JPH0954207A - 表示装置におけるカラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラーフィルタの作製を少ない工程数で行え
るようにした、表示装置におけるカラーフィルタの製造
方法が望まれている。 【解決手段】 赤、緑、青のうち少なくとも一色の光の
波長域において光吸収をなすとともに、光吸収をなす波
長域に感光波長域を有し、かつ感光波長域の光を受ける
と分解して受光光と同じ波長域の光に対して吸収率を低
下させる感光材を含有したカラーフィルタ材料を、基板
２０面に塗布してカラーフィルタ材料膜２１を形成す
る。次に、カラーフィルタ材料膜２１の所定位置に、感
光材の感光波長域のうち光吸収をなす波長域のうちの一
の色以上の波長域の光を照射すると同時に、カラーフィ
ルタ材料膜２１の他の所定位置に、他の色の波長域の光
を照射して露光する。その後、カラーフィルタ材料膜を
熱処理してこれを硬化させる表示装置におけるカラーフ
ィルタの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネル等
の表示装置におけるカラーフィルタの製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般にフルカラーの液晶表示パネルで
は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のカラーフィ
ルタを用いることにより、そのカラー表示を可能にして
いる。このような液晶表示パネルを作製するには、従
来、例えば図４（ａ）〜（ｅ）、図５（ａ）〜（ｃ）、
図６（ａ）〜（ｃ）、図７（ａ）〜（ｃ）に示すような
手法が採られている。図４、図５、図６、図７に示した
例は、アクティブマトリクス型液晶表示パネルにおける
対向基板に、カラーフィルタおよびブラックマスクを形
成する例であり、この例では、まず、図４（ａ）に示す
ように対向基板１上に金属等公知のブラックマスク材料
からなる膜２を成膜する。

【０００３】次に、図４（ｂ）に示すように膜２の上に
ポジ型フォトレジストを塗布してレジスト膜３を形成
し、さらに図４（ｃ）に示すように遮光部４を所定パタ
ーンに形成したマスク５を用いて露光処理を行う。次い
で、現像処理を行い、図４（ｄ）に示すようにレジスト
膜３の被露光部、すなわち遮光部４に対応した箇所以外
の部分を現像液に溶解させてこれを除去し、レジスト膜
３からなるレジストパターン３ａを形成する。そして、
このレジストパターン３ａをマスクにして前記膜２をエ
ッチングし、図４（ｅ）に示すように所定パターンから
なるブラックマスク６…を得、その後レジストパターン
３ａを除去する。

【０００４】このようにしてブラックマスク６…を形成
した後、この対向基板１上にＲ用カラーフィルタ材料、
Ｇ用カラーフィルタ材料、Ｂ用カラーフィルタ材料のう
ちの一種を塗布し、図５（ａ）に示すようにフィルタ材
料膜７ａを形成する。ここで、用いられる各カラーフィ
ルタ材料は、母材となる樹脂に各色毎に対応したポジ型
の感光材を含有させたものであり、露光すると現像液に
溶解される顔料分散型のものである。

【０００５】次に、図５（ｂ）に示すように前記ブラッ
クマスク６で覆われない領域のうちの所定パターン、す
なわち画素パターンに対応した所定位置に遮光部８ａを
形成したマスク９ａを用い、露光処理を行う。次いで、
現像処理を行い、図５（ｃ）に示すようにフィルタ材料
膜７ａの被露光部、すなわち遮光部８ａに対応した箇所
以外の部分を現像液に溶解させてこれを除去し、フィル
タ材料膜７ａからなるフィルタパターン１０ａを形成す
る。そして、現像後のフィルタパターン１０ａを熱処理
し、これにより該フィルタパターン１０ａを焼成し硬化
させてカラーフィルタ１１ａを得る。

【０００６】さらに、Ｒ用カラーフィルタ材料、Ｇ用カ
ラーフィルタ材料、Ｂ用カラーフィルタ材料のうち先に
用いた材料と異なる一種を塗布し、図６（ａ）に示すよ
うにフィルタ材料膜７ｂを形成する。次いで、図６
（ｂ）に示すように前記ブラックマスク６、カラフィル
タ１１ａで覆われない領域のうちの所定パターンに対応
した位置に遮光部８ｂを形成したマスク９ｂを用い、露
光処理を行う。次いで、現像処理を行い、図６（ｃ）に
示すようにフィルタ材料膜７ｂの被露光部、すなわち遮
光部８ｂに対応した箇所以外の部分を現像液に溶解させ
てこれを除去し、フィルタ材料膜７ｂからなるフィルタ
パターン１０ｂを形成する。そして、現像後のフィルタ
パターン１０ｂを熱処理し、これにより該フィルタパタ
ーン１０ｂを焼成し硬化させてカラーフィルタ１１ｂを
得る。そしてさらに、Ｒ用カラーフィルタ材料、Ｇ用カ
ラーフィルタ材料、Ｂ用カラーフィルタ材料のうち残り
の一種を塗布し、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すよ
うに図５、図６と同様のプロセスを繰り返してカラーフ
ィルタ１１ｃを得る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
カラーフィルタの形成にあっては、各色毎にカラーフィ
ルタ材料の塗布、露光、現像、焼成といったプロセスを
繰り返さなくてはならず、しかもブラックマスクの形成
についてもレジストコート、露光、現像、エッチング、
剥離等のプロセスを必要とすることから、全体として非
常に多くの工程数がかかり、製造コストが高くなってし
まう。また、カラーフィルタを１色毎に形成するため、
後に形成するカラーフィルタにあっては先に形成したカ
ラーフィルタの影響を受けてしまい、このためカラーフ
ィルタ間に段差ができてカラーフィルタの色度にバラつ
きが生じたり、カラーフィルタの平坦性が悪くなり、後
に注入・封止する液晶の配向が乱れてしまうといった不
具合を生じてしまう。

【０００８】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、カラーフィルタの作製を
少ない工程数で行えるようにした、表示装置におけるカ
ラーフィルタの製造方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明における請求項１
記載の表示装置におけるカラーフィルタの製造方法で
は、赤色光、緑色光、青色光のうち少なくとも一色の光
の波長域において光吸収をなすとともに、該光吸収をな
す波長域に感光波長域を有し、かつ該感光波長域の光を
受けると分解して該受光光と同じ波長域の光に対して吸
収率を低下させる感光材を含有したカラーフィルタ材料
を、カラーフィルタ形成面に塗布してカラーフィルタ材
料膜を形成する塗布工程と、前記カラーフィルタ材料膜
の所定パターン位置に、前記感光材の感光波長域のうち
前記光吸収をなす波長域のうちの一の色以上の波長域の
光を照射すると同時に、該カラーフィルタ材料膜の前記
所定パターン位置とは異なる所定パターン位置に、前記
感光材の感光波長域のうち前記光吸収をなす波長域のう
ちの他の色の波長域の光を照射する露光工程と、光照射
後のカラーフィルタ材料膜を熱処理してこれを硬化させ
る焼成工程とを備えてなることを前記課題の解決手段と
した。

【００１０】このような製造方法によれば、前記カラー
フィルタ材料膜に対して、前記感光材の感光波長域のう
ち前記光吸収をなす波長域のうちの一の色の波長域の光
を照射すると同時に、前記感光材の感光波長域のうち前
記光吸収をなす波長域のうちの他の色の波長域の光を照
射して露光を行うので、露光後のカラーフィルタ材料膜
に、一の色の波長域にて吸収率を低下させ、これにより
該波長域にて光透過率を高めたカラーフィルタと、他の
色の波長域にて吸収率を低下させ、これにより該波長域
にて光透過率を高めたカラーフィルタとの二種類のカラ
ーフィルタが同時に得られる。

【００１１】請求項２記載の表示装置におけるカラーフ
ィルタの製造方法では、赤色光、緑色光、青色光のうち
少なくとも一色の光の波長域において光吸収をなすとと
もに、該光吸収をなす波長域に感光波長域を有し、かつ
該感光波長域の光を受けると分解して現像液に可溶とな
る感光材を含有したカラーフィルタ材料を、カラーフィ
ルタ形成面に塗布してカラーフィルタ材料膜を形成する
塗布工程と、前記カラーフィルタ材料膜の所定パターン
位置に、前記感光材の感光波長域のうち前記光吸収をな
す波長域のうちの一の色以上の波長域の光を照射すると
同時に、該カラーフィルタ材料膜の前記所定パターン位
置とは異なる所定パターン位置に、前記感光材の感光波
長域のうち前記光吸収をなす波長域のうちの他の色の波
長域の光を照射する露光工程と、前記光照射後のカラー
フィルタ材料膜を現像液で現像し、前記光照射により感
光し分解した感光材をカラーフィルタ材料膜から溶解除
去する現像工程と、感光し分解した感光材を除去した後
のカラーフィルタ材料膜を熱処理してこれを硬化させる
焼成工程とを備えてなることを前記課題の解決手段とし
た。

【００１２】このような製造方法によれば、前記カラー
フィルタ材料膜に対して、前記感光材の感光波長域のう
ち前記光吸収をなす波長域のうちの一の色の波長域の光
を照射すると同時に、前記感光材の感光波長域のうち前
記光吸収をなす波長域のうちの他の色の波長域の光を照
射して露光を行い、その後現像処理を行うので、露光後
のカラーフィルタ材料膜に、一の色の波長域にて感光し
た感光材が分解し現像によって溶解除去されることによ
り、該一の色の波長域の光の透過率が高められたカラー
フィルタと、他の色の波長域にて感光した感光材が分解
し現像によって溶解除去されることにより、該他の色の
波長域の光の透過率が高められたカラーフィルタとの二
種類のカラーフィルタが同時に得られる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の表示装置における
カラーフィルタの製造方法を、その実施の形態によって
詳しく説明する。図１（ａ）〜（ｃ）は、本発明をアク
ティブマトリクス型液晶表示パネルにおける対向基板へ
の、カラーフィルタおよびブラックマスクの形成に適用
した場合の一例を示す図である。この例においては、ま
ず、図１（ａ）に示すように対向基板２０のカラーフィ
ルム形成面に、スプレー法、スピンコート法、転写法、
印刷法、付け置き法等の公知の手法によってカラーフィ
ルム材料を塗布し、カラーフィルタ材料膜２１を形成す
る。

【００１４】ここで、カラーフィルム材料としては、透
明アクリル樹脂等の母材樹脂に感光材を配合し、これら
を溶媒中に溶解させたものが用いられる。感光材として
は、図１（ａ）中のグラフに示すように赤色光、緑色
光、青色光の三色の光の波長域において光吸収をなすと
ともに、該光吸収をなす各波長域に感光波長域を有する
もので、該感光波長域の光を受けると分解し、該受光光
と同じ波長域の光に対し吸収率を低下させ、かつ現像液
に可溶となるものが用いられる。また、このような感光
材としては、単一の感光材で形成してもよく、また、複
数、例えば三種の感光材から形成し、これら三種の感光
材がそれぞれ赤、緑、青の三色の光のいずれかの波長域
に感光するようにしてもよい。なお、三種の感光材から
形成した場合、例えばそれぞれの感光材に対して顔料等
の吸収波長をもつ材料を結合させ、感光材の溶解に伴い
各々の顔料を溶解させるようにして該感光波長域におけ
る光の吸収率を低下させるようにしてもよい。

【００１５】このようにしてカラーフィルタ材料膜２１
を形成したら、次に、このカラーフィルタ材料膜２１に
対して露光処理を施す。この露光処理においては、図１
（ｂ）に示すようにマスク２２として、製造すべき液晶
表示パネルにおける、画素間に対応した位置に遮光部２
３…をパターニングし、さらにこれら遮光部２３…間に
おけるＲ用カラーフィルタ形成位置と対応する位置に、
図１（ｂ）中のグラフに示すように赤色光の波長域のみ
を透過する赤色光用フィルタ２４を配設し、同様にＧ用
カラーフィルタ形成位置と対応する位置に緑色光の波長
域のみを透過する緑色光用フィルタ２５を、Ｂ用カラー
フィルタ形成位置と対応する位置に青色光の波長域のみ
を透過する青色光用フィルタ２６をそれぞれ配設したも
のが用いられる。なお、このマスク２２においては、必
要に応じ、図１（ｂ）に示すように前記各フィルタ２
４、２５、２６を設けることなく、三色の光の全ての波
長域の光を透過させるようにした透光部２７を部分的に
設けてもよい。また、露光光の光源としては、ＲＧＢの
３波長光源を同時に用いるか、あるいは可視光領域に対
してブロードな波長をもつ光源を使用する。

【００１６】このようにして露光処理を行うと、露光後
のカラーフィルタ材料膜２１は、これに含有された感光
材が露光光のそれぞれの波長域に応じて感光し分解する
ことにより、それぞれの領域において図１（ｂ）中のグ
ラフに示すように感光波長域の光に対してその吸収率が
低下し、これにより図１（ｂ）中のグラフに示すように
該感光波長域の光に対しての透過率が高くなる。すなわ
ち、赤色光用フィルタ２４を透過してきた赤色光の波長
域の光を受けた赤色フィルタ部２８は、該波長域におけ
る吸収率が低下し、これにより赤色光の波長域にて光透
過率が高いＲ用カラーフィルタとなり、同様に緑色光用
フィルタ２５を透過してきた緑色光の波長域の光を受け
た緑色フィルタ部２９は、緑色光の波長域にて光透過率
が高いＲ用カラーフィルタとなり、青色光用フィルタ２
６を透過してきた青色光の波長域の光を受けた青色フィ
ルタ部３０は、青色光の波長域にて光透過率が高いＲ用
カラーフィルタとなる。

【００１７】なお、各色のフィルタ部２８、２９、３０
においては、マスク２２における各色のフィルタ２４、
２５、２６によってそれぞれ単一色の光しか受けないた
め、それ以外の波長域については影響を受けず、したが
ってこれら影響を受けない波長域に対して吸収をもつ感
光材がそのまま残り、結果として受光光の波長域以外の
波長の光に対して吸収をなすのである。

【００１８】また、カラーフィルタ材料膜２１の、マス
ク２２の遮光部２３に対応する箇所においては、該遮光
部２３に遮られることによって露光光を受けないことか
ら、その感光材は感光することなく元のカラーフィルタ
材料膜２１の状態のままであり、したがって該箇所は、
図１（ｂ）中にグラフで示すように三色全ての光の波長
域で依然吸収をなすものとなっている。一方、マスク２
２の透光部２７に対応する箇所においては、三色全ての
光を受けるため、全ての感光材が感光して分解し、これ
により該箇所は図１（ｂ）中にグラフで示すように三色
全ての光の波長域で吸収率が低下し、透過率が高いもの
となる。

【００１９】このようにして露光処理を行ったら、続い
て、この露光処理後のカラーフィルタ材料膜２１に対し
て適宜な現像液により現像処理を施す。すると、感光波
長域の光を受けて感光した感光材は、前述したように現
像液に対して可溶となっていることから、この現像処理
によってカラーフィルタ材料膜２１中から溶解除去され
る。すなわち、赤色フィルタ部２８においては赤色光波
長域の光に感光し分解した感光材が除去され、同様に緑
色フィルタ部２９においては緑色光波長域の光に感光し
分解した感光材が、また青色フィルタ部３０においては
青色光波長域の光に感光し分解した感光材がそれぞれ除
去される。

【００２０】また、マスク２２の遮光部２３に対応する
箇所においては、露光光を受けずしたがって感光材が全
く感光していないことから、該感光材が分解していない
ことにより現像液に溶解されることなく、元のカラーフ
ィルタ材料の状態を維持する。一方、マスク２２の透光
部２７に対応する箇所においては、三色全ての光を受け
て全ての感光材が感光し分解しているため、該箇所は現
像液に溶解されて図１（ｃ）に示すようにカラーフィル
タ材料膜２１が全て除去された状態となる。

【００２１】そして、このような現像処理の後、カラー
フィルタ材料膜２１を熱処理してこれを硬化させ、これ
によりカラーフィルタ材料膜２１中に残る感光材を安定
化し、該カラーフィルタ材料膜２１をカラーフィルタと
して使用可能にする。すなわち、前記赤色カラーフィル
タ部２８を赤色カラーフィルタ２８ａに、緑色カラーフ
ィルタ部２９を緑色カラーフィルタ２９ａに、また青色
カラーフィルタ部３０を青色カラーフィルタ３０ａにそ
れぞれ形成するとともに、前記マスク２２の遮光部２３
に対応する箇所をブラックマスク３１にする。なお、マ
スク２２の透光部２７に対応する箇所については、カラ
ーフィルタ材料膜２１が全て除去されて開口部となる。
したがって、このようにマスク２２の適宜位置に透光部
２７を設けることにより、カラーフィルタ材料膜２１を
所望する形態にパターニングすることができるのであ
る。

【００２２】このようなカラーフィルタの製造方法にあ
っては、カラーフィルタ材料の塗布、露光、現像、焼成
といったプロセスをそれぞれ一回行うだけで、三色のカ
ラーフィルタ２８ａ、２９ａ、３０ａとブラックマスク
３１とを同時に形成することができることから、従来に
比べその工程数を格段に少なくすることができ、これに
より製造コストの低減化を図ることができる。また、三
色のカラーフィルタ２８ａ、２９ａ、３０ａとブラック
マスク３１とを同時に形成することができるため、得ら
れるカラーフィルタ間に段差を生じさせることなく、こ
れによりカラーフィルタの色度にバラつきが生じたり、
カラーフィルタの平坦性が悪くなり、後に注入・封止す
る液晶の配向が乱れてしまうといった不具合を不都合を
防止することができる。

【００２３】なお、前記例においては、本発明を液晶表
示パネルにおける対向基板への、カラーフィルタおよび
ブラックマスクの形成に適用した例を述べたが、本発明
はこれに限定されることなく、例えば図２（ａ）
（ｂ）、図３（ａ）（ｂ）に示すように液晶表示パネル
におけるＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を形成した基板に
適用することができる。すなわち、その場合にはまず、
図２（ａ）に示すように基板４０上の所定位置に予めＴ
ＦＴ部４１、層間絶縁膜４２、４３を形成し、さらにＴ
ＦＴ部４１においてコンタクトホール４４を形成してお
き、その状態で層間絶縁膜４３上に前記のカラーフィル
ム材料を塗布し、カラーフィルタ材料膜２１を形成す
る。

【００２４】次に、図２（ｂ）に示すように遮光部２
３、赤色光用フィルタ２４、緑色光用フィルタ２５、青
色光用フィルタ２６、透光部２７を有したマスク４５を
用い、先の例と同様にして露光処理を行う。ここで、マ
スク４５において遮光部２３は、基板４０上における前
記ＴＦＴ部４１の位置に対応して配設され、各色用のフ
ィルタ２４、２５、２６はそれぞれＴＦＴ部４１、４１
間に対応して配設され、透光部２７はＴＦＴ部４１にお
けるコンタクトホール４４の形成位置に対応して配設さ
れている。

【００２５】このようなマスク４５を用いて露光を行う
と、露光後のカラーフィルタ材料膜２１は、先の例と同
様に感光材が露光光のそれぞれの波長域に応じて感光・
分解し、それぞれの領域において感光波長域の光に対し
てその吸収率が低下することにより、図３（ａ）中のグ
ラフに示すように該感光波長域の光に対しての透過率が
高くなる。すなわち、赤色光用フィルタ２４を透過して
きた光を受けた赤色フィルタ部２８は赤色光の波長域に
て光透過率が高いＲ用カラーフィルタとなり、同様に緑
色光用フィルタ２５を透過してきた光を受けた緑色フィ
ルタ部２９は緑色光の波長域にて光透過率が高いＲ用カ
ラーフィルタとなり、青色光用フィルタ２６を透過して
きた光を受けた青色フィルタ部３０は青色光の波長域に
て光透過率が高いＲ用カラーフィルタとなる。

【００２６】なお、カラーフィルタ材料膜２１における
ＴＦＴ部４１の直上部においては、マスク４５の遮光部
２３に遮られて露光光を受けないことから、該箇所は図
３（ａ）中にグラフで示すように三色全ての光の波長域
で依然吸収をなすものとなっている。一方、コンタクト
ホール４４内においては三色全ての光を受けるため、該
箇所は、図３（ａ）中にグラフで示すように三色全ての
光の波長域で吸収率が低下し、透過率が高いものとな
る。

【００２７】このようにして露光処理を行ったら、先の
例と同様にこのカラーフィルタ材料膜２１に対して適宜
な現像液により現像処理を施す。すると、感光波長域の
光を受けて感光した感光材は、前述したように現像液に
対して可溶となっていることから、この現像処理によっ
てカラーフィルタ材料膜２１中から溶解除去される。ま
た、マスク４５の遮光部２３に対応するＴＦＴ部４１の
直上箇所においては、露光光を受けずしたがって感光材
が全く感光していないことから、現像液に溶解されるこ
となく、元のカラーフィルタ材料の状態を維持する。一
方、マスク４５の透光部２７に対応するコンタクトホー
ル４４内においては、三色全ての光を受けて全ての感光
材が感光し分解しているため、該箇所は現像液に溶解さ
れて図３（ｂ）に示すようにカラーフィルタ材料膜２１
が全て除去された状態となる。

【００２８】そして、このような現像処理の後、カラー
フィルタ材料膜２１を熱処理してこれを硬化させ、これ
によりカラーフィルタ材料膜２１中に残る感光材を安定
化し、該カラーフィルタ材料膜２１をカラーフィルタと
して使用可能にする。すなわち、前記赤色カラーフィル
タ部２８を赤色カラーフィルタ２８ａに、緑色カラーフ
ィルタ部２９を緑色カラーフィルタ２９ａに、また青色
カラーフィルタ部３０を青色カラーフィルタ３０ａにそ
れぞれ形成するとともに、前記ＴＦＴ部４１の直上箇所
をブラックマスク３１にする。なお、マスク４５の透光
部２７に対応する箇所については、カラーフィルタ材料
膜２１が全て除去されて開口部となり、したがって、こ
のような各カラーフィルタ２８ａ、２９ａ、３０ａの形
成と同時に、カラーフィルタ材料膜２１へのコンタクト
ホールの形成をも行うことができるのである。

【００２９】このようなカラーフィルタの製造方法にあ
っては、先の例と同様に、カラーフィルタ材料の塗布、
露光、現像、焼成といったプロセスをそれぞれ一回行う
だけで、三色のカラーフィルタ２８ａ、２９ａ、３０ａ
とブラックマスク３１とを同時に形成することができ、
しかもこれと同時にコンタクトホールを形成することが
できることから、従来に比べその工程数を格段に少なく
することができ、製造コストの低減化を一層図ることが
できる。また、三色のカラーフィルタ２８ａ、２９ａ、
３０ａとブラックマスク３１とを同時に形成することが
できるため、得られるカラーフィルタ間に段差を生じさ
せることなく、これによりカラーフィルタの色度にバラ
つきが生じたり、カラーフィルタの平坦性が悪くなり、
後に注入・封止する液晶の配向が乱れてしまうといった
不具合を不都合を防止することができる。

【００３０】なお、前記例においては、本発明を、表示
装置として液晶表示パネルに適用した例を述べたが、本
発明はこれに限定されることなく、例えば固体撮像素子
を用いた撮像装置における、カラーフィルタの製造にも
適用することができる。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように本発明における請求
項１記載の、表示装置におけるカラーフィルタの製造方
法は、少なくとも二色の光の波長域において光吸収をな
すとともに、該光吸収をなす波長域に感光波長域を有
し、かつ該感光波長域の光を受けると分解して該受光光
と同じ波長域の光の対して吸収率を低下させる感光材を
含有したカラーフィルタ材料からカラーフィルタ材料膜
を形成し、このカラーフィルタ材料膜に対して、前記感
光材の感光波長域のうち前記光吸収をなす波長域のうち
の一の色の波長域の光を照射すると同時に、前記感光材
の感光波長域のうち前記光吸収をなす波長域のうちの他
の色の波長域の光を照射して露光を行う方法であるか
ら、露光後のカラーフィルタ材料膜に、一の色の波長域
にて吸収率を低下させ、これにより該波長域にて光透過
率を高めたカラーフィルタと、他の色の波長域にて吸収
率を低下させ、これにより該波長域にて光透過率を高め
たカラーフィルタとの二種類のカラーフィルタを同時に
得ることができる。したがって、従来に比べその工程数
を格段に少なくして製造コストの低減化を図ることがで
き、また、二種類のカラーフィルタを同時に形成するた
め、得られるカラーフィルタ間に段差を生じさせること
なく、これによりカラーフィルタの色度にバラつきが生
じたり、カラーフィルタの平坦性が悪くなってしまうと
いった不都合を防止することができる。

【００３２】本発明における請求項１記載の、表示装置
におけるカラーフィルタの製造方法は、少なくとも二色
の光の波長域において光吸収をなすとともに、該光吸収
をなす波長域に感光波長域を有し、かつ該感光波長域の
光を受けると分解して現像液に可溶となる感光材を含有
したカラーフィルタ材料からカラーフィルタ材料膜を形
成し、このカラーフィルタ材料膜に対して、前記感光材
の感光波長域のうち前記光吸収をなす波長域のうちの一
の色の波長域の光を照射すると同時に、前記感光材の感
光波長域のうち前記光吸収をなす波長域のうちの他の色
の波長域の光を照射して露光を行い、その後現像処理を
行う方法であるから、露光後のカラーフィルタ材料膜
に、一の色の波長域にて感光した感光材が分解し現像に
よって溶解除去されることにより、該一の色の波長域の
光の透過率が高められたカラーフィルタと、他の色の波
長域にて感光した感光材が分解し現像によって溶解除去
されることにより、該他の色の波長域の光の透過率が高
められたカラーフィルタとの二種類のカラーフィルタを
同時に得ることができる。したがって、従来に比べその
工程数を格段に少なくして製造コストの低減化を図るこ
とができ、また、二種類のカラーフィルタを同時に形成
するため、得られるカラーフィルタ間に段差を生じさせ
ることなく、これによりカラーフィルタの色度にバラつ
きが生じたり、カラーフィルタの平坦性が悪くなってし
まうといった不都合を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施形態の一例を工
程順に説明するための要部側断面図である。

【図２】（ａ）、（ｂ）は本発明の実施形態の他の例を
工程順に説明するための要部側断面図である。

【図３】（ａ）〜（ｂ）は図２に示した例の後の工程を
説明するための要部側断面図である。

【図４】（ａ）〜（ｅ）は従来のカラーフィルタの製造
例を工程順に説明するための要部断面図である。

【図５】（ａ）〜（ｃ）は図４に示した例の後の工程を
説明するための要部側断面図である。

【図６】（ａ）〜（ｃ）は図５に示した例の後の工程を
説明するための要部側断面図である。

【図７】（ａ）〜（ｃ）は図６に示した例の後の工程を
説明するための要部側断面図である。

【符号の説明】

２０ 対向基板 ２１ カラーフィルタ材料膜 ２２、４５ マスク ２４ 赤色フィルタ部 ２５ 緑色フィルタ部 ２６ 青色フィルタ部 ２８ａ 赤色カラーフィルタ ２９ａ 緑色カラーフィルタ ３０ａ 青異カラーフィルタ ３１ ブラックマスク ４０ 基板

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 赤色光、緑色光、青色光のうち少なくと
   も一色の光の波長域において光吸収をなすとともに、該
   光吸収をなす波長域に感光波長域を有し、かつ該感光波
   長域の光を受けると分解して該受光光と同じ波長域の光
   に対して吸収率を低下させる感光材を含有したカラーフ
   ィルタ材料を、カラーフィルタ形成面に塗布してカラー
   フィルタ材料膜を形成する塗布工程と、 前記カラーフィルタ材料膜の所定パターン位置に、前記
   感光材の感光波長域のうち前記光吸収をなす波長域のう
   ちの一の色以上の波長域の光を照射すると同時に、該カ
   ラーフィルタ材料膜の前記所定パターン位置とは異なる
   所定パターン位置に、前記感光材の感光波長域のうち前
   記光吸収をなす波長域のうちの他の色の波長域の光を照
   射する露光工程と、 光照射後のカラーフィルタ材料膜を熱処理してこれを硬
   化させる焼成工程と、 を備えてなることを特徴とする表示装置におけるカラー
   フィルタの製造方法。
2. 【請求項２】 赤色光、緑色光、青色光のうち少なくと
   も一色の光の波長域において光吸収をなすとともに、該
   光吸収をなす波長域に感光波長域を有し、かつ該感光波
   長域の光を受けると分解して現像液に可溶となる感光材
   を含有したカラーフィルタ材料を、カラーフィルタ形成
   面に塗布してカラーフィルタ材料膜を形成する塗布工程
   と、 前記カラーフィルタ材料膜の所定パターン位置に、前記
   感光材の感光波長域のうち前記光吸収をなす波長域のう
   ちの一の色以上の波長域の光を照射すると同時に、該カ
   ラーフィルタ材料膜の前記所定パターン位置とは異なる
   所定パターン位置に、前記感光材の感光波長域のうち前
   記光吸収をなす波長域のうちの他の色の波長域の光を照
   射する露光工程と、 前記光照射後のカラーフィルタ材料膜を現像液で現像
   し、前記光照射により感光し分解した感光材をカラーフ
   ィルタ材料膜から溶解除去する現像工程と、 感光し分解した感光材を除去した後のカラーフィルタ材
   料膜を熱処理してこれを硬化させる焼成工程と、 を備えてなることを特徴とする表示装置におけるカラー
   フィルタの製造方法。