JPH09506034A - 静的マイクロ混合器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、混合すべき材料を供給するためにガイドブロックを前置した少なくとも１つの混合室を備えた静的マイクロ混合器に関する。本発明の課題は、２種以上の流体を互いに混合することである。前記課題を解決するための本発明の構成手段は、（ａ）プレート状のエレメントが複数の薄肉のシートから成り、各シート内には、各シート毎にマイクロ混合器縦軸線に対して傾斜方向を変換して延びる互いに近接した多数の溝が形成されており、かつ前記のシートを互いに上下に重ねて積層した場合に、各シート毎に複数の閉じた通路の通路列が混合すべき流体をガイドするために形成され、（ｂ）前記溝は、中間ウェブ及び溝底部の肉厚を＜７０μｍとして＜２５０μｍの幅と深さを有し、（ｃ）混合室に境を接していてシートによって形成された前記通路列が互いに上下に重なり合って整合するように位置しており、しかも隣り合ったシートの通路の通路列が、混合すべき流体を別々に供給できるように、マイクロ混合器の流体入口側へ向かって発散している点にある。

Description

【発明の詳細な説明】 静的マイクロ混合器 技術分野 本発明は、請求項１に上位概念として記載したように、少なくとも１つの混合 室と、該混合室に混合すべき流体を供給するために前置されたガイドブロックと を有し、該ガイドブロックが、プレート状に上下に積層された複数のエレメント から構成されており、前記エレメントが、マイクロ混合器縦軸線に対して斜めに 延びる通路によって貫通されており、かつ隣接し合ったエレメントの通路が無接 触状態で交差しかつ前記混合室へ開口している形式の静的マイクロ混合器に関す るものである。 背景技術 成膜状又は成層状に配置することのできる混合エレメント、触媒エレメントも しくは通路エレメントを備えた処理段内に混合器を配置することは、国際特許出 願公開９１／１６９７０号明細書（１９９１年１１月１４日付けＰＣＴ／ＣＨ特 許出願９１／００１０９号）に基づいて公知である。１つの層の隣接した通路エ レメント及び隣接層の順次に続く通路エレメントは主流動方向に対して互いに又 は交互に斜向して配置されている。前記の通路エレメントはプレート状又は蜂の 巣状に構成することができ、かつ互いに平行に延在する複数の通路を有している 。これによって流動抵抗は減少される。通路エレメントから前記処理段室への移 行域において、乱流による混合効果と諸部分流の合流が惹起される。混合エレメ ントもしくはその通路は、触媒反応プロセスを改善するために全体的又は部分的 に触媒として構成することができる。 発明の開示 前記の背景技術を出発点とする本発明の課題は、冒頭で述べた形式の静的マイ クロ混合器において、混合時間を短縮し、流体同士が化学的に反応する場合に流 体を完全に反応させることができ、かつ反応熱を効果的かつ可能な限り迅速に導 出又は供給できるようにすることである。 前記課題を解決するための本発明の構成手段は、請求項１に記載したように、 （ａ）プレート状のエレメントが複数の薄肉のシートから成り、各シート内には 、各シート毎にマイクロ混合器縦軸線に対して傾斜方向を変換して延びる互いに 近接した多数の溝が形成されており、かつ前記のシートを互いに上下に重ねて積 層した場合に、各シート毎に複数の閉じた通路の通路列が混合すべき流体をガイ ドするために形成され、（ｂ）前記溝は、中間ウェブ及び溝底部の肉厚を＜７０ μｍとして＜２５０μｍの幅と深さを有し、（ｃ）混合室に境を接していてシー トによって形成された前記 通路列が互いに上下に重なり合って整合するように位置しており、しかも隣り合 ったシートの通路の通路列が、混合すべき流体を別々に供給できるように、マイ クロ混合器の流体入口側へ向かって発散している点にある。 本発明の有利な構成手段は請求項２以降に記載した通りである。 本発明の構成手段によって、混合すべき流体は、列形にかつ「互い違いに」極 度に隣接し合った多数の極微細の繊条流に分流され、該繊条流は、混合室内へ流 入する際に合流されて、相応に局限された共通の容積を満たし、これによって著 しく迅速にかつ短時間で混和することができる。通路開口の密度、ひいては混合 室への入口における繊条流の密度は、ｃｍ²当り数千個の開口又は数千本の繊条 流である。 本発明のマイクロ混合器は、２種又はそれ以上の流体の（物理的）混合物の製 造を可能にする。マイクロ伝熱体を接続したことによって、互いに化学的に反応 し合う流体を混合させることも可能である。その化学反応時に発生する反応熱（ 発熱反応）又はその化学反応時に必要とする反応熱（吸熱反応）はマイクロ伝熱 体によって導出又は供給される。 図面の簡単な説明 図１ａは積層すべき複数のシートを示す斜視図である。 図１ｂ及び図１ｃは図１ａに示した複数のシートから成る同一のガイドブロッ クを２つの方向から見た斜視図である。 図１ｄは１つのマイクロ混合器における流動経路を示す概略平面図である。 図２ａ及び図２ｂは冷却可能又は加熱可能なガイドブロックを有するマイクロ 混合器の概略図である。 図３ａは伝熱体を接続した混合室を有するマイクロ混合器の断面図である。 図３ｂは伝熱体として構成された混合室を有するマイクロ混合器の断面図であ る。 発明を実施するための最良の形態 次に図面に基づいて本発明の実施例を詳説する。 図１ａに示した２種の複数のシート１，２は、長さと幅をミリメートル範囲と すれば約１００μｍの層厚を有している。第１種のシート１は、殊に互いに平行 に密接して混合器縦軸線３に対して斜めに延びる複数条の溝４によって貫通され ており該溝は、シートの左手後部縦辺側を起点として前記混合器縦軸線３に対し て鋭角＋αを成してシートの前部縦辺側の中央域に開口している。第２種のシー ト２も同一の方式で複数条の溝５によって貫通されているが、この場合は溝縦軸 線と混合器縦軸線との成す角度は−αである。すなわち溝５はシートの右手後部 縦辺側を起点としてシートの前部縦辺側の中央域に向かって延在している。しか し角度値は等角である必要はない。溝４，５は成形ダイヤモンドで形成すること ができ、かつ中間ウェブ４ａ，５ａの肉厚を１５μｍとすれば＜１００μｍの幅 及び７０μｍの深さを有しているのが有利である。溝底の肉厚は３０μｍである 。 種々異なったマイクロ溝を製作するために必要なバイトと装置は例えばドイツ 連邦共和国特許第３７０９２７８号明細書に図示かつ記載されている。矢印Ａ及 びＢは、混合すべき流体Ａ及びＢの流動方向を表す。 １つのガイドブロック６を製作する場合、２種のシート１，２は交互に順次積 層されて上部カバープレート６ａと下部カバープレート６ｂを備え、かつ例えば 拡散接合によって接合されて１つの均質な真空密・耐圧性のマイクロ構造体が形 成される。図１ｂから判るように、混合室７に境を接していて両種のシート１と ２とによって形成された通路１ｂ，２ｂの通路列１ａ，２ａは、互いに上下で重 なり合うように整合されている（図１ｄ参照）。 前記通路列１ａ，２ａはｃｍ²当り約５０００個の開口密度の共通の正方形横 断面を有しており、前記開口は全て共通の混合室７に境を接している。図１ｃに は、流体Ａ，Ｂの流入側から見たガイドブロック６が示されている。図１ｃ及び 図１ｄの平面図から判るように、混合器縦軸線３に対して斜向して延在する通路 １ｂ，２ｂは、流体ＡとＢを夫々１つの入口室８，９を 介して別々にガイドブロック６に供給できるように、混合室７から交互に流体入 口側へ向かって発散している。ガイドブロック６から流出した後、流体Ａ，Ｂの 極微細の繊条流は互いに親密に混和され、かつ混合室７内で共通の流れＣを形成 する。 図２ａ及び図２ｂには、２種のシート１と２との間、又はシート１，２と上部 及び下部のカバープレート６ａ，６ｂとの間に中間シート１０を間挿した変化実 施例が示されており、該中間シートは、冷却媒体又は加熱媒体を通すために、混 合器縦軸線３に対して直角方向に延びる複数の溝１０ａを有している。これによ って流体ＡとＢの混合時間及び反応時間に影響を及ぼすことが可能である。 図３ａには、図１ａ及び図１ｄに相当するガイドブロック６に接続された混合 室７が断面図で示されている。該混合室７には伝熱体１１が接続されており、該 伝熱体は、通路１１ｂから反応熱を導出するため、及び該通路１１ｂへ反応熱を 供給するために、図２ａ及び図２ｂに示した実施例とほぼ同様に共通の流れＣの 流動方向に対して直角な横方向に延びる複数の通路１１ａによって貫通されてい る。 図３ｂでは伝熱体１２はガイドブロック１３に直接接続されている。この場合 、両種の流体Ａ，Ｂのために互いに上下に位置する２つの通路１３ａ，１３ｂを 伝熱体１２の共通の部分混合室１２ａ内へ夫々開口さ せるように隔膜１４が配置されている。この場合前記の部分混合室１２ａは、共 通の流れＣの流動方向に対して直角な横方向に延びる複数の通路１２ｃを有する シート１２ｂに境を接している。 前記通路１２ｃは、部分混合室１２ａもしくは部分反応ゾーンに対して熱を導 出又は供給することのできる冷却媒体又は加熱媒体を導く。 符号の説明 Ａ，Ｂ 流体及びその流動方向を示す矢印、 Ｃ 共通の流れ、 １，２ シート、 １ａ，２ａ 通路列、 １ｂ，２ｂ 通路、 ３ 混合器 縦軸線、 ４ 溝、 ４ａ，４ｂ 溝底部、 ５ 溝、 ６ ガイドブ ロック、 ６ａ 上部カバープレート、 ６ｂ 下部カバープレート、 ７ 混合室、 ８，９ 入口室、 １０ 中間シート、 １１ａ，１１ｂ 通路、 １２ 伝熱体、 １２ａ 部分混合室、 １２ｂ シート、 １２ｃ 通路、 １３ ガイドブロック、 １３ａ，１３ｂ 通路、 １ ４ 隔膜

【手続補正書】特許法第１８４条の８ 【提出日】１９９５年９月１３日 【補正内容】 発明を実施するための最良の形態 次に図面に基づいて本発明の実施例を詳説する。 図１ａに示した２種の複数のシート１，２は、長さと幅をミリメートル範囲と すれば約１００μｍの層厚を有している。第１種のシート１は、殊に互いに平行 に密接して混合器縦軸線３に対して斜めに延びる複数条の溝４によって貫通され ており、該溝は、シートの左手後部縦辺側を起点として前記混合器縦軸線３に対 して鋭角＋αを成してシートの前部縦辺側の中央域に開口している。第２種のシ ート２も同一の方式で複数条の溝５によって貫通されているが、この場合は溝縦 軸線と混合器縦軸線との成す角度は−αである。すなわち溝５はシートの右手後 部縦辺側を起点としてシートの前部縦辺側の中央域に向かって延在している。し かし角度値は等角である必要はない。溝４，５は成形ダイヤモンドで形成するこ とができ、かつ中間ウェブ４ａ，５ａの肉厚を１５μｍとすれば＜１００μｍの 幅及び７０μｍの深さを有しているのが有利である。溝底の肉厚は３０μｍであ る。 種々異なったマイクロ溝を製作するために必要なバイトと装置は例えばドイツ 連邦共和国特許第３７０９２７８号明細書に図示かつ記載されている。矢印Ａ及 びＢは、混合すべき流体Ａ及びＢの流動方向を表す。 １つのガイドブロック６を製作する場合、２種のシート１，２は交互に順次積 層されて上部カバープレー ト６ａと下部カバープレート６ｂを設け、かつ例えば拡散接合によって接合され て１つの均質な真空密・耐圧性のマイクロ構造体が形成される。図１ｂから判る ように、両種のシート１と２とによって形成された通路１ｂ，２ｂの通路列１ａ ，２ａの、混合室７に境を接した開口は、互いに上下で重なり合うように整合さ れて共通の横断面を形成している（図１ｄ参照）。 前記通路列１ａ，２ａはｃｍ²当り約５０００個の開口密度の共通の正方形横 断面を有しており、前記開口は全て共通の混合室７に境を接している。図１ｃに は、流体Ａ，Ｂの流入側から見たガイドブロック６が示されている。図１ｃ及び 図１ｄの平面図から判るように、混合器縦軸線３に対して斜向して延在する通路 １ｂ，２ｂは、流体ＡとＢを夫々１つの入口室８，９を介して別々にガイドブロ ック６に供給できるように、混合室７から交互に流体入口側へ向かって発散して いる。ガイドブロック６から流出した後、流体Ａ，Ｂの極微細の繊条流は互いに 親密に混和され、かつ混合室７内で共通の流れＣを形成する。 図２ａ及び図２ｂには、２種のシート１と２との間、又はシート１，２と上部 及び下部のカバープレート６ａ，６ｂとの間に中間シート１０を間挿した変化実 施例が示されており、該中間シートは、冷却媒体又は加熱媒体を通すために、混 合器縦軸線３に対して直角方向に延びる複数の溝１０ａを有している。これによ って流体ＡとＢの混合時間及び反応時間に影響を及ぼすことが可能である。 図３ａには、図１ａ及び図１ｄに相当するガイドブロック６に接続された混合 室７が断面図で示されている。該混合室７には伝熱体１１が接続されており、該 伝熱体は、通路１１ｂから反応熱を導出するため、及び該通路１１ｂへ反応熱を 供給するために、図２ａ及び図２ｂに示した実施例とほぼ同様に共通の流れＣの 流動方向に対して直角な横方向に延びる複数の通路１１ａによって貫通されてい る。 図３ｂでは伝熱体１２はガイドブロック１３に直接接続されている。この場合 、両種の流体Ａ，Ｂのために互いに上下に位置する２つの通路１３ａ，１３ｂを 伝熱体１２の共通の部分混合室１２ａ内へ夫々開口させるように隔膜１４が配置 されている。この場合前記の部分混合室１２ａは、共通の流れＣの流動方向に対 して直角な横方向に延びる複数の通路１２ｃを有するシート１２ｂに境を接して いる。 前記通路１２ｃは、部分混合室１２ａもしくは部分反応ゾーンに対して熱を導 出又は供給することのできる冷却媒体又は加熱媒体を導く。 【手続補正書】特許法第１８４条の８ 【提出日】１９９６年３月４日 【補正内容】 明細書 静的マイクロ混合器 技術分野 本発明は、請求項１に上位概念として記載したように、少なくとも１つの混合 室と、該混合室に混合すべき流体を供給するために前置されたガイドブロックと を有し、該ガイドブロックが、上下に積層された複数のエレメントから構成され ており、前記エレメントが、マイクロ混合器縦軸線に対して斜めに延びる通路に よって貫通されており、かつ前記の隣接し合ったエレメントの通路が無接触状態 で交差しかつ前記混合室へ開口しており、前記の上下に積層されたエレメントに よって形成された通路の通路列の、前記混合室に境を接した開口が上下で整合す るように位置しかつ共通の横断面を形成しており、しかも前記隣接し合ったエレ メントの通路の通路列が、混合すべき流体を別々に供給できるように前記共通の 横断面から前記ガイドブロックの流体入口側へ向かって発散している形式の静的 マイクロ混合器に関するものである。 背景技術 長方形状又は正方形状の単一波形ユニットを複数積層しかつ互いに接着又は溶 着などにより接合することによって形成される通路形成体として構成された混合 装置が、ドイツ連邦共和国特許第３１１４１９５号明細書に基づいて公知になっ ている。通路形成体の所望の形状は、各単一波形ユニットの専用裁断片によって 製造することもできる。単一波形ユニットは、互いに固定的に接合された扁平な 隔壁と波形シートとから構成されており、この場合隣り合った単一波形ユニット の波形シートの波は互いに或る所定の角度を成して延びている。１実施形態では 、通路形成体は、複数の単一波形ユニットによって形成された等長かつ平行な複 数の通路を有し、該通路は、２つの入口通路に接続された通路形成体の入口側を 起点として、出口通路に接続された前記通路形成体の出口側へ延びている。前記 通路形成体が、互いに上下に積層された複数の単一波形ユニットから構成されて おり、しかも１つ置きの単一波形ユニットが所属の入口通路に接続されねばなら ず、従って該入口通路から媒体は、通路の高さ方向で見て夫々１つ置きの通路内 へしか流入しないので、中間に位置している単一波形ユニットへの入口は閉塞さ れていなければならない（前掲特許明細書の第６欄第１０行乃至第３４行参照） 。所要の閉塞栓の成形及び装着は極めて手間が掛かりコスト高になる。このよう な波形シートに関連した閉塞栓からは、化学的なプロセス技術において一般に要 求されるような真空密又は特別の耐圧性も期待することは到底不可能である。 成膜状又は成層状に配置することのできる混合エレ メント、触媒エレメントもしくは通路エレメントを備えた処理段内に混合器を配 置することは、国際特許出願公開９１／１６９７０号明細書（１９９１年１１月 １４日付けＰＣＴ／ＣＨ特許出願９１／００１０９号）に基づいて公知である。 １つの層内の隣接した通路エレメント及び隣接層の順次に続く通路エレメントは 主流動方向に対して互いに又は交互に斜向して配置されている。前記の通路エレ メントはプレート状又は蜂の巣状に構成することができ、かつ互いに平行に延在 する複数の通路を有している。これによって流動抵抗は減少される。通路エレメ ントから前記処理段室への移行域において、乱流による混合効果と諸部分流の合 流が惹起される。混合エレメントもしくはその通路は、触媒反応プロセスを改善 するために全体的又は部分的に触媒として構成することができる。 発明の開示 前記の背景技術を出発点とする本発明の課題は、冒頭で述べた形式の静的マイ クロ混合器において、製造を簡便化し混合時間を更に著しく短縮し、流体同士が 化学的に反応する場合に流体を完全に反応させることができ、かつ反応熱を効果 的かつ可能な限り迅速に導出又は供給できるようにすると共に混合器の通路に関 しては真空密な耐圧性構造を可能にすることである。 前記課題を解決するための本発明の構成手段は、次の３つの構成要素から成っ ている：すなわち（ａ）ガ イドブロック用のエレメントが、ミリメートル範囲の長さと幅で約１００μｍの 肉厚を有する複数の薄肉のシートから成り、各シート内には、各シート毎にマイ クロ混合器縦軸線に対して傾斜方向を変換して延びる互いに近接した多数の溝が 形成されており、該溝が、夫々一方のシート縦辺側を起点として、対向した他方 のシート縦辺側の中央域で開口しており、かつ前記のシートを互いに上下に重ね て積層した場合に、各シート毎に複数の閉じた通路の通路列が混合すべき流体を ガイドするために形成され、（ｂ）前記溝は、中間ウェブ及び溝底部の肉厚を＜ ７０μｍとして＜２５０μｍの幅を有し、かつ前記中央域で前記混合室に境を接 する前記通路の開口がｃｍ²当り数千個の密度を有しており、（ｃ）前記上下に 積層されたシートが、上部カバープレート及び下部カバープレート又はその何れ かを有し、かつ互いに接合されて均質な真空密かつ耐圧性のマイクロ構造体を形 成している点にある。 本発明の有利な構成手段は請求項２以降に記載した通りである。 請求の範囲 １．少なくとも１つの混合室（７）と、該混合室（７）に混合すべき流体（Ａ， Ｂ）を供給するために前置されたガイドブロック（６）とを有し、該ガイドブロ ック（６）が、上下に積層された複数のエレメント（１，２）から構成されてお り、前記エレメントが、マイクロ混合器縦軸線（３）に対して斜めに延びる通路 （１ｂ，２ｂ）によって貫通されており、かつ前記の隣接し合ったエレメント（ １，２）の通路（１ｂ，２ｂ）が無接触状態で交差しかつ前記混合室（７）へ開 口しており、前記の上下に積層されたエレメント（１，２）によって形成された 通路（１ｂ，２ｂ）の通路列（１ａ，２ａ）の、前記混合室（７）に境を接した 開口が上下で整合するように位置しかつ共通の横断面を形成しており、しかも前 記隣接し合ったエレメント（１，２）の通路（１ｂ，２ｂ）の通路列（１ａ，２ ａ）が、混合すべき流体（Ａ，Ｂ）を別々に供給できるように前記共通の横断面 から前記ガイドブロック（６）の流体入口側へ向かって発散している形式の静的 マイクロ混合器において、 （ａ）ガイドブロック（６）用のエレメントが、ミリメートル範囲の長さと幅 で約１００μｍの肉厚を有する複数の薄肉のシート（１，２）から成り 、各シート内には、各シート毎にマイクロ混合器縦軸線（３）に対して傾斜方向 を変換して延びる互いに近接した多数の溝（４，５）が形成されており、該溝が 、夫々一方のシート縦辺側を起点として、対向した他方のシート縦辺側の中央域 で開口しており、かつ前記のシート（１，２）を互いに上下に重ねて積層した場 合に、各シート毎に複数の閉じた通路（１ｂ，２ｂ）の通路列（１ａ，２ａ）が 混合すべき流体（Ａ，Ｂ）をガイドするために形成され、 （ｂ）前記溝（４，５）は、中間ウェブ（４ａ，５ａ）及び溝底部（４ｂ，５ ｂ）の肉厚を＜７０μｍとして＜２５０μｍの幅を有し、かつ前記中央域で前記 混合室（７）に境を接する前記通路（１ｂ，２ｂ）の開口がｃｍ²当り数千個の 密度を有しており、 （ｃ）前記上下に積層されたシート（１，２）が、上部カバープレート（６ａ ）及び下部カバープレート（６ｂ）又はその何れかを有し、かつ互いに接合され て均質な真空密かつ耐圧性のマイクロ構造体を形成していることを特徴とする、 静的マイクロ混合器。 ２．流体入口側へ向かって発散するように斜向した複数の溝を有している２つの シート（１，２）間に夫々１つの中間シート（１０）が間挿されており、該 中間シートが、冷却媒体又は加熱媒体を通すために、マイクロ混合器縦軸線（３ ）に対して直角に延びる複数の溝（１０ａ）を有している、請求項１記載のマイ クロ混合器。 ３．混合室（７）にマイクロ伝熱体（１１）が接続されており、該マイクロ伝熱 体が、混合すべき流体（Ａ，Ｂ）の流動方向（Ｃ）に対して直角な横方向に延び る複数の通路（１１ａ）によって貫通されており、かつ前記通路（１１ａ）が、 該通路間に介在している前記流体用通路（１１ｂ）から反応熱を導出するため及 び該流体用通路（１１ｂ）へ反応熱を供給するために使用される、請求項１又は ２記載のマイクロ混合器。 ４．混合室が、ガイドブロック（１３）に直接接続されたマイクロ伝熱体（１２ ）として構成されており、該マイクロ伝熱体が、冷却媒体又は加熱媒体をガイド するために、部分混合室（１２ａ）に境を接するシート（１２ｂ）内に、流動方 向（Ｃ）に対して直角な横方向に延びる複数の通路（１２ｃ）を有している、請 求項１又は２記載のマイクロ混合器。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヴィルヘルム ビーア ドイツ連邦共和国 Ｄ−76344 エッゲン シュタイン−レオポルツハーフェン グラ ーベナー ヴェーク 10 (72)発明者 ゲルト リンダー ドイツ連邦共和国 Ｄ−76149 カールス ルーエ シュテファン−ロッホナー−ヴェ ーク ２ (72)発明者 ディーター ザイデル ドイツ連邦共和国 Ｄ−76344 エッゲン シュタイン−レオポルツハーフェン ヴュ ルッテムベルガーシュトラーセ １ 【要約の続き】

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．少なくとも１つの混合室と、該混合室に混合すべき流体を供給するために前 置されたガイドブロックとを有し、該ガイドブロックが、プレート状に上下に積 層された複数のエレメントから構成されており、前記エレメントが、マイクロ混 合器縦軸線に対して斜めに延びる通路によって貫通されており、かつ隣接し合っ たエレメントの通路が無接触状態で交差しかつ前記混合室へ開口している形式の 静的マイクロ混合器において、 （ａ）プレート状のエレメントが複数の薄肉のシート（１，２）から成り、各 シート内には、各シート毎にマイクロ混合器縦軸線（３）に対して傾斜方向を変 換して延びる互いに近接した多数の溝（４，５）が形成されており、かつ前記の シート（１，２）を互いに上下に重ねて積層した場合に、各シート毎に複数の閉 じた通路（１ｂ，２ｂ）の通路列（１ａ，２ａ）が混合すべき流体（Ａ，Ｂ）を ガイドするために形成され、 （ｂ）前記溝（４，５）は、中間ウェブ（４ａ，５ａ）及び溝底部（４ｂ，５ ｂ）の肉厚を＜７０μｍとして＜２５０μｍの幅と深さを有し、 （ｃ）混合室（７）に境を接していてシート（１，２）によって形成された前 記通路列（１ａ，２ａ ）が互いに上下に重なり合って整合するように位置しており、しかも隣り合った シートの通路（１ｂ，２ｂ）の通路列（１ａ，２ａ）が、混合すべき流体（Ａ， Ｂ）を別々に供給できるように、マイクロ混合器の流体入口側（８，９）へ向か って発散していることを特徴とする、 静的マイクロ混合器。 ２．流体入口側へ向かって発散するように斜向した複数の溝を有している２つの シート（１，２）間に夫々１つの中間シート（１０）が間挿されており、該中間 シートが、冷却媒体又は加熱媒体を通すために、マイクロ混合器縦軸線（３）に 対して直角に延びる溝（１０ａ）を有している、請求項１記載のマイクロ混合器 。 ３．混合室（７）にマイクロ伝熱体（１１）が接続されている、請求項１又は２ 記載のマイクロ混合器。 ４．混合室が、ガイドブロック（７）に直接接続されたマイクロ伝熱体（１２） として構成されている、請求項１又は２記載のマイクロ混合器。