JPH0954932A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH0954932A JPH0954932A JP20100895A JP20100895A JPH0954932A JP H0954932 A JPH0954932 A JP H0954932A JP 20100895 A JP20100895 A JP 20100895A JP 20100895 A JP20100895 A JP 20100895A JP H0954932 A JPH0954932 A JP H0954932A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｆｅを材料とした用いた場合において、電磁
変換特性に優れ、かつ、耐久性および耐蝕性に富み、走
行安定性に優れた金属薄膜型の磁気記録媒体を提供する
ことである。 【解決手段】 支持体と、該支持体の一面側に設けられ
たＦｅ，Ｎ及びＯを有する一層または二層以上のＦｅ−
Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の
上に設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、該ダ
イヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ素系
潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属薄膜
型のバックコート膜とを具備する磁気記録媒体。
変換特性に優れ、かつ、耐久性および耐蝕性に富み、走
行安定性に優れた金属薄膜型の磁気記録媒体を提供する
ことである。 【解決手段】 支持体と、該支持体の一面側に設けられ
たＦｅ，Ｎ及びＯを有する一層または二層以上のＦｅ−
Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の
上に設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、該ダ
イヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ素系
潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属薄膜
型のバックコート膜とを具備する磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｆｅ系金属磁性膜
を有する磁気記録媒体に関する。
を有する磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】磁性膜を蒸着やスパッ
タ等の乾式メッキ手段で構成した金属薄膜型の磁気記録
媒体が広く知られている。この磁性膜を構成する材料と
して種々のものが有る。例えば、これまでは、主とし
て、Ｃｏ−ＮｉやＣｏ−Ｃｒ系の磁性合金が用いられて
いる。
タ等の乾式メッキ手段で構成した金属薄膜型の磁気記録
媒体が広く知られている。この磁性膜を構成する材料と
して種々のものが有る。例えば、これまでは、主とし
て、Ｃｏ−ＮｉやＣｏ−Ｃｒ系の磁性合金が用いられて
いる。
【０００３】しかし、Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ等は価格が高
い。この問題点に鑑みて、Ｆｅが注目されている。すな
わち、Ｆｅは、価格が安く、かつ、公害問題を引き起こ
すことも少ない。しかし、Ｆｅを用いた場合において、
全体構成を如何にすれば良いかの検討は開発途中の段階
であり、手探りの状態である。
い。この問題点に鑑みて、Ｆｅが注目されている。すな
わち、Ｆｅは、価格が安く、かつ、公害問題を引き起こ
すことも少ない。しかし、Ｆｅを用いた場合において、
全体構成を如何にすれば良いかの検討は開発途中の段階
であり、手探りの状態である。
【０００４】従って、本発明の目的は、Ｆｅを材料とし
た用いた場合において、電磁変換特性に優れ、かつ、耐
久性および耐蝕性に富み、走行安定性に優れた金属薄膜
型の磁気記録媒体を提供することである。
た用いた場合において、電磁変換特性に優れ、かつ、耐
久性および耐蝕性に富み、走行安定性に優れた金属薄膜
型の磁気記録媒体を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記本発明の目的は、支
持体と、該支持体の一面側に設けられたＦｅ，Ｎ及びＯ
を有する一層または二層以上のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜と、該Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダ
イヤモンドライクカーボン膜と、該ダイヤモンドライク
カーボン膜の上に設けられたフッ素系潤滑剤の膜と、該
支持体の他面側に設けられた金属薄膜型のバックコート
膜とを具備することを特徴とする磁気記録媒体によって
達成される。
持体と、該支持体の一面側に設けられたＦｅ，Ｎ及びＯ
を有する一層または二層以上のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜と、該Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダ
イヤモンドライクカーボン膜と、該ダイヤモンドライク
カーボン膜の上に設けられたフッ素系潤滑剤の膜と、該
支持体の他面側に設けられた金属薄膜型のバックコート
膜とを具備することを特徴とする磁気記録媒体によって
達成される。
【０００６】特に、支持体と、該支持体の一面側に設け
られたＦｅ，Ｎ及びＯを有する一層または二層以上のＦ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜の上に設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、
該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ
素系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属
薄膜型のバックコート膜と、該バックコート膜の上に設
けられたフッ素系潤滑剤の膜とを具備することを特徴と
する磁気記録媒体によって達成される。
られたＦｅ，Ｎ及びＯを有する一層または二層以上のＦ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜の上に設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、
該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ
素系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属
薄膜型のバックコート膜と、該バックコート膜の上に設
けられたフッ素系潤滑剤の膜とを具備することを特徴と
する磁気記録媒体によって達成される。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明は、支持体と、該支持体の
一面側に設けられたＦｅ，Ｎ及びＯを有する一層または
二層以上のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダイヤモンドライクカ
ーボン膜と、該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設
けられたフッ素系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設
けられた金属薄膜型のバックコート膜とを具備するもの
である。
一面側に設けられたＦｅ，Ｎ及びＯを有する一層または
二層以上のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｎ−
Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダイヤモンドライクカ
ーボン膜と、該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設
けられたフッ素系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設
けられた金属薄膜型のバックコート膜とを具備するもの
である。
【０００８】特に、支持体と、該支持体の一面側に設け
られたＦｅ，Ｎ及びＯを有する一層または二層以上のＦ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜の上に設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、
該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ
素系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属
薄膜型のバックコート膜と、該バックコート膜の上に設
けられたフッ素系潤滑剤の膜とを具備するものである。
られたＦｅ，Ｎ及びＯを有する一層または二層以上のＦ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、該Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜の上に設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、
該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ
素系潤滑剤の膜と、該支持体の他面側に設けられた金属
薄膜型のバックコート膜と、該バックコート膜の上に設
けられたフッ素系潤滑剤の膜とを具備するものである。
【０００９】本発明の磁気記録媒体の支持体としては、
磁性を有するものでも、非磁性のものでも良い。代表的
なものとして、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチ
レンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ
シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート、ポリエチ
レンビスフェノキシカルボキシレート等のポリエステル
類、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン
類、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセ
テートプロピオネート等のセルロース誘導体、ポリ塩化
ビニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリア
ミド、ポリカーボネート等の非磁性のプラスチック材料
が挙げられる。勿論、これらに限定されるものではな
い。又、各種の処理が行われることが有る。例えば、コ
ロナ放電、あるいはその他適宜な手段による表面処理が
なされる。又、接着性向上の為のポリエステルやポリウ
レタンあるいはオリゴマー等が塗布されても良い。
磁性を有するものでも、非磁性のものでも良い。代表的
なものとして、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチ
レンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ
シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート、ポリエチ
レンビスフェノキシカルボキシレート等のポリエステル
類、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン
類、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセ
テートプロピオネート等のセルロース誘導体、ポリ塩化
ビニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリア
ミド、ポリカーボネート等の非磁性のプラスチック材料
が挙げられる。勿論、これらに限定されるものではな
い。又、各種の処理が行われることが有る。例えば、コ
ロナ放電、あるいはその他適宜な手段による表面処理が
なされる。又、接着性向上の為のポリエステルやポリウ
レタンあるいはオリゴマー等が塗布されても良い。
【００１０】この支持体の一面側に、斜め蒸着等のＰＶ
Ｄ（フィジカルベーパーデポジション）法によりＦｅ−
Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が一層あるいは二層以上設けられ
る。この成膜を、成膜速度が大きな蒸着法を例にとって
説明すると次のようになる。先ず、斜め蒸着装置内を所
定の真空度に排気すると共に、電子銃あるいはその他の
手段によりＦｅ系金属材料を蒸発させ、走行する支持上
にＦｅ系金属粒子を付着・堆積させる。この付着・堆積
に際しては、Ｆｅ系金属蒸発粒子あるいは堆積面に向け
て窒素ガス（又は窒素イオン）や酸素ガス（又は酸素イ
オン）等を照射し、非磁性の支持体上に８００〜５００
０Å厚さ設ける磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜とす
る。尚、Ｆｅ：Ｎ：Ｏは５０〜８５ａｔ％：１０〜４０
ａｔ％：５〜４０ａｔ％が好ましい。より好ましくは、
Ｆｅ：Ｎ：Ｏが５５〜７５ａｔ％：１５〜３０ａｔ％：
１０〜３０ａｔ％である。尚、Ｆｅ以外の金属元素の含
有量は例えば５ｗｔ％以下と言ったように少量であるか
ら、これらの金属元素による変動は僅かであり、Ｆｅ，
Ｎ，Ｏのみで規定した。
Ｄ（フィジカルベーパーデポジション）法によりＦｅ−
Ｎ−Ｏ系金属磁性膜が一層あるいは二層以上設けられ
る。この成膜を、成膜速度が大きな蒸着法を例にとって
説明すると次のようになる。先ず、斜め蒸着装置内を所
定の真空度に排気すると共に、電子銃あるいはその他の
手段によりＦｅ系金属材料を蒸発させ、走行する支持上
にＦｅ系金属粒子を付着・堆積させる。この付着・堆積
に際しては、Ｆｅ系金属蒸発粒子あるいは堆積面に向け
て窒素ガス（又は窒素イオン）や酸素ガス（又は酸素イ
オン）等を照射し、非磁性の支持体上に８００〜５００
０Å厚さ設ける磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜とす
る。尚、Ｆｅ：Ｎ：Ｏは５０〜８５ａｔ％：１０〜４０
ａｔ％：５〜４０ａｔ％が好ましい。より好ましくは、
Ｆｅ：Ｎ：Ｏが５５〜７５ａｔ％：１５〜３０ａｔ％：
１０〜３０ａｔ％である。尚、Ｆｅ以外の金属元素の含
有量は例えば５ｗｔ％以下と言ったように少量であるか
ら、これらの金属元素による変動は僅かであり、Ｆｅ，
Ｎ，Ｏのみで規定した。
【００１１】上記磁性膜の表面には保護膜が設けられ
る。この保護膜を構成する材料として、例えばＡｌ，Ｓ
ｉ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ等の金属
の酸化物、窒化物、炭化物あるいはボロンナイトライド
等が考えられるが、本発明ではダイヤモンドライクカー
ボンを選んだ。このダイヤモンドライクカーボンからな
る保護膜は、その厚さが１０〜５００Å程度である。特
に、３０〜２００Å程度が好ましい。
る。この保護膜を構成する材料として、例えばＡｌ，Ｓ
ｉ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ等の金属
の酸化物、窒化物、炭化物あるいはボロンナイトライド
等が考えられるが、本発明ではダイヤモンドライクカー
ボンを選んだ。このダイヤモンドライクカーボンからな
る保護膜は、その厚さが１０〜５００Å程度である。特
に、３０〜２００Å程度が好ましい。
【００１２】ダイヤモンドライクカーボンよりなる保護
膜は、例えばＣＶＤ手段を用いて成膜される。すなわ
ち、真空槽内に配設された供給側ロールから冷却キャン
ロールを経て巻取側ロールに走行している支持体（金属
磁性膜）に対してＣＶＤ装置を作動させ、冷却キャンロ
ールに添接されている金属磁性膜に対して炭化水素系ガ
スのプラズマを吹き付けると、表面にダイヤモンドライ
クカーボン膜が成膜される。ダイヤモンドライクカーボ
ン膜を形成する為の炭化水素系ガスとしては、メタン等
のパラフィン系炭化水素、ベンゼン等の芳香族炭化水
素、あるいはこれらの同族体や誘導体のようなＮを環構
成要素として含む窒素含有環状炭化水素を挙げることが
出来る。又、Ｈ2 ，Ｏ2 ，Ｎ2 ，ＮＨ3 ，ＮＯ2 ，ＮＯ
等も炭化水素系のガスと併用出来る。
膜は、例えばＣＶＤ手段を用いて成膜される。すなわ
ち、真空槽内に配設された供給側ロールから冷却キャン
ロールを経て巻取側ロールに走行している支持体（金属
磁性膜）に対してＣＶＤ装置を作動させ、冷却キャンロ
ールに添接されている金属磁性膜に対して炭化水素系ガ
スのプラズマを吹き付けると、表面にダイヤモンドライ
クカーボン膜が成膜される。ダイヤモンドライクカーボ
ン膜を形成する為の炭化水素系ガスとしては、メタン等
のパラフィン系炭化水素、ベンゼン等の芳香族炭化水
素、あるいはこれらの同族体や誘導体のようなＮを環構
成要素として含む窒素含有環状炭化水素を挙げることが
出来る。又、Ｈ2 ，Ｏ2 ，Ｎ2 ，ＮＨ3 ，ＮＯ2 ，ＮＯ
等も炭化水素系のガスと併用出来る。
【００１３】支持体の他面（裏面）には、バックコート
層、特に金属薄膜型のバックコート膜（金属系膜）が設
けられる。すなわち、例えば無電解メッキ等の湿式メッ
キ手段、蒸着法、直流スパッタ法、交流スパッタ法、高
周波スパッタ法、直流マグネトロンスパッタ法、高周波
マグネトロンスパッタ法、イオンビームスパッタ法など
の乾式メッキ手段により金属系膜が設けられる。尚、こ
のバックコート膜は、その厚さが１０００〜５０００
Å、より好ましくは１５００〜３５００Å程度である。
バックコート膜を構成する金属粒子の材料としては、例
えばＡｌ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｎｉ，Ａｇ，Ｆｅ，Ｔｉなどの
金属が用いられる。又、Ｃｕ−Ａｌ−Ｘ（但し、ＸはＭ
ｎ，Ｆｅ，Ｎｉの群の中から選ばれる一つ、若しくは二
つ以上）系合金、Ａｌ−Ｓｉ系合金、Ｔｉ合金等が用い
られる。尚、Ｃｕ−Ａｌ−Ｘ（但し、ＸはＭｎ，Ｆｅ，
Ｎｉの群の中から選ばれる一つ、若しくは二つ以上）系
合金におけるＣｕ含有量は７０〜９０ａｔ％、Ａｌ含有
量は８〜２５ａｔ％、Ｍｎ含有量が０．５〜４ａｔ％
で、Ｆｅ含有量が０．４〜５ａｔ％で、Ｎｉ含有量が
０．４〜４ａｔ％であり、Ｍｎ，Ｆｅ，Ｎｉの総含有量
が１〜６ａｔ％であることが好ましい。又、Ａｌ−Ｓｉ
系合金におけるＡｌ含有量は１５〜７０ａｔ％、Ｓｉ含
有量が１５〜７０ａｔ％であることが好ましい。
層、特に金属薄膜型のバックコート膜（金属系膜）が設
けられる。すなわち、例えば無電解メッキ等の湿式メッ
キ手段、蒸着法、直流スパッタ法、交流スパッタ法、高
周波スパッタ法、直流マグネトロンスパッタ法、高周波
マグネトロンスパッタ法、イオンビームスパッタ法など
の乾式メッキ手段により金属系膜が設けられる。尚、こ
のバックコート膜は、その厚さが１０００〜５０００
Å、より好ましくは１５００〜３５００Å程度である。
バックコート膜を構成する金属粒子の材料としては、例
えばＡｌ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｎｉ，Ａｇ，Ｆｅ，Ｔｉなどの
金属が用いられる。又、Ｃｕ−Ａｌ−Ｘ（但し、ＸはＭ
ｎ，Ｆｅ，Ｎｉの群の中から選ばれる一つ、若しくは二
つ以上）系合金、Ａｌ−Ｓｉ系合金、Ｔｉ合金等が用い
られる。尚、Ｃｕ−Ａｌ−Ｘ（但し、ＸはＭｎ，Ｆｅ，
Ｎｉの群の中から選ばれる一つ、若しくは二つ以上）系
合金におけるＣｕ含有量は７０〜９０ａｔ％、Ａｌ含有
量は８〜２５ａｔ％、Ｍｎ含有量が０．５〜４ａｔ％
で、Ｆｅ含有量が０．４〜５ａｔ％で、Ｎｉ含有量が
０．４〜４ａｔ％であり、Ｍｎ，Ｆｅ，Ｎｉの総含有量
が１〜６ａｔ％であることが好ましい。又、Ａｌ−Ｓｉ
系合金におけるＡｌ含有量は１５〜７０ａｔ％、Ｓｉ含
有量が１５〜７０ａｔ％であることが好ましい。
【００１４】又、バックコート膜の成膜時に、酸化性ガ
スや酸素イオンあるいは酸素ラディカルを供給し、金属
系膜の表層部分が酸化されるようにしても良い。あるい
は、反応性に富む窒素化合物、窒素イオンや窒素ラディ
カルを供給し、金属系膜の表層部分が窒化されるように
しても良い。若しくは、反応性に富む炭素化合物、炭素
イオンや炭素ラディカルを供給し、金属系膜の表層部分
が炭化されるようにしても良い。尚、反応性に富む炭素
化合物、炭素イオンや炭素ラディカルを供給し、金属系
膜の表層部分を炭化することは、前記ダイヤモンドライ
クカーボン膜に似通って来るから好ましい。
スや酸素イオンあるいは酸素ラディカルを供給し、金属
系膜の表層部分が酸化されるようにしても良い。あるい
は、反応性に富む窒素化合物、窒素イオンや窒素ラディ
カルを供給し、金属系膜の表層部分が窒化されるように
しても良い。若しくは、反応性に富む炭素化合物、炭素
イオンや炭素ラディカルを供給し、金属系膜の表層部分
が炭化されるようにしても良い。尚、反応性に富む炭素
化合物、炭素イオンや炭素ラディカルを供給し、金属系
膜の表層部分を炭化することは、前記ダイヤモンドライ
クカーボン膜に似通って来るから好ましい。
【００１５】上記金属薄膜型の磁性膜や金属薄膜型のバ
ックコート膜は、磁性膜を成膜した後、バックコート膜
を成膜しても良い。逆に、バックコート膜を成膜した
後、磁性膜を成膜しても良い。あるいは、ほぼ同一の工
程で成膜されても良い。尚、工程的には、磁性膜の上に
ダイヤモンドライクカーボン膜が設けられるから、バッ
クコート膜を成膜した後、磁性膜を成膜するようにする
ことが好ましい。
ックコート膜は、磁性膜を成膜した後、バックコート膜
を成膜しても良い。逆に、バックコート膜を成膜した
後、磁性膜を成膜しても良い。あるいは、ほぼ同一の工
程で成膜されても良い。尚、工程的には、磁性膜の上に
ダイヤモンドライクカーボン膜が設けられるから、バッ
クコート膜を成膜した後、磁性膜を成膜するようにする
ことが好ましい。
【００１６】上記のようにしてＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性
膜、ダイヤモンドライクカーボン膜、及び金属薄膜型の
バックコート膜が成膜された後、フッ素系潤滑剤の膜が
浸漬あるいは超音波噴霧などの手段により２０〜７０Å
程度の厚さ設けられる。このフッ素系潤滑剤は、ダイヤ
モンドライクカーボン膜上に付けられる。あるいは、ダ
イヤモンドライクカーボン膜と金属薄膜型のバックコー
ト膜上に付けられる。勿論、両面に付ける方が好まし
い。潤滑剤としては、例えば-(C(R)F-CF2-O)p -（但
し、ＲはＦ，ＣＦ3 ，ＣＨ3 などの基）、特にHOOC-CF2
(O-C2F4)p (OCF2) q-OCF2-COOH ，F-(CF2CF2CF2O)n -CF
2CF2COOH と言ったようなカルボキシル基変性パーフロ
オロポリエーテル、HOCH2-CF2(O-C2F4) p (OCF2) q -OC
F2-CH2OH，HO-(C2H4-O) m -CH2-(O-C2F4) p (OCF2) q -
OCH2-(OCH2CH2)n -OH ，F-(CF2CF2CF2O)n -CF2CF2CH2OH
と言ったようなアルコール変性パーフロオロポリエーテ
ル、又、分子の一方に、又は、一部にアルキル基などの
飽和炭化水素基、あるいは不飽和炭化水素基、若しくは
芳香族炭化水素基、その他の官能基が付いたもの等が挙
げられる。具体的には、モンテカチーニ社のＦＯＭＢＬ
ＩＮ Ｚ ＤＩＡＣやＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ、ダ
イキン工業社のデムナムＳＡ等がある。
膜、ダイヤモンドライクカーボン膜、及び金属薄膜型の
バックコート膜が成膜された後、フッ素系潤滑剤の膜が
浸漬あるいは超音波噴霧などの手段により２０〜７０Å
程度の厚さ設けられる。このフッ素系潤滑剤は、ダイヤ
モンドライクカーボン膜上に付けられる。あるいは、ダ
イヤモンドライクカーボン膜と金属薄膜型のバックコー
ト膜上に付けられる。勿論、両面に付ける方が好まし
い。潤滑剤としては、例えば-(C(R)F-CF2-O)p -（但
し、ＲはＦ，ＣＦ3 ，ＣＨ3 などの基）、特にHOOC-CF2
(O-C2F4)p (OCF2) q-OCF2-COOH ，F-(CF2CF2CF2O)n -CF
2CF2COOH と言ったようなカルボキシル基変性パーフロ
オロポリエーテル、HOCH2-CF2(O-C2F4) p (OCF2) q -OC
F2-CH2OH，HO-(C2H4-O) m -CH2-(O-C2F4) p (OCF2) q -
OCH2-(OCH2CH2)n -OH ，F-(CF2CF2CF2O)n -CF2CF2CH2OH
と言ったようなアルコール変性パーフロオロポリエーテ
ル、又、分子の一方に、又は、一部にアルキル基などの
飽和炭化水素基、あるいは不飽和炭化水素基、若しくは
芳香族炭化水素基、その他の官能基が付いたもの等が挙
げられる。具体的には、モンテカチーニ社のＦＯＭＢＬ
ＩＮ Ｚ ＤＩＡＣやＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ、ダ
イキン工業社のデムナムＳＡ等がある。
【００１７】
【実施例１】図１は、本発明になる磁気記録媒体（８ｍ
ｍＶＴＲ用磁気テープ）の第１実施例の概略図である。
図１中、１は７μｍ厚のＰＥＴフィルムである。２は、
ＰＥＴフィルム１の表面に斜め蒸着手段により設けた１
８００Å厚のＦｅ−Ｎ−Ｏ（Ｆｅ７０ａｔ％：Ｎ１５ａ
ｔ％：Ｏ１５ａｔ％）系金属磁性膜である。
ｍＶＴＲ用磁気テープ）の第１実施例の概略図である。
図１中、１は７μｍ厚のＰＥＴフィルムである。２は、
ＰＥＴフィルム１の表面に斜め蒸着手段により設けた１
８００Å厚のＦｅ−Ｎ−Ｏ（Ｆｅ７０ａｔ％：Ｎ１５ａ
ｔ％：Ｏ１５ａｔ％）系金属磁性膜である。
【００１８】３は、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属系磁性膜２上に
設けられた７５Å厚さのダイヤモンドライクカーボン膜
である。４は、ＰＥＴフィルム１の裏面に設けたＣｕ−
Ａｌ系合金からなる２０００Å厚の金属系膜（バックコ
ート膜）である。尚、この金属薄膜型の磁気記録媒体
は、先ず、ＰＥＴフィルム１を蒸着装置に装填し、装置
内のルツボに充填されたＣｕ−Ａｌ系合金に電子ビーム
を照射し、酸素ガスを導入しながらＰＥＴフィルム１の
裏面にＣｕ−Ａｌ系合金粒子を蒸着させた後、斜め蒸着
装置に案内し、装置内のルツボに充填されたＦｅ系金属
材料に電子ビームを照射し、窒素イオン及び酸素イオン
をイオンガンで照射しながらＰＥＴフィルム１の表面に
Ｆｅ系金属粒子を蒸着させる。その後、ＥＣＲプラズマ
ＣＶＤ装置に案内し、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属系磁性膜２上
にダイヤモンドライクカーボン膜３を設ける。
設けられた７５Å厚さのダイヤモンドライクカーボン膜
である。４は、ＰＥＴフィルム１の裏面に設けたＣｕ−
Ａｌ系合金からなる２０００Å厚の金属系膜（バックコ
ート膜）である。尚、この金属薄膜型の磁気記録媒体
は、先ず、ＰＥＴフィルム１を蒸着装置に装填し、装置
内のルツボに充填されたＣｕ−Ａｌ系合金に電子ビーム
を照射し、酸素ガスを導入しながらＰＥＴフィルム１の
裏面にＣｕ−Ａｌ系合金粒子を蒸着させた後、斜め蒸着
装置に案内し、装置内のルツボに充填されたＦｅ系金属
材料に電子ビームを照射し、窒素イオン及び酸素イオン
をイオンガンで照射しながらＰＥＴフィルム１の表面に
Ｆｅ系金属粒子を蒸着させる。その後、ＥＣＲプラズマ
ＣＶＤ装置に案内し、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属系磁性膜２上
にダイヤモンドライクカーボン膜３を設ける。
【００１９】５ａ，５ｂは、ダイヤモンドライクカーボ
ン膜３及びバックコート膜４の成膜後、超音波噴霧によ
り設けられた２０Å厚さのフッ素系潤滑剤（ＦＯＭＢＬ
ＩＮＺ ＤＩＡＣ）の膜である。
ン膜３及びバックコート膜４の成膜後、超音波噴霧によ
り設けられた２０Å厚さのフッ素系潤滑剤（ＦＯＭＢＬ
ＩＮＺ ＤＩＡＣ）の膜である。
【００２０】
【実施例２】実施例１において、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属系
磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ（Ｆｅ７５ａｔ％：Ｎ１５ａｔ
％：Ｏ１０ａｔ％）系金属磁性膜とした以外は実施例１
に準じて行った。
磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ（Ｆｅ７５ａｔ％：Ｎ１５ａｔ
％：Ｏ１０ａｔ％）系金属磁性膜とした以外は実施例１
に準じて行った。
【００２１】
【実施例３】実施例１において、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属系
磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ（Ｆｅ８０ａｔ％：Ｎ１０ａｔ
％：Ｏ１０ａｔ％）系金属磁性膜とした以外は実施例１
に準じて行った。
磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ（Ｆｅ８０ａｔ％：Ｎ１０ａｔ
％：Ｏ１０ａｔ％）系金属磁性膜とした以外は実施例１
に準じて行った。
【００２２】
【実施例４】実施例１において、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属系
磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ（Ｆｅ６５ａｔ％：Ｎ３０ａｔ
％：Ｏ５ａｔ％）系金属磁性膜とした以外は実施例１に
準じて行った。
磁性膜をＦｅ−Ｎ−Ｏ（Ｆｅ６５ａｔ％：Ｎ３０ａｔ
％：Ｏ５ａｔ％）系金属磁性膜とした以外は実施例１に
準じて行った。
【００２３】
【比較例１】実施例１において、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属系
磁性膜の代わりにＦｅ金属磁性膜とした以外は実施例１
に準じて行った。
磁性膜の代わりにＦｅ金属磁性膜とした以外は実施例１
に準じて行った。
【００２４】
【比較例２】実施例１において、Ｆｅ系金属粒子の蒸着
時に窒素イオンを照射せず、酸素ガスのみを照射し、Ｆ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属系磁性膜の代わりにＦｅ−Ｏ（Ｆｅ７
０ａｔ％：Ｏ３０ａｔ％）系金属磁性膜とした以外は実
施例１に準じて行った。
時に窒素イオンを照射せず、酸素ガスのみを照射し、Ｆ
ｅ−Ｎ−Ｏ系金属系磁性膜の代わりにＦｅ−Ｏ（Ｆｅ７
０ａｔ％：Ｏ３０ａｔ％）系金属磁性膜とした以外は実
施例１に準じて行った。
【００２５】
【比較例３】実施例１において、ダイヤモンドライクカ
ーボン膜３の代わりにＳｉのターゲットを用い、酸素ガ
スを流しながらＤＣマグネトロンスパッタリングにより
ＳｉＯx 膜を成膜した以外は実施例１に準じて行った。
ーボン膜３の代わりにＳｉのターゲットを用い、酸素ガ
スを流しながらＤＣマグネトロンスパッタリングにより
ＳｉＯx 膜を成膜した以外は実施例１に準じて行った。
【００２６】
【比較例４】実施例１において、フッ素系潤滑剤の代わ
りにミリスチン酸（潤滑剤）を用いた以外は実施例１に
準じて行った。
りにミリスチン酸（潤滑剤）を用いた以外は実施例１に
準じて行った。
【００２７】
【比較例５】実施例１において、２０００Å厚の金属系
膜４の代わりに、平均一次粒径が２０ｎｍのカーボンブ
ラックと平均一次粒径が６０ｎｍのカーボンブラックと
を１：１でバインダ樹脂中に添加した塗料を塗布・乾燥
して５０００Å厚のバックコート膜を形成した以外は実
施例１に準じて行った。
膜４の代わりに、平均一次粒径が２０ｎｍのカーボンブ
ラックと平均一次粒径が６０ｎｍのカーボンブラックと
を１：１でバインダ樹脂中に添加した塗料を塗布・乾燥
して５０００Å厚のバックコート膜を形成した以外は実
施例１に準じて行った。
【００２８】
【特性】上記各例で得た磁気テープについて、走行安定
性、耐久性、耐蝕性について調べたので、その結果を表
−１に示す。走行安定性は、ジッターの測定値を目安
に、耐久性はスチル耐久性の結果を目安に、耐蝕性は６
０℃、９０％ＲＨ下に１週間放置した後の飽和磁束密度
Ｂｓの低下率を目安とした。ジッターの測定は、市販の
Ｈｉ８ｍｍＶＴＲを改造したものを用い、これにジッタ
ーメータを繋いで測定し、スチル耐久性は３時間スチル
再生した時の７ＭＨｚでの輝度信号の出力低下をスペク
トルアナライザーを用いて測定した。
性、耐久性、耐蝕性について調べたので、その結果を表
−１に示す。走行安定性は、ジッターの測定値を目安
に、耐久性はスチル耐久性の結果を目安に、耐蝕性は６
０℃、９０％ＲＨ下に１週間放置した後の飽和磁束密度
Ｂｓの低下率を目安とした。ジッターの測定は、市販の
Ｈｉ８ｍｍＶＴＲを改造したものを用い、これにジッタ
ーメータを繋いで測定し、スチル耐久性は３時間スチル
再生した時の７ＭＨｚでの輝度信号の出力低下をスペク
トルアナライザーを用いて測定した。
【００２９】 表−１ ジッター（ｎｓ） スチル耐久性（ｄＢ） 耐蝕性ΔＢｓ（％） 実施例１ ４７ −０．３ ３ 実施例２ ４５ −０．５ ５ 実施例３ ４９ −０．６ ７ 実施例４ ４８ −０．５ ５ 比較例１ ７３ −２．８ ２３ 比較例２ ６１ −２．１ １２ 比較例３ ５１ −１．５ ９ 比較例４ ６４ −２．４ １１ 比較例５ ５８ −０．４ ３ これによれば、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、この上に
設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、このダイ
ヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ素系潤
滑剤の膜と、金属薄膜型のバックコート膜との組み合わ
せになる磁気記録媒体は、これらの構成要件が一つでも
欠けた比較例になる磁気記録媒体よりも優れたものであ
ることが判る。すなわち、本願発明の組み合わせが如何
に大事なものであるかが判る。
設けられたダイヤモンドライクカーボン膜と、このダイ
ヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ素系潤
滑剤の膜と、金属薄膜型のバックコート膜との組み合わ
せになる磁気記録媒体は、これらの構成要件が一つでも
欠けた比較例になる磁気記録媒体よりも優れたものであ
ることが判る。すなわち、本願発明の組み合わせが如何
に大事なものであるかが判る。
【００３０】例えば、実施例１と比較例１や比較例２と
の対比から判る通り、ダイヤモンドライクカーボン膜、
フッ素系潤滑剤の膜、金属薄膜型のバックコート膜の要
件が満たされても、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の要件を
欠いたならば、走行性、耐久性、及び耐蝕性が劣り、到
底に本願発明の特長を奏することが出来ない。又、実施
例１と比較例３との対比から判る通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系
金属磁性膜、フッ素系潤滑剤の膜、金属薄膜型のバック
コート膜の要件が満たされても、ダイヤモンドライクカ
ーボン膜の要件を欠いたならば、耐久性が劣り、到底に
本願発明の特長を奏することが出来ない。
の対比から判る通り、ダイヤモンドライクカーボン膜、
フッ素系潤滑剤の膜、金属薄膜型のバックコート膜の要
件が満たされても、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の要件を
欠いたならば、走行性、耐久性、及び耐蝕性が劣り、到
底に本願発明の特長を奏することが出来ない。又、実施
例１と比較例３との対比から判る通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系
金属磁性膜、フッ素系潤滑剤の膜、金属薄膜型のバック
コート膜の要件が満たされても、ダイヤモンドライクカ
ーボン膜の要件を欠いたならば、耐久性が劣り、到底に
本願発明の特長を奏することが出来ない。
【００３１】又、実施例１と比較例４との対比から判る
通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜、ダイヤモンドライク
カーボン膜、金属薄膜型のバックコート膜の要件が満た
されても、フッ素系潤滑剤の膜の要件を欠いたならば、
走行性、及び耐久性が劣り、到底に本願発明の特長を奏
することが出来ない。又、実施例１と比較例５との対比
から判る通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜、ダイヤモン
ドライクカーボン膜、フッ素系潤滑剤の膜の要件が満た
されても、金属薄膜型のバックコート膜の要件を欠いた
ならば、走行性が劣り、到底に本願発明の特長を奏する
ことが出来ない。
通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜、ダイヤモンドライク
カーボン膜、金属薄膜型のバックコート膜の要件が満た
されても、フッ素系潤滑剤の膜の要件を欠いたならば、
走行性、及び耐久性が劣り、到底に本願発明の特長を奏
することが出来ない。又、実施例１と比較例５との対比
から判る通り、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜、ダイヤモン
ドライクカーボン膜、フッ素系潤滑剤の膜の要件が満た
されても、金属薄膜型のバックコート膜の要件を欠いた
ならば、走行性が劣り、到底に本願発明の特長を奏する
ことが出来ない。
【００３２】
【発明の効果】安価なＦｅを用いて高密度記録に適した
磁気記録媒体が得られる。しかも、この磁気記録媒体は
走行性、耐久性、及び耐蝕性に優れたものである。
磁気記録媒体が得られる。しかも、この磁気記録媒体は
走行性、耐久性、及び耐蝕性に優れたものである。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の概略図
１ 支持体 ２ 金属磁性膜 ３ ダイヤモンドライクカーボン膜 ４ 金属系膜（バックコート膜） ５ａ，５ｂ フッ素系潤滑剤の膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石川 准子 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 支持体と、 該支持体の一面側に設けられたＦｅ，Ｎ及びＯを有する
一層または二層以上のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、 該Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダイヤモ
ンドライクカーボン膜と、 該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ
素系潤滑剤の膜と、 該支持体の他面側に設けられた金属薄膜型のバックコー
ト膜とを具備することを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 支持体と、 該支持体の一面側に設けられたＦｅ，Ｎ及びＯを有する
一層または二層以上のＦｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜と、 該Ｆｅ−Ｎ−Ｏ系金属磁性膜の上に設けられたダイヤモ
ンドライクカーボン膜と、 該ダイヤモンドライクカーボン膜の上に設けられたフッ
素系潤滑剤の膜と、 該支持体の他面側に設けられた金属薄膜型のバックコー
ト膜と、 該バックコート膜の上に設けられたフッ素系潤滑剤の膜
とを具備することを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20100895A JPH0954932A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20100895A JPH0954932A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0954932A true JPH0954932A (ja) | 1997-02-25 |
Family
ID=16433971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20100895A Pending JPH0954932A (ja) | 1995-08-07 | 1995-08-07 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0954932A (ja) |
-
1995
- 1995-08-07 JP JP20100895A patent/JPH0954932A/ja active Pending
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