JPH0961277A - 漏水センサ - Google Patents
漏水センサInfo
- Publication number
- JPH0961277A JPH0961277A JP7216890A JP21689095A JPH0961277A JP H0961277 A JPH0961277 A JP H0961277A JP 7216890 A JP7216890 A JP 7216890A JP 21689095 A JP21689095 A JP 21689095A JP H0961277 A JPH0961277 A JP H0961277A
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- JP
- Japan
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- electrolyte
- electrodes
- water
- pure water
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気絶縁性の純水の漏れを短時間で検知する
漏水センサを提供する。 【解決手段】 電気絶縁性の基材の上に、一対の電極
と、その電極の周囲に電解質とを設けた。これに純水が
付着すると、電解質が純水に溶解して電気伝導性の水溶
液を生成する。電極間に低電圧をかけておけば、上記水
溶液が両電極に接触することにより微小電流が流れ、純
水の付着を検知できる。前記電解質は電極の周囲に僅か
な隙間を空けて設けてもよい。又、前記電解質は、アン
モニウム塩、脂肪酸のアルカリ金属塩又はグルタミン酸
のアルカリ金属塩であり、これらの水溶液は電気伝導性
を有する。
漏水センサを提供する。 【解決手段】 電気絶縁性の基材の上に、一対の電極
と、その電極の周囲に電解質とを設けた。これに純水が
付着すると、電解質が純水に溶解して電気伝導性の水溶
液を生成する。電極間に低電圧をかけておけば、上記水
溶液が両電極に接触することにより微小電流が流れ、純
水の付着を検知できる。前記電解質は電極の周囲に僅か
な隙間を空けて設けてもよい。又、前記電解質は、アン
モニウム塩、脂肪酸のアルカリ金属塩又はグルタミン酸
のアルカリ金属塩であり、これらの水溶液は電気伝導性
を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場、
半導体製造設備等にて用いられる純水の漏れを検知する
センサに関する。
半導体製造設備等にて用いられる純水の漏れを検知する
センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子、化学、バイオ等の分野では
純水が多く用いられており、純水検知能力のあるセンサ
の開発が望まれている。特に半導体製造ラインでは純水
の使用個所が多く、漏水の発見が遅れるとその近隣の半
導体製造設備等に多大の被害を及ぼす恐れがある。
純水が多く用いられており、純水検知能力のあるセンサ
の開発が望まれている。特に半導体製造ラインでは純水
の使用個所が多く、漏水の発見が遅れるとその近隣の半
導体製造設備等に多大の被害を及ぼす恐れがある。
【０００３】従来の漏水センサは、水検知用の電極２本
を近接させて電圧を加えておき、該２本の電極間に水滴
が付着すると、水中の不純物イオン（塩素イオン、カル
シウムイオン等）が移動して、電極間に微小な電流が流
れ、この信号が警報器に伝えられて、水を検知するとい
う構成であった。又、特開平7-120346には、純水の漏れ
を検知するものとして吸水検知シートが記載されてお
り、これは吸水層に含浸乾燥させてある電解質が純水に
溶解して電流を通す電解液となることにより純水の漏れ
を検知するものである。該吸水層は対をなす導電層の外
面を跨いで満遍なく被着されている。
を近接させて電圧を加えておき、該２本の電極間に水滴
が付着すると、水中の不純物イオン（塩素イオン、カル
シウムイオン等）が移動して、電極間に微小な電流が流
れ、この信号が警報器に伝えられて、水を検知するとい
う構成であった。又、特開平7-120346には、純水の漏れ
を検知するものとして吸水検知シートが記載されてお
り、これは吸水層に含浸乾燥させてある電解質が純水に
溶解して電流を通す電解液となることにより純水の漏れ
を検知するものである。該吸水層は対をなす導電層の外
面を跨いで満遍なく被着されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の漏水セン
サでは、２本の電極間を跨ぐように水滴が付着したとき
には、水の検知が可能である。しかし、水滴が純水であ
る場合には、純水は不純物イオンをほとんど全く含まず
電気抵抗値が高いので、上述のように水滴が付着したと
しても電流は流れないので、純水に対しては漏水センサ
として使用できなかった。
サでは、２本の電極間を跨ぐように水滴が付着したとき
には、水の検知が可能である。しかし、水滴が純水であ
る場合には、純水は不純物イオンをほとんど全く含まず
電気抵抗値が高いので、上述のように水滴が付着したと
しても電流は流れないので、純水に対しては漏水センサ
として使用できなかった。
【０００５】又、上述の特開平7-120346の吸水検知シー
トは、純水が該シート表面に付着した場合に一旦吸水層
で純水を吸収し、吸水層の下側の導電層に導くまで検知
信号は得られず、検知に時間遅れを生ずるという欠点が
ある。
トは、純水が該シート表面に付着した場合に一旦吸水層
で純水を吸収し、吸水層の下側の導電層に導くまで検知
信号は得られず、検知に時間遅れを生ずるという欠点が
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、電気絶縁性の基材の上に形成される一対の
電極をもつ漏水センサにおいて、前記電極の周囲に電解
質を配置した。前記電極と電解質との間には僅かな隙間
を設けてもよい。又、前記電解質は、アンモニウム塩、
脂肪酸のアルカリ金属塩又はグルタミン酸のアルカリ金
属塩であり、これらの水溶液は電気伝導性を有する。
に本発明は、電気絶縁性の基材の上に形成される一対の
電極をもつ漏水センサにおいて、前記電極の周囲に電解
質を配置した。前記電極と電解質との間には僅かな隙間
を設けてもよい。又、前記電解質は、アンモニウム塩、
脂肪酸のアルカリ金属塩又はグルタミン酸のアルカリ金
属塩であり、これらの水溶液は電気伝導性を有する。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明第１実施例に係わ
る漏水センサの平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ′
矢視断面図である。図１及び図２において、基材１の上
に電極２ａ，２ｂが設けられ、電極２ａ，２ｂから延び
るリード線３ａ，３ｂが警報器（不図示）に連結されて
いる。基材１は、電気絶縁性の材質であり、例えばナイ
ロン、塩化ビニル等の合成樹脂、ガラス繊維で強化され
たプラスチック、又はアルミナ、ガラス等の無機物が用
いられる。電極２ａ，２ｂの材料としては耐蝕性の優れ
た金又はステンレス鋼が用いられる。
る漏水センサの平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ′
矢視断面図である。図１及び図２において、基材１の上
に電極２ａ，２ｂが設けられ、電極２ａ，２ｂから延び
るリード線３ａ，３ｂが警報器（不図示）に連結されて
いる。基材１は、電気絶縁性の材質であり、例えばナイ
ロン、塩化ビニル等の合成樹脂、ガラス繊維で強化され
たプラスチック、又はアルミナ、ガラス等の無機物が用
いられる。電極２ａ，２ｂの材料としては耐蝕性の優れ
た金又はステンレス鋼が用いられる。
【０００８】電解質４は図２のように、電極２ａ，２ｂ
の周囲に電極が露出するように塗布又は積層される。こ
の電解質４は、乾燥状態すなわち水が付着していない状
態では電気絶縁性であるが、水が付着すると水中に溶け
出して電解液となり、電気伝導性をもつ。すなわち、こ
の電解質４は、水溶液中ではイオンとなり、イオンの泳
動によって電流が流れる。純水はそのままでは電気絶縁
性であるが、電解質が溶け込むと電気伝導性をもつ。従
って、本発明の漏水センサの電極２ａ，２ｂ間に数ボル
トの低電圧を加えておけば、両電極を跨いで純水が付着
した場合には微小な電流が流れ、純水の漏れが検知でき
る。
の周囲に電極が露出するように塗布又は積層される。こ
の電解質４は、乾燥状態すなわち水が付着していない状
態では電気絶縁性であるが、水が付着すると水中に溶け
出して電解液となり、電気伝導性をもつ。すなわち、こ
の電解質４は、水溶液中ではイオンとなり、イオンの泳
動によって電流が流れる。純水はそのままでは電気絶縁
性であるが、電解質が溶け込むと電気伝導性をもつ。従
って、本発明の漏水センサの電極２ａ，２ｂ間に数ボル
トの低電圧を加えておけば、両電極を跨いで純水が付着
した場合には微小な電流が流れ、純水の漏れが検知でき
る。
【０００９】上記電解質としては、アンモニウム塩例え
ば硫酸アンモニウム、又は脂肪酸のアルカリ金属塩例え
ば脂肪酸のナトリウム塩もしくはカリウム塩、又はグル
タミン酸のアルカリ金属塩例えば酸性グルタミン酸ナト
リウムが好適である。硫酸アンモニウムは水に溶ける
と、ＮＨ4 + イオンとＳＯ4 2- イオンが生成する。脂肪
酸のナトリウム塩の場合はカルボン酸塩がＮａ+ イオン
とＯＣＯＲ- イオン（Ｒはアルキル基）となり、脂肪酸
のカリウム塩の場合はカルボン酸塩がＫ+ イオンとＯＣ
ＯＲ- イオンとなる。酸性グルタミン酸ナトリウムの場
合はＮａ+ イオンとＨＯＯＣＣＨ2 ＣＨ2 ＣＨ（ＮＨ2)
ＣＯＯ- イオンとなる。これらの物質は総て水に溶けて
イオン化するので電気伝導性をもつようになる。又、こ
れらの物質は潮解性、風解性等がなく化学的に安定であ
り、長期間の使用に耐える。
ば硫酸アンモニウム、又は脂肪酸のアルカリ金属塩例え
ば脂肪酸のナトリウム塩もしくはカリウム塩、又はグル
タミン酸のアルカリ金属塩例えば酸性グルタミン酸ナト
リウムが好適である。硫酸アンモニウムは水に溶ける
と、ＮＨ4 + イオンとＳＯ4 2- イオンが生成する。脂肪
酸のナトリウム塩の場合はカルボン酸塩がＮａ+ イオン
とＯＣＯＲ- イオン（Ｒはアルキル基）となり、脂肪酸
のカリウム塩の場合はカルボン酸塩がＫ+ イオンとＯＣ
ＯＲ- イオンとなる。酸性グルタミン酸ナトリウムの場
合はＮａ+ イオンとＨＯＯＣＣＨ2 ＣＨ2 ＣＨ（ＮＨ2)
ＣＯＯ- イオンとなる。これらの物質は総て水に溶けて
イオン化するので電気伝導性をもつようになる。又、こ
れらの物質は潮解性、風解性等がなく化学的に安定であ
り、長期間の使用に耐える。
【００１０】電解質４は、液状の場合はスクリーン印刷
法、スプレー法等の通常の方法で基材１の上に塗布した
後に十分乾燥させて作製し、フィルム状又は粉体状の場
合は基材１の上に接着剤を介して積層又は接着したり、
電解質自体の粘着力を利用して基材１の上に積層又は付
着させて作製する。電解質４の厚さは、電解質自体の粘
性、剛性等の機械的性質の観点から０．２〜１mmの範囲
が望ましい。
法、スプレー法等の通常の方法で基材１の上に塗布した
後に十分乾燥させて作製し、フィルム状又は粉体状の場
合は基材１の上に接着剤を介して積層又は接着したり、
電解質自体の粘着力を利用して基材１の上に積層又は付
着させて作製する。電解質４の厚さは、電解質自体の粘
性、剛性等の機械的性質の観点から０．２〜１mmの範囲
が望ましい。
【００１１】図１の構造をもつセンサにおいて、電極２
ａ，２ｂの２個を５〜１０mm離して設け、該電極間に数
ボルトの低電圧を加えておく。純水がセンサ表面に付着
すると、電解質が純水中に溶け出す。電解質は純水中で
イオン化し、電解液となる。これが電極２ａ，２ｂ両者
に接触した瞬間に電気抵抗値が急激に減少する。この結
果、電極２ａと２ｂとの間に微小な電流が流れ、その信
号がリード線３ａ，３ｂによって警報器に伝えられ、純
水の存在すなわち純水の漏れが検知できる。
ａ，２ｂの２個を５〜１０mm離して設け、該電極間に数
ボルトの低電圧を加えておく。純水がセンサ表面に付着
すると、電解質が純水中に溶け出す。電解質は純水中で
イオン化し、電解液となる。これが電極２ａ，２ｂ両者
に接触した瞬間に電気抵抗値が急激に減少する。この結
果、電極２ａと２ｂとの間に微小な電流が流れ、その信
号がリード線３ａ，３ｂによって警報器に伝えられ、純
水の存在すなわち純水の漏れが検知できる。
【００１２】電解質４を電極２ａ，２ｂを覆って基材１
の全面に設けた場合、純水がセンサ表面に付着しても、
電解質４が完全に溶けて電極に接触するまで純水の検知
はできない。そして、ごく少量の純水は検知できない
し、又、十分多くの純水が漏水センサに付着しても、電
解質が完全に溶けるまでには時間を要し、純水の検知に
タイムラグが生じてしまうので不都合である。
の全面に設けた場合、純水がセンサ表面に付着しても、
電解質４が完全に溶けて電極に接触するまで純水の検知
はできない。そして、ごく少量の純水は検知できない
し、又、十分多くの純水が漏水センサに付着しても、電
解質が完全に溶けるまでには時間を要し、純水の検知に
タイムラグが生じてしまうので不都合である。
【００１３】図３は、本発明第２実施例に係わる漏水セ
ンサの平面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ′矢視断面
図である。電解質４は図３に示すように、電極２ａ，２
ｂの周囲に電極と適度の隙間５ａ，５ｂを設けて塗布又
は積層される。隙間５ａ，５ｂの幅は、狭いほど検出感
度は上がるが、基材１の上に電極２ａ，２ｂ及び電解質
４を形成するための位置合わせ精度も高くしなければな
らず、製造コストが高くなる。この点を考慮すると、隙
間５ａ，５ｂの幅は、０．２〜０．８mmの範囲が望まし
い。
ンサの平面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ′矢視断面
図である。電解質４は図３に示すように、電極２ａ，２
ｂの周囲に電極と適度の隙間５ａ，５ｂを設けて塗布又
は積層される。隙間５ａ，５ｂの幅は、狭いほど検出感
度は上がるが、基材１の上に電極２ａ，２ｂ及び電解質
４を形成するための位置合わせ精度も高くしなければな
らず、製造コストが高くなる。この点を考慮すると、隙
間５ａ，５ｂの幅は、０．２〜０．８mmの範囲が望まし
い。
【００１４】電解質４は図４のように、電極２ａ，２ｂ
の周囲に電極が露出するように塗布又は積層される。こ
の電解質４は、電極２ａ，２ｂとはそれぞれ隙間５ａ，
５ｂによって隔てられているので、純水がセンサ表面に
付着しても電解液が隙間５ａ，５ｂを越えて電極２ａ，
２ｂに到達しないかぎり、両電極間には電流が流れな
い。従って、純水の検知にタイムラグが生じるが、一般
に水漏れ事故では多量の水がセンサに付着するので、ご
く僅かのタイムラグが生じるにすぎない。他方、本第２
実施例においては、微量の水分の付着によるセンサの誤
動作を防止できる長所があり、さらに、本第２実施例の
漏水センサは、乾燥状態における電解質が電気絶縁性で
も導電性でも使用可能であるという長所がある。
の周囲に電極が露出するように塗布又は積層される。こ
の電解質４は、電極２ａ，２ｂとはそれぞれ隙間５ａ，
５ｂによって隔てられているので、純水がセンサ表面に
付着しても電解液が隙間５ａ，５ｂを越えて電極２ａ，
２ｂに到達しないかぎり、両電極間には電流が流れな
い。従って、純水の検知にタイムラグが生じるが、一般
に水漏れ事故では多量の水がセンサに付着するので、ご
く僅かのタイムラグが生じるにすぎない。他方、本第２
実施例においては、微量の水分の付着によるセンサの誤
動作を防止できる長所があり、さらに、本第２実施例の
漏水センサは、乾燥状態における電解質が電気絶縁性で
も導電性でも使用可能であるという長所がある。
【００１５】本発明の漏水センサは、１個１個独立して
いても、テープ状の基材に複数個並んでいてもよい。本
発明の漏水センサは、純水のみならず通常の水（飲料
水、工業用水）にも適用できることは勿論である。
いても、テープ状の基材に複数個並んでいてもよい。本
発明の漏水センサは、純水のみならず通常の水（飲料
水、工業用水）にも適用できることは勿論である。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
極周囲に電解質を配置することにより、通常水は勿論、
これまで検知が困難とされていた純水に対しても検知能
力をもつ。本発明のうち請求項１記載の発明は、純水の
漏れを速く検知する効果があり、請求項２記載の発明
は、純水の漏れの検知に若干のタイムラグがあるが、微
量の水分の付着によるセンサの誤動作を防止する効果が
ある。
極周囲に電解質を配置することにより、通常水は勿論、
これまで検知が困難とされていた純水に対しても検知能
力をもつ。本発明のうち請求項１記載の発明は、純水の
漏れを速く検知する効果があり、請求項２記載の発明
は、純水の漏れの検知に若干のタイムラグがあるが、微
量の水分の付着によるセンサの誤動作を防止する効果が
ある。
【００１７】従って、漏水事故が起きた場合、半導体製
造ラインや化学、バイオ等に用いられる高価な機器の損
傷を最小限にくい止められる。
造ラインや化学、バイオ等に用いられる高価な機器の損
傷を最小限にくい止められる。
【図１】本発明の第１実施例における漏水センサの平面
図。
図。
【図２】図１に示す漏水センサのＡ−Ａ′矢視断面図。
【図３】本発明の第２実施例における漏水センサの平面
図。
図。
【図４】図３に示す漏水センサのＡ−Ａ′矢視断面図。
１・・・基材 ２ａ，２ｂ・・・電極 ３ａ，３ｂ・・・リード線 ４・・・電解質 ５ａ，５ｂ・・・隙間
Claims (3)
- 【請求項１】 電気絶縁性の基材の上に形成される一対
の電極をもつ漏水センサにおいて、前記電極の周囲に電
解質を配置したことを特徴とする漏水センサ。 - 【請求項２】 前記電極と前記電解質との間に僅かな隙
間を設けたことを特徴とする、請求項１に記載の漏水セ
ンサ。 - 【請求項３】 前記電解質が、アンモニウム塩、脂肪酸
のアルカリ金属塩又はグルタミン酸のアルカリ金属塩で
あることを特徴とする、請求項１又は２に記載の漏水セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7216890A JPH0961277A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 漏水センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7216890A JPH0961277A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 漏水センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961277A true JPH0961277A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16695521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7216890A Pending JPH0961277A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | 漏水センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0961277A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160043780A (ko) * | 2014-10-14 | 2016-04-22 | 주식회사 코위드원 | 누수감지장치, 그것의 제조방법, 그에 적합한 체결장치 그리고 이를 적용한 누수감지시스템 |
| JP2016200553A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 忠義 中村 | 自然災害警報装置 |
| CN108562410A (zh) * | 2018-06-15 | 2018-09-21 | 中铁第六勘察设计院集团有限公司 | 一种管道漏点自动监测报警系统 |
-
1995
- 1995-08-25 JP JP7216890A patent/JPH0961277A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160043780A (ko) * | 2014-10-14 | 2016-04-22 | 주식회사 코위드원 | 누수감지장치, 그것의 제조방법, 그에 적합한 체결장치 그리고 이를 적용한 누수감지시스템 |
| JP2016200553A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 忠義 中村 | 自然災害警報装置 |
| CN108562410A (zh) * | 2018-06-15 | 2018-09-21 | 中铁第六勘察设计院集团有限公司 | 一种管道漏点自动监测报警系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |