JPH095513A - カラーフィルタ用の転写装置 - Google Patents
カラーフィルタ用の転写装置Info
- Publication number
- JPH095513A JPH095513A JP17277495A JP17277495A JPH095513A JP H095513 A JPH095513 A JP H095513A JP 17277495 A JP17277495 A JP 17277495A JP 17277495 A JP17277495 A JP 17277495A JP H095513 A JPH095513 A JP H095513A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer
- substrate
- color filter
- roller
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カラーフィルタを転写フィルムから基板に
転写して製造する装置に於いて、転写効率を損なうこと
なく、カラーフィルタの画素間の相対的位置精度を向上
させたカラーフィルタを得る。 【構成】 カラーフィルタ用転写装置に於いて、転写ロ
ーラに吸着機構を設けるとともに基板と転写ローラの位
置合わせを行うことにより上記目的を得る。
転写して製造する装置に於いて、転写効率を損なうこと
なく、カラーフィルタの画素間の相対的位置精度を向上
させたカラーフィルタを得る。 【構成】 カラーフィルタ用転写装置に於いて、転写ロ
ーラに吸着機構を設けるとともに基板と転写ローラの位
置合わせを行うことにより上記目的を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、支持体上に異なる分光
特性の転写フィルムを用いて、複数色の着色画素を備え
たカラーフィルタを製造する型押し転写装置に関する。
特性の転写フィルムを用いて、複数色の着色画素を備え
たカラーフィルタを製造する型押し転写装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶用カラーフィルタの製造プロセス
は、量産性、経済性の面を考慮して種々の方法が提案さ
れている。このうち、特開昭６３ー１８７２０３のよう
に予めフィルム状に感光性樹脂を形成し、これを事後に
熱等で圧着し、これを露光現像して着色パターンを得る
方法が有力な方法として提案されている。この方法に依
れば、予め塗布膜が形成されているので、塗布時の乾燥
時間が不要になり量産適応性が良好になると共に、感光
性樹脂を有効に使用することが出来るので経済性に富ん
でいる。しかし、相変わらず現像工程は必要であり、更
に工程の短縮化を中心とした改善が望まれていた。この
中で「型押し転写法」が有力な方法として提案されてい
る。「型押し転写法」とは、凹凸を有する転写ローラを
転写しを介して基板に直接転写せしめて、微細な着色パ
ターンを得る方法で現像工程をも不要とするものであ
る。また、これを実現せしめるための型押し転写装置と
して、以下の様なものが提案されている。 Ａ．基板上に転写フィルムを重ねた後、版胴上に形成さ
れた押し型で転写材を接着層を介して基板に接着したも
の（特開平４ー９９０３号「型押転写法」）。 Ｂ．転写フィルムは連続フィルムとして、押し型は連続
的に製造し易く円筒状としたもの（特開平４ー１０００
０５号「転写によるカラーフィルタの製造方法」）。
は、量産性、経済性の面を考慮して種々の方法が提案さ
れている。このうち、特開昭６３ー１８７２０３のよう
に予めフィルム状に感光性樹脂を形成し、これを事後に
熱等で圧着し、これを露光現像して着色パターンを得る
方法が有力な方法として提案されている。この方法に依
れば、予め塗布膜が形成されているので、塗布時の乾燥
時間が不要になり量産適応性が良好になると共に、感光
性樹脂を有効に使用することが出来るので経済性に富ん
でいる。しかし、相変わらず現像工程は必要であり、更
に工程の短縮化を中心とした改善が望まれていた。この
中で「型押し転写法」が有力な方法として提案されてい
る。「型押し転写法」とは、凹凸を有する転写ローラを
転写しを介して基板に直接転写せしめて、微細な着色パ
ターンを得る方法で現像工程をも不要とするものであ
る。また、これを実現せしめるための型押し転写装置と
して、以下の様なものが提案されている。 Ａ．基板上に転写フィルムを重ねた後、版胴上に形成さ
れた押し型で転写材を接着層を介して基板に接着したも
の（特開平４ー９９０３号「型押転写法」）。 Ｂ．転写フィルムは連続フィルムとして、押し型は連続
的に製造し易く円筒状としたもの（特開平４ー１０００
０５号「転写によるカラーフィルタの製造方法」）。
【０００３】
【発明が解決しようとしている課題】しかし、いずれの
転写装置においても各画素間の相対的位置合わせの問題
が未解決であり、転写装置で製造されたカラーフィルタ
の品質は不十分なものであった。そこで本発明では転写
装置の有する生産効率を損なうことなく、各画素間の相
対的良いカラーフィルタ用転写装置を提供することにあ
る。
転写装置においても各画素間の相対的位置合わせの問題
が未解決であり、転写装置で製造されたカラーフィルタ
の品質は不十分なものであった。そこで本発明では転写
装置の有する生産効率を損なうことなく、各画素間の相
対的良いカラーフィルタ用転写装置を提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】具体的には、第１の手段
として、転写フィルム供給部と、基板供給部と、転写フ
ィルムと基板とを転写ローラで前記基板に転写する転写
部と、前記転写フィルムと基板を同時に排出する排出部
を設けたカラーフィルタ用の転写装置において、該転写
ローラに、カラーフィルタのレリーフパターンが形成さ
れており、かつ、前記転写フィルムを吸引する吸引部を
設けたことを特徴とするカラーフィルタ用の転写装置を
提供する。また、第２の手段として、上記転写装置にお
いて、転写部の前に基板と転写ローラと相対的な位置合
わせ機構を備えたことを特徴とするカラーフィルタ用の
転写装置を提供するものである。
として、転写フィルム供給部と、基板供給部と、転写フ
ィルムと基板とを転写ローラで前記基板に転写する転写
部と、前記転写フィルムと基板を同時に排出する排出部
を設けたカラーフィルタ用の転写装置において、該転写
ローラに、カラーフィルタのレリーフパターンが形成さ
れており、かつ、前記転写フィルムを吸引する吸引部を
設けたことを特徴とするカラーフィルタ用の転写装置を
提供する。また、第２の手段として、上記転写装置にお
いて、転写部の前に基板と転写ローラと相対的な位置合
わせ機構を備えたことを特徴とするカラーフィルタ用の
転写装置を提供するものである。
【０００５】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１は本発明の主要構成を含むカラーフィルタ用転写装置
の一実施例を示したものである。これに基づき以下に説
明する。転写フィルム１７は連続したロールとして本装
置の供給部１１１にセットする。この供給部１１１では
ロールは１本であるが、さらに生産能率を向上させるな
らば、ロールを複数セットでき、かつ、自動的にフィル
ムを接続できるオートペースターを使用しても良い。ま
た、転写フィルム１７は少なくとも支持フィルム上に着
色フィルムを均一に形成されたものからなる。排出部１
９である巻取りが転写フィルムの供給部よりフィルムを
引っ張る。供給部１１１からの転写フィルム１７はテン
ションコントロール用の第１のダンサーローラ１８を経
由した後、検査部に至る。テンションコントロール用の
ダンサーローラ１８は５から３０キログラム等の重りが
設定されており、ダンサーローラの位置が変化すること
でテンションが一定に保たれる。つまり、転写フィルム
１７が強く引っ張られるとダンサーローラはテンション
を小さくして設定値になるように下に下がる。逆に転写
フィルムがゆるむとダンサーローラはテンションを大き
くするように上に上がる。
１は本発明の主要構成を含むカラーフィルタ用転写装置
の一実施例を示したものである。これに基づき以下に説
明する。転写フィルム１７は連続したロールとして本装
置の供給部１１１にセットする。この供給部１１１では
ロールは１本であるが、さらに生産能率を向上させるな
らば、ロールを複数セットでき、かつ、自動的にフィル
ムを接続できるオートペースターを使用しても良い。ま
た、転写フィルム１７は少なくとも支持フィルム上に着
色フィルムを均一に形成されたものからなる。排出部１
９である巻取りが転写フィルムの供給部よりフィルムを
引っ張る。供給部１１１からの転写フィルム１７はテン
ションコントロール用の第１のダンサーローラ１８を経
由した後、検査部に至る。テンションコントロール用の
ダンサーローラ１８は５から３０キログラム等の重りが
設定されており、ダンサーローラの位置が変化すること
でテンションが一定に保たれる。つまり、転写フィルム
１７が強く引っ張られるとダンサーローラはテンション
を小さくして設定値になるように下に下がる。逆に転写
フィルムがゆるむとダンサーローラはテンションを大き
くするように上に上がる。
【０００６】そして、検査部のＣＣＤカメラ１１４の前
面へ移動する。ここでは図示していないが検査に先立っ
て、除塵装置にて両面から転写フィルムにエアを吹き付
けて埃、塵等を落とすことにより、歩留まり面で有利と
なる。この際、不良部位が検出されるとその位置データ
に基づき不良の転写フィルムは転写されずにそのまま排
紙される。転写フィルム１７は、カラーフィルタ用のガ
ラス基板１３に転写すべく第２のダンサーローラ１８’
へ移動する。併せてガラス基板１３が基板供給部より供
給されて、両者は転写部にある凹凸の画素のレリーフパ
ターンを有する転写ローラ１１と押圧ローラ１２で挟ま
れ押圧される。カラーフィルタを形成するガラス基板１
３は基板加熱部１６により上下両面より８０度〜９０度
に加熱する。一般に転写フィルム１７は高温で加熱する
と伸びてテンションの調整がしにくくなるので予備加熱
をするのであれば、５０℃以下が望ましい。加熱された
ガラス基板の温度が変化しない様に押圧ローラ１２内に
加熱部を設けて、ガラス基板を別途、加熱してもよい。
面へ移動する。ここでは図示していないが検査に先立っ
て、除塵装置にて両面から転写フィルムにエアを吹き付
けて埃、塵等を落とすことにより、歩留まり面で有利と
なる。この際、不良部位が検出されるとその位置データ
に基づき不良の転写フィルムは転写されずにそのまま排
紙される。転写フィルム１７は、カラーフィルタ用のガ
ラス基板１３に転写すべく第２のダンサーローラ１８’
へ移動する。併せてガラス基板１３が基板供給部より供
給されて、両者は転写部にある凹凸の画素のレリーフパ
ターンを有する転写ローラ１１と押圧ローラ１２で挟ま
れ押圧される。カラーフィルタを形成するガラス基板１
３は基板加熱部１６により上下両面より８０度〜９０度
に加熱する。一般に転写フィルム１７は高温で加熱する
と伸びてテンションの調整がしにくくなるので予備加熱
をするのであれば、５０℃以下が望ましい。加熱された
ガラス基板の温度が変化しない様に押圧ローラ１２内に
加熱部を設けて、ガラス基板を別途、加熱してもよい。
【０００７】基板と転写ローラに形成されたレリーフパ
ターンとの相対的位置合わせは、以下のように行う。図
３は、本発明の一実施例のうち基板３２と転写ローラ３
６上に形成された一定レリーフパターンとの位置合わせ
装置の主要構成部を示したものである。図３において、
基板３２は、搬送ローラ３３により搬送され、この際に
プレアライメント動作が同時に成される。即ち、左右方
向の第１の位置決め部材である「へ」の字型の揺動板３
１が基板３２の進行する方向に対して直交する方向に揺
動することにより基板の概ねの位置調整を行う。プレア
ライメントが終了した基板３２は、上昇する前進方向の
位置決め部材であるストッパー３５で一時停止される。
この後、転写ローラ３６の回転に同期したロータリーエ
ンコーダ３７による第一のタイミング信号と、基板のエ
ッジ検知を行うタイミングセンサ３４からのタイミング
信号と、を入力する制御部により転写ローラ３６と基板
３２との重ね合わせのタイミングがとれるときにストッ
パー３５が下降して基板３２は転写ローラ３６方向へ移
動を開始する。
ターンとの相対的位置合わせは、以下のように行う。図
３は、本発明の一実施例のうち基板３２と転写ローラ３
６上に形成された一定レリーフパターンとの位置合わせ
装置の主要構成部を示したものである。図３において、
基板３２は、搬送ローラ３３により搬送され、この際に
プレアライメント動作が同時に成される。即ち、左右方
向の第１の位置決め部材である「へ」の字型の揺動板３
１が基板３２の進行する方向に対して直交する方向に揺
動することにより基板の概ねの位置調整を行う。プレア
ライメントが終了した基板３２は、上昇する前進方向の
位置決め部材であるストッパー３５で一時停止される。
この後、転写ローラ３６の回転に同期したロータリーエ
ンコーダ３７による第一のタイミング信号と、基板のエ
ッジ検知を行うタイミングセンサ３４からのタイミング
信号と、を入力する制御部により転写ローラ３６と基板
３２との重ね合わせのタイミングがとれるときにストッ
パー３５が下降して基板３２は転写ローラ３６方向へ移
動を開始する。
【０００８】次に転写部について図２を用いて説明す
る。図２（ａ）は転写部の正面図である。図３（ｂ）は
転写部のＡーＡ断面図であり、図３（ｃ）は転写ローラ
上に形成されたモザイク型の場合の「Ｒ」用のレリーフ
パターンを示す図である。図２（ａ）に示す中央は型押
し部として「Ｒ」用のレリーフパターンである。転写フ
ィルムを基板に転写するに際しては図２（Ａ）のシリン
ダーが下降して、押圧ローラとの間に発生した圧力によ
りレリーフパターンの転写が実現される。尚、レリーフ
パターンはカラーフィルターに使用される大きさになる
ため、１画素の大きさ１００μｍ程度である。レリーフ
の高さは通常１０から５０μｍ程度が望ましいが、転写
フィルムの厚みに合わせて適宜変更する。
る。図２（ａ）は転写部の正面図である。図３（ｂ）は
転写部のＡーＡ断面図であり、図３（ｃ）は転写ローラ
上に形成されたモザイク型の場合の「Ｒ」用のレリーフ
パターンを示す図である。図２（ａ）に示す中央は型押
し部として「Ｒ」用のレリーフパターンである。転写フ
ィルムを基板に転写するに際しては図２（Ａ）のシリン
ダーが下降して、押圧ローラとの間に発生した圧力によ
りレリーフパターンの転写が実現される。尚、レリーフ
パターンはカラーフィルターに使用される大きさになる
ため、１画素の大きさ１００μｍ程度である。レリーフ
の高さは通常１０から５０μｍ程度が望ましいが、転写
フィルムの厚みに合わせて適宜変更する。
【０００９】併せて、転写ローラには、転写フィルムを
固定するための吸引口が、レリーフパターンの間に形成
される。図２（ａ）の転写ローラのＡ〜Ａ’の断面を図
２（ｂ）に示す。転写ローラ２５には、固定された転写
ローラ支持体２１に吸着室２４が設けられ、これが、吸
引路を介して、吸引口２３と繋がっている。従って、転
写ローラ３５が回転することにより、吸引口２３と吸引
室２４と繋がったときに吸引が開始され、転写フィルム
が固定される。この様な機構により、転写フィルムを必
要な回転角に来たときのみ吸着による転写ローラ上の固
定を図っている。
固定するための吸引口が、レリーフパターンの間に形成
される。図２（ａ）の転写ローラのＡ〜Ａ’の断面を図
２（ｂ）に示す。転写ローラ２５には、固定された転写
ローラ支持体２１に吸着室２４が設けられ、これが、吸
引路を介して、吸引口２３と繋がっている。従って、転
写ローラ３５が回転することにより、吸引口２３と吸引
室２４と繋がったときに吸引が開始され、転写フィルム
が固定される。この様な機構により、転写フィルムを必
要な回転角に来たときのみ吸着による転写ローラ上の固
定を図っている。
【００１０】図２に示す転写ローラにより、基板に画素
パターンが転写後、基板は排出部へ移動する。即ち、図
１において、転写済みのフィルム１１１は第４のダンサ
ーローラ１８”’を経て支持フィルム巻き取り部１９に
巻き取られ、カラーフィルタ基板１３は着色層１４を形
成されて排出口より排出される。このカラーフィルタ用
転写装置を用いて基板上にカラーフィルタを形成した結
果、画素間の相対位置精度の高いカラーフィルタを効率
よく生産できたのみならず、これを用いたカラー液晶表
示装置は優れた画質を示した。
パターンが転写後、基板は排出部へ移動する。即ち、図
１において、転写済みのフィルム１１１は第４のダンサ
ーローラ１８”’を経て支持フィルム巻き取り部１９に
巻き取られ、カラーフィルタ基板１３は着色層１４を形
成されて排出口より排出される。このカラーフィルタ用
転写装置を用いて基板上にカラーフィルタを形成した結
果、画素間の相対位置精度の高いカラーフィルタを効率
よく生産できたのみならず、これを用いたカラー液晶表
示装置は優れた画質を示した。
【００１１】
【発明の作用並びに効果】第１の発明では、転写ローラ
に形成された吸着装置により転写フィルムが固定され、
転写の際の転写フィルムのずれを防ぐことが出来る。従
って、このずれに起因した画素の位置合わせ精度の劣化
を防ぐことが出来る。第２の発明では、また、予め基板
を所定位置に誘導して、転写ローラに形成されたレリー
フパターンとの相対的位置合わせを実現せしめるもので
ある。
に形成された吸着装置により転写フィルムが固定され、
転写の際の転写フィルムのずれを防ぐことが出来る。従
って、このずれに起因した画素の位置合わせ精度の劣化
を防ぐことが出来る。第２の発明では、また、予め基板
を所定位置に誘導して、転写ローラに形成されたレリー
フパターンとの相対的位置合わせを実現せしめるもので
ある。
【図１】本発明の一実施例の主要構成を含むカラーフィ
ルタ用の転写装置示した図
ルタ用の転写装置示した図
【図２】本発明の一実施例のうち転写ローラの正面図
（ａ）、これをＡ〜Ａ’で切断した断面図（ｂ）、転写
ローラに形成されたレリーフパターンの一例を示した図
（ｃ）
（ａ）、これをＡ〜Ａ’で切断した断面図（ｂ）、転写
ローラに形成されたレリーフパターンの一例を示した図
（ｃ）
【図３】基板と転写ローラ上のレリーフパターンの相対
的位置合わせを行うための装置の一例を示す図
的位置合わせを行うための装置の一例を示す図
１１ 転写ローラ １２ 押圧ローラ １３ 基板 １４ 画素 １５ ストッパー １６ 基板加熱部 １７ 転写フィルム １８ 第一ダンサローラ １８’ 第二ダンサローラ １８” 第三ダンサローラ １８”’ 第四ダンサローラ １９ 排出部（巻取装置） １１０ 転写フィルム排出部（巻取装置） １１１ 転写フィルム供給部 １１２ 第一ニップローラ １１２’ 第二ニップローラ １１３ 剥離ローラ １１４ 検査カメラ １１５ 検査用照明拡散板 １１６ 検査用光源 ２１ 転写ローラ支持体 ２２ レリーフパターン ２３ 吸引口 ２４ 吸引室 ２５ 転写ローラ ３１ 揺動板 ３２ 基板 ３３ ローラ ３４ センサ ３５ ストッパー ３６ 転写ローラ ３７ ロータリーエンコーダを含む位置出し機構
Claims (2)
- 【請求項１】転写フィルム供給部と、基板供給部と、転
写フィルムと基板とを転写ローラで前記基板に転写する
転写部と、前記転写フィルムと基板を同時に排出する排
出部を設けたカラーフィルタ用の転写装置において、該
転写ローラに、カラーフィルタのレリーフパターンが形
成されており、かつ、前記転写フィルムを吸引する吸引
部を設けたことを特徴とするカラーフィルタ用の転写装
置。 - 【請求項２】上記転写装置において、転写部の前に基板
と転写ローラと相対的な位置合わせ機構を備えたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のカラーフィルタ
用の転写装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17277495A JPH095513A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | カラーフィルタ用の転写装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17277495A JPH095513A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | カラーフィルタ用の転写装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH095513A true JPH095513A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15948099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17277495A Withdrawn JPH095513A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | カラーフィルタ用の転写装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH095513A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003104622A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Dainippon Printing Co Ltd | 転写フィルムの吸着方法、吸着装置及び転写フィルム供給用のカートリッジ |
-
1995
- 1995-06-15 JP JP17277495A patent/JPH095513A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003104622A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Dainippon Printing Co Ltd | 転写フィルムの吸着方法、吸着装置及び転写フィルム供給用のカートリッジ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4777682B2 (ja) | スキャン露光装置 | |
| TWI662373B (zh) | Exposure device | |
| JP2002176091A (ja) | 基板搬送装置及び方法 | |
| JP3705202B2 (ja) | 連続体シートの印刷方法および印刷装置 | |
| CN102834778A (zh) | 曝光装置、基板处理装置以及器件制造方法 | |
| CN101460897B (zh) | 曝光方法以及曝光装置 | |
| TWI273627B (en) | Photosensitive resin transfer printing equipment and methods | |
| CN113766735A (zh) | 薄膜处理系统和方法 | |
| TWI481971B (zh) | 曝光方法及曝光裝置 | |
| JPH095513A (ja) | カラーフィルタ用の転写装置 | |
| TWI888740B (zh) | 捲對捲表面壓合裝置 | |
| JPH08234015A (ja) | 転写装置 | |
| JPH08286022A (ja) | カラーフィルタ用の転写装置 | |
| JPS60170801A (ja) | 簡易校正装置 | |
| JP2003322715A (ja) | パターン部材の製造方法及び製造装置 | |
| JPH08122521A (ja) | 転写装置 | |
| CN113752148A (zh) | 薄膜处理系统和方法 | |
| JP2011073414A (ja) | ロール形態の被印刷物を印刷する印刷機及びこれを用いた印刷方法 | |
| JP3678450B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法及びその方法に用いる製造装置 | |
| JP2745613B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH08190012A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び製造装置 | |
| JP4409256B2 (ja) | カラーフィルタ製造装置、及びカラーフィルタ製造方法 | |
| JPH08220336A (ja) | 転写装置 | |
| JPH08240706A (ja) | カラーフィルタ用転写装置 | |
| JP4752256B2 (ja) | カラーフィルタ用多面付け基板 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020903 |