JPH0961751A - Optical isolator - Google Patents

Optical isolator

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Publication number
JPH0961751A
JPH0961751A JP24372295A JP24372295A JPH0961751A JP H0961751 A JPH0961751 A JP H0961751A JP 24372295 A JP24372295 A JP 24372295A JP 24372295 A JP24372295 A JP 24372295A JP H0961751 A JPH0961751 A JP H0961751A
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JP
Japan
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analyzer
polarizer
optical isolator
optical
support member
Prior art date
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Application number
JP24372295A
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Japanese (ja)
Inventor
Manabu Hashima
学 橋間
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Tokin Corp
Original Assignee
Tokin Corp
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Publication date
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Publication of JPH0961751A publication Critical patent/JPH0961751A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 組み立て時に接着力低下をまねく有機接着剤
を用いることなく、低歪み状態で接合し得ると共に、ク
ラック等を防止し、構造面で特性劣化を起こさずに作製
でき、構造が簡略化した、安価な光アイソレータを提供
すること。 【解決手段】 ファラデー回転子2、偏光子1、及び検
光子3を含む光学素子と前記ファラデー回転子2に磁界
を印加する永久磁石4とを支持部材内に支持固定してな
ると共に、該支持部材が前記偏光子1、前記ファラデー
回転子2、及び前記永久磁石4を支持固定した偏光子支
持部材と、前記検光子を支持固定した検光子支持部材を
含む光アイソレータであって、前記ファラデー回転子2
を、前記偏光子1、前記検光子3の何れか一方と直接半
田固定する。
(57) [Abstract] [Problem] It is possible to perform bonding in a low distortion state without using an organic adhesive that causes a decrease in adhesive strength during assembly, prevent cracks, etc. To provide an inexpensive optical isolator having a simplified structure. SOLUTION: An optical element including a Faraday rotator 2, a polarizer 1, and an analyzer 3 and a permanent magnet 4 for applying a magnetic field to the Faraday rotator 2 are supported and fixed in a support member, and the support is provided. The member is an optical isolator including a polarizer support member that supports and fixes the polarizer 1, the Faraday rotator 2, and the permanent magnet 4, and an analyzer support member that supports and fixes the analyzer, the Faraday rotation Child 2
Is directly solder-fixed to one of the polarizer 1 and the analyzer 3.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、主として、光伝送
系機器に用いられるファラデー効果を利用した光アイソ
レータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention mainly relates to an optical isolator utilizing the Faraday effect used in optical transmission equipment.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、半導体レーザを光通信等の光伝送
系の光源として用いる場合、半導体レーザからの出射光
の一部が、伝送路や伝送用光学部品で反射して、半導体
レーザに帰還すると、半導体レーザの発振特性の不安定
化や雑音の増加を引き起こす原因となる。光アイソレー
タは、このような戻り光を阻止するために使用される。
2. Description of the Related Art Conventionally, when a semiconductor laser is used as a light source for an optical transmission system such as optical communication, a part of light emitted from the semiconductor laser is reflected by a transmission line or optical components for transmission and returned to the semiconductor laser. This may cause instability of the oscillation characteristics of the semiconductor laser and increase of noise. Optical isolators are used to block such return light.

【0003】図6は、従来の光アイソレータの基本構成
及び動作を説明するために示した説明図である。図6
(a)は、入射光が順方向で入射される場合の動作に関
する説明図である。図6(b)は、入射光の戻り光が逆
方向で入射される場合の動作に関する説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram shown for explaining the basic structure and operation of a conventional optical isolator. Figure 6
(A) is explanatory drawing regarding operation | movement in case incident light injects in a forward direction. FIG. 6B is an explanatory diagram regarding the operation when the return light of the incident light is incident in the opposite direction.

【0004】この光アイソレータは、光学素子として、
入射側から順に、偏光子1、ファラデー回転子2、及び
検光子3が配置されて構成され、これらには、順方向の
向きで磁界が印加されるようになっている。なお、検光
子3は、偏光子1と同一のものである。
This optical isolator is used as an optical element.
A polarizer 1, a Faraday rotator 2, and an analyzer 3 are arranged in this order from the incident side, and a magnetic field is applied to these in a forward direction. The analyzer 3 is the same as the polarizer 1.

【0005】図6(a)に示されるような入射光が、光
アイソレータに順方向で入射されると、入射光は、偏光
子1を透過した後、ファラデー回転子2によって、その
偏光面が45度回転する。更に、偏光子1の偏光面に対
して角度θが45度傾いた偏光面を有する検光子3を透
過して出射光が得られる。
When the incident light as shown in FIG. 6 (a) is incident on the optical isolator in the forward direction, the incident light is transmitted through the polarizer 1 and then its polarization plane is changed by the Faraday rotator 2. Rotate 45 degrees. Further, emitted light is obtained by passing through the analyzer 3 having a polarization plane whose angle θ is inclined by 45 degrees with respect to the polarization plane of the polarizer 1.

【0006】一方、図6(b)に示されるように、戻り
光が、光アイソレータに逆方向で入射されると、戻り光
は、検光子3に対して、偏光面が一致した成分のみが検
光子3を通過する。この後に、ファラデー回転子2によ
って、その偏光面が回転される。従って、ファラデー回
転子2を透過した戻り光は、検光子3に対して、その偏
光面が90度回転しており、これによって、検光子3で
透過を阻止されたことになる。
On the other hand, as shown in FIG. 6B, when the return light is incident on the optical isolator in the opposite direction, only the component whose polarization plane matches that of the analyzer 3 is returned. Passes through the analyzer 3. After that, the plane of polarization is rotated by the Faraday rotator 2. Therefore, the return light that has passed through the Faraday rotator 2 has its polarization plane rotated by 90 degrees with respect to the analyzer 3, which means that the analyzer 3 has blocked its transmission.

【0007】このように、光アイソレータは、反射によ
り、戻り光が遮断される基本的機能としてのアイソレー
ション効果を有するが、光アイソレータを複数段構成す
れば、アイソレーション効果が更に大きくなる。
As described above, the optical isolator has an isolation effect as a basic function of blocking return light by reflection. However, if the optical isolators are formed in a plurality of stages, the isolation effect is further increased.

【0008】ところで、光アイソレータを組み立てる場
合、各構成部品の固定方法としては有機接着法とメタル
接着法とが挙げられる。
By the way, when assembling the optical isolator, an organic bonding method and a metal bonding method can be cited as a method of fixing each component.

【0009】有機接着法は、各構成部品を有機接着剤に
より固定する方法であるが、この有機接着法の場合、接
着材硬化時において、必ず接着層の収縮が発生する。
The organic adhesive method is a method of fixing each component with an organic adhesive. In the case of this organic adhesive method, the adhesive layer always shrinks when the adhesive is cured.

【0010】接着層の収縮は、光学特性に大きな影響を
及ぼし、厳しい使用環境において、耐久性を著しく劣化
させることになる。
The shrinkage of the adhesive layer has a great influence on the optical characteristics, and significantly deteriorates the durability in a severe environment of use.

【0011】そこで、最近は、高信頼性を確保し得るメ
タル接着法が主流となっている。
Therefore, recently, a metal bonding method which can ensure high reliability has become mainstream.

【0012】メタル接着法は、各構成部品を金属半田を
用いて接合する方法である。又、使用する半田の材料に
は、主として、AuSn合金が用いられる。このため、
光アイソレータの支持部材である金属製ホルダー表面に
は、半田を付き易い状態にするため、予め、Ni,Au
等でめっき処理される。
The metal bonding method is a method of bonding the respective components using metal solder. Further, as the material of the solder used, an AuSn alloy is mainly used. For this reason,
The surface of the metal holder, which is a supporting member of the optical isolator, is previously made of Ni, Au in order to make it easy to attach solder.
Etc. are plated.

【0013】又、金属でない光学素子、即ち、ファラデ
ー回転子をなす磁気光学結晶や偏光子及び検光子の偏光
ガラスには、めっき処理を施すことが不可能である。こ
のため、物理的蒸着法により、金属薄膜を成膜させる。
Further, it is impossible to perform plating treatment on an optical element which is not a metal, that is, a magneto-optical crystal forming a Faraday rotator, a polarizing glass of a polarizer and an analyzer. Therefore, the metal thin film is formed by the physical vapor deposition method.

【0014】これにより、光学素子は、金属薄膜部分で
金属製ホルダーと半田付けされる。
As a result, the optical element is soldered to the metal holder at the metal thin film portion.

【0015】半田付けは、一般に、電気炉を用いて不活
性気体雰囲気中で加熱溶融して行われる。
Soldering is generally carried out by heating and melting in an inert gas atmosphere using an electric furnace.

【0016】更に、半田付けされた光学素子の光学軸調
整を行った後、光学素子を収納した金属製ホルダーどう
しをレーザ溶接して、光アイソレータの作製が完了す
る。
Further, after adjusting the optical axis of the soldered optical element, the metal holders accommodating the optical elements are laser-welded to complete the production of the optical isolator.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】従来の光アイソレータ
の場合、その作製に関しては、有機接着剤により、光学
素子の支持ホルダーとを接合固定している。しかし、こ
うして得られた光アイソレータが光伝送系の光通信部品
として用いられると、上述した接着層に発生する収縮の
問題や水分の吸収による接着(密着力)の低下等によ
り、光学特性が劣化して長期的信頼性の要求に応えられ
なくなる。
In the case of the conventional optical isolator, the organic isolator is used to bond and fix the optical isolator to the support holder of the optical element. However, when the optical isolator thus obtained is used as an optical communication component of an optical transmission system, the optical characteristics are deteriorated due to the above-mentioned problem of shrinkage occurring in the adhesive layer and the decrease in adhesion (adhesion) due to water absorption. Then, it becomes impossible to meet the demand for long-term reliability.

【0018】特に、精度よく作製された光アイソレータ
であっても、温度環境が厳しい使用条件下では、接着層
に収縮を起こしやすく、光学特性が劣化される。このた
め、光アイソレータの作製に際しては、半田固定部分や
低融点ガラス部分等に有機接着剤を用いない接合方法が
望まれている。
In particular, even in the case of an optical isolator manufactured with high precision, the adhesive layer is likely to contract and the optical characteristics are deteriorated under use conditions where the temperature environment is severe. For this reason, when manufacturing an optical isolator, a joining method that does not use an organic adhesive on a solder fixing portion, a low melting point glass portion, or the like is desired.

【0019】又、光アイソレータを光伝送系に組み込む
際、レーザ溶接固定を可能にするため、レーザ溶接部の
対象となる外周部の金属製ホルダーの材質には、ステン
レスを用いるのが、一般的である。
Further, in order to enable laser welding and fixing when the optical isolator is incorporated in the optical transmission system, stainless steel is generally used as the material of the metal holder on the outer peripheral portion which is the target of the laser welding. Is.

【0020】ところが、ステンレスの熱膨張係数は、フ
ァラデー回転子をなす磁気光学結晶として用いられるC
dMnTe単結晶やCdMnHgTe単結晶の熱膨張係
数、偏光子、及び検光子をなす偏光ガラス、あるいは偏
光ビームスプリッターの熱膨張係数とは大きく異なる。
このため、直接的にファラデー回転子をステンレス製の
ホルダーに固定すると、ファラデー回転子の光学特性が
劣化されたり、接合面でクラック(亀裂)を誘発する要
因となってしまう。
However, the coefficient of thermal expansion of stainless steel is C used as a magneto-optical crystal forming a Faraday rotator.
The coefficient of thermal expansion of dMnTe single crystal or CdMnHgTe single crystal is greatly different from the coefficient of thermal expansion of the polarizing glass forming the polarizer and the analyzer or the polarizing beam splitter.
Therefore, if the Faraday rotator is directly fixed to the holder made of stainless steel, the optical characteristics of the Faraday rotator may be deteriorated or a crack may be induced at the joint surface.

【0021】更に、光アイソレータにおいて、光学素子
に磁界を印加する永久磁石には、強磁性体のNd−Fe
−B系組成のもの等が用いられている。
Further, in the optical isolator, the permanent magnet for applying the magnetic field to the optical element is made of Nd-Fe which is a ferromagnetic material.
A -B type composition or the like is used.

【0022】ところが、光アイソレータのファラデー回
転子は、印加磁界の強度変化に大きく影響される物性を
有する。従って、ファラデー回転子等の光学素子を固定
する金属製ホルダーの材質に、高透磁率なものを使用す
ると、永久磁石の漏れ磁界が減少するために、ファラデ
ー回転子をなす磁気光学結晶であるCdMnTe単結晶
やCdMnHgTe単結晶に印加される磁界の強度が減
少する。
However, the Faraday rotator of the optical isolator has physical properties that are greatly affected by changes in the strength of the applied magnetic field. Therefore, when a metal holder for fixing an optical element such as a Faraday rotator is made of a material having a high magnetic permeability, the leakage magnetic field of the permanent magnet is reduced, so that CdMnTe which is a magneto-optical crystal forming a Faraday rotator is reduced. The strength of the magnetic field applied to the single crystal or the CdMnHgTe single crystal is reduced.

【0023】この結果、ファラデー回転子では、ファラ
デー回転角が相対的に減少し、これが光アイソレータの
特性劣化を引き起こす要因となる。
As a result, in the Faraday rotator, the Faraday rotation angle is relatively reduced, which causes deterioration of the characteristics of the optical isolator.

【0024】本発明の課題は、このような問題点を解決
すべくなされたもので、組み立て時に接着力低下をまね
く有機接着剤を用いることなく、低歪み状態で接合し得
ると共に、クラック等を防止し、構造面で特性劣化を起
こさずに作製でき、構造が簡略化した安価な光アイソレ
ータを提供することにある。
An object of the present invention is to solve such problems, and it is possible to join in a low distortion state without using an organic adhesive which causes a decrease in adhesive strength at the time of assembly, and to prevent cracks and the like. Another object of the present invention is to provide an inexpensive optical isolator which can be manufactured without causing deterioration in characteristics in terms of structure and which has a simplified structure.

【0025】[0025]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、ファ
ラデー回転子、偏光子、及び検光子を含む光学素子と前
記ファラデー回転子に磁界を印加する永久磁石とを支持
部材内に支持固定してなると共に、該支持部材が前記偏
光子、前記ファラデー回転子、及び前記永久磁石を支持
固定した偏光子支持部材と、前記検光子を支持固定した
検光子支持部材を含む光アイソレータにおいて、前記フ
ァラデー回転子を、前記偏光子、前記検光子の何れか一
方と直接半田固定したことを特徴とする光アイソレータ
が得られる。
According to the present invention, an optical element including a Faraday rotator, a polarizer, and an analyzer and a permanent magnet for applying a magnetic field to the Faraday rotator are supported and fixed in a support member. In the optical isolator, the support member includes a polarizer support member that supports and fixes the polarizer, the Faraday rotator, and the permanent magnet, and an analyzer support member that supports and fixes the analyzer. An optical isolator is obtained in which the rotator is directly solder-fixed to one of the polarizer and the analyzer.

【0026】記載の光アイソレータにおいて、偏光
子支持部材、あるいは検光子支持部材の何れか一方は、
異なる材質の局部どうしを互いに組み合わせた多重構造
であることを特徴とする光アイソレータが得られる。
In the optical isolator described above, either one of the polarizer support member and the analyzer support member is
An optical isolator is obtained which has a multiple structure in which local parts made of different materials are combined with each other.

【0027】記載の光アイソレータにおいて、前記
偏光子支持部材、及び前記検光子支持部材のうち、少な
くとも一方は非磁性体とすることを特徴とする光アイソ
レータが得られる。
In the optical isolator described above, at least one of the polarizer support member and the analyzer support member is made of a non-magnetic material, thereby obtaining an optical isolator.

【0028】記載の光アイソレータにおいて、異な
る材質の局部のうちの偏光子及び検光子を直接支持する
ものの材料として、セラミックス、チタン、白金、ロジ
ウムのうちの1種類を用いることを特徴とする光アイソ
レータが得られる。
In the optical isolator described above, one of ceramics, titanium, platinum and rhodium is used as a material for directly supporting a polarizer and an analyzer among local parts made of different materials. Is obtained.

【0029】〜の何れか一つに記載の光アイソレ
ータにおいて、前記光学素子の半田固定する表面の端
部、及び側面に、半田固定用金属薄膜を成膜する光アイ
ソレータが得られる。
In the optical isolator according to any one of the items (1) to (3), an optical isolator can be obtained in which a solder fixing metal thin film is formed on the end portion and the side surface of the surface of the optical element for solder fixing.

【0030】記載の光アイソレータにおいて、前記
金属薄膜をマスキング法及びスパッタリング法を併用し
て形成することを特徴とする光アイソレータが得られ
る。
In the optical isolator described above, an optical isolator characterized in that the metal thin film is formed by using a masking method and a sputtering method in combination is obtained.

【0031】光アイソレータの組み立てを行うに際し
て、従来のメタル接着法では、ファラデー回転子、偏光
子、及び検光子からなる光学素子を固定する時に、それ
ぞれ別な金属製ホルダーとの間で半田を溶融し半田接合
により行っているが、この半田接合時に発生する接合部
の応力歪みが問題となる。応力歪みの主たる要因が接合
材、及び被接合材間の熱膨張係数の差である
When assembling the optical isolator, in the conventional metal bonding method, when fixing the optical element composed of the Faraday rotator, the polarizer and the analyzer, the solder is melted between different metal holders. However, the stress distortion of the joint portion that occurs during the solder joint becomes a problem. The main factor of stress strain is the difference in thermal expansion coefficient between the joining material and the materials to be joined.

【0032】本発明の光アイソレータでは、ファラデー
回転子と偏光子の熱膨張係数差ΔαTが小さいことを利
用し、ファラデー回転子と偏光子を直接半田付け処理す
ることで、接合歪みの低減化を可能としている。
In the optical isolator of the present invention, by utilizing the fact that the difference in thermal expansion coefficient ΔαT between the Faraday rotator and the polarizer is small, the Faraday rotator and the polarizer are directly soldered to reduce the junction distortion. It is possible.

【0033】従って、ファラデー回転子と偏光子との熱
膨張係数マッチングを図る中間材を使用することなく、
光学素子を支持部材に固定できる。
Therefore, without using an intermediate material for matching the thermal expansion coefficient between the Faraday rotator and the polarizer,
The optical element can be fixed to the support member.

【0034】上記した接合部の応力歪みを低減でき、更
に、構造の簡略化が可能となるため、安価に光アイソレ
ータを作製することが可能となる。
Since the stress strain of the above-mentioned joint can be reduced and the structure can be simplified, the optical isolator can be manufactured at low cost.

【0035】しかしながら、偏光子、検光子の何れか
は、光学軸調整を必要とするため、回転機構を有する金
属製の偏光子支持ホルダー、又は検光子支持ホルダーに
接合固定する必要がある。
However, since either the polarizer or the analyzer requires the optical axis adjustment, it is necessary to join and fix the polarizer support holder or the analyzer support holder made of metal having a rotating mechanism.

【0036】本発明において、検光子を支持固定した検
光子支持部材に関し、熱膨張係数が異なる材質の局部ど
うしを互いに組み合わせた多重構造としている。又、多
重構造の局部をそれぞれ非磁性体とする。又、光学素子
を直接支持するものの熱膨張係数を光学素子の熱膨張係
数と近い材料とする。上述したことによって、組み立て
に際して、半田接合時に生じる接合歪みを低減させ、接
合歪みが原因となる特性劣化を防止することができる。
In the present invention, the analyzer support member supporting and fixing the analyzer has a multiple structure in which local parts made of materials having different thermal expansion coefficients are combined with each other. In addition, the local parts of the multiple structure are each made of a non-magnetic material. Further, a material that directly supports the optical element has a thermal expansion coefficient close to that of the optical element. As described above, during assembly, it is possible to reduce the joint distortion that occurs at the time of solder joint and prevent the characteristic deterioration due to the joint distortion.

【0037】[0037]

【発明の実施の形態】以下に、実施例をあげ、本発明の
光アイソレータについて、図面を参照して詳細に説明す
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The optical isolator of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0038】図1は、本発明に、一実施例に係わる光ア
イソレータの基本構成を示したもので、図1(a)は、
その内部構造図、図1(b)は、内部構造を一部分解し
た分解図である。
FIG. 1 shows the basic structure of an optical isolator according to one embodiment of the present invention. FIG.
The internal structure diagram and FIG. 1B are exploded views in which the internal structure is partially disassembled.

【0039】この光アイソレータは、図1に示すよう
に、光学系をなす光学素子、即ち、CdMnTe単結晶
やCdMnHgTe単結晶等の磁気光学結晶からなるフ
ァラデー回転子2、偏光ガラスや偏光ビームスプリッタ
ーからなる偏光子1及び検光子3とファラデー回転子2
に印加する永久磁石(マグネット)4とを支持部材内に
支持固定して構成されている。
As shown in FIG. 1, this optical isolator comprises an optical element forming an optical system, that is, a Faraday rotator 2 composed of a magneto-optical crystal such as a CdMnTe single crystal or a CdMnHgTe single crystal, a polarizing glass or a polarizing beam splitter. Polarizer 1 and analyzer 3 and Faraday rotator 2
And a permanent magnet (magnet) 4 which is applied to the inside of the supporting member.

【0040】ここでの支持部材は、偏光子1、ファラデ
ー回転子2とマグネット4を収納する偏光子支持ホルダ
ー5と、検光子3を支持固定する検光子支持部材とから
なるものである。光アイソレータは、これらの偏光子支
持部材、検光子支持部材を組み合わせて構成されてい
る。但し、ここでの検光子支持部材は、熱膨張係数αが
異なる材質の局部どうしを互いに組み合わせた二重構造
となっている。
The supporting member here is composed of a polarizer 1, a Faraday rotator 2 and a polarizer supporting holder 5 for accommodating the magnet 4, and an analyzer supporting member for supporting and fixing the analyzer 3. The optical isolator is configured by combining these polarizer support members and analyzer support members. However, the analyzer support member here has a double structure in which local parts made of materials having different thermal expansion coefficients α are combined with each other.

【0041】図2は、検光子支持部材の基本構成を示し
たもので、図2(a)は、その平面図、図2(b)は、
その一部を破断した内部構造を示す側面図である。
2A and 2B show the basic structure of the analyzer support member. FIG. 2A is a plan view thereof, and FIG.
It is a side view which shows the internal structure which fractured | ruptured a part.

【0042】検光子支持部材は、第1の検光子支持ホル
ダー6を外側に、第2の検光子支持ホルダー7を内側に
して、これらをAuSn共晶半田8により、溶融接合し
てなっている。
The analyzer support member is formed by melting and joining the first analyzer support holder 6 outside and the second analyzer support holder 7 inside with AuSn eutectic solder 8. .

【0043】ここで、第1の検光子支持ホルダー6及び
第2の検光子支持ホルダー7は、いずれも非磁性体であ
るが、第1の検光子支持ホルダー6は金属製であり、検
光子3を直接支持する第2の検光子支持ホルダー7に
は、熱膨張係数αが偏光子1・検光子3に近い材料が用
いられている。
Here, both the first analyzer support holder 6 and the second analyzer support holder 7 are non-magnetic materials, but the first analyzer support holder 6 is made of metal, and the analyzer A material having a thermal expansion coefficient α close to that of the polarizer 1 / analyzer 3 is used for the second analyzer support holder 7 that directly supports 3 of the polarizers.

【0044】ちなみに、第2の検光子支持ホルダー7の
材料として、例えば、セラミックス、チタン、白金等の
うちの一種類を用いればよい。
Incidentally, as the material of the second analyzer support holder 7, for example, one kind of ceramics, titanium, platinum or the like may be used.

【0045】そこで、以下は、このような光アイソレー
タの作製方法について、実施例及び比較例をあげて具体
的に説明する。
Therefore, a method for manufacturing such an optical isolator will be specifically described below with reference to Examples and Comparative Examples.

【0046】最初に、本発明の実施例に係わる光アイソ
レータの光学素子に関して、ファラデー回転子には、表
1に示すような特性、並びに規格のものを使用した。
First, regarding the optical element of the optical isolator according to the embodiment of the present invention, the Faraday rotator having the characteristics and standards shown in Table 1 was used.

【0047】 [0047]

【0048】偏光子及び検光子には、偏光ガラスを用
い、これらの形状は、ファラデー回転子の場合と同様
に、2.0mm角の寸法のものを用いた。
Polarizing glass was used for the polarizer and the analyzer, and those having a shape of 2.0 mm square were used for these shapes, as in the case of the Faraday rotator.

【0049】偏光子及び検光子の偏光ガラスとに関し
て、熱膨張係数αが6.5×10-6/Kものを用いた。
Regarding the polarizer and the polarizing glass of the analyzer, those having a thermal expansion coefficient α of 6.5 × 10 −6 / K were used.

【0050】一般に、光学素子には、めっき処理を施す
ことが困難である。そのため、図3(a)に示すよう
に、ファラデー回転子2は、光透過面14の表面の四
隅、及び側面(光透過方向)に、又、図3(b)に示す
ように、偏光子1、検光子3は、表面の四隅には、半田
接合用として、金属薄膜13をスパッタ装置により成膜
した。
In general, it is difficult to plate an optical element. Therefore, as shown in FIG. 3 (a), the Faraday rotator 2 has four corners and side surfaces (light transmitting direction) of the light transmitting surface 14, and a polarizer as shown in FIG. 3 (b). 1. In the analyzer 3, metal thin films 13 were formed on the four corners of the surface by a sputtering device for soldering.

【0051】光透過面14の金属薄膜13は、光学素子
の表面の端部であって、固定部分となる光透過面14を
避けた四隅にマスキング法とスパッタリング法とを組み
合わせてパターニングすることで得られたものである。
The metal thin film 13 on the light transmitting surface 14 is patterned by combining the masking method and the sputtering method at the four corners at the ends of the surface of the optical element, avoiding the light transmitting surface 14 which is the fixed portion. It was obtained.

【0052】この金属薄膜13は、図3(c)に示すよ
うに、Cr,Ni,Auの各層による3層からなり、C
r層の厚さは0.35μm、Ni層の厚さは0.35μ
m、Au層の厚さは0.15μmとした。
As shown in FIG. 3 (c), the metal thin film 13 is composed of three layers of Cr, Ni, and Au.
The thickness of the r layer is 0.35 μm, and the thickness of the Ni layer is 0.35 μm.
The thickness of the Au layer was 0.15 μm.

【0053】又、図1のマグネット4には、Nd−Fe
−B系の組成のものを用いて半田固定が可能となるよう
に、その全面にNiめっき処理を施した。
Further, the magnet 4 shown in FIG.
Ni plating treatment was performed on the entire surface so that the fixing with solder was possible by using a -B type composition.

【0054】又、二重構造の検光子支持部材に関して
は、内側部分となる第2の検光子支持ホルダー7の材料
は、熱膨張係数αが6.5×10-6/Kのセラミックス
を用いて、半田固定が可能になるように、下地にCr、
表面にAuめっき処理した。
Regarding the double-structured analyzer support member, the material of the second analyzer support holder 7, which is the inner part, is ceramics having a thermal expansion coefficient α of 6.5 × 10 −6 / K. , So that it can be fixed by soldering with Cr,
The surface was plated with Au.

【0055】更に、外側部分となる第1の検光子支持ホ
ルダー6の材料には、熱膨張係数αが17〜19×10
-6/Kの金属製非磁性体であるSUS304を用いた。
又、第2の検光子支持ホルダー7を半田固定できるよう
に、その内面側の下地にNi、表面にAuをめっき処理
した。
Further, the material of the first analyzer support holder 6 which is the outer portion has a coefficient of thermal expansion α of 17 to 19 × 10.
SUS304 which is a metal non-magnetic material of -6 / K was used.
Further, in order to fix the second analyzer support holder 7 by soldering, the underlayer on the inner surface side was plated with Ni and the surface was plated with Au.

【0056】加えて、金属製支持部材である偏光子支持
ホルダー5には、第1の検光子支持ホルダー6とYAG
溶接可能とするために、SUS304を用いた。
In addition, the polarizer support holder 5, which is a metal support member, includes the first analyzer support holder 6 and YAG.
SUS304 was used to enable welding.

【0057】このようにして、図1に示したような光ア
イソレータを作製するために必要な構成部品を得る。
In this way, the components necessary for producing the optical isolator as shown in FIG. 1 are obtained.

【0058】そこで、光アイソレータを組み立てて作製
する場合、先ず、その半田固定の工程では、図4(a)
に示すような、偏光子1、偏光子支持ホルダー5、ファ
ラデー回転子2、永久磁石4をAuSn共晶半田8で半
田固定する偏光子1側部分と、図4(b)に示すよう
な、検光子3、第1の検光子支持ホルダー6、第2の検
光子支持ホルダー7をAuSn共晶半田8で半田固定す
る検光子3側部分に分けた。そして、偏光子1側部分及
び検光子3側部分を、それぞれの構成ごとに半田付け処
理して、それぞれの支持部材に固定する。なお、AuS
n共晶半田8には、AuSnの含有量がAu80%、S
n20%共晶半田を使用した。
Therefore, when assembling and manufacturing the optical isolator, first, in the step of fixing the solder, as shown in FIG.
As shown in FIG. 4 (b), the polarizer 1, the polarizer support holder 5, the Faraday rotator 2, and the permanent magnet 4 are fixed by soldering AuSn eutectic solder 8 on the side of the polarizer 1 as shown in FIG. The analyzer 3, the first analyzer support holder 6, and the second analyzer support holder 7 were divided into parts on the side of the analyzer 3 which were fixed by soldering with AuSn eutectic solder 8. Then, the polarizer 1 side portion and the analyzer 3 side portion are soldered for each configuration and fixed to each supporting member. Note that AuS
The n eutectic solder 8 contains AuSn of 80%, S
n20% eutectic solder was used.

【0059】次に、これらの偏光子側部分及び検光子側
部分を積層した状態で、電気炉内にて320℃まで加熱
溶融した。図1(b)に示したような光軸調整前の光ア
イソレータ部材を得た後、各支持部材にそれぞれ固定さ
れた偏光子1と検光子3とを光学軸調整した。即ち、所
定の角度において、偏光子支持ホルダー5と第1の検光
子支持ホルダー7とをYAG溶接して、一体化すること
により、図1(a)に示したような光アイソレータを得
た。
Next, in a state in which the polarizer side portion and the analyzer side portion were laminated, they were heated and melted to 320 ° C. in an electric furnace. After obtaining the optical isolator member before optical axis adjustment as shown in FIG. 1B, the optical axes of the polarizer 1 and the analyzer 3 fixed to the respective support members were adjusted. That is, the polarizer support holder 5 and the first analyzer support holder 7 were YAG-welded and integrated at a predetermined angle to obtain an optical isolator as shown in FIG.

【0060】一方、比較例としての光アイソレータは、
図5に示すように、偏光子支持部材及び検光子支持部材
を二重構造とせず、単一構造で同じ材質の偏光子支持ホ
ルダー9、検光子支持ホルダー10、及び円筒状ホルダ
ー11を使用し、以下に説明する点以外は、基本的に実
施例の場合と同様な手順で作製した。
On the other hand, an optical isolator as a comparative example is
As shown in FIG. 5, the polarizer support member and the analyzer support member do not have a double structure, and a polarizer support holder 9, an analyzer support holder 10 and a cylindrical holder 11 which are made of the same material and have a single structure are used. Except for the points described below, the procedure was basically the same as that of the example.

【0061】比較例1の光アイソレータは、偏光子支持
ホルダー9、検光子支持ホルダー10、及び円筒状ホル
ダー11の材料に、内部リング12と同様に、SUS3
04を用いた。
In the optical isolator of Comparative Example 1, the materials of the polarizer support holder 9, the analyzer support holder 10, and the cylindrical holder 11 were the same as those of the inner ring 12, and SUS3.
04 was used.

【0062】この比較例1の光アイソレータは、各構成
部品を有機接着剤を用いて恒温槽にて100℃で2時間
加熱し、有機接着剤を硬化させて接合することによっ
て、光学軸調整前の光アイソレータ部材を得た後、光軸
調整を行って得られたものである。
In the optical isolator of Comparative Example 1, each component was heated with an organic adhesive in a thermostatic chamber at 100 ° C. for 2 hours to cure and bond the organic adhesive before the optical axis adjustment. After obtaining the optical isolator member (1), the optical axis was adjusted and obtained.

【0063】比較例2の光アイソレータは、光学素子の
表面に実施例の場合と同様に、半田接合用の金属薄膜1
3を成膜した。
In the optical isolator of Comparative Example 2, the metal thin film 1 for solder bonding was formed on the surface of the optical element as in the case of the example.
3 was deposited.

【0064】光学素子を支持する支持部材及び内部リン
グ12は、比較例1と同様な材料、及び形状のものとし
た。
The supporting member for supporting the optical element and the inner ring 12 were made of the same material and had the same shape as in Comparative Example 1.

【0065】支持部材の表面には、半田固定可能な状態
にするため、下地にはNiを、表面にはAuめっき処理
した。
Ni was applied to the base and Au was applied to the surface of the support member so that the surface could be fixed by soldering.

【0066】各構成部品の固定は、実施例の場合と同様
に、電気炉内にて320℃まで加熱し、図5中の斜線部
に示す接合部を半田固定した。その他の点は、実施例と
同様にして、光アイソレータを得た。
As in the case of the embodiment, each component was heated to 320 ° C. in an electric furnace, and the joint portion indicated by the hatched portion in FIG. 5 was fixed by soldering. In other respects, an optical isolator was obtained in the same manner as in the example.

【0067】以上のような条件で、実施例及び比較例
1、比較例2に係わる光アイソレータを、それぞれ10
個ずつ作製した。これらの総計30個の光アイソレータ
に関して、順方向挿入損失、及び逆方向挿入損失の特性
に関して、統計的評価を行ったところ、評価結果は、表
2に示されるようになった。
Under the conditions as described above, the optical isolators according to the example and the comparative examples 1 and 2 are respectively used for 10 times.
Each was produced. With respect to the characteristics of the forward insertion loss and the backward insertion loss, a total of 30 optical isolators were statistically evaluated, and the evaluation results are shown in Table 2.

【0068】 [0068]

【0069】表2からは、実施例のものと、従来の作製
方法である比較例1のものとに関しては、順方向挿入損
失、及び逆方向挿入損失共、同水準であって、良好な特
性を有しているが、比較例2は、それぞれ大幅に劣化し
ていることがわかる。
From Table 2, the forward insertion loss and the reverse insertion loss of the example and the comparative example 1 which is a conventional manufacturing method are at the same level and have good characteristics. However, it can be seen that Comparative Example 2 is significantly deteriorated.

【0070】比較例2のものでは、半田付け後の半田接
合部に、一部クラックの発生が認められた。
In Comparative Example 2, some cracks were found in the solder joints after soldering.

【0071】クラックが発生した主たる要因は、光学素
子とその支持部材との熱膨張係数αの差である。結果と
して、半田接合部に応力歪みが生じ、光学素子の特性が
劣化したものである。
The main cause of the occurrence of cracks is the difference in thermal expansion coefficient α between the optical element and its supporting member. As a result, stress distortion occurs in the solder joint portion, and the characteristics of the optical element deteriorate.

【0072】次に、光学特性が良好な実施例及び比較例
1のものに対して、熱衝撃試験を実施した。熱衝撃試験
の条件は、極温温度が、それぞれ−40℃、+85℃で
あり、保持時間が各極温にて30分、移動時間を2分以
内とし、サイクル数を50とした。これらの光アイソレ
ータの試験前後における順方向挿入損失、及び逆方向挿
入損失に関する変動量を調べたところ、表3に示すよう
な結果となった。
Next, a thermal shock test was carried out on the example and the comparative example 1 having good optical characteristics. The conditions of the thermal shock test were that the extreme temperatures were −40 ° C. and + 85 ° C., the holding time was 30 minutes at each extreme temperature, the moving time was within 2 minutes, and the number of cycles was 50. When the amounts of fluctuations in the forward insertion loss and the reverse insertion loss before and after the test of these optical isolators were examined, the results shown in Table 3 were obtained.

【0073】 [0073]

【0074】表3からは、実施例のものでは、試験の前
後での特性劣化は認められなかった。それに対し、比較
例1のものでは、特性劣化が認められたことがわかる。
従来の作製方法である比較例1は、急激な温度変化が発
生した場合、接着槽の収縮が生じるために、光学特性が
劣化する。
From Table 3, in the examples, no characteristic deterioration was observed before and after the test. On the other hand, in Comparative Example 1, it can be seen that characteristic deterioration was observed.
In Comparative Example 1 which is a conventional manufacturing method, when a rapid temperature change occurs, the optical characteristics are deteriorated because the bonding tank contracts.

【0075】なお、本発明の実施例で説明した光アイソ
レータにおける支持部材の形状や半田の種類、並びに金
属薄膜の組成やその厚みについては、これに限定されな
い。又、実施例の光アイソレータでは、検光子支持部材
を二重構造としたが、これらの構造は、三重構造以上の
多重構造であってもよい。又、偏光子支持部材を多重構
造としてもよい。
The shape of the support member, the type of solder, and the composition and thickness of the metal thin film in the optical isolator described in the embodiments of the present invention are not limited to these. Further, in the optical isolator of the embodiment, the analyzer supporting member has a double structure, but these structures may have a multiple structure of a triple structure or more. Further, the polarizer support member may have a multiple structure.

【0076】[0076]

【発明の効果】以上に述べた通り、本発明によれば、光
学素子のうちの熱膨張係数差△αTが小さい偏光子とフ
ァラデー回転子を直接半田固定し、加えて、光学軸調整
が必要な検光子を支持する支持部材を、非磁性体の材料
で更に熱膨張係数のマッチングを図るために、多重構造
とすることにより、組み立てに際して光学素子を支持部
材に低接合歪み状態で半田接合することができ、構造面
で特性劣化を起こさずに光アイソレータを作製できる。
又、構造が簡略化されるため、安価となる。
As described above, according to the present invention, a polarizer having a small thermal expansion coefficient difference ΔαT among optical elements and a Faraday rotator are directly solder-fixed, and in addition, optical axis adjustment is required. The support member that supports a simple analyzer has a multiple structure in order to further match the coefficient of thermal expansion with a non-magnetic material, so that the optical element is solder-bonded to the support member in a low bonding distortion state during assembly. Therefore, the optical isolator can be manufactured without deterioration in characteristics in terms of structure.
Further, the structure is simplified, so that the cost is reduced.

【0077】又、支持部材を非磁性体としているため、
永久磁石による漏れ磁界が充分に確保されて、ファラデ
ー回転子に充分な磁界が印加される上、光学素子の固定
に半田を用いて急激な温度変化が負荷された場合でも、
充分な信頼性が長期的に確保される。そのため、厳しい
使用環境下においても、良好な光学特性を保証し得る、
信頼性が高い光アイソレータを提供できるようになる。
Since the support member is made of a non-magnetic material,
A sufficient leakage magnetic field is secured by the permanent magnet, a sufficient magnetic field is applied to the Faraday rotator, and even when a rapid temperature change is applied using solder to fix the optical element,
Sufficient reliability is secured in the long term. Therefore, it is possible to guarantee good optical characteristics even under severe operating environment.
It becomes possible to provide a highly reliable optical isolator.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例に係わる光アイソレータの基本
構成を示した構造図。図1(a)は、その内部構造を示
す断面図。図1(b)は、内部構造を一部分解した分解
断面図。
FIG. 1 is a structural diagram showing a basic configuration of an optical isolator according to an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a sectional view showing the internal structure. FIG. 1B is an exploded sectional view in which the internal structure is partially disassembled.

【図2】図1に示す光アイソレータに用いられる支持部
材として検光子支持部材の基本構成を示す図。図2
(a)はその平面図。図2(b)はその一部を破断した
側面図。
FIG. 2 is a diagram showing a basic configuration of an analyzer support member as a support member used in the optical isolator shown in FIG. FIG.
(A) is the top view. FIG. 2B is a side view in which a part thereof is broken.

【図3】図1に示す光アイソレータに用いられる光学素
子の表面の端部及び側面に成膜された半田接合用の金属
薄膜を説明するために示した説明図。図3(a)は、フ
ァラデー回転子の成膜パターンの概略斜視図。図3
(b)は、偏光子及び検光子の成膜パターンの概略斜視
図。図3(c)は、金属薄膜組成を説明するために成膜
パターンの金属薄膜部分を破断して示した側面図。
3 is an explanatory diagram shown for explaining a metal thin film for solder bonding, which is formed on an end portion and a side surface of a surface of an optical element used in the optical isolator shown in FIG. FIG. 3A is a schematic perspective view of a film formation pattern of the Faraday rotator. FIG.
(B) is a schematic perspective view of the film-forming pattern of a polarizer and an analyzer. FIG. 3C is a side view in which the metal thin film portion of the film formation pattern is cut away for explaining the metal thin film composition.

【図4】図1に示す光アイソレータの作製工程(半田固
定工程)を説明するために示した図。図4(a)は、偏
光子側構成部分の分解断面図。図4(b)は、検光子側
構成部分の分解断面図。
4A and 4B are views for explaining a manufacturing process (solder fixing process) of the optical isolator shown in FIG. FIG. 4A is an exploded cross-sectional view of a polarizer-side constituent portion. FIG. 4B is an exploded cross-sectional view of the analyzer-side constituent portion.

【図5】比較例1及び比較例2に係わる光アイソレータ
の基本構成を一部破断して示す断面図。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing the basic structure of optical isolators according to Comparative Examples 1 and 2 with a part thereof broken away.

【図6】従来の光アイソレータの基本構成及び動作を説
明するために示した説明図。図6(a)は、入射光が順
方向で入射される場合の動作に関する説明図。図6
(b)は、入射光の戻り光が逆方向で入射される場合の
動作に関する説明図。
FIG. 6 is an explanatory diagram shown for explaining the basic configuration and operation of a conventional optical isolator. FIG. 6A is an explanatory diagram regarding an operation when incident light is incident in the forward direction. Figure 6
(B) is explanatory drawing regarding operation | movement when the return light of incident light injects in a reverse direction.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 偏光子 2 ファラデー回転子 3 検光子 4 永久磁石(又はマグネット) 5,9 偏光子支持ホルダー 6 第1の検光子支持ホルダー 7 第2の検光子支持ホルダー 8 AuSn共晶半田 10 検光子支持ホルダー 11 円筒状ホルダー 12 内部リング 13 金属薄膜 14 光透過面 1 Polarizer 2 Faraday Rotor 3 Analyzer 4 Permanent Magnet (or Magnet) 5,9 Polarizer Support Holder 6 First Analyzer Support Holder 7 Second Analyzer Support Holder 8 AuSn Eutectic Solder 10 Analyzer Support Holder 11 Cylindrical holder 12 Inner ring 13 Metal thin film 14 Light transmitting surface

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ファラデー回転子、偏光子、及び検光子
を含む光学素子と前記ファラデー回転子に磁界を印加す
る永久磁石とを支持部材内に支持固定してなると共に、
該支持部材が前記偏光子、前記ファラデー回転子、及び
前記永久磁石を支持固定した偏光子支持部材と、前記検
光子を支持固定した検光子支持部材を含む光アイソレー
タにおいて、前記ファラデー回転子を、前記偏光子、前
記検光子の何れかと直接半田固定したことを特徴とする
光アイソレータ。
1. An optical element including a Faraday rotator, a polarizer, and an analyzer and a permanent magnet for applying a magnetic field to the Faraday rotator are supported and fixed in a supporting member, and
In the optical isolator, wherein the support member includes the polarizer, the Faraday rotator, and a polarizer support member that supports and fixes the permanent magnet, and an analyzer support member that supports and fixes the analyzer, the Faraday rotator, An optical isolator, which is directly soldered to either the polarizer or the analyzer.
【請求項2】 請求項1記載の光アイソレータにおい
て、前記偏光子支持部材、あるいは前記検光子支持部材
の何れか一方は、異なる材質の局部どうしを互いに組み
合わせた多重構造であることを特徴とする光アイソレー
タ。
2. The optical isolator according to claim 1, wherein either one of the polarizer support member and the analyzer support member has a multiple structure in which local parts made of different materials are combined with each other. Optical isolator.
【請求項3】 請求項2記載の光アイソレータにおい
て、前記偏光子支持部材、及び前記検光子支持部材のう
ち、少なくとも一方は非磁性体であることを特徴とする
光アイソレータ。
3. The optical isolator according to claim 2, wherein at least one of the polarizer support member and the analyzer support member is a non-magnetic material.
【請求項4】 請求項2記載の光アイソレータにおい
て、前記異なる材質の局部のうちの前記偏光子及び前記
検光子を直接支持するものの材料には、セラミックス、
チタン、白金、ロジウムのうちの少なくとも1種類が用
いられたことを特徴とする光アイソレータ。
4. The optical isolator according to claim 2, wherein a material for directly supporting the polarizer and the analyzer among the local parts made of different materials is ceramics.
An optical isolator comprising at least one of titanium, platinum and rhodium.
【請求項5】 請求項1〜4の何れか一つに記載の光ア
イソレータにおいて、前記光学素子の半田固定する表面
の端部、及び側面に、半田固定用金属薄膜を成膜するこ
とを特徴とする光アイソレータ。
5. The optical isolator according to claim 1, wherein a solder fixing metal thin film is formed on an end portion and a side surface of a surface of the optical element where the solder is fixed. Optical isolator.
【請求項6】 請求項5記載の光アイソレータにおい
て、前記金属薄膜は、マスキング法及びスパッタリング
法を併用して形成することを特徴とする光アイソレー
タ。
6. The optical isolator according to claim 5, wherein the metal thin film is formed by using a masking method and a sputtering method in combination.
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