JPH0961379A - Soft x-ray tomography - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、工業材料中の不純
物，欠陥，密度などの空間分布を非破壊的に調べるため
の断層撮影（ＣＴ：コンピュータ・トモグラフィ）法に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tomography (CT: computer tomography) method for nondestructively examining a spatial distribution of impurities, defects and density in industrial materials.
【０００２】[0002]
【従来の技術】主に０．１Åから１Åまでの範囲内の波
長を有するＸ線を用いた従来の断層撮影法として、Ｘ線
管球からのＸ線を用いるものや、ＳＲ科学技術情報Ｖｏ
ｌ．４，Ｎｏ．１２（１９９４）ｐｐ．１１−１７に紹
介されているように放射光から得られた単色Ｘ線を用い
るものがある。2. Description of the Related Art A conventional tomography method using X-rays having a wavelength in the range of 0.1 Å to 1 Å mainly uses X-rays from an X-ray tube or SR Science and Technology Information Vo.
l. 4, No. 12 (1994) pp. Some use monochromatic X-rays obtained from synchrotron radiation as introduced in 11-17.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来は、前述のよう
に、Ｘ線断層写真法として０．１Å〜１Åの範囲内の比
較的短い波長を有するＸ線を用いているので、プラスチ
ックやゴムなどの軽元素材料中の欠陥などを高いコント
ラストで撮影することができなかった。Conventionally, as described above, since X-rays having a relatively short wavelength within the range of 0.1Å to 1Å are used for X-ray tomography, plastics, rubbers, etc. are used. It was not possible to take high-contrast images of defects in the light element material of
【０００４】このような先行技術における課題に鑑み、
本発明は、ゴムやプラスチックなどの軽元素材料中にお
いても不純物，欠陥，密度などの空間分布を非破壊的に
調べることができるＸ線断層撮影法を提供することを目
的としている。In view of the above problems in the prior art,
An object of the present invention is to provide an X-ray tomography method capable of nondestructively examining the spatial distribution of impurities, defects, density, etc. even in light element materials such as rubber and plastic.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明による軟Ｘ線断層
写真法においては、１Åを越えて１０Åまでの範囲内に
ある波長を有する軟Ｘ線を用いて物体の断層像を撮影す
ることを特徴としている。In the soft X-ray tomography method according to the present invention, a tomographic image of an object is taken using soft X-rays having a wavelength in the range of more than 1Å to 10Å. It has a feature.
【０００６】その軟Ｘ線は、シリコンの（１１１）面を
用いて単色化されることが好ましい。The soft X-rays are preferably monochromatic using the (111) plane of silicon.
【０００７】軟Ｘ線は、シンクロトロン放射光から得る
ことができる。シンクロトロン放射光は、蓄積電子エネ
ルギが１ＧｅＶ以下の小型のシンクロトロン放射光装置
から得ることが好ましい。Soft X-rays can be obtained from synchrotron radiation. The synchrotron radiation is preferably obtained from a small synchrotron radiation device having an accumulated electron energy of 1 GeV or less.
【０００８】軟Ｘ線は、Ｘ線管球から得ることもでき
る。本発明による軟Ｘ線断層写真法においては、１Åを
越えて１０Åまでの範囲内にある波長を有する軟Ｘ線を
用いて断層撮影されるので、プラスチックやゴムなどの
軽元素材料内における不純物，欠陥，密度などの空間分
布を高いコントラストで非破壊的に検知することができ
る。Soft X-rays can also be obtained from X-ray tubes. In soft X-ray tomography according to the present invention, since tomography is performed using soft X-rays having a wavelength in the range of more than 1 Å and up to 10 Å, impurities in light element materials such as plastic and rubber, Spatial distribution of defects and density can be detected non-destructively with high contrast.
【０００９】シリコンの（１１１）面を用いることによ
って、所望の波長を有する軟Ｘ線を抽出することができ
る。By using the (111) plane of silicon, soft X-rays having a desired wavelength can be extracted.
【００１０】シンクロトロン放射光は種々の波長を有す
るＸ線を含む白色Ｘ線であるので、シリコンの（１１
１）面を用いることによって所望の波長を有する軟Ｘ線
を得ることができる。Since synchrotron radiation is white X-rays containing X-rays having various wavelengths,
By using the 1) plane, soft X-rays having a desired wavelength can be obtained.
【００１１】１ＧｅＶ以下の蓄積電子エネルギを有する
小型のシンクロトロン放射光装置からの放射光は短い波
長のＸ線を含まないので、シリコンの（１１１）面を用
いて単色化された軟Ｘ線を得る場合に、その単色Ｘ線の
波長の整数分の１の波長を有する高次の回折Ｘ線が混入
することを防止することができる。Since radiated light from a small synchrotron radiation device having stored electron energy of 1 GeV or less does not include short wavelength X-rays, soft X-rays monochromated by using the (111) plane of silicon are generated. When it is obtained, it is possible to prevent mixing of higher-order diffracted X-rays having a wavelength that is an integer fraction of the wavelength of the monochromatic X-ray.
【００１２】軟Ｘ線はＸ線管球から得ることもでき、こ
の場合にはＸ線発生源が小型化されて軟Ｘ線断層撮影法
が簡易なものになる。Soft X-rays can also be obtained from an X-ray tube, in which case the X-ray source is miniaturized and the soft X-ray tomography is simplified.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】図１は、Ｘ線の波長がＸ線の物質
透過率に及ぼす影響を示すグラフである。図１のグラフ
において、横軸は物質の密度または原子番号を表わし、
縦軸はその物質を透過するＸ線についての単位長さあた
りの透過率（％）を表わしている。また、曲線１Ａは、
０．１Å〜１Åの範囲内の波長λを有するＸ線の透過率
の典型例を表わし、曲線１Ｂは１Å〜１０Åの範囲内の
波長λを有するＸ線の透過率の典型例を表わしている。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION FIG. 1 is a graph showing the influence of the wavelength of X-rays on the material transmittance of X-rays. In the graph of FIG. 1, the horizontal axis represents the density or atomic number of the substance,
The vertical axis represents the transmittance (%) per unit length for X-rays that pass through the substance. The curve 1A is
A typical example of the transmittance of X-rays having a wavelength λ in the range of 0.1Å to 1Å is shown, and a curve 1B represents a typical example of the transmittance of X-rays having a wavelength of λ in the range of 1Å to 10Å. .
【００１４】Ｘ線断層写真は、透過物体の断面における
Ｘ線透過率の分布を表わすものである。すなわち、Ｘ線
透過率の違いが、断面像の濃淡として読取られる。The X-ray tomographic photograph represents the distribution of the X-ray transmittance in the cross section of the transparent object. That is, the difference in X-ray transmittance is read as the light and shade of the cross-sectional image.
【００１５】今、図１に示されているように、互いに密
度が少し異なる同じ元素からなる２つの物質ＡとＢがあ
るとすれば、０．１Å〜１Åの範囲内の波長を有する硬
Ｘ線を用いた場合には、符号Ｔ1 で示されているように
単位長さあたりのＸ線透過率にほとんど差がないので、
物質ＡとＢの判別は極めて困難である。しかし、１Å〜
１０Åの範囲内の波長を有する軟Ｘ線を用いれば、符号
Ｔ2 で示されているように両物質ＡとＢとの間において
Ｘ線透過率の差が大きくなるので、それらの物質の判別
を容易にすることができる。As shown in FIG. 1, if there are two substances A and B made of the same element with slightly different densities, the hard X having a wavelength in the range of 0.1Å to 1Å. When a line is used, there is almost no difference in the X-ray transmittance per unit length as indicated by the symbol T 1 .
It is extremely difficult to distinguish between substances A and B. However, 1Å ~
If soft X-rays having a wavelength within the range of 10Å are used, the difference in the X-ray transmittance between the substances A and B becomes large as indicated by the reference symbol T 2 , so that the discrimination of those substances is made. Can be facilitated.
【００１６】このとき、シリコン単結晶などを用いた回
折現象を利用して単色化された軟Ｘ線を用いることによ
って、密度や原子番号の差に基づくコントラスト分解能
を高めることができる。At this time, the contrast resolution based on the difference in density or atomic number can be enhanced by using the soft X-rays monochromated by utilizing the diffraction phenomenon using a silicon single crystal or the like.
【００１７】また、シンクロトロン放射光は強度の高い
白色Ｘ線を含んでいるので、シンクロトロン放射光から
単色化されたＸ線を用いることによって短い時間で断層
写真を撮影することができる。Since the synchrotron radiation contains white X-rays of high intensity, it is possible to take a tomographic photograph in a short time by using monochromatic X-rays from the synchrotron radiation.
【００１８】ところで、シンクロトロン放射光は、それ
を射出するシンクロトロン放射光装置における蓄積電子
エネルギによって異なる放射光スペクトル分布を有して
いる。By the way, the synchrotron radiation has a radiation spectrum distribution which varies depending on the stored electron energy in the synchrotron radiation device that emits it.
【００１９】図２は、シンクロトロン放射光装置の蓄積
電子エネルギとシンクロトロン放射光に含まれるＸ線の
特性との関係を示すグラフである。図２のグラフにおい
て、横軸はシンクロトロン放射光に含まれるＸ線の波長
（Å）を表わし、縦軸はそれぞれの波長のＸ線強度（相
対値）を表わしている。また、曲線２Ａは１ＧｅＶを越
える蓄積電子エネルギを有する中型または大型のシンク
ロトロン放射光装置からの放射光を表わし、曲線２Ｂは
１ＧｅＶ以下の蓄積電子エネルギを有する小型のシンク
ロトロン放射光装置からの放射光を表わしている。一
方、結晶を用いた回折現象によって図２に示されている
ような白色Ｘ線の単色化を行なう場合、所望の単色波長
の１／２，１／３などの高次の波長を有するＸ線が高次
反射によって必ず含まれることになる。FIG. 2 is a graph showing the relationship between the stored electron energy of the synchrotron radiation device and the characteristics of X-rays contained in the synchrotron radiation. In the graph of FIG. 2, the horizontal axis represents the X-ray wavelength (Å) contained in the synchrotron radiation, and the vertical axis represents the X-ray intensity (relative value) of each wavelength. Curve 2A represents the emitted light from a medium- or large-sized synchrotron radiation device having stored electron energy exceeding 1 GeV, and curve 2B represents the radiation from a small synchrotron radiation device having stored electron energy of 1 GeV or less. Represents the light. On the other hand, when the white X-rays are monochromaticized as shown in FIG. 2 by a diffraction phenomenon using a crystal, X-rays having a higher order wavelength such as 1/2 or 1/3 of a desired monochromatic wavelength. Will always be included by higher-order reflections.
【００２０】たとえば、図２において４Åの波長を有す
る単色Ｘ線を得ようとする場合、小型のシンクロトロン
放射光装置からの放射光内には４Åの１／２または１／
３などの波長を有するＸ線は少ししか含まれていないの
で、４Åの波長を有する軟Ｘ線のみを主に抽出すること
ができるが、中型または大型のシンクロトロン放射光装
置からの放射光内には高次反射を生じ得る高い強度の短
波長Ｘ線が含まれているので、単色化のための結晶を通
過した後においても、従来用いられていた０．１Å〜１
Åの範囲内の短い波長を有する硬Ｘ線が含まれることを
避けることができない。For example, in order to obtain a monochromatic X-ray having a wavelength of 4Å in FIG. 2, 1/2 or 1/1 / of 4Å is contained in the emitted light from a small synchrotron radiation device.
Since only a few X-rays with wavelengths such as 3 are included, it is possible to mainly extract only soft X-rays with a wavelength of 4Å, but within the synchrotron radiation from a medium or large synchrotron radiation device. Contains high-intensity short-wavelength X-rays that can cause high-order reflection, so even after passing through a crystal for monochromatization, 0.1Å to 1
Inclusion of hard X-rays with short wavelengths in the range of Å is unavoidable.
【００２１】したがって、軟Ｘ線断層撮影法には、１Ｇ
ｅＶ以下の蓄積電子エネルギを有する小型のシンクロト
ロン放射光装置を利用することが望ましい。Therefore, for soft X-ray tomography, 1 G
It is desirable to utilize a compact synchrotron radiation device having an accumulated electron energy of eV or less.
【００２２】なお、Ｘ線管球からの白色Ｘ線を単色化し
て軟Ｘ線断層撮影法に用いることもできる。この場合、
Ｘ線管球からは白色Ｘ線の強度はシンクロトロン放射光
装置からの白色Ｘ線に比べて強度が低いが、Ｘ線発生装
置がコンパクトであるので、軟Ｘ線断層撮影を簡易に行
なうことが可能になる。The white X-rays from the X-ray tube can be monochromaticized and used for soft X-ray tomography. in this case,
Although the intensity of white X-rays from the X-ray tube is lower than the intensity of white X-rays from the synchrotron radiation device, the X-ray generator is compact, so soft X-ray tomography can be performed easily. Will be possible.
【００２３】図３は、本発明による軟Ｘ線断層撮影法の
実施例を示している。図３において、シンクロトロン１
の電子軌道上に設けられた偏向電磁石２の作用によっ
て、ビームライン３内にシンクロトロン放射光が射出さ
れる。シンクロトロン１としては、住友電気工業播磨研
究所に設置されている超電導小型ＳＲ装置ＮＩＪＩ−３
を用いることができる。ビームライン３内には、あらゆ
る波長のＸ線を含む白色Ｘ線が導入され、２結晶分光器
４によって単色化される。単色化された軟Ｘ線は試料回
転装置５内へ導入される。試料回転装置５内には、Ｘ線
によって透過されて断層写真を撮影されるべき試料が試
料回転機構上に設置されている。試料回転装置５内の試
料を透過したＸ線は、軟Ｘ線撮像装置６内へ導かれ、断
層写真が撮影される。FIG. 3 shows an embodiment of soft X-ray tomography according to the present invention. In FIG. 3, synchrotron 1
The synchrotron radiation light is emitted into the beam line 3 by the action of the deflection electromagnet 2 provided on the electron orbit. As the synchrotron 1, the superconducting small SR device NIJI-3 installed at the Harima Institute of Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Can be used. White X-rays containing X-rays of all wavelengths are introduced into the beam line 3 and are monochromaticized by the two-crystal spectroscope 4. The monochromatic soft X-ray is introduced into the sample rotating device 5. In the sample rotating device 5, a sample to be taken a tomographic photograph by being transmitted by X-rays is installed on the sample rotating mechanism. The X-ray transmitted through the sample in the sample rotation device 5 is guided into the soft X-ray imaging device 6 and a tomographic photograph is taken.
【００２４】図３に示されているような軟Ｘ線断層撮影
システムを用いて３Åの波長を有する軟Ｘ線によってポ
リエチレンの断層像を撮影して再生したところ、１０μ
ｍの直径を有する球状の空孔を観測することができた。
なお、従来の硬Ｘ線断層写真法においては、同様の撮影
条件において２００μｍ程度の直径を有する大きな空孔
しか観測することができない。Using a soft X-ray tomography system as shown in FIG. 3, a tomographic image of polyethylene was taken and reproduced by soft X-ray having a wavelength of 3Å.
Spherical holes with a diameter of m could be observed.
Incidentally, in the conventional hard X-ray tomography, only large holes having a diameter of about 200 μm can be observed under the same imaging conditions.
【００２５】[0025]
【発明の効果】以上のように、本発明による軟Ｘ線断層
撮影法を用いれば、１Åを越えて１０Åまでの範囲内に
ある比較的長い波長を有する軟Ｘ線を用いて断層撮影さ
れるので、コントラスト分解能が向上する。したがっ
て、本発明による軟Ｘ線断層撮影法によって、ポリエチ
レンなどの軽元素材料中の空孔や繊維またはセラミック
スやゴム製品中の微小な欠陥や密度の不均一を高い精度
で観測することが可能になる。As described above, when the soft X-ray tomography method according to the present invention is used, tomography is performed using soft X-rays having a relatively long wavelength in the range of more than 1Å to 10Å. Therefore, the contrast resolution is improved. Therefore, by the soft X-ray tomography according to the present invention, it becomes possible to observe with high accuracy the pores in the light element material such as polyethylene and the minute defects and the non-uniformity of the density in the ceramics and the rubber products. Become.
【図１】異なる密度または原子番号を有する物質を透過
するＸ線の単位長さあたりの透過率に及ぼすＸ線の波長
の影響を表わしたグラフである。FIG. 1 is a graph showing the influence of the wavelength of X-rays on the transmittance per unit length of X-rays that pass through substances having different densities or atomic numbers.
【図２】シンクロトロン放射光装置の蓄積電子エネルギ
の相違が放射光に含まれるＸ線の波長と強度に及ぼす影
響を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing the influence of a difference in stored electron energy of a synchrotron radiation device on the wavelength and intensity of X-rays contained in radiation.
【図３】本発明による軟Ｘ線断層撮影法を実施するため
の軟Ｘ線断層撮影システムを概略的に示すブロック図で
ある。FIG. 3 is a schematic block diagram of a soft X-ray tomography system for performing soft X-ray tomography according to the present invention.
１ シンクロトロン ２ 偏向電磁石 ３ ビームライン ４ ２結晶分光器 ５ 試料回転装置 ６ 軟Ｘ線撮像装置 1 Synchrotron 2 Bending Electromagnet 3 Beamline 4 2 Crystal Spectroscope 5 Sample Rotating Device 6 Soft X-ray Imaging Device
Claims (5)
波長を有する軟Ｘ線を用い、物体の断層像を撮影するこ
とを特徴とする軟Ｘ線断層撮影法。1. A soft X-ray tomography method, wherein a tomographic image of an object is taken using soft X-rays having a wavelength in the range of more than 1 Å to 10 Å.
用いて単色化されていることを特徴とする請求項１に記
載の軟Ｘ線断層撮影法。2. The soft X-ray tomography method according to claim 1, wherein the soft X-rays are monochromaticized using a (111) plane of silicon.
得られることを特徴とする請求項２に記載の軟Ｘ線断層
撮影法。3. The soft X-ray tomography method according to claim 2, wherein the soft X-rays are obtained from synchrotron radiation.
ネルギが１ＧｅＶ以下の小型のシンクロトロン放射光装
置から得られたものであることを特徴とする請求項３に
記載の軟Ｘ線断層撮影法。4. The soft X-ray tomography method according to claim 3, wherein the synchrotron radiation is obtained from a small synchrotron radiation device having an accumulated electron energy of 1 GeV or less.
であることを特徴とする請求項１または２に記載の軟Ｘ
線断層撮影法。5. The soft X-ray according to claim 1 or 2, wherein the soft X-ray is obtained from an X-ray tube.
Line tomography.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21713495A JP3582166B2 (en) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | Soft X-ray tomography |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21713495A JP3582166B2 (en) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | Soft X-ray tomography |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961379A true JPH0961379A (en) | 1997-03-07 |
| JP3582166B2 JP3582166B2 (en) | 2004-10-27 |
Family
ID=16699396
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21713495A Expired - Fee Related JP3582166B2 (en) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | Soft X-ray tomography |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3582166B2 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62254045A (en) * | 1986-02-24 | 1987-11-05 | エクソン リサ−チ アンド エンヂニアリング コムパニ− | Three-dimensional tomographer using electro-optical type x-ray detector |
| JPH02205760A (en) * | 1989-02-03 | 1990-08-15 | Hitachi Ltd | Multi-wavelength X-ray tomography device |
| JPH0688791A (en) * | 1992-09-07 | 1994-03-29 | Fujitsu Ltd | Fluorescent x-ray analyzer |
| JPH06235704A (en) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Nippon Steel Corp | Monochromatic X-ray CT system |
| JPH07190962A (en) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X-ray irradiation device |
-
1995
- 1995-08-25 JP JP21713495A patent/JP3582166B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62254045A (en) * | 1986-02-24 | 1987-11-05 | エクソン リサ−チ アンド エンヂニアリング コムパニ− | Three-dimensional tomographer using electro-optical type x-ray detector |
| JPH02205760A (en) * | 1989-02-03 | 1990-08-15 | Hitachi Ltd | Multi-wavelength X-ray tomography device |
| JPH0688791A (en) * | 1992-09-07 | 1994-03-29 | Fujitsu Ltd | Fluorescent x-ray analyzer |
| JPH06235704A (en) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Nippon Steel Corp | Monochromatic X-ray CT system |
| JPH07190962A (en) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X-ray irradiation device |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3582166B2 (en) | 2004-10-27 |
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