JPH0961028A - 真空蒸気による低温冷却システム - Google Patents
真空蒸気による低温冷却システムInfo
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- JPH0961028A JPH0961028A JP23604595A JP23604595A JPH0961028A JP H0961028 A JPH0961028 A JP H0961028A JP 23604595 A JP23604595 A JP 23604595A JP 23604595 A JP23604595 A JP 23604595A JP H0961028 A JPH0961028 A JP H0961028A
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 34
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 34
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 101100298222 Caenorhabditis elegans pot-1 gene Proteins 0.000 abstract 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002537 cosmetic Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【課題】大気圧より低い圧力、いわゆる真空の飽和蒸気
による冷却によって、均一な冷却を行い得るようにする
と共に、飽和蒸気に移転して来た熱を効果的にシステム
外に取り出し得るようにし、高精度の冷却を行い得るよ
うにせんとするものである。 【解決手段】被冷却物を収納する冷却手段の外部に外気
と遮断される蒸気圧スペースを設け、該蒸気圧スペース
内に大気圧より低い圧力の飽和蒸気を圧力制御しつつ供
給し、蒸気圧スペース内に生じて来るドレン水を圧力に
より作動するポンプを介して外部へ排出すると共に、蒸
気圧スペースの外部に冷却水を流動させて被冷却物から
蒸気に移転した熱をシステム外に取り出すようにしたこ
とを特徴とする。
による冷却によって、均一な冷却を行い得るようにする
と共に、飽和蒸気に移転して来た熱を効果的にシステム
外に取り出し得るようにし、高精度の冷却を行い得るよ
うにせんとするものである。 【解決手段】被冷却物を収納する冷却手段の外部に外気
と遮断される蒸気圧スペースを設け、該蒸気圧スペース
内に大気圧より低い圧力の飽和蒸気を圧力制御しつつ供
給し、蒸気圧スペース内に生じて来るドレン水を圧力に
より作動するポンプを介して外部へ排出すると共に、蒸
気圧スペースの外部に冷却水を流動させて被冷却物から
蒸気に移転した熱をシステム外に取り出すようにしたこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、１００℃近傍若しく
はこれより低い温度での冷却に好適な冷却システムに関
する。
はこれより低い温度での冷却に好適な冷却システムに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、種々の製品の製造工程において、
製品や材料の冷却処理が行われている。１００〜３００
℃程度の比較的高い温度での冷却は、一般に蒸気が使用
されているが、１００℃近傍若しくはこれより低い温度
での冷却、いわゆる低温冷却では、水又は蒸気が使用さ
れる。従来の低温冷却にあっては、水又は蒸気のいずれ
の熱源を用いた場合でも、製品の品質や生産性を阻害す
る多くの問題点があった。
製品や材料の冷却処理が行われている。１００〜３００
℃程度の比較的高い温度での冷却は、一般に蒸気が使用
されているが、１００℃近傍若しくはこれより低い温度
での冷却、いわゆる低温冷却では、水又は蒸気が使用さ
れる。従来の低温冷却にあっては、水又は蒸気のいずれ
の熱源を用いた場合でも、製品の品質や生産性を阻害す
る多くの問題点があった。
【０００３】すなわち、水による冷却にあっては、顕熱
冷却であるため温度差による冷却ムラがあると共に、１
００℃前後の温度設定が難しく、温度降下や設定温度の
変更に時間を要する欠点があった。
冷却であるため温度差による冷却ムラがあると共に、１
００℃前後の温度設定が難しく、温度降下や設定温度の
変更に時間を要する欠点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、大気圧よ
り低い圧力、いわゆる真空の飽和蒸気による冷却によっ
て、均一な冷却を行い得るようにすると共に、飽和蒸気
に移転して来た熱を効果的にシステム外に取り出し得る
ようにし、高精度の冷却を行い得るようにせんとするも
のである。
り低い圧力、いわゆる真空の飽和蒸気による冷却によっ
て、均一な冷却を行い得るようにすると共に、飽和蒸気
に移転して来た熱を効果的にシステム外に取り出し得る
ようにし、高精度の冷却を行い得るようにせんとするも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明が採った手段は、被冷却物を収納する冷却
手段の外部に外気と遮断される蒸気圧スペースを設け、
該蒸気圧スペース内に大気圧より低い圧力の飽和蒸気を
圧力制御しつつ供給し、蒸気圧スペース内に生じて来る
ドレン水を圧力により作動するポンプを介して外部へ排
出すると共に、蒸気圧スペースの外部に冷却水を流動さ
せて被冷却物から蒸気に移転した熱をシステム外に取り
出すようにしたことを特徴とする。
に、この発明が採った手段は、被冷却物を収納する冷却
手段の外部に外気と遮断される蒸気圧スペースを設け、
該蒸気圧スペース内に大気圧より低い圧力の飽和蒸気を
圧力制御しつつ供給し、蒸気圧スペース内に生じて来る
ドレン水を圧力により作動するポンプを介して外部へ排
出すると共に、蒸気圧スペースの外部に冷却水を流動さ
せて被冷却物から蒸気に移転した熱をシステム外に取り
出すようにしたことを特徴とする。
【０００６】更に、冷却手段が、一定量の被冷却物を収
納しうるタンク状部材からなり、該タンク状部材の外周
面に蒸気圧スペースが区画して形成され、該蒸気圧スペ
ースの外周面に冷却水を収納するスペースが区画して形
成されていることを特徴とする。
納しうるタンク状部材からなり、該タンク状部材の外周
面に蒸気圧スペースが区画して形成され、該蒸気圧スペ
ースの外周面に冷却水を収納するスペースが区画して形
成されていることを特徴とする。
【０００７】更に、冷却手段が、一定量の被冷却物を収
納しうるタンク状部材からなり、該タンク状部材の外周
面に蒸気圧スペースが区画して形成され、該蒸気圧スペ
ースの外周面に冷却水を流過させるコイルが巻装されて
いることを特徴とする。
納しうるタンク状部材からなり、該タンク状部材の外周
面に蒸気圧スペースが区画して形成され、該蒸気圧スペ
ースの外周面に冷却水を流過させるコイルが巻装されて
いることを特徴とする。
【０００８】又、冷却手段が、被冷却物を一方から他方
に流過せしめ得る管状部材からなり、該管状部材の外周
に蒸気圧スペースが配置され、該管状部材の外周に冷却
水の流動スペースが配置されていることを特徴とする。
に流過せしめ得る管状部材からなり、該管状部材の外周
に蒸気圧スペースが配置され、該管状部材の外周に冷却
水の流動スペースが配置されていることを特徴とする。
【０００９】
【作 用】蒸気圧スペース内に大気圧より低い圧力の飽
和蒸気を圧力制御しつつ供給し、冷却手段内の被冷却物
を冷却する。冷却により被冷却物から飽和蒸気に移転し
て来た熱は冷却水に移転させてシステム外に取り出され
る。又、蒸気スペース内に生じて来る蒸気が還元したド
レン水は圧力により作動するポンプを介して外部へ排出
される。
和蒸気を圧力制御しつつ供給し、冷却手段内の被冷却物
を冷却する。冷却により被冷却物から飽和蒸気に移転し
て来た熱は冷却水に移転させてシステム外に取り出され
る。又、蒸気スペース内に生じて来る蒸気が還元したド
レン水は圧力により作動するポンプを介して外部へ排出
される。
【００１０】
【発明の実施の形態】この発明の好ましい実施の形態を
詳細に説明する。この発明の冷却システムは、被冷却物
を収納、保持する冷却手段と、該冷却手段の外部に配置
される蒸気圧スペースと、該蒸気圧スペースの外部に配
置される冷却水スペースとを備えており、蒸気圧スペー
スには大気圧より低い圧力の飽和蒸気が圧力制御されつ
つ供給され、被冷却物との間で熱交換して被冷却物の熱
を奪い、被冷却物を所定の温度に冷却する。冷却水スペ
ースには飽和蒸気より低い温度の冷却水が送給され、飽
和蒸気に被冷却物から移転して来た熱を取り出してシス
テム外に運び去り、飽和蒸気を所定の温度に維持する。
冷却手段は、被冷却物を収納して飽和蒸気との間で熱交
換を行うことが可能なものであれば良く、例えば被冷却
物を収納しうる管状部材若しくはタンク状部材からな
る。冷却手段が管状部材である場合、液体の如き流動性
を有する被冷却物を連続的に流過させて、連続的に冷却
処理することが可能となる。又、冷却手段が一定の容量
の被冷却物を収納するタンク状部材である場合、一定量
の被冷却物をバッチ方式で冷却処理するのに好適であ
る。
詳細に説明する。この発明の冷却システムは、被冷却物
を収納、保持する冷却手段と、該冷却手段の外部に配置
される蒸気圧スペースと、該蒸気圧スペースの外部に配
置される冷却水スペースとを備えており、蒸気圧スペー
スには大気圧より低い圧力の飽和蒸気が圧力制御されつ
つ供給され、被冷却物との間で熱交換して被冷却物の熱
を奪い、被冷却物を所定の温度に冷却する。冷却水スペ
ースには飽和蒸気より低い温度の冷却水が送給され、飽
和蒸気に被冷却物から移転して来た熱を取り出してシス
テム外に運び去り、飽和蒸気を所定の温度に維持する。
冷却手段は、被冷却物を収納して飽和蒸気との間で熱交
換を行うことが可能なものであれば良く、例えば被冷却
物を収納しうる管状部材若しくはタンク状部材からな
る。冷却手段が管状部材である場合、液体の如き流動性
を有する被冷却物を連続的に流過させて、連続的に冷却
処理することが可能となる。又、冷却手段が一定の容量
の被冷却物を収納するタンク状部材である場合、一定量
の被冷却物をバッチ方式で冷却処理するのに好適であ
る。
【００１１】飽和蒸気は、圧力が一定であれば一定の温
度を維持しており、負荷によって温度の変化が生じない
特性を有しているため、正確な温度の管理が出来る利点
がある。大気圧より低い圧力の真空飽和蒸気は、１００
℃近傍又はこれより低い温度で被冷却物を冷却するのに
適している。尚、実際の冷却処理に際しては、若干の温
度の誤差は許容される場合が多く、飽和蒸気でなく若干
温度が高い過熱蒸気でも実際上は問題のない冷却処理を
達成することが可能である。したがって、この明細書に
おいて使用される飽和蒸気は、実際の冷却処理において
温度誤差が許容される範囲の過熱蒸気を含む言葉として
定義される。
度を維持しており、負荷によって温度の変化が生じない
特性を有しているため、正確な温度の管理が出来る利点
がある。大気圧より低い圧力の真空飽和蒸気は、１００
℃近傍又はこれより低い温度で被冷却物を冷却するのに
適している。尚、実際の冷却処理に際しては、若干の温
度の誤差は許容される場合が多く、飽和蒸気でなく若干
温度が高い過熱蒸気でも実際上は問題のない冷却処理を
達成することが可能である。したがって、この明細書に
おいて使用される飽和蒸気は、実際の冷却処理において
温度誤差が許容される範囲の過熱蒸気を含む言葉として
定義される。
【００１２】真空飽和蒸気は、圧力制御手段で所定の圧
力に制御されつつ蒸気圧スペースに供給される。蒸気圧
スペース内で蒸気が還元した水は、制御された圧力を有
する蒸気圧で作動するプレッシャーポンプの如き圧力作
動ポンプでドレン抜きされる。かかるドレン抜き手段に
より、大気圧以下の圧力である蒸気圧スペース内のドレ
ン水を効果的に抜き出すことが出来、蒸気圧スペース内
にドレン水が滞留することがないため、ドレン水の滞留
による冷却ムラやウォーターハンマーの発生を防止する
ことが出来、被冷却物を均一に冷却することが可能とな
る。
力に制御されつつ蒸気圧スペースに供給される。蒸気圧
スペース内で蒸気が還元した水は、制御された圧力を有
する蒸気圧で作動するプレッシャーポンプの如き圧力作
動ポンプでドレン抜きされる。かかるドレン抜き手段に
より、大気圧以下の圧力である蒸気圧スペース内のドレ
ン水を効果的に抜き出すことが出来、蒸気圧スペース内
にドレン水が滞留することがないため、ドレン水の滞留
による冷却ムラやウォーターハンマーの発生を防止する
ことが出来、被冷却物を均一に冷却することが可能とな
る。
【００１３】冷却スペースには、真空飽和蒸気の温度よ
り所定温度低い温度の冷却水が送られており、真空飽和
蒸気に被冷却物から移転して来た熱を冷却水が熱交換し
て取り出してシステム外に運び出し、真空飽和蒸気が過
熱状態となるのを防止している。
り所定温度低い温度の冷却水が送られており、真空飽和
蒸気に被冷却物から移転して来た熱を冷却水が熱交換し
て取り出してシステム外に運び出し、真空飽和蒸気が過
熱状態となるのを防止している。
【００１４】冷却手段内の被冷却物は、蒸気圧スペース
内の真空飽和蒸気と熱交換して熱が奪われて冷却され
る。熱交換で真空飽和蒸気に移転した熱は、冷却水との
間での熱交換により冷却水に移転し、システム外に取り
出される。
内の真空飽和蒸気と熱交換して熱が奪われて冷却され
る。熱交換で真空飽和蒸気に移転した熱は、冷却水との
間での熱交換により冷却水に移転し、システム外に取り
出される。
【００１５】
【実施例１】以下に図１を参照しつつ、この発明の実施
例１を詳細に説明する。図１を参照して、(１)はこの発
明の冷却システムを適用した被冷却物を冷却する冷却釜
であって、一定量の被冷却物を投入することが出来る。
冷却釜(１)の外周面には、真空飽和蒸気を入れる蒸気ジ
ャケット(２)が一体に取り付けられて、二重釜構造とな
っている。冷却釜(１)には、被冷却物例えば製造した高
温の化粧料が収納される。製造した高温の化粧料は、容
器への充填のために所定の温度まで冷却する必要があ
る。蒸気ジャケット(２)には、蒸気源(３)に接続した蒸
気送給回路(４)が接続される。送給される蒸気は、大気
圧より低い圧力を有する１００℃以下或は１００℃近傍
の飽和蒸気が用いられる。このような飽和蒸気は、圧力
が一定であれば温度が変わらず、又負荷をかけても温度
の変化がない為、冷却源として好適であり、冷却釜(１)
内の温度を一定に保持するのに適している。
例１を詳細に説明する。図１を参照して、(１)はこの発
明の冷却システムを適用した被冷却物を冷却する冷却釜
であって、一定量の被冷却物を投入することが出来る。
冷却釜(１)の外周面には、真空飽和蒸気を入れる蒸気ジ
ャケット(２)が一体に取り付けられて、二重釜構造とな
っている。冷却釜(１)には、被冷却物例えば製造した高
温の化粧料が収納される。製造した高温の化粧料は、容
器への充填のために所定の温度まで冷却する必要があ
る。蒸気ジャケット(２)には、蒸気源(３)に接続した蒸
気送給回路(４)が接続される。送給される蒸気は、大気
圧より低い圧力を有する１００℃以下或は１００℃近傍
の飽和蒸気が用いられる。このような飽和蒸気は、圧力
が一定であれば温度が変わらず、又負荷をかけても温度
の変化がない為、冷却源として好適であり、冷却釜(１)
内の温度を一定に保持するのに適している。
【００１６】蒸気送給回路(４)には、蒸気源(３)から蒸
気ジャケット(２)に向かって、減圧弁(５)、空圧制御弁
(６)が順次配設され、蒸気源(３)からの蒸気は、先ず減
圧弁(５)で一定の低圧蒸気に減圧された後、空圧制御弁
(６)で大気圧以下の所定の圧力に調圧されて、蒸気ジャ
ケット(２)に送られる。空圧制御弁(６)は、空圧源から
の圧力空気により作動される遠隔操作弁であって、冷却
釜(１)並びに蒸気ジャケット(２)内の温度又は圧力を検
知して制御信号を発するコントローラで制御される。
尚、蒸気源(３)からの蒸気圧を作動に適した圧力に制御
するために、作動反応が早い空圧制御弁(６)を用いてい
るが、圧力制御手段はこれに限られるものではないこと
は勿論である。
気ジャケット(２)に向かって、減圧弁(５)、空圧制御弁
(６)が順次配設され、蒸気源(３)からの蒸気は、先ず減
圧弁(５)で一定の低圧蒸気に減圧された後、空圧制御弁
(６)で大気圧以下の所定の圧力に調圧されて、蒸気ジャ
ケット(２)に送られる。空圧制御弁(６)は、空圧源から
の圧力空気により作動される遠隔操作弁であって、冷却
釜(１)並びに蒸気ジャケット(２)内の温度又は圧力を検
知して制御信号を発するコントローラで制御される。
尚、蒸気源(３)からの蒸気圧を作動に適した圧力に制御
するために、作動反応が早い空圧制御弁(６)を用いてい
るが、圧力制御手段はこれに限られるものではないこと
は勿論である。
【００１７】蒸気ジャケット(２)のドレン部には、圧力
で作動するポンプ、例えば図示の実施例１ではプレッシ
ャーポンプ(７)が接続され、蒸気から還元した水を蒸気
ジャケット(２)からドレン抜きする。図１に示すプレシ
ャーポンプ(７)は従来公知の構造を有するものであり、
蒸気ジャケット(２)の底部に開口したドレン抜きパイプ
(８)から該ジャケット(２)の底部より下位に位置するド
レン管(９)にドレン水を水頭圧で移動させ、該ドレン管
(９)のドレン水を更に水頭圧でプレッシャーポンプ(７)
に移動させて排出するようにしたものである。プレッシ
ャーポンプ(７)の入口と出口には逆止弁(10)、(11)が配
置されドレン水の逆流を防止している。ドレン水はトラ
ップ(12)を介して排出される。
で作動するポンプ、例えば図示の実施例１ではプレッシ
ャーポンプ(７)が接続され、蒸気から還元した水を蒸気
ジャケット(２)からドレン抜きする。図１に示すプレシ
ャーポンプ(７)は従来公知の構造を有するものであり、
蒸気ジャケット(２)の底部に開口したドレン抜きパイプ
(８)から該ジャケット(２)の底部より下位に位置するド
レン管(９)にドレン水を水頭圧で移動させ、該ドレン管
(９)のドレン水を更に水頭圧でプレッシャーポンプ(７)
に移動させて排出するようにしたものである。プレッシ
ャーポンプ(７)の入口と出口には逆止弁(10)、(11)が配
置されドレン水の逆流を防止している。ドレン水はトラ
ップ(12)を介して排出される。
【００１８】蒸気ジャケット(２)の外周面には冷却水ジ
ャケット(13)が配置され、冷却水供給回路(14)により冷
却水が供給される。冷却水は、冷却釜(１)内の被冷却物
から蒸気ジャケット(２)内の真空飽和蒸気に熱交換によ
り移転して来た熱を、真空飽和蒸気から移転させて奪い
取り、システム外に取り出す。図示の構造においては、
冷却水供給回路(14)には熱交換器(15)が接続されてお
り、真空飽和蒸気から冷却水に移転した熱は熱交換器(1
5)で回路外に運び去るようになっているが、これに限ら
れないことは勿論である。
ャケット(13)が配置され、冷却水供給回路(14)により冷
却水が供給される。冷却水は、冷却釜(１)内の被冷却物
から蒸気ジャケット(２)内の真空飽和蒸気に熱交換によ
り移転して来た熱を、真空飽和蒸気から移転させて奪い
取り、システム外に取り出す。図示の構造においては、
冷却水供給回路(14)には熱交換器(15)が接続されてお
り、真空飽和蒸気から冷却水に移転した熱は熱交換器(1
5)で回路外に運び去るようになっているが、これに限ら
れないことは勿論である。
【００１９】図２は、実施例１の変形を示し、冷却水ジ
ャケット(13)に代わって冷却水コイル(16)を蒸気ジャケ
ット(２)の外周に巻装したものであり、その他の点は図
１と実質的に変わりがない。図１及び図２に示す冷却シ
ステムは、一定量の被冷却物をバッチ式に処理するのに
適した構造である。
ャケット(13)に代わって冷却水コイル(16)を蒸気ジャケ
ット(２)の外周に巻装したものであり、その他の点は図
１と実質的に変わりがない。図１及び図２に示す冷却シ
ステムは、一定量の被冷却物をバッチ式に処理するのに
適した構造である。
【００２０】
【実施例２】次に、図３を参照しつつ実施例２を説明す
る。この実施例２は前記図１、２に示すバッチ式処理と
異なって連続的に被冷却物を冷却処理するのに適した構
造である。すなわち、冷却手段を管状体(17)で形成し、
被冷却物を連続的に流過させて連続的な冷却処理を行い
得るようにしたものである。真空飽和蒸気が入る蒸気ジ
ャケット(２)は、管状体(17)の外周に巻装されており、
更に冷却水ジャケット(13)が蒸気ジャケット(２)の外周
に巻装される。その他の点は、図１、２に示すものと同
様である。被冷却物は、管状体(17)内を連続的に流過
し、その流過中に蒸気ジャケット(２)内の真空飽和蒸気
と熱交換して冷却される。真空飽和蒸気に移転した熱
は、冷却水ジャケット(13)の冷却水と熱交換して取り出
される。
る。この実施例２は前記図１、２に示すバッチ式処理と
異なって連続的に被冷却物を冷却処理するのに適した構
造である。すなわち、冷却手段を管状体(17)で形成し、
被冷却物を連続的に流過させて連続的な冷却処理を行い
得るようにしたものである。真空飽和蒸気が入る蒸気ジ
ャケット(２)は、管状体(17)の外周に巻装されており、
更に冷却水ジャケット(13)が蒸気ジャケット(２)の外周
に巻装される。その他の点は、図１、２に示すものと同
様である。被冷却物は、管状体(17)内を連続的に流過
し、その流過中に蒸気ジャケット(２)内の真空飽和蒸気
と熱交換して冷却される。真空飽和蒸気に移転した熱
は、冷却水ジャケット(13)の冷却水と熱交換して取り出
される。
【００２１】
【発明の効果】この発明によれば、被冷却物をこれより
温度の低い飽和蒸気との間で熱交換して、被冷却物の熱
を飽和蒸気に移転させて被冷却物を冷却し、飽和蒸気に
移転した熱は冷却水に移転されて取り出すことが出来る
ため、圧力に応じた一定の温度を維持している飽和蒸気
を用いてきわめて精度の高い温度管理が出来る。
温度の低い飽和蒸気との間で熱交換して、被冷却物の熱
を飽和蒸気に移転させて被冷却物を冷却し、飽和蒸気に
移転した熱は冷却水に移転されて取り出すことが出来る
ため、圧力に応じた一定の温度を維持している飽和蒸気
を用いてきわめて精度の高い温度管理が出来る。
【図１】この発明の第１実施例のシステムを構成する回
路図。
路図。
【図２】実施例１の１変形を示す回路図。
【図３】実施例２のシステムを構成する回路図。
(１)冷却釜 (２)蒸気ジャケット (３)蒸気源 (４)蒸気供給回路 (５)減圧弁 (６)空圧制御弁 (７)プレッシャーポンプ (８)ドレン抜きパイプ (９)ドレン管 (10)逆止弁 (11)逆止弁 (12)トラップ (13)冷却水ジャケット (14)冷却水回路 (15)熱交換器 (16)冷却水コイル (17)管状体
Claims (4)
- 【請求項１】被冷却物を収納する冷却手段の外部に外気
と遮断される蒸気圧スペースを設け、該蒸気圧スペース
内に大気圧より低い圧力の飽和蒸気を圧力制御しつつ供
給し、蒸気圧スペース内に生じて来るドレン水を圧力に
より作動するポンプを介して外部へ排出すると共に、蒸
気圧スペースの外部に冷却水を流動させて被冷却物から
蒸気に移転した熱をシステム外に取り出すようにしたこ
とを特徴とする真空蒸気による低温冷却システム。 - 【請求項２】冷却手段が、一定量の被冷却物を収納しう
るタンク状部材からなり、該タンク状部材の外周面に蒸
気圧スペースが区画して形成され、該蒸気圧スペースの
外周面に冷却水を収納するスペースが区画して形成され
ていることを特徴とする請求項１記載の低温冷却システ
ム。 - 【請求項３】冷却手段が、一定量の被冷却物を収納しう
るタンク状部材からなり、該タンク状部材の外周面に蒸
気圧スペースが区画して形成され、該蒸気圧スペースの
外周面に冷却水を流過させるコイルが巻装されているこ
とを特徴とする請求項１記載の低温冷却システム。 - 【請求項４】冷却手段が、被冷却物を一方から他方に流
過せしめ得る管状部材からなり、該管状部材の外周に蒸
気圧スペースが配置され、該管状部材の外周に冷却水の
流動スペースが配置されていることを特徴とする請求項
１記載の低温冷却システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23604595A JPH0961028A (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 真空蒸気による低温冷却システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23604595A JPH0961028A (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 真空蒸気による低温冷却システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961028A true JPH0961028A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16994949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23604595A Pending JPH0961028A (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 真空蒸気による低温冷却システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0961028A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109028645A (zh) * | 2018-08-16 | 2018-12-18 | 佛山市和利环保科技有限公司 | 工业循环冷却水装置 |
-
1995
- 1995-08-22 JP JP23604595A patent/JPH0961028A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109028645A (zh) * | 2018-08-16 | 2018-12-18 | 佛山市和利环保科技有限公司 | 工业循环冷却水装置 |
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| A601 | Written request for extension of time |
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|
| A602 | Written permission of extension of time |
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