JPH09511330A - サーチガス漏洩検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、ガス流入口（２）とサーチガス敏感なディテクタ（４）とを備えており、流入口（２）に達する、漏洩発生時にはサーチガスを含むガス流を、ディテクタ（４）に全部又は一部供給するサーチガス漏洩検出器（１）を運転するための方法に関する。漏洩検出器の感度を改善するために、ガス流を、有利には周期的に調整し、サーチガスディテクタ（４）の信号を、ガス流の調整と同期的に処理するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】 サーチガス漏洩検出器 本発明は、サーチガス漏洩検出器を運転するための方法並びにこの方法を行う ために適したサーチガス漏洩検出器に関する。 ここで述べるような形式のサーチガス漏洩検出器は、例えば検査室に接続され ていて、この検査室内には単数又は複数の検査体が位置している。検査体から漏 れが生じた場合には、検査体内に位置するサーチガスが、検査室内に達し、ここ からサーチガス漏洩検出器に達する。サーチガス漏洩検出器によってサーチガス が検出される。別の漏洩検出法では、検査体自体がサーチガス漏洩検出器の流入 口に接続されている。この検査体に外部からサーチガスが吹き付けられる。この 検査体から漏れが生じた場合には、サーチガスが検査体に達し、その後サーチガ ス漏洩検出器に達する。 サーチガス漏洩検出器の流入口から流入し、漏洩が生じた場合にはサーチガス を含むガスが、漏洩検出器内に位置するセンサ（サーチガスディテクタ）に直接 的に案内される。サーチガスとしてヘリウムが使用されている場合には、サーチ ガスディテクタは通常、質量４に調節された質量分析計である。この質量分析計 は比較的低い運転圧を有するので、前置された前真空 ポンプを備えた高真空ポンプを必要とする。サーチガスの存在を検査しようとす るガスが、質量分析計に直接供給される場合は、このような圧力特性が考慮され なければならない。検査しようとするガスを高真空ポンプの流出口に供給するこ ともできる。場合によっては存在するヘリウムが、高真空ポンプの搬送方向とは 逆方向で質量分析計に達し、ここで検出される（逆流の原理）。 記載されたような形式のサーチガス漏洩検出器の感度は、とりわけ内部のサー チガスの潜在若しくはヘリウムの潜在によって制限されてしまう。この潜在の原 因は、特に以前の測定からのヘリウムで、これは前真空ポンプのシール媒体及び 又はオイル内部に拡散されたものである。シール媒体及びオイルから徐々に流出 するサーチガスが、前真空ポンプの搬送方向に反して質量分析計に達し、不都合 な潜在を引き起こす。 本発明の課題は、サーチガス漏洩検出器の感度を改善させることである。 この課題は、請求項の特徴部に従って漏洩ディテクタの流入口でガス流を調整 することにより解決された。 本発明の使用により、調整されていない外乱、特に調整されていない、機器に 潜在するサーチガスが、位相敏感な検波の原理に従って排除される。従って、大 きな潜在が存在するにも関わらず、極めて小さな漏洩 率を検出することができる。本発明による方法の別の利点は、極めて小さな信号 ／漏洩率のもとでの時間特性が、従来の技術に比べ著しく改善される。 本発明の別の利点と詳細は、第１図から第３図に示した実施例に従って説明す る。 第１図は、本発明によるサーチガス漏洩検出器の実施例を概略的に示した図、 第２図及び第３図は、択一的な、流入ガス流の調整のための装置を示した図で ある。 第１図のサーチガス漏洩検出器１では、流入口が符号２で、この流入口に接続 された導管が符号３で、質量分析計として形成されたサーチガス探知機が符号４ で示されている。質量分析計４の流入口には、導管５を介して高真空ポンプ６（ 有利にはターボモレキュラ真空ポンプ）が接続されている。高真空ポンプ６の流 出口には、弁８を備えた導管７が接続されている。この導管７は前真空ポンプ９ の流入口に接続されている。導管３には、弁１３，１４を備えた導管区分１１， １２が接続されている。流入口２内に流入するガスは、これらの導管１１，１２ を介して直接的に（導管１１）又は間接的に（導管１２）質量分析計４に達する 。ガス経路の選択は弁１３，１４によって行われる。弁８及び弁１３が閉鎖され ている場合は、開放された弁１４のもとで、前真空ポンプ９が、検査体又は検査 室（図示しない）の排気のために働くことができる。 検査体又は検査室は、漏洩検出の開始以前から流入口２に接続されている。 本発明によるサーチガス漏洩検出器１の運転を可能にするために、導管３内に は、通流するガスの調整を可能にする構成部分が位置している。第１図の実施例 では弁１６が設けられていて、この弁１６の開口横断面は可変的である。第２図 及び第３図には、導管３内に設けられた調節可能な絞り１７若しくは回転式のス ロットルバルブ１８が示されている。これらの構成部分は全て、有利な周期的な 流入ガス流調整を可能にする。 第１図に示したように、弁１６の操作のためにスイッチ２２が設けられていて 、このスイッチ２２自体は周波数発生器２１によって操作される。さらに、周波 数発生器２１によって発せられた信号は、増幅器２３に基準信号として送られる 。増幅器２３は、サーチガスディテクタ４により発せられた信号を処理するため に働く。増幅及び、ロックイン原理に応じて位相敏感な検波がなされた後に、信 号表示が行われる。信号表示器としてブロック２４が示されている。 流入ガス流が調整される際に、質量分析計のイオンコレクタに同様に変調され た信号が送られる。この信号は、同期化して働く増幅器によりロックイン原理（ LOCK-IN Prinzip）に従って定電圧信号に処理されて、ブロック２４において表 示される。特にヘリウムの潜 在によって引き起こされる外乱がこれにより排除される。極めて小さな漏洩率も 検出され得る。イオンコレクタの信号がさらに（十分な大きさの）変調を有する ようにするために、周波数発生器によって生ぜしめられた信号周波数ｆは、真空 機構の時定数の逆数ｔよりも小さくなければならない。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． ガス流入口（２）とサーチガス敏感なディテクタ（４）とを備えており、 流入口（２）に達する、漏洩発生時にはサーチガスを含むガス流を、ディテクタ （４）に全部又は一部供給するサーチガス漏洩検出器（１）を運転するための方 法において、 ガス流を、有利には周期的に調整し、サーチガスディテクタ（４）の信号を 、ガス流の調整と同期的に処理することを特徴とする、サーチガス検出器を運転 するための方法。 ２． ガス流の調整と、サーチガスディテクタの信号の処理とをロックイン原理 に従って行う、請求項１記載の方法。 ３． 場合によってはサーチガスを含むガス流を、サーチガスディテクタ（４） に直接的に又は間接的にーサーチガスディテクタ（４）に接続された高真空ポン プ（６）とは逆流で−供給する、請求項１又は２記載の方法。 ４． 調整周波数及び信号処理周波数が、給電網周波数の範囲内又は真空機構の 時定数の範囲内に存在しないようにする、請求項１から３までのいずれか１項記 載の方法。 ５． 請求項１から４までの方法を行うのに適したサーチガス漏洩検出器（１） であって、流入口（２） とサーチガスディテクタ（４）とを備えた形式のものにおいて、 流入側に、流入ガス流を調整するための装置（１６，１７，１８）が設けら れていることを特徴とする、サーチガス漏洩検出器。 ６． 流入ガス流を調整するための装置として、調整可能な弁（１６）又は調整 可能な絞り（１７）又は回転式のスロットルバルブ（１８）が設けられている、 請求項５記載のサーチガス漏洩検出器。 ７． サーチガスディテクタ（４）が質量分析計であって、このサーチガスディ テクタ（４）の流入口は高真空ポンプに接続されていて、信号出口は増幅器（２ ３）に接続されている、請求項５又は６記載の漏洩検出器。 ８． 構成部分（１６，１７，１８）の制御及び増幅器（２３）の制御のために 周波数発生器（２１）が設けられている、請求項７記載の漏洩検出器。