JPH09512341A

JPH09512341A - コリオリ質量流量計

Info

Publication number: JPH09512341A
Application number: JP7527847A
Authority: JP
Inventors: ケイジ，ダナルド、ア−; キャムブル，スティーヴン、ダブルュー; ハーン，デイヴィド、ティー
Original assignee: ダイレクト、メジャマント、コーパレイシャン
Priority date: 1994-04-26
Filing date: 1995-04-18
Publication date: 1997-12-09
Also published as: WO1995029386A1; AU683752B2; WO1995029385A1; EP0867694A1; EP0867694B1; AU2461895A; EP0758443A1; EP0757782A1; DE69505808T2; DE69531046D1; DE69531363D1; US5473949A; EP0757782B1; AU2362995A; DE69505808D1; US5497665A; CA2186342A1; DE69531363T2; AU680140B2; JPH09512340A

Abstract

(57)【要約】コリオリの原理を使い流体の特質を計測する流量計装置を提供する。本発明装置は、（１）流体内に挿入可能であり、この流体により包囲可能である本体と、（２）前記流体内にコリオリ力を発生する前記本体の表面を振動させるように、前記本体内に配置されたアクチュエ−タと、（３）前記流体内に発生するコリオリ力の関数である前記表面の運動を計測するように、前記表面に結合された検出器と、（４）前記流体の特質を前記の表面の運動の関数として測定するように、前記検出器に結合された回路とを包含する。本発明の好適な実施例においては、導管は、本発明装置を囲み、検出器に結合される。本発明装置は、この装置を包囲する流体の質量流量、圧力、密度及び粘度の精密な検出ができる。

Description

【発明の詳細な説明】発明の名称コリオリ質量流量計関連出願の引照本願は、１９９２年５月８日付米国特許願０７／８４３，５１９号明細書「改良されたコリオリ質量流量計」のＣＩＰ（ｃｏｎｔｉｎｕａｔｉｏｎ−ｉｎ−ｐａｒｔ）と、１９９１年２月５日付米国特許願０７／６５１，３０１号明細書「単一径路半径方向モ−ドコリオリ質量流量計」のＣＩＰとである。これ等の明細書は共に本発明者に譲渡され本願明細書の説明に参照してある。技術分野本発明は、コリオリ質量流量計（Ｃｏｒｉｏｌｉｓｍａｓｆｌｏｗｒａｔｅｍｅｔｅｒ）、ことに質量流量計を計測するように単一のまっすぐの流れ導管に挿入できるコリオリ質量流量計に関する。背景技術コリオリ質量流量計の業界では、質量流れを搬送する振動する流れ導管がこの流れ導管を質量流量に比例して関連し正常な振動径路から遠ざかる向きにたわませるコリオリの力を生ずることがよく知られている。これ等のたわみ又はその作用はこの場合質量流量の正確な指示として計測することができる。この作用は先ず、米国コロラド州ブ−ルダ−（Ｂｏｕｌｄｅｒ）のマイクロ・モ−ション・インコ−ポレイテッド（ＭｉｃｒｏＭｏｔｉｏｎＩｎｃ．）で工業的に有効にされた。初期の構造では、基体から片持ばり状に取付けた単一の振動するＵ字形流れ導管を使った。流れ導管の振動につりあわせるものがないと、この構造は、取付条件を極めて感知しやすく、従ってスミス（Ｓｍｉｔｈ）を発明者とする米国特許ＲＥ−３１，４５０号及び同第４，４２２，３３８号明細書に記載してあるのと同様な流れ導管用のつりあいおもりとして他の取付けの振動構造を使うように設計しなおされた。しかし処理流体の比重の変化がつりあいおもりの変化に合致しないと不つりあい条件により誤差を生ずるようになるから問題が生じた。つりあいおもり構造を初めのものと同様な別のＵ字形流れ導管と交換しこの流れを両導管を経て同時に流れる互いに平行な径路に分割することにより後で著しい改良が行われた。この平行径路コリオリ質量流量計（スミス等を発明者とする米国特許第４，４９１，０２５号明細書）は、このつりあいの問題を解決して現在の業界で質量流量計測の主要な方法になった。種種の性能向上又は改造のできる多くの他の流れ導管構造が発明されている。互いに異なる流れ導管形状の例には、リュ−（Ｌｅｗ）を発明者とする米国特許第４，７９８，０９１号及び同第４，７７６，２２０号の各明細書二重Ｓ字形導管とコ−ウォン（Ｃｏｒｗｏｎ）等を発明者とする米国特許第４，８５２，４１０号明細書Ω字形導管と、マッタ−（Ｍａｔｔａｒ）等を発明者とする米国特許第４，８９１，９９１号明細書Ｂ字形導管と、レビ−ン（Ｌｅｖｉｅｎ）を発明者とする米国特許第４，７５６，１９８号明細書つる巻状流れ導管と、ケイン（ｋａｎｅ）を発明者とする米国特許第４，７１６，７７１号明細書８字形流れ導管と、シモンセン（Ｓｉｍｏｎｓｅｎ）等を発明者とする米国特許第４，６８０，９７４号明細書二重直線導管等とがある。これ等の形状ではすべて、つりあった共振振動系を生成するように相互に反対の向きに振動する互いに平行な２本の流れ導管についての基本的考え方を使う。平行径路コリオリ質量流量計は工業的に著しい成功を収めているが、いくつかの問題がある。これ等の問題の多くは、つりあい共振系を保持するように流れスプリッタ及び２本の平行流れ導管を使うことの結果である。さらに、多くの構造では、前記したように種種の形状に湾曲した質量流量に対する装置感度を高めるようにする流れ導管を使う。これ等の一般的な２種類の構造上の特長は、使用によって有利になる多くの用途のコリオリの技術の使用をできなくする若干の問題を生ずる。流れスプリッタ及び湾曲流れ導管により生ずる問題のうちには、（１）流体が装置の流れスプリッタ及び曲がりを通過する際に乱流及び抗力により生ずる過度の流体圧力降下と、（２）流れスプリッタ及び湾曲流れ導管を持つ構造の内面に耐食材料を内張りし又はめっきすることの困難と、（３）詰まることがなく自動的に排出する目視検査のできるみがき表面仕上げのように食品及び食品工業の衛生上の要求に合致することができないことと、（４）高定格の圧力を封入できる２重湾曲流れ導管を囲むケースを作ることの困難と、（５）直径６ｉｎの比較的大きい配管用の流量計を作ることの困難と、（６）流れスプリッタ、二重流れ導管及び湾曲流れ導管の製造の付加的費用により現用の構造の費用を低減することの困難とがある。従って単一の直線の流れ導管を使うコリオリ質量流量計が当業界で著しい利点のあることが認められている。１９９１年２月５日付米国特許願０７／６５１，３０１号明細書「単一径路半径方向モードコリオリ質量流量計」は、単一の直線流れ導管を使い半径方向モードで振動することにより導管内の流体の質量流量を計測する手段を提供する流量計に係わる。１９９２年５月８日付米国特許願０７／８４３，５１９号明細書「改良されたコリオリ質量流量計」と米国特許願０７／６５１，３０１号明細書のＣＩＰとはとくに、導管内の流体の圧力及び粘度を計測することのできる質量流量計と質量流量及びその他の流体特質を計測するように他の部分は剛性の導管に振動表面を使う他の構造の質量流量計とに係わる。当業界になお必要とするものは、導管内の流体の質量流量及びその他の特質を計測できるように導管内に挿入できる魚雷形装置（ｔｏｐ−ｔｙｐｅｄｅｖｉｃｅ）である。発明の要約本発明の目的によれば、コリオリの原理を利用する、流体の特質を計測する装置を提供する。この装置は、（１）流体内に挿入可能であり、この流体により包囲可能である本体と、（２）前記流体内にコリオリの力を発生する前記本体の表面を半径方向モードの振動で振動させるように、前記本体内に配置された振動手段（好適とする実施例ではアクチュエ−タ）と、（３）前記流体内に発生するコリオリの力の関数である前記表面の運動を計測する（ｍｅａｓｕｒｅ）ように、前記表面に結合された計測手段（好適とする実施例では検出器）と、（４）前記流体の特質を、前記表面の運動の関数として測定する（ｄｅｔｅｒｍｉｎｅ）ように、前記計測手段に結合された測定手段（好適とする実施例では回路）とを備えている。さらに本発明の目的は、振動手段が前記表面を２つの半径方向振動モ−ドで振動させる装置を提供することにある。さらに本発明の目的は、計測手段が、表面の運動の位相の変化を計測する装置を提供することにある。さらに本発明の目的は、計測手段が、表面の運動の振幅の変化を計測する装置を提供することにある。さらに本発明の目的は、本体を細長くし、流体がこの本体の横方向軸線に沿って流れる装置を提供することにある。さらに本発明の目的は、導管内に配置され、装置本体及び導管の間に流体を配置することができ、計測する手段を前記導管に結合した装置を提供することにある。さらに本発明の目的は、導管を振動させる手段をさらに備えた装置を提供することにある。さらに本発明の目的は、導管の運動の変化を感知する手段をさらに備えた装置を提供することにある。さらに本発明の目的は、特質が次の特質すなわち流体の質量流量、圧力、密度及び粘度のうちの任意の１つ又は複数である装置を提供することにある。次の説明を通じて質量流量を計測する流量計を参照する。当業者には明らかなように流体の圧力、密度、粘度又はその他の特質は同じ構造及び機能により容易に確認でき、又これ等の他の特質の確認は本発明の範囲内である。本装置は、単一の直線の流れ導管及び独特の振動法を使うことにより、つりあい及び調和の現用の利点は保持しながら流れスプリッタ及び湾曲流れ導管により生ずる問題を除く。現在の技術により工業的に利用できるコリオリ質量流量計の基本的作用について述べる。通常２本の処理流体充満流れ導管を平行経路又は直列経路の構成に使う。２本の流れ導管はつりあった共振系を形成し、これ等の導管は規定の曲げ振動モ−ドで振動させる。処理流体が流れていると、流体運動及び導管振動の組み合わせにより、導管振動の正常な（流れがない）径路から遠ざかる向きにたわませる、質量流量に比例的に関連するコリオリ力を生ずる。これ等のたわみ又はその影響は次いで質量流量の正確な指示として計測する。前記したようにこのようにして質量流量を計測するには１本の流れ導管だけしか必要がない。しかしつりあった共振系により与えられるすぐれた性能を得るには、強制振動からの反作用をつりあわせることが必要であり、すなわち第２の流れ導管が通常使われる。極めて小さい流量計構造では、取付条件の質量及びこわさの性質は強制振動からの反作用力を妨げるのに十分に大きくて１本だけの流れ導管を使用できる。従ってマイクロ・モ−ション・インコ−ポレイテッドでは現在、単一の湾曲流れ導管構造のうちでＤ６型（１／１６ｉｎ管路寸法）及びＤ１２型（１／８ｉｎ管路寸法）の２つの最も小形の流量計だけしか提供していない。単一の直線流れ導管は、流れスプリッタ及び湾曲導管により生ずる前記した問題を解決するが、従ってコリオリ質量流量計構造とくに大形流れ導管に対しては工業的に有効でない。この欠点は、振動の任意の固有曲げ振動モ−ドにおける単一直線流れ導管の本来の不つりあいに基づく。両端部を固定して取り付けた直線流れ導管は、この導管の中心線がこの導管の長手に沿う若干の半正弦波で停止位置から遠ざかる向きにたわみ又は回動する若干の固有の曲げ振動モ−ドを持つ。一層高い振動数の曲げモ−ドは、整数倍の増大する数のこれ等の半正弦波を含む。これ等の各曲げモ−ドは導管取付台に加わる反作用力を生じ、前記した単一の湾曲流れ導管モデルに類似のつりあい及び精度の問題を生ずる。この性質を持つ単一の直線管構造はダ−リン（Ｄａｈｌｉｎ）を発明者とする米国特許第４，８２３，６１４号明細書に記載してある。この明細書では、流れ管横断面がその図面の第２Ａ図ないし第２Ｄ図に示すように複数の場所で恒久的に変形しその曲りを第３Ｂ図のような「一層高いモ−ド」で増す。ダ−リンの特許明細書の第３Ａ図ないし第３Ｅ図に示したような一層高いモ−ドの振動はすべて各導管端部で直線から遠ざかる向きの流れ導管の曲りを示す。この曲りは取付台で反作用トルク及び反作用力を生ずる。これ等の反作用は、つりあわなくて前記したように反作用力を生ずる。ダ−リンは、この実施例が１／２ないし３／４ｉｎの内径として規定される「平均の」寸法の管に使えることを述べている。この寸法上の制限に対する理由は説明されてないが、その理由はおそらくはつりあい装置を備えないで曲げモ−ドの振動を使うことによる不つりあいの結果である。本発明の独特の利点は、当業界に現在使われているように曲げモ−ドの代わりに半径方向モ−ドの振動で単一の直線流れ導管の使用によって得られる。分かりやすいように「曲げモ−ド」という用語は、流れ導管の中心線又は軸線が振動状態で停止位置から遠ざかる向きに並進し及び／又は回動するが流れ導管の横断面形状が実質的に変わらないままになる振動モ−ドとして定義する。これに反して「半径方向モ−ド」という用語は、流れ導管の中心線又は軸線が流れ導管の壁の全部又は一部が振動状態でその停止位置から遠ざかる向きに並進し及び／又は回動する間に実質的に変わらないままである振動モ−ドとして定義する。半径方向モ−ドの振動の一般例はわん形グラス又はワイングラスの固有振動である。これ等の２例では基本半径方向振動モ−ドにより、わん形グラス又はワイングラスの自由端部の通常丸い横断面形状を振動するだ円形状にたわませる。この半径方向モ−ドの中心線又は軸線は実質的に変化しないままになっているから、柄部分（ワイングラスの例において）は、振動に対し感知しない又は干渉しないままに保持され台に反作用力の存在しないことを例示することができる。この考え方をコリオリ質量流量計の流れ導管に適用すると、単一の直線の流れ導管を使い、両端部を固定して取付け半径方向振動モ−ドで振動させる。この場合流れ導管の壁は振動状態でその停止位置から遠ざかる向きに並進し及び／又は回動し、又この流れ導管の中心線は実質的に変化しないままになっている。流体運動及び半径方向振動モ−ドの組み合わせにより流れ導管の運動壁に沿い、この導管の横断面形状を質量流量に従って変えるコリオリ力分布を生ずる。この変えられた形状又はその影響は、次いで質量流量の正確なし指示として計測する。この半径方向振動モ−ドは導管を取り付けた場合に実質的に正味の反作用力を生じないから、平衡共振系質量流量計はこのようにして、流れスプリッタ、湾曲流れ導管又はつりあい装置なしで作られる。さらに、流れ導管内の流体の圧力及び密度を２つの振動モ−ドでこの流れ導管を同時に振動させることにより測定するのに独特の非侵入的方法を使う。これ等の２つの振動モ−ドの振動数の値は、流体密度と流れ導管の内外の間の圧力差との両方に機能的に関連する。本発明の独特の作用と、この作用により質量流量、流体密度、温度及び圧力を直接計測できることとによって、実際上任意の定められた静的又は動的の流体パラメ−タ、たとえば流体状態、粘度、品質、圧縮性、エネルギ−流量、正味流量等を計算することができる。前記したような流れ導管の壁全体を含めて半径方向振動モ−ドを使う代わりに、流れ導管周辺の一部をコリオリ力を生ずるのに比津量に応じて振動させることができる。この方法は、導管全体の振動が実際的でない極めて大きい寸法の非円形の形状の流れ導管に使うのに十分に適している。この方法は又、ばら材料に形成され全周辺の半径方向振動モ−ドが可能でない複数の剛性の側辺を持つ流れ導管、たとえばマイクロ流量計を形成するようにけい素又は石英エッチング処理した流れ導管に十分に適している。本発明は、流れスプリッタ、湾曲流れ導及び不つりあいにより生ずる前記した問題を解決し、衛生上の用途と、測候所、航空機低圧空気ダクトシステム用のガス流量計及び空気流量計と、マイクロ流量計と、住宅用、工業用、海洋学用及び船舶用の液体流量計と、その他多くの用途とのような分野にコリオリ質量流量計技術に使用することができる。本発明の好適とする実施例は、（１）（１ａ）流体内に挿入可能であり、この流体により包囲可能である細長い本体と、（１ｂ）この本体内に配置され、前記流体内でコリオリの力を発生する前記本体の表面を半径方向モ−ドの振動で振動させる振動手段と、（１ｃ）前記表面に結合され、前記流体内に発生するコリオリ力の関数である前記表面の運動を計測する計測手段と、（１ｄ）この計測手段に結合され前記流体の特質を前記表面の前記運動の関数として測定する測定手段とを備え、流れ導管内の流体内の特質を計測する計測装置と、（２）この計測装置を包囲する導管と、前記計測装置と前記導管との間に配置できる流体と、前記導管に結合し計測手段と、（３）前記導管を振動させることによって前記処理システムにより、（３ａ）質量流量（３ｂ）圧力（３ｃ）密度及び（３ｄ）粘度から成る群から選定した前記特質を計測できる振動手段とを包含する、流体を処理する処理システムである。以下に述べる本発明の詳細な説明が分かりやすくなるように本発明の特徴及び技術的利点を概略的に述べた。本発明の主題となる付加的な特長及び利点を以下に述べる。当事者には明らかなように前記した概念及び特定の実施例は、本発明の同じ目的を実現する他の構造を構成する基本として容易に利用できる。なお本発明はその精神を逸脱しないで種種の変化変型を行うことができる。図面の簡単な説明以下本発明を添付図面について詳細に説明する。第１図は本発明の好適な実施例をその外部ケ−スの一部を切欠いて示す斜視図である。第２図は上下方向でピ−クたわみに達した流れ導管の半径方向モ−ド振動形状を示す第１図の実施例の縦断面図である。第３図はたわみを生じてない中央位置における流れ導管の半径方向モ−ド振動形状を示し又流れ導管静止位置を示す第１図の実施例の縦断面図である。第４図は水平方向でピ−クたわみに達した流れ導管の半径方向モ−ド振動形状を示す第１図の実施例の縦断面図である。第５図は上下方向のピ−クたわみ状態の流れ導管のだ円形横断面形状を示す、第２図のＡ−Ａ線に沿う断面図である。第６図はたわみを生じてない中央位置における流れ導管の円形横断面形状を示す、第３図のＡ−Ａ線に沿う断面図である。第７図は水平方向におけるピ−クたわみ状態の流れ導管のだ円形横断面形状を示す、第４図のＡ−Ａ線に沿う断面図である。第８図は、流れ導管が第３図の場合のようなたわみを生じてない中央位置を通過する際に質量流量から流れ導管の上面及び下面に沿って生成するコリオリの力の分布線図である。第９図は第８図に示したコリオリ力分布から得られる流れ導管のたわみを拡大して示す第３図と同様な縦断面図である。第９Ａ図は、流れ導管がその中央の（通常たわみなしの）位置を通過する際にコリオリ力による流れ導管の横面形状の変形（誇張してある）を示す、第９図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。第９Ｂ図は、流れ導管がその中央位置を通過する際にコリオリ力により流れ導管の横断面形状に実質的に変形のないことを示す横断面図である。第９Ｃ図は、流れ導管がその中央の（通常変形してない）位置を通過する際にコリオリ力による流れ導管の横断面形状の変形（誇張してある）を示す、第９図のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。第１０図は、相互に重ねた３つの逐次のたわんだ形状（上下方向ピ−ク、たわみなし、水平方向ピ−ク）で示した第１図の実施例の流れ導管の２ロ−ブ半径方向モ−ド振動を示す横断面図である。第１１図は、相互に重ねた３つの逐次のたわみ形状を持ち第１０図に示したのとは別の半径方向モ−ド振動を示す横断面図である。第１２図は、相互に重ねた２つの逐次のたわみ形状を持ち第１０図に示したのとは別の半径方向モ−ド振動を示す横断面図である。第１３図は、相互に重ねた２つの逐次のたわみ形状を持ち第１０図に示したのとは別の半径方向モ−ド振動を示す横断面図である。第１４図は、流れ導管を経て流れる流体がない場合に第１図の運動検出器からの信号の時間関係を示す線図である。第１５図は、流れ導管を経て流体が流れる場合に第１図の運動検出器からの信号の時間関係を示す線図である。第１６図は本発明により質量流量を計測するのに使う回路部品の１例のブロック図である。第１７図は、導管内の質量流量を計測するのに長方形の流れ導管周辺の一部として振動するたわみ性表面を使う第１図とは別の実施例の斜視図である。第１８図は、流体流れのない場合に振動するたわみ性表面の３つの逐次のたわみ形状を示す、第１７図の構造の縦断面図である。第１９図は、流れ導管を経て流体が流れる場合にコリオリの力による振動するたわみ性表面のたわみ形状を示す第１７図の構造の縦断面図である。第２０図は式１の絶対値をおらわす振動数応答曲線の線図である。第２１図は、第９図に示したのと同様なモ−ド形状で流れ導管を駆動することによって生ずる、流れ導管の上下面に沿うコリオリ力分布の線図である。第２２図は、複数の剛性の側部と上下方向のたわみ性表面とを持ち、流れ導管を使う本発明の他の実施例の斜視図である。第２３Ａ図は、流れ導管を通る流れのない状態で第１図の運動検出器からの信号とこれ等の信号及び反転信号の１つの和とを示す線図である。第２３Ｂ図は、流れが流れ導管を通る場合に第１図の運動検出器からの信号とこれ等の信号及び反転信号の１つの和とを示す線図である。第２４図は流れ導管から軸線方向王力をなくすのに使う応力減結合継手の１例の縦断面図である。第２５図は、複数の運動検出器、振動絶縁手段及び軸線方向応力減少手段を使う本発明の別の実施例の縦断面図である。第２６図は本発明により流体の質量流量及びその他のパラメ−タを計測するのに使う回路部品の構成例のブロック図である。第２７図は第２６図の回路内の種種の点で得られる種種の波形の線図である。第２８図は第２５図の実施例の運動駆動装置の横断面図である。第２９図は、２個の代りに３個の運動駆動装を使う第２８図の運動駆動装置の変型の横断面図である。第３０図は、２個の代りに４個の運動駆動装置を使う第２８図の運動駆動装置の変型の横断面図である。第３１図は、流れ導管を上下方向にだ円形に細長くした時に或る点で題２５図の実施例の運動駆動装置により誘起する第１判警報口振動運動を示す横断面図である。第３２図は、流れ導管を水平方向にだ円形に細長くしたときに或る点で第２５図の実施例の運動駆動装置により誘起する第１半径方向振動運動を示す横断面図である。第３３図は、流れ導管がその中央位置の上方に上下方向にたわんだときに或る点で第２５図の実施例の運動駆動装置により誘起する第２曲げ振動運を示す横断面図である。第３４図は、運動駆動装置がそれぞれ最大半径方向移動を行ったときに或る点で第２９図の３個の運動駆動装置により誘起する第１半径方向振動運動を示す横断面図である。第３５図は、運動駆動装置がそれぞれ最小半径方向移動を行ったときに或る点で第２９図の３個の運動駆動装置により誘起する第１半径方向振動運動を示す横断面図である。第３６図は、流れ導管をその中央位置の上方に上下方向にたわんだときに或る点で第２９図の３個の運動駆動装置により誘起する第２曲げ振動運動を示す横断面図である。第３７図は、運動駆動装置がそれぞれ最大半径方向移動を行ったときに或る点で第３０図の４個の運動駆動装置により誘起する第１半径方向振動運動を示す横断面図である。第３８図は、運動駆動装置がそれぞれ最小半径方向行程に達したときに或る点で第３０図の４個の運動駆動装置により誘起する第１半径方向振動運動を示す横断面図である。第３９図は、流れ導管がその中央位置の上方に上下方向にたわんだときに或る点で第３０図の４個の運動駆動装置により誘起する第２曲げ振動運動を示す横断面図である。第４０図は、たわみ継手の代りにすべり継手及び密封構造を使う第２５図とは別の実施例の縦断面図である。第４１図は、第２曲げモ−ド振動でたわんだ流れ導管を示す第２５図の別の実施例をコイルを除きたわみを誇張した縦断面図である。第４２図は平行径路コリオリ質流量計管配置のＸ−Ｙ平面で見た平面図である。第４３図は第４２図に示した平行径路コリオリ質量流量計管配置のＺ−Ｙ面で見た断面図である。第４４図は、各管本体を上下方向にだ円形に延ばしたときに或る点で取った、両方の管に加えた半径方向振動運動を示す、第４３図の運動駆動装置の拡大断面図である。第４５図は、各管本体を水平方向にだ円形に延ばしたときに或る点で取った両方の管に加えた半径方向振動運動を示す、第４３図の運動駆動装置の拡大断面図である。第４６図は、Ｙ方向にだ円形に延ばした後に流れ導管の半径方向運動がその通常円形の中央位置を通過するときに或る点で取った第２５図の実施例のＸ−Ｙ面に展開できるコリオリ力分布の１例を示す側面図である。第４７図は、Ｙ方向にだ円形に延ばした後に流れ導管の半径方向運動がその通常円形の中央位置を通過する時に或る点で取った第２５図の実施例のＸ−Ｚ面に展開できるコリオリ力分布の１例を示す側面図である。第４８図は、たわみの大きさを誇張して示し第４６図のコリオリ力分布による、Ｘ−Ｙ平面における流れ導管たわみの形状を示す側面図である。第４９図は、たわみの大きさを誇張して示し第４７図のコリオリ力分布によるＸ−Ｚ平面における流れ導管たわみの形状を示す側面図である。第５０図は、第２５図の実施例の第１及び第２の振動動モ−ドに対し流れ導管振動数及び処理流体圧力の間の関数関係の１例を示す線図である。第５１図は、第２５図の実施例の第１及び第２の振動モ−ドに対し流れ導管振動数及び処理流体密度の間の関数関係の１例を示す線図である。第５２図は、第２５図の実施例の第１及び第２の振動モ−ドに対し流れ導管振動数及び処理流体温度の間の関数関係の１例の線図である。第５３図は、ダクトまたは流れ導管に又は自由流れに使うように挿入形流量計として使うことのできる本発明の１実施例の横断面図である。第５４図は協働するたわみ性表面の振動形状を示す第５３図の実施例の横断面図である。第５５図は、コリオリ力により協働するたわみ表面のたわみ形状を示す第５３図の実施例の横断面図である。第５６図は好適な実施例の１変型の縦断面図である。第５７図は、流れ管本体をＹ方向のピ−クたわみ状態で示す実施例６３の流れ管の横断面図である。第５８図は、通常たわんでいない位置を通過する状態で示す実施例６３の流水管の横断面図である。第５９図は、Ｘ方向でピ−クたわみ状態にある実施例６３の流れ管の横断面図である。第６０図は流れ管外側のきわりのコリオリ力分布を示す実施例６３の流れ管の横断面図である。第６１図は、第６０図に示したコリオリ力の分布から生ずるたわみを示す実施例６３の流れ管の横断面図である。第６２図は、第６０図に示したコリオリ力の分布から生ずるたわみを示す実施例６３の流れ管の横断面図である。第６３図は本装置の他の実施例の縦断面図である。第６４図は第６３図の実施例の端面図である。第６５図は第６３図の実施例の横断面図である。第６６図は曲げモ−ドの振動で作動する流れ管の速度輪郭及び回転速度分布の線図である。第６７図は半径方向モ−ドの振動で作動する流れ管の速度輪郭及び回転速度分布の線図である。第６８図は管内を流れる流体の２つの速度輪郭の線図である。第６９図は、互いに異なる２つの半径方向モ−ドの振動により生ずる、管内を流れる流体の２つの角回転分布の線図である。第７０図は、第６８図及び第６９図に示した速度輪郭及び角回転の組み合わせから生ずる４つの互いに異なるコリオリ力分布の線図である。第７１図は管内に取り付けた第５８図の実施例の縦断面図である。第７２図は固定の流れ調整器を設けた第１図の実施例の縦断面図である。第７３図は動的流れ調整器を設けた第１図の実施例の縦断面図である。第７４図は圧力密のケ−ス及び作動外部管を設けた第７１図の実施例の縦断面図である。第７５図は第７４図の実施例の端面図である。実施例第１図は、米国特許願０７／６５１，３０１号明細書に記載してあるような本発明の好適な１実施例の傾視図を示す。この実施例は、チタンのような強いたわみ性の非腐食性材料から作るのを好適とする単一の直線流れ導管１を備えている。たわみ性、耐食性、疲れ強さ、一定弾性係数、低膨脹率その他のような性能特性を高める性質を持つ別の材料を使ってもよい。これ等の別の材料は、３００シリ−ズステンレス鋼と、インタナショナル・ニッケル・カムパニ（ＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌＮｉｃｋｅｌＣｏｍｐａｎｙ）製のインコネル^TM(Ｉｎｃｏｎｅｌ^TM)、ニスパン−Ｃ^TM(Ｎｉｓｐａｎ−ｃ^TM)及びモネル^TM(Ｍｏｎｅｌ^TM )と、キャボット・コ−ポレイション（ＣａｂｏｔＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）製のハステロイ^TM(Ｈａｓｔｅｌｏｙ^TM)の合金と、アルミニウムと、ベリリウム−銅と、ラテックスゴムと、ガラス繊維と、アクリルと、石英と、その他とを含む。されに流れ導管１の内面は引続いて、ニッケル、金、ジルコニウム、デュポン（Ｄｕｐｏｎｔ）製のテフロン^TMのようなフルオロポリマ−及びその他のような非腐食性材料を内張りし又はめっきすることができる。流れ導管１は、その両端部をなるべくは溶接法又はろう付け法によりマニホルド２、３に固定して取り付ける。マニホルド２、３が標準管フランジ、ねじ込み管継手、衛生継手、急速連結継手、拡張管、流体動力学的又は空気動力学的形状の穴及びその他のような種種の構成に作ることができるのは明らかである。さらにこれ等のマニホルドが通常は装置又はその部品の取り付けの便宜上使われるが、しかし各マニホルドがこの装置の作動に必要がないのは明らかである。従って既存の配管の一部を使用して半径方向モ−ド振動で振動させマニホルドによらないで所要のコリオリ力を生ずることができるが、しかし既存の配管はこの使用に対し不適当な幾何学的形状及び材料の性質を持つからこれは好適な方法ではない。流れ導管１に協働して温度センサ２９を取り付けてある。温度センサ２９は、白金抵抗温度装置（ＲＴＤ）が好適であるが、熱電対、半導体センサ、光学式等のようなその他多くの形式の温度センサを使うことができる。温度に従って変化する弾性係数を持つ流れ導管材料を使うと、質量流量に対するこの装置の感度も又温度に関連して変化することができる。この影響は、流れ導管１の温度に関数的に関連する最終流量出力信号（第１６図の信号１９）を補償することにより打ち消すことができる。流れ導管１のまわりには、なるべくは３００シリ−ズステンレス鋼管のような強い低腐食性材料で作るのを好適とするケ−ス４を同心に配置してある。ケ−ス４の若干の可能な設計上の考慮では、導管及びその部品を周囲条件から保護し、漏れの場合に処理流体を入れ、取り付け条件により生ずる導管１の応力の影響を最小にし、圧力範囲を延長し又は質量流量に対す流れ導管１の感度を変えるように規定量の圧力を含み、部品内部にパ−ジガスを送入し、運動駆動装置及びセンサを取り付けるように流れ導管１のまわりに直空を設ける等を行う。広範囲の種類の可能なケ−スの材料及び構造はこのようにして、所望の性能特性によるのは明らかである。ケ−ス４に対する若干の別の材料は、合金、又は炭素鋼、アルミニウム、黄銅、石英、カラス、プラスチック材及びその他を含む。ケ−ス４はその各端部をなるべくは溶接法又はろう付け法によりマニホルド２、３に固定して取り付けて、流れ導管を囲む単一の保護容器を形成する。ケ−ス４が通常使われるのは明らかであるが、本装置の作動には必要がない。流れ導管１及びケ−ス４の間の温度差により、導管１に軸線方向応力を生成できる、熱により誘起される膨脹差を生ずることができる。この軸線方向応力は質量流量に対する流れ導管１の感度を変えることができる。この影響と共に取り付けにより誘起する軸線方向応力の影響は、流れ導管１の少なくとも一端部を第２４図に示すような軸線方向応力に耐えることのできないすべり継手又はたわみ継手に流れ導管１の少なくとも一端部を取り付けることにより無効にすることができる。第２４図では流れ導管１はマニホルド２内の０リングシ−ル２６を貫いて滑動し、従って配管応力はマニホルド２及びケ− ス４を経て流れ導管１のまわりに伝わる。この構造では補強材２７は流れ導管１の半径方向振動を導管１の選定した部分に沿いすべり継手区域から遠ざかる向きに隔離するのに使うのがよい。補強材２７は又、すべり継手又はたわみ継手に協働しないでこの振動隔離用に使われ半径方向振動を流れ導管の選定した部分に沿い有効に隔離する。第２５図は、軸線方向応力の影響を減らすたわみ継手１０５、１０６と所望の半径方向振動を流れ導管１０１の選定した部分に隔離する補強環１０７、１０８とを使う本発明の他の実施例を示す。第４０図は、流れ導管１０１がシ−ル１６２、１６３を貫通し軸線方向応力を除くすべり継手構造を使う本発明の他の実施例を示す。熱により誘起するこの軸線方向応力の影響は又、ケ−ス４及び流れ導管１の両方に石英又はカ−ペンタ−・テクノロジ−・コ−ポレイション（ＣａｒｐｅｎｔｅｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）製のアンバ−（Ｉｎｖａｒ）３２−５^TMのように低い熱膨脹係数を持つ材料を使うことにより最小にすることができる。ケ−ス４及び流れ導管１の両方に低膨脹の材料を使うことは必ずしも実際的でないから、第１図の好適な実施例に使う方法はケ−ス４及び流れ導管１の間の温度差を測定し、次いでこの温度差に関数的に関連する第１６図の最終出力信号１９を補償する。従ってケ−ス４に協働して、なるべくは白金抵抗温度計装置（ＲＴＤ）である温度センサ４１を取り付けてある。しかし他の多くの形式の温度センサを使ってもよい。温度センサ４１は、ケ−ス４及び導管１の間の温度差を測定するのに温度センサ２９と協働して使う。流れ導管１の内側及び外側の間の圧力差によりこわさ従って質量流量に対する流れ導管の感度を変える応力を生ずる。低圧の用途に対してはこの影響は通常無効にできる。比較的高い圧力の用途に対してはこの影響は、アルゴン、窒素、空気、ヘリウム又は処理流体自体のような流体を使いケ−ス４及び流れ導管１の間の区域に規定の圧力を加えて導管１に規定量の応力をなくし又は保持することによって無効にすることができる。第１図の好適な実施例では、流れ導管１の振動を使ってこの圧力の影響を非侵入的に計測し補償するのにこの独特の方法を使う。流れ導管１の内側及び外側の間の圧力差を増すことによる認められる影響の１例は、固有モ−ドの振動の大部分のものの振動数を増すことである。振動数の増加量は、各モ−ドの振動に対し変り、一般に高い方の振動数モ−ドに対し少なくなる。流体密度の増加は振動構造に質量を加え振動の固有振動数を減らすようになる。圧縮性流体は流体密度の増加に伴って圧力の増くを示すから、正味の結果として振動の増加又は減少を招くことになる。圧力及び密度の変化による振動数の変化によって、通常振動の互いに異なるモ −ドに対し変る。従って２つの規定モ−ドの振動の値を見つけることにより密度及び圧力の差をこのようにして定めることができる。従って流れ導管１は２つの半径方向モ−ドの振動で振動させなお後述するように質量流量を計測し圧力差及び密度を定める。マニホルド２、３の間のほぼなかばの位置に、直径に沿い互いに対向して配置した駆動磁石５、６を位置させ流れ導管１に固定して取り付けてある。磁石５、６は、サマリウム−コバルトの合金又はアルニコから作るのがよく留め金と共に又は留め金なしに使うことができる。磁石５、６にはそれぞれ駆動コイル７、８を協働させてある。各コイル７、８は、ケ−ス４に固定して取り付けられ磁石５、６と協働して使い流れ導管１を２つの規定の半径方向モ−ドの振動に駆動する。これ等のモ−ドの一方は質量流量を計測する半径方向モ−ドであり、第２は密度及び圧力を測定する基準モ−ドである。この第２の基準モ−ドは半径方向モ−ドである必要はない。しかしこの基準モ−ドは第１の半径方向モ −ドとは異なる割合で圧力又は密度の変化により振動数を変えなければならない。振動数対圧力及び密度の変化のこの要求に適合する図式表示は第５０図及び第５１図示してある。磁石コイル駆動源は１個を必要とするだけであるが、このようにして２つの磁石コイル対を使うと対称性及びつりあいを向上する。所要の半径方向モ−ド振動を生じさせるのに、ケ−ス４の内面の同様な電極、又は圧電曲げ部材、機械的アクチュエ−タ及びその他のような他の駆動手段を使ってもよい。さらに流れ導管１に強磁性材料を使うと、所要の振動を生じさせるのに流れ導管に固定の装置を加えないで電磁駆動装置を使えばよい。駆動装置磁石５及び各マニホルド２、３の間の中間にそれぞれピックオフ磁石９、１０を位置させてある。各ピックオフ磁石９、１０は、サマリウム−コバルトの合金又はアルニコから作るのがよく流れ導管１に固定して取り付けてある。ピックオフ磁石９、１０に協働して、ケース４に固定して取り付けたピックオフコイル１１、１２をそれぞれ配置してある。磁石９及びピックオフコイル１１は、流れ導管１の運動をその場所で検知する運動検出器１４を集合的に形成する。好適な実施例では運動検出器として磁石及びコイルを使うが、しかしひずみ計、加速時計、光学変換器、容量性変換器、圧電センサ、誘導センサ等のようなその他多くの形式の運動検出器が有効に試験され又は予見される。運動検出器用のその他の場所も又、２つの運動検出器を使う場合にこれ等の検出器を導管１の長手に沿い若干の距離だけ相互に隔離する要求により有効に利用できる。或いは対称の対のピックオフ磁石を使い駆動磁石５、６いついて前記したように対称及びつりあいを改良することができる。対称の対のピックオフ磁石を使う別の実施例は第２５図及び第４０図に示してある。次ぎに好適な実施例の作用を述べる。駆動装置コイル７、８は電気的に励起し２つの同時の半径方向モ−ド振動を生ずる。第１のモ−ドは第２図ないし第７図と第１０図とに示すような２ロ−ブモ−ドである。これ等の図は、上下方向にだ円形に細長い形状（第２図及び第５図）から丸いたわんでいない形状（第３図及び第６図）を経て水平方向にだ円形に細長くした形状（第４図及び第７図）になる１連の導管運動を示す。第１０図は相互に重ねた流れ導管１の同じ順序の３つの横断面形状を示す。だ円形変形の振幅は流れ導管１の固定端部の零変形から駆動磁石５、６の中央の付近の最大変形まで進む。流れ導管１の長手に沿う半径方向振動の振幅のこの変化は、質量流量計測用に所要のコリオリカを生ずるのに必要である。第２振動モ−ドは第１３図に示すような４ロ−ブモ−ドが好適である。しかし他の半径方向モ−ド及び曲げモ−ドは有効に試験され又は予見される。第１モ−ドは所要のコリオリ力を生ずるのに使われ、このモ−ド自体は材料、疲れ及び応力の要因により限定される十分に高い振幅に保持される。第２のモ−ドは、密度の流れ導管１の壁の前後の圧力差とを定める基準振動数として使われ、従って運動検出器信号１５、１６に干渉しないように又はこれ等の信号１５、１６にあまり影響しないように検出可能な最低レベルに保持される。これ等の振動は、フィ−ドバックル−プ内の運動検出器１４から第１６図に示すような回路部品１７への信号１６を使うことによって保持される。回路部品１７は、適当な振動数及び位相のエネルギ−で駆動コイル７、８に基準信号を加え規定の振動を保持する。第２の振動モ−ドを圧力差測定のために連続的に保持する変型として、この変型は試料採取法の必要に応じ付勢し又消勢することができる。所望の運動を生ずると、運動検出器１３、１４は第１４図に示すように流れ導管１内に流体が流れていないときに第１振動の振動数で位相が実質的に等しい実質的に正弦波の信号１５、１６を生ずる。処理流体が流れ導管１を経て流れるときはその半径方向モ−ドの振動中に流体速度の方向が変り、流れ導管の形状を追跡する。第２図に示すように左側から入る流体２８の方向は、この流体がマニホルド２を通過する際に流れ導管１の軸線に実質的に平行である。マニホルド２及び磁石５の間で流体２８（流れ導管１の上面及び下面に沿う）は導管中心線から離れる向きに広がり、流れ導管１の形状を追跡する。流体２８が駆動磁石５の下側を通る際に、その方向は流れ導管１の軸線にふたたび平行になる。駆動磁石５及びマニホルド３の間では、流体２８は導管中心線に向かい集中する。マニホルド３に達すると、流体２８は流れ導管１の軸線にふたたび平行に移動する。流れ導管１のだ円形の変形が第３図の場合のように円形の（たわんでいない）形状を通過する際に流体２８はすべて流れ導管１の中心線に平行になる。第４図は流れ導管１をその水平方向におけるピ−クたわみの状態で示す。第４図では左方から入り上面及び下面に沿う流体２８は先ず流れ導管１の中心線に向かい集中し、次いで駆動磁石５の下側を通る際に流れ導管１の軸線に平行になり、次いで流れ導管１の右側に向かい中心線から離れる向きに開き、最後に平行な方向に出る。第２図及び第４図は流れ導管１の上面及び下面に沿う流体２８の方向の変化を明示する。しかしこれ等の図は導管のピ−クのたわみを示すから、導管の運動はこれ等の位置で実質的に止まりコリオリの力を生じない。流れ導管１の形状が最も早く変化して最高のコリオリ力を生ずることができるのは、流れ導管１がその第３図の中央位置を通過するときである。すなわちコリオリ力は、移動流体の質量、その速度及びその方向の変化割合に比例的に関連して生ずる。流れ導管１の上面に沿う流体方向の変化割合は下面に沿う変化割合に対向するから、導管１の上面及び下面に沿うコリオリ力分布はこのようにして第８図に示したのと同様に生ずる前記した流体運動及びコリオリ力分布は導管１の上面及び下面に関連した。しかし強制の半径方向の振動中に流れ導管１の各側部は上面及び下面に対し互いに反対の向きに移動する。従って流れ導管１の各側部（上面及び下面から９０）に沿い互いに力の方向（図示してない）で又別の同様なコリオリ力分布が生ずる。これ等のコリオリ力分布はすべて最高値に達して流れ導管１の形状をこの形状がその通常の円形の位置（第３図）を通過する際に著しく変える。これ等の力の或る程度の影響として、流れ導管１を第９図ないし第９Ｃ図に示したのと同様な形状に変形させる。これ等の図では図示の変形量は分かりやすいように著しく誇張して示してある。この変形はこのようにして、この場合種種の方式で質量流量の正確な指示値として信号１５、１６の間に計測できる差を生ずる。この変形の測定できる影響は、導管１の流体入口端付近で半径方向モ−ド振動の位相又は時間の関係を遅らせ又導管１の流体出口端の付近で半径方向モ−ド振動の位相又は時間の関係を進めることである。好適な実施例では従って、この位相又は時間の関係は質量流量を計測するのに使う。この影響により、第１５図に示すように質量流量の関数である量だけ信号１６を信号１５に時間的に先行させる。次いで信号１５、１６は、信号１５、１６間の位相又は時間の差を比較し規定の関数に従って質量流量に比例する出力信号１９を生成する。運動検出器信号１５、１６を利用して質量流量を計測する他の方式では、第２３Ａ図に示すように信号の一方を反転させ（１８０移相）次いでこれ等を互いに加え合わせることである。流れ導管１を通る流体の流れがなく信号１５、１６の振幅が互いに同じである場合に得られる和３１は零又はＤＣ値である。流れ導管１内に流体の流れがあると、信号１５、１６間の位相関係は第２３Ｂ図に示すように変り和３１が合成の正弦波になるようにする。この正弦波の振幅は質量流量に関連し、その位相は導管１を通る流体流れ方向に関連する。質量流量を測定する他の方法では、ドリブン振幅（ｄｒｉｖｅｎａｍｐｌｉｔｕｄｅ）を一定の値に保ち、運動検出器の信号１５、又は信号１６の振幅を計測する。質量流量の関数として、導管１の流体入口端で検知した運動（信号１５）の振幅はわずかに減少するが、流れ導管１の流体出口端の振幅（信号・・１６）はわずかに一層大きい。この方法を使うと、操作には単一の運動検出器が必要なだけである。しかし両信号１５、１６を使うと、利用できる計測値が倍加しすなわちこのようにするのがよい。質量流量を測定するのに運動検出器信号の一方又は両方の変化を利用する多くの他の方法は、有効に試験し予見された。第１６図の回路部品３０は、運動検出器信号１６から入力を受け、流れ導管１の第１振動数の第２振動数に対する比率を定める。このことは、個別の振動数を隔離するフィルタ回路を使い、次いで周期を測定するタイミング回路、高速フ− リエ変換（ＦＦＴ）を含むディジタル法、個別の振動を隔離する特定構造のピックオフ及びその他を使って行うことができる。部品３０は次いで、この振動数比に比例する信号を回路部品１８に送る。部品１８は又、温度センサ２９、４１から入力を受け必要に応じ最終出力信号１９を補償し温度、熱誘起軸線方向応力及び圧力差の影響を補正する。最終出力信号１９は次いで、流量を監視し、弁を制御し、比例混合を行い、回分操作する等のような目的に対し他の装置により質量流量の正確な指示値として使うことができる。第１４図の信号１５、１６の初期の非流れ位相関係（この例では零位相差）は、流れ導管１の周辺のまわりの運動検出器１３、１４の角度位置の結果である。たとえば運動検出器１４が、流れ導管１（図示してない）の周辺のまわりに９０だけ回動した場合に、信号１５、１６間の非流れ位相関係は相互に１８０（逆位相）になる。このことは信号１５、１６間に所望の初期位相関係を設定するのに使うことができる。第１図の好適な実施例では、固有モ−ドの振動を保持するのに必要な動力は固有モ−ドではない強制振動を保持するのに必要な動力より通常低いから、第１及び第２の両振動数に対し「固有の」半径方向モ−ド振動を選定した。しかし固有モ−ドの振動を必ずしも使うわけではなく、若干の場合には流れ導管に非固有振動数で所望の半径方向振動を強制的に生じさせるのが有利である。たとえば、強化ゴム又はネオプレンのような導管材料を使うと、このような材料の高い減衰係数により固有モ−ドの振動の保持がむずかしくなり、従ってこのような流れ導管は選定した振動数で半径方向に強制的に振動させればよい。第１又は第２のモ−ドに対し別のモ−ドの振動を使い種種の振動特性を高めることができる。これ等の別のモ−ドには、導管中心線のまわりにだ円形横断面形状にすりこぎ運動をさせ円形形状には戻らない第１１図の回転だ円形モ−ドを含む。さらに第１２図に示すような３ロ−ブ半径方向モ−ド又は第１３図に示すような４ロ−ブモ−ドも、又３ロ−ブ及び４ロ−ブのモ−ド等のすりこぎ運動の別形（図示してない）と共に使うことができる。前記したように流れ導管の周辺のまわりに増大する数のロ−ブを持つ半径方向モ−ドの振動のほかに、流れ導管の長手に沿う横断面形状の逐次の反転を含む半径方向モ−ドも又使うことができる。第９図ないし第９Ｃ図は、前記したように質量流量により流れ導管１の変形した形状を示す。この変形した形状（応答モ− ド）も又流れ導管１の別の固有モ−ドの振動を示す。この場合流体入口端における上下方向に細長いだ円形変形（第９Ａ図）が流体出口端における水平方向に細長いだ円形（第９Ｃ図）に反転する。この形状は固有モ−ドの振動を表すから、このことは、この構造の振動数応答を高め質量流量に対し一層高い感度を得るのに使うことができる。このようにして得られる感度利得の量は、次の式によりドリブン振動数（ｄｒｉｖｅｎｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）の応答モ−ド振動数の比率による。この式の絶対値を第２０図にプロットしてある。この式でＤ＝ドリブン振動数Ｒ＝応答モ−ド振動数式１によれば利得は、ドリブン振動数が応答モ−ド振動数に近づくに件い無限大に近づく。第２０図のピ−ク値のいずれの側の作用も許容できる。このピ−ク値の右側の作用は、ドリブン振動数が次ぎのようにして生ずる応答モ−ド振動数より大きいことを意味する。第１図の流れ導管を第１のドリブンモ−ドとして第９図に示した形状で強制的に振動させると、この流れ導管の上面及びした面に沿う誘起コリオリ力分布は導管の長手に沿いその方向を複数回逆転するが、この流れ導管の各端部が固定して取り付けられ、比較的たわみにくくなっているから、コリオリ力分布の中央部分は、導管１が質量流量に比例的に関連して第２図ないし第７図に示すような初めに述べた第１のドリブンモ−ドと同様な形状に変形する全影響を持つ極立った要因になる。好適な実施例では第９図に示したモ−ドの振動数（その長手に沿いたわみ方向に１回の反転を持つ）は第２図ないし第７図に示したモ−ド（反転を持たない）より高いから、被駆動数の応答振動数に対する比率は１より大きくて、第２０図のピ−クの右側の作用を構成する。第２０図のピ−クの右側の作動の他の結果として、信号１５、１６の移相が逆になり信号１５が質量流量（図示してない）に従って信号１６に先行するようになる。従って固有の又は強制の任意に半径方向モ−ドの振動が質量流量に比例的に関連して流れ導管１の形状を変形させコリオリ力を生成する第１駆動モ−ドとして使えることが予期される。同様に、第１のドリブン振動数とは異なる量だけ第２基準振動数が流体圧力及び密度に従って変えなければならないという要求によって、流れ導管の壁の前後の密度及び圧力の差を測定するのに任意のモ−ドの振動を第２の基準振動として使うことができる。第１図の好適な実施例の全形状及び作用の独特の結果として、マニホルド２、３は空気動力学的又は流体動力学的形状の継手として作られ、この装置を移動流体流れ内に、たとえば航空機の翼又は船舶の船こくに端部を用いて取付けることができる。この構造ではこの流量計を通る流体流れはまわりの流体に対しその速度に関連させることにより速度計を生成することができる。流れ導管の全周を含めて半径方向モードの振動の使用に対する変型として、若干の用途、とくに低圧で大きい薄肉の又は非円形流れ導管、又は半導体や石英のようなばら材料にエッチング処理し又は機会加工したマイクロ流量計は、流れ導管周辺の一部分だけを振動させることにより適応することができる。第１７図の長方形の流れ導管はダクト系内の空気流のような低圧用途に十分適している。しかしそれぞれ壁厚に比べて大きい流れ導管と偏平な側辺を持つ導管とは全周辺を含めて半径方向モ−ドで振動することが非実際的である。同様にけい素又は石英のようなばら材料に形成される流れ導管は、実質的に剛性で３従って全導管周辺を含めて半径方向モード振動で振動することができない流れ導管側辺を持つ。これ等の用途に対する本発明によるコリオリ質量流量計の構造は従って、流れ導管周辺の一部分だけを半径方向に振動させ流量を測定するのに必要な所要のコリオリ力分布を生成することにより適応することができる。第１７図の実施例では、流れ導管２０は、なるべくは炭素鉱薄板のような強いたわみ性材料から作るのを好適とするたわみ性表面２１を取付けた普通の薄板金製長方形空気ダクトの１例である。或は表面２１は、第２４図の補強材２７に関して類似の補強材（図示してない）により振動運動が隔離された流れ導管２０の一部出よい。表面２１はその流体入口端及び出口端を導管２０に柔軟に取付けられ、表面２１の側部をたわみ性部材８（図示してない）により漏れないように密封できることを除いてこれ等の側辺に沿い半径方向振動に実質的に自由に適応するようにしてある。或は表面２１の各側部は導管２０に柔軟に取付けるが、しかしこれ等の側部により柔軟性と従って質量流量に対する感度とを高める。表面２１は、第１７図に示すように取付棒２５に固定して取付けた電磁運動駆動装置２４により半径方向に振動させる表面２１の半径方向振動は、その振動の上部位置２１Ａ、中間位置２１Ｂ及び下部位置２１Ｃで第１８図に示してある。表面２１の半径方向振動を流体流れ２８との組合わせにより表面２１の内面に沿い、第８図に示した上面コリオリ力分布と同様なコリオリ力分布を生ずる。このようにして表面２１がその通常偏平な中央位置を下方に通過する際に表面２１を第１９図に示すように正弦波状の形状２１Ｄにわずかに変形させ、次いで表面２１がその通常偏平な中央位置を上向きに通過する際に第１９図に示すように逆の正弦波状形状２１Ｅに変形することにより、運動検出器２２、２３により生ずる各信号に差を生ずる。この変形の計測できる影響として、表面２１の運動が導管２０を通る質量流量に従って流れ導管２０の流体入口端で時間的に遅れ、流れ導管２０の流体出口端で時間的に進むようになる。各運動検出器２２、２３は、表面２１の長手に沿い若干の距離だけ相互に隔てた位置で取付棒２５に固定して取付けてある。各運動検出器２２、２３（図示してない）からの信号は従って、第１５図の信号１５、１６に類似し、流れ導管２０内の処理流体の質量流量に関連した量だけ相互に時間的にずれる。表面２１のたわみ性と従って質量流量に対する装置感度とは、たわみ性表面２１の適性な形状及び材料の選択により又はダイヤフラム、ベロー、ヒンジ、布等のようなたわみ性支持体に表面２１を取付けることにより高めることができる。表面２１に使うことのできる若干の可能な材料は、薄板金、繊維ガラス、プラスチック材、ゴム、ラテックス、ガラス及びその他である。流れ導管２０の周辺に沿い単一の振動面を使うことの変形として、多重表面を使い相互に協働して振動させ流れ導管の周辺を一層十分に含むようにすることができる。本発明の独特の結果は、本装置を一層大きいダクト内に又は自由の流れ内に挿入し任意の寸法の流体流れの流量を試料採取するのに使うことができる。この種の構造は、挿入形流量計を特長とし、本発明により得られるすぐれた性能によって任意の寸法の導管又は開放した流れに挿入装置として使うことができる。本発明を前記したように挿入装置として使うと、流れ導管を不必要にすることができる。従って第１７図の流れ導管２０の各側部及び底部を除き、残りの部分をダクト内に又は自由の流れに位置させたわみ表面２１を過ぎる流体を計測することができる。このようにしてダクト内に挿入形流量計として使うときは得られる送出し流れ信号は、ダクトにより搬送する全質量流量に比例するように校正することができる。このようにして、横断面積の限定されたダクト又は流れ導管でなくて開放流れ内に使うと、得られる出力流れ信号を流体速度に比例するように校正することができる。第５３図は、比較的大きいダクト又は流れ導管内、又は自由流れ内に挿入形流量計として使うことのできる発明の実施例を示す。第５３図の実施例の作用を以下に述べる。ケース１７３は、その内部空洞１８０内に運動検出器１７７、１７８を閉じ込める剛性のハウジングである。ケース１７３は、ステンレス鋼のような強い非腐食性材料から作り、流れ流体１７９に過度の抗力を生じないように又はこの流体１７９に干渉しないように空気力学的又は流体力学的に構成刷るのがよい。ケース１７３は、ダクト内又は自由流れ内にブラケット１７５を使い特定の場所に位置させることができる。ケース１７３と協働してたわみ性表面１７４を取付けてある。表面１７４は、ステンレス鋼、チタン、石英又は類似物のようなたわみ性の非腐食性材料から作るのがよい。たわみ性表面１７４は、ブラケット１７５を介し空洞１８０に搬出する脈動圧力１７６により振動させる。或はたわみ性表面１７４は、他の実施例に対し前記したように電磁駆動装置、電極化表面、アクチュエータス及び類似物を使い振動させることができる。すなわち脈動圧力１７６により第５４図に示したダイヤフラムと同様にたわみ性表面１７４をたわませる。第５４図ではたわみ性表面１７４の振動の横断面形状がその最高の外向きたわみ１８１からその最高の内向きたわみ１８２まで揺動する。たわみ性表面１７４に相互作用する流体流れ１７９は、この表面がその最高の外向きたわみ１８１からその通常たわんでいない中央位置を通過する際に、たわみ性表面１７４のたわみを第５５図に示したのと同様な形状１８３にするコリオリ力分布を生ずる。表面１７４がその最高の内向きたわみ１８２から通常たわんでいない中央位置をふたたび通過する際に、たわみ性表面１７４は第５５図に示したのと同様な形状１８４にたわむ。これ等のコリオリ誘起たわみは次いで、流量１７９の関数で運動検出器１７７、１７８から得られる信号に変化を生ずる。これ等の信号変化は、第１図及び第１７図の実施例について述べたのと同様であり従って同様にして処理することができる。前記した挿入形構造の１変形として、この実施例を他の構造に協働させることが考えられる。たとえばケース１７３は、航空機の翼、車の本体又は船こくでよく、この場合その表面の一部をしてたわみ性表面１７４を協働させて、周囲の流体に対して車両の速度を計測する計器を生成する。第２２図は米国特許願０７／８４３，５１９号明細書に記載してある本発明の他の実施例を示す。この実施例では、流れ導管３２は半導体材料３３にエッチング処理し又は機械加工してたわみ性表面３４で覆う。表面３４には、流れ管３２の上側に溶着電極３５、３６、３７を位置させる。各電極３８、３９、４０は、それぞれ各電極３５、３６、３７の上方の剛性面（図示してない）に位置させ各電極３５、３６、３７に対し相互作用するようにする。電極３６、３９の対を次いで電気的に励振させたわみ性表面３４を第１８図に示したのと同様に振動させる。次いで電極３５、３８及び電極３７、４０の各対を容量性運動検出器として使い表面３４の振動を感知する。この構造では表面３４の流体入口端で感知した運動は、表面３４の流体出口端で感知した運動に対し時間関係として、導管３２を通る質量流量に関数的に関連する量だけ遅れる。表面３４のたわみ性はこの表面に協働する一層薄い又は弱い区域をエッチング処理又は機械加工を行うことにより高めてたわみ運動が容易になるようにする。本発明についてここに述べる方法は、円形、卵形、だ円形、回旋状、不規則形、長方形、多角形その他を含む多くの横断面形状を持つ流れ導管に使うことができる。さらに流れ導管の横断面形状はその長手に沿い恒久的に変形させそのたわみ特性従ってその質量流量に対する感度を高めることができる。第２５図は、前記各実施例に対し運動センサの独特の構造及び信号処理法を使う実施例を示す。この変形の利点及び作用を次に述べる。第２５図の実施例は、ステンレス鋼のような強いたわみ性の非腐食性材料から作るのを好適とするがガラス、チタン又はその他の材料を使ってもよい流れ導管１０１から成っている。流れ導管１０１の各端部は、たわみ継手１０５、１０６に形成され軸線方向の影響を減らし又はなくすようにしてある。或はたわみ継手１０５、１０６は、その代りに工業的に利用できるベロー、多重フレア付き区間、変更直径、又は第２４図に示したのと同様なすべり継手のような１個又は複数の個別の継手を使い、又はこれ等の継手が本発明の作用を必要としないで或る程度の性能向上が得られるから第４０図に示すように単に省いてもよい。流れ導管１０１の直線の中央区分の端部の付近になるべくはろう付けにより流れ導管１０１に固定して取付けた補強環１０７、１０８を設けて、補強環１０７、１０８の間の流れ導管１０１の区域に対し規定の半径方向振動を隔離するようにしてある。補強環１０７、１０８は、ステンレス鋼又は炭素鋼のような金属材料から作るのがよい。一般に補強環１０７、１０８の目的は、流れ導管１０１のこわさにその長手に沿い特定の場所で変化を生ずることにより第１の半径方向振動を隔離することである。従って補強環１０７、１０８の代りに、流れ導管１０１に特定の場所で、流れ導管１０１の直径又は厚さの変化、流れ導管１０１の材料の変化、形成したすえ込み、その他のようなこわさ変化を生ずる任意の手段を使うことができる。従ってたわみ継手１０５、１０６は、流れ導管１０１の長手に沿い特定の場所でこわさ変化を生ずることにより、補強環１０７、１０８を必要としないで振動隔離手段をして作用する。しかし補強環１０７、１０８は、或る程度の性能増加ができ従ってこの実施例に含まれる。流れ導管１０１に協働して、白金抵抗温度装置（ＲＴＤ）を好適をする温度センサ１０９を取付ける。温度センサ１０９は、規定モードの振動に干渉しないで流れ導管１０１の温度を正確に計測するようにする。従って温度センサ１０９は、流れ導管１０１に補強環１０７により半径方向振動から隔離されたたわみ継手１０５の区域に取付ける。第２６図の回路部品１４６はセンサ１０９からの信号を使い、流れ導管１０１の温度を表わしさらに処理するために回路部品１４０に搬送する信号１６５を生ずる。流れ導管１０１の各端部は、気密剛性の連結部を形成するように溶接又はろう付けの処理によりマニホルド１０２、１０３に固定して取付けてある。第２５図に示した剛性の連結部の変形として、第４０図は、シール１６２、１６３を使い気密の密封状態を保持するすべり継手構造を流れ導管１０１に形成する方法を示す。この構造は、流れ導管１０１から軸線方向応力の影響を消滅させることによりたわみ継手１０５、１０６の必要をなくす。流れ導管１０１に補強環１０７、１０８の間のほぼ中間位置に駆動磁石１１７、１２０を固定して取付けてある。第２８図は駆動磁石１１７、１２０を通る横断面図を示す。この横断面図には、なるべくはろう付けにより流れ導管１０１に固定した下部極片１４７と下部極片１４７に固定した永久磁石１４８と、永久磁石１４８に固定した上部極片１４９とから構成するようにした磁石１１７を示す。極片１４７、１４９は鉄、ハイ・パーミアビリティ（ＨｉｇｈＰｅｒｍｅａｂｉｌｉｔｙ）“４９”又はカーペンター・テクノロジィ・コーポレイション（ＣａｒｐｅｎｔｅｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）製のＨｙＭｕ^TM“８０”のような透磁性材料から作るのがよい。永久磁石１４８はサマリウム−コバルト又はアルニコ磁性合金から作るのがよい。永久磁石１４８用及び各極片１４７，１４９用の別の材料は有効に試験され又は考えられる。磁石１１７，１２０は或いは、極片なしの単一の永久磁石、電磁石又は類似物でよい。第２８図は又、各極片の組合わせと駆動磁石１１７に同様な永久磁石とから成る駆動磁石１２０を示す。従って運動駆動又は運動検知を行う磁気構造は永久磁石材料及び透磁性材料の組合わせから構成することができる。駆動磁石１１７，１２０は２つの規定モード振動の駆動を容易にするように直径に沿い互いに対向して位置させてある。これ等の振動モードのうちで第１のモードは流れ導管１０１の長手に沿い横断面形状の配向の反転部を持たない２ローブ付きのだ円形半径方向振動モードである。第２の規定モードはさらに後述するように簡単な曲げモードである。振動の別の規定モードでは、１個又は複数個の駆動磁石を流れ導管の長手に沿い又はその周辺のまわりに複数の場所に位置させることができる。たとえば第２９図は、流れ導管１５３の周辺のまわりに互いに間隔を隔てて取付けた３個の運動駆動装置１５０，１５１，１５２の配置を示す。この配置は、第１２図に示したような３ローブ半径方向振動と共に第２の半径方向の又は曲げの振動モードで流れ導管１５３の駆動を容易にする。或いは第３０図は流れ導管１５８の周辺のまわりに互いに間隔を置いて取付けた４個の運動駆動装置１５４，１５５，１５６，１５７を示す。この装置により第１０図、第１１図又は第１３図に示すような２ローブ又は４ローブの半径方向振動パターンと共に第２の半径方向モード又は曲げモードの振動にも流れ導管１５８の駆動を容易にする。各駆動磁石１１７，１２０と補強環１０７との間にはピックオフ磁石１１１，１１４を位置させてある。各ピックオフ磁石１１１，１１４は、流れ導管１０１に固定して取付けられ第２８図に示した駆動磁石構造と同様に直径に沿い互いに対向するパターンに配置してある。各駆動磁石１１７，１２０と補強環１０８との間にはピックオフ磁石１２３，１２６を位置させてある。各ピックオフ磁石１２３，１２６は、流れ導管１０１に固定して取付けられ、第２８図に示した駆動磁石配置と同様に直径に沿い互いに対向するパターンに配置してある。前記したようなピックオフ磁石の直径に沿い互いに対向する配置の変型として、１個又は複数個のピックオフ磁石を、第２９図及び第３０図の駆動磁石に対して示したパターン及びその他のように流れ導管１０１の長手に沿い又その周辺のまわりに互いに異なる間隔で配置することができる。流れ導管１０１と協働して、なるべくはステンレス鋼のような非磁性材料から作った支持ブラケット１１０を配置してある。支持ブラケット１１０は本発明の作用を必要としてないが、設計及び製造を容易にし従って実際的理由で設けてある。支持ブラケット１１０には駆動コイル１１８、１２１を固定して取付けてある。各駆動コイル１１８、１２１はそれぞれ駆動磁石１１７、１２０に協働して配置されそれぞれ集合的に運動検出器１１９、１２２を形成する。支持ブラケット１１０にそれぞれピックオフコイル１１２、１１５を固定して取付けピックオフ磁石１１１、１１４に協働して配置しそれぞれ集合的に運動検出器１１３、１１６を形成する。支持ブラケット１１０にはそれぞれピックオフコイル１２４、１２７を固定して取付けピックオフコイル磁石１２３、１２６に協働して配置しそれぞれ集合的に運動検出器１２５、１２８を形成する。支持ブラケット１１０は、熱膨脹、配管又は機械的条件によって存在する任意の軸線方向の応力又は力の全部又は一部を支えるようにすることができる。さらに支持ブラケット１１０は、任意の電気部品の配線及び相互接続を容易にし又ケースの付加に先だってアセンブリの試験を容易にするのに使うことができる。支持ブラケット１１０の互いに異なる多くの実施例は従って、金属管、四角形管、生成プラスチック材、溶接ブラケットその他を含むことが考えられる。第２５図の実施例はマニホルド１０２、１０３に固定したケース１０４により囲んである。ケース１０４は本発明の作用には必要ないが、しかしケース１０４は、（１）各部品の周囲条件からの保護と、（２）漏れの場合の流体１２９の保持（ｃｏｎｔａｉｎｍｅｎｔ）と、（３）規定量の圧力又は真空の保持と、（４）特定の部品への又この部品からのパージガスの搬送と、（５）熱膨脹、配管又は機械的条件その他により存在する軸線方向の応力又は力の伝達とのような若干の有用な特長を生ずるこができる。ケース１０４は、ステンレス鋼管又は薄板のような強い耐食性材料から作り、圧力密封部を形成するように溶接法又はろう付け法によりマニホルド１０２、１０３に固定して取付けるのがよい。或いはケース１０４は第４０図に示すようにケース１０４及びマニホルド１０２、１０３の間に、Ｏリングシール１７１、１７２のようなすべり継手を使い取付けることができる。この変型構造は軸線方向の応力又は力をケース１０４を経て伝わらないようになくすのに使い検査又はその他の目的でケース１０４を容易にはずせるようにしてある。ケース１０４に協働して、信号搬送体１６１を介しケース１０４の壁を貫いて信号を搬送できるフィードスルー１６０を取付けてある。フィードスルー１６０は、密封した管寄せが好適であるが、或いはセラミック材、普通のエポキシ材又はその他の種類のフィードスルーでもよい。フィードスルーは本装置の作用には必要としないが、若干の設計パラメータを向上し従って実用上の理由で設ける。第２５図の実施例による作用を次に述べる。第２５図、第２６図及び第２７図において第２５図に示すように流体１２９はマニホルド１０２を介し本装置に入る。次に流体１２９は、流れ導管１０１に入りたわみ継手１０５、流れ導管１０１の中央区間及びたわみ継手１０６を通過し最後に本装置からマニホルド１０３を介して出る。本装置がいずれかの方向の流れに対し同様に良好に作用するのはもちろんであり、従って流体１２９は或いは図示の流れの反対方向に流れてもよい。駆動コイル１１８、１２１は、回路部品１４４から規定の周波数及び位相の信号１３７、１３８により第２６図に示すように電気的に直列に励起されそれぞれ駆動磁石１１７、１２０に互いに反対の向きの力を生じて第３１図及び第３２図に示したのと同様な第１の２ロ−ブだ円形モ−ドの振動を生ずる。これと同時に駆動コイル１１８、１２１は、回路部分１４５からの信号１３９により規定の周波数及び位相でそれぞれ中央結線から並列に電気的に励起され、それぞれ第３３図に示すように駆動磁石１１７、１２０に同様な向きの力を生じて、第４１図に示したのと同様な曲げモ−ドの振動を生ずる。前記したような２ロ−ブだ円形半径方向モ−ドの信号を使う場合の１変型として、第２９図の運動駆動装置１５０、１５１、１５２を接続し励起する同様な方法を使うことにより第１又は第２に駆動モ−ドに対し３ロ−ブ半径方向モ−ドを使い、第３４図及び第３５図に示すような３ロ−ブ半径方向モ−ド及び／又は第３６図に示すような曲げモ−ドを適当な振動数及び位相で生ずる。前記したような２ロ−ブだ円形半径方向モ−ドの使用に対する他の変型として、４ロ−ブ半径方向モ−ドは、第３０図の運動駆動装置１５４、１５５、１５６、１５７を接続し励起する同様な方法を使うことにより第１又は第２の駆動モ− ドに使われ、適当な振動数及び位相で第３７図及び第３８図に示すような４ロ− ブ半径方向モ−ド及び／又は第３９図に示した曲げモ−ドを生ずることができる。従って半径方向モ−ド及び／又は曲げモ−ドの振動の多くの可能な組合せが流れ導管の適当な器具及び振動に使うことができるのはもちろんである。前記したように流れ導管１０１の長手に沿う横断面形状の配向の反転のない半径方向モ−ドの振動を使うほかに、第１又は第２のモ−ドの振動に半径方向モ− ドの振動を利用して、第１図の実施例について前記したように横断面形状の配向が流れ導管１０１の長手に沿い１回又は複数回変るようにすることができる。流れ導管１０１に所要のモ−ドの振動を生じされると、ピックオフコイル１１２、１１５、１２４、１２７はそれぞれ信号１３１、１３０、１３２、１３３を生ずる。これ等の各信号は、それぞれのコイルの特定の場所における流れ導管１０１の振動運動を表わし、すなわち第２７図に示すように第１及び第２の周波数の組合せになる。回路部分１４１は信号１３０、１３１を組合せ、各信号１３０、１３１の和を表わす信号１３４を生ずる。各コイル１１２、１１５を、第３１図及び第３２図の互いに反対の向きの運動がコイル１１２、１１５に同位相の信号を生じ、第３３図及び第４１図の同様な向きの運動がコイル１１２、１１５に位相はずれ信号を生ずるように配置することにより、和信号１３４はコイル１１２、１１５の場所で運動の第１の半径方向モ−ド成分だけしか実質的に表わさない。ピックオフコイル１１２、１１５は実際には通常同じ振幅の信号１３１、１３０を生じないから、この独特の方法は、次の例により認められるように信号１３４の第２の周波数成分の量を多量に減らす。第１の運動がコイル１１２から１Ｖの振幅の信号１３１を生じ前記したように第２の振幅が単に圧力及び密度を定めるのに必要なだけの最低値たとえば第１信号の１０％に保持されると、この場合信号１３１は数学的に次のように表わすことができる。信号１３１＝１×ｓｉｎ（Ｌ₁×ｔ＋Ｄ₁）＋０．１×ｓｉｎ（Ｌ₂×ｔ＋Ｄ₂）（２）この式で（Ｌ₁）及び（Ｌ₂）はそれぞれラジアン／ｓｅｃで第１及び第２の周波数を表わし、（ｔ）は時間を表わし、（Ｄ₁）及び（Ｄ₂）は質量流量による第１及び第２の信号の位相又は時間のシフトを表わす。コイル１１５から与えられた運動に対し対応する信号１３１よりたとえば１０％大きい振幅である信号１３０を生ずると、この場合信号１３０は数学的に次のように表わすことができる。信号１３０＝１．１×ｓｉｎ（Ｌ₁×ｔ＋Ｄ₁） −０．１１×ｓｉｎ（Ｌ₂×ｔ＋Ｄ₂）（３）この１０％の誤差は、磁石１１１、１１４により生ずる磁界強さの不一致により、又コイル１１２、１１５のワイヤの巻輪の数の不一致、回路部品１４１に先行する各部品の不一致又はその他の理由によって生ずる。和の信号１３４はこの場合数学的に次のように表わすことができる。信号１３４＝２．１×ｓｉｎ（Ｌ₁×ｔ＋Ｄ₁） −０．０１×ｓｉｎ（Ｌ₂×ｔ＋Ｄ₂）（４）すなわち２１０／Ｉの秒信号１３４における第１振幅の第２振幅に対する振幅比はもとの１０％の誤差の２１倍の減小を生ずる。次いで信号１３４はさらに処理するために回路部品１４０に搬送される。式（４）の第２項は、質量流量に比例する移相項Ｄ２を含み従って質量流量を計測するのに使うことができる。しかしこのようにすると、つり合わせ手段なしで単一の管を曲げモードで作動することになり従って本発明により得られる著しい性能向上は示さない。回路部品１４２を使ってそれぞれピックオフコイル１２４、１２７からの信号１３２、１３３を組合せるのに同様な方法を使い、各信号１３２、１３３の和を表わす信号１３５を生成する。信号１３４と同様に、信号１３５は反対向きの運動従ってピックオフコイル１２４、１２７の場所における流れ導管１０１の第１の半径方向運動を表わす。信号１３５は次いで、さらに処理するために回路部品１４０に搬送され、さらに回路部品１４４に搬送され第１の半径方向モ−ド振動に対する駆動サ−ボル− プを完結する。回路部品１４４は、信号１３５からの振幅及び位相の情報を使い適当な振幅及び位相の信号１３７、１３８を生じ第１半径方向モ−ド振動を所定のレベルに保持する。さらに信号１３２、１３３は回路部品１４３により組合せて信号１３２、１３３の間の差を表わす信号１３６を生ずる。前記したようにピックオフ信号１３２、１３３の和信号１３５は反対向きの運動従って第１半径方向モ−ドの振動を表わすから、第３３図及び第４１図に示すように差信号１３６は同様な向きの運動従って第２曲げモ−ドの振動を表わす。各ピックオフ信号振幅の間の１０％の差の前記した例の値を使うと、各信号１３２、１３３、１３５、１３６は数学的に次のように記載することができる。信号１３２＝１×ｓｉｎ（Ｌ₁×ｔ−Ｄ₁） −０．１×ｓｉｎ（Ｌ₂×ｔ−Ｄ₂）（５）信号１３３＝１．１×ｓｉｎ（Ｌ₁×ｔ−Ｄ₁） −０．１１×ｓｉｎ（Ｌ₂×ｔ−Ｄ₂）（６）信号１３５＝２．１×ｓｉｎ（Ｌ₁×ｔ−Ｄ₁） −０．０１×ｓｉｎ（Ｌ₂×ｔ−Ｄ₂）（７）信号１３６＝−０．１×ｓｉｎ（Ｌ₁×ｔ−Ｄ₁） −０．０１×ｓｉｎ（Ｌ₂×ｔ−Ｄ₂）（８）式（７）及び式（４）の両方の場合に同じ典型的な１０％の誤差値が使われたから、式（７）は振幅について式（４）の初期の例で得られる振幅と同じ結果を示し、従って信号１３２、１３３を加算することによりはぼ純粋な正弦波信号１３５が得られる。しかし式（８）により表わされる差動信号１３６は、０．２１Ｖの所望の第２の振動モ−ド信号のほかに０．６Ｖの第１振動数成分を示す。差動信号１３６を使い処理をさらに容易にするようにこの信号の第１周波数成分を若干の方法により減らし又はなくすことができる。この実施例では差動信号１３６の第１周波数成分を減らすのに使う方法は、フィ−ドバックル−プに可変抵抗器１６４を備えた差動演算増幅器として回路部品１４３を配置することである。可変抵抗器１６４を適当な値に調整することにより、実際上第１周波数成分を含まない差動信号１３６を生ずることができる。差動信号１３６の第１周波数成分を減らし又はなくす他の方法は、緊密に一致した信号振幅を生ずるようにピックオフ部品を整合させ、信号１３２又は信号１３３の一方に可変利得増幅器を使いその対応する信号を一致させ、高速フ−リエ変換（ＦＦＴ）を使い、又その他を行うことから成る。次いで差動信号１３６は、さらに処理するために回路部品１４０に又さらに回路部品１４５に搬送され第２駆動サーボループを完結する。回路部品１４５は、信号１３６からの振幅及び位相の情報を使い適当な振幅及び位相の信号１３９を生じ第２振動モードを規定のレベルに保つ。回路部品１４０は、信号１３４、１３５、１３６、１６５、１６６を使い、後述のように流体１２９の質量流量、圧力、密度、温度、粘度及びその他使用者の定めるパラメータを定める。流れ導管１０１の第１の半径方向振動と相互作用する流動流体１２９は、流れ導管１０１の壁に沿い第４６図及び第４７図に示したのと同様なコリオリ力分布１６７を生ずる。第４６図は、流れ導管１０１がその通常の円形の中央位置を通過するときに、移動流体１２９及び半径方向１６８の組合せにより流れ導管１０１のＸ−Ｙ平面に生ずることのできる代表的コリオリ力分布１６７を示す。第４７図は、流れ導管１０１がその通常円形の中央位置を通過するときに移動流体１２９及び半径方向運動１６８の組合せにより第４６図に示したのと同時にただし流れ導管１０１のＸ−Ｚ平面内で生ずる代表的コリオリ力分布を示す。次いで流れ導管１０１は第４８図及び第４９図に示すようにコリオリ力分布１６７の一般形状にたわむ。この場合第４８図はＸ−Ｙ平面におけるたわみの一般形状を表わし、第４９図はＸ−Ｚ平面におけるたわみの一般形状を表わす。これ等のたわみは分かりやすいように誇張してある。流れ導管１０１のコリオリ力誘起たわみの計測できる影響は、第２７図に示すように質量流量に関数的に関連する両信号１３４、１３５の時間又は位相の関係のシフトＤである。質量流量により、信号１３５は時間的に前進していることが認められるが信号１３４は時間的に遅延している。しかし別の構成ではこれ等の位相関係を前記したのと逆にすることができる。各信号１３４、１３５はそれぞれ質量流量に従って駆動信号１３７又は駆動信号１３８のような非シフト基準に対する時間関係をシフトする。従ってこれ等の各信号は、信号１３４又は信号１３５を非シフト基準に比較することにより質量流量を計測するのに個別に使うことができる。しかし信号１３４、１３５の間の差Ｄを使うと、利用できる計測値が倍になり従ってこのようにするのがよい。与えられたコリオリ力分布からの流れ導管１０１のたわみ量は、流れ導管１０１のこわさに関連し従って質量流量に対するこの装置の感度を制御する。本装置のこわさ従って感度は、処理流体の温度及び圧力又若干の構造に対してはこの処理流体の密度の変動によって変化する。これ等のパラメ−タは、とくに流れ導管１０１の弾性係数、応力及び動的応答に影響を及ぼすことにより感度を変える。これ等の又その他の処理流体パラメ−タは従って計測され、感度変化に対し質量流量信号を補償し後述のように使用者に処理流体についての貴重な付加的情報を提供する。第５０図、第５１図及び第５２図は、それぞれ圧力、密度及び温度に従って流れ導管１０１の第１振動数１６９及び第２振動数１７０の可能な代表的変動の線図を示す。第５０図は、圧力の上昇により第１及び第２のモ−ドの振動の振動数に互いにことなる量だけの増加を生ずることを示す。第５１図は、密度の増加が第１及び第２のモ−ドの振動の振動数の同様に互いに異なる量だけの減少を生ずることができることを示す。第５２図は、温度の上昇が第１及び第２のモ−ドの振動の振動数の典型的には同様な量だけの減少を生ずることを示す。このことは、温度の上昇に伴う弾性係数の減少を示す材料たとえばステンレス鋼又はチタンに対して典型的である。前記したように流れ導管１０１を流通する質量流量は、（ａ）信号１３４、１３５間の時間関係と、（ｂ）流れ導管１０１の内側及び外側の間の圧力差に関数的に関連する流れ導管１０１の応力と、（ｃ）温度に関数的に関連する流れ導管１０１の弾性係数と、（ｄ）処理流体の密度とに関数的に関連する。従ってこの関数関係は次のように定義できる。Ｍ′＝ｆ（Ｄ）ｘｆ（Ｐ）ｘｆ（Ｄ）ｘｆ（Ｔ）ｘｆ（Ｌ）（９）この式でＭ′は質量流量を表わし、ｆ（Ｄ）は質量流量を信号１３４、１３５間の時間差との間の関数関係であり、ｆ（Ｐ）は圧力によるこの装置の感度の変化を表わす因数であり、ｆ（Ｔ）は温度によるこの装置の感度の変化を表わす因数であり、ｆ（Ｌ）は直線性補正を表わす因数である。第２６図の回路部品１４０は信号１３４、１３４、１３６、１６５を生じ式（９）の各係数の値を定めこれを質量流量及びその他のパラメータに対し次のように解く。第２６図の回路部品１４０は、零交差のような基準電圧を過ぎる各信号間の間隔を計測し、積分回路からの電圧傾斜のような既知の基準値を使い、クロック源からのパルスの数を計数することにより、又は高速フ−リエ変換等のような他の方法により、信号１３４、１３５間の時間差（Ｄ）を定める。この時間差（Ｄ）の値はこの場合補償してない質量流量信号を表わす。次いで回路部品１４０は、処理流体の圧力、密度及び温度を定め質量流量信号を補償し次のようにこの貴重な付加的情報を使用者に供給する。第５０図、第５１図及び第５２図に示すように第１及び第２の振動の振動数は圧力、密度及び温度の関数として変化する。これに対する１つの例外は、カーペンター・テクノロジー・コーポレイション製のロウ・エクスパンション（ＬｏｗＥｘｐａｎｓｉｏｎ）４３−ＰＨのように弾性率の零温度係数を持つ材料を流れ導管１０１に使い振動数が温度に無関係になるようにするときである。これ等の線図は、特定の設計に対する校正により計算し又は定めることができる。従って第５０図、第５１図及び第５２図の各線図を数学的に定める関数関係を生成することができる。これ等の関数関係は、信号１３４，１３５のいずれかからの第１の振動数情報と信号１３６からの第２の振動数情報と信号１６５からの温度情報と共に、次いで回路部品１４０に使われ処理流体の圧力及び密度を定める。信号１３４は信号１３５と信号１３６との振動数は、信号１３４，１３５間の時間差（Ｄ）を計測する前記した同様な方法を使い繰返し周期を計測することによつて定める。簡略化した例として第１及び第２の振動数は、次の線形関係を持つことができるが、これ等の関係は通常単純な線形関係ではない。Ｆ₁＝２０００＋２（Ｐ）−１００（Ｄ）−０．２（Ｔ）（１０）Ｆ₂＝８００＋１（Ｐ）−７０（Ｄ）−０．１（Ｔ）（１１）この式でＦ₁＝第１の振動数ＨｚＦ₂＝第２の振動数ＨｚＰ＝圧力１ｂ／ｉｎ² Ｄ＝密度ｇ／ｃｍ³ Ｔ＝温度０℃ 温度（Ｔ）は温度センサ１０９及び回路部品１４６により自由に定められ又振動数Ｆ１、Ｆ２は回路部品１４０により定まるから、従って式（10）、（11）は、この場合回路部品１４０により解かれて密度及び圧力の両方を定める２つの未知数を持つ２つの式から成る系を表わす。前記の例に対して温度がたとえば１００℃で第１振動数が２０５０Ｈｚ又第２振動数が８２０Ｈｚであると、この場合式（10）、（11）を解くことにより４７．５ｌｂ／ｉｎ²の圧力と０．２５ｇ／ｃｍ³の密度とが得られる。圧力、温度及び密度をこのようにして定めると、時間遅延（Ｄ）から定められる前記したような補償してない質量量流量信号はこの場合式（９）に示すように適当な圧力、温度及び密度の各因数により補償することができる。さらに式（９）は非線形性を補正するのに使うことのできる線形性因数ｆ（Ｌ）を備える。たとえば時間遅延（Ｄ）及び質量流量間の関係は信号１３４，１３５位相角の正接の関数である。このわずかな非線形性はこのようにして式（９）の因数ｆ（Ｌ）を正接関数とすることによつて回路部品１４０により補正することができる。回路部品１４０は次いで、第２６図に示すように質量流量、圧力、密度及び温度を表わす信号を出力として使用者に供給する。さらに回路部品１４０は後述のように処理流体粘度を計算する。回路部品１４４は、前記したように第１の振動を規定のレベルに保つのに必要に応じ適当な振幅及び位相を持つ信号１３７，１３８を生ずる。従って部品１４４内に適当な回路を設けることにより、第１振動レベルを保持するのに必要な電力を表わし従って振動系内のエネルギー損失を表わす駆動力信号１６６を生ずる。部品１４４を使いこの電力を定める１方法では各コイル１１８，１２１に供給される第１の駆動電流を計測する。駆動磁石１１７，１２０の磁界と相互作用するこの電流は従って流れ導管１０１に加わる第１駆動力に比例する。信号１３５からの周波数及び振幅の情報は次いでこの駆動力情報に組合わせて駆動力信号１６６を生ずる。駆動力信号１６６は振動レベルを保持するのに必要な電力を表わすから、この信号は振動系に協働する振動減衰源に関数的に関連する。これ等の源には、（ａ）流体の粘度は関数的に関連する粘性減衰と、（ｂ）振動不つりあいにより周囲に振動エネルギー損失を生ずる機械的結合と、（ｃ）周囲に音響エネルギー損失を生ずる音響結合と、（ｄ）流れ導管の材料からの材料減衰損失とがある。音響及び機械的の結合と材料減衰とは、無視できる程度に又は一定に保持することができ、或いは計測することができるから、信号１６６は主として、粘性減衰従って処理流体の粘度の関数である。すなわち駆動力信号１６６は回路部品１４０により信号１３５，１６５と協働して使われ流体粘度を定めることができる。この値は次いで第２６図に示すように出力として使用者に供給することができる。回路部品１４０は又、容積流量、基準化変換、正味流量及び１００分率流量とその他蒸気の品質及びエネルギー流量とのような使用者限定の出力信号を使用者に対し必要に応じて定める。質量流量のほかに圧力及び密度を計測するのに２つの振動モードを使う前記した利点は又後述のように現用の曲げモード形コリオリ質量流量計でも得られる。第４２図及び第４３図は従来のＵ字形並列径路コリオリ質量流量計の２つの図を示す。正規の作用のもとでは各流れ導管２００，２０１は、音さの歯と同様な曲げモードの振動で相互に反対の向きに振動する。このことは、第１の曲げモード振動を生ずるのに必要に応じ駆動磁石２０２と協働して駆動コイル２０３を電気的に励起することによつて行われる。駆動コイル２０３を第２の振動数で励起することにより、流れ導管２００，２０１を曲げの又は半径方向の第２の振動モードで同時に振動させることができる。第４４図及び第４５図は、第２の振動としてだ円形半径方向振動で振動させる流れ導管２００，２０１の２つの横断面図である。第４２図の実施例のコリオリ流量計は従来の曲げモード振動法を使って質量流量を計測するから、第２モードに対し半径方向モードの振動を使う必要がなくて曲げモード又は半径方向モードの振動の組合わせをこれ等２つのモードが前記したように圧力又は密度の変化に伴い互いに異なる割合で振動数を変えなければならないという制限のもとで第１及び第２のモードに対し使うことができる。第４３図の実施例に対し駆動コイル２０３は、従来の第１の曲げモード振動と共に第１の振動を励起するのに使った。しかし第２の運動駆動装置を圧力及び密度の計測のために第２モードの振動を励起するのに必要に応じ流れ管２００，２０１のいずれかの任意の部分に取付けて使うことができるのはもちろんである。第４４図及び第４５図は半径方向振動モードで同時に振動させる両流れ導管２００，２０１を示す。しかしいずれかの流れ導管の任意の部分が所要の基準振動を生成し圧力及び密度を計測するのに必要に応じ振動させることができるのはもちろんである。第１図、第２５図及び第４０図の実施例は、白金ＲＴＤ、永久磁石、コイル、金属及び金属部品のような部品を備えている。これ等はすべて１０００°Ｆを越える温度に耐えるようにすることができる。本発明は従って高温用にとくに適してる。本発明の利点をかなり利用できる１つの重要な高温用途は水蒸気の計測である。このことは、その高い温度により、又飽和状態ではガスの状態を独自に指定するのに３つの独立の性質が必要であることにより従来から計測することがむずかしい。本発明は圧力、温度及び密度を計測するから、水蒸気の性質従ってその状態を定めることができる。さらに質量流量も又既知であるから、エネルギー流量は蒸気表から直接計算して発電所及びその他の工業用蒸気使用場所用の極めて貴重な器具を生成する。前記した実施例は、所要のコリオリ力を生ずるのび必要に応じ導管の全部又は一部が振動する若干の形式の流れ導管の使用を含む。しかし本発明を利用するのに導管内に流体流れを包囲する必要はない。従って第１７図の実施例は、一層大きいダクト内に位置させ又は移動するガス或いは液体の自由流れ内に保持することができる。第５６図は前記した原理の多くを使うコリオリ質量流量計の実施例である。しかしこの実施例の各要素の配置は、現用の装置には利用できない複数の独特の有利な特性を生ずる。第５６図の実施例の主な利点は、流動流体１７９内にこの流れが表面軸線に平行で表面外側に流れるように配置した半径方向に振動する軸線方向に対称の閉じた表面１８５の配置によって得られる。この配置では、表面１８５の外側を囲む上昇する流体圧力を表面１８５に加えて、圧力の上昇に伴い流量に対する装置感度を高める。この現象は、流体が流れ導管の内側を流れる他の実施例の場合とは逆になる。さらに圧力の関数としての固有振動数の変化も又、表面１８５のまわりの上昇する外部圧力により被駆動半径方向振動の固有振動数の減少を招くから、この配置では逆になる。この効果は圧力及び密度の決定に有利に応用することができる。第１図の場合のように流れ導管の内側を流体が流れる前記した実施例は、一層高い内部圧力に一層厚い管壁が必要であり流量を計測する装置の感度を共に低下させる一層高い引張応力を誘起するから、感度及び圧力定格の間のトレ−ドオフを設計者に提供する。第５６図の実施例を使うと、この現象は逆になり、流体圧力の上昇に伴い流量及び圧力計測に対する感度を実際上高める装置を設計者が有利に設計できる。表面１８５は、ステンレス鋼、チタン、石英等のような強いたわみ性材料から成る管又は配管のような円筒面がよい。しかし非円形横断面形状も考えられる。表面１８５の内側には磁石を設けると共に、取付けブラケット１８８に磁石／コイル対（ｍａｇｎｅｔ／ｃｏｉｌｐａｉｒｓ）１９０ないし１９５を形成するコイルを設けてある。これ等の磁石／コイル対は他の実施例に対し前記したように表面１８５に振動を励起し又はこれ等の振動を検知する。取付けブラケット１８８はその両端部の一方または両方を端部キャップ１８９及び／又は端部キャップ１８６に取付けることができる。この場合一端部だけにおける取付け又はたわみ形又はすべり形の継手（ベロ−）を介する取付けにより、表面１８５及びブラット１８８間の温度に基づく表面１８５に沿う応力をなくす。表面１８５はその両端部を端部キャップ１８９、１８６に固定して取付けられ流れ特性を空気力学的に又は水力学的に向上するようにしてある。温度センサ１９７は、端部キャップ１８９に協働して取付けられ流動流体１７９の温度を監視するようにし、又は表面１８５に直接取付け弾性係数変化の補償のために表面１８５の温度を監視するようにすることができる。信号搬送体１９６は、温度センサ１９７、磁石／コイル対１９０ないし１９５及び信号処理電子装置（図示してない）の間に信号を搬送する。ブラケット１８７は本装置を取付け信号搬送体１９６を保護するのに使う。取付けブラケット１８８及び表面１８５の間の環状空間は減圧にし、又はアルゴンや窒素のような既知量のガスを満たすのがよい。選定した信号処理方式に従って相互に異なる、第５６図の実施例の２つの主な方法がある。各信号処理法は、これ自体の利点を持ち設計者が特定の所要構造に基づいて適当な方法を選定することができる。前記した第１の方法は信号処理のために位相又は時間の計測法を使う。この方法では、磁石／コイル対１９０、１９１は電気的に励起され第２図ないし第４図に示した管１の場合と同様に少なくとも１つなるべくは２つのモードの振動を表面１８５に生ずる。流動流体１７９が表面１８５の外側に沿って進むと、第８図に示したのと同様なコリオリ力分布は、表面１８５がその通常円形の横断面形状を通過する際に生ずる。このコリオリ力分布からこのようにして生ずる表面１８５のたわみは次いで第９図の管１に形状が同様に見える。次いで磁石／コイル対１９４、１９５は表面１８５の振動運動の変化を検知する。この変化は磁石／コイル対１９２、１９３により検知される運動に対しその時間又は位相の関係がシフトしている。これ等の２つの運動の間の時間又は位相の関係の変化を計測する手段（図示してない）はこの場合、この時間又は位相の関係に関数的に関連した流動流体１７９の流量に比例した信号を生成するのに使う。他の実施例について前記したように表面１８５は多量の振動モ−ドで励振されこのようにして評価される振動数の変化により流動流体１７９の密度及び圧力を定める。さらに他の実施例に対し、前記したように表面１８５の振動を保持するのに必要な動力は流動流体１７９の粘度の関数である。従ってこの動力を計測することにより顧客が使うことのできる流体粘度に比例した信号を生成することができる。第５６図の実施例の第２の操作法は信号処理のために振幅計測法の使用を含む。この方法では磁石／コイル対１９０、１９１は前記したように電気的に励起され表面１８５に第２図ないし第４図に示した管１の場合と同様な少なくとも１つ又なるべくは２つのモ−ドの振動を生ずる。流動流体１７９が表面１８５の外側に沿って進むと、第８図に示したのと同様なコリオリ力分布は表面１８５がその通常円形の横断面形状を通過する際に生ずる。このコリオリ力分布からの表面１８５の生ずるたわみはこの場合第９図の管１に形状が同様に見え、このようにして上流側磁石／コイル対１９４、１９５対下流側磁石／コイル対１９２、１９３により検知される運動の振幅に変化が生ずる。磁石／コイル対１９４、１９５及び磁石／コイル対１９２、１９３の位相は、被駆動運動に対し直接同位相になり又流れ誘起運動に対し直接位相はずれになるから、上流側磁石／コイル対１９４、１９５により検知される信号を下流側磁石／コイル対１９２、１９３による信号から差引くことによって、得られる被検出従動運動は相殺され、流量に比例するコリオリ誘起運動の２倍の信号を残す。振幅計測法のこの変化は、一層高い振動数が磁石コイルピックオフに一層大きい信号を生じ、一般にこの方法の使用者は、一層高い振動数を生ずる一層短い管構造を好適とする。さらに与えられた運動の振幅を増すことにより一層大きいコリオリ誘起たわみが生じ一層大きい振幅の信号を計測することができる。これに反してドリブン振幅を増しても、与えられた構造により生ずる位相又は時間の遅延量に影響を及ぼさない。さらに若干のドリブンモ−ドの振動に対し、位相が流量に対して不変であることにより流量情報を抽出するのに振幅形計測法の使用を必要とする場所が管上に位置する。例えば第９図の管１のモ−ド形と同様なモ−ド形は、適当な位相で磁石／コイル対１９４、１９５及び磁石／コイル対１９２、１９３を電気的に励起することにより第５６図の表面１８５に被駆動半径方向モ−ドとして励起して使う。この場合管の中央（磁石／コイル１９０、１９１）はこのドリブン振動中に又流体流れのない間に移行しない。流動流体１７９の増加に伴い、第２１図に示したのと同様なコリオリ力分布は管の中央に流量に比例するたわみを生じ、このたわみは磁石／コイル対１９０、１９１により感知する。これ等の誘起信号は、流動流体１７９の方向に従って０°又は１８０°の位相関係になり、流量の値の変化によつてはあまり位相を生じない。他の実施例に対し前記したように表面１８５は多重モードの振動で励起され、又評価される振動数の変化はこのようにして流動流体１７９の密度及び圧力を定める。さらに他の実施例に対し前記したように表面１８５の振動を保持するのに必要な動力は流動流体１７９の粘度の関数である。従ってこの動力を計測することにより使用者の使うことのできる、流体粘度に比例した信号を生成することができる。変型による方法として、表面１８５は、第９図の管１のモード形状と同様な被駆動モード形状の生ずる適当な位相で磁石／コイル対１９２，１９３を電気的に励起することにより前記した半径方向モード振動で駆動することができる。この場合、磁石／コイル対１９４，１９５及び磁石／コイル対１９２，１９３の各コイルに二重の巻線を使い、一方の巻線は運動を駆動するのに使われ、他方の巻線は運動を感知するのに使う。次いで各感知しているコイルを前記したように加え合わせて感知した従動運動を相殺し、流量に比例する誘起コリオリたわみの２倍の信号を生ずる。この構造は磁石／コイル対１９０，１９１の必要をなくすことにより複雑さ及び費用を減らす。第５６図の実施例に係わる前記した利点のほかに、さらにこの実施例を流れ同感内に取付けるとさらに利点が得られる。第７１図は管２５２内に取付けただい５６図の実施例を示す。管２５２は、その各端部に管継手２５３を備えることにより、管路内に容易に取付けることのできる短い「巻きわくピース」を形成する。この構造では流動流体１７９は表面１８５及び管２５２の間の環状空間内を通る。この構造は後述のように、速度輪郭の影響を減らして与えられた寸法の流体流れを計測するのに必要な動力を減らす有利な特性を持ち、この技術を使うことのできる実際的寸法限界を増し、管路に誘起する応力をなくす。第５６図又は第７１図の実施例の１変型として、同様な構成を使い流体が第５７図ないし第５９図の場合のように振動表面又は管の外側のまわりに横方向に流れるようにする。これ等の図において管２００は少なくとも１つの半径方向振動モードで振動しだ円形横断面形状に変形する。ただし任意の半径方向モードを使うことができる。第５７図ないし第５９図では振動パターンの整合はＸ軸線及びＹ軸線に沿うように示され、従って横方向流体流れ２０１の方向と整合する。しかし流動流体２０１に対する振動パターンの他の整合も使うことができる。第５７図は、管２００をそのＹ方向におけるピークのたわみに達したときの状態で示す。第５８図は、第５７図に示すようにたわんだ後に、円形形状を通過する管２００を示す。又第５９図は管２００をそのＸ方向におけるピークたわみに達したときの状態で示す。管２００の軸線の横方向に流れる流体流れ２０１は、この流れが管２００の振動運動に一致する際にその流れ方向をわずかに変える。この方向変化の１つの結果では、流体流れ２０１の回転２０２が生ずる。この回転２０２は、管２００がその円形形状（第５８図）を通過するときに最も著しくなり、この場合最高の管壁速度になり最高の流体回転速度を生ずる。前記の各実施例について記載したように流体流れ２０１と流体流れ２０１の角回転２０２との組合わせにより管２００の外側のまわりにコリオリ力分布が生ずる。第６０図は、流体流れ角回転のこの組合わせから生ずるコリオリ力分布を示す。管２００の振動サイクルの第１の半分の間に管２００に対するコリオリ力分布２０３は第６１図に示したのと同様な管２００の小さいたわみを生ずる。第６１図ではたわみ形状の軸線は強制振動の軸線から或る角度２３４だけ変位している。管２００の振動サイクルの第２の半分の間に、角速度２０２は逆になりコリオリ力分布２０３の符号も又逆にして管２００の変形を第６２図に示したのと同様にする。第６１図及び第６２図に示した生ずる変形の大きさは従って流体流れ２０１の質量流量の値に比例する。この横方向流れ配置を利用するには、第５６図に示したのと同様な実施例を挿入装置として使うことができる。第６３図は他の横方向流れの実施例を示す。この実施例では流れ管２００を配管フランジ２０４間に取付けた配管２０５を横切って取付けることにより短い「巻わく形ピース」を形成する。この巻わく形ピースは任意の管路内に容易に取付けることができる。第６４図は、フランジ２０４及び横方向に取付けた流れ管２００を示す第６３酢の実施例の端面図（配管２０５の軸線に沿い下方に見た）である。第６５図は第６３図及び第６４図の実施例の流れ管２００の横断面図で、流れ管２００内の運動駆動装置及びセンサの配置を示す。第６３図の実施例の詳細な説明は後述する。第６３図は、配管フランジ２０４に協働して取付けることにより、管路内に容易に取付けることのできる簡単な巻わく形ピースを形成する配管２０５を示す。配管２０５及び各フランジ２０４は、鋼、ステンレス鋼、合金鋼又は流体の搬送に適当な材料から作る。配管２０５に取付けたフィードスルー２０６は、配管２０５の壁を貫いて本装置の計測部分内に信号搬送体２０７を支えると共に、この計測装置の内側及び外部環境の間に圧力密の密封状態を保つことができる。管２００は、配管２０５の直径に沿い横方向に取付けられステンレス鋼から作るのがよいが、他の実施例に対し前記した材料のうち任意のものから作ればよい。管２００の内側には運動駆動磁石２０９ないし２１４を取付けてある。これ等の運動駆動磁石は、サマリウムコバルトから作るのがよく、流れ管すなわち管２００に、接着剤接着、ろう付け、又は機械的取付けにより取付ける。管２００内には、運動駆動コイル及び感知コイルの取付けに使う取付けブラケット２２１を同軸に取付けてある。第６３図は、ブラケット２２１に取付けられそれぞれ駆動磁石２０９ないし２１４に協働して配置した運動駆動コイル２１５ないし２２０を示す。駆動コイル２１５ないし２２０は、信号搬送体２０７を介し第２６図の回路と同様な電子回路に電気的に接続してある。又温度センサ２０８も、管２００に協働して取付けられ信号搬送体２０７を介し第２６図の回路と同様な電子回路に電気的に接続され管２００の温度を監視するのに使う。第６３図の実施例の作用は以下に述べる。電子装置（第２６図の場合のような）からの励起信号は運動駆動コイル２１５ないし２２０に搬送される。従ってこれ等の信号により運動駆動磁石２０９ないし２１４に交番力が生ずる。これ等の力により管２００を少なくとも１つなるべくは２つの半径方向振動モードで振動させる。好適第１の半径方向振動モードは第５７図ないし第５９図に示したのと同様な２ローブ付きだ円形モードであり、管２００の長手に沿い横断面形状に反転を伴わない（節なし）。好適な第２の半径方向振動モードは第１３図の４ローブ付きモードでありこの場合にも管２００の長手に沿い反転を生じない（節なし）。駆動磁石及びコイルの配置及び個数とこれ等のコイルに対する励起信号の位相とは、所望の半径方向モードの振動は強めるが望ましくない振動の励振は抑制するようにすることができる。たとえば所要の半径方向振動を生ずるには最低で１組の運動駆動磁石及びコイル対（たとえば２１１及び２１７）だけしか必要でない。しかし直径に沿い互いに対向する他の運動駆動磁石コイル対（それぞれ２１２及び２１８）を使うことにより、一層よくつりあつた状態が得られ互いに対向する交番力が管２００に加わることにより曲げモードの振動の励振は生じない。さらに一層多くの運動駆動磁石コイル対（２０９及び２１５と、２１０及び２１６と、２１３及び２１９と、２１４及び２２０と）を第６３図で使い駆動力を管２００の長手に沿い配分することができる。さらに管２００の周辺のまわりに半径方向に変位させた付加的な運動駆動磁石コイル対（第６５図の２３０及び２３２と２３３と）も又使うことができる。管２００の周辺のまわりの又その長手に沿う運動駆動磁石及びコイルの個数及び配置は、励振しようとする所望の半径方向モードと管２００に沿う駆動力の所望の分布とにより定める。たとえばだ円形横断面形状が管の長手に沿い１回（１つの節）反転する（第９図に示したのと同様）と、この場合磁石コイル対２０９及び２１５と磁石コイル対２１０及び２１６との励起が磁石コイル対２１３及び２１９と磁石コイル対２１４及び２２０とに対し１８０°の位相関係で励起されるが、対２１１及び２１７と対２１２及び２１８とはその必要がなく、このようにして管２００の一端部はＹ方向に変形させる（第５７図に示すように）が管２００の他端部はＸ方向に変形させる（第５９図に示すように）。第１モードとして好適な２ローブ付きだ円形モード（反転なし）又第２モードとして４ローブ付きモード（反転なし）を使うと、半径方向振動及び流体流れの組合わせにより第６０図に示したのと同様な振動性コリオリ力分布を生ずる。この振動性コリオリ力分布により、管２００が第５８図の場合のような通常（流れなし）の円形横断面形状を通過する際に、管２００を第６１図及び第６２図に示したのと同様な形状に半径方向に変形させる。第６５図は運動検知磁石２２２ないし２２５とそれぞれの運動検知コイル２２６ないし２２９との配列を示す。これ等の運動検知用の磁石及びコイルは運動駆動用の磁石及びコイルから、第６１図及び第６２図の角度２３４と同様な角度に半径方向に配置し変位させ、管２００の最高量の生成流れ誘起たわみを検出するようにする。管２００の外側に沿って移行する流れがないと、コリオリ力分布が生じなくて、管２００は第５７図ないし第５９図に示すように単に第１モードで振動するだけであり又第１３図に示すようにその第２モードで振動する。流動流体２０１が管２００の外側のまわりに増大し生ずるコリオリ力分布２０３により管２００を第６１図及び第６２図に示すようにたわませると、運動検知コイル２２６ないし２２９は流量に比例した場所で振動の振幅の増大する変化を検出する。角度２３４を被駆動振動のために管２００並進半径方向節に対応するように選定すると、この場合運動検知コイル２２６ないし２２９に生ずる運動信号は主として流量２０１に比例し又主としてコリオリたわみの速度と同位相になり、強制振動の速度から９０°位相変位している。この配置では運動検知コイル２２６ないし２２９で生ずる信号の位相は、これ等の位相が反対方向に進む流れに対し反転（１８０ °位相変化）することを除いて流量に対し実質的に不変であり流れ方向と共に流量の検出が共にできる。運動検知用磁石及びコイルをコリオリ誘起たわみ信号だけが運動検知コイルで励起されるように半径方向並進節に対応する角度２３４に運動検知磁石及びコイルを位置させることに対する変型として、半径方向並進節に対応しない角度２３４を選定することができる。このようにすると、運動検知コイル２２６ないし２２９で励起される信号はこの場合従動運動及びコリオリ誘起運動の組合わせである。これ等の運動は約９０°だけ相互に位相変位しているから、得られる運動組合わせ従って運動感知コイル２２６ないし２２９で得られる信号は振幅成分及び位相成分に流量に比例する変化を持つ。これ等の組合わせ信号から流量を測定するには、振幅の変化又は位相計測法の変化のいずれかを前記各実施例で前記したように使うことができる。たとえば運動感知コイル２２９，２２７の信号は運動感知コイル２２６，２２８の信号から位相又は時間の変位を生じている。従って運動感知コイル２２６に運動感知コイル２２８を又運動感知コイル２２７に運動感知コイル２２９を電気的に接続することにより、質量流量に比例する量だけ位相又は時間が相互に変位した２つの信号が得られる。或いはこれ等の組合わせ信号は、ドリブン振幅に関してそれぞれの振幅の変化を評価することができる。ドリブン振幅に関する振幅の変化は従って処理流体の流量に関数的に関連する。前記各実施例に対し前記したように処理流体の圧力及び密度はこの場合又第１振動数及び第２振動数の間の関係を評価することにより定めることができる。さらに流体の温度は温度センサ２０８により検出する。温度センサ２０８からの信号は電子装置に信号搬送体２０７を介し搬送して戻され、次いで温度信号を任意所要の補償のために又は使用者用の出力のために使うことができる。前記したように処理流体の粘度はこの場合又、ドブリン振動を生ずるのに必要な動力を評価することにより定めることができる。さらに他の実施例に対し前記したように管２００の振動を保持するのに必要な動力は流動流体２０１の粘度の関数である。従ってこの動力を計測することにより、使用者が使用できる流体粘度に比例した信号を生ずることができる。内部流体流れにより流れ管のコリオリ誘起たわみを生ずる半径方向モード及び曲げモードの振動の使用の間の基本的違いは、曲げモードが（圧縮性の作用を除いて）流れ管の横断面の任意の点でかなり一定であるが、半径方向モードにより生ずる回転速度は流れ管の横断面にわたつて変化することができるということである。第６６図は、流体が図示のような速度輪郭２３６で流れる曲げモード流れ管２３５の断面を示す。流れ管全体が曲げモードにより矢印２３７のように回転するから、管２３５の断面の任意の点で回転速度分布２３８がほぼ一定である。これに反して第６７図は、流体が図示のように速度輪郭２４０を生じて流れる半径方向モード流れ管２３９の断面を示す。管２３９は半径方向モードで振動する（第２図ないし第４図に示したのと同様に）から、管２３９の上面は下面の回転の向きとは反対の向き矢印２４１のように回転することにより、管２３９の断面にわたつて変化する変動回転速度分布２４３を生ずる。流体の各小単位のコリオリ力分布はその質量×その速度２４０×その回転速度２４３の関数であり、又これ等のパラメータが流れ管内の位置に従って変わるから半径方向モード流量計は流動流体の速度輪郭２４０に依存する。多くの場合にとくにガス及び低粘度の流体において、速度輪郭はほぼ一定であり、従って流体温度、流量粘度等を使うことにより無視し又は補償することができる。一層高い粘度の流体では、又は上流側の乱流により不規則な速度輪郭の生じた場合に、流体の速度輪郭を測定し及び／又は修正することによつて速度輪郭により生ずる誤差の補償ができるようにするその他の方法は後述する。他の実施例に対し前記したように、流動流体の流量、圧力及び密度は、流れ管に対し２つの半径方向モードのしようにより測定することができる。又前記したように、質量流量に組合わせたいずれかのモードの振動により測定することのできる管壁のコリオリ誘起たわみを生ずるから、２つの振動モードのいずれかを使い流量を計測することができる。２つの半径方向モードの振動を使う独特の結果として、得られる回転速度分布（第６７図の矢印２４３）は異なる半径方向モードの振動に対して異なり従って独特の方法が得られ、速度輪郭変化の影響を測定し補償することができる。第６８図は、それぞれ放物線流れ及び「プラグ」流れを生ずる２つの典型的な流れ速度輪郭２４４，２４５のプロットである。速度輪郭２４４，２４５の下側の面積は互いに同じになるように従って同じ質量流量になるように作用する。第６９図は、それぞれ第１半径方向モード及び第２半径方向モードにより生ずることのできる回転速度分布２４６，２４７のプロットである。この例では回転速度分布２４６は二次曲線であるが、分布２４７は三次曲線であり、任意の与えられた構造に対する精密な曲線は、とくに幾何学的形状と選定したモードの第１及び第２の振動とによる。流体の任意の部分のコリオリ力寄与分は従って、質量×流速×回転速度の相乗積である。第７０図は得られるコリオリ力分布の４つのプロットを示す。各コリオリ力分布２４８，２４９はそれぞれ放物線速度輪郭２４５×各回転速度分布２４６，２４７から得られるが、各コリオリ力分布２５０，２５１はそれぞれ速度輪郭２４４×各回転速度分布２４６，２４７から生ずる。速度輪郭２４４，２４５により表わされる質量流量は同じであるから、最終的に得られる流れ計測信号が同じになる必要がある。速度輪郭２４４に対する全コリオリ力は、曲線２５０の下側の面積（第１モードに対し）と曲線２５１の下側の面積（第２モードに対し）とにより表わされ、又速度輪郭２４５に対する全コリオリ力は、曲線２４８の下側の面積（第１モードに対し）と曲線２４９の下側の面積（第２モードに対し）とにより表わされる。第７０図の目視の検査は、各曲線の下側の面積が互いに異なり従って互いに異なる流れ速度輪郭によりこれ等が互いに同じ質量流量を表わすが互いに異なる量の管壁たわみを生ずることを示す。２つの各被駆動モードの振動に無関係に流量を計測することにより、２つの互いに無関係の流れ結果に関数的に関連した補償信号を生成することができ、又速度分布を変えることにより生ずるいずれかの流れ信号の誤差をなくすのに使うことができる。この例では第１及び第２のモードにより生じ３累乗になる得られる流れ信号の比は、この場合２つの流れ信号のいずれか一方を乗じて速度輪郭の大きい変動中に一定の質量流量に対しほぼ一定の結果を生ずることのできる数である。所要の精密な数学的補償は、とくに流量計の構造と選定したモードの第１及び第２の振動とによる。従って多くの互いに異なる数学的関係は、２つの流れ信号から生成され速度輪郭を変えるこにより生ずる誤差に対し最終の成績を補償するのに使うことができる。なの一層高い精度に対して、３つ又はそれ以上のモードの振動を使うことができる。一層複雑な補償係数は各モードの振動からの基本的な位相又は振幅の計測から生成することができる。速度輪郭の影響を補償する他の方法は、この装置を既知の流量で校正し、この装置の特性出力曲線を定める。この特性出力曲線は、次いでマイクロプロセッサ記憶装置に位置させ（参照用テーブル）、次いで速度輪郭により生ずる影響に対し得られる出力信号を補償し又は線形化するのに使う。レイノルズ数、粘土、温度、密度等に基づく数学的関係は又、任意の望ましくないヒ非線形効果を補正する補償係数に使うことができる。第５６図の実施例の別の改良として、同様な実施例を配管又は巻わく形ピース内に位置させ流体流れ１７９を第７１図を示すように振動面１８５及び配管２５２の間の環状空間内に閉じ込める。この構造では巻わく形ピースは配管２５２及びフランジ２５３の組合わせにより形成される。第７１図の１つの付加的利点は、速度輪郭の変化による影響を著しく減らすことである。前記したように流量から生ずる正味コリオリ力は速度輪郭の変化によって影響を受ける。速度輪郭に対するこの感度は、この輪郭が管の中間で零を通過するから角速度輪郭の形状（第６７図の矢印２４３）により低下する。零点が一方の側に向かい動かされ又は除外されるように角速度輪郭の幾何学的形状（第６７図の矢印２４３）を移行させることにより、速度輪郭の影響は著しく減り又はなくなる。角速度こう配を修正することにより速度輪郭の影響を減らし又はなくす複数の方法を次に延べる。第７２図は、複数の前記した実施例の導管と同様な流れ導管を利用する実施例に角速度輪郭２６４の形状を流体流れの中央に零点を持つことから変えるように流れの中に流れ調整器２６２を加えた断面図である。この実施例では流れ調整器２６２は、丸くした端部を持つ円筒形の形状で支持対２６３によりし振動流れ菅２６０の中央につり下げたステンレス銅管である。各支持体２６３は、流体流れ２６６を乱さないで流れ調整器２６２を固定して保持するようにした薄い翼である。流れ菅２６０は、運動駆動装置／センサ２５４ないし２５９を設けられ他の実施例に対し前記したように少なくとも１つなるべくは２つの半径方向振動モードで振動させ流量を計測し流動流体の圧力及び密度を測定するようにしてある。第７２図は、菅２６０の上面及び下面が相互に遠ざかる向きに動いている際の管２６０の振動を示す。このときには流動流体２６６は管２６０の変形する形状は一致しこのようにして流れ方向に直交する軸線のまわりに矢印２６５のように角回転を生ずる。矢印２６５の向きの角回転の大きさは、管２６０の移動面で最高であり流れ調整器２６２の表面で零になりこのようにして角速度こう配２６４を生ずる。この角速度こう配２６４は管の中央で零値を通過しない（第６７図のこう配２４３の場合のように）から、流体速度輪郭２６６が生ずるコリオリ力をあまり変えないで形状に大きい変化（とくに対称形変化）を生じて流体速度輪郭が変化する条件のもとで本装置の性能を著しく向上させる。第７３図は、第７２図の全部の要素を備え、さらに流れ管２６０及び流れ調整器２６２の間に振動継手２６９を形成する。さらに流れ調整器２６２はたわみ性を持つように作られ流れ管２６０の振動を流れ調整器２６２に伝えその運動が流れ管２６０の運動と同様になるようにしてある。この構造の利点は、調整器２６２が流れ管２６０の振動と同様に振動すると流れ流体２６６の角速度輪郭２６７が実質的に一定であり速度輪郭の影響を全くなくすることである。この実施例では振動継手２６９は、流れ管２６０の振動を流れ調整器２６２に伝えるように配置した機械的継手でよい。振動を結合する他の手段は、流動流体２６６に影響を受ける金属帯状片、ワイヤ、磁界及び継手を含む。流体のように高度に非圧縮性の流体では、流体自体が適当な振動継手を形成する。第７４図は、第７１図の場合と同様であるが、外部ケース２７０及び磁石／コイル対２７１ないし２７６を加えてある。この実施例では、表面１８５は、流量を計測するのに前記したように少なくとも１つの半径方向モードで励振させる。さらに表面１８５の振動数とは異なる振動数の振動モードを使い管２５２を別の振動モードで励振させ同時に流量を計測する。この構造では、管２５２の振動数は圧力と共に増すが、表面１８５の振動数は圧力の上昇と共に減少する、そして両振動数は密度の増加と共に減少することにより、他の実施例の場合よりはるかに精密に圧力及び密度の測定ができる。さらに速度輪郭を測定し補償する前記した二重計測法は、表面１８５の振動と管２５２の振動とを使って容易に実施できる。さらに表面１８５は流れ調整器として作用しこのようにして速度輪郭の影響を減らす。表面１８５の直径は管２５２に対して小さくできるから、第７１図の実施例ははるかに安価になり又外部管２５２を振動させる場合の動力より低い動力で済む。この特質は、費用及び製造上の困難が配管寸法と共に大きく増すから流量計寸法が増すのに伴い一層重要になる。さらに他の実施例について前記したように表面１８５又は管２５２の振動を保持するのに必要な動力は流動流体１７９の粘度の関数である。従ってこの動力を計測することにより、使用者で使うことのできる流体粘度に比例した信号を生成することができる。圧力及び密度を計測するのに又速度輪郭の影響を計測し補償する際に二重振動モードの使用について以上述べた。これ等の目的に対し半径方向モード及び曲げモードの振動を共に述べた。これ等の種類の振動モードの使用のほかに、前記した方法を使い圧力及び密度の測定のために第２モードの振動に対しねじりモードの振動を使うことがでる。ねじりモードの振動の例には、流れ導管又は表面がその対称軸のまわりに流れ導管又は表面が回転するモードである。第１図の実施例ではねじりモードの振動を従って、流動流体２８の軸線と同じである縦方向軸線のまわりに回転する流れ導管１により説明する。圧力及び密度の測定のために第１半径方向モードと協働して使う基準モードとしてねじり振動モードを使う利点は、圧力及び密度の変化によるねじりの振動の振動数の変化が半径方向モード又は曲げモードの場合とは著しく異なり密度及び圧力の測定を向上させることができることである。以上述べた所から明らかなように本発明は、（１）流体内に挿入可能でありこの流体により包囲可能である本体と、（２）前記流体内でコオリオ力を発生する前記本体の振動表面を半径方向モードの振動で振動させるように前記本体内に配置された振動手段と、（３）前記流体内に発生するコオリオ力の関数である前記表面の運動を計測するように、前記表面に結合された計測手段と、（４）前記流体の特質を前記表面の前記運動の関数として測定するように、前記計測手段に結合された測定手段とを包含する。流体の特質を計測する計測装置を提供するものである。以上本発明及びその利点を詳細に説明したが、本発明はなおその精神を逸脱しないで種種の変化変型を行うことができるのはもちろんである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ)，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ (72)発明者キャムブル，スティーヴン、ダブルューアメリカ合衆国カララドウ州80501、ローングマント、サンセット・ドライヴ 2540 番アパートマント・エフ125 (72)発明者ハーン，デイヴィド、ティーアメリカ合衆国カララドウ州80501、ローングマント、デニスン・サークル 1506番

Claims

【特許請求の範囲】１．本体軸線のまわりの円周方向成分を実質的に含まない流体内に挿入可能であり、かつこの流体により包囲可能である本体と、前記流体内でコリオリ力を発生する本体の表面を、半径方向モードの振動で振動させるように、前記本体内に配置された振動手段と、前記流体内に発生するコリオリ力の関数である前記表面の運動を計測するように、前記表面に結合された計測手段と、前記流体の特質を前記表面の前記運動の関数として測定するように、前記計測手段に結合された測定手段と、を包含する、流体の特質を計測する計測装置。２．前記振動手段が、前記表面を２つの半径方向モードの振動で振動させる請求の範囲第１項記載の計測装置。３．前記計測手段が、前記表面の前記運動の位相の変化を計測する請求の範囲第１項記載の計測装置。４．前記計測手段が、前記表面の前記運動の振幅の変化を計測する請求の範囲第１項記載の計測装置。５．前記本体を細長くし、前記流体が前記本体の縦方向軸線に沿って流れる請求の範囲第１項記載の計測装置。６．前記本体を細長くし、前記流体が前記本体の横方向軸線に沿って流れる請求の範囲第１項記載の計測装置。７．前記計測装置を導管内に配置し、前記流体を前記計測装置と前記導管との間に配置することができる請求の範囲第１項記載の計測装置。８．前記計測装置を導管内に配置し、前記流体を前記計測装置と前記導管との間に配置することができ、前記計測手段を前記導管に結合した請求の範囲第１項記載の計測装置。９．前記導管を振動させる振動手段をさらに備えた請求の範囲第７項記載の計測装置。１０．前記導管の運動の変化を感知する感知手段をさらに備えた請求の範囲第８項記載の計測装置。１１．前記特質が、前記流体の質量流量である請求の範囲第１項記載の計測装置。１２．前記特質が、前記流体の圧力である請求の範囲第１項記載の計測装置。１３．前記特質が、前記流体の密度である請求の範囲第１項記載の計測装置。１４．前記特質が、前記流体の粘度である請求の範囲第１項記載の計測装置。１５．本体軸線のまわりの円周方向成分を実質的に含まない流体内に本体表面を振動させる振動手段を備えた本体を挿入する段階と、前記流体内にコリオリ力を発生させる前記本体の前記振動する本体表面を前記振動手段により半径方向モードの振動で振動させる段階と、前記流体内に発生したコリオリ力の関数である前記本体表面の運動を、この本体表面に結合された計測手段により計測する段階と、前記流体の特質を前記本体表面の前記運動の関数として測定する段階と、を包含する、流体の特質を計測する計測方法。１６．前記本体表面を、２つの半径方向モードの振動で振動させる段階をさらに包含する請求の範囲第１５項記載の計測方法。１７．前記計測する段階が、前記本体表面の前記運動の位相の変化を計測する段階を包含する請求の範囲第１５項記載の計測方法。１８．前記計測する段階が、前記本体表面の前記運動の振幅の変化を計測する段階を包含する請求の範囲第１５項記載の計測方法。１９．前記本体を細長くし、前記流体が前記本体の縦方向軸線に沿って流れる請求の範囲第１５項記載の計測方法。２０．前記本体を細長くし、前記流体が前記本体の横方向軸線に沿って流れる請求の範囲第１５項記載の計測方法。２１．計測装置を導管内に配置し、前記流体を前記計測装置と前記導管との間に配置する請求の範囲第１５項記載の計測方法。２２．前記計測装置を導管内に配置し、前記流体を前記計測装置と前記導管との間に配置し、前記計測手段を前記導管に結合する請求の範囲第１５項記載の計測方法。２３．前記導管を振動させる手段をさらに備える請求の範囲第２２項記載の計測方法。２４．前記導管の運動の変化を感知する感知手段をさらに備えた請求の範囲第２３項記載の計測方法。２５．前記特質が、前記流体の質量流量である請求の範囲第１５項記載の計測方法。２６．前記特質が、前記流体の圧力である請求の範囲第１５項記載の計測方法。２７．前記特質が、前記流体の密度である請求の範囲第１５項記載の計測方法。２８．前記特質が、前記流体の粘度である請求の範囲第１５項記載の計測方法。２９．流れ導管内の流体の特質を計測する計測装置を備えた、流体を処理する処理システムにおいて、（１）（１ａ）本体軸線のまわりの円周方向成分を実質的に含まない流体内に挿入可能であり、この流体により包囲可能である細長い本体と、（１ｂ）この本体内に配置され、前記流体内でコリオリ力を発生する前記本体の表面を、半径方向モードの振動で振動させる振動手段と、（１ｃ）前記表面に結合され、前記流体内に発生するコリオリ力の関数である前記表面の運動を計測する計測手段と、（１ｄ）この計測手段に結合され、前記流体の特質を前記表面の前記運動の関数として測定する測定手段と、を備え、流れ導管内の流体の特質を計測する計測装置と、（２）前記計測装置を包囲する導管と、前記計測装置と前記導管との間に配置できる流体と、前記導管に結合された計測手段と、（３）前記導管を振動させることによって前記処理システムにより、前記流体の質量流量、圧力、密度及び粘度から成る群から選定した前記特質を計測できる振動手段と、を包含する、流体を処理する処理システム。３０．前記導管の運動の変化を感知する感知手段を備えた請求の範囲第２９項記載の処理システム。３１．前記振動手段が、前記表面を２つの半径方向モ−ドの振動で振動させる請求の範囲第２９項記載の処理システム。３２．前記計測手段が、前記表面の前記運動の位相の変化を計測する請求の範囲第２９項記載の処理システム。３３．前記計測手段が、前記表面の前記運動の振幅の変化を計測する請求の範囲第２９項記載の処理システム。３４．前記流体が、前記本体の縦方向軸線に沿って流れる請求の範囲第２９項記載の処理システム。３５．前記流体が、前記本体の横方向軸線に沿って流れる請求の範囲第２９項記載の処理システム。３６．流れ導管内の流体の特質を計測する計測装置において、前記流れ導管の変形を生じさせる半径方向モ−ドの振動を前記の流れ導管に誘起する誘起手段と、前記変形の変化を計測する計測手段と、前記流れ導管内に位置し、この流れ導管内の前記流体の角速度こう配を修正する修正手段と、を包含する計測装置。３７．前記流れ導管の振動を前記修正手段の振動に結合することにより、この修正手段を前記半径方向モ−ド振動に関連して振動させるようにした請求の範囲第３６項記載の計測装置。３８．前記誘起手段が、前記流れ導管を２つの半径方向モ−ドの振動で振動させる請求の範囲第３６項記載の計測装置。３９．前記計測手段が、前記流れ導管の前記変形の位相の変化を計測する請求の範囲第３６項記載の計測装置。４０．前記計測手段が、前記流れ導管の前記変形の振幅の変化を計測する請求の範囲第３６項記載の計測装置。４１．前記流体が、前記本体の縦方向軸線に沿って流れる請求の範囲第３６項記載の計測装置。４２．前記流体が、前記本体の横方向軸線に沿って流れる請求の範囲第３６項記載の計測装置。４３．前記特質が、前記流体の質量流量である請求の範囲第３６項記載の計測装置。４４．前記特質が、前記流体の圧力である請求の範囲第３６項記載の計測装置。４５．前記特質が、前記流体の密度である請求の範囲第３６項記載の計測装置。４６．前記特質が、前記流体の粘度である請求の範囲第３６項記載の計測装置。４７．前記流れ導管の一方の端部に固定した入口マニホルドと、前記流れ導管の反対側の端部に固定した出口マニホルドと、を備えた請求の範囲第３６項記載の計測装置。４８．前記流れ導管と一体であり、この流れ導管のまわりに規定量の圧力を含む圧力密の室を形成する圧力密のケ−スを備えた請求の範囲第３６項記載の計測装置。４９．前記流れ導管の一方の端部に固定され、前記圧力密の室の第１の壁を形成する入口マニホルドと、前記流れ導管の反対側の端部に固定され、前記圧力密の室の第２の壁を形成する出口マニホルドと、を備えた請求の範囲第４８項記載の計測装置。５０．前記圧力密のケ−スが、前記流れ導管の軸線方向応力を減少させる請求の範囲第４９項記載の計測装置。５１．前記流れ導管の内部に熱的に通ずる第１の温度センサと、前記導管の外部に熱的に通ずる第２の温度センサと、を備えた請求の範囲第３６項記載の計測装置。５２．前記流れ導管に関連する振動を、この流れ導管の選定した部分に対し隔離する隔離手段を備えた請求の範囲第３６項記載の計測装置。５３．流れ導管内の流体の質量流量を計測する計測方法において、前記流れ導管の変形を生じさせる半径方向モ−ドの振動を前記流れ導管に誘起する段階と、前記変形の変化を単一のセンサにより計測する段階と、前記流れ導管内の前記流体の角速度こう配を、前記流れ導管内に位置させた修正手段により修正する段階と、を包含する計測方法。５４．前記流れ導管の振動を前記修正手段の振動に結合することにより、前記修正手段を前記半径方向モ−ド振動に関連して振動させる請求の範囲第５３項記載の計測方法。５５．誘起手段により前記流れ導管を２つの半径方向モ−ド振動で振動させる請求の範囲第５３項記載の計測方法。５６．前記計測段階が、前記流れ導管の長さに沿って位置させた運動検出器により運動を検出する段階を包含する請求の範囲第５３項記載の計測方法。５７．前記運動検出器により感知される前記運動の振幅の変化を計測することにより、前記変化を測定する請求の範囲第５６項記載の計測方法。５８．前記流れ導管の内部の第１の温度を感知する段階と、前記流れ導管の外部の第２の温度を感知する段階と、をさらに包含する請求の範囲第５３項記載の計測方法。５９．前記流れ導管を囲む圧力密のケ−スと、前記流れ導管との間に規定量の圧力を加える段階をさらに包含する請求の範囲第５３項記載の計測方法。