ｓ6により制御する動作制御手
段１２が設けられ、動作制御信号Ｓ6が入力されてから
所定時間経過後に時間経過信号Ｓ7を出力する時間計測
手段１３が設けられ、判断手段１１は時間経過信号Ｓ7
を入力する前に動作終了信号Ｓ1を入力した場合には時
間経過信号Ｓ7を入力したときに動作制御手段１２に動
作開始信号Ｓ5を出力し、時間経過信号Ｓ7を入力した後
に動作終了信号Ｓ1を入力した場合には表示装置７に動
作異常信号Ｓ8を出力し、表示装置７は動作異常信号Ｓ8
を入力したとき動作異常を表示する。そして、判断手段
１１、動作制御手段１２、時間計測手段１３で制御装置
１４が構成されている。
処理装置のアクチュエータ部を示す図である。図に示す
ように、動作終了検出センサ３から動作終了信号Ｓ1を
入力する判断手段１１が設けられ、判断手段１１から動
作開始信号Ｓ5（説明後述）が出力されたとき、電磁弁
２の動作を動作制御信号Ｓ6により制御する動作制御手
段１２が設けられ、動作制御信号Ｓ6が入力されてから
所定時間経過後に時間経過信号Ｓ7を出力する時間計測
手段１３が設けられ、判断手段１１は時間経過信号Ｓ7
を入力する前に動作終了信号Ｓ1を入力した場合には時
間経過信号Ｓ7を入力したときに動作制御手段１２に動
作開始信号Ｓ5を出力し、時間経過信号Ｓ7を入力した後
に動作終了信号Ｓ1を入力した場合には表示装置７に動
作異常信号Ｓ8を出力し、表示装置７は動作異常信号Ｓ8
を入力したとき動作異常を表示する。そして、判断手段
１１、動作制御手段１２、時間計測手段１３で制御装置
１４が構成されている。
【０００８】この処理装置を有する製造装置において
は、動作制御手段１２から動作制御信号Ｓ6が出力され
ると、電磁弁２が切り換えられ、油圧シリンダ１が動作
する。そして、油圧シリンダ１の動作が終了すると、動
作終了検出センサ３から動作終了信号Ｓ1が出力され、
判断手段１１に時間経過信号Ｓ7が入力される前に動作
終了信号Ｓ1が入力された場合には、判断手段１１に時
間経過信号Ｓ7が入力されたときに、判断手段１１から
動作制御手段１２に動作開始信号Ｓ5が出力され、動作
制御手段１２から動作制御信号Ｓ6が出力され、次の動
作が指令されるから、電磁弁２が切り換わり、油圧シリ
ンダ１が次の動作を行なう。また、判断手段１１に時間
経過信号Ｓ7が入力された後に動作終了信号Ｓ1が入力さ
れた場合には、判断手段１１が表示装置７に動作異常信
号Ｓ8を出力し、表示装置７は動作異常信号Ｓ8を入力し
たとき動作異常を表示する。
は、動作制御手段１２から動作制御信号Ｓ6が出力され
ると、電磁弁２が切り換えられ、油圧シリンダ１が動作
する。そして、油圧シリンダ１の動作が終了すると、動
作終了検出センサ３から動作終了信号Ｓ1が出力され、
判断手段１１に時間経過信号Ｓ7が入力される前に動作
終了信号Ｓ1が入力された場合には、判断手段１１に時
間経過信号Ｓ7が入力されたときに、判断手段１１から
動作制御手段１２に動作開始信号Ｓ5が出力され、動作
制御手段１２から動作制御信号Ｓ6が出力され、次の動
作が指令されるから、電磁弁２が切り換わり、油圧シリ
ンダ１が次の動作を行なう。また、判断手段１１に時間
経過信号Ｓ7が入力された後に動作終了信号Ｓ1が入力さ
れた場合には、判断手段１１が表示装置７に動作異常信
号Ｓ8を出力し、表示装置７は動作異常信号Ｓ8を入力し
たとき動作異常を表示する。
【０００９】このような処理装置を有する製造装置にお
いては、油圧シリンダ１等の各処理装置のアクチュエー
タの動作所要時間にばらつきがあったとしても、時間計
測手段１３によって定められる所定時間が経過しない
と、油圧シリンダ１等の各処理装置のアクチュエータは
次の動作を開始しない。このため、各処理装置の処理時
間にばらつきが生ずることがないから、正確にタクト運
転することができる。
いては、油圧シリンダ１等の各処理装置のアクチュエー
タの動作所要時間にばらつきがあったとしても、時間計
測手段１３によって定められる所定時間が経過しない
と、油圧シリンダ１等の各処理装置のアクチュエータは
次の動作を開始しない。このため、各処理装置の処理時
間にばらつきが生ずることがないから、正確にタクト運
転することができる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る製
造装置においては、各処理装置のアクチュエータの動作
所要時間にばらつきがあったとしても、各処理装置の処
理時間にばらつきが生ずることがないから、正確にタク
ト運転することができる。
造装置においては、各処理装置のアクチュエータの動作
所要時間にばらつきがあったとしても、各処理装置の処
理時間にばらつきが生ずることがないから、正確にタク
ト運転することができる。
【図１】この発明に係る製造装置の処理装置のアクチュ
エータ部を示す図である。
エータ部を示す図である。
【図２】従来の製造装置の処理装置のアクチュエータ部
を示す図である。
を示す図である。
１…油圧シリンダ １４…制御装置
Claims (1)
- 【請求項１】アクチュエータを有する複数の処理装置か
らなる製造装置において、上記アクチュエータの動作開
始から所定時間経過後に上記アクチュエータの次の動作
を指令する制御装置を具備することを特徴とする製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20302595A JPH0950307A (ja) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | 製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20302595A JPH0950307A (ja) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | 製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0950307A true JPH0950307A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16467108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20302595A Pending JPH0950307A (ja) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | 製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0950307A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101531588B1 (ko) * | 2011-12-09 | 2015-06-25 | 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 | 액츄에이터의 제어 장치, 제어 방법 및 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법 |
-
1995
- 1995-08-09 JP JP20302595A patent/JPH0950307A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101531588B1 (ko) * | 2011-12-09 | 2015-06-25 | 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 | 액츄에이터의 제어 장치, 제어 방법 및 액츄에이터의 구동 시간 측정 방법 |
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