JPH0961461A - 液晶パネル検査装置およびその製造方法 - Google Patents

液晶パネル検査装置およびその製造方法

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JPH0961461A
JPH0961461A JP7242298A JP24229895A JPH0961461A JP H0961461 A JPH0961461 A JP H0961461A JP 7242298 A JP7242298 A JP 7242298A JP 24229895 A JP24229895 A JP 24229895A JP H0961461 A JPH0961461 A JP H0961461A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電極のピッチが小さい液晶パネルの検査が可
能で安価に達成できる液晶パネル検査装置と、その製造
方法提供する。 【解決手段】 液晶パネル７０が装着可能な装着穴１１
および該装着穴１１の一面側開口の廻りに形成された電
極１３を有するパネル保持体１０を備え、このパネル保
持体１０の電極１３に一端が接続された接続ワイヤ２１
を屈曲させて装着穴１１に延出させ、この接続ワイヤ２
１の他端の端子部２３を装着穴１１内に装着穴１１内の
液晶パネル７０の電極７１と当接可能に臨ませるととも
に、パネル保持体１０の他面側に止め板２８を装着穴１
１の開口を開閉自在に取り付け、この止め板２８により
液晶パネル７０の電極７１と接続ワイヤ２１の端子部２
３とが圧接するように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶パネルの生
産ラインのアレイ工程、セル工程あるいはモジュール工
程等において最終検査等に用いられる液晶パネル検査装
置とその製造方法、特に、電極が微小ピッチの液晶パネ
ルの検査に対応でき、安価に達成される液晶パネル検査
装置と製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルの生産ラインにおいては、ア
レイ工程、セル工程およびモジュール工程等においてそ
れぞれ電気的な特性や画質等を液晶パネル検査装置を用
いて検査し、生産ラインの各工程で不良品を排除して生
産効率を高めることが行われる。従来、このような液晶
パネル検査装置は、液晶パネル等を装着可能な保持部が
形成されたパネル保持体に保持部の周辺位置で複数のス
プリングプローブ（ポゴピン）を配設し、これらスプリ
ングプローブをそれぞれ保持部に装着された液晶パネル
の電極と当接させて検査を行うものが用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の液晶パネル検査装置にあっては、スプリングプ
ローブを用いるため、装置の製作コストが高いという問
題、また、電極のピッチが狭い液晶パネルの検査が困難
であるという問題があった。特に、後者の問題は、カラ
ーの液晶パネルの電極ピッチがモノクロの液晶の１／３
で、また、分解能に関してもＶＧＡ規格が６４０×４８
０ドットに対してＳＶＧＡ規格が８００×６００ドット
であり、カラー液晶パネルや高分解能の液晶パネルは電
極のピッチが小さいため顕著であり、液晶パネルのカラ
ー化、高分解能化が進む近年においては解決が強く要望
されている。なお、現在の技術水準では、液晶パネルの
電極ピッチは駆動用ＩＣのＴＡＢ基板の制約等から５０
μｍが限界と考えられている。この発明は、上記問題に
鑑みてなされたもので、電極のピッチが小さい液晶パネ
ルの検査が可能な液晶パネル検査装置を安価に提供する
ことを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明にかかる液晶パネル検査装置
は、液晶パネルを装着可能な保持部が形成されたパネル
保持体と、該パネル保持体の保持部周縁に設けられたプ
リント回路基板と、該プリント回路基板の電極に接続さ
れて該電極から前記保持部に弾性的に屈曲可能に延出
し、前記保持部に装着された液晶パネルの電極と当接可
能な端子部を先端に有する接続ワイヤと、該接続ワイヤ
を前記端子部を除いて封止する弾性体と、を備える。
【０００５】そして、請求項２記載の発明にかかる液晶
パネル検査装置は、上記請求項１記載の液晶パネル検査
装置において、前記プリント回路基板として複数の電極
が積層された多層基板を用い、該多層基板の一辺側に各
層の電極を階段状に露呈させ、該各層の電極の露呈部分
にそれぞれ前記接続ワイヤを接続して構成される。ま
た、請求項３記載の発明にかかる液晶パネル検査装置
は、上記請求項１または請求項２記載の液晶パネル検査
装置において、前記プリント回路基板に前記接続ワイヤ
の端部を千鳥状に接続して構成される。
【０００６】なお、前記プリント回路基板としてはエポ
キシ樹脂やセラミック等からなる周知のものを用いるこ
とができ、複数のプリント回路基板を組み立てて前記パ
ネル保持体を構成することも可能である。また、接続ワ
イヤとしてはワイヤボンディングが可能なもの、例え
ば、金の細線等が用いられる。そして、この接続ワイヤ
の直径は検査対象である液晶パネルの電極ピッチ等に応
じて選択されるが、通常、２５μｍ程度の直径の接続ワ
イヤが選択される。さらに、弾性体としては、ポリイミ
ド、エポキシ、シリコーンレジン等の低硬化収縮の樹脂
材料、あるいは、シリコーンゴムや熱可塑性エラストマ
等のゴム弾性を有する絶縁性樹脂から選択される。
【０００７】またさらに、請求項４記載の発明は、請求
項１に記載の液晶パネル検査装置の製造方法であって、
前記プリント回路基板に仮想電極を有するダミーパネル
を取り付け、該ダミーパネルの仮想電極に前記接続ワイ
ヤの一端をボンディングするとともに、該接続ワイヤの
他端を前記プリント回路基板の電極にワイヤボンディン
グして前記端子部を形成し、この後、前記ダミーパネル
および前記プリント回路基板上に弾性体を設けて前記接
続ワイヤを封止し、次いで、前記ダミーパネルを前記プ
リント回路基板から除去して該プリント回路基板を前記
パネル保持体に取り付けることを特徴とする。
【０００８】そして、請求項５記載の発明は、請求項４
記載の液晶パネル検査装置の製造方法において、前記ダ
ミーパネルの一面にレジスト層を形成する第１の工程
と、該レジスト層を部分的に除去して前記ダミーパネル
表面が露呈する開口を形成する第２の工程と、前記ダミ
ーパネルを前記レジスト層側からエッチングして前記ダ
ミーパネルの露呈部分に凹部を成形する第３の工程と、
前記凹部に導電性金属を電鋳して前記端子部の少なくと
も一部分を形成する第４の工程とを、前記プリント回路
基板に前記ダミーパネルを取り付ける前あるいは後に付
加して構成される。
【０００９】なお、前記ダミーパネルとしては検査対象
である液晶パネルと少なくとも電極周囲が同一平面形状
で同一位置に電極を有するものが用いられる。そして、
このダミーパネルの取外しはエッチング等による除去で
行うことができ、ダミーパネルをエッチングにより除去
する場合は銅等のエッチング可能な材料から構成する。
また、前記弾性体はダミーパネルとプリント回路基板上
に枠状の治具を載設し、この治具内に注入した液状樹脂
を硬化させること等で形成される。さらに、前記電鋳は
耐磨耗性を改善して耐久性を向上させるためにはニッケ
ル等の硬質金属を用いて行われる。
【００１０】
【作用】請求項１記載の液晶パネル検査装置によれば、
プリント回路基板の電極から弾性的に屈曲可能に接続ワ
イヤを延出させ、この接続ワイヤ先端の端子部を被検査
対象である液晶パネルの電極に当接させて電気的な導通
を得るため、高価なスプリングプローブが不要で製作コ
ストを低減でき、また、接続ワイヤ間の間隔も小さくで
き電極が細ピッチの液晶パネルの検査も容易に行える。
【００１１】そして、請求項２記載の液晶パネル検査装
置は、プリント回路基板として電極が多層に形成された
多層基板を用い、この多層基板の一辺側に各層の電極を
階段状に露呈させ、これら階段状の電極に接続ワイヤを
接続するため、接続ワイヤをより狭い間隔で接続でき、
電極がより細ピッチの液晶パネルの検査も可能となる。
また、請求項３記載の液晶パネル検査装置は、プリント
回路基板の電極にそれぞれ複数の接続ワイヤを千鳥状に
接続するため、上記請求項２記載の液晶パネル検査装置
と同様に、接続ワイヤをより狭い間隔で接続でき、電極
がより細ピッチの液晶パネルの検査も可能である。
【００１２】さらに、請求項４記載の液晶パネル検査装
置の製造方法によれば、仮想電極が形成されたダミーパ
ネルをプリント回路基板に一時的に取り付け、この取り
付けた状態で接続ワイヤをダミーパネルとプリント回路
基板とにワイヤボンディングしてダミーパネルの仮想電
極とのボンディング部分に端子部を形成し、この後に、
プリント回路基板からダミーパネルを取り外してプリン
ト回路基板をパネル保持体に取り付けるため、その製造
も容易であり、また、端子部を正確な位置に確実に形成
することができ、検査に高い信頼性が得られる液晶パネ
ル検査装置が製作できる。
【００１３】またさらに、請求項５記載の液晶パネル検
査装置の製造方法によれば、接続ワイヤをボンディング
する前に、ダミーパネルに端子部（あるいは、その一部
分）を予め電鋳によって形成するため、端子部を所望の
形状、大きさに形成でき、微細なピッチへの対応が容易
である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。図１から図６はこの発明の一の
実施の形態にかかる液晶パネル検査装置を示し、図１が
液晶パネル検査装置の一部を拡大した模式断面図、図２
が一部の部分を取り除いて示す主要部品の一部拡大斜視
図、図３が一部の部分を取り除いて示す同主要部品の一
部拡大平面図、図４が一部の部分を取り除いて示す同主
要部品の他の一部の拡大断面図、図５および図６がそれ
ぞれ製造過程を時系列的に示す断面図である。
【００１５】先ず、図１を参照して液晶パネル検査装置
の要部を説明すると、１０は略枠板状のパネル保持体で
あり、パネル保持体１０には装着穴（装着部）１１が形
成され、この装着穴１１内に図外の検出検査回路と接続
した光検出部Ｒが設けられ、また、この装着穴１１内に
光検出部１１と対向して検査対象である液晶パネル７０
が着脱可能に装着される。液晶パネル７０は、周知のよ
うに、透明電極７１や他の偏光板、液晶層、配向層、カ
ラーフィルター、スイッチング素子等を積層して構成さ
れ、外部接続電極が一辺あるいは複数の辺に段差状に露
呈する。
【００１６】パネル保持体１０は、一面に複数の電極１
３が形成された複数の仕切り部材（プリント回路基板に
相当）１４を枠状に連結して構成され、これら仕切り部
材１４間に上述した装着穴１１が画成される。仕切り部
材１４は、エポキシやセラミック等からなり、電極１３
がパターン印刷等で形成される。なお、述べるまでもな
い、装着穴１１が形成されたパネル保持体１０とプリン
ト回路基板とを別個に製作し、これらを組み付けること
も可能である。
【００１７】仕切り部材１４の電極１３は液晶パネル７
０の電極７１と対応し、仕切り部材１４が透明電極７１
と同数の電極１３をを有する。これら電極１３は、図３
に示すように、所定間隔ｓを隔て平行に形成され、液晶
パネル７０の電極７１のピッチが５０μｍで後述する接
続ワイヤの径が２５μｍであれば、幅ｗが１００μｍ、
長さｌが２〜１０ｍｍ程度で、間隔ｓとして２０μｍ程
度の寸法が採用される。
【００１８】また、パネル保持体１０には、仕切り部材
１４の電極１３にそれぞれ接続ワイヤ２１が接続されて
封止ゴム（弾性体）２２により封止される。図３，４に
示すように、各接続ワイヤ２１は、一端が各仕切り部材
１４の各電極１３に千鳥状にボンディングされ、中央部
がく字状に屈曲して装着穴１１内に弾性的に屈曲可能に
延出し、他端部に略球状の端子部２３が液晶パネル７０
の電極７１と当接可能に形成される。これら接続ワイヤ
２１の端子部２３も千鳥状に配置される。これら接続ワ
イヤ２１は、ワイヤボンディングが可能な金の細線等が
用いられる。後述するが、端子部２３はニッケル等の硬
質金属からなる接触部分２３ａを有し、この接触部分２
３ａが封止ゴム２２から液晶パネル７０の電極７１と当
接可能に突出する。
【００１９】封止ゴム２２は、シリコーンゴムや熱可塑
性エラストマ等のゴム弾性を有する絶縁性材料からな
り、仕切り部材１４表面に固着されて接続ワイヤ２１を
端子部２３を除いて封止する。この封止ゴム２２は、接
続ワイヤ２１の屈曲に伴い一体に弾性変形する。なお、
２６は封止ゴム２２に貼着された補強板であり、補強板
２６は樹脂板やアルミニウム等の金属板から構成され
る。
【００２０】また、パネル保持体１０には、他面側に止
め板２８が嵌合やねじ等の止着部材を用いて着脱自在に
設けられる。止め板２８は、樹脂や金属の板から構成さ
れ、パネル保持体１０側の面（内面）にシリコーンゴム
や熱可塑性エラストマ等の弾性部材２９が設けられる。
この止め板２８は、パネル保持体１０に取り付けられた
状態で、装着穴１１内に装着された液晶パネル７０を保
持して接続ワイヤ２１の端子部２３側に押圧する。な
お、上述した止め板２８はヒンジ（蝶番）等でパネル保
持体１０に取り付けることも可能であり、また、弾性部
材２９はコイルスプリングや板ばねから構成することも
可能である。
【００２１】この実施の形態にかかる液晶パネル検査装
置にあっては、パネル保持体１０の装着穴１１内に他面
側から検査対象である液晶パネル７０を装着し、パネル
保持体１０に止め板２８を取り付けて液晶パネル７０を
止着する。ここで、液晶パネル７０は、止め板２８の弾
性部材２９によりパネル保持体１０の一面側、すなわ
ち、接続ワイヤ２１側に付勢され、液晶パネル７０の電
極７１と接続ワイヤ２１の端子部２３が当接し、接続ワ
イヤ２１を介して液晶パネル７０の電極７１と仕切り部
材１４の電極１３とが接続する。このため、各工程の最
終検査も支障無く行える。
【００２２】そして、この液晶パネル検査装置は、線径
が小さい接続ワイヤ２１を用い、この接続ワイヤ２１の
端部に形成された端子部２３を液晶パネル７０の電極７
１と当接させるため、接続ワイヤ２１のピッチ（間隔）
を小さくでき、電極７１のピッチが小さい液晶パネル７
０にも適用でき、また、スプリングプローブを必要とせ
ず安価に製作することができる。特に、この実施の形態
にあっては、各接続ワイヤ２１を仕切り部材１４の各電
極１３に千鳥状に接続し、また、接続ワイヤ２１の端子
部２３を千鳥状に配列して液晶パネル７０の電極７１と
接触させるため、電極７１のピッチがより小さい液晶パ
ネル７０にも対応することができる。
【００２３】上述した液晶パネル検査装置は、以下に述
べるように、ダミーパネル４０を製作し、このダミーパ
ネル４０を用いて製造される。すなわち、先ず、銅等の
エッチング可能な材料から液晶パネル７０の電極７１廻
りと略同一の平面形状のダミーパネル４０（本実施の形
態では、液晶パネル７０の一方の電極７１側の一部分と
略同一形状のダミーパネル４０）を作成し、図５ａに示
すように、このダミーパネル４０の一面にレジスト層４
１を形成する。なお、ダミーパネル４０は必ずしも液晶
パネル７０と同一の平面形状である必要はないが、同一
の平面形状のダミーパネル４０を用いることで作業が容
易に行える。
【００２４】次に、図５ｂに示すように、ダミーパネル
４０のレジスト層４１を感光処理して液晶パネル７０の
電極７１と同一のピッチで千鳥状に複数の開口４２を形
成する。この後、図５ｃに示すように、ダミーパネル４
０をレジスト層４１側からエッチングして開口４２の露
呈部分に底面が略半球状の凹部４２ａを形成する。この
凹部４２ａは、検査対象である液晶パネル７０の電極７
１ピッチが５０μｍであれば、形状を略半球状、あるい
は、２５μｍ以下の直径Ｄ1 の球形に形成し、点接触さ
せるようにする。
【００２５】続いて、図５ｄに示すように、ダミーパネ
ル４０のレジスト層４１を再度感光処理して開口４２が
拡径された大径の開口４３を形成する。この開口４３
は、接続ワイヤ２１のワイヤボンディングの便宜を図る
ため、５０μｍ以上の直径Ｄ2に形成する。そして、図
５ｅに示すように、このダミーパネル４０の開口４３内
にニッケル等の硬質の導電性金属を電鋳し、前述した端
子部２３の一部あるいは全部を構成する接触部分２３ａ
を成形し、この後に、レジスト層４１を除去する（図５
ｆ参照）。
【００２６】この後、図６ａに示すように上述したダミ
ーパネル４０をパネル保持体１０に取り付け、パネル保
持体１０の電極１３とダミーパネル４０の接触部分２３
ａにそれぞれ順次接続ワイヤ２１をく字状に屈曲させて
ボンディング装置によりボンディングする（図６ｂ参
照）。ここで、接続ワイヤ２１は電極１３に千鳥状に接
続される（図２，３等参照）。次いで、図６ｃに示すよ
うに、ダミーパネル４０とパネル保持体１０との上に枠
部材４５を載設して接続ワイヤ２１を囲周し、この枠部
材４５内に液状の弾性材料を注入する。この後、この弾
性材料が硬化して封止ゴム２２が成形された後、枠部材
４５を取り外す。なお、図６中、４９は載置治具であ
る。
【００２７】そして、この後、上述したパネル保持体１
０の封止ゴム２２上に補強板２６を固着し、図示しない
装置本体に取り付けてパネル保持体１０の電極１３を検
査回路等に接続する。なお、上述した実施の形態の製造
方法では、パネル保持体１０、すなわち、仕切り部材１
４を組み付けた状態でダミーパネル４０を取り付ける
が、組み付け前の仕切り部材１４にダミーチップ４０を
取り付けて上述した封止ゴム２２の成形までの工程を行
い、この後に各仕切り部材１４を組み付けてパネル保持
体１０を構成することも可能である。また、上述した枠
部材４５は取り外すこと無く検査装置の一部品として用
いることも可能である。さらに、上述した実施の形態で
は、電鋳により硬質金属の接触部分２３ａを形成する
が、この接触部分２３ａは必ずしも形成する必要はな
く、ボールボンディング等により端部を拡径するのみで
足りる。
【００２８】図７はこの発明の他の実施の形態にかかる
液晶パネル検査装置の要部を拡大した平面図である。な
お、この実施の形態および後述する他の実施の形態で
は、上述した実施の形態の液晶パネル検査装置と同一の
部分には同一の番号を付して一部の説明を省略する。
【００２９】この実施の形態にあっては、パネル保持体
１０（仕切り部材１４）の電極１３に幅寸法が大きな拡
幅部１９を形成して階段状に配列し、これら拡幅部１９
に接続ワイヤ２１の端部をボンディングする。この実施
の形態は、パネル保持体１０の電極１３の幅がワイヤボ
ンディングに必要な値（通常、少なくと１００μｍ程
度）に満たない場合に有用である。すなわち、電極１３
のピッチが小さくその幅が狭い場合、接続ワイヤ２１の
ボンディングが困難であるが、拡幅部１９を形成するこ
とで接続ワイヤ２１のボンディングも容易に行える。
【００３０】なお、液晶パネル７０の電極７１の幅は通
常１００μｍより狭いため、上述した図７のパターンを
検査対象である液晶パネル７０の電極７１に採用し、こ
のパターンの電極７１と当接可能に各接続ワイヤ２１の
端子部２３を配列することも検査の信頼性を高める上で
有用である。
【００３１】図８はこの発明のまた他の実施の形態にか
かる液晶パネル検査装置を示し、図８ａがその要部を拡
大した正面図、図８ｂが同要部の平面図である。この実
施の形態にあっては、電極９１ａ，９１ｂ，９１ｃ，９
１ｄと絶縁層９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄとが積層
された多層基板９０によりパネル保持体１０（仕切り部
材１４）を構成する。この多層基板９０は、各層の電極
９１ａ，９１ｂ，９１ｃ，９１ｄが一辺側に階段状かつ
千鳥状に偏位して露呈し、これら電極９１ａ，９１ｂ，
９１ｃ，９１ｄに接続ワイヤ２１がボンディングされて
接続する。
【００３２】この実施の形態にあっては、多層基板９０
を用い、各電極９１が上下にずれるため、接続ワイヤを
より狭い間隔で接続でき、電極がより精細なピッチの液
晶パネルの検査も可能である。なお、この実施の形態に
おいては、単層あるいは複数層の基板を複数積層して用
い、上記多層基板９０に代えることも可能である。
【００３３】図９はこの発明の更に他の実施の形態にか
かる液晶パネル検査装置の要部の模式断面図である。こ
の実施の形態は、電極７１ａ，７１ｂが表裏に露呈する
液晶パネル７０の検査に用いるものである。すなわち、
パネル保持体１０の装着穴１１の一辺側に複数の接続ワ
イヤ２１を配列して封止ゴム２２により封止し、この封
止ゴム２２をパネル保持体１０の一面（図中、上面）全
面に連続して設けて装着穴１１の一面側開口を閉止する
とともに、また、パネル保持体１０の他面側に装着穴１
１の開口を開閉可能に設けられた止め板２８に複数の電
極１３を形成し、これら電極１３にそれぞれ複数の接続
ワイヤ２１の一端を千鳥状に接続して封止ゴム２２によ
り封止し、この封止ゴム２２により液晶パネル７０を押
圧するようにしたものである。
【００３４】この実施の形態にあっては、パネル保持体
１０の一面側の接続ワイヤ２１の端子部２３が液晶パネ
ル７０の一面側の電極７１ａと、止め板２８の接続ワイ
ヤ２１の端子部２３が液晶パネル７０の他面側の電極７
１ｂと当接する。したがって、このような両面に電極７
１ａ，７１ｂを有する液晶パネル７０の検査も容易に行
える。
【００３５】なお、上述した図９の実施の形態にあって
は光検出部Ｒを図示しないが、この光検出部Ｒはパネル
保持体１０の封止ゴム２２を部分的に除去して設けるこ
とができる。また、前述した各実施の形態にあっては、
単一の封止ゴム２２で接続ワイヤ２１を封止するが、封
止ゴム２２を弾性係数が異なる複数のゴム層を積層し、
所望の撓み特性を得るように構成することも可能であ
る。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の液
晶パネル検査装置によれば、プリント回路基板の電極か
ら弾性的に屈曲可能に接続ワイヤを延出させ、この接続
ワイヤ先端の端子部を被検査対象である液晶パネルの電
極に当接させて電気的な導通を得るため、高価なスプリ
ングプローブが不要で製作コストを低減でき、また、接
続ワイヤ間の間隔も小さくでき、電極が細ピッチの液晶
パネルの検査も容易に行える。
【００３７】そして、請求項２記載の液晶パネル検査装
置は、プリント回路基板として電極が多層に形成された
多層基板を用い、この多層基板の一辺側に各層の電極を
階段状に露呈させ、これら階段状の電極に接続ワイヤを
接続するため、接続ワイヤをより狭い間隔で接続でき、
電極がより細ピッチの液晶パネルの検査も可能となる。
また、請求項３記載の液晶パネル検査装置は、プリント
回路基板の電極にそれぞれ複数の接続ワイヤを千鳥状に
接続するため、上記請求項２記載の液晶パネル検査装置
と同様に、接続ワイヤをより狭い間隔で接続でき、電極
がより細ピッチの液晶パネルの検査も可能である。
【００３８】さらに、請求項４記載の液晶パネル検査装
置の製造方法によれば、仮想電極が形成されたダミーパ
ネルをプリント回路基板に一時的に取り付け、この取り
付けた状態で接続ワイヤをダミーパネルとプリント回路
基板とにワイヤボンディングしてダミーパネルの仮想電
極とのボンディング部分に端子部を形成し、この後に、
プリント回路基板からダミーパネルを取り外してプリン
ト回路基板をパネル保持体に取り付けるため、その製造
も容易であり、また、端子部を正確な位置に確実に形成
することができ、検査に高い信頼性が得られる液晶パネ
ル検査装置が製作できる。
【００３９】またさらに、請求項５記載の液晶パネル検
査装置の製造方法によれば、接続ワイヤをボンディング
する前に、ダミーパネルに端子部（あるいは、その一部
分）を予め電鋳によって形成するため、端子部を所望の
形状、大きさに形成でき、微細なピッチへの対応が容易
である。特に、この製造方法は、ニッケル等の硬質金属
を用いて電鋳を行うことで、端子部の耐磨耗性が改善さ
れ、優れた耐久性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に一の実施の形態にかかる液晶パネル
検査装置の要部を拡大した模式断面図である。
【図２】同液晶パネル検査装置の主要部分を拡大して示
す模式斜視図である。
【図３】同主要部分の模式平面図である。
【図４】同液晶パネル検査装置の他の主要部分を拡大し
た模式断面図である。
【図５】同液晶パネル検査装置の要部の拡大模式断面図
であり、製造工程をアルファベット順に時系列的に示
す。
【図６】同液晶パネル検査装置の要部の拡大模式断面図
であり、図４に続く製造工程をアルファベット順に時系
列的に示す。
【図７】この発明の他の実施の形態にかかる液晶パネル
検査装置の一部を拡大した模式平面図である。
【図８】この発明のまた他の実施の形態にかかる液晶パ
ネル検査装置を示し、ａが一部を拡大した模式正面図、
ｂが平面図である。
【図９】この発明のさらに他の実施の形態にかかる液晶
パネル検査装置の要部を拡大した正断面図である。
【符号の説明】
１０ パネル保持体 １１ 装着穴（装着部） １３ 電極 １４ 仕切り部材 １９ 拡幅部 ２１ 接続ワイヤ ２２ 封止ゴム（弾性体） ２３ 端子部 ２３ａ 接触部分 ２８ 止め板 ４０ ダミーパネル ４１ レジスト層 ４２ 開口 ４２ａ 凹部 ４３ 開口 ４５ 枠部材 ７０ 液晶パネル ７１ 透明電極 Ｒ 光検出部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 液晶パネルを装着可能な保持部が形成さ
    れたパネル保持体と、該パネル保持体の保持部周縁に設
    けられたプリント回路基板と、該プリント回路基板の電
    極に接続されて該電極から前記保持部に弾性的に屈曲可
    能に延出し、前記保持部に装着された液晶パネルの電極
    と当接可能な端子部を先端に有する接続ワイヤと、該接
    続ワイヤを前記端子部を除いて封止する弾性体と、を備
    えることを特徴とする液晶パネル検査装置。
  2. 【請求項２】 前記プリント回路基板は複数の電極が積
    層された多層基板であって、該多層基板の一辺側に各層
    の電極を階段状に露呈させ、該各層の電極の露呈部分に
    それぞれ前記接続ワイヤを接続した請求項１記載の液晶
    パネル検査装置。
  3. 【請求項３】 前記プリント回路基板に前記接続ワイヤ
    の端部を千鳥状に接続した請求項１または請求項２記載
    の液晶パネル検査装置。
  4. 【請求項４】 請求項１乃至請求項３記載に記載の液晶
    パネル検査装置の製造方法であって、 前記プリント回路基板に仮想電極を有するダミーパネル
    を取り付け、該ダミーパネルの仮想電極に前記接続ワイ
    ヤの一端をボンディングするとともに、該接続ワイヤの
    他端を前記プリント回路基板の電極にワイヤボンディン
    グして前記端子部を形成し、この後、前記ダミーパネル
    および前記プリント回路基板上に弾性体を設けて前記接
    続ワイヤを封止し、次いで、前記ダミーパネルを前記プ
    リント回路基板から除去して該プリント回路基板を前記
    パネル保持体に取り付けることを特徴とする液晶パネル
    検査装置。
  5. 【請求項５】 前記ダミーパネルの一面にレジスト層を
    形成する第１の工程と、該レジスト層を部分的に除去し
    て前記ダミーパネル表面が露呈する開口を形成する第２
    の工程と、前記ダミーパネルを前記レジスト層側からエ
    ッチングして前記ダミーパネルの露呈部分に凹部を成形
    する第３の工程と、前記凹部に導電性金属を電鋳して端
    子部の少なくとも一部分を形成する第４の工程とを備え
    る請求項４記載の液晶パネル検査装置の製造方法。
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